JP2009008256A - 脚部要素を有する真空ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

【課題】開口上で移動し、その開口に閉鎖ディスクを押し付けることにより気密閉鎖する閉鎖ディスクを備えた真空ゲートバルブを提供する。
【解決手段】閉鎖ディスク4に連結されている連接棒6が、線形ドライブ装置7を用いて直線的に調節可能である。よって、閉鎖ディスクが開口2を覆っていない位置Oと、開口2上に突出している中間位置との間で移動可能である。係合要素10aにより、閉鎖位置で、閉鎖面5を有する閉鎖ディスクをバルブシート3に押し付けることが可能である。また、２つ以上の脚部において、一方の脚部端部が第１結合部14を通って閉鎖ディスクの背面9に、他方の脚部端部が第２結合部16を通って支持材22に、回転可能に設けられている。脚部13と背面と支持材とで、連結式の平行四辺形25を形成する。薄壁の曲げやすい部分で構成されている各第１・第２結合部を有する各脚部13が、一体に形成されている。
【選択図】図１ａ

Description

本発明は、開口の上を閉鎖ディスクが移動して、２つ以上の脚部を用いて前記開口の上に前記閉鎖ディスクを押し付けることにより、前記開口を気密閉鎖する前記閉鎖ディスクを備えた真空ゲートバルブに関する。

従来技術において様々な実施形態で、バルブハウジング内に設けられた開口を通り流れる流路を実質的に気密閉鎖のための真空バルブが知られている。真空ゲートバルブは、特に、ＩＣや半導体製造の分野において用いられ、そのような分野では、できるだけ汚染粒子の存在しない保護された空気の中で製造を行わなければならない。例えば、半導体ウェハまたは液晶基板の製造工場では、高感度の半導体素子または液晶素子が複数のプロセス室を連続して通過し、プロセス室内の半導体素子または液体素子が各処理装置によって処理される。プロセス室内で処理している間、およびプロセス室から別のプロセス室へ移動中は、高感度の半導体素子が常に保護された空気中に、特に、真空中に存在していなければならない。各プロセス室は、例えば連結通路を介して互いに連結されている。それにより、あるプロセス室から次のプロセス室へとパーツを運ぶために、プロセス室が真空ゲートバルブを用いて開けられ、各プロセス工程の実行後、気密に閉鎖される。そのような使い方をする真空ゲートバルブは、真空切換バルブ(Ｖａｃｕｕｍ ｔｒａｎｓｆｅｒ ｖａｌｖｅ)と呼ばれ、あるいは、その開口の断面から矩形ゲートバルブ（Ｒｅｃｔａｎｇｕｌａｒ ｖａｌｖｅ）とも呼ばれる。

従来技術で、特に、密閉およびドライブ技術において、真空バルブのさまざまな実施形態が開示されている。それぞれのドライブ技術によって、特に、主として真空ゲートバルブ（バルブゲートまたは矩形ゲートとも称される）と、シャトルバルブ（Ｓｈｕｔｔｌｅ Ｖａｌｕｖｅ）とに区別される。従来技術では、閉鎖と開放が一般的に２段階で行われる。

第１のステップにおいて、米国特許第６４１６０３７号（Ｇｅｉｓｅｒ）又は米国特許第６０５６２６６号（Ｂｌｅｃｈａ）で開示されているゲートバルブの場合、バルブの閉鎖、特に、閉鎖ディスクが、バルブシートに対して実質的に平行に開口の上を移動する。また、米国特許第６０８９５３７号（Ｏｌｍｓｔｅｄ）で開示されているシャトルバルブの場合では、閉鎖ディスクとバルブハウジングのバルブシートとの間に接触が起こることなく、開口の上で回転軸を中心にピボット回転する。第２のステップにおいては、閉鎖ディスクの閉鎖面をバルブハウジングのバルブシートの上に押し付けて、開口を気密に閉鎖する。シーリングは、例えば、閉鎖ディスクの閉鎖面が押されるのに対して、閉鎖ディスクの閉鎖面に配置されて、開口の周りを動くバルブシートに押しつけられるガスケット、あるいはバルブシートのガスケットにより、成し遂げられる。

従来技術において、さまざまなシーリング装置は、例えば、米国特許第６６２９６８２号で開示されている。ガスケットに適切な材料として、例えば、商品名「ヴィトン（Ｖｉｔｏｎ（登録商標））」で知られている弾力性のあるシーリング材がある。

２つのステップにおいて行われるゲートバルブの閉鎖の動作は、異なる装置により達成される。例えば、２つの連接棒に設けられているバルブ閉鎖が、連接棒を介して、実質的には連接棒に沿った線形の動きによって、ドライブ装置に接続されている。そのドライブ装置は、開口の上で平行に閉鎖ディスクを移動させることにより、開口を閉じている。また、同じドライブ装置を使って、連接棒の旋回により、開口の反対側に位置し、その開口と離れていてバルブシートと平行である閉鎖ディスクを、バルブシートの方向に旋回させ、そして、垂直にバルブシート上へ閉鎖ディスクを押し付けることも可能である。２つの連接棒の代わりに、１つの連接棒だけを用いることも可能であり、また、複数の連接棒の使用も同様に可能である。

そのようなドライブ装置のさまざまな種類は、従来技術によって明らかにされ、いずれの場合においても、わずかに異なる連接棒の移動経路になっている。そのため、閉鎖ディスクも異なる移動経路になる。したがって、例えば、バルブシート上で弧に沿って閉鎖ディスクを旋回させる代わりに、バルブシートに対して垂直な閉鎖ディスクの完全な線形動作を行うことができる。上述したような開口の上に閉鎖ディスクを線形に動かし、開口の周りを動くバルブシート上に垂直に閉鎖ディスクを押し付けることができるドライブ装置は、米国特許第６４３１５１８号、米国特許第５４１５３７６号、米国特許第５６４１１４９号、米国特許第６０４５１１７号、米国特許第５９３４６４６、米国特許第５７５５２５５号、米国特許第６０８２７０６、米国特許第６０９５１８０、および、米国特許第６６２９６８２号で、開示されている。

２つのステップで行われる閉鎖プロセスで、連接棒を旋回させることにより、結果として、垂直にバブルシート上に閉鎖ディスクの線形動作が行われるので、ガスケットが破壊されるかもしれない力を少しも受けないということを意図する。

しかしながら、２つのステップの動作シーケンスは、複数の別々のドライブ装置によって達成される。例えば、米国特許第６０５６２６６号（Ｂｌｅｃｈａ）と米国特許第６５６１４８４号（Ｎａｋａｇａｗａ）において、連接棒が連接棒軸だけに沿って直線的に移動可能で、その結果、閉鎖ディスクが閉鎖ディスクとバルブシートとの間で接触することなく開口の上に並行に移動させることが可能であるゲートバルブを記載している。このドライブ装置は、この場合において、シンプルな線形動作ドライブ、例えばシリンダドライブで作られている。バルブシート上に閉鎖ディスクを押し付けることは、２つの閉鎖ディスクで、または、閉鎖ディスクと連接棒との間において、別々のドライブ装置によって達成される。この別々のドライブ装置は、具体的には、米国特許第６０５６２６６号（Ｂｌｅｃｈａ）で示されているように、線形に、かつ垂直にバルブシート上に閉鎖ディスクの閉鎖面を押すことができるシリンダドライブ装置である。

米国特許第６５６１４８３号（Ｎａｋａｇａｗａ）および米国特許第６５６１４８４号（Ｎａｋａｇａｗａ ｅｔ ａｌ．）では、２つの構成部品から構成される閉鎖ディスクを備えたゲートバルブを開示している。第１のディスク部分は開口を備え、第２のディスクの部分は、延長可能な本体で、第１のディスク部分に接続されている。作動装置を、第１・第２のディスク部分の間に設け、２つのディスク部分を互いに近づけたり、離したりしている。延長可能な本体は、ベローズ状である。第１のディスク部分は、作動装置によってバルブシートに対して押しつけられ、第２のディスク部分は（特に、バブルシート面上に過圧する場合）選択的に、反対側のバルブハウジング面上に支持される。閉鎖ディスクでドライブを有するそのような真空バルブの設計は、特に、ベローズ、または、第１のディスク部分を第２のディスク部分およびバルブシートに封止するための複数のシーリングリング、を使用する必要性があるので、比較的複雑になる。また、メンテナンスに関しても不便であり、さらに汚れの影響を受けやすい。

一般的に従来技術の真空バルブの欠点として、上述したように、できるだけ離れて線形に、２つの方向で、実質的には互いに直角の方向で、２つの動作を行わなければならない１つ以上のドライブシステムの構造が、比較的複雑になる。

米国特許第５７６９９５２号（Ｋｏｍｉｎｏ）では、切換バルブの形をしていて、線形動作ドライブと、連接棒軸に沿って線形的に移動可能な連接棒と、閉鎖ディスクと、を備えているゲートバルブを開示している。その閉鎖ディスクは、２つの脚部を介して連接棒に接続されている。閉鎖方向へ連接棒軸に沿って線形的な連接棒の移動によって、その閉鎖ディスクは、バルブの開口の上で平行に移動する。さらに、その閉鎖ディスクは、開口の周りのバルブシートと反対方向に、かつそのバルブシートから離れたところに存在する。２つの脚部において、一方の脚部端部が、連接棒に直角に延長し、かつ、バルブシートの平面に平行に走るクロスバーに設けられ、そして、他方の脚部端部が、ピボット軸により回転可能な方法で閉鎖ディスク上に設けられている。両方の脚部は、クロスバーの方向に互いに平行に配置され、各脚部の場合において、閉鎖ディスク、およびクロスバーに対する共通の幾何学的な回転軸を有している。その脚部は、クロスバー側で幾何学的な回転軸が、連接棒の線形動作方向の閉鎖する方向に対して、閉鎖部側で回転軸の下に存在するように、閉鎖ディスクを保持する。それにより、連接棒の閉鎖する方向に対して閉鎖ディスクに作用する力は、閉鎖する方向に対して、２つの回転軸の間の距離を縮める。ガイドローラーは、閉鎖ディスクの線形動作部分の端部に配置される。閉鎖ディスクとガイドローラーとの間に接触があった場合には、閉鎖ディスクは、閉鎖する方向にそれ以上移動することができない。しかしながら、線形動作ドライブは、力を閉鎖ディスクにかけ続けるので、脚部が外側に旋回させることができる。したがって、閉鎖ディスクはバルブシートの方向に移動され、そして、バルブシートの上に押しつけられる。

脚部構造を有するそのようなゲートバルブの利点としては、連接棒が線形的に移動するだけなので、比較的簡単に設計されたドライブとなる。しかしながら、連接棒軸上に垂直に作用し、連接棒軸受部に吸収されなければならない力には、問題が生じる。また、閉鎖ディスクは、ガイドローラーに支えられて、それにより大きな力を吸収しなければならないので、閉鎖ディスクを大きなサイズで設計しなければならない。さらに、回転軸の配置により、バルブシートと閉鎖ディスクとの平行調整を、確実に行えない。その結果、閉鎖ディスクが最初にバルブシートと斜めに接触したままになり、シール上のせん断力が避けられず、均等に分布した接触力を確実に作り出すことができない。また、ガイドローラーおよびピボット軸を使うことにより、粒子の生成が、特に摩擦により避けられない。そのため、粒子が存在しないという状態を確実にすることができない。

日本特許第６０２２２６７０号において、閉鎖部分が、平行四辺形の形で回転可能で、かつ、連接棒の移動方向において離れて平行に位置している２つの脚部を用いて、線形移動可能に連接棒に設けられている真空ゲートバルブが、記載されている。その脚部を通って平行四辺形のように取り付けることにより、閉鎖部分は常に連接棒およびゲートバルブに平行に調整される。閉鎖部分が、線形動作可能な連接棒を閉鎖する方向に、外側に旋回するとき、閉鎖部分が開口の上に設けられたストッパーに接触するまでは、その閉鎖部分はバルブの開口の上に平行な連接棒の線形動作によって動かされる。このストッパーは、閉鎖部分が閉鎖する方向にさらに動くことを防ぐ。しかしながら、連接棒がさらに閉鎖する方向に移動するので、閉鎖部分がバルブシートに押し付けられ、開口が閉じられる。それにより、脚部がバルブシートの方向の外側に回転する。

上述のバルブの場合、その脚部は、ボルトを用いて連接棒および閉鎖部分に取り付けられている。そのため、記載されているピボット構造において、関連のある摩擦動作により摩擦粒子が生じる多数の摩擦ポイントを有する。このことから、そのようなピボット構造のバルブは、実質的に粒子生成を最小にしなければならない有用な分野に適していない。

米国特許第４４９１１４５号（Ｗｉｌｌｉａｍｓ ｅｔ ａｌ．）、米国特許第５４１５３７５号（Ｇａｂｏｒｉａｕｌｔ）、米国特許第２８４１３６１号（Ｐａｌｍｅｒ）、および、ドイツ国特許第２５７２５４号において、平行四辺形に誘導される機械的に取り付けられた脚部を有するゲートバルブが、開示されている。そのゲートバルブは、脚部から外側に回転することによってバルブシートにバルブ閉鎖を押し付ける。それらの従来技術におけるゲートバルブに関して共通していることは、非常に多くの摩擦ポイントのせいで、特に、脚部の軸において、それらの操作が、比較的多量の粒子の発生と関連している。ただし、自由な粒子が最小に保持される高い清浄度の真空セクタにおいてのゲートバルブの使用は、実質的に外す。

非常に高い真空技術、特に、半導体製造において、最初に述べた従来の真空バルブの必要条件は、特に、比較的シンプルなドライブを有し、一般的な必要条件にあう真空切換バルブでは、できるだけ最小の粒子生成に対して、今まで望ましい状態で満たされることができなかった。

したがって、本発明の目的は、比較的簡単に設計されたドライブ装置で、ほとんど粒子が発生しない、そして、シール上の摩擦を抑え、高い荷重容量の、優れた保守性のある真空ゲートバルブ、特に、真空切換バルブを提供することである。

上記目的は、独立請求項に記載の特徴を実現することにより達成される。本発明を代替的又は有利な仕方で発展させる特徴は、本願の従属請求項に記載されている。

本発明にかかる真空ゲートバルブは、開口と、開口の周囲を動くバルブシートと、を有するバルブ壁で構成されている。開口は、例えば、矩形の断面であり、半導体素子を動かすために特に適している。その開口の断面を円形、または他の形にすることも可能である。閉鎖面を有する閉鎖ディスクは、実質的に開口の気密閉鎖のために役に立つ。閉鎖ディスクは、完全に開口と重なって、バルブシートを押し付けることができるように設計されている。バルブシートと閉鎖面との間で気密接続が実現できるように、シーリング要素、具体的には、密封用のＯリング（Ｏ−ｒｉｎｇ）が、閉鎖面および／またはバルブシートに設けられる。バルブシートは、閉鎖ディスクが密閉する開口の閉鎖するところで止まる表面として解釈され、一般的に理解されている。

１つ以上の連接棒が、機械で少なくとも閉鎖ディスクに間接的に連結され、そして、閉鎖ディスクを線形ドライブ装置に接続する。閉鎖ディスクをさらに安定させるために、２つの連接棒が設けられている。連接棒は、その連接棒の軸に沿って実質直線的に、すなわち、一直線、または平行に、線形ドライブ装置により移動可能である。その線形ドライブ装置は、その２つの連接棒、または複数の連接棒の並進運動をもたらすあらゆる所望の線形ドライブで形成することができる。そのような線形のドライブは、空気式のドライブ、機械式のドライブ、その他適切なドライブなど、１つ以上のドライブで作られている。機械式ドライブには、例えば、ねじ付きスピンドルドライブ、ポールねじ、パンタグラフドライブ、電気機械の線形ドライブ、水圧シリンダといったようなものがある。そのようなバルブ用ドライブ装置は、従来技術で開示されている。線形ドライブ装置が、連接棒を連接棒軸に沿って移動することができる２つの方向を、移動方向、または、２つの移動方向として、以下に記載する。線形の、または直線の移動は、実質的にはまっすぐと見なされているわずかな円弧の形の動きも含まれているものとして理解されている。

機械的に（少なくとも間接的に）連接棒に、具体的には、線形ドライブ装置の反対側にある連接棒の端部に連結された閉鎖ディスクは、線形ドライブ装置により直線的に移動可能である。そのため、閉鎖ディスクが、開口を覆っていない位置と開口の上を移動している中間位置との間で、バルブシートと平行に、または、開口と平行に移動可能なように、線形ドライブ装置と、連接棒と、閉鎖ディスクとが互いに連結され、形成されている。この中間位置において、閉鎖面は、バルブシートまたは開口と向かい合う位置で、実質的には平行に離れている位置で、開口上に部分的に少なくとも存在する。非垂直で、斜めの動作、またはピボット動作においては、バルブシート上の閉鎖面の中心で、正しい位置に配置されてから、開口の気密閉鎖が必要とされる。したがって、バルブシート上で閉鎖ディスクと垂直な動作で気密閉鎖するために、あるいは、閉鎖面がバルブシートと向かい合う位置で部分的に重なり合って、横方向に存在するために、真空ゲートバルブの構造に応じて、閉鎖面がバルブシートと反対位置の中間位置で、正確には、バルブシートと平行に、開口の中心と重なる位置で存在する。

閉鎖ディスクが、中間位置から開口へと移動する連接棒および閉鎖ディスクの線形移動方向を、閉鎖方向と称す。すなわち、開口を覆っていない位置から、開口を気密閉鎖する位置までの移動する方向を、閉鎖方向とする。

２つ以上の脚部が、閉鎖ディスクの背面へと延びている。閉鎖ディスクの背面とは、閉鎖面と向かい合う閉鎖ディスクの側面、すなわち、閉鎖面と反対側にある面のことである。この２つ以上の脚部は、連接棒の２つの移動方向で回転可能である。これは、脚部の回転軸が、移動方向と平行ではない、つまり連接棒軸と平行ではないことを意味する。好ましくは、この回転軸が移動方向と垂直であり、かつ、バルブシートの平面および開口の平面と平行であることが望ましい。

２つ以上の脚部は、回転可能に平行四辺形の形で形成され、そして、互いに連結されていて、連接棒の移動方向で平行に離れて設けられている。２つ以上の脚部のそれぞれの一方の端部が、第１結合部を通って閉鎖ディスクの背面に取り付けられると共に、２つの脚部のそれぞれの他方の端部が、第２結合部を通って支持材に取り付けられている。２つ以上の脚部と、閉鎖ディスクの背面と、支持材とで、２つ以上の第１結合部および２つ以上の第２結合部で連結された平行四辺形の形に形成される。これにより、閉鎖ディスクと支持材は、連接棒の２つの移動方向で互いに平行で離れて、回転可能である。

つまり、２つ以上の平行な脚部が、平行四辺形の形で、それらを回転させることができるように設けられている。幾何学的に連結された平行四辺形は、２つの脚部それぞれの場合において、４つの支持点により定義される。そのため、これらの４つの支持点のうち２つ、すなわち、２つの第１結合部は、閉鎖ディスクで調整され、そして、残りの２つの支持点、すなわち、２つの第２結合部は、閉鎖ディスクの反対側にある２つの脚部間の接続で調整される。支持材の形において、閉鎖ディスクと、閉鎖ディスクの反対側のこの接続を作り出すためのさまざまな可能性は、特に、具体的な実施例に関しては、以下に記述する。

本発明によれば、各第１結合部および各第２結合部を有する脚部は、弾力材から構成される共通の一体部品を形成する。２つ以上の脚部の各々が、２つの脚部の端部で結合部に直接遷移を有する。それぞれの結合部と脚部は、共通の材料で構成された一体部品である。前記結合部は、脚部の一方の端部および他方の端部において薄壁の軟質形材によって形成される。したがって、前記脚部は、より少ない弾力性の部分と、２つの部分とから構成される。より少ない弾力性の部分は、実際の脚部として用いられ、背面と支持材との間で延長し、それらを接続する。そして、その２つの部分は、第１結合部および第２結合部を形成する回転軸のあたりで形成されており、弾力があって曲げやすい。そのため、結合部の範囲内で達成される薄壁の特徴と柔軟性とを、脚部の原型の中で対応する鋳型によって、あるいは、例えば非切削仕上げ、または最終的な機械加工で対応することによって作ることができる。各第１結合部、および各第２結合部は、一体丁番（Ｌｉｖｉｎｇ ｈｉｎｇｅ）の形に形成することができる。薄型の弾力性のある部分は、それぞれの場合において、折り曲げによって形成される。そのような一体丁番の一部が、特に、パッケージング技術、例えばポリプロピレンパックのフラップクロージャ（Ｆｌａｐ ｃｌｏｓｕｒｅ）の場合で知られている。そのような丁番（蝶番）は、多くの場合、その可撓性によって、接続された部分の特定な回転動作を可能にするために折り重なった形で、実質的に薄壁の結合部を備えている。この丁番を形成するための非常に最適な材料は、その優れた耐摩耗性によるポリマー群に属するポリプロピレンである。また、対応する材料特性によって区別される他のプラスチック、一般に熱可塑性プラスチック、または、熱硬化性プラスチックを、同様に用いることができる。さらに可能性がある材料としては、例えば、シリコン、アルミニウムのような金属材料、スチール材、適した合金などがある。それらの材料は、曲げやすい蝶番として使用する弾力性において、優れている。

脚部の結合部分においては望まれるが、脚部の中間部分、すなわち、脚部の真ん中では望まれない傾向にある材料の柔軟性は、結合部分に対して比較的薄壁の設計によって提供することができる。そして、それはまた、物質の取り扱い、特に、異なる熱材料の処理により、異なる可撓性を達成することを可能にする。また、結合部間の脚部領域において、追加の構成要素、例えば、被膜層、スリーブ、あるいは、塗装を通って、柔軟性を達成することも可能である。

脚部および結合部を一体形成することにより、すなわち、脚部および結合部を蝶番の形出形成することにより、異なる部品間の摩擦および摩擦粒子に関連する形成を避けることができる。したがって、本発明による真空ゲートバルブは、ほとんど粒子生成することなく、閉鎖することができる。ゆえに、この理由から、非常に高い清潔度が必要とされる高感度の利用において、非常に最適である。

さらに、本発明によるゲートバルブは、バルブ壁、または、線形ドライブ装置で、運動学的に調整される係合要素、あるいは、バルブ壁または線形ドライブ装置に連結されている係合要素を構成している。幾何学的な連結式の平行四辺形の部分が、閉鎖方向に向かって中間位置に達した後、閉鎖方向にさらに移動しないように、係合要素は設計されている。上述したように、幾何学的な連結式の平行四辺形は、第１結合部および第２結合部を含む２つ以上の脚部と、閉鎖ディスクの背面と、支持材とによって形成されている。したがって、その平行四辺形は、運動学的に連結された要素である。機械的なストッパーによって形成されるだろう係合要素によって、線形ドライブ装置が支持材に連結された際には、閉鎖ディスクがさらに閉鎖方向に移動することを防止し、また、線形ドライブ装置が閉鎖ディスクに連結された際には、支持材がさらに閉鎖方向に移動することを防ぐことが望ましい。

係合要素によって防ぐことができない部分が、連接棒を配置しているところにある。実施形態に応じて、ここでは、連接棒が支持材に連結されている場合において、閉鎖ディスクが連接棒によって直線的に移動するので、連接棒を閉鎖ディスクの側面に配置することができる。あるいは、脚部が連接棒と閉鎖ディスクとの間で運動学的に存在することができる。ゆえに、係合要素は、閉鎖ディスク側、または、閉鎖ディスクの反対側にある支持材側のいずれか一方の脚部要素の部分が移動することを防ぐことができる。

すなわち、閉鎖ディスク側、あるいは、支持材側に、直接的または間接的に、取り付けられる連接棒の配置に応じて、係合要素により閉鎖方向にさらに移動することを防止する。そして、この防止された部分は、支持材または閉鎖ディスクで形成される。防止されていない部分、つまり、連接棒で調整される部分と比較して、脚部装置の他の部分は、閉鎖方向に回転する。したがって、幾何学的な平行四辺形は、長方形ではなく、連接棒が配置されている防止されていない部分に関して、閉鎖方向に延長する。

ゆえに、閉鎖方向で起こる連接棒のさらなる移動において、幾何学的な平行四辺形が長方形の状態に近づくという事実によって、閉鎖ディスクの閉鎖面が、ゲートバルブの閉位置でバルブシートに押しつけられて、開口が気密閉鎖されるように、脚部要素が外側に回転する。すなわち、閉鎖ディスクがバルブシートに向かって押し付けられるので、連接棒に配置されている脚部装置と、係合要素によって閉鎖方向に生じる連接棒に対するさらなる移動を防ぐ部分との間の距離が、バルブシートの平面、または、開口の平面に対して垂直な方向に、増加する。それにより、バルブシートから離れる方向に向いている脚部装置部分は、バルブシートの平面、または、開口の平面に対して垂直な方向に、支持される。したがって、バルブシート上の接触力は、閉鎖方向で連接棒の線形動作により起こるレバーアクションによって生じる。

もちろん、本発明の範囲内で、複数の脚部、具体的には互いに平行に配置された２つの脚部の代わりに、３つ、４つ、５つ、６つ、またはそれ以上の脚部を、使うことも可能である。

本発明の第１実施形態において、２つ以上の脚部と、第１結合部と、第２結合部と、第１脚部接続部と、第２脚部接続部とが、弾力材からなる一体の脚部要素である。第１脚部接続部は、第１結合部を接続して、閉鎖ディスクの背面に配置されている。また、第２脚部接続部は、第２結合部を接続して、第１脚部接続部と平行な支持材に配置されている、あるいは、支持材を形成する。この実施形態において、幾何学的な平行四辺形は、常に平行な外側のいくつかの脚部と、常に互いに平行な第１脚部接続部と第２脚部接続部とによって形成される。最も離れている平行な脚部の間に、所望のさらなる脚部を第１・第２脚部接続部の間に設けてもよい。それにより、脚部要素の安定性とバルブシート上における閉鎖ディスクの最大限の接触力が、かなり増加する。それらの脚部の端部では、その結合部を形成する薄壁の部分において、その脚部が第１・第２脚部接続部に対して一体移動する。

特に、複数の脚部要素が並んで設けられる。この実施形態のさらなる発展としては、第２脚部接続部が、支持材に接続される代わりに、支持材によって形成される。

一体の脚部要素が、プラスチック、具体的には、ポリプロピレンのような、シリコンあるいは金属材料の適合するポリマーや、アルミニウム材料またはスチール材料の合金で、構成されることが好ましい。

２つ以上の脚部を平行に配置する利点として、閉鎖ディスクの閉鎖面が、最初の接触でバルブシートと平行に配置されて、バルブシートに押しつけられる。ゆえに、バルブシートと閉鎖面との間に配置されたシールの摩擦が相当減り、プロセスの信頼性が増加する。係合要素と脚部要素との間の相対的な動きが必要ないので、粒子発生をかなり減らすことができる。これは、半導体製造の分野では非常に重要である。２つ以上の脚部を使用することにより、１つの線形ドライブ装置だけの使用にもかかわらず、バルブシートにおいて非常に優れた閉鎖ディスクの接触力を達成することができる。本発明によれば、脚部要素（脚部装置）を一体に形成することができるので、摩擦をほぼ完全に避けることができる。その結果、ほとんど摩擦粒子を出さず、それにより粒子発生をさらに減らすことができる。特に、線形ドライブ装置のおかげで、本発明における真空ゲートバルブは、比較的簡単な設計と優れた保全性によって、さらに優れている。

以下に、本発明である真空ゲートバルブについて、図面に示される実施形態に基づいてより詳細に説明する。

図１ａ・１ｂ・１ｃ、および図２ａ・２ｂ・２ｃでは、閉鎖ディスクが異なる位置で、それぞれの場合において同じゲートバルブを示している。繰り返し述べる参照番号は、図と実施形態において省略する。図１ａ〜図２ｃは、簡略化した概略図を示す。図３では、多少詳細な斜視図を示し、図４では、脚部要素または脚部の側面図を示す。図３と図４においては、一部の例において図１ａ〜図２ｃと共に説明される。

図１ａは、切換バルブにおける真空ゲートバルブの第１実施形態を示している。その真空ゲートバルブは、切換バルブ用の代表的な矩形の開口２と、その開口２の周りを動くバルブシート３と、を備えているバルブ壁１を有している。さらに、開口２を気密閉鎖するための閉鎖面５を有する閉鎖ディスク４が設けられている。シール２３、特に閉鎖面上に加硫処理されたシールは、開口２と向かい合って、バルブシート３の平面と平行に閉鎖面５に設けられている。また、シール２３は、バルブシート３の上で静止することができ、かつ、バルブシート３と共に気密接触することができるように、閉鎖ディスク４の閉鎖面５に配置されている。

閉鎖ディスク４は、閉鎖ディスク４の回転軸１７で回転可能にするために、２つの平行な連接棒６に取り付けられている。したがって、閉鎖ディスク４は機械的に連接棒６と連結される。図１ａ〜図１ｃの２つの連接棒６は、同じ高さで重なっているので、図面上では、２つの連接棒６のうちの１つの連接棒６だけが記載されている。連接棒６の長手方向の中心軸は、連接棒軸８として表す。閉鎖ディスクの回転軸１７は、連接棒軸８に垂直であり、バルブシート３の平面と平行である。ゆえに、回転軸１７と開口２の平面は、平行である。回転は、例えば蝶番（丁番／ヒンジ）のような結合によって可能となり、そして、閉鎖面５がバルブシート３と比較して、その平行方向から数度だけしかそれることができないので、その回転は制限される。比較的大きな範囲で回転可能であるが、ばね機構の装置では、閉鎖ディスク４を実質的にバルブシート３に平行となるように維持する。

連接棒６は、線形ドライブ装置７、例えば空気圧シリンダに接続される。それにより、その連接棒６に沿った２つの移動方向１１で前後に、連接棒６が直線に、すなわち線形に移動可能である。この実施形態において、移動方向１１は連接棒軸８に平行である。また、もう１つの方法として、連接棒６を閉鎖ディスク４に斜めに接続することが可能である。この場合、移動方向１１は、正確に連接棒軸８に沿って移動することはできない。そのため、連接棒軸８は、閉鎖ディスク４の線形移動可能な幾何学的な軸として定義される。線形ドライブ装置７により、閉鎖ディスク４は位置Ｏと中間位置Ｉとの間で移動することができる。位置Ｏは、図１ａに示すように、完全に開口２を覆ってなく、かつ、閉鎖ディスク４が開口２の側に存在して、前記開口に突出していない位置である。また、中間位置Ｉは、図１ｂに示すように、閉鎖ディスク４が開口の上を移動していて、閉鎖面５がバルブシート３の反対側の位置で、平行に離れた距離で少なくとも部分的に存在する位置である。その移動は、実質的にバルブシート３と平行に行われる。連接棒６を含む線形ドライブ装置７は、線形ドライブ装置の回転軸１８で回転可能にするために設けられている。その回転軸１８は、連接棒軸８に垂直であり、バルブシート３の平面および閉鎖ディスクの回転軸１７と平行である。開始状態で線形ドライブ装置７は、特に、重力および／または、ばね（図示せず）を用いて、移動方向１１が実質的にバルブシート３の平面に平行となるように、位置付けられている。

この実施形態において、５つの脚部１３で構成している２つの脚部装置は、閉鎖ディスク４の閉鎖面５と反対側にある背面９に、並んで配置されている。したがって、２つの脚部装置は、図１ａ〜図１ｃでは同じ高さで重なっているため、図面上では、２つの脚部装置のうちの１つの脚部装置だけが記載されている。５つの脚部１３を有する脚部装置の詳細は、図４で詳しく説明する。脚部装置は、背面９に延びていて、５つの平行な脚部１３を有する。その脚部１３は、平行四辺形となるように回転可能に互いに連結されている。また、各脚部１３は、連接棒６の移動方向１１において、平行に間隔をあけて設けられている。図１ａ〜図１ｃのかなり簡略された図において、５つの脚部１３は、概略的に示され、かつ、簡略化されている。５つの脚部１３の代わりに、２つ、３つ、４つ、６つ、または、さらに多くの数の平行な脚部１３を設けることも可能である。その脚部１３は、連接棒６の移動方向１１で回転可能である。

図１ａと図４に示すように、脚部１３は、一方の脚部端部２６において、第１結合部１４を通って閉鎖ディスク４の背面９に回転可能に取り付けられ、他方の脚部端部２７においては、第２結合部１６を通って支持材２２に取り付けられている。支持材２２は、連接棒６の２つの移動方向１１で、閉鎖ディスクに対して回転可能であり、その支持材が閉鎖ディスクと平行で、かつ閉鎖ディスクから離れている。それにより、図１ａで示すように、任意の所望の脚部１３と、閉鎖ディスク４の背面と、支持材２２とで、各第１結合部１４および各第２結合部１６により結合されることによって、平行四辺形２５を形成する。

図４でわかるように、それぞれの脚部１３は、部分（ｓｅｃｔｉｏｎ）で構成されている。その部分は、背面９と支持材２２との間で延びていて、実際の脚部１３と、一方の脚部端部２６に形成される第１結合部１４と、他方の脚部端部２７に形成される第２結合部１６と、第１脚部固定部２８と、第２脚部固定部２９と、を形成する。その第１脚部固定部２８は、第１結合部１４の外側に隣接し背面９に固定されて、また、第２脚部固定部２９は、第２結合部１６の外側に隣接し支持材２２に固定される。

本発明によれば、第１結合部１４と、第２結合部１６と、第１脚部固定部２８と、第２脚部固定部２９と、を有する脚部１３は、弾力材から構成される共通の一体部品で形成されている。図４に示すように、第１結合部１４および第２結合部１６は、それぞれの場合において、薄壁の曲げやすい脚部１３の一部分である。具体的には、第１・第２結合部１４、１６は、一体丁番（蝶番／ヒンジ）の形をしていて、薄壁で可撓性のある部分が折り曲げられることにより形成される。

弾性材料は、適切な材料特性を有する任意の望ましいプラスチック、特に、ポリプロピレン、金属材、シリコンなどが好ましい。

第１・第２脚部固定部２８、２９は、例えば、ねじ、または、接着によって、背面９および支持材２２にそれぞれ取り付けられる。

閉鎖ディスク４の移動範囲を越えて突出していて、かつ、開口２およびバルブシート３の反対の位置にある係合部１０ａは、バルブ壁１上に設けられている。図１ｂに示すように、閉鎖ディスク４は、係合部１０ａとバルブシート３との間で、脚部１３と支持材２２と共に中間位置Ｉで存在する。図１ｂで示すように、連接棒６の閉鎖方向１２において、閉鎖ディスクが中間位置Ｉに到達した後、閉鎖方向１２で旋回する支持材２２が、閉鎖方向１２でさらなる移動ができないように、係止部１０ａは設計され、形成される。さらに、図１ｃで示すように、閉鎖位置Ｃで、閉鎖ディスク４の閉鎖面５がバルブシート３の上に押しつけられて、開口が気密閉鎖されるため、閉鎖方向１２において、連接棒６のさらなる移動と共に、脚部１３が外側に回転する。支持材２２は、バルブシート３に対して垂直な方向で係合部１０ａに支持される。脚部１３の平行四辺形の配置により、シール２３が保護されるので、バルブシート３と比べて閉鎖面５の平行方向は、常に維持される。そのため、最適な気密閉鎖が確実となる。バルブシート３の方向において、閉鎖ディスク４の移動は、線形ドライブ装置の側で妨げられないため、脚部１３の回転、および、閉鎖面５とバルブシート３との間の距離を縮めている間に、閉鎖ディスクの回転軸１７で、連接棒６と閉鎖ディスク４との間で回転がおこり、そして、線形ドライブ装置の回転軸１８に関しては、バルブ壁１と線形ドライブ装置７との間で回転がまた起こる。

本発明によれば、図３に関連して下記で更に詳細に記述されるように、好ましい実施形態において、複数の脚部の代わりに、この実施形態においては５つの異なる脚部１３の代わりに、一体型の脚部要素２０ａ、２０ｂを使用することがさらに可能である。

図３では、一体型のそれぞれの脚部要素２０ａ、２０ｂを示している。脚部要素２０ａ、２０ｂは、１つの材料、具体的にはプラスチックで一体形成されている。また、その脚部要素２０ａ、ｂは、４つの平行な脚部１３と、第１脚部接続部１５と、第２接続部２１と、第１結合部１４と、第２結合部１６とから構成されている。ここに示す例において、第１脚部接続部１５および第２脚部接続部２１は、それぞれの場合において、各第１結合部１４同士および各第２結合部１６同士を接続するプラスチックシートで形成されている。第１脚部接続部１５は、閉鎖ディスク４の背面９の上に、第２脚部接続部２１と平行となるように設けられている。図３には示されていないが、図１ａで確認することができる組み立てられた状態では、第２脚部接続部２１は支持材２２に取り付けられている。

脚部１３は、平行四辺形となるように回転可能に設けられている。その脚部１３の一方の端部は、第１脚部接続部１５上に、第１結合部１４で取り付けられ、また、脚部１３の他方の端部においては、第２脚部接続部２１の上に、第２結合部１６で取り付けられている。図１ａに示すように、任意の２つの脚部１３と共に第１・第２脚部接続部１５、２１は、幾何学的な平行四辺形２５を形成する。第１・第２結合部１４、１６は、柔軟な一体のプラスチックヒンジ、例えば、一体丁番である。そのため、本体同士の摩擦や粒子生成を最小にすることができるので、脚部要素２０ａ、２０ｂを、それぞれ場合において、単一のプラスチック製品で構成することが可能である。この実施形態において、第１・第２結合部１４、１６の軸は、バルブシート３の平面と、閉鎖ディスクの回転軸１７と、線形ドライブ装置の回転軸１８と平行であり、そして、連接棒軸８および移動方向１１とは垂直である。

図１ａや図３で示されているように、第２脚部接続部２１を、閉鎖ディスク４および第１脚部接続部１５に対して閉鎖方向１２で回転可能に保持するように、ばね機構１９は脚部要素２０ａ、２０ｂにそれぞれ設けられている。ゆえに、閉鎖ディスク４から見たとき、脚部１３が閉鎖方向１２において、脚部１３の開始位置を示す。

支持材２２は、脚部要素２０ａ、２０ｂの第２脚部接続部２１（図３の実施形態）、あるいは、脚部装置の第２脚部固定部２９（図４の実施形態）を接続するシートで構成されていてもよい。このシートは、特に、閉鎖ディスク４と平行に設けられて、例えば、実質的に閉鎖ディスクの大きさを有する。これに対して、支持材２２は第２脚部接続部２１によって形成される。この場合、支持材２２が第２脚部接続部２１の機能を行い、また逆の場合においても同じである。

この場合においての第２脚部接続部２１は、中間位置Ｉから直接係合部１０ａを係合し、そして、前記係合部による閉鎖方向１２へのさらなる移動を防ぐ。

図２ａ〜図２ｃでは、本発明の第２実施形態を示す。第１実施形態と第２実施形態との実質的な違いは、下記で述べる。また、すでに説明した要素と参照番号については、ここでは省略する。

図２ａ〜図２ｃのゲートバルブの場合、第１の実施形態とは対照的に、脚部１３が、運動学的に連接棒６と閉鎖ディスク４との間に設けられている。そのため、係合部１０ｂは閉鎖ディスク４を係合する。脚部１３は平行四辺形の形をして、回転可能に設けられている。脚部１３の一方の端部が、第１結合部１４において閉鎖ディスク４の背面９上に取り付けられ、そして、脚部１３の他方の端部が、第２結合部１６において支持材２２上に取り付けられている。

図４の脚部と図３の脚部要素２０ａ、２０ｂの両方を使用することが可能である。第１脚部接続部１５は、支持材２２に接続された第２脚部接続部２１と平行である閉鎖ディスク４の背面９に設けられている。閉鎖ディスク４および第１脚部接続部１５が、連接棒６および第２脚部接続部２１に対して、閉鎖方向１２で回転可能にするために保持されるように、ねじ構造１９は脚部要素２０ａ、２０ｂに配置されている。また、ねじ構造の異なる配置において、脚部１３が、図３に示している方向と反対方向に向くので、閉鎖面５に対して垂直な軸において１８０度回転させるために脚部要素２０ａ、２０ｂを配置することも可能である。

第２の実施形態において、支持材２２は、閉鎖ディスク４と平行である連接棒６に設けられている。この支持材２２において、脚部１３が、第２結合部１６で他方の脚部端部とともに、平行四辺形の形で連接棒６に回転可能に取り付けられている。この支持材２２は、断面図が閉鎖ディスク４に対応するシートの形をしていてもよい。一体型の脚部要素２０ａ、２０ｂが使用される場合、第２脚部接続部２１は支持材２２に取り付けられる。

図２ｃに示すように、閉鎖方向１２へ連接棒６のさらなる移動による閉鎖位置Ｃにおいて、閉鎖ディスク４がバルブシート３に押し付けられるように、係合部１０ｂは、中間位置Ｉに到達した後、連接棒６に対して閉鎖方向１２に回転する閉鎖ディスクが、図２ｂに示すように、閉鎖方向１２へとさらに移動することを防止するために、形成されて配置されている。脚部１３、または、脚部要素２０ａ、２０ｂを有する脚部装置は、バルブシート３と垂直な方向で、連接棒６にこのときに支持される。前述した本発明の実施形態では、連接棒６および線形ドライブ装置７が回転することができず、必要な大きさに形成されている。よって、連接棒軸８と垂直に働く力を吸収することができる。

係合部１０ｂは、少なくとも１つの簡単なケーブル、または、チェーンの形にしてもよく、閉鎖ディスク４と線形ドライブ装置７との間に運動学的に拡張することもできる。脚部１３が外側に回転させるために生じるので、閉鎖面５およびバルブシート３が中間位置でお互いに向かい合っているとき、係合部１０ｂにより閉鎖ディスク４と線形ドライブ装置７との間の最大距離は、制限される。

係合部１０ｂによる許可可能な範囲内において、閉鎖ディスク４と線形ドライブ装置７との間の最大距離は、図２ａ〜図２ｃの中で、停止ポイント２４で図式的に説明される。

係合部１０ｂは、ケーブル、特にスチール・ケーブル、または、チェーンのような可撓性のある形に形成される。そのような形に形成された係合部１０ｂの利点として、粒子生成を低レベルにすることができ、さらに、非常に簡単な設計にすることが可能である。

閉鎖方向１２において、例えば、ローラー装置、または開口２の上にバルブ壁１と垂直に延長されたストッパーの形で、閉鎖ディスク４の上に係合部１０ｂを配置することが可能である。

第２実施形態における利点は、図２ｂで示すように、中間位置に到達した後、閉鎖ディスク４がバルブシート３に対して、横方向（閉鎖方向）の移動がもう行われないことである。その結果、バルブシートの上へ正確に垂直な動作で、平行に押しつけられる。したがって、シール２３の摩擦と粒子の発生を低い状態で保つことができる。

前述した実施形態は本発明の代表的な形態を示したに過ぎず、本発明は、実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。

連接棒に取り付けられた開放位置にある閉鎖ディスクを有する第１の実施形態における真空ゲートバルブの断面図である。 中間位置にある閉鎖ディスクを有する第１の実施形態における真空ゲートバルブの断面図である。 閉鎖位置にある閉鎖ディスクを有する第１の実施形態における真空ゲートバルブの断面図である。 開放位置で、連接棒と閉鎖ディスクとの間に設けられた脚部を有する第２の実施形態における真空ゲートバルブの断面図である。 中間位置にある閉鎖ディスクを有する第２の実施形態における真空ゲートバルブの断面図である。 閉鎖位置にある閉鎖ディスクを有する第２の実施形態における真空ゲートバルブの断面図である。 ２つの脚部要素を有する閉鎖ディスクの斜視図である。 第１、第２実施形態における脚部の詳細な側面図である。

符号の説明

１ バルブ壁
２ 開口
３ バルブシート
４ 閉鎖ディスク
５ 閉鎖面
６ 連接棒
７ 線形ドライブ装置７
８ 連接棒軸
９ 背面
１０ａ、１０ｂ 係合部
１１ 移動方向
１２ 閉鎖方向
１３ 脚部
１４ 第１結合部
１５ 第１脚部接続部
１６ 第２結合部
１７ 回転軸（閉鎖ディスクの回転軸）
１８ 回転軸（線形ドライブ装置の回転軸）
１９ ばね機構
２０ａ、２０ｂ 脚部要素
２１ 第２脚部接続部
２２ 支持材
２３ シール
２４ 停止ポイント
２５ 平行四辺形
２６ 一方の脚部端部
２７ 他方の脚部端部
２８ 第１脚部固定部
２９ 第２脚部固定部

Claims (16)

1. 開口（２）と前記開口（２）の周囲を動くバルブシート（３）とを有するバルブ壁（１）と、実質的に前記開口（２）の気密密閉のために役立つ閉鎖面（５）を有する閉鎖ディスク（４）と、前記閉鎖ディスク（４）に機械的に結合されている１つ以上の連接棒（６）と、前記連接棒（６）が２つの移動方向（１１）で連接棒軸（８）に沿って線形に移動することができる線形ドライブ装置（７）と、前記連接棒（６）の移動方向（１１）に平行に間隔をおいて設けられている２つ以上の脚部（１３）と、係合部（１０ａ、１０ｂ）と、を備えた真空ゲートバルブであって、
   前記閉鎖ディスク（４）が、前記開口（２）を覆っていない位置（Ｏ）と、前記閉鎖ディスク（４）を前記開口（２）に押し進めて、前記閉鎖面（５）を前記バルブシート（３）と向かい合わせる位置、すなわち、前記バルブシート（３）と実質的には平行に間隔を置いて離れた位置で、少なくとも前記閉鎖面（５）の一部が存在する中間位置（Ｉ）と、の間で、実質的に平行に移動可能に設けられ、
   前記脚部（１３）の一部分である薄壁の曲げやすい第１結合部（１４）および前記脚部の一部分である薄壁の曲げやすい第２結合部（１６）を有する前記脚部（１３）が、弾力材で一体的に形成され、
   前記脚部（１３）の一方の脚部端部（２６）が、前記第１結合部（１４）を通って前記閉鎖ディスク（４）の背面（９）に回転可能に取り付けられていると共に、前記脚部（１３）の他方の脚部端部（２７）が、前記第２結合部（１６）を通って支持材（２２）に取り付けられ、
   前記閉鎖ディスク（４）および前記支持材（２２）が互いに平行に間隔をあけて前記連接棒（６）の２つの移動方向（１１）に移動可能となるように、前記２つ以上の脚部（１３）と前記閉鎖ディスク（５）の前記背面（９）と前記支持材（２２）とが前記第１結合部（１４）および前記第２結合部（１６）で連結されて、平行四辺形（２５）に形成され、そして、
   前記閉鎖ディスク（４）の前記閉鎖面（５）が、前記バルブシート（３）に押し付けられて、前記開口（４）が気密閉鎖される閉鎖位置（Ｃ）において、前記平行四辺形（２５）の部分が、前記中間位置（Ｉ）に到達した後、前記連接棒（６）の閉鎖方向（１２）にさらに移動しないように、前記係合部（１０ａ、１０ｂ）が設けられていることを特徴とする真空ゲートバルブ。
2. 前記第１結合部（１４）および前記第２結合部（１６）が、折り曲げによって形成された薄壁の可撓性の部分を備えた一体丁番の形に形成されていることを特徴とする請求項１記載の真空ゲートバルブ。
3. 前記２つ以上の脚部（１３）と、前記第１結合部（１４）と、前記第２結合部（１６）と、前記第１結合部（１４）を接続して前記閉鎖ディスク（４）の前記背面（９）に配置されている第１脚部接続部（１５）と、前記第２結合部（１６）を接続して前記第１脚部接続部（１５）と平行な前記支持材（２２）に配置されている第２脚部接続部（２１）または前記支持材（２２）を形成する前記第２脚部接続部（２１）とが、弾力材で構成される一体の脚部要素とされていることを特徴とする請求項１または２に記載の真空ゲートバルブ。
4. 複数の脚部要素（２０ａ、２０ｂ）が、並んで設けられていることを特徴とする請求項３に記載の真空ゲートバルブ。
5. 前記第２脚部接続部（２１）が、前記支持材（２２）を形成していることを特徴とする請求項３または４に記載の真空ゲートバルブ。
6. 前記脚部（１３）が、熱可塑性プラスチック、熱硬化性プラスチック、ポリマー、ポリプロピレンのいずれかのグループ、または、サブグループのプラスチックで構成されることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の真空ゲートバルブ。
7. 前記脚部（１３）が、アルミニウム、または、スチール材料のグループであるシリコン、または、金属材料で構成されていることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載の真空ゲートバルブ。
8. 前記閉鎖ディスク（４）が、前記閉鎖位置（Ｃ）において、前記バルブシート（３）上に押し付けられるように、前記閉鎖ディスク（４）が前記連接棒（６）に設けられて、前記中間位置（Ｉ）に到達した後、前記支持材（２２）が前記閉鎖方向（１２）にさらに移動しないように、前記係合部（１０ａ）が設けられていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の真空ゲートバルブ。
9. 前記係合部（１０ａ）が、前記バルブ壁（１）に連結されて、かつ、前記バルブシート（３）と間隔をあけて向かい合うように設けられていることを特徴とする請求項８に記載の真空ゲートバルブ。
10. 前記閉鎖ディスク（４）が、前記連接棒軸（８）に対して垂直に配置された前記閉鎖ディスクの回転軸（１７）を中心として回転可能にするように、前記連接棒（６）に取り付けられていることを特徴とする請求項８または９に記載の真空ゲートバルブ。
11. 前記連接棒（６）を有する前記線形ドライブ装置（７）が、前記連接棒軸（８）に対して垂直に配置された前記線形ドライブの回転軸（１８）を中心として回転可能に設けられていることを特徴とする請求項８〜１０のいずれか１項に記載の真空ゲートバルブ。
12. 前記支持材（２２）を前記閉鎖ディスク（４）に対して前記閉鎖方向（１２）に回転可能に保持するように、ばね機構（１９）が設けられていることを特徴とする請求項８〜１１のいずれか１項に記載の真空ゲートバルブ。
13. 前記閉鎖ディスク（４）が、前記閉鎖位置（Ｃ）において、前記バルブシート（３）上に押し付けられるように、前記支持材（２２）が前記連接棒（６）に設けられて、前記中間位置（Ｉ）に到達した後、前記閉鎖ディスク（４）が前記閉鎖方向（１２）にさらに移動しないように、前記係合部（１０ｂ）が設けられていることを特徴とする請求項１〜７のいずれか１項に記載の真空ゲートバルブ。
14. 前記係合部（１０ｂ）が、ケーブルまたはチェーンの形で構成され、そして、その係合部（１０ｂ）が、前記閉鎖ディスク（４）と前記線形ドライブ装置（７）との間に延びて、前記閉鎖面（５）および前記バルブシート（３）が互いに向かい合ったときに、前記閉鎖ディスク（４）と前記線形ドライブ装置（７）との間の最大距離を制限するように設けられていることを特徴とする請求項１３に記載の真空ゲートバルブ。
15. 前記閉鎖ディスク（４）を前記支持材（２２）に対して前記閉鎖方向（１２）に回転可能に保持するように、前記ばね機構（１９）が設けられていることを特徴とする請求項１３または１４に記載の真空ゲートバルブ。
16. 前記真空ゲートバルブが、真空切換バルブとされていることを特徴とする請求項１〜１５のいずれか１項に記載の真空ゲートバルブ。

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