KR100960030B1

KR100960030B1 - 진공 게이트 밸브

Info

Publication number: KR100960030B1
Application number: KR1020040017074A
Authority: KR
Inventors: 다이엘 자이쯔
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2004-03-12
Filing date: 2004-03-12
Publication date: 2010-05-28
Also published as: KR20050091580A; US20050199848A1; US7134642B2

Abstract

본 발명은 개구부(3)를 폐쇄하는 밸브판(5)을 구비한 진공 게이트 밸브에 관한 것이다. 상기 밸브판(5)은 밸브 로드(8)에 장착되어, 이 밸브판(5)을 상기 개구부(3) 위로 이동시켜 이 개구부(3)를 포위한 밸브 시트(4)에 압박함으로써 개구부(3)가 폐쇄될 수 있도록 지지되고 조정 가능하다. 상기 밸브판(5)과 상기 밸브 로드(8) 사이의 접속부는 레이디얼 베어링 세그먼트(12)와 회전각 제한 세그먼트(13)를 포함한다. 상기 레이디얼 베어링 세그먼트(12)는, 상기 밸브판(5)이 상기 밸브 시트(4)에 대하여 압박될 때 이 밸브판(5)의 밸브 로드 축선(11)에 관한 정렬이 상기 밸브 시트(4)에 맞도록, 상기 밸브판(5)이 상기 밸브 로드 축선(11)을 중심으로 상기 밸브 로드(8)에 대하여 회전하는 것을 가능하게 한다. 상기 회전각 제한 세그먼트(13)는 상기 레이디얼 베어링 세그먼트(12)에 의해서 가능해지는 회전을, 상기 밸브판(5)이 상기 개구부(3) 위로 이동할 때 상기 밸브 하우징(1)과 상기 밸브판(5) 사이에 초과 회전각이 발생할 수 없도록, 정해진 각도 범위(14)로 제한한다. 아울러, 본 발명은 밸브판(5)을 밸브 로드(8)로부터 분해하고 밸브판(5)을 밸브 로드(8)에 장착하기 위한 다기능 공구(22)를 포함한다.

게이트 밸브, 밸브판, 밸브 로드, 레이디얼 베어링, 회전각, 다기능 공구

Description

진공 게이트 밸브{VACUUM GATE VALVE}

도 1a, 도 1b 및 도 1c는 전형적인 진공 게이트 밸브의 기능을 보여주는 도면,

도 2a 및 도 2b는 밸브판의 저면도 및 배면도,

도 3a 및 도 3b는 밸브 로드의 연결 세그먼트의 측면도 및 평면도,

도 4a는 밸브판이 장착된 진공 게이트 밸브의 단면 사시도,

도 4b는 밸브판이 분해된 진공 게이트 밸브의 단면 사시도,

도 5는 리셉터클 및 연결 세그먼트의 상세도,

도 6a는 중심에 위치한 밸브판으로 회전각을 제한하는 세그먼트의 개략적인 관통 단면도,

도 6b는 밸브판의 가능한 회전 범위를 예시하는 회전각 제한 세그먼트의 개략적인 관통 단면도,

도 7은 밸브판을 분해 및 장착하기 위한 다기능 공구를 보여주는 도면, 및

도 8a, 도 8b 및 도 8c는 다기능 공구를 이용한 밸브판의 분해 작업을 보여주는 도면이다.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1: 밸브 하우징 2: 벽부

3: 개구부 4: 밸브 시트

5: 밸브판 6: (밸브판의) 리셉터클

7: (밸브판의) 밀봉면 8: 밸브 로드

9: (밸브 로드의) 연결 세그먼트 10: 제어 기구

11: 밸브 로드 축선 12: 레이디얼 베어링 세그먼트

12a: 원통형 샤프트(밸브 로드) 12b: 원통형 보어(밸브판)

13: 회전각 제한 세그먼트

13a: 외측 사각 세그먼트(밸브 로드)

13a': 평행 평면형 외측면들(밸브 로드, 외측 사각 세그먼트)

13b: 내측 사각 세그먼트(밸브판)

13b': 평행 평면형 내측면들(밸브판)

14: 정해진 각도 범위 15: 제1 나사 구멍(밸브 로드)

16: 관통 보어(밸브판) 17: 리셉터클 반대측 측부

18: 나사/육각 소켓 머리 나사 19: (밸브판 내의) 핸들 리세스

20: 밀봉면 반대측 측부

21: 제2 나사 구멍(밸브판, 다기능 공구용)

22: 다기능 공구 23: 핸들

24: 세장형 샤프트 25: 샤프트의 팁

26: 외측 육각 세그먼트 27: 수나사

28a, 28b, 28c: 화살표

29: (밸브 하우징 내의) 서비스 리드

30: (밸브 하우징 내의) 서비스 개구부

31a, 31b, 31c: 화살표

32: 밀봉링

본 발명은 밸브 로드(valve rod)상에 밸브판(valve plate)이 배치된 진공 게이트 밸브로서, 상기 밸브판은 소정의 개구부 위로 이 밸브판을 이동시키고 그 밸브판을 그 개구부 위에 압박함으로써 그 개구부를 폐쇄시키는 데 사용되는 진공 게이트 밸브에 관한 것이다. 또한, 본 발명은 상기 밸브판 및 이러한 밸브판을 장착 및 분해하는 데 사용되는 다기능 공구에 관한 것이다.

콘테이너 또는 파이프라인의 개구부를 폐쇄하는 데 사용되는 진공 게이트 밸브는 다양하게 구현된 형태로서 당업계에 공지되어 있다. 주로 L자형인 진공 게이트 밸브는 오염 입자들이 존재하는 것을 가능한 최대한의 범위까지 배제시키는 보호된 분위기 중에서 수행되어야 하는, 특히 IC 및 반도체 제조에 이용되고 있다. 예를 들면, 반도체 웨이퍼 또는 액정 기판용 생산 유닛에서는 매우 민감한 반도체 또는 액정 소자들이 복수의 생산용 챔버를 통과하는데, 이들 각 챔버 는 연결 통로를 매개로 하여 다음의 챔버에 연결될 수 있으며, 이들 연결 통로는 상기 소자들이 하나의 생산용 챔버로부터 다음의 챔버로 운반될 수 있도록 진공 게이트 밸브를 매 개로 하여 개방된 후, 후속 생산 공정이 수행될 수 있도록 기밀 방식으로 다시 폐쇄된다.

종래 기술로부터 공지된 진공 게이트 밸브의 일반적인 구현 형태가 도 1a, 도 1b 및 도 1c에 비율과 관계없이 개략적으로 도시되어 있다. 도 1a는 개방 초기 위치에 있는 진공 게이트 밸브를 보여주고 있다. 상기 진공 게이트 밸브는 폐쇄될, 예컨대 장방형 개구부(3)가 형성되어 있는 벽부(2)를 구비하는 밸브 하우징(1)을 포함한다. 특정 형상의 면 또는 평탄면으로 형성되는 밸브 시트(4)가 시일(seal)과 함께 또는 시일이 없이 상기 개구부(3)를 포위하고 있다. 도 1a 도시되어 있는 바와 같이, 진공 게이트 밸브의 개방된 초기 위치에서 상기 벽(2)에 근접하여 상기 개구부(3)에 대하여 측부 위치에 위치하는 밸브판(5)은 상기 개구부가 상기 밸브판(5)의 밀봉면(7)에 의해 전체적으로 폐쇄될 수 있도록 상기 개구부(3)에 중첩되는 형상, 보다 구체적으로 말하자면 장방형 형상을 갖는다. 상기 밸브판(5)은 밸브 로드 축선(11)을 형성하는 밸브 로드(8)에 장착되어 있다. 경우에 따라, 단일한 밸브 로드(8) 대신에 두 개의 평행한 밸브 로드가 사용될 수도 있다. 종래 기술로부터 공지되어 있는 밸브판(5)과 밸브 로드(8)의 결합 방법에 대해서는 아래에서 보다 자세히 논의될 것이다. 계속해서 도 1b 및 도 1c에 도시되어 있는 바와 같이, 상기 밸브 로드(8)는 제어 기구(10), 예를 들면 유압 실린더 및 선회 이동 기어 유닛에 의해서 실질적으로 2 자유도(自由度)에 따라 제어될 수 있다. 보다 구체적으로 말하자면, 상기 밸브 로드(8)는 밸브 로드 축선(11)을 따라 직선형으로 이동되고 상기 벽부(2)에 대하여 수직인 평면 내에서 선회 이동될 수 있다.

상기 개구부(3)를 폐쇄시키는 것은 두 단계로 수행된다. 도 1a 및 도 1b에 도시된 상황들 사이에서 이루어지는 제1 단계에서, 상기 밸브 로드(8)는 제어 기구(10)에 의해서 두 개의 화살표(28a, 28b)로 도시되어 있는 바와 같이 밸브 로드 축선(11)을 따라서 신장되며, 이에 따라 상기 밸브판(5)은 밸브판(5)과 벽부(2) 또는 밸브 하우징(1)의 밸브 시트(4) 사이의 접촉을 피하면서 기본적으로 상기 벽부(2)에 평행한 경로를 따라서 개구부(3) 위로 이동된다.

화살표(28c)로 도시되는 바와 같이, 도 1b 및 도 1c의 상황들 사이에서 이루어지는 제2 단계에서, 상기 밸브 로드(8)는 상기 제어 기구(10)에 의해서 상기 벽부(2)를 향하여 선회 이동되며, 이에 따라, 예컨대 밀봉링을 유지시킬 수도 있는 밸브판(5)의 밀봉면(7)이 상기 밸브 시트(4)에 대하여 압박되어, 상기 개구부가 확고하게, 그리고 적용 가능한 경우에는, 기밀 방식으로 폐쇄된다. 밀봉은, 예를 들면, 상기 밸브판(5)의 밀봉면(7)에 배치되어 상기 개구부(3)를 포위하는 밸브 시트(4)에 대하여 압박되는 밀봉 링을 매개로 하거나 또는 상기 밸브판(5)의 밀봉면(7)이 압박되는 밸브 시트(4)상에 배치된 밀봉링을 매개로 하여 구현될 수 있다. 일반적으로, 밸브 시트(4)라고 하는 표현에 의하여, 일반적으로 벽부(2)의 대향면상에 상기 밸브판(5)의 밀봉면(7)이 압박되어 밀봉을 이루게 된다는 것을 일반적으로 이해할 것이다.

선행 기술, 예컨대 미국 특허 제6,629,682 B2호로부터 다른 밀봉 장치들이 공지되어 있다. 예컨대, Viton(등록상표)이라고 하는 상표명으로 알려져 있는 탄 성 밀봉재가 밀봉링에 적합한 재료이다. 두 단계로 이루어지는 폐쇄 동작을 고려하면, 상기 밀봉링은 그것을 파손시키는 어떤 전단력도 거의 받지 않게 되는데, 그 이유는 밸브 로드(8)의 선회 이동으로 상기 밸브판(5)이 상기 밸브 시트(4)에 수직으로 거의 직선형으로 이동되기 때문이다. 종래 기술로부터, 밸브 로드(8)의 제어 방향, 따라서 밸브판(5)의 제어 방향을 약간 다르게 할 수 있는 여러 종류의 제어 기구(10)가 공지되어 있다. 그러므로, 밸브판(5)의 밸브 시트(4)를 향한 아치형 선회 이동 경로 대신에, 벽부(2)에 대해서 직각인 밸브판(5)의 절대적으로 직선형의 이동이 시작될 수 있다. 전술한 종류의 진공 게이트 밸브의 다양한 구체예들이, 예컨대 미국 특허 제6,431,518 B1호, 제5,415,376 A호, 제5,641,149 A호, 제6,045,117A호, 제5,934,646 A호, 제5,755,255 A호, 제6,082,706호, 제6,095,180호 및 제6,629,682 B2호로부터 공지되어 있다.

종래 기술의 특별한 문제점은 밸브 하우징(1)에 대한 밸브판(5)의 정렬에서 나타났다. 여기에서, 한편으로는, 개구부(3)위로 상기 밸브판(5)을 이동시키는 제1 단계에서 상기 밀봉면(7)의 벽부(2) 또는 밸브 시트(4)와의 접촉이 밀봉면이나 밀봉링에 손상을 초래할 수도 있기 때문에 회피되어야 한다는 것을 주목해야 한다. 더욱이, 제2 단계에서는, 압력이 가해지는 경우 상기 밸브판(5)이 밸브 시트(4)에 대하여 정밀하게 정렬되어야 하는데, 그렇지 않으면 밸브판(5)의 밀봉면(7)이 밸브 시트(4)상의 그것의 정확한 위치에 도달하지 않게 되기 때문이다. 특히, 세장형(細長形) 밸브판(5)을 사용하는 경우, 밀봉면(7)과 밸브 시트(4)의 평면들이 압력이 가해지는 동안 정확하게 평행한 것이 결정적인데, 그렇지 않으면 밀봉면이 밸브 시 트를 따라 불균일하게 응력을 받게 되고, 이는 한편으로는 기밀성을 떨어뜨리고, 다른 한편으로는 밀봉재를 열화(劣化)시키기 때문이다. 더욱이, 밸브판(5)과 밸브 로드(8)는 굴곡력 및 비틀림력을 받게 된다. 이러한 이유로, 대부분의 부품용으로 종래 기술로부터 공지된 제어 기구는 밸브 로드(8)를, 그리고 이에 따라 밸브판(5)을 정밀하게 정렬시키기에 적합한 제어 메커니즘을 구비하고 있다.

상기 밸브 로드(8)와 밸브판(5) 사이의 접속은, 예를 들어 밸브 로드(8)상의 연결 세그먼트(connecting segment)(9)에 의해서 이루어지는데, 이 연결 세그먼트(9)는 밸브판(5)에 형성된 리셉터클(receptacle)(6) 내로 안내되어 이 리셉터클 내부에 고정된다. 그러한 고정은, 밀봉면과 반대측으로부터 삽입되는 적어도 하나의 나사에 의해서, 예컨대 미국 특허 제6,068,180호 및 제6,619,618호에서 설명된 바와 같은 여러 가지 구현 형태로 이루어진다.

미국 특허 제6,619,618호에는 벽두께가 불균일한, 즉 두 측부 구역에서보다 중간 부위가 더 두꺼운 밸브판을 구비한 진공 게이트 밸브가 개시되어 있다. 중앙의 두꺼운 구역에 밸브 로드용의 반원형 리셉터클이 형성되는데, 리셉터클과 밀봉면 사이의 벽두께는 상기 밀봉면에 대하여 반대측의 측면과 리셉터클 사이의 벽두께에 비해서 두껍다. 밸브 로드는 그것의 단부에 역시 반원형인 연결 세그먼트를 구비하고 상기 리셉터클 내로 삽입된다. 상기 밸브판은 상기 밀봉면에 대하여 반대측의 측면으로부터 체결되는 나사에 의해서 상기 밸브 로드상에 견고하게 장착된다. 방금 설명한 밸브판, 리셉터클 및 연결 세그먼트의 설계의 경우, 단일의 것 이상의 샤프트 또는 밸브판의 보다 더 두꺼운 전체 두께를 필요로 하지 않고, 상기 밸브 시트상에, 특히 세장형 밸브판의 측부 구역에서 압박될 때 밸브판의 과도한 굴곡을 회피하게 되어 있다.

진공 게이트 밸브의 지속적인 기밀성을 보장하기 위해서는, 상기 밸브판이 특정 시간 간격으로, 특히 밀봉링의 검사나 교체를 위한 제어나 보수 유지를 받아야 한다. 종래 기술로부터 공지된 진공 게이트 밸브의 경우, 밸브 로드로부터 밸브판을 분리시키기 위해서는, 특히 장착 나사를 풀고 밸브판을 밸브 로드로부터 분리시키기 위해서는, 밸브판의 몇 몇 측부로부터의 간섭이 필요하기 때문에, 밸브판의 분해 및 재장착이 어려운 것으로 밝혀졌다. 밸브판의 열악한 인간 공학적 취급 가능성으로 인하여, 밸브판이나 밸브 하우징, 그리고 특히 밸브 시트를 손상 없이 안전하게 분해하는 것이 쉽지 않다.

본 발명은, 높은 신뢰성, 단순화된 취급 및 보수 유지, 그리고 간단한 부품 설계에 의해서 구별되는, 서두에서 인용된 종류의 진공 게이트 밸브를 제공하는 것을 목적으로 한다.

이러한 목적은 독립 청구항의 특징적 구성을 실현함으로써 달성된다. 본 발명을 대안적인 또는 유리한 방법으로 발전시키는 특징적 구성은 종속 청구항으로부터 알 수 있다.

본 발명은 회전 성능을 제공함으로써, 적어도 압력이 첫 번째로 가해질 때 밸브 로드 축선 둘레의 밸브판의 정렬이 밸브 시트에 적합하게 될 수 있도록 하는, 밸브 로드와 밸브판 사이의 접속부를 구비하는 진공 게이트 밸브를 제공한다고 하는 사상을 바탕으로 하고 있다. 이는 밸브판의 지루한 사전 정밀 정렬의 필요성을 배제시킨다. 밸브판이 개구부 위로 이동되는 동안 회전 성능을 제한하는 수단을 사용함으로써, 밸브 하우징과 밸브판 사이의 접촉이 회피된다. 아울러, 본 발명은 밸브판의 단 하나의 측부로부터의 조작에 의해서 밸브판을 분해 및 재장착할 가능성을 제공하면 진공 게이트 밸브의 보수 유지가 상당히 단순화될 수 있다고 하는 사상을 추구한다. 이는 밸브판과 밸브 로드가 본 발명에 따라 구현되는 방법에 의해 달성된다.

이하, 본 발명을 일반적인 방식으로 설명한다.

본 발명의 진공 게이트 밸브는 일반적으로 개구부 및 이 개구부를 포위하는 밸브 시트가 있는 벽부를 구비하는 밸브 하우징을 포함한다. 상기 개구부는, 예컨대 모서리가 라운드형인 장방형 단면을 갖는다. 밸브 시트라고 하는 용어에 의해서, 일반적으로 밀봉면으로서 기능하는 벽부 세그먼트 위에 밀봉면으로서 작용하는 다른 하나의 면이 적용될 수 있다는 것을 이해한다. 하우징은 또한 벽부만으로 형성될 수도 있다. 상기 개구부는 밸브판에 의해서 폐쇄될 수 있다. 상기 밸브판은, 예컨대 장방형 섹션과 상기 밸브판에 의한 중첩으로 상기 개구부가 폐쇄될 수 있도록 크기가 설정된 밀봉면을 갖는다. 한 가지 가능한 실시예에 있어서, 밸브 시트에 적용하기 위하여 밀봉면의 림(rim)에 밀봉링이 고정된다. 상기 밸브판은 밸브 로드상에 분리 가능하게 장착된다. 진공 게이트 밸브의 제어 기구를 매개로 하여, 상기 밸브 로드는 상기 밸브판을 개구부 위로, 실질적으로 상기 밸브 로드 축선을 따라 이동시키고, 밸브판을 그것의 밀봉면을 밸브 시트에 접촉시킨 상태로 압박함으로써, 상기 개구부가 폐쇄될 수 있도록 지지되고 조정될 수 있다. 밸브 로드의 그러한 조절, 따라서 밸브판의 조절을 가능하게 하는 제어 기구의 다양한 구현 형태가 종래 기술에서 공지되어 있다. 본 발명에 따르면, 리셉터클은 밸브판, 보다 구체적으로 말하면 밸브판의 두 개의 넓은 측면 중 하나에 형성되는 한편, 밸브 로드의 단부에 형성되고 리셉터클의 형상에 대응하는 형상을 갖는 연결 세그먼트가 상기 리셉터클 내에 결합될 수 있다. 상기 리셉터클과 연결 세그먼트는 함께 레이디얼 베어링 세그먼트(radial bearing segment) 및 회전각 제한 세그먼트로서 기능하도록 하는 형상을 갖는다. 레이디얼 베어링 세그먼트는 밸브판이 밸브 로드 축선을 중심으로 하여 상기 밸브 로드에 대하여 적어도 부분적으로 회전할 수 있게 한다. 레이디얼 베어링 세그먼트는 평 저널 베어링(plain journal bearing) 또는 레이디얼 구름 베어링으로서 형성될 수 있다. 그러므로, 밸브판이 밸브 시트에 대하여 압박될 때, 밸브 로드 축선에 관한 밸브판의 정렬을 밸브 시트에 적합하게 하는 것이 가능하게 된다. 그러므로, 밸브 로드 축선에 대하여 수직인 평면에 관하여, 밸브판은 밸브 시트에 대하여 평행한 방향을 취하고, 따라서 밸브판의 두 개의 말단의 접촉 압력들은 같다. 이러한 방법으로, 선행의 정밀한 정렬에 의한 고정밀도의 끼워맞춤 및 기밀성을 제공하지 않고도, 불균일한 압력의 인가 및 가변적인 밀봉 갭이 회피된다. 회전각 제한 세그먼트가 레이디얼 베어링 세그먼트에 의해서 허용되는 회전을 양호하게 한정된 각도 범위로 제한하는 작용을 하며, 이에 따라 밸브판이 개구부 위에서 이동하는 동안 과도한 회전각에 의해서 발생할 수 있는 밸브 하우징과 밸브판 사이의 접촉이 발생할 수 없다. 이는 제어 기구의 적절한 조정에 의한 밸브판의 사전 정렬 가능성을 제공한다. 그러나, 밸브판은 적용되는 동안 자기정렬(self-align)을 행하기 때문에 밸브 로드 축에 대한 정밀한 사전 정렬은 배제될 수 있다. 레이디얼 베어링 세그먼트와 회전각 제한 세그먼트는 두 개의 분리된 세그먼트로 또는 두 가지 기능을 충족시키는 단일한 세그먼트로서 구현될 수 있다.

이하, 첨부 도면에 개략적이고 오로지 예시적인 형태로서 도시된 구체적인 실시예를 이용하여, 본 발명의 추가적인 장점에 대해서도 논의하면서, 본 발명에 따른 장치를 보다 상세히 설명하겠다. 부분적으로는, 개별적인 도면을 설명하면서, 앞에서 설명된 도면에서 이미 사용된 도면 부호들을 사용할 것이며, 이와 관련하여 몇 가지 도면들이 논의된다.

도 1a, 도 1b 및 도 1c는 종래 기술을 제시하면서 위에서 이미 논의된 바와 같은 전형적인 진공 게이트 밸브의 개략적인 기능을 보여주는 도면이다. 후속 도면의 설명에 있어서, 도 1a, 도 1b 및 도 1c에 포함된 도면 부호 중 일부가 사용될 것이다.

도 2a, 도 2b, 도 3a, 도 3b, 도 4a, 도 4b 및 도 5는 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브의 동일한 실시예를 투시 방향, 묘사 및 세부 각도를 달리하여 보여주고 있기 때문에, 개별적인 도면을 인용하면서 상기 도면들을 함께 설명하겠다. 특정 도면에서는 외부에서 볼 수 없는 요소들 중 일부가 점선으로 도시되어 있다.

예시된 진공 게이트 밸브는 개구부(3)와 이 개구부(3)를 포위하는 밸브 시트(4)를 포함하는 벽부(2)를 구비한 밸브 하우징(1)과, 상기 개구부(3)를 폐쇄하도록 림(rim)이 밀봉링(32)을 지탱하고 있는 밀봉면(7)을 구비한 밸브판(5)을 포함하고 있다. (밀봉면(7)에 비해서) 상기 밸브판(5)의 두 개의 넓은 측부 표면 중 하나의 중간에는, 밸브 로드(8)의 연결 세그먼트(9)를 삽입하기 위한 리셉터클(6)이 형성된다. 상기 밸브판(5)은 밸브 로드(8)의 연결 세그먼트(9)를 매개로 하여 밸브 로드(8)에 탈착 가능하게 장착될 수 있는데, 이 연결 세그먼트(9)는 리셉터클(6) 내에 결합되고 밸브 로드(8)는 밸브 로드 축선(11)을 형성한다. 도 4a 및 도 5는 밸브판(5)이 밸브 로드(8)상에 장착된 상태를 보여주고 있는 반면, 도 2a, 도 2b, 도 3a, 도 3b 및 도 4b는 각각 분해된 상태를 보여주고 있다. 제어 기구를 매개로 하여, 상기 밸브 로드(8)는 상기 개구부(3) 위로, 실질적으로 밸브 로드 축선(11)을 따라, 밸브판(5)을 이동시키고 밀봉면(7)의 밀봉링(32)을 갖는 밸브판(5)을 밸브 시트(4)에 압박함으로써 상기 개구부(3)가 폐쇄될 수 있도록 지지 및 조정 가능하다.

상기 리셉터클(6)과 연결 세그먼트(9)는 함께 2개의 기능 세그먼트, 즉 레이디얼 베어링 세그먼트(12)와 회전각 제한 세그먼트(13)를 형성한다. 상기 레이디얼 베어링 세그먼트(12)는 밸브판(5)이 밸브 로드(8)에 대하여 밸브 로드 축선(11)을 중심으로 적어도 부분적으로 회전할 수 있게 하며, 이에 따라 밸브 로드 축선(11)에 관한 밸브판(5)의 정렬은, 적어도 밸브판(5)을 밸브 시트(4)에 첫 번째로 적용하는 동안에 밸브 시트(4)에 맞춰진다. 도시된 실시예에서, 레이디얼 베어링 세그먼트(12)는 밸브판(5)의 리셉터클(6) 내에서 밸브 로드(8)의 연결 세그먼트(9)상의 원통형 샤프트(12a) 및 이 원통형 샤프트(12a)에 정합하는 원통형 보어(12b)로서 형성된다. 원통형 샤프트(12a)는 간극 끼워맞춤(clearance fit) 또는 천이 끼워맞춤(transition fit)으로 상기 원통형 보어(12b) 내에서 슬라이드 피벗된다. 대안으로, 레이디얼 베어링 세그먼트(12)로서, 마찰 베어링이나 평 저널 베어링이 아닌 구름 베어링을 채용하는 것이 가능하다.

제2 기능 세그먼트, 즉 회전각 제한 세그먼트(13)는 레이디얼 베어링 세그먼트(12)에 의해서 가능해진 회전을 정해진 각도 범위(14)(도 6a 및 도 6b)로 제한하며, 따라서 밸브판(15)이 개구부(3) 위로 이동하는 동안에는 과도하게 큰 회전각에 의해서 초래되는 밸브 하우징(1)과 밸브판(5) 사이의 접촉이 발생하지 않게 된다. 도시된 실시예에 있어서, 상기 회전각 제한 세그먼트(13)는 상기 밸브 로드(8)의 연결 세그먼트(9)상의 외측 다각형 세그먼트 및 이 외측 다각형 세그먼트와 정합하는, 밸브판(5)의 리셉터클(6) 내의 내측 다각형 세그먼트로서 형성된다. 외측 다각형 세그먼트에 대한 내측 다각형 세그먼트의 초과 치수(oversize)는 회전이 정해진 각도 범위(14)(도 6a 및 도 6b)로 제한되게 한다. 여기에서, 내측 다각형 세그먼트는 적어도 두 개의 평행 평면형 내측면(13b')을 구비하는 내측 사각 세그먼트(13b)로 구현되고, 외측 다각형 세그먼트는 평행 평면형 외측면(13a')을 구비하는 외측 사각 세그먼트(13a)로서 구현된다. 그러나, 내측 및 외측 다각형 세그먼트의 다른 구현 형태도 가능하다. 예를 들면, 사각 세그먼트 대신에 삼각 또는 오각 세그먼트를 채용해도 좋으며, 내측 및 외측면을 각각 획정하는 연부(緣部)들은 도시된 실시예에서처럼 라운드형이거나 사면형이어도 좋음은 물론이다.

밸브 로드(8)의 연결 세그먼트(9)의 전면(前面)은 상기 밸브 로드 축선(11)상에 축선이 있는 중심 나사 구멍(15)을 구비한다. 이하에서는, 이 나사 구멍(15)을 제1 나사 구멍(15)으로 지칭할 것이다. 아울러, 상기 리셉터클(6)의 단부와 리셉터클(6)의 반대측 측부(17)와의 사이의 밸브판(5) 내의 밸브 로드 축선(11)을 따라서 중심에 관통 보어(16)가 마련되어 있는데, 이 관통 보어를 관통하여 나사(18)가 통과하여 상기 제1 나사 구멍(15) 내에 나사 결합될 수 있으며, 이에 따라 밸브판(5)은 밸브 로드 축선(11)을 따라 탈착 가능하게 밸브 로드(8)에 고정될 수 있다. 상기 관통 보어(16)는 나사 머리를 수용하는 카운터보어(counterbore)를 구비한다. 상기 나사(18)는 잃어버리지 않게 보다 특별히 고정된다. 도 4a 및 도 5에는, 밸브판(5)이 나사(18)에 의하여 밸브 로드(8)에 장착되는 상황이 도시되어 있다. 상기 나사(18)는 내측 육각 소켓을 구비한 원통형 육각형 소켓 나사 머리로서 도시되어 있다. 다른 나사 체결 방법 및 다른 고정 수단을 선택하는 것도 물론 가능하다.

여기에는 도시되어 있지 않은 대안적인 실시예에서, 전술한 리셉터클은 밸브 로드상에 위치하며, 연결 세그먼트는 핀으로서 밸브판상에 위치한다. 이 경우, 제1 나사 구멍은 리셉터클 내에 형성되고, 관통 보어는 연결 세그먼트에 형성된다. 아울러, 보다 긴 나사가 사용된다. 여전히 다른 구현 형태가 가능함은 물론이다.

밸브판(5)은 리셉터클(16)의 반대측 측부(17)상에 나사 구멍(21)을 구비하는데, 이하에서는 이 나사 구멍(21)을 제2 나사 구멍(21)이라 지칭할 것이다. 이 나사 구멍(21)은 관통 보어(16) 측방의 중심 영역에 배치된다. 제2 나사 구멍(21)을 사용하여, 공구를 상기 나사 구멍(21)에 나사 결합시킬 수 있으며, 따라서 수작업으로, 실질적으로 밸브 로드 축선(11)을 따라 상방으로 밸브판(5)에 힘을 가하여 나사(18)를 푼 후에 밸브 로드(8)로부터 밸브판(5)을 분리시킬 수 있다. 그러므로, 나사(18)를 푼 후 상기 제2 나사 구멍(21)을 거쳐 들어올림으로써, 단지 하나의 측부(17)로부터의 간섭에 의하여, 예를 들어 밸브판(5)에 대한 보수 유지를 수행할 수 있도록, 밸브 로드(8)로부터 밸브판(5)을 분리시키는 것이 가능하다. 여기에서, 상기 나사(18)는 대각 거리들이 밸브판(5)의 제2 나사 구멍(21)의 최소 직경보다 더 작은 앨런 나사(Allen screw)로서 형성되어, 앨런 나사(18)의 대각 거리를 갖는 육각 핀이 상기 제2 나사 구멍(21)을 통해서 삽입될 수 있다. 나사 구멍은 일반적으로 그것이 형성되는 방법에 관계없이 암나사인 것으로 이해된다.

도시된 진공 게이트 밸브의 실시예에 있어서, 밸브 하우징(1)은 상부에 리드(lid)(29)(도 4a 및 도 4b)를 제거함에 의해서 개방될 수 있는 서비스 개구부(service opening)(30)(4b)를 구비한다. 나사(18)를 풀고 밸브 로드(8)로부터 밸브판(5)을 들어올리는 것 모두, 따라서 밸브판(5)의 전체적인 분해는 이 서비스 개구부(30)에 의해서 간단하고도 인간 공학적으로 이루어진다. 분해중의 밸브판의 보다 양호한 취급을 위하여, 밀봉면(7)과 반대측의 측부(20)에, 예컨대 두 개의 핸들 리세스(handle recess)(19)가 형성되며, 이에 따라 수작업으로 밸브판(5)에, 실질적으로 상방으로 힘을 가하여, 밸브판을 밸브 로드(8)로부터 들어올리거나, 및/또는 분해 후의 밸브판(5)의 조작을 더욱 양호하게 수행할 수 있다. 보다 양호한 파지를 위하여, 핸들 리세스(19)는 내측에 미끄럼 방지 피막을 가져도 좋 다.

도 6a 및 도 6b는 회전각 제한 세그먼트(13)의, 밸브 로드 축선(11)에 대하여 수직 방향의 개략적인 관통 단면도이다. 도시되어 있는 것은 밸브 하우징(1)의 일부와 벽부(2), 밸브판(5), 밸브 로드(8), 그리고 밸브 로드(8)의 회전각 제한 세그먼트(13) 및 외측 사각 세그먼트(13a)의 평행 평면형 외측 표면들(13a')과 밸브판(5)의 내측 사각 세그먼트(13b)의 평행 평면형 내측 표면들(13b')이다. 외측 사각 세그먼트(13a)에 대하여 내측 사각 세그먼트(13b)가 나타내는 초과 치수를 인식할 수 있다. 내측 및 외측 사각 세그먼트들은 도시된 예에서처럼 연부 길이들이 동일하거나 다른 장방형 단면을 가질 수 있다. 초과 치수는 예시되어 있는 바와 같이 두 면적이 동일하거나 또는 다를 수도 있다. 도 6a는 중심 위치에 있는 밸브판(5)을 보여주고 있는 반면, 도 6b는 회전 제한 세그먼트에 의해서 제한되는 최대 각도 범위(14)를 보여주고 있다. 상기 초과 치수는 가동성이 상기 밀봉면(7)과 벽부(2) 사이의, 그리고 특히 개구부(3) 위로 밸브판(5)을 이동시킬 때의 밸브 시트(4)의 접촉이 발생할 수 없는 상기 각도 범위(14)로 제한되도록 하는 것이어야 한다. 각도 범위(14)를 도시된 예에서의 것보다 훨씬 더 작게 유지하는 것이 가능함은 물론이다. 한편으로는, 첫 번째 적용중에 밀봉링(32)상에 작용하는 전단력을 발생시킬 수 있는 보다 더 큰 회전각이 회피될 수 있기만 하다면 가급적 작은 각도 범위(14)가 유리하지만, 다른 한편으로는 밸브판(5)의 적용중에 밸브판(5)의 자유로운 정렬을 가능하게 할 만큼 충분히 커야한다.

도 7은 진공 게이트 밸브의 밸브 로드(8)로부터 밸브판(5)을 분리하고, 또 밸브 로드(8)에 밸브판(5)을 장착하기 위한 다기능 공구(22)를 보여주고 있다. 이 다기능 공구(22)는 나사(18)를 푸는 작용과 제2 나사 구멍(21)에 나사를 체결하고 리프팅력(lifting force)을 가함으로써, 밸브 로드(8)로부터 밸브판(2)을 빼내는 작용을 모두 수행한다. 다기능 공구(22)는 리프팅력과 비틀림력을 수작업으로 작용시키기 위한 핸들(23)과, 제1 단부가 상기 핸들(23)에 부착되어 있는 세장형의 직선형 샤프트(24), 특히 원통형 샤프트를 구비한다. 상기 샤프트(24)의 타단부는, 특히 수작업으로 나사(18)에 비틀림력을 가할 수 있도록, 팁(25)에 외측 육각 세그먼트(26)를 구비한다. 상기 외측 육각 세그먼트(26)에는 밸브판(5)의 제2 나사 구멍(21)과 나사 결합하도록 할당된 샤프트(24)상의 인접 세그먼트의 수나사(27)가 이어진다. 따라서, 다기능 공구(22)를 사용하면, 특히 수작업으로, 밸브 로드 축선(11)을 따라 상방으로 밸브판(5)에 힘을 가하여 밸브판(5)을 밸브 로드(8)로부터 들어올릴 수 있다. 외측 육각 세그먼트(26)의 렌치 치수는 나사(18)의 그것과 대응하며, 따라서 제2 나사 구멍(21)의 나선에 대응하는 수나사(27)의 최소 직경보다 더 작은 대각 거리를 갖는다.

특히 제2 나사 구멍(21), 핸들 리세스(19), 나사(18) 및 다기능 공구(22)를 사용함으로써 특히 인간 공학적 관점에서 종래 기술보다 상당한 개량을 달성할 수 있지만, 전술한 레이디얼 베어링 세그먼트 및 회전각 제한 세그먼트를 사용하지 않고도 전술한 진공 게이트 밸브, 밸브판(5) 및 다기능 공구(22)를 채용할 수 있다.

도 8a, 도 8b 및 도 8c는 밸브 로드(8)로부터 밸브판(5)을 분해하는 작업을 보여주고 있다. 제1 단계(도 8a)에서, 다기능 공구(22)를 개방된 서비스 개구부(30)를 거쳐 나사(18) 위에 배치하고, 화살표(31a)로 도시되어 있는 바와 같이 밸브 로드 축선(11)을 중심으로 다기능 공구(22)를 회전시킴으로써 외측 육각 세그먼트(26)로 나사(18)를 푼다. 제2 단계(도 8b)에서, 다기능 공구(22)를 화살표(31b)를 따라 수나사(27)로 상기 제2 나사 구멍(21) 내에 나사 결합시킨다. 제3 단계(도 8c)에서, 수작업으로 상방으로 리프팅력을 가하여{화살표(31c)} 밸브판(5)을 밸브 로드(8)로부터 들어올려 진공 게이트 밸브로부터 서비스 개구부(30)를 거쳐 분리시킨다.

그 후, 핸들 리세스(19)는 상기 나사(18)가 풀려서 수작업으로 핸들 리세스(19) 내에 도달한 경우 서비스 개구부(30)의 개방 없이도 밸브 로드(8)로부터 밸브판(5)을 들어올려 그 밸브판(5)을 밸브 하우징(1)으로부터 제거하는 것을 가능하게 한다. 이 경우에, 밸브판(5)에 대한 접근 및 밸브판(5)의 제거는, 특히 밀봉면(7)에 대하여 반대측 측부(20)로부터, 예를 들면 도 4b에 도시되어 있는 바와 같이 개구부(3)와 반대측에 있는 밸브 하우징(1) 내의 개구부를 통하여 이루어진다.

본 발명에 따르면, 신뢰성이 높고, 취급 및 보수 유지가 단순화되고, 부품 설계가 간단한 진공 게이트 밸브가 제공된다. 또한, 본 발명은 상기와 같은 진공 게이트 밸브에 있어서 밸브판을 밸브 로드로부터 분해하고 밸브판을 밸브 로드에 장착하기에 쉽고 편리한 다기능 공구를 제공한다.

Claims

개구부(3)와 이 개구부(3)를 포위하는 밸브 시트(4)가 있는 벽부(2)를 구비하는 밸브 하우징(1);

리셉터클(6)이 형성되고 상기 개구부(3)를 폐쇄하는 밀봉면(7)을 구비한 밸브판(5); 및

상기 리셉터클(6) 내에 결합되는 밸브 로드(8)의 연결 세그먼트(9)에 의해 상기 밸브판(5)에 탈착 가능하게 장착되며, 제어 기구(10)를 매개로 하여,

밸브 로드 축선(11)을 추종하여 상기 개구부(3) 위로 상기 밸브판(5)을 이동시킴으로써, 그리고

상기 밸브 시트(4)에 대하여 상기 밸브판(5)의 밀봉면(7)을 압박함으로써상기 개구부(3)가 폐쇄될 수 있도록, 지지 및 조정 가능한 밸브 로드(8);를 구비하고,

상기 리셉터클(6) 및 이 리셉터클(6) 내에 결합되는 연결 세그먼트(9)는,

적어도 상기 밸브판(5)이 첫 번째로 상기 밸브 시트(4)에 압박될 때, 상기 밸브 로드 축선(11)에 관한 상기 밸브판(5)의 정렬이 상기 밸브 시트(4)에 맞춰지도록, 상기 밸브판(5)이 상기 밸브 로드 축선(11)을 중심으로 상기 밸브 로드(8)에 대하여 적어도 부분적으로 회전할 수 있게 하는 레이디얼 베어링 세그먼트(12); 및

상기 밸브판(5)이 상기 개구부(3) 위로 이동하는 동안에는 과도한 회전각으로 인한 상기 밸브 하우징(1)과 상기 밸브판(5) 사이의 접촉이 발생하지 않도록, 상기 레이디얼 베어링 세그먼트(12)에 의해서 가능해지는 회전을 정해진 각도 범위(14)로 제한하는 회전각 제한 세그먼트(13);

를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
제1항에 있어서,

상기 회전을 가능하게 하는 레이디얼 베어링 세그먼트(12)는,

상기 밸브 로드(8)의 상기 연결 세그먼트(9)상의 원통형 샤프트(12); 및

상기 원통형 샤프트(12a)와 정합하는, 상기 밸브판(5)의 리셉터클(6) 내의 원통형 보어(12b); 로서 형성되고,

상기 원통형 샤프트(12a)는 간극 끼워맞춤 또는 천이 끼워맞춤으로 상기 원통형 보어(12b) 내에서 슬라이드 피벗하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
제1항 또는 제 2항에 있어서,

상기 회전각을 정해진 각도 범위(14)로 제한하는 상기 회전각 제한 세그먼트(13)는,

상기 밸브 로드(8)의 상기 연결 세그먼트(9)상의 외측 다각형 세그먼트; 및

상기 외측 다각형 세그먼트와 정합하는, 상기 밸브판(5)의 리셉터클(6) 내의 내측 다각형 세그먼트; 로서 형성되며,

상기 내측 다각형 세그먼트는 상기 회전이 상기 정해진 각도 범위(14)로 한정되도록 하는 상기 외측 다각형 세그먼트에 대하여 초과 치수를 갖는 것을 특징으 로 하는 진공 게이트 밸브.
제3항에 있어서,

상기 외측 다각형 세그먼트는 평행 평면형 외측면들(13a')을 갖는 외측 사각 세그먼트(13a)로서 형성되고,

상기 내측 다각형 세그먼트는 평행 평면형 내측면들(13b')을 갖는 내측 사각 세그먼트(13b)로서 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
제1항에 있어서,

상기 밸브 로드(8)의 상기 연결 세그먼트(9)의 측부상에서, 상기 밸브 로드 축선(11)에 배치되는 제1 나사 구멍(15);

상기 리셉터클(6)과 이 리셉터클(6)에 대하여 반대측의 측부(17) 사이에서 상기 밸브 로드 축선(11)을 따라 상기 밸브판(5) 내에 형성되는 관통 보어(16); 및

상기 관통 보어(16)를 관통하여 상기 제1 나사 구멍(15) 내에 결합되는 나사(18);

를 구비하여 상기 밸브판(5)이 상기 밸브 로드 축선(11)을 따라 상기 밸브 로드(8)에 축방향으로 탈착 가능하게 고정되도록하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
제1항 또는 제2항에 있어서,

상기 밸브판(5)은, 상기 밸브 로드(8)로부터 상기 밸브판(5)을 분리시키기 위하여, 상기 밸브 로드 축선(11)을 따라 상기 밸브판(5)에 수작업으로 힘을 가하도록, 상기 밀봉면(7)에 대하여 반대측의 측부(20)에 형성되는 적어도 하나의 핸들 리세스(19)를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
제5항에 있어서,

상기 밸브판(5)은, 상기 밸브 로드(8)로부터 상기 밸브판(5)을 분리시키기 위하여 상기 밸브 로드 축선(11)을 따라 수작업으로 상기 밸브판(5)에 힘을 가하도록 다기능 공구(22)를 수용하도록 상기 리셉터클(6)에 대하여 반대측의 측부(17)상에 적어도 하나의 제2 나사 구멍(21)을 구비하고,

상기 나사(18)는 상기 밸브판(5)의 제2 나사 구멍(21)의 최소 직경보다 더 작은 대각 거리를 갖는 관련 렌치 치수의 육각 소켓 머리 나사로서 형성되는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브.
제7항에 따른 진공 게이트 밸브의 밸브 로드(8)에 밸브판(5)을 장착하고, 이 밸브 로드(8)로부터 밸브판(5)을 분해하기 위한 다기능 공구(22)에 있어서,

적어도 수작업으로 리프팅력과 비틀림력을 가하기 위한 핸들(23); 및

제1 단부가 상기 핸들(23)에 부착되고, 제2 단부에서, 팁(25)에는, 상기 육각 소켓 머리 나사(18)에 수작업으로 비틀림력을 가하도록 외측 육각 세크먼트(26)가 형성되어 있고, 상기 외측 육각 세그먼트(26)에 인접한 세그먼트에는, 상기 밸브판(5)을 상기 밸브 로드(8)로부터 분리시키기 위하여, 수작업으로 상기 밸브 로드 축선을 따라 상기 밸브판(5)에 힘을 가하도록 상기 밸브판(5)의 제2 나사 구멍(21)에 나사 결합되는 수나사(27)가 형성되어 있으며,

상기 외측 육각 세그먼트(26)의 대각 거리는 상기 수나사(27)의 최소 직경보다 더 작은, 세장형의 직선형 샤프트(24);

를 구비하는 것을 특징으로 하는 다기능 공구(22).
제7항에 따른 진공 게이트 밸브; 및

제8항에 따른 다기능 공구;

를 포함하는 것을 특징으로 하는 시스템.
제1항 또는 제2항에 따른 진공 게이트 밸브용 밸브판(5)으로서,

밸브 하우징(1)의 벽부(2) 내의 개구부(3)를 폐쇄하기 위한 적어도 하나의 밀봉링(32)을 구비하는 밀봉면(7);

상기 밸브판(5)에서 상기 밀봉면(7)에 대하여 측방에 형성되며, 상기 밸브 로드(8)의 연결 세그먼트(9)를 결합시킴으로써 상기 밸브 로드(8)에 대하여 상기 밸브판(5)을 탈착 가능하게 장착하기 위한 리셉터클(6);

을 포함하고,

상기 밸브 로드(8)는, 제어 기구(10)를 매개로 하여, 상기 밸브 로드 축선(11)을 추종하여 상기 개구부(3) 위로 상기 밸브판(5)을 이동시킴으로써, 및 상기 밸브 시트(4)에 대하여 상기 밸브판(5)의 밀봉면(7)을 압박함으로써, 상기 개구부(3)가 폐쇄될 수 있도록, 지지 및 조정 가능하며,

상기 리셉터클(6)은

적어도 상기 밸브판(5)이 첫 번째로 상기 밸브 시트(4)에 압박될 때 상기 밸브 로드 축선(11)에 관한 상기 밸브판(5)의 정렬이 상기 밸브 시트(4)에 적합하게 되도록, 상기 밸브판(5)이 상기 밸브 로드 축선(11)을 중심으로 상기 밸브 로드(8)에 대하여 적어도 부분적으로 회전할 수 있게 하는 레이디얼 베어링 세그먼트(12); 및

상기 밸브판(5)이 상기 개구부(3) 위로 이동하는 동안에는 과도한 회전각으로 인한 상기 밸브 하우징(1)과 상기 밸브판(5) 사이의 접촉이 발생하지 않도록, 상기 레이디얼 베어링 세그먼트(12)에 의해서 가능해지는 회전을 정해진 각도 범위(14)로 제한하는 회전각 제한 세그먼트(13);

를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 게이트 밸브용 밸브판(5).
제10항에 있어서,

상기 회전을 가능하게 하는 상기 레이디얼 베어링 세그먼트(12)는 상기 리셉터클(6) 내의 원통형 보어(12b)로서 형성되어, 상기 원통형 보어(12b)와 정합하는, 상기 밸브 로드(8)의 연결 세그먼트(9)상의 원통형 샤프트(12a)가 간극 끼워맞춤 또는 천이 끼워맞춤으로 슬라이드 피벗할 수 있는 것을 특징으로 하는 밸브판(5).
제10항에 있어서,

상기 회전을 정해진 각도 범위(14)로 제한하는 상기 회전각 제한 세그먼트(13)는 상기 리셉터클(6) 내에 내측 다각형 세그먼트로서 형성되어, 이 내측 다각형 세그먼트와 정합하는 상기 밸브 로드(8)의 연결 세그먼트(9)상의 외측 다각형 세그먼트를 수용하며, 상기 내측 다각형 세그먼트는 상기 회전이 상기 정해진 각도 범위(14)로 한정되도록 상기 외측 다각형 세그먼트에 대하여 초과 치수를 갖는 것을 특징으로 하는 밸브판(5).
제12항에 있어서,

상기 내측 다각형 세그먼트는 평행 평면형 내측면들(13b')을 갖는 내측 사각 세그먼트(13b)로서 형성되어, 상기 연결 세그먼트(9)상에 상기 외측 다각형 세그먼트를 형성하는 평행 평면형 외측면들(13a')을 갖는 외측 사각 세그먼트(13a)를 수용하는 것을 특징으로 하는 밸브판(5).
제10항에 있어서,

상기 밸브판(5)이 상기 밸브 로드 축선(11)을 따라 상기 밸브 로드(8)에 축방향으로 탈착 가능하게 고정되도록, 상기 밸브 로드(8)의 연결 세그먼트 측부상에서, 상기 밸브 로드 축선(11)에 배치되어 있는 제1 나사 구멍(15)에 결합될 수 있는 나사(18)를 통과시키기 위하여, 상기 리셉터클(6)과 이 리셉터클(6)에 대하여 반대측의 측부(17)와의 사이에 상기 밸브 로드 축선(11)을 따라 관통 보어(16)가 형성되는 것을 특징으로 하는 밸브판(5).
제10항에 있어서,

상기 밸브 로드(8)로부터 상기 밸브판(5)을 분리시키도록, 상기 밸브 로드 축선(11)을 따라 상기 밸브판(5)에 수작업으로 힘을 가하기 위하여, 상기 밀봉면(7)에 대하여 반대측의 측부(20)에 형성되는 적어도 하나의 핸들 리세스(19)를 포함하는 것을 특징으로 하는 밸브판(5).
제10항에 있어서,

상기 리셉터클(6)에 대하여 반대측의 측부(17)에는, 상기 밸브 로드(8)로부터 상기 밸브판(5)을 분리시키도록, 상기 밸브 로드 축선(11)을 따라, 수작업으로 상기 밸브판(5)에 힘을 가하기 위하여 다기능 공구(22)를 수용하는 적어도 하나의 제2 나사 구멍(21)이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 밸브판(5).