JP2015534023A - 真空バルブ - Google Patents

Abstract

【課題】 低コストで、安定かつ信頼度の高い設計が可能な真空バルブを提供する。【解決手段】 真空バルブは、縦軸線（２０）を有し、少なくとも１つのバルブ開口部（２，３）を閉止するための少なくとも１つの閉止部材（９，１０）を支持し、縦駆動部（１８）により、縦軸線（２０）に平行な縦方向（２１）に、真空バルブが開放している始端位置から中間位置まで移動可能であり、横駆動部（１９）により、中間位置から真空バルブが閉鎖している少なくとも１つの終端位置まで移動可能なバルブロッド（１１）を備えている。少なくとも１つのガイド部材（２４）により、縦方向（２１）に移動可能に案内される伝達部材（２３）がバルブロッド（１１）に取付けられている。横駆動部（１９）の少なくとも１つの駆動部材（２６）は、ガイド部材（２４）と係合し、ガイド部材（２４）は、少なくとも１つの駆動部材（２６）を介して、横駆動部（１９）により、横方向（２２）に移動可能であり、ガイド部材（２４）は、横方向（２２）に動作している間、伝達部材（２３）と共に移動する。【選択図】 図２１

Description

本発明は、縦軸線を有し、少なくとも１つのバルブ開口部を閉止するための少なくとも１つの閉止部材を支持し、縦駆動部により、バルブロッドの縦軸線と平行な縦方向に、真空バルブが開放している始端位置から中間位置まで移動可能であり、横駆動部により、中間位置から真空バルブが閉鎖している、少なくとも１つの終端位置へ移動可能なバルブロッドを備えた真空バルブに関する。

閉止部材が、開位置から、閉止部材がバルブ開口部を覆うがバルブシートからは離れた状態である中間位置を通過し、閉位置まで移動可能な真空バルブは、Ｌ型バルブとして設計されている。閉止部材の中間位置から閉位置までの駆動が、バルブロッドに垂直な軸線で、閉止部材を支持するバルブロッドの旋回により生じる設計に加えて、中間位置から閉位置の間で、閉止部材が直線的に駆動する設計もまた知られている。例えば、支持ユニットがバルブロッドに固定され、ピストン・シリンダユニットにより、閉止部材が支持ユニットに対して駆動する設計が知られている（特許文献１及び２参照）。

閉止部材が縦方向に移動可能に案内されるバルブロッドに取付けられ、ピストン・シリンダユニットで構成される縦駆動部を用いて、縦方向に移動可能なＬ型バルブが開示されている（特許文献３参照）。直線ガイドにより形成される一実施形態のガイド装置を用いて、このピストン・シリンダユニットは、縦方向に垂直な横方向に移動可能に案内され、その結果、バルブロッドは横方向にも動作可能である。バルブロッドを横方向に駆動するため、閉止部材と結合したピストン・シリンダユニットがある。追加の実施形態として、横駆動部は、真空領域の外部にあり、縦駆動部のシリンダに作用するピストン・シリンダユニットにより形成されている。そのような実施形態は、特に、閉止部材がバルブシードに対して閉止部材を押す差圧によってのみ作用を受ける装置に適すると記載されている。この場合、バルブシートに対して閉止部材を押す高い閉止圧力の適用は必要ない。高い閉止圧力を伝達することは、この文献から収集される横方向ガイドに問題をもたらすだろう。

初めに述べたタイプのＬ型バルブが知られている（特許文献４参照）。そこに示されている実施例では、円柱横断面のバルブロッドは、直接、ガイドユニットにより、縦方向に移動可能に案内される。ガイドユニットは、バルブロッドの縦方向に垂直な横方向で移動可能な軸受ユニットにより案内される。ガイドユニットは、十分な支持ができるように比較的頑丈な作りになっており、縦方向の駆動部が縦方向にバルブロッドを移動させるシリンダスペースも形成している。

米国特許公開公報 US2007/0272888A1 米国特許公報 US6,899,316 米国特許公開公報 US2008/0017822A1 国際公開公報 WO2010/034046A1

本発明の目的は、最初に述べたタイプの有利な真空バルブであって、比較的低い製造コストで、安定かつ信頼性の高い設計が可能な真空バルブを提供することである。

本発明の真空バルブは、ガイド部材により縦方向の移動を可能とする伝達部材と、ガイド部材に係合して横方向の移動を可能とする駆動部材とにより、バルブ開口部を閉止する閉止部材を駆動させることを特徴とする。

本発明による真空バルブでは、伝達部材がバルブロッドに取り付けられ、少なくとも１つの、好ましくは棒状のガイド部材により、縦方向に移動可能に支持される。少なくとも１つの横駆動部の駆動部材は、ガイド部材、又は各ガイド部材に係合し、そのガイド部材は、少なくとも１つの駆動部材により横方向に移動可能である。そして、ガイド部材は、それが横方向に移動する間、伝達部材と共に動く。少なくとも１つのガイド部材が横方向に移動している間、バルブロッドの横方向の移動も、結果として生じる。

好ましくは、少なくとも１つの横駆動部の駆動部材が係合する、少なくとも１つのガイド部材が、縦方向に垂直かつ横方向に垂直となる向きに対し、バルブロッドの両側にそれぞれ配置される。これにより、それぞれ少なくとも１つのそのようなガイド部材が、バルブロッドの縦軸線を通り、縦方向にも横方向にも平行な平面の反対側に配置される。

この発明により、縦方向及び横方向の安定した案内が、過度に多くの部材を使用することなく可能となり、横方向の高い閉止力が安定して伝達される。

好ましくは、伝達部材を縦方向に駆動するため、少なくとも１つの縦駆動部の駆動部材が伝達部材に接続される。その接続は、駆動部材に対して、伝達部材の横方向の移動が可能となるように設計される。駆動部材は、その結果、それ自体が横方向に移動しないように配置される。例えば、少なくとも１つの駆動部材は、ピストン・シリンダユニットのピストンロッドであってもよい。

伝達部材は、縦方向及び横方向に移動不能に保持された横駆動部ハウジングの内部スペースに配置されるとさらに良い。少なくとも縦駆動部の１つのハウジング部は、横駆動部ハウジングと堅固に接続されていることが好ましい。そして、縦駆動部は、ハウジング部に対して、少なくとも１つの駆動部材が縦方向に移動可能で、横方向に移動不能である。

横駆動部ハウジングによって、ガイド部に接続された少なくとも１の要素が横方向に移動可能に実装されることにより、少なくとも１つのガイド部材を横方向に移動可能に案内し、少なくとも１つのガイド部材を縦方向には移動不能に保持する。特に、横駆動部の部品は、横駆動部ハウジングにより横方向に移動可能に案内される。例えば、ガイド部材、又は各ガイド部材に係合している少なくとも１つの横駆動部の駆動部材は、横方向に移動可能な横駆動部と適切に接続されるなら、例えば、ピストンのような追加部品でもよい。

本発明の有利な形態として、第１及び第２閉止部材がバルブロッドに取り付けられていることがある。バルブロッドの第１終端位置では、第１閉止部材が真空バルブの第１バルブ開口部を取り囲む第１バルブシートに対して押圧される。バルブロッドの第２終端位置では、第２閉止部材が真空バルブの第２バルブ開口部を取り囲む第２バルブシートに対して押圧される。このような真空バルブにおいて、バルブロッドがその第１終端位置にある場合、例えば、第２閉止部材のシーリングリングを交換する等の第２閉止部材の修理が有利に行える。また、バルブロッドがその第２終端位置にある場合、例えば、第１閉止部材のシーリングリングを交換する等の第１閉止部材の修理が容易に行える。この場合、例えば、後述する開状態の真空バルブを介して接続される真空チャンバのような２つの真空スペースの間で、バキュームタイトの気密性が保たれる。

横駆動部は、バルブロッドがその終端位置、又は終端位置の１つにある場合に、バルブロッドがその中間位置の方向に付勢される、少なくとも１つのばね要素であること好ましい。仮に横駆動部が駆動部材、特に、横方向に平行な反対向きに作用するピストンを有する場合、バルブロッドをその中間位置から第１又は第２終端位置に駆動するために、２つの終端位置のそれぞれに、バルブロッドに対し各終端位置から中間位置の方向に作用する少なくとも１つのばね要素があることが好ましい。バルブロッドは結果として、定められた中間位置に簡易な方法で動く。可能な一実施形態としては、この場合には、係止手段が設けられ、バルブロッドが少なくとも１つの終端位置へ移動する間、係止手段が横駆動部ハウジングの部分に抗するようになり、同時に、ばねの力に反して移動する。特に、そのような係止部材は、横駆動部のピストンの凹部に配置してもよい。

一般に、本文献で縦方向又は横方向に対し移動不能な配列や容器に言及する場合、縦方向に平行な両方向、又は横方向に平行な両方向を意味する。

本発明のさらなる利点と詳細は、以下の添付図面で説明される。

開放状態の本発明の真空バルブを示す図。 図１に示す真空バルブの側面図。 図１に示す真空バルブの上面図。 図１のＡ−Ａ線断面図。 図１のＢ−Ｂ線断面図。 図５のＸ部分の拡大図。 図１のＣ−Ｃ線断面図。 バルブロッドが中間位置にある状態での図４に対応する図。 バルブロッドが中間位置にある状態での図５に対応する図。 バルブロッドが中間位置にある状態での図６に対応する図。 バルブロッドが中間位置にある状態での図７に対応する図。 バルブロッドが第１終端位置にある状態での図４に対応する図。 バルブロッドが第１終端位置にある状態での図５に対応する図。 バルブロッドが第１終端位置にある状態での図６に対応する図。 バルブロッドが第１終端位置にある状態での図７に対応する図。 バルブロッドが第２終端位置にある状態での図４に対応する図。 バルブロッドが第２終端位置にある状態での図５に対応する図。 バルブロッドが第２終端位置にある状態での図６に対応する図。 バルブロッドが第２終端位置にある状態での図７に対応する図。 構成部品が分解された真空バルブの斜視図。 縦駆動部及び横駆動部が分解された、縦駆動部及び横駆動部をもつバルブロッドの斜視図。 縦駆動部及び横駆動部がガイド部とピストンを備える、伝達部材をもつバルブロッドの斜視図。 図２２の部品の正面図。 図２２の部品の上面図。 図８のＤ−Ｄ線断面図。 図２５のＹ部分の拡大図。

本発明の実施例は、図１〜２６に示す通りである。この真空バルブは、バルブハウジング１と、バルブハウジング１にある第１、第２バルブ開口部２、３と、第１バルブ開口部２の軸線４と、第２バルブ開口部の軸線５とで構成され、第１、第２バルブ開口部２、３は、バルブハウジング１の対向する壁面に配置されている。

第１、第２バルブ開口部２、３を取り囲む壁面には、互いに向かい合う側に、それぞれ第１、第２バルブ開口部２、３を取り囲む第１、第２バルブシート６、７がある。

バルブハウジング１には、真空バルブの真空領域を形成する内部スペース８があり、言うなれば、バルブ開口部２、３から離れた内部スペース８は、真空バルブの外部空間に対して気密化されたバキュームタイトになっている。

バルブハウジング１の内部スペース８内に配置されるものとして、それぞれバルブプレートの形で構成される第１、第２閉止部材９、１０がある。第１、第２閉止部材９、１０は、これらの閉止部材を支持し、縦軸線２０をもつバルブロッド１１に取り付けられている。

実施例に示すように、それぞれ少なくとも１つ弾性のシーリングリング１５が第１、第２閉止部材９、１０に配置され、バルブシート６、７は、シーリング表面によって形成される。

基本的には、これと逆の設計も可能であり、その場合には、バルブシート６、７がシーリングリングを有し、閉止部材９、１０にシーリング表面がある。

バルブシート６、７は、それぞれが単一平面上に存在する。好ましくは、バルブシートが存在する平面は、実施例に示されているように互いに平行である。バルブ開口部２、３の軸線４、５は、バルブシート６、７が存在する平面に垂直となっている。

例えば、バルブロッド１１の接続は、図示するような２つの延長部材１３を有する接続部材１２を介して行う。延長部材１３は、それぞれキャリア１４がねじ止めされ、キャリア１４の２つの端部で順次、各閉止部材９、１０がねじ止めされる。キャリア１４がねじれることで、縦軸線２０に垂直で各バルブシート６、７の平面に平行な軸線について、各閉止部材９、１０の所定の旋回運動が可能となる。こうすることで、シーリング表面に対して、シーリングリング１５のおおよそ均一の圧力が達成される。閉止部材９、１０のバルブロッド１１への接続は他の方法で行ってもよい。

バルブロッド１１は、後述する開口部１６を通じてバルブハウジングから導出される。こうすることで、バルブロッドの一部分、すなわち、閉止部材９、１０が取り付けられた部分がバルブハウジング１の内部に位置する一方、バルブロッド１１のさらに先の部分は、バルブハウジング１の外部に位置することになる。バルブハウジング１を通るバルブロッド１１のリードスルーは、実施例に示したベローズ１７を用いて、バキュームタイトに構成される。ベローズ１７は、一端がバキュームタイトのバルブハウジング１に接続し、他方がバキュームタイトのバルブロッド１１に接続している。

縦駆動部１８と横駆動部１９は、バルブハウジング１の外部にあるバルブロッド１１の所定部分と連動する。言うなれば、縦駆動部１８と横駆動部１９は、真空バルブの真空領域の外部に配置される。縦駆動部１８は、バルブロッド１１の縦軸線２０に平行かつ図中に双方矢印で描かれた縦方向２１にバルブロッド１１を移動させる役割がある。横駆動部１９は、バルブロッド１１の縦軸線２０に垂直かつ図中に双方矢印で描かれた横方向２２にバルブロッド１１を移動させる役割がある。バルブロッド１１が縦方向２１を移動する間、バルブロッド１１の縦軸線２０の位置は変化しない。バルブロッド１１が横方向２２を移動する間、移動後のバルブロッド１１の縦軸線２０は、移動前の位置と平行になる。換言するなら、縦方向２１と横方向２２の移動は、バルブロッド１１の平行移動である。

バルブシート６、７が存在する平面の並列配置において、縦方向２１はこれらの平面と平行である。横方向２２は、これらの平面とは垂直になる。仮にバルブシート６、７の平面が互いに角度をなしている場合、縦方向２１はこの角度の２等分線上にある平面と平行になり、横方向２２は２等分線の存在するこの平面と垂直になる。

図１〜７に示した真空バルブが完全に開いた状態において、バルブロッド１１は始端位置にある。閉止部材９、１０は、（軸線４、５の方向に見られるように）バルブ開口部２、３を完全に開放した開位置にある。

縦駆動部１８により、バルブロッド１１は、縦方向２１の始端位置から図８〜１１に示す中間位置まで移動可能である。バルブロッド１１の中間位置において、閉止部材９、１０は、軸線４、５の方向について、バルブ開口部２、３と重なっているが、バルブシート６、７から離れた中間位置にある。

横駆動部１９により、バルブロッド１１は、横方向２２の中間位置から図１２〜１５に示す第１終端位置まで、そして、図１６〜１９に示す第２終端位置まで移動可能である。第１終端位置において、第１閉止部材９は、第１バルブシート６に対して押圧され、第１バルブ開口部２を閉止する閉位置にある。第２終端位置において、第２閉止部材１０は、第２バルブシート７に対して押圧され、第２バルブ開口部３を閉止する閉位置にある。本文献の記載で「バキュームタイト」とは、真空バルブの真空領域において少なくとも１時間以上、１．１０^−３mbar以下の真空度が保たれることを意味するものとする（この場合、他のバルブ開口部は完全に密閉されていると仮定し、実際、真空領域は、例えば、真空チャンバのような退避空間と接続されている）。

伝達部材２３は、バルブハウジング１の外側のバルブロッド１１の所定部分に取り付けられている。伝達部材２３は、縦方向及び横方向に移動不能にバルブロッド１１に接続されている。

伝達部材２３は、縦方向２１には移動不能に保持されたガイド部材２４により、縦方向２１に移動可能に案内される。ガイド部材２４は、縦方向２１で伝達部材２３の直線ガイドを形成する。実施例において、この伝達部材２３は、その好ましい形態である滑り軸受の構成となっている。

伝達部材２３は、少なくとも全てのガイド部材２４が一緒になって、横方向２２には移動しないよう保持されている。実施例では、伝達部材２３は、各ガイド部材２４で個別的に横方向２２に移動しないよう保持されている。

伝達部材２３及びガイド部材２４は、真空バルブの真空領域の外側に配置される。

実施例に示す伝達部材２３は、ヨークとして構成されることもある。

ガイド部材２４は棒状に形成され、伝達部材２３の凹部２５を通過する。凹部２５は、それぞれ伝達部材２３縁部の横方向２２に開いており、各ガイド部材２４を１８０°を超えて取り囲む。従って、伝達部材２３は、縦方向２１には各ガイド部材２４と連携して移動可能だが、横方向２２には移動不能に保持される。

縦方向２１で伝達部材２３の直線ガイドは、他の方法で構成されていてもよい。直線ガイドの他の形態としては、例えば、ガイド部材２４に、それぞれ逃げ溝から突出した部分を持たせたり、例えば、蟻溝の態様で、この溝の外側の部分を持たせることができる。図示したガイド部材２４の円柱状の構造の代わりに、ガイド部材２４が、例えば、他の断面図にあるバー形状の構造を持たせることもできる。

ピストンロッドの形で構成される横駆動部の駆動部材２６は、それぞれガイド部材２４に固定されている。伝達部材２３の縦方向の移動の間に、ガイド部材２４上の点で締め付けが起こり、ガイド部材２４は、横方向に対して伝達部材２３の縁部に開いた凹部２５の領域に存在するようになる。その締め付けは、バルブロッド１１がその始端位置から中間位置まで移動する間には、後者の全体的な移動に亘り、（縦方向２１に対して）伝達部材２３の側面に隣接する点で起こることもある。この場合、ガイド部材２４は、伝達部材２３の縁部で閉じる（伝達部材２３を通る穴形状の）凹部２５を通過することもある。

実施例ではピストンロッドの形で構成される横駆動部の駆動部材２６は、横駆動部１９のピストン２７に固定される。横駆動部１９のピストン２７は、シリンダスペース２８内にある。示した実施例では、シリンダスペース２８は、横駆動部ハウジングの内部スペースに形成される。横駆動部ハウジングは、互いに堅固に接続される２つの基体２９で構成される。シリンダスペース２８を形成するため、これらの基体は、カバー３０により閉鎖する凹部を有する。横駆動部ハウジング２９、３０は、バルブハウジング１に堅固に取り付けられる。

２つのガイド部材２４は、縦方向２１及び横方向２２に垂直な方向に対して、バルブロッド１１の両側にそれぞれ配置される。換言するなら、それぞれ２つのガイド部材２４は、縦方向２１及び横方向２２に平行で縦軸線２０を通る平面の両側に配置される。前記平面の両側に配置される２つのガイド部材２４は、横方向１９に互いに離間し、同時に、縦方向２１と平行かつ横方向２２に垂直で、バルブロッドの縦軸線２０を通る平面の両側に配置される。先の平面の両側に配置される２つのガイド部材２４に固定された横駆動部の駆動部材２６は、互いに離れて案内され、（横方向２２に平行な）方向にガイド部材２４から突出する。

実施例に示すように、それぞれのピストン２７は、ピストンロッドの形で構成される２つの横駆動部の駆動部材２６を介して、各ガイド部材２４に接続される。このような接続は、１つの駆動部材２６を介しても行える。

ガイド部材２４は、横駆動部の駆動部材２６と接続していることで、縦方向２１に移動不能に保持され、横駆動部１９により、横方向２２に移動可能になっている。実施例では、横方向２２に移動可能なガイド部材２４の案内部は、横方向２２に移動可能な駆動部材２６を支持するガイドと、ピストン２７の横方向２２に移動可能な移動ガイドとで構成される。ピストン２７は、シリンダスペース２８の縁部で、横方向２２に移動可能に案内される。そして、駆動部材２６は、横駆動部ハウジングの開口部３１の縁部（図２１参照）で、駆動部材２６が伸びる開口を通じて、横方向２２に移動可能に案内される。さらに、ガイドほぞ５１がピストン２７に配置され、横方向２２に延在する基体２９のガイド穴５２（図２１参照）で横方向に移動可能に案内される。横方向２２の移動ガイドもまた、他の方法、例えば、ガイドほぞ５１やガイド穴５２無しで済ませたり、ピストン２７のみで横方向２２に移動可能に案内されてもよい。

伝達部材２３を縦方向に駆動させるため、縦駆動部の駆動部材３２は、伝達部材２３に接続され、駆動部材３２は、縦駆動部１８のピストン３３が取り付けられたピストンロッドにより形成される。このピストン３３は、シリンダスペース３４内に配置される。実施例では、ピストン３３は、縦駆動部ハウジングの内部スペースにより形成されている。このため、縦駆動部ハウジングは、カバー３６ａ、３６ｂによって閉じられる、凹部のある基体３５を有する。縦駆動部の駆動部材３２を形成するピストンロッドは、カバー３６ｂの穴を通って延在している。

縦駆動部ハウジング３５、３６は、横駆動部ハウジング２９、３０に堅固に接続されている。

縦駆動部の駆動部材３２は、それ自体は横方向２２に移動不能であるが、横方向２２に移動可能に、伝達部材２３に接続されている。このため、実施例では、駆動部材３２が貫通口３７を通じて、伝達部材２３を通過する。貫通口３７は、縦方向２１に伸び、横方向２２の正確な幅がそれぞれ横方向２２の駆動部材３２の幅より大きい。それぞれの貫通口３７は、伝達部材２３の穴に保持されるコネクトピン３８により横断される。コネクトピン３８は、自由に動く駆動部材３２上の穴３９を通って延在している。これにより、駆動部材３２は、コネクトピン３８に対して横方向２２に移動可能である。

伝達部材２３からピストン３３の反対側に突出した部分では、縦駆動部の駆動部材３２が、横駆動部ハウジング２９、３０によって、少なくともバルブロッド１１の中間位置及び終端位置で、横方向２２に移動不能に保持されている。このため、実施例では、横駆動部の駆動部材２６が動いて（図２１、２２参照）、横駆動部ハウジング２９、３０の凹部で保持され、前出の横駆動部の駆動部材を縦方向２１に移動させることに関係するスリーブ４０に至る。

横方向２２の移動が可能とする、縦駆動部の駆動部材３２及び伝達部材２３の接続もまた考えられ、図示とは異なる方法でも可能である。例えば、伝達部材２３と各駆動部材３２との間に柔軟な連結部が設けられる。その場合、異なる駆動部材３２は、縦方向２１に平行に移動する２方向に設けられるか、ばねにより１方向の移動が生じる。

実施例では、２つの縦駆動部の駆動部材３２が設けられており、駆動部材３２は、縦方向２１に垂直かつ横方向２２に垂直な向きに対してバルブロッド１１の反対側に配置され、それぞれ伝達部材２３に接続される。

実施例に示すように、伝達部材２３は、伝達部材２３の基体にねじ止めされるクランプ部材４１（図２１参照）により、バルブロッド１１に固定される。クランプ部材４１を外した状態では、バルブロッド１１は、伝達部材２３から取り外すことができる。

実施例では、横駆動部１９は、記載したようにシリンダスペース２８を形成する横駆動部ハウジング２９、３０と、ピストン２７と、横駆動部の駆動部材２６とで構成される。例えば、縦方向２１及び横方向２２に移動不能なバルブハウジング１に接続された別個のシリンダが、各ピストン２７に設けられている。

実施例では、縦駆動部は、シリンダスペース３４をもつ縦駆動部ハウジング３５、３６と、シリンダスペース３４に配置されたピストン３３と、縦駆動部の駆動部材３２とで構成される。例えば、縦方向２１及び横方向２２に固定されたバルブハウジング１に（例えば、横駆動部ハウジングを介して）接続された専用シリンダが、各ピストン３３に設けられてもよい。

バルブロッド１１の第１又は第２終端位置において、バルブロッド１１は、バルブハウジング１の外側にあり、バルブハウジング１とは離れたバルブロッド１１の端部の方向に、バルブロッド１１及び伝達部材２３が接続された領域から延在する領域で、横凸部４２、４３に支持されている。実施例では、横凸部４２、４３は、縦駆動部ハウジングの基体３５、特に、基体３５の開口部４４に取り付けられ、その開口にバルブロッド１１が突出する。各横凸部４２、４３に対する支持は、好ましくは、バルブロッド１１の端部領域で実現される。実施例では、横凸部４２、４３に対し係る係止部４５が、バルブロッドに取り付けられている。

各終端位置では、各横凸部４２、４３に対してバルブロッド１１が支えられていることで、横駆動部１９による如何なる傾斜運動も許容されることがない。バルブロッド１１は、横駆動部１９の両側（一方は、各バルブシート６、７上の各閉止部材９、１０を介して、他方は、各横凸部４２、４３に対して）で支えられ、また、横駆動部１９による曲げ荷重を受けやすくなっている。

図４〜７に示す始端位置から図８〜１１に示す中間位置までバルブロッド１１を駆動するため、伝達部材２３は、縦駆動部１８により縦方向２１に移動する。図８〜１１に示す中間位置から図１２〜１５に対応する第１終端位置、又は図１６〜１９に対応する第２終端位置までバルブロッド１１を駆動するため、ガイド部材２４は、横駆動部１９により横駆動部の駆動部材２６を介して、横方向２２に平行な方向に移動する。その結果、伝達部材２３の移動及びそれによるバルブロッド１１の横方向２２の移動が生じる。ガイド部材２４を横方向２２に移動させるため、横駆動部１９のピストン３３は、特定の圧縮空気における圧力媒体により作用を受ける。ガイド部材２４を用いることで、一方の側に配置されたピストン２７は伝達部材２３を押し、他方の側に配置されたピストン２７は伝達部材２３を引く（何れの終端位置となるかによりバルブロッド１１が移動する）。実施例では、ピストン２７は、それぞれ複動式のピストンとして構成され、これにより、バルブロッド１１が第１終端位置へ駆動している間と、バルブロッド１１が第２終端位置へ駆動している間の両方で、全てのピストン２７が機能する。

バルブロッド１１が中間位置から１つの終端位置まで移動する場合、バルブロッド１１が移動する方向の、伝達部材２３の所定側に配置されたばね要素４６が張力を受ける。実施例では、ばね要素は、ピストン２７の蟻穴形状の窪み４７に配置された螺旋ばねである。窪み４７は、それぞれ突出した止めピン４９を通じて有孔円盤４８で閉じられる。止めピン４９は、支え環５０をもつ頭部を有する。各螺旋ばねは、窪み４７の底面と支え環５０の間に位置する。バルブロッド１１が中間位置から終端位置まで移動する場合、有孔円盤４８から突出する止めピン４９の所定の端部は、カバー３０に対し抗するようになり、これにより、止めピン４９は、ばね要素４６の張力の下、押されるようになる。

バルブロッド１１の各終端位置から中間位置への復帰は、ばね要素４６により所定の各止めピン４９が各カバー３０に支持され、各止めピン４９が配置されたピストン２７を移動させることで起こる。全てのピストン２７のシリンダスペース２８は、この場合、圧力無しに切り替わる。

本発明の実施例の様々な変更は、本発明の範囲から逸脱せずに実行可能である。従って、例えば、バルブロッド１１の縦軸線２０を通り、縦方向２１に平行かつ横方向２２に平行な平面のそれぞれの側に１のガイド部材２４及び１のピストン２７のうち少なくとも１つ設けられていてもよい。この場合、反対方向に突出する横駆動部の駆動部材２６は、各ガイド部材に係合する。

仮に、複動式のピストン２７の代わりに単動式のピストンが用いられた場合、各ピストン２７は、伝達部材２３を押すのみか、引くのみとなる。仮に、伝達部材２３を押すのみのピストン２７が用いられた場合、凹部２５は、１８０°を超えずにガイド部材２４を取り囲むか、又は逃げ溝のない他の縦方向ガイドが設けられる。ガイド部材２４もまた、図示されたものと異なる方法で設計されてもよい。

真空領域からバルブロッドを導出するためのべローズリードスルーの代わりに、スライドリードスルーが設けられてもよい。スライドリードスルーは、封止により気密化するため、バルブロッドが導出される通過口をもつスライド部でもよい。結果として、バルブロッドは、このスライド部に対して縦方向に移動する。このスライド部自体は、バルブハウジング１に対して横方向２２に移動可能に実装され、同時に、封止によりバルブハウジング１に対して気密化される。従って、このスライド部は、バルブハウジング１に対して気密化された一種の滑動部を形成し、横方向２２に移動可能である。特に、互いに垂直な２方向に移動可能なスライドリードスルーが知られている。

実施例に示すように、２つの閉止部材９、１０は、バルブロッド１１に取り付けられている。一方、１つの閉止部材のみがバルブロッド１１に取り付けられていてもよい。そのとき、バルブロッドは、中間位置からバルブハウジングのバルブ開口部を取り囲むバルブシートに対し、閉止部材が抗する１つの終端位置まで移動可能でもよい。このような真空バルブでは、僅かに変更した設計も可能であり、バルブハウジングは、真空チャンバで形成されてもよい。換言するなら、バルブハウジングはなくてもよく、真空バルブは、気密化された状態でバルブロッドが導出される真空チャンバに挿入する部分として設計してもよい。

１ バルブハウジング
２ 第１バルブ開口部
３ 第２バルブ開口部
４ 軸線
５ 軸線
６ 第１バルブシート
７ 第２バルブシート
８ 内部スペース
９ 第１閉止部材
１０ 第２閉止部材
１１ バルブロッド
１２ 接続部材
１３ 延長部材
１４ キャリア
１５ シーリングリング
１６ 開口部
１７ ベローズ
１８ 縦駆動部
１９ 横駆動部
２０ 縦軸線
２１ 縦方向
２２ 横方向
２３ 伝達部材
２４ ガイド部材
２５ 凹部
２６ 横駆動部の駆動部材
２７ ピストン
２８ シリンダスペース
２９ 基体
３０ カバー
３１ 開口部
３２ 縦駆動部の駆動部材
３３ ピストン
３４ シリンダスペース
３５ 基体
３６ａ カバー
３６ｂ カバー
３７ 貫通孔
３８ コネクトピン
３９ 穴
４０ スリーブ
４１ クランプ部
４２ 横凸部
４３ 横凸部
４４ 開口部
４５ 係止部
４６ ばね要素
４７ 窪み
４８ 有孔円盤
４９ 止めピン
５０ 支え環
５１ ガイドほぞ
５２ ガイド穴

Claims (14)

1. 縦軸線（２０）を有し、少なくとも１つのバルブ開口部（２，３）を閉止するための少なくとも１つの閉止部材（９，１０）を支持し、縦駆動部（１８）により、該縦軸線（２０）に平行な縦方向（２１）に、真空バルブが開放している始端位置から中間位置まで移動可能であり、横駆動部（１９）により、該中間位置から真空バルブが閉鎖している少なくとも１つの終端位置まで移動可能なバルブロッド（１１）を備えた真空バルブであって、
   少なくとも１つのガイド部材（２４）により、前記縦方向（２１）に移動可能に案内される伝達部材（２３）が前記バルブロッド（１１）に取付けられ、
   前記横駆動部（１９）の少なくとも１つの駆動部材（２６）は、前記ガイド部材（２４）と係合し、
   前記ガイド部材（２４）は、少なくとも１つの前記駆動部材（２６）を介して、前記横駆動部（１９）により、横方向（２２）に移動可能であり、
   前記ガイド部材（２４）は、前記横方向（２２）に動作している間、前記伝達部材（２３）と共に移動することを特徴とする真空バルブ。
2. 請求項１に記載の真空バルブにおいて、
   少なくとも１つの前記駆動部材（２６）がそれぞれに係合する、少なくとも１つの前記ガイド部材（２４）が前記縦方向（２１）に垂直かつ前記横方向（２２）に垂直となる方向に対して、前記バルブロッド（１１）のそれぞれ両側に配置されていることを特徴とする真空バルブ。
3. 請求項１又は２に記載の真空バルブにおいて、
   前記駆動部材（２６）は、前記横駆動部（１９）のピストン（２７）に接続されたピストンロッドであることを特徴とする真空バルブ。
4. 請求項１〜３の何れか１項に記載の真空バルブにおいて、
   少なくとも１つの前記ガイド部材（２４）は、棒状に形成されていることを特徴とする真空バルブ。
5. 請求項２〜４の何れか１項に記載の真空バルブにおいて、
   前記横方向（２２）に互いに離間し、少なくとも１つの前記駆動部材（２６）がそれぞれに係合する、２つのガイド部材（２４）が前記縦方向（２１）に垂直かつ前記横方向（２２）に垂直となる方向に対して、前記バルブロッド（１１）のそれぞれ両側に配置されることを特徴とする真空バルブ。
6. 請求項１〜５の何れか１項に記載の真空バルブにおいて、
   前記バルブロッド（１１）は、第１及び第２閉止部材（９，１０）を支持し、
   前記バルブロッド（１１）の第１終端位置では、第１閉止部材（９）が第１バルブ開口部（２）を取り囲む第１バルブシート（６）に対して押圧され、
   前記バルブロッド（１１）の第２終端位置では、第２閉止部材（１０）が第２バルブ開口部（３）を取り囲む第２バルブシート（７）に対して押圧されることを特徴とする真空バルブ。
7. 請求項１〜６の何れか１項に記載の真空バルブにおいて、
   前記伝達部材（２３）を前記縦方向（２１）に駆動するため、少なくとも１つの横駆動部（１８）の駆動部材（３２）が該伝達部材（２３）に接続されていることを特徴とする真空バルブ。
8. 請求項７に記載の真空バルブにおいて、
   少なくとも１つの駆動部材（３２）は、前記伝達部材（２３）に、前記横方向（２２）に移動可能に接続されていることを特徴とする真空バルブ。
9. 請求項７又は８に記載の真空バルブにおいて、
   少なくとも１つの駆動部材（３２）は、前記縦駆動部（１８）のピストン（３３）に接続されたピストンロッドであることを特徴とする真空バルブ。
10. 請求項１〜９の何れか１項に記載の真空バルブにおいて、
    真空バルブは、バルブハウジング（１）を備え、
    その内部に少なくとも１つの閉止部材（９，１０）が配置されていることを特徴とする真空バルブ。
11. 請求項１〜１０の何れか１項に記載の真空バルブにおいて、
    前記伝達部材（２３）は、前記縦方向（２１）及び前記横方向（２２）に移動不能な横駆動部ハウジング（２９，３０）の内部空間に配置されていることを特徴とする真空バルブ。
12. 請求項１１に記載の真空バルブにおいて、
    少なくとも１つのガイド部材（２４）は、前記横駆動部ハウジング（２９，３０）に対して前記横方向（２２）に移動可能に案内され、前記縦方向（２１）には移動不能に保持されていることを特徴とする真空バルブ。
13. 請求項１〜１２の何れか１項に記載の真空バルブにおいて、
    前記横駆動部（１９）は、少なくとも１つのばね要素（４６）を備え、
    前記ばね要素（４６）は、１つの終端位置、又は複数の終端位置のうちの１つにあるバルブロッド（１１）を中間位置の方向に付勢していることを特徴とする真空バルブ。
14. 請求項１〜１３の何れか１項に記載の真空バルブにおいて、
    前記バルブロッド（１１）の終端位置、又は各終端位置では、前記伝達部材（２３）との接続領域から該バルブロッド（１１）の少なくとも１つの閉止部材（９，１０）と離間した端部まで延びる該バルブロッド（１１）の部分は、１つ又は各横凸部（４２，４３）で支持されていることを特徴とする真空バルブ。