TWI541465B

TWI541465B - 用於真空閥之封閉單元

Info

Publication number: TWI541465B
Application number: TW099134292A
Authority: TW
Inventors: 史帝凡秀何; 安卓雷亞斯梅爾克; 艾利吉歐貝勒里
Original assignee: Ｖａｔ控股股份有限公司
Priority date: 2009-10-27
Filing date: 2010-10-08
Publication date: 2016-07-11
Also published as: KR101494925B1; TW201118285A; US20110095218A1; KR20110046313A; CN102052474B; CN102052474A; JP2011094795A; US8511642B2; JP5816396B2

Description

用於真空閥之封閉單元

本發明係關於一種用於真空閥之封閉單元(Verschlusseinheit)，其包含用於使真空閥第一閥孔(Ventilöffnung)封閉之第一閥板(Ventilplatte)及用於使真空閥第二閥孔封閉之第二閥板。此外，本發明亦關於一種真空閥，其包括：一閥殼體(Ventilgehäuse)，其具有由第一閥座(Ventilsitz)所圍繞之第一閥孔和由第二閥座所圍繞之第二閥孔；以及一封閉單元，其具有用於使第一閥孔封閉之第一閥板及用於使第二閥孔封閉之第二閥板。此外，本發明亦關於用於固定於用於真空閥封閉單元之承載板(Trägerplatte)處之閥板。

文件US 6,390,448 B1和US 6,913,243 B1習知一種真空閥，該真空閥具有帶第一及第二閥孔之閥殼體，該第一及第二閥孔可選擇性地藉由第一及第二閥板而封閉。此二閥板保持於閥杆或安置於閥杆之端部件(Endstück)處，其中，透過鉸接螺栓(Schwenkbolzen)完成安裝，使可調節相應閥板對於閥杆之角度位置(Winkelstellung)。於真空閥開啟狀態中，閥杆退回並且使二閥孔開啟。為關閉真空閥，二閥板先從開啟位置行進至中間位置，於該中間位置此二閥板位於二閥孔之間，其中，該二閥板從閥孔上升起(abheben)。從該中間位置起，可透過使閥杆繞垂直於閥杆之擺動軸線擺動，或者藉由第一閥板使第一閥孔封閉，或者藉由第二閥板使第二閥孔封閉。例如，於第一閥孔關閉狀態中，可進行第二閥板之保養(Service)，例如用於更換密封件，反之亦然。

此外，文件US 6,095,741中習知一具第一及第二閥孔之真空閥，該第一及第二閥孔可透過第一及第二閥板而封閉，其中，任一閥板都與單獨之閥杆相連接。

文件WO 2009/070824 A1中習知一具第一及第二閥板之真空閥，該第一及第二閥板可以彼此相獨立之方式被調節。閥板中的其中一個閥板向承載單元所承載，該承載單元安裝於閥杆處。承載單元裝配有多個用於調節閥板之執行器，且閥板與該執行器透過引導部(Führung)相連接，該引導部根據燕尾形引導部(Schwalbenschwanzführung)之類型而構造，使閥板可從執行器上移除。

文件US 7,134,642 B2中習知一閥板在閥杆處之保持，其中，閥板可繞閥板之軸線受限制地擺動，以使閥板之位置與閥座相合。

文件US 6,471,181 B2中習知一閥板在閥杆處之保持，其中，閥板可繞垂直於閥杆之軸線之軸線傾斜(verkippbar)。

本發明目的係實現開頭所提及類型之封閉單元，於該封閉單元中可以簡單方式安裝和拆卸相應之閥板，並且在該封閉單元中相應閥板於安裝狀態中穩定地固定且足夠精確地定位。根據本發明，其透過具申請專利範圍第1項特徵之封閉單元來實現。

於本發明之封閉單元中，閥板安裝於閥板間之承載板處，並且可從該承載板上取下。至少一夾緊件(Spannstück)用於將相應閥板固定在承載板處，由該夾緊件使共同作用之夾緊面(Spannfläche)彼此夾緊(verspannen)，於該共同作用之夾緊面中，構造至少一斜面(Schrägfläche)，透過該斜面將相應閥板壓靠至承載板處。

透過該至少一斜面，產生在朝向承載板方向上作用到相應閥板上之分力(Kraftkomponente)，透過該分力將閥板壓靠至承載板處。相應斜面相對於作用到相應夾緊件上之夾緊力較佳為於20°和70°之間的角度下傾斜，該角度例如為45°。

透過將閥板壓靠至承載板處，可達到穩定地固定閥板，而不使閥板晃動。在此，可以僅較小公差實現閥板相對於承載板之定位。夾緊件之應用允許簡單安裝及拆卸。

有利地，為夾緊相應之夾緊件，設置至少一與夾緊件共同作用之夾緊螺栓，其中，相應斜面相對於夾緊螺栓之軸線較佳為於20°和70°之間的角度下傾斜，該角度例如為45°。

較佳為，不僅於相應閥板和承載板共同作用之夾緊面(該夾緊面透過至少一夾緊件彼此夾緊)中，且於相應閥板和與其相夾緊之至少一夾緊件共同作用之夾緊面中分別有至少一個構造成斜面，透過該斜面將相應閥板壓靠至承載板處。尤佳為，所有由至少一夾緊件彼此夾緊之夾緊面(亦即相應閥板和承載板彼此夾緊之夾緊面，以及夾緊件自身和相應閥板彼此夾緊之夾緊面)構造成斜面，透過該斜面將相應閥板壓靠到承載板處。

於本發明一較佳實施例中，以閥板的承載用於使相應閥孔封閉之密封件側邊的視角觀看，相應閥板構造基本上為矩形，尤其為帶有倒圓之拐角、帶有相對較長的側邊和相對較短的側邊之矩形。利用該基本上為矩形之閥板，可使基本上為矩形或槽口狀(schlitzförmig)之閥孔封閉。有利地，至少一將相應閥板夾緊之夾緊件與閥板較長的側邊共同作用，其中，較佳為，二或更多個使該閥板夾緊之夾緊件沿著構造成矩形之閥板較長側邊而佈置成彼此有間隔。

本發明較佳實施例設置成，相應閥板藉由構造在閥板和承載板之間的引導部，而可推動至承載板上，其中，該引導部確保閥板不會從承載板上升起。在此，使閥板推動到承載板上，直到閥板和承載板共同作用之夾緊面互相止動(Anschlagen)。於該狀態中，安裝至少一夾緊件，以固定閥板。透過該引導部，閥板於夾緊件被安裝時已經確保防止脫落，且相對於承載板而預先定位。

為相對於承載板引導閥板，有利地於該二部件中之一個中構造至少一個側凹(hinterschnitten)之凹槽，該二部件中另一個之突出部(Vorsprung)接合至該凹槽中，其中，突出部與側凹之凹槽構造成側凹之側壁(周面(Flanke))共同作用。該引導部可尤其構造成燕尾形引導部之形式。

於真空閥中可應用根據本發明之封閉單元，該真空閥具有帶第一及第二閥孔之閥殼體，該第一及第二閥孔由第一及第二閥座所圍繞，其中，第一閥板可壓靠至第一閥座處，以使第一閥孔封閉，以及第二閥板可壓靠至第二閥座處，以使第二閥孔封閉。

例如，根據本發明之真空閥可構造成用於執行真空處理(Vakuumprozess)之處理裝置(Prozessanlage)的輸送腔(Transferkammer)和處理腔(Prozesskammer)間之輸送閥(Transferventil)。

根據本發明之另一方面，設置用於固定於用於真空閥封閉單元之承載板處之閥板，其中，閥板具有至少一構造成斜面形式之夾緊面，藉由該夾緊面，於將閥板與承載板夾緊時，該夾緊通過至少一夾緊件而實現，可將閥板壓靠至承載板處。尤其，閥板具有第一及第二夾緊面，該第一及第二夾緊面分別構造成斜面形式，且其中，第一夾緊面設置成用於與承載板構造成斜面形式之夾緊面共同作用，及其中，第二夾緊面設置成用於與至少一夾緊件構造成斜面形式之夾緊面共同作用。此外，更佳為，設置有用於構造於閥板和承載板間之引導部的凹槽或突起部(Fortsatz)，其中，引導部確保閥板不會從承載板上升起，尤其構造成燕尾形引導部之形式。在此，引導部的軌道有利地形成角度，尤佳為垂直於閥板相應斜面之縱向伸展(Längsausdehnung)。

圖1至圖8顯示根據本發明封閉單元之實施例。圖9至圖12顯示真空閥之實施例，部分圖解示出，於該真空閥中裝設該種封閉單元。該真空閥具有帶第一及第二閥孔2,3之閥殼體1，其裝設於閥殼體1相對之壁部中。閥孔2,3於所顯示之實施例中對齊，亦即於閥孔2,3的軸線4,5之方向之上視圖中觀察彼此重疊，其中，尤佳為，閥孔2,3的軸線4,5彼此平行，且位於共同直線中。尤其，閥孔2,3具有相同尺寸。

所顯示之實施例中，閥孔2,3構造成槽口狀，其中，該閥孔2,3具有基本上為矩形之截面形式，其中，較長的側邊比較短的側邊明顯更大。具該閥孔之真空閥例如應用為半導體處理裝置(Halbleiter-Prozessanlage)中之輸送閥。於此，真空閥例如裝設於輸送模組(Transfermodul)(即輸送腔)和處理模組(Prozessmodul)(即處理腔)之間，其中，待加工之工件，尤其為晶片(其可在處理模組中被加工)從輸送模組通過真空閥而引導至處理模組中。該真空閥亦可例如裝設於載入鎖止模組(Load-Lock-Modul)和輸送模組之間，其中，工件從大氣區域(Atmosphärenbereich)通過載入鎖止模組而被引入至輸送模組中。

裝設於閥殼體1中之封閉單元6用於關閉真空閥之第一或第二閥孔2,3，該封閉單元6包含第一及第二閥板7,8，該第一及第二閥板7,8分別具有密封件9,10。於第一關閉狀態中(於其中，第一閥孔2關閉而第二閥孔3開啟(參見圖10))，第一閥板7之密封件9壓靠至圍繞第一閥孔2之第一閥座11。反之，第二閥板8之密封件10從圍繞第二閥孔3之第二閥座12上升起。

於第二關閉狀態中(於其中，第二閥孔3關閉而第一閥孔2開啟(參見圖11))，第二閥板8之密封件10壓靠至第二閥座12，同時第一閥板7之密封件9從第一閥座11上升起。

於完全開啟狀態中(參見圖12)，第一及第二閥孔2,3開啟，其中，於閥孔2,3的軸線4,5之方向上觀察，封閉單元6與閥孔2,3不重疊。

為使封閉單元6於真空閥之該些狀態間運動，將封閉單元6安置於閥杆13處。利用相應執行機構14,15,16實現閥杆13之運動。

將封閉單元6從真空閥之開啟位置(圖12)調節到真空閥之其中一關閉狀態中(圖10或圖11)，透過該中間位置來實現，於該中間位置，從閥孔2,3的軸線4,5之方向上觀看，封閉單元6覆蓋(überdecken)閥孔2,3，但從閥座11,12上升起。於該中間位置中，封閉單元6位於圖10和圖11顯示的位置之間。

為於中間位置和壓靠於閥座11,12中一處的位置之間調節封閉單元6，於所顯示之實施例中，使閥杆13繞垂直於閥杆13之軸線17擺動。作為用於使閥杆13繞軸線17擺動的執行機構14,15，示意性顯示活塞缸體單元(Kolben-Zylinder-Einheit)。為使閥杆13於其中間位置及於圖12中顯示的開啟位置之間被調節，作為執行機構16同樣示意性顯示活塞缸體單元。該活塞缸體單元之缸體，以相對於閥殼體1或與該閥殼體1剛性連接驅動殼體18，以可繞軸線17擺動之方式而支承。執行機構14,15與執行機構16之缸體共同作用，以使該缸體繞軸線17擺動。

該真空閥(於該真空閥中，透過擺動閥杆實現將封閉單元6壓靠於一個閥座11,12處或選擇性地壓靠至二相對閥座11,12中之其中一處，封閉單元裝設於該閥杆處)，例如於說明書引言中提及之先前技術中為已知。

例如，亦可行的是，透過對於執行機構16缸體之線性引導 (Linearführung)，將閥杆13構造成可於閥孔2,3的軸線4,5之方向上線性移位元，以使封閉單元6從中間位置開始通過線性運動壓靠至閥座11,12中之一處。

作為以活塞缸體單元形式之其他執行機構14,15,16亦為可行。

下文中藉由圖1至圖8詳細地解釋封閉單元6之構造。二閥板7,8以可鬆開之方式固定於承載板19，其中，承載板19位於該二閥板7,8之間。相應閥板7,8以側面(該側面由閥板7,8之大面形成)貼靠於承載板19之側面處，該側面由承載板19之大面中相應之一面形成。於形成閥板另一大面之側面處，該側面相對於貼靠於承載板19之側面，裝設相應閥板7,8之密封件9,10。

因此，閥板7,8其中之一分別貼靠於承載板19之二側面，該二側面形成承載板19之二大面，且該二側面指向相反之方向。

環狀彈性密封件9,10以例如O形環(O-Ring)之形式構造而成，該密封件9,10插入閥板7,8之凹槽中。例如，構造成硫化(anvulkanisieren)之環狀密封件之形式亦為可行。

夾緊件20用於將第一閥板7固定於承載板19，夾緊件21用於將第二閥板8固定於承載板19。夾緊件20,21具有夾緊面22，其中，夾緊件20之夾緊面22與第一閥板7之第一夾緊面共同作用，而夾緊件21之夾緊面22與第二閥板8之第一夾緊面23共同作用。

此外，第一及第二閥板7,8分別另具有第二夾緊面24，其與承載板19相應之夾緊面25,26共同作用。

藉由夾緊件20,21，夾緊件及相應閥板7,8共同作用之夾緊面22,23，以及相應閥板7,8及承載板19共同作用之夾緊面24,25,26彼此夾緊。夾緊螺栓27之目的為，藉由該夾緊螺栓27將夾緊件20,21與承載板19旋緊。所顯示之實施例中，夾緊螺栓27穿過夾緊件20,21中的孔，並且旋入承載板19之螺紋孔37中。

夾緊面22-26構造成共同作用之斜面。於此，「斜面」表示，夾緊面22-26或其表面法線(Oberflächennormale)傾斜於夾緊力F(該夾緊力F以符號之形式顯示於圖6中)，利用該夾緊力F將夾緊件20,21朝向閥板7,8夾緊。例如，於相應夾緊面22-26和夾緊力F之間的角度28處於30°和60°之間的範圍中，較佳為約45°。夾緊面22-26之傾斜裝設，使透過共同作用之夾緊面22-26分別產生於朝向承載板19方向上作用至相應閥板7,8上之分力Fk。垂直於共同作用之斜面、由斜面所傳遞的法向力Fn，以及該法向力Fn分解成於朝向承載板19方向中指向之分力Fk及平行於承載板19而起作用之分力，同樣示於圖6中。

夾緊力F平行於相應夾緊螺栓27之軸線29。

有利地，來自相同側邊之多個夾緊件20,21作用至閥板7,8中任一個上，其中，夾緊螺栓27之軸線29彼此平行。

所顯示之實施例中，閥板7,8於其大側邊的視圖上觀看具有基本上為矩形之形狀(帶有倒圓角的拐角之矩形)。夾緊件20,21作用至相應閥板7,8之較長的側邊上，其中，該夾緊件20,21沿著該較長的側邊彼此間隔開。於此，較佳為，容納夾緊螺栓27的螺紋孔37端側地裝設於承載板窄側中之一處，其中，容納用於為第一閥板7所用的夾緊件20的夾緊螺栓27之螺紋孔37以及容納用於為第二閥板8所用的夾緊件21的夾緊螺栓27之螺紋孔37旋入到承載板19的相同窄側中。

穿過各個閥板7,8之平行於夾緊力F之截面中，夾緊面23,24於所顯示之實施例中裝設於相應閥板7,8指向承載板19突出部的側向周面(Seitenflanke)。於此，該夾緊面23,24上表面法線指向背離承載板19中央之中心面30(參見圖7)，其中，該表面法線與中心面30包夾不等於90°的角度31，較佳為，該角度31位於20°和70°之間的範圍中，例如為約45°。隨著與承載板19之中心面30的間距增大，夾緊面23,24彼此相接近。總體而言，夾緊面23,24之突出部具有如燕尾形連接部(Schwalbenschwanzverbindung)之形狀。

於承載板19的夾緊面25,26上之表面法線指向中央之中心面30，其中，該表面法線與中央之中心面30包夾不等於90°的角度32，較佳為，該角度32位於20°和70°之間的範圍中，例如為約45°。

於安裝位置中，於夾緊件20,21的夾緊面22上之表面法線指向承載板19中央之中心面30，並且與中央之中心面30包夾不等於90°的角度，較佳為，該角度位於20°和70°之間的範圍中，例如為約45°。

承載板19之中心面30位於承載板19之二側面之間的中間，第一及第二閥板7,8貼靠於該二側面。於承載板19安裝至閥杆13處之狀態中，中心面30較佳為平行於閥杆13。

此外，閥板7,8透過引導部與承載板19相連接，透過該引導部使閥板7,8可推動至承載板19上。透過該引導部，尚可確保閥板7,8不會於該方向中相對於承載板19移位，即，該方向垂直於夾緊力F之方向，且平行於中心面30。

亦可以其他方式實現該確保相應閥板7,8不會於該方向中相對於承載板19移位，例如透過於承載板19及閥板7,8中形狀配合地彼此共同作用之突出部及凹部(Vertiefung)。

然而，只要在將相應閥板7,8安裝於承載板19處時，夾緊件20,21尚未被安裝(通過該夾緊件20,21確保相應閥板7,8不會從承載板19上升起)，則構造於相應閥板7,8和承載板19間之引導部，還用於將相應閥板7,8保持於承載板19處。

為構造該引導部(該引導部構造成滑動引導部(Gleitführung))，相應閥板7,8於其指向承載板19的側面處具有側凹之凹槽33，裝設於承載板19之突出部34接合至該凹槽33中，該突出部34與凹槽33側凹之側壁或周面共同作用，以防止相應閥板7,8從承載板19上升起。如尤其從圖8中所見，突出部34具有側凹之側壁或周面，該側壁或周面與凹槽33側凹之側壁共同作用。凹槽33側凹之側壁和突出部34側凹之側壁形成於相應閥板7,8和承載板19之間引導部之引導面。有利地，如附圖中所見，該引導部構造成燕尾形引導部之形式。其他形式帶有側凹側壁的側凹凹槽33或突出部34同樣為可設想的且可行的。側凹凹槽亦可構造於承載板19處，而突出部34構造於閥板7,8處。

該方向(即於該方向中，相應閥板7,8透過構造成線性引導部的引導部而相對於承載板19被引導)於所顯示之實施例中平行於夾緊力F，如較佳範例所示。

可使相應閥板7,8透過構造於相應閥板7,8和承載板19間之引導部維動至承載板上，直到相應閥板7,8和承載板19共同作用之夾緊面24,25,26互相止動時，透過該止動限制了維動。

當閥板7,8從上方推動至承載板19上時，則因此確保閥板7,8不會脫落。此外，於緊固(anziehen)夾緊件20,21前，使閥板7,8相對於承載板19預先定位。

從圖3中可見面向第一閥板7之側面，於該側面裝設突出部34和夾緊面25。原則上以相同方式構造相對之側面，僅於該處突出部34伸展直至上邊緣(該突出部34亦可於二側邊上伸展直至上邊緣或於二側邊上，以與上邊緣有間隔的方式而結束)。

從圖1和圖2中可見第一閥板7遠離承載板19之側面，於該側面裝設密封件9。以相同方式構造第二閥板8遠離承載板19之表面，於該表面裝設密封件10。

從圖4中可見第二閥板8面向承載板19之側面，於該側面佈置側凹凹槽33以及第一及第二夾緊面23,24。以相同方式構造第一閥板11面向承載板19之側面。

為儘管於關閉閥孔2,3其中之一時使閥杆繞軸線17傾斜，但仍於封閉單元6壓靠至相應閥座11,12之狀態中，獲得密封件於相應密封件9,10之周緣上均勻壓擠(Verpressung)，使閥板7,8遠離承載板19之二側面為彼此成角度。所包夾的角度於本實施例中為1.6°，根據應用情況該角度同樣可更大或更小，於此，例如於1°和3°之間的範圍中。

該角度之狀況於本實施例中透過第二閥板8楔形之(keilförmig)構造而實現。亦可將二閥板7,8構造成楔形及/或承載板19構造成楔形(分別基於橫截面)。

例如，代替閥板7,8遠離承載板19之二側面的該成角度之裝設，亦可行的是，承載板19以可相對於閥杆13傾斜之方式支承。該可傾斜的支承例如從說明書引言中提及根據文件US 6,471,181 B2之先前技術中為已知。例如，承載板相對於閥杆之可傾斜支承亦可透過由金屬製成具足夠彈性之連接元件實現，透過該連接元件承載板與閥杆相連接。此外，當代替使閥杆繞軸線17傾斜而執行閥杆13之線性移位元(為使封閉單元6從中間位置起壓靠至二閥座11,12其中之一處)時，則成角度之裝設亦為非必要。

例如，所顯示般，實現承載板19與閥杆13之連接，即，使得閥杆13的端部插入至承載板19的容納孔35中，且從承載板19相對的側邊使連接螺栓36伸出穿過於承載板19中的孔口，且旋入端側地引入於閥杆13的端部螺紋中。連接螺栓36和閥杆13之軸線平行於承載板19之中心面30。於此，於承載板19和閥杆13相連接之狀態中，可構造承載板19繞著閥杆13之軸線受限制之可擺動性，以使封閉單元6相對於閥座11,12之位置匹配成為可能。該構造於閥杆與閥板相連接之情況中，例如從開頭所提及根據文件US 7,134,642 B2之先前技術中為已知。

閥板7,8分別於其窄側(該窄側於真空閥之使用位置中位於上方，亦即遠離閥杆13之窄側)較佳為具至少一螺紋孔38,39，安裝和拆卸時，工具可旋入至該螺紋孔38,39中，以安裝或拆卸閥板7,8。該利用工具之操作例如從說明書引言中所提及根據文件US 7,134,642 B2之先前技術中為已知。較佳為，承載板19同樣於安裝位置中位於上方之窄側具有該螺紋孔40，使該承載板19安裝於閥杆13或從閥杆13上拆卸時可透過旋入工具被承載。

處理腔之側邊上，閥殼體於所顯示之實施例中具有可取出之插入件(Einsatz)，該插入件於面向閥板之側邊上具密封件41，該密封件41位於密封件9和閥孔2之間，且應保護密封件9免於受到進入處理腔中之氣體侵蝕。閥板7和具密封件41之插入件可設起保護作用免受處理氣體(Prozessgas)影響之塗層。

當二相應地共同作用之夾緊面22-26中，僅一個構造成斜面時，尚可構造指向承載板19方向上之分力Fk，其中，較佳為將二分別共同作用之夾緊面構造成斜面。當僅從相應夾緊件20,21和相應閥板7,8共同作用之夾緊面中，使至少一個、較佳為二個構造成斜面時，或者當僅從相應閥板7,8和承載板19之間共同作用之夾緊面中，使至少一個、較佳為二個構造成斜面時，尚可實現將相應閥板7,8壓靠至承載板19處。然而，較佳為，不僅於相應夾緊件20,21和相應閥板7,8之間具至少一個斜面、較佳為二個共同作用之斜面起作用，且於相應閥板7,8和承載板19之間具至少一個斜面、較佳為二個共同作用之斜面起作用。

當緊固夾緊件20或21時，根據於相應閥板7,8和承載板19間引導部之間隙而定，引導面不發生接合。

承載板19之夾緊面25,26亦可裝設於突出部34於附圖中位於上方之邊緣處(即為突出部34之該邊緣，即該邊緣指向與推動相應閥板7,8相反之方向)。因此，相應閥板7,8與該夾緊面25,26共同作用之第二夾緊面24，裝設於圖4中凹槽33向上限制凹槽33之邊緣處。為使夾緊面22和25或26以及夾緊面23和24於夾緊力F之方向中有利地間隔開，突出部34適宜地向上伸展稍許，不如於圖3中承載板19位於前面側邊如此之遠。

於此，尚可將突出部34裝設於相應閥板8處，並將凹槽33裝設於承載板19處。

用於相應閥板8相對於承載板19之相應引導部，亦可包含二凹槽33，該二凹槽33與二突出部34共同作用，其中，二凹槽33或二突出部34可裝設於承載板19或閥板7,8的中央區域(閥杆接合於該區域)之二側上，且與該中央區域有間隔。為防止閥板7,8從承載板19上升起，突出部和凹槽又具有側凹之側壁。為有助於引入(Einführen)，凹槽可於引入側擴張(於相應凹槽之視圖中成V形)及/或突出部於引入側構造成錐形(於相應突出部之視圖中成V形)。如上述，共同作用之夾緊面又可構造於凹槽和突出部之邊緣，該邊緣限制閥板7,8推動至承載板19上。相同地，夾緊件21共同作用之夾緊面22和閥板7,8之第一夾緊面23，可分別裝設成與相應閥板7,8或承載板19之中央區域有間隔。由此，於承載板19和相應閥板7,8之間的連接僅於二區域中實現，該二區域與具閥杆13之連接區域於二側上間隔開。於此，承載板19於該區段(該區段於具相應閥板7,8之相應連接區域和具閥杆13之連接區域之間延伸)中構造成削弱的(geschwächt)，且於該區段上與相應閥板7,8具有間距。因此，構造用於承載板19可扭轉性(Verwindbarkeit)之可行性，由此，使閥板7,8繞垂直於閥杆13之軸線一定之傾斜(旋轉)成為可能。該可傾斜支承可代替相同可行之已於根據文件US 6,471,181 B2類型之可傾斜支承。

於文字的意義上，將承載閥板部件不同之構造理解為承載板(可將閥板以所述之方式安置於該承載板)，該部件具有至少構造成板狀之區段，於安裝狀態中將閥板壓靠至該區段。於該區段之間亦可有承載板之杆狀區段，例如，如所述般，該杆狀之區段根據扭杆(Torsionsstab)之類型而構造。

假設僅於二區域(該二區域與具閥杆13的承載板19之連接區域間隔開，且位於該連接區域相對之側邊上)中實現閥板7,8與承載板19之夾緊，則亦可僅設有單獨用於閥板7,8中任一、確保閥板不會從承載板上升起之引導部，其中，該引導部裝設成與具閥杆13的承載板19之連接區域有間距。由此，可避免由於不同之熱膨脹所導致之夾緊。

1‧‧‧閥殼體

2‧‧‧閥孔

3‧‧‧閥孔

4‧‧‧軸線

5‧‧‧軸線

6‧‧‧封閉單元

7‧‧‧第一閥板

8‧‧‧第二閥板

9‧‧‧密封件

10‧‧‧密封件

11‧‧‧第一閥座

12‧‧‧第二閥座

13‧‧‧閥杆

14‧‧‧執行機構(Stellantrieb)

15‧‧‧執行機構

16‧‧‧執行機構

17‧‧‧軸線

18‧‧‧驅動殼體

19‧‧‧承載板

20‧‧‧夾緊件

21‧‧‧夾緊件

22‧‧‧夾緊面

23‧‧‧第一夾緊面

24‧‧‧第二夾緊面

25‧‧‧夾緊面

26‧‧‧夾緊面

27‧‧‧夾緊螺栓

28‧‧‧角度

29‧‧‧軸線

30‧‧‧中心面

31‧‧‧角度

32‧‧‧角度

33‧‧‧凹槽

34‧‧‧突出部

35‧‧‧容納孔

36‧‧‧連接螺栓

37‧‧‧螺紋孔

38‧‧‧螺紋孔

39‧‧‧螺紋孔

40‧‧‧螺紋孔

41‧‧‧密封件

以下藉由附圖解釋本發明之其他優點和細節。其中：圖1 顯示根據本發明之封閉單元的斜視圖；圖2 顯示圖1之封閉單元的分解圖；圖3 顯示承載板的斜視圖；圖4 單獨地顯示於圖1和圖2位於後面之閥板的斜視圖；圖5 顯示沿圖1線AA的橫截面圖；圖6 顯示沿圖1線BB的橫截面圖；圖7 相應於圖6之橫截面圖中，顯示於分離狀態中之承載板和二個閥板，其中，其與相連接狀態相比，以彼此平行的方式移位元；圖8 顯示縱向中心截面圖(圖1的剖切線CC)；圖9 顯示帶有相應於圖1封閉單元之真空閥的斜視圖；圖10 顯示穿過於第一關閉位置中真空閥的截面圖；圖11 顯示於第二關閉位置中真空閥一部分之相應於圖10的截面圖；圖12 顯示於開啟位置中真空閥一部分之相應於圖12的截面圖。