JP2541588Y2 - シャッター装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は、真空容器の覗き窓の内側や、真空容器に
接続された排気管路中に設置されるシャッター装置に関
する。

（従来の技術） 従来、真空容器内で蒸着を行うようにした装置では、
真空容器壁に設けた覗き窓に蒸着膜が付着して透視不能
となるのを避ける目的で、覗き窓の内側にシャッター装
置を設置するようにしていた。

又、真空容器に接続された排気管路中に、シャッター
装置を設置して、該シャッター装置の開度を変化させる
ことにより、排気管路のコンダクタンスを調節して、排
気流量を制御することも知られていた。

前記シャッター装置は通常、筒体の側壁を通して導入
された回転軸に前記筒体を遮断できる大きさとした一枚
のシャッター板を固着し、回転軸の回転によってシャッ
ター板の開閉動作を行わせるように構成されていた。
又、前記回転軸の回転は外部より手動又はモーターなど
を利用して自動的に行うようにしていた。

（考案が解決しようとする課題） 前記のように、従来のシャッター装置では、外部（大
気側）より真空容器内へ、回転運動を導入する構成とな
っていたので、回転運動導入部における軸封じの点で問
題が生ずると共に、回転を自動的に行う場合に、付帯機
器およびそのスペースを必要とする問題があった。

即ち、回転軸の器壁貫通部は通常Ｏリングシールが採
用されていたので、真空容器を超高真空領域まで排気す
るような場合には対応できなかった。又、回転軸の回転
を自動的に行う場合には、前記回転軸とモーターの軸を
減速機構を介して連結する必要があり、周囲にそれだけ
のスペースを確保しなければならないと共に、モーター
の制御機器も必要であった。この自動的な回転機構で
は、シャッター板の開閉速度が遅くなる欠点もあった。

前記Ｏリングによる軸封じの構造に代えて、ベローズ
を使用した回転導入機や、永久磁石を使用した回転導入
機を用いて超高真空に対応可能とすることもできたが、
これらの回転導入機は高価であった。

（課題を解決する為の手段） そこでこの考案は、放射状に並べた複数のシャッター
板で筒体内側を遮断し、各シャッター板を筒体の内壁側
基部を中心にして回動させるようにして、前記従来の問
題点を解決した。

即ちこの考案のシャッター装置は、筒体の内側に、複
数のシャッター板を、筒体を横断する平面内で、放射状
に並べて筒体内側が遮断してあり、各シャッター板は筒
体内壁側基端縁を中心として筒体の長手方向に回動自在
に支持され、かつスプリングを介して遮断状態に復帰す
るための回動力が付与されていると共に、前記各シャッ
ター板の基端縁部側面に対向させて、シャッター板回動
部材が筒体の長手方向に沿って移動可能に設置してあ
り、該シャッター板回動部材の移動機構が設けてあるこ
とを特徴としている。

前記筒体は円筒の外、三角、四角等の多角筒でも良
い。シャッター板は筒体を塞ぐ形状の板（円板、三角形
板等）を、中心から放射状に分割したような形状（扇形
又は三角形）の板とし、シャッター板相互の隣接部は側
端縁を対向させる外、側端縁部が重合するようにしても
良い。

前記シャッター板回動部材は、例えば筒体内に設置し
た二重ベローズによる伸縮装置や、筒体の側壁を挟んで
磁気的に結合させた一組の永久磁石中、筒体内側の永久
磁石に取付けて、筒体外部から移動させる。

（作用） この考案のシャッター装置によれば、シャッター板回
動部材をシャッター板側へ移動させることによってシャ
ッター板を、基端を中心として回動させ、遮断した筒体
の内側を開放できる一方、シャッター板回動部材を復帰
させると、スプリングの弾力によってシャッター板も遮
断側へ復帰し、筒体内側を遮断することができる。

従って回転運動の導入に伴なう、軸封じ部分の不都合
を無くすることができると共に、回転運動の為のモータ
ーや減速機構を要することなく自動化が可能となり、ス
ペースやコスト上の不都合も無くすることができる。

（実施例） 以下、この考案の実施例を図面に基づいて説明する。

第１図および第２図において、１がシャッター板であ
って、円筒２の両端にフランジ３、３を設けてなるニッ
プルの内側に円筒２を遮断するように設けてある。前記
シャッター板１は円筒２の内側に嵌装し得る大きさの円
盤を放射状に８等分して、扇形としたもので、８枚のシ
ャッター板１、１が側端縁が互いに対向するように並べ
て、円筒２の内側が遮断してある。各シャッター板１は
弧状の基端部が、円筒２の内側中間部に固着した環状固
定金具４に対して板スプリング５を介して連結されてお
り、シャッター板１が基端部を中心として回動できると
共に、回動した際には板スプリング５で遮断側に復帰す
るべく付勢できるようになっている。

前記円筒２の内側一側には、環状のベローズ固定金具
６が固着してあり、該固定金具６の一側面に二重ベロー
ズ７の一端が固着してある。そして、二重ベローズ７の
他端には、断面Ｌ字状とした環状のシャッター板回動部
材８の基板8aが固着されて、二重ベローズ７の内部が円
筒２の内側空間に対して閉鎖してあると共に、シャッタ
ー回動部材８の立上り部8bの先端縁が、前記シャッター
板１、１の弧状の基端部の一側に臨ませてある。前記二
重ベローズ７の内部には、ベローズ固定金具６を貫通さ
せた給排管９の一端を連通させてあり、該給排管９の他
端は円筒２を貫通して外部に取出してあり、ポート10を
構成している。

上記実施例のシャッター装置において、ポート10より
加圧流体（加圧空気、加圧油等）を二重ベローズ７に供
給すると、二重ベローズ７が矢示11の方向に伸長する。
この結果、シャッター板回動部材８も同方向に移動し
て、立上り部8bの先端縁がシャッター板１、１の基端部
を押圧するので、シャッター板１、１は第１図中鎖線図
示のように回動して、円筒２の内側を開放する。

これに対して、ポート10に供給した加圧流体の圧力を
解除すると、伸長した二重ベローズは収縮するので、シ
ャッター板回動部材８も元の位置へ復帰して、シャッタ
ー板１、１を回動させた押圧力が取除かれる。この結
果、シャッター板１、１は板スプリング５、５の弾力で
第１図中に実線で示した状態に復帰し、円筒２の内側を
遮断する。

前記二重ベローズ７は、給排管９を通して加えられる
加圧流体の圧力に瞬時に応答するので、シャッター板
１、１による開放および遮断動作も高速に行うことがで
きる。

次に第３図に示した実施例は、前記実施例の二重ベロ
ーズ７に代えて、円筒２の内外に、互いに結合する永久
磁石12、13を設けて、内側の永久磁石13にシャッター板
回動部材８を固着したものである。

前記永久磁石12、13は夫々環状で、円筒２の長手方向
に沿って移動可能としてあり、外側の永久磁石12を移動
すると、磁気的に結合した内側の永久磁石13も追従して
移動するようになっている。シャッター板回動部材８は
円筒状で、基端側が永久磁石13に嵌装固着してあると共
に、先端縁がシャッター板１、１の基端部一側に臨ませ
てある。

この実施例では外側の永久磁石12をシャッター板１、
１側へ移動すると、これに追従して移動する内側の永久
磁石13に固着したシャッター板回動部材８がシャッター
板１、１を押圧して、回動させるので、円筒２の内側を
開放することができる。又、外側の永久磁石12をシャッ
ター板１、１から離れる方向へ移動させると、シャッタ
ー板回動部材８も同方向へ移動して、シャッター板１、
１を押圧していた力が解除されるので、シャッター板
１、１は板スプリング５、５の弾力で復帰して、円筒２
の内側を遮断することができる。

内側の永久磁石13は外側の永久磁石12の移動に追従し
て直ちに移動するので、シャッター板１、１による円筒
２の開放および遮断の動作も高速に行うことができる。

以上、実施例について説明したが、何れの実施例にお
いても、シャッター板１、１の開閉に際し、円筒２の内
側の真空を害するような可動部分は無く、従って超高真
空にも対応することができる。又、シャッター板回動部
材の移動の為には、加圧流体の配管又は永久磁石12を直
線的に移動させる為のレバー、その他の直線運動機構を
設けるのみで良いことから、大きなスペースを必要とし
ないと共に、構造的にも簡単にすることができる。

（考案の効果） 以上に説明した通り、この考案によれば、筒体内で放
射状に並べたシャッター板を、シャッター板回動部材の
移動によって開閉するようにしたので、超高真空にも対
応できると共に、高速動作が可能であり、かつ開閉動作
の為の付帯機構に要するスペースを小さくできるなどの
諸効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の実施例の断面図、第２図は同じく側
面図、第３図はこの考案の他の実施例の断面図である。 １……シャッター板、２……円筒、５……板スプリン
グ、７……二重ベローズ、８……シャッター板回動部
材、12、13……永久磁石

Claims (4)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】筒体の内側に、複数のシャッター板を、筒
   体を横断する平面内で、放射状に並べて筒体内側が遮断
   してあり、各シャッター板は筒体内壁側基端縁を中心と
   して筒体の長手方向に回動自在に支持され、かつスプリ
   ングを介して遮断状態に復帰するための回動力が付与さ
   れていると共に、前記各シャッター板の基端縁部側面に
   対向させて、シャッター板回動部材が筒体の長手方向に
   沿って移動可能に設置してあり、該シャッター板回動部
   材の移動機構が設けてあり、前記シャッター板回動部材
   の移動機構が、筒体の内側に設置した伸縮二重ベローズ
   で構成し、該二重ベローズの自由端にシャッター板回動
   部材が固着されていると共に、二重ベローズ内が、筒体
   側壁を貫通して導入した加圧流体の給排管と連通させて
   あることを特徴とするシャッター装置。
2. 【請求項２】筒体の内側に、複数のシャッター板を、筒
   体を横断する平面内で、放射状に並べて筒体内側が遮断
   してあり、各シャッター板は筒体内壁側基端縁を中心と
   して筒体の長手方向に回動自在に支持され、かつスプリ
   ングを介して遮断状態に復帰するための回動力が付与さ
   れていると共に、前記各シャッター板の基端縁部側面に
   対向させて、シャッター板回動部材が筒体の長手方向に
   沿って移動可能に設置してあり、該シャッター板回動部
   材の移動機構が設けてあり、前記シャッター板回動部材
   の移動機構が、筒体の内側に、筒体の長手方向で移動可
   能に設置した環状の永久磁石と、筒体の外側に、筒体の
   長手方向で移動可能に嵌装され、前記内側の永久磁石と
   磁気的に結合させた環状の永久磁石とで構成し、前記内
   側の永久磁石にシャッター板回動部材が固着されている
   ことを特徴とするシャッター装置。
3. 【請求項３】シャッター板は、扇形または三角形とした
   請求項１又は２記載のシャッター装置。
4. 【請求項４】シャッター板回動部材は、断面Ｌ字状の環
   状部材である請求項１又は２記載のシャッター装置。