JP2002039401A - ゲートバルブの弁板駆動装置 - Google Patents
ゲートバルブの弁板駆動装置Info
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- JP2002039401A JP2002039401A JP2000228343A JP2000228343A JP2002039401A JP 2002039401 A JP2002039401 A JP 2002039401A JP 2000228343 A JP2000228343 A JP 2000228343A JP 2000228343 A JP2000228343 A JP 2000228343A JP 2002039401 A JP2002039401 A JP 2002039401A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来のゲートバルブの弁板駆動装置において
は、枢支ピン等の機械的可動部分があり、不純物発生の
おそれがあった。 【解決手段】 本発明のゲートバルブの弁板駆動装置に
おいては、弁板とその移動手段間を傾斜板ばねによって
連結せしめ、上記弁板が弁座に対向する位置に移動した
とき、上記弁板の更なる移動を阻止せしめる。
は、枢支ピン等の機械的可動部分があり、不純物発生の
おそれがあった。 【解決手段】 本発明のゲートバルブの弁板駆動装置に
おいては、弁板とその移動手段間を傾斜板ばねによって
連結せしめ、上記弁板が弁座に対向する位置に移動した
とき、上記弁板の更なる移動を阻止せしめる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はゲートバルブの弁板
駆動装置、特に、半導体ウエハー等の処理装置に用いる
ゲートバルブの弁板駆動装置に関するものである。
駆動装置、特に、半導体ウエハー等の処理装置に用いる
ゲートバルブの弁板駆動装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハーや液晶基板などの処理装
置においては、ウエハーや基板を種々の処理室に通路を
介して出し入れすることが行われており、上記通路には
夫々ゲートバルブが設けられている。上記処理室にはで
きるだけ不純物が混入しないようにする必要がある。
置においては、ウエハーや基板を種々の処理室に通路を
介して出し入れすることが行われており、上記通路には
夫々ゲートバルブが設けられている。上記処理室にはで
きるだけ不純物が混入しないようにする必要がある。
【０００３】また、上記ゲートバルブとしては例えば実
開昭51-115639 号公報や特開昭58-156781 号公報に示す
ものがある。このような例においては、弁板を弁座に対
して離間した状態で上下動し、弁座に対向した位置で弁
板をその側方から押圧することによって弁座に対接せし
めている。
開昭51-115639 号公報や特開昭58-156781 号公報に示す
ものがある。このような例においては、弁板を弁座に対
して離間した状態で上下動し、弁座に対向した位置で弁
板をその側方から押圧することによって弁座に対接せし
めている。
【０００４】また、実開昭52-93930号公報に示すように
弁箱の外側から挿入された弁ロッドを傾斜させることに
より弁板を弁座に押圧するようにしたゲートバルブ駆動
装置も既知である。
弁箱の外側から挿入された弁ロッドを傾斜させることに
より弁板を弁座に押圧するようにしたゲートバルブ駆動
装置も既知である。
【０００５】また、特開昭60-222670 号公報に示すもの
ではばねとリンクを用いて弁デスクを弁座に押圧してい
る。
ではばねとリンクを用いて弁デスクを弁座に押圧してい
る。
【０００６】図５はこのようなばねとリンクを用いた従
来の弁板駆動装置を示し、１は低真空室、２は高真空
室、３はこれら両室１, ２を遮断する遮壁、４はこの遮
壁３に形成した開口、５はこの開口４を開閉するため上
記低真空室１側に配置した弁板、６はこの弁板５に対向
して上記開口４の周りに設けた弁座、７は上記弁板５を
開閉するための駆動手段である。
来の弁板駆動装置を示し、１は低真空室、２は高真空
室、３はこれら両室１, ２を遮断する遮壁、４はこの遮
壁３に形成した開口、５はこの開口４を開閉するため上
記低真空室１側に配置した弁板、６はこの弁板５に対向
して上記開口４の周りに設けた弁座、７は上記弁板５を
開閉するための駆動手段である。
【０００７】上記駆動手段７は、上下動するピストンロ
ッド８と、このピストンロッド８と上記弁板５に夫々枢
支ピン９を介してその両端部を連結した平行リンク１０
と、この平行リンク１０の復元ばね１１とより成り、上
記ピストンロッド８を上動したとき上記平行リンク１０
を介して上記弁板５が右方に移動して弁座６に対接し上
記開口４を塞ぎ、上記ピストンロッド８が下降したとき
上記復元ばね１１の作用で上記平行リンク１０を介して
上記弁板５が左方に移動して上記弁座６から離間し上記
開口４を開くようにしている。
ッド８と、このピストンロッド８と上記弁板５に夫々枢
支ピン９を介してその両端部を連結した平行リンク１０
と、この平行リンク１０の復元ばね１１とより成り、上
記ピストンロッド８を上動したとき上記平行リンク１０
を介して上記弁板５が右方に移動して弁座６に対接し上
記開口４を塞ぎ、上記ピストンロッド８が下降したとき
上記復元ばね１１の作用で上記平行リンク１０を介して
上記弁板５が左方に移動して上記弁座６から離間し上記
開口４を開くようにしている。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】然しながら、上記従来
のゲートバルブでは、弁板を弁座に押圧するため、弁抑
え，柱体，ばね，ストッパー，ローラ，リンク，枢支ピ
ン等の多くの機械的可動部分が上記室内に位置してお
り、これらの機械的磨耗等により不純物が発生する欠点
があった。
のゲートバルブでは、弁板を弁座に押圧するため、弁抑
え，柱体，ばね，ストッパー，ローラ，リンク，枢支ピ
ン等の多くの機械的可動部分が上記室内に位置してお
り、これらの機械的磨耗等により不純物が発生する欠点
があった。
【０００９】本発明は上記の欠点を除くようにしたもの
である。
である。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明のゲートバルブの
弁板駆動装置は、弁板に連結された一端と、これより傾
斜して延びる他端とを有する板ばねと、この板ばねの上
記他端を上記弁板の面と平行な方向に移動せしめる手段
と、上記弁板が弁座に対向する位置に移動したとき、上
記弁板の更なる移動を阻止せしめる手段とより成ること
を特徴とする。
弁板駆動装置は、弁板に連結された一端と、これより傾
斜して延びる他端とを有する板ばねと、この板ばねの上
記他端を上記弁板の面と平行な方向に移動せしめる手段
と、上記弁板が弁座に対向する位置に移動したとき、上
記弁板の更なる移動を阻止せしめる手段とより成ること
を特徴とする。
【００１１】上記板ばねは略Ｓ字状である。
【００１２】上記弁板の更なる移動を阻止する手段は、
その一端を上記弁板に連結し、他端をゲートバルブ外匣
に固定した所望の長さのロープであることを特徴とす
る。
その一端を上記弁板に連結し、他端をゲートバルブ外匣
に固定した所望の長さのロープであることを特徴とす
る。
【００１３】上記弁板の更なる移動を阻止する手段は、
上記弁板の更なる移動を阻止する手段が、その一端を上
記弁板に連結し、ゲートバルブの外匣に固定した中空筒
状体内に小径部を介して延ばし、他端に上記小径部より
大径のストッパーを取り付けたロープであることを特徴
とする。
上記弁板の更なる移動を阻止する手段が、その一端を上
記弁板に連結し、ゲートバルブの外匣に固定した中空筒
状体内に小径部を介して延ばし、他端に上記小径部より
大径のストッパーを取り付けたロープであることを特徴
とする。
【００１４】上記板ばねの上記他端を移動せしめる手段
は、ゲートバルブ外匣に固定したピストンシリンダ装置
のピストンであることを特徴とする。
は、ゲートバルブ外匣に固定したピストンシリンダ装置
のピストンであることを特徴とする。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下図面によって本発明の実施例
を説明する。
を説明する。
【００１６】図１及び図２に示すように、本発明の弁板
５の駆動装置１２は、遮壁３にその側面を固定したピス
トンシリンダ装置１３と、この装置１３のピストンロッ
ド１４と、このピストンロッド１４の遊端と上記弁板５
の上記弁座６に対向する面と反対側の面に夫々その端部
を固定した上記弁板５から上記ピストンロッド１４の遊
端に向って下方に傾斜する略Ｓ字状の板ばね１５と、上
記ピストンシリンダ装置１３の基部と上記弁板５間を連
結するロープ１６とにより構成する。
５の駆動装置１２は、遮壁３にその側面を固定したピス
トンシリンダ装置１３と、この装置１３のピストンロッ
ド１４と、このピストンロッド１４の遊端と上記弁板５
の上記弁座６に対向する面と反対側の面に夫々その端部
を固定した上記弁板５から上記ピストンロッド１４の遊
端に向って下方に傾斜する略Ｓ字状の板ばね１５と、上
記ピストンシリンダ装置１３の基部と上記弁板５間を連
結するロープ１６とにより構成する。
【００１７】なお、上記ピストンシリンダ装置１３の基
部には上記ピストンロッド１４の中心部を貫通して延び
る中空の筒状体１７を設け、この筒状体１７の上端に上
記ロープ１６を貫通する小径部１８を形成し、この小径
部１８を貫通した上記ロープ１６の下端には上記小径部
１８より大径のストッパー１９を取り付ける。２０は上
記弁座６に対面する上記弁板５の面に設けたシールパッ
キングである。
部には上記ピストンロッド１４の中心部を貫通して延び
る中空の筒状体１７を設け、この筒状体１７の上端に上
記ロープ１６を貫通する小径部１８を形成し、この小径
部１８を貫通した上記ロープ１６の下端には上記小径部
１８より大径のストッパー１９を取り付ける。２０は上
記弁座６に対面する上記弁板５の面に設けたシールパッ
キングである。
【００１８】本発明のゲートバルブの弁板駆動装置は、
上記のような構成であるから、開口４を開く場合にはピ
ストンシリンダ装置１３を操作して図１に示すようにピ
ストンロッド１４を引き込み状態とし、上記ピストンロ
ッド１４に板ばね１５を介して連結した弁板５を開口４
から退避した位置ならしめる。
上記のような構成であるから、開口４を開く場合にはピ
ストンシリンダ装置１３を操作して図１に示すようにピ
ストンロッド１４を引き込み状態とし、上記ピストンロ
ッド１４に板ばね１５を介して連結した弁板５を開口４
から退避した位置ならしめる。
【００１９】開口４を閉じる場合には、図３に示すよう
にピストンロッド１４を最大伸長状態より若干前の状態
とし、この位置で上記弁板５を開口４にこれより若干側
方に離間した位置で対向せしめ、また、ロープ１６のス
トッパー１９が上記筒状体１７内を上昇し、上記小径部
１８に突き当たってロープ１６によって弁板５の更なる
上昇が阻止される位置ならしめる。
にピストンロッド１４を最大伸長状態より若干前の状態
とし、この位置で上記弁板５を開口４にこれより若干側
方に離間した位置で対向せしめ、また、ロープ１６のス
トッパー１９が上記筒状体１７内を上昇し、上記小径部
１８に突き当たってロープ１６によって弁板５の更なる
上昇が阻止される位置ならしめる。
【００２０】次に、図４に示すように図３に示す位置か
ら更にピストンロッド１４を上昇せしめる。この場合に
は弁板５はロープ１６によってその上昇が阻止されるか
ら板ばね１５が変形し、板ばね１５の傾斜が少なくなっ
た分だけ板ばね１５の水平長さが長くなり、その分だけ
弁板５が側方に移動され弁板５が開口４の弁座６に対接
されるようになる。
ら更にピストンロッド１４を上昇せしめる。この場合に
は弁板５はロープ１６によってその上昇が阻止されるか
ら板ばね１５が変形し、板ばね１５の傾斜が少なくなっ
た分だけ板ばね１５の水平長さが長くなり、その分だけ
弁板５が側方に移動され弁板５が開口４の弁座６に対接
されるようになる。
【００２１】なお、本発明においてはＳ字状の板ばねの
使用に限定されるものではなく、これに代えて一端を一
方向に変位した場合、 他端が上記一方向と直交する方
向に変位し得る任意形状の部材、例えば、夫々弁板５及
びピストンロッド１４に固定される端部と、この端部間
を弾性変形部分を介して連結する傾斜部分とより成る部
材を使用できることは勿論である。
使用に限定されるものではなく、これに代えて一端を一
方向に変位した場合、 他端が上記一方向と直交する方
向に変位し得る任意形状の部材、例えば、夫々弁板５及
びピストンロッド１４に固定される端部と、この端部間
を弾性変形部分を介して連結する傾斜部分とより成る部
材を使用できることは勿論である。
【００２２】
【発明の効果】上記のような本発明のゲートバルブの弁
板駆動装置によれば、従来の枢支ピンとリンク及びばね
の作用を傾斜板ばね１５のみによって代行でき、従って
枢支ピン等の使用による不純物発生がなく、また、その
構成を極めて簡単となし得る大きな利益がある。
板駆動装置によれば、従来の枢支ピンとリンク及びばね
の作用を傾斜板ばね１５のみによって代行でき、従って
枢支ピン等の使用による不純物発生がなく、また、その
構成を極めて簡単となし得る大きな利益がある。
【図１】本発明のゲートバルブの弁板駆動装置の縦断側
面図である。
面図である。
【図２】本発明のゲートバルブの弁板駆動装置の要部の
斜視図である。
斜視図である。
【図３】図１に示すゲートバルブの動作説明図である。
【図４】図１に示すゲートバルブの動作説明図である。
【図５】従来のゲートバルブ駆動装置の説明図である。
１ 低真空室 ２ 高真空室 ３ 遮壁 ４ 開口 ５ 弁板 ６ 弁座 ７ 駆動手段 ８ ピストンロッド ９ 枢支ピン １０ 平行リンク １１ 復元ばね １２ 駆動装置 １３ ピストンシリンダ装置 １４ ピストンロッド １５ 板ばね １６ ロープ １７ 筒状体 １８ 小径部 １９ ストッパー ２０ シールパッキング
Claims (5)
- 【請求項１】 弁板に連結された一端と、これより傾斜
して延びる他端とを有する板ばねと、この板ばねの上記
他端を上記弁板の面と平行な方向に移動せしめる手段
と、上記弁板が弁座に対向する位置に移動したとき、上
記弁板の更なる移動を阻止せしめる手段とより成ること
を特徴とするゲートバルブの弁板駆動装置。 - 【請求項２】 上記板ばねが略Ｓ字状であることを特徴
とする請求項１記載のゲートバルブの弁板駆動装置。 - 【請求項３】 上記弁板の更なる移動を阻止する手段
が、その一端を上記弁板に連結し、他端をゲートバルブ
外匣に固定した所望の長さのロープであることを特徴と
する請求項１または２記載のゲートバルブの弁板駆動装
置。 - 【請求項４】 上記弁板の更なる移動を阻止する手段
が、その一端を上記弁板に連結し、ゲートバルブの外匣
に固定した中空筒状体内に小径部を介して延ばし、他端
に上記小径部より大径のストッパーを取り付けたロープ
であることを特徴とする請求項１または２記載のゲート
バルブの弁板駆動装置。 - 【請求項５】 上記板ばねの上記他端を移動せしめる手
段が、ゲートバルブ外匣に固定したピストンシリンダ装
置のピストンであることを特徴とする請求項１、２、３
または４記載のゲートバルブの弁板駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000228343A JP2002039401A (ja) | 2000-07-28 | 2000-07-28 | ゲートバルブの弁板駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000228343A JP2002039401A (ja) | 2000-07-28 | 2000-07-28 | ゲートバルブの弁板駆動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002039401A true JP2002039401A (ja) | 2002-02-06 |
Family
ID=18721643
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000228343A Pending JP2002039401A (ja) | 2000-07-28 | 2000-07-28 | ゲートバルブの弁板駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002039401A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11315939A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-16 | Ckd Corp | ゲート式真空遮断弁 |
| JP2005076845A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ |
| JP2009008256A (ja) * | 2007-06-08 | 2009-01-15 | Vat Holding Ag | 脚部要素を有する真空ゲートバルブ |
| US8215612B2 (en) | 2008-06-12 | 2012-07-10 | Vat Holding Ag | Sliding valve |
| JP2015209977A (ja) * | 2014-04-25 | 2015-11-24 | バット ホールディング アーゲー | バルブ |
| CN107646084A (zh) * | 2015-05-04 | 2018-01-30 | 普利西斯株式会社 | 真空阀用阀叶 |
| KR20230001598A (ko) * | 2021-06-28 | 2023-01-05 | 주식회사 씰테크 | 반도체 진공용 밸브 |
| CN116045018A (zh) * | 2023-03-30 | 2023-05-02 | 成都中科唯实仪器有限责任公司 | 一种大口径矩形插板阀 |
-
2000
- 2000-07-28 JP JP2000228343A patent/JP2002039401A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH11315939A (ja) * | 1998-05-08 | 1999-11-16 | Ckd Corp | ゲート式真空遮断弁 |
| JP2005076845A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ |
| JP2009008256A (ja) * | 2007-06-08 | 2009-01-15 | Vat Holding Ag | 脚部要素を有する真空ゲートバルブ |
| KR101454409B1 (ko) * | 2007-06-08 | 2014-10-27 | 배트 홀딩 아게 | 림부재를 가지는 진공 게이트 밸브 |
| US8215612B2 (en) | 2008-06-12 | 2012-07-10 | Vat Holding Ag | Sliding valve |
| JP2015209977A (ja) * | 2014-04-25 | 2015-11-24 | バット ホールディング アーゲー | バルブ |
| CN107646084A (zh) * | 2015-05-04 | 2018-01-30 | 普利西斯株式会社 | 真空阀用阀叶 |
| CN107646084B (zh) * | 2015-05-04 | 2019-06-18 | 普利西斯株式会社 | 真空阀用阀叶 |
| KR20230001598A (ko) * | 2021-06-28 | 2023-01-05 | 주식회사 씰테크 | 반도체 진공용 밸브 |
| KR102499323B1 (ko) | 2021-06-28 | 2023-02-15 | 주식회사 씰테크 | 반도체 진공용 밸브 |
| CN116045018A (zh) * | 2023-03-30 | 2023-05-02 | 成都中科唯实仪器有限责任公司 | 一种大口径矩形插板阀 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20040420 |