JP2002228043A

JP2002228043A - 真空バルブ

Info

Publication number: JP2002228043A
Application number: JP2001392850A
Authority: JP
Inventors: Bernhard Duelli; ドゥエリベルンハルド
Original assignee: VAT Holding AG
Current assignee: VAT Holding AG
Priority date: 2001-01-11
Filing date: 2001-12-25
Publication date: 2002-08-14
Also published as: US6629682B2; US20020088959A1; KR20020060568A

Abstract

(57)【要約】【課題】バルブの閉塞状態においてシールリングの変形
が規制され、腐食性ガスからシールリングを保護するこ
とのできる真空バルブを提供する。【解決手段】開口部(弁ポート)１とバルブシート４を備
える壁体２と弁プレート３とからなる真空バルブにおい
て、弁プレート３またはバルブシート４にシールリング
１９と弁ポート１により近接した補助リング２０とを配
設し、バルブ閉塞時、補助リング２０によりシールリン
グ１９に作用するシーリングフォースを規制し、シール
リング１９を処理ガスから隠蔽する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、バルブの閉塞状態
において弁プレートをバルブシートに押圧し、壁体に設
けられた開口部(弁ポート)を閉塞する真空バルブに関す
る。更に、本発明は壁体に設けられた開口部を閉塞する
弁プレートに関し、特に、弁プレートによって壁体の開
口部を閉塞する真空バルブにおけるシール部材に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】本発明にいう壁体とは、真空バルブのバ
ルブハウジングを構成する壁体、または真空室を構成す
る壁体でもよく、弁ポート(開口部)及びバルブシートを
備える真空室の壁体は真空バルブの一部を構成するもの
とする。バルブシートに弁プレートを押圧することによ
り弁ポートをシールするために、弾性シールリングが用
いられる。該シールリングは弁プレートまたはバルブシ
ートに配置される。例えば、弁プレートが円形の場合は
シールリングは円形リングに形成されてバルブが閉鎖状
態のときにシーリング面に押圧される。シールリングが
弁プレートに配置される場合は、バルブシートにシーリ
ング面が設けられる。反対に、シールリングがバルブシ
ートに配置される場合はシーリング面が弁プレートに設
けられる。

【０００３】弁ポートの周囲のバルブシートに押圧され
る弁プレートにより弁ポートを閉塞するプレートバルブ
形式の真空バルブについては多くの様々な具体例が知ら
れている。かかる形式のプレートバルブの通常における
第１の実施例はスライドバルブである。この場合バルブ
を閉塞するために、最初に駆動装置により弁プレートが
シーリング面を横断する方向に直線的に駆動されて、弁
ポートと対面するがバルブシートからは離れた位置まで
移動される。

【０００４】続いて、弁ポートの縦軸方向、即ちシーリ
ング面に垂直な移動が行われ、弁プレートがバルブシー
トに押圧される。“Ｖｉｔｏｎ”(商品名)のような弾性
材料料からなるシールが剪断ストレスに曝されて許容で
きない疲労を招くので、このような２段階の移動行程が
必要となる。

【０００５】閉塞移動の第２段階は、上記したスライド
バルブにおいては種々の方法、例えばレバー機構、弁プ
レートと支持プレート間の楔形のギャップを案内される
回転体、傾動エレメント等、で行われる。第２移動段階
（シーリング面または弁ポートに垂直な移動）の間、バ
ルブロッドの曲がりを防止するために、バルブシートが
対面する位置の壁面に対して同時に移動するカウンター
プレートが通常備えられる。かかる形式のスライドバル
ブは、例えばＵＳＰ４５６０１４１号、ＤＥ３２０９２
１７Ｃ２号、ＤＥ３２２４３８７Ｃ２号及びＵＳＰ３１
８５４３５号に開示されている。

【０００６】プレートバルブまたはスライドバルブの特
殊なタイプにおいて、第２移動段階、即ち基本的にシー
リング面に対して垂直な方向の移動により、バルブシー
トに弁プレートを押圧する移動は、支点の回りにバルブ
ロッドを揺動させることにより行われる。かかる支点は
バルブロッドの横方向に配置された案内溝中をガイドさ
れるピンまたはローラにより形成される。そのため、こ
の場合バルブロッドは最初に直線的に変位し次に傾動す
るレバーのように構成される。かかるタイプの構造の例
はＵＳＰ５４１５３７６号、ＵＳＰ５６４１１４９号、
ＵＳＰ６０４５１１７号、ＵＳＰ５９３４６４６号、Ｕ
ＳＰ５７５５２５５号、ＵＳＰ６０８２７０６号及びＵ
ＳＰ６０９５１８０号に開示されている。

【０００７】プレートバルブの他の形式においては、弁
プレートの移動行程における第１段階の弁プレートの直
線的移動がなく、弁ポートに対面する位置まで円弧に沿
って弁プレートを回動する。かかる目的のため、弁ブロ
ッドは弁プレートの反対側端部をシャフトに吊下げて、
バルブフェースに垂直に延出する軸の回りに回動するよ
うにする。弁プレートのバルブシート方向への閉塞移動
である第２段階はこのシャフトを直線的に変位させて行
う。

【０００８】他の従来タイプのプレートバルブはアング
ル弁と呼ばれるものである。このバルブは、弁プレート
が固定されるバルブロッドが弁ポートに対向する壁面を
貫通して真空の外部から適切なガイド手段によりガイド
される。

【０００９】バルブをシールする弾性材料からなるシー
ルリングは従来知られている。シールリングに使用され
る一般的材料は“Ｖｉｔｏｎ”の商標名で知られている
が、他の材料から製造されたシールリングも通常知られ
ている。シールリングは弁プレートの外周輪郭に適用さ
れ、例えば円形形状または曲線状の角部を有する方形状
の外周輪郭に対応する閉じられた環状の輪郭を有する形
状に形成される。

【００１０】慣用の真空バルブにおいては、バルブシー
トに弁プレートを押圧する充分な接触圧力は通常バルブ
閉塞状態のシールリングに作用する。特に、互いにシー
ルされた二つの領域間の差圧が弁プレートに作用する場
合は、顕著な力がシールリングに作用する。かかる力は
必要なシーリングフォースをはるかに超える可能性があ
る。シーリングフォースとはシーリングを達成するため
にシールリングに加えなければならい力である。大きさ
の変動する差圧が弁プレートに作用する場合は、これら
従来の構成のシールリングにかかる力は少なくともシー
ルリングの力に最大差圧の結果として生起する力を加え
たものに等しい。この接触圧力は、接触圧に反する差圧
が全くない場合もシールリングに作用し、そのためシー
ルリングには極めて大きいストレスがかかる。これがシ
ールリングの弾性材料の比較的早い疲労を招く。

【００１１】かかる問題は腐食性の処理ガスを使用する
場合は加速される。通常シールに用いられる弾性材料は
高ストレス状態における腐食性処理ガスによる化学的腐
食によって決定される。それゆえに、差圧の発生にか
かわらず、シールリングの弾性材料の変形を所定の値に
制限するように弁プレートの駆動量を規制することが既
に提案されている。しかしながら、かかるタイプの駆動
量を規制するために極めて微小な駆動量をモニターする
には実現に大きな費用を要する上に故障を起こし易い。

【００１２】更に、ＥＰ１０２８２７８Ａ２は処理ガス
からシールリングを隠蔽するシール部材を開示する。こ
の場合、例えばプレート状に形成された保護シールがシ
ールリングに付加され、バルブ閉塞状態において弁ポー
トを基本的に完全にカバーする。平坦な保護シールの端
部は変形されたシールリングのテンションによって開口
部の周囲に押圧される。また、バルブ閉塞状態のシール
リングの変形はかかる構造のために規制される。

【００１３】バルブ閉塞状態において弁ポート周囲の面
に接触する金属突起と一体に成形されたバルブディスク
も知られている。これもシールリングの変形を制限す
る。しかしながら、弁プレートの金属製突起が、弁ポー
ト周囲の金属表面に接触することは金属表面の粒子を真
空中に放出し、不純物に対して敏感な真空中の部材(例
えば、高純度の表面を有する半導体基板等)に付着する
ような不測の事態を招く。

【００１４】

【発明が解決しようとする課題】本発明の主たる目的
は、バルブの閉塞状態においてシールリングの変形が規
制される上記の形式の真空バルブを提供するにある。本
発明の真空バルブは簡単な構成を有し、バルブ閉塞時に
粒子の放出を防止する。更に、本発明の目的は上記形式
の真空バルブにおいて、シールリングを腐食性ガスから
隠蔽するシール部材の簡単な構造を提供するにある。本
発明の更なる目的は、壁体に形成された開口部（弁ポー
ト）を閉塞するときに、シールリングの変形を規制し、
かつシールリングが処理ガスから遮蔽され、簡単な方法
で製造できる弁プレートを提供するにある。更に、本発
明の他の目的は、壁体の弁ポートを弁プレートによって
シールする真空バルブであって、簡単な構成のシール部
材によりシールリングの変形を規制し、かつシールリン
グが処理ガスから遮蔽され、バルブ閉塞時にも不要な粒
子を真空中に放出することのない製造容易な真空バルブ
を提供するにある。

【００１５】

【課題を解決するための手段】本発明にかかる真空バル
ブは、弁プレートまたはバルブシートに配設され、少な
くとも真空バルブ閉塞状態においてシールリングから見
てシールリングより開口部に近接するプラスティックか
らなる補助リングを有する。該補助リングは、真空バル
ブ閉塞状態において、シールリングに作用する押圧力を
規制する。更に、この補助リングは、真空バルブ閉塞状
態において、処理ガスからシールリングを遮蔽する。バ
ルブが閉塞されたとき、弁プレートとバルブシート間の
金属間接触がないため、弁閉塞時の粒子の放出が減少さ
れる。

【００１６】本発明にかかる弁プレートにおいては、プ
ラスティック製の補助リングが弁プレートに配設され、
該補助リングは、弁プレートの開弁時に、シールリング
よりも弁プレートも側面に近接して配置され、弁プレー
トが閉塞する状態において、前記シールリングに作用す
る押圧力を規制する。

【００１７】本発明の好ましい実施の形態においては、
補助リングはシールリングに結合され、一体に成形され
る。本発明の他の実施の形態においては、シールリング
と補助リングは別体として構成される。本発明にかかる
多くの特徴及び構成は請求項に記載される。更に、本発
明の利点及び詳細について、図面に示す実施形態を参照
して以下に記載する。本発明の更なる目的はこれら実施
の形態から理解されよう。

【００１８】

【発明の実施の形態】図１は、図３に示す本発明の一実
施の形態である真空バルブのＡ−Ａ断面を示す概略図
で、弁プレートが弁ポートに対面しているが押圧されて
いない状態を示す。図２は、図１に対応する開口状態の
概略断面図である。図３は、一部断面を示す真空バルブ
の概略の正面図である。図４は、図１に対応する部分的
拡大断面図である。図５、図６は、図４に示すシール部
材の他の実施の形態を示す概略断面図である。図７は、
真空室の壁体に形成されている開口部（弁ポート）示す
概略断面図である。

【００１９】図１〜図４に示す本発明に係る実施の形態
において、弁ポート１がバルブハウジングの壁体２に設
けられている。弁ポート１は弁プレート３を壁体２にお
ける弁ポート１周囲の領域に押圧して閉塞される。かか
る領域は弁プレート３の対向する面にバルブシート４を
形成する。図２に示すバルブの開口状態において、弁ポ
ート１は弁プレート３により開口されている。バルブハ
ウジングを貫流し得るように壁体２と反対側のバルブハ
ウジングの壁体６にも開口７が設けられている。

【００２０】バルブシート４に弁プレート３を押圧する
閉塞位置と弁ポート１を開口する開放位置との間を弁プ
レート３の移動を行う駆動装置が備えられる。駆動装置
は本発明の主題ではないが種々の方法で構成することが
でき、たとえば、本明細書で前述した公知技術に開示さ
れている種々の方法で行うことが出きる。

【００２１】使用可能な駆動装置５が図１乃至図３に概
略図で示している。この駆動装置５は弁プレート３が先
端に固定された複数の弁ロッド８を有する。各弁ロッド
８は、バルブハウジング１４の中に設けられたシリンダ
１０に配設されたピストン９のピストンロッドとして形
成されている。このピストン９によって弁プレート３は
図２に示すバルブ開放位置から図１に示す弁ポート１と
バルブシート４に対向する位置まで直線的に移動する。
もう一つのシリンダ１１がシリンダ１０に剛的に固定さ
れている。ピストン１２（図２にプランジャーピストン
として概略的に示す）がシリンダ１１内に配置され、ピ
ストン９の移動方向に垂直に移動し、その端部がシリン
ダ１１から突出してバルブハウジング１４の内壁面１３
に支持される。スプリング手段１５、例えば二枚の円形
板バネ、がシリンダ１１の反対側でシリンダ１１と内壁
１３に対向するバルブハウジング１４の壁面との間に設
けられて、シリンダ１１を内壁１３方向に付勢する。

【００２２】シリンダ１０は、シリンダ１１と共に、軸
１６の廻りに回動可能に支持される。軸１６はシリンダ
１０の両側に配置されバルブハウジングの削孔２６から
突出する一対のピン２５により形成される。軸１６はピ
ストンロッド８に対して直角に延びておりピストン１２
の移動方向に対して直角に延びている。ピストン１２を
作動すると、弁プレート３が、弁ポート１に対面しては
いるがバルブシートから離間している図１に示す位置か
ら、弁プレート３がバルブシート４に押圧されるバルブ
の閉塞位置へと回動する。例えば、ベローズまたはＯリ
ング１７がシリンダ１０とバルブハウジング１４との間
のシーリングのために備えられている。

【００２３】周囲を閉塞するシール部材が弁プレート３
の側面１８の弁ポート１に面する端部領域に備えられ
る。このシール部材は、バルブの閉塞状態においてバル
ブシート４に位置するシーリング面２７に押圧される弾
性シールリング１９からなり、バルブシート４と弁プレ
ート３との間のシーリングを行う。この実施の形態にお
いてはシールリング１９は図４に見られるようにシール
リップで構成されている。このシール部材は更に、図４
に見られるように、シールリング１９よりも弁ポート１
に近接した補助リング２０を有する。

【００２４】この実施の形態においては、補助リング２
０はシールリング１９と一体に形成され接続ウエブ２１
で一体に接続されている。本実施形態の補助リング２０
及びシールリング１９は、例えば“Ｖｉｔｏｎ”のよう
な同一の弾性材料料から製造される。シール部材と対面
している弁ポート周囲のシーリング面２２と接触するシ
ールリング２０の接触面はシーリング面２２と接触する
シールリング１９の接触面より実質的に大きい（シーリ
ング面２２はシールリングに対面する領域においてシー
リング面２７を形成する）。補助リング２０の接触面は
少なくともシールリングの接触面の２倍の大きさである
ことが好ましい。特に好ましい本発明の実施の形態にお
いては少なくとも３倍の大きさである。

【００２５】更に、その断面に見られるシールリング１
９の厚さは補助リング２０の厚さより大で、好ましくは
約２倍の厚さである。シールリング１９は、補助リング
２０と同様に、弁プレート３の側面１８に設けられた凹
部に配置され、シールリング１９の凹部は補助リング２
０の凹部より深い。本実施の形態のシール部材は好まし
くは弁プレート３に装着されて加硫(架橋硬化)される。

【００２６】図４に示す弁プレート３の位置は図１に示
す位置と、完全に閉塞した位置との中間の位置、即ちシ
ールリング１９の頂点がこの領域でシール面を形成する
シーリング面２２に丁度接触した位置に相当する。補助
リング２０の接触面はシーリング面２２からやや距離を
保っている。この位置から引き続き弁プレート３がバル
ブシート４に押圧されると、シールリング１９は補助リ
ング２０の接触面がシーリング面２２に接触するように
なるまで変形する。補助リング２０の接触面のサイズ及
び補助リング２０の小さい厚さのため、作用する接触押
圧力による補助リング２０の変形は僅かである。そのた
め弁プレート３に作用する押圧力の大部分を吸収し、シ
ールリング１９に作用する接触押圧力と変形を制限す
る。

【００２７】バルブ閉塞状態の弁プレート３に開口方向
の差圧が作用すると、この差圧により補助リング２０に
作用する接触押圧力は減少する。しかしながら、シール
リング１９に作用する接触押圧力は変化し難く、（弁プ
レート３に作用する全接触押圧力が充分大きい限りは）
シールリング１９に作用してバルブの耐漏性を確実にす
るシーリングフォースは維持される。弁プレート３の閉
塞方向の差圧が弁プレート３に作用する場合は、補助リ
ング２０に作用する接触押圧力が増加するがシールリン
グ１９にかかる接触押圧力はそれ程増加しないので、シ
ールリング１９の変形量は無視できる程度の変化で済
む。更に、バルブの閉塞状態において、補助リング２０
は弁プレート３に面する位置の側方から処理ガスが進入
するのを実質的に防止する。

【００２８】シールリング１９及び補助リング２０が配
置される弁プレートの側面１８の凹部は、バルブの閉塞
状態において適切な変形量(例えば、１０〜１５％の範
囲)となるように選択される。シールリング１９と補助
リング２０の凹部を異なるサイズとする代わりに、隆起
量を異なるサイズにするか、あるいはシールリングを凹
部に配置して補助リングを隆起部に配置するか、あるい
はシーリング面２２を段状に形成するか、してもよい。
更に、シールリング１９と補助リング２０に弾性の異な
る材料を使用することもできる。補助リング２０にシー
ルリング１９より低弾性の材料を使用する時は、シール
リング１９及び補助リング２０の厚さは図４に示すもの
とは異なった比率とすることも可能であり、例えば同一
厚さに構成することも可能である。

【００２９】シール部材は、弁プレート３の側面１８の
代わりにバルブシート４に配設してもよい。この場合、
シーリング面は弁プレート３の面に配置される。

【００３０】図５に示す本発明の実施形態においては、
シールリング１９'及び補助リング２０'は別体に形成さ
れる。シールリング１９'は溝部２３に配置されるＯリ
ング２７により構成される。バルブの開口状態におい
て、溝部２３はバルブ閉塞時にシールリング１９'が変
形するための余剰空間を有する。本実施形態において補
助リング２０'は同様にOリングとして形成され、側面１
８から突出する部分を除いて、Oリングの外周面に適合
した溝部に収容されている。そのため補助リング２０'
は僅かしか変形しない。シールリング１９'に比較して
補助リング２０'の変形量を減少するために、補助リン
グ２０'をシールリング１９'の材料に比較して低弾性の
材料で形成するか、または剛性のある可塑性材料で形成
してもよい。

【００３１】図６に示す本発明の実施の形態において
は、補助リング２０"は方形の断面を有している。補助
リング２０"は弁プレート３の側面１８に形成された溝
に接着され、テフロン（登録商標）、ＰＦＡ等の適当な
可塑性材料で成形されている。図５及び図６に例として
示したシールリング及び補助リングは、別部材として形
成され弁プレート３又はバルブシート２の何れかに選択
的に配設することができる。好ましくは両部材を弁プレ
ート３に配設するが、両部材をバルブシート２に配設す
ることも、一方をバルブシート３に他方を弁プレート２
に配置することもできる。

【００３２】図７に示す本発明の実施形態においては、
弁ポート１は真空室２４の壁面２に配置されている。こ
の壁面２に真空バルブの一部を構成するバルブシート４
が配置される。弁プレート３を駆動する駆動装置は、図
７には図示しないが、前に述べたように原則的にどのよ
うな方法で構成されてもよい。上記の記載から理解でき
るように、本発明の範囲はここに示した実施形態に限定
されるものではなく、可能な範囲の均等物を含む特許請
求の範囲に関連して理解されるべきである。

【図面の簡単な説明】

【図１】図３に示す本発明の一実施の形態である真空バ
ルブのＡ−Ａ断面を示す概略図で、弁プレートが弁ポー
トに対面しているが押圧されていない状態を示す。

【図２】図１に対応する真空バルブの開口状態を示す概
略断面図である。

【図３】一部断面を示す本発明の位置実施の形態である
真空バルブの概略の正面図である。

【図４】図１に示す真空バルブのシール部材部分の拡大
断面図である。

【図５】図４に示すシール部材の他の実施の形態を示す
概略断面図である。

【図６】図４に示すシール部材の他の実施の形態を示す
概略断面図である。

【図７】真空室の壁体に形成されている開口部（弁ポー
ト）示す概略断面図である。

【符号の説明】

１弁ポート、２壁体、３弁プレート、４
バルブシート、８弁ロッド、９，１２ピストン、
１０，１１シリンダ、１５スプリング、１９
シールリング、２０補助リング、２４真空
室、

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】バルブ開口部とバルブシートとを備える壁
体と、閉塞状態において前記バルブシートに押圧される
弁プレートとからなる真空バルブにおいて、前記弁プレートまたはバルブシートに配置されて、真空
バルブ閉塞時に、バルブシートまたは弁プレートに配置
されるシーリング面に押圧されて前記開口部をシールす
る弾性シールリングと、前記弁プレートまたはバルブシートに配置されて、少な
くとも真空バルブ閉塞状態において前記シールリングよ
り前記開口部に近接して位置し、前記シールリングに作
用する押圧力を規制するプラスティック製の補助リング
とからなるシール部材を備えることを特徴とする真空バ
ルブ。
【請求項２】前記シールリング及び補助リングは接続ウ
エブにより互いに接続されていることを特徴とする請求
項１に記載の真空バルブ。
【請求項３】前記シールリング及び補助リングは前記開
口部周囲のシーリング面に接触する接触面を有し、前記
補助リングの接触面はシールリングの接触面より大きい
ことを特徴とする請求項２記載の真空バルブ。
【請求項４】前記シールリング及び補助リングは同一の
弾性材料料からなることを特徴とする請求項３記載の真
空バルブ。
【請求項５】前記シールリングの断面の厚さは前記補助
リングの厚さより大きく、前記開口部周囲のシーリング
面から前記弁プレートまでの距離は前記シールリングの
領域において前記補助リングの領域より大きいことを特
徴とする請求項４記載の真空バルブ。
【請求項６】前記シールリング及び補助リングは前記弁
プレートまたはバルブシートに装着されて加硫されるこ
とを特徴とする請求項４記載の真空バルブ。
【請求項７】前記シールリングと補助リングとは別体と
して形成されたことを特徴とする請求項１記載の真空バ
ルブ。
【請求項８】前記シールリングは弁プレート又はバルブ
シートに形成された溝に配置されたＯ-リングであるこ
とを特徴とする請求項７記載の真空バルブ。
【請求項９】前記補助リングは弁プレート又はバルブシ
ートに形成された溝に配置されたＯ-リングであること
を特徴とする請求項７記載の真空バルブ。
【請求項１０】前記補助リングは前記シールリングより
硬質の材料により形成されていることを特徴とする請求
項７記載の真空バルブ。
【請求項１１】壁体に形成された開口部をシールするた
めの弁プレートにおいて、該弁プレートの側面に配設され、弁プレートの閉塞状態
において、該弁プレートの側面と前記開口部の周囲に設
けられたシーリング面との間の圧力により押圧される弾
性シールリングと、前記弁プレートの側面に前記シールリングより前記開口
部に近接して配設され、前記弁プレートが前記開口部を
閉塞する状態において、前記シールリングに作用する押
圧力を規制するプラスティック製の補助リングとを有す
ることを特徴とする弁プレート。
【請求項１２】前記シールリング及び補助リングは接続
ウエブにより互いに接続されていることを特徴とする請
求項１１に記載の弁プレート。
【請求項１３】前記シールリング及び補助リングは前記
開口部周囲のシーリング面に接触する接触面を有し、前
記補助リングの接触面はシールリングの接触面より大き
いことを特徴とする請求項１２記載の弁プレート。
【請求項１４】前記シールリング及び補助リングは同一
弾性材料料からなることを特徴とする請求項１３記載の
弁プレート。
【請求項１５】前記シールリングの断面の厚さは前記補
助リングの厚さより大きく、前記開口部周囲のシーリン
グ面から前記弁プレートの側面までの距離は前記シール
リングの領域において前記補助リングの領域より大きい
事を特徴とする請求項１４記載の弁プレート。
【請求項１６】前記シールリング及び補助リングは弁プ
レートまたはバルブシートに装着されて硬化されること
を特徴とする請求項１４記載の弁プレート。
【請求項１７】前記シールリングと前記補助リングとは
別体として形成されたことを特徴とする請求項１１記載
の弁プレート。
【請求項１８】前記シールリングは弁プレート又はバル
ブシートに形成された溝に配置されたＯ-リングである
ことを特徴とする請求項１７記載の弁プレート。
【請求項１９】前記補助リングは弁プレート又はバルブ
シートに形成された溝に配置されたＯ-リングであるこ
とを特徴とする請求項１７記載の弁プレート。
【請求項２０】前記補助リングはシールリングより硬質
の材料により形成されていることを特徴とする請求項１
７記載の弁プレート。
【請求項２１】壁面に形成された開口部を弁プレートに
よりシールする真空バルブのシール部材において、真空バルブの閉塞状態において前記弁プレートと壁体と
の間のシーリング圧力により押圧されるシールリング
と、該シールリングと一体に形成され、該シールリングより
前記開口部に近接して配置されて真空バルブ閉塞状態の
とき前記シールリングに作用する押圧力を規制するプラ
スティック製の補助リングとを備えることを特徴とする
真空バルブのシール部材。
【請求項２２】前記シールリング及び補助リングは接続
ウエブにより互いに接続されていることを特徴とする請
求項２１に記載の真空バルブのシール部材。
【請求項２３】前記シールリング及び補助リングは前記
開口部周囲のシーリング面に接触する接触面を有し、前
記補助リングの接触面はシールリングの接触面より大き
いことを特徴とする請求項２１記載の真空バルブのシー
ル部材。
【請求項２４】前記補助リングの接触面はシールリング
の接触面の少なくとも２倍であることを特徴とする請求
項２３記載の真空バルブのシール部材。