KR102551853B1 - 클램프 부재를 포함하는 반도체 진공용 밸브 구조 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 일실시예에서, 제 1 밸브 플레이트; 제 2 벨브 플레이트; 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트 사이에 배치되며, 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트가 장착 및 탈착되게 연결되는 지지 플레이트; 상기 지지 플레이트에 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 고정시키는 클램핑 부재; 상기 클램핑 부재와 연동하여 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 상기 지지 플레이트에 고정시키며 상기 지지 플레이트에 체결되는 나사; 및 상기 나사의 헤드가 내부에 삽입되며, 외면이 나사 연장 방향에 대하여 제 1 각도로 기울어진 기둥 형상의 중간 부재;를 포함하며, 상기 클램핑 부재는 상기 중간 부재가 삽입되도록 상기 중간 부재에 대응되는 형상으로 상기 제 1 각도로 기울어진 내홈; 상기 제 1 또는 제 2 밸브 플레이트 방향으로 연장하는 연장부, 상기 제 1 밸브 플레이트에 형성된 홈에 삽입되는 삽입부를 포함하는 제 1 및 제 2 클램핑 부재를 포함하며, 상기 제 1 또는 제 2 클램핑 부재의 내홈은 상기 지지 플레이트와의 거리가 커질수록 상기 제 1 또는 제 2 밸브 플레이트와의 거리가 커지게 기울어지며, 상기 홈은 상기 삽입부와 나사가 체결됐을 때에는 상기 제 1 면에서 상기 삽입부와 접하며, 나사가 풀릴 때에는 상기 제 2 면에서 상기 삽입부와 접하는 반도체 진공용 밸브 구조를 제공한다.

Description

클램프 부재를 포함하는 반도체 진공용 밸브 구조{VALVE STRUCTURE FOR SEMICONDUCTOR VACUUM HAVING CLAMPING MEMBER}
본 발명은 반도체 진공용 밸브 구조에 대한 것으로, 구체적으로는 클램프 부재를 포함하는 반도체 진공용 밸브 구조에 대한 것이다.
한 쌍의 밸브 플레이트를 이용하여 개구를 폐쇄할 수 있는 밸브가 특허문헌 1 에 공지되어 있다.
두 밸브 플레이트를 포함하는 밸브는 밸브 로드가 연결되며, 열린 상태에서는 밸브 로드가 물러나서 개구가 개방되며, 닫힘 상태에서는 밸브 로드가 연장하여 밸브 기구가 상승되어 두 개구 사이에 놓이고 밸브 로드가 좌우로 움직이면서 개구를 밀폐하는 구조이다.
여기서 밸브 플레이트들은 개구과 직접 맞닿는 부분이어서, 교체가 예정되어 있는 부품이다. 따라서, 일정 주기마다 혹은 밀폐 불량시 밸브 플레이트를 교체하게 된다. 특허문헌 1 의 구조의 경우에 경사면을 통하여 밸브 플레이트와 밸브 플에이트 사이의 지지 플레이트를 체결하는 구조를 개시하고 있으나, 이러한 구조는 교체 작업이 불편하다는 한계가 있다.
(특허문헌 1) KR 10-1494925 B
본 발명은 종래 기술의 한계를 극복하기 위한 것으로, 교체 작업이 용이하면서도 견고한 체결이 가능한 클램핑 부재를 포함하는 반도체 진공용 밸브 구조를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 반도체 진공용 밸브 구조를 개시한다.
본 발명은 일실시예에서, 제 1 밸브 개구를 폐쇄하기 위한 제 1 밸브 플레이트; 제 2 밸브 개구를 폐쇄하기 위한 제 2 벨브 플레이트; 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트 사이에 배치되며, 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트가 장착 및 탈착되게 연결되는 지지 플레이트; 상기 지지 플레이트에 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 고정시키는 클램핑 부재; 상기 클램핑 부재와 연동하여 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 상기 지지 플레이트에 고정시키며 상기 지지 플레이트에 체결되는 나사; 및 상기 나사의 헤드가 내부에 삽입되며, 외면이 나사 연장 방향에 대하여 제 1 각도로 기울어진 기둥 형상의 중간 부재;를 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트는 지지 플레이트 측에서 상부 혹은 하부가 개방 형성된 홈을 포함하고, 상기 클램핑 부재는 상기 중간 부재가 삽입되도록 상기 중간 부재에 대응되는 형상으로 상기 제 1 각도로 기울어진 내홈; 상기 제 1 밸브 플레이트 방향으로 연장하는 연장부, 상기 제 1 밸브 플레이트에 형성된 홈에 삽입되는 삽입부를 포함하는 제 1 클램핑 부재와, 상기 중간 부재가 삽입되도록 상기 중간 부재에 대응되는 형상으로 상기 제 1 각도로 기울어진 내홈; 상기 제 2 밸브 플레이트 방향으로 연장하는 연장부, 상기 제 2 밸브 플레이트에 형성된 홈에 삽입되는 삽입부를 포함하는 제 2 클램핑 부재를 포함하며, 상기 제 1 또는 제 2 클램핑 부재의 내홈은 상기 지지 플레이트와의 거리가 커질수록 상기 제 1 또는 제 2 밸브 플레이트와의 거리가 커지게 기울어지며, 상기 홈은 상기 지지 플레이트와 상대적으로 가까운 제 1 면과 상기 제 1 면과 마주보며 상기 지지 플레이트와 상대적으로 먼 제 2 면을 포함하며, 상기 홈은 상기 삽입부와 나사가 체결됐을 때에는 상기 제 1 면에서 상기 삽입부와 접하는 반도체 진공용 밸브 구조를 제공한다.
일실시예에서, 상기 클램핑 부재는 상기 지지 플레이트의 상면에서 상기 지지 플레이트와 연결되며, 상기 지지 플레이트는 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 향하는 측면에 측면 구멍을 포함하며, 상기 측면 구멍은 상기 나사의 연장방향으로의 길이가 폭보다 길게 형성되며, 내면이 입구보다 큰 단면을 가지며, 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트는 상기 지지 플레이트의 측면 구멍에 대응되는 위치에 헤드와 기둥을 포함하는 걸림 돌기를 포함하며, 상기 걸림 돌기에서 상기 헤드는 상기 기둥보다 단면이 크며, 상기 측면 구멍의 입구는 상기 헤드가 들어가도록 상기 헤드의 단면적 이상인 헤드 삽입부와 상기 측면 구멍으로 들어간 헤드가 걸리도록 상기 헤드의 최소 직경보다 폭이 작은 걸림부를 포함할 수 있다.
본 발명은 일실시예에서, 제 1 밸브 개구를 폐쇄하기 위한 제 1 밸브 플레이트; 제 2 밸브 개구를 폐쇄하기 위한 제 2 벨브 플레이트; 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트 사이에 배치되며, 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트가 장착 및 탈착되게 연결되는 지지 플레이트; 상기 지지 플레이트에 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 고정시키는 클램핑 부재; 및 상기 클램핑 부재와 연동하여 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 상기 지지 플레이트에 고정시키며 상기 지지 플레이트에 체결되는 나사;를 포함하며, 상기 나사 혹은 클램핑 부재는 상기 나사의 체결에 따라서 상기 클램핑 부재를 상기 나사의 체결 방향에 대하여 수직한 방향으로 이동시키도록 구성된 방향 전환부를 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트는 지지 플레이트 측에서 상부 혹은 하부가 개방 형성된 홈을 포함하고, 상기 클램핑 부재는 상기 중간 부재가 삽입되도록 상기 중간 부재에 대응되는 형상으로 상기 제 1 각도로 기울어진 내홈; 상기 제 1 밸브 플레이트 방향으로 연장하는 연장부, 상기 제 1 밸브 플레이트에 형성된 홈에 삽입되는 삽입부를 포함하는 제 1 클램핑 부재와, 상기 중간 부재가 삽입되도록 상기 중간 부재에 대응되는 형상으로 상기 제 1 각도로 기울어진 내홈; 상기 제 2 밸브 플레이트 방향으로 연장하는 연장부, 상기 제 2 밸브 플레이트에 형성된 홈에 삽입되는 삽입부를 포함하는 제 2 클램핑 부재를 포함하며, 상기 방향 전환부는 상기 지지 플레이트와의 거리가 커질수록 상기 연장부가 연장하는 방향의 밸브 플레이트와의 거리가 커지도록 구성되는 반도체 진공용 밸브 구조를 제공할 수 있다.
본 발명은 위와 같은 구성을 통하여 교체 작업이 용이하면서도 견고한 체결이 가능한 클램핑 부재를 포함하는 반도체 진공용 밸브 구조를 제공할 수 있다.
도 1 은 본 발명의 반도체 진공용 밸브의 일실시예가 설치된 모습의 개략도이다.
도 2 는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 사시도이다.
도 3 는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 분해 사시도이다.
도 4 는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 클램핑 부재의 상세 분해 사시도이다.
도 5 는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 사시 단면도이다.
도 6 은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 단면도이다.
도 7 및 8 은 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 단면도로, 도 7 은 클램핑 부재가 체결되었을 때의 단면도이며, 도 8 은 클램핑 부재가 풀렸을 때의 단면도이다.
도 9 는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 분해 사시도이다.
도 10 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 사시 단면도이다.
도 11 은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 단면도이다.
도 12 는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 조립 단면도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있도록 바람직한 실시예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시예를 상세하게 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다. 또한, 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 도면 전체에 걸쳐 동일한 부호를 사용한다. 또한, 본 명세서에서, '상', '상부', '상면', '하', '하부', '하면', '측면' 등의 용어는 도면을 기준으로 한 것이며, 실제로는 소자나 구성요소가 배치되는 방향에 따라 달라질 수 있을 것이다.
덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한, 어떤 구성요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있다는 것을 의미한다.
도 1 에는 본 발명의 일실시예 따른 반도체 진공용 밸브(100)가 설치된 모습의 개략도가 도시되어 있다. 도 1 에서 보이듯이, 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 진공용 밸브(1)는 양쪽에 제 1 및 제 2 밸브 개구(3)가 형성된 벽(2) 안에 설치된다. 반도체 진공용 밸브(1)는 밸브 로드(10)와 상기 밸브 로드(10)에 연결되는 밸브 구조(100)를 포함하며, 밸브 로드(10)는 상하 방향으로 이동시키는 상하 구동수단(4) 및 전후 방향으로 이동시키는 전후 구동수단(5)에 연결된다. 반도체 진공용 밸브 구조(100)는 밸브 로드(10)에 연결되어 상하 구동수단(4)에 의해 아래로 내려진 개방 위치, 도 1 과 같이 밸브 로드(10)가 상하 구동수단(4)에 의해 상승된 중간 위치, 중간 위치에서 전후 구동수단(5)에 의해 전진 혹은 후진 하여 벽(2)의 한쪽 밸브 개구(3)를 밀페하는 폐쇄 위치로 동작할 수 있다. 반도체 진공용 밸브(1)의 동작은 특허문헌 1 등에서 설명한 바와 차이가 없으므로, 상세한 설명을 생략하도록 하며, 반도체 진공용 밸브(1)의 밸브 로드(10)에 연결되는 밸브 구조(100)의 일실시예에 대하여 도 2 내지 9 를 통하여 설명하도록 한다.
도 2 에는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조(100)의 사시도가 도시되어 있으며, 도 3 에는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조(100)의 분해 사시도가 도시되어 있으며, 도 4 에는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조(100)의 클램핑 부재(150)의 상세 분해 사시도가 도시되어 있으며, 도 5 에는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조(100)의 사시 단면도가 도시되어 있으며, 도 6 에는 본 발명의 일실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조(100)의 단면도가 도시되어 있다.
본 발명에 따른 반도체 진공용 밸브 구조(100)는 밸브 로드(10)와 결합된다. 도 2 내지 도 6 에서 보이듯이, 일실시예에서 밸브 구조(100)는 일측 밸브 개구(3; 도 1 참고)를 폐쇄하기 위한 제 1 밸브 플레이트(120); 타측 밸브 개구(3; 도 1 참고)를 폐쇄하기 위한 제 2 벨브 플레이트(130); 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130) 사이에 배치되며, 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)가 장착 및 탈착되게 연결되는 지지 플레이트(110); 상기 지지 플레이트(110)에 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)를 고정시키는 클램핑 부재(150); 상기 클램핑 부재(150)와 연동하여 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)를 상기 지지 플레이트(110)에 고정시키며 상기 지지 플레이트(110)에 체결되는 나사(170); 및 상기 나사(170)의 헤드(171)가 내부에 삽입되며, 외면(162)이 나사 연장 방향(Z 방향)에 대하여 제 1 각도로 기울어진 기둥 형상의 중간 부재(160);를 포함한다. 본 발명에서 밸브 기구(100)는 밸브(1)의 일 구성으로 밸브 로드(10)에 연결되어 밸브 개구(3)를 폐쇄/개방하는 구성을 의미한다.
지지 플레이트(110)의 전후 방향(Y 방향) 양쪽에 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)가 배치된다. 지지 플레이트(110)는 본체(111), 본체(111)의 상면(114) 및 하면에 일렬로 배치되는 복수의 나사 삽입홈(113), 전면 및 후면에서 돌출 형성되며 대응되는 위치의 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)의 홈(125)에 삽입되는 가이드 돌기(115) 및 밸브 로드(10; 도 1 참고)가 삽입 및 연결되는 연결공(112)를 포함한다. 지지 플레이트(110)의 본체(111)는 대략 일정한 두께를 가지는 플레이트 형상으로 형성되며, 개구(3)의 형상에 대응되는 단면을 가진다. 지지 플레이트(110)를 중심으로 클램핑 부재(140, 150)가 체결되면서 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)가 지지 플레이트(110)에 밀착 결합되며, 클램핑 부재(140, 150)가 지지 플레이트(110)로부터 풀림으로써 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)가 지지 플레이트(110)로부터 해체하기 용이한 상태가 된다.
제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)는 지지 플레이트(110)를 사이에 두고 서로 마주보게 배치되며, 각각은 시일(129, 139)이 밸브 개구(3)를 향한 면에 배치되며, 지지 플레이트(110)에 연결된 밸브 로드(10)의 동작에 따라서 밸브 개구(3)에 맞닿으면서 밸브 개구(3)를 폐쇄한다. 제 1 밸브 플레이트(120)는 지지 플레이트(110)를 향하는 면의 상부 및 하부에 홈(122)이 형성되며, 지지 플레이트(110)를 향하는 면에서 상기 가이드 돌기(115)에 대응되는 위치에 가이드 홈(125)이 형성된다. 상기 홈(122)은 밸브 구조(100)의 폭방향(X 방향)의 양측부에 형성되며 중앙부에서는 형성되지 않는다. 홈(122)은 폭방향으로 연장하며, 지지 플레이트(110)로부터 상대적으로 먼 제 2 면(122b)과 지지 플레이트(110)로부터 상대적으로 가까운 제 1 면(122a)을 포함할 수 있으며, 홈(122)의 저면으로부터 제 1 면(122a)의 높이가 제 2 면(122b)보다 낮아서 클램핑 부재(150)가 제 1 밸브 플레이트(120)의 상면보다 높지 않은 위치에 위치하게 할 수 있다.
제 2 밸브 플레이트(130)는 제 1 밸브 플레이트(120)와 실질적으로 대칭되는 구조를 가진다. 제 2 밸브 플레이트(130)는 지지 플레이트(110)를 향하는 면의 상부 및 하부에 홈(132)이 형성되며, 지지 플레이트(110)를 향하는 면에서 상기 가이드 돌기(115)에 대응되는 위치에 가이드 홈이 형성된다. 상기 홈(132)은 밸브 구조(100)의 폭방향(X 방향)의 양측부에 형성되며 중앙부에서는 형성되지 않는다. 홈(132)은 폭방향으로 연장하며, 지지 플레이트(110)로부터 상대적으로 먼 제 2 면(132b)과 지지 플레이트(110)로부터 상대적으로 가까운 제 1 면(132a)을 포함할 수 있으며, 홈(132)의 저면으로부터 제 1 면(132a)의 높이가 제 2 면(132b)보다 낮아서 클램핑 부재(150)가 제 2 밸브 플레이트(130)의 상면보다 높지 않은 위치에 위치하게 할 수 있다.
클램핑 부재(140, 150)는 제 1 밸브 플레이트(120)로 연장하는 연장부(153)를 가지는 제 1 클램핑 부재(140)와 제 2 밸브 플레이트(130)로 연장하는 연장부(153)를 가지는 제 2 클램핑 부재(150)를 포함하는데, 실질적으로 제 1 클램핑 부재(140)와 제 2 클램핑 부재(150)의 구성은 방향을 제외하고는 동일하므로, 제 2 클램핑 부재(150)를 중심으로 설명한다. 클램핑 부재(140, 150)는 지지 플레이트(110)의 폭방향(X 방향)을 따라서 제 1 클램핑 부재(140)와 제 2 클램핑 부재(150)가 번갈아 배치된다.
도 4 내지 도 6 에는 클램핑 부재(150)의 구성이 잘 도시되어 있다. 도 4 내지 6 에서 보이듯이, 제 2 클램핑 부재(150)는 본체(151), 상기 중간 부재(160)가 삽입되도록 상기 본체(151)에 형성된 내홈(152), 상기 제 2 밸브 플레이트(130) 방향으로 연장하는 연장부(153), 상기 제 2 밸브 플레이트(130)에 형성된 홈(132)에 삽입되도록 상기 연장부(153)로부터 절곡 형성되는 삽입부(154)를 포함한다. 앞에서 말한 바와 같이, 제 1 클램핑 부재(140)는 연장부의 형성 방향이 제 1 밸브 플레이트(120)를 향하며, 삽입부가 제 1 밸브 플레이트(120)의 홈(122)에 삽입되는 점을 제외하고는 동일하다.
제 2 클램핑 부재(150)에서 내홈(152)은 상기 중간 부재(160)의 형상에 대응되는 형상을 가지며, 나사(170)의 연장 방향(Z 방향)에 대하여 제 1 각도(θ)로 경사지며, 제 1 각도(θ)는 제 2 클램핑 부재(150)에서 상기 지지 플레이트(110)의 상면(114)과의 거리가 멀수록 상기 제 2 밸브 플레이트(120)와의 거리가 커지게 기울어진다. 즉, 상기 내홈(152)는 제 2 클램핑 부재(150)에서 내홈(152)의 하면 중심이 내홍(152)의 하면 중심보다 제 2 밸브 플레이트(120)에 가깝게 위치하게 경사진다. 제 1 클램핑 부재(140)의 내홈의 경우에 제 2 클램핑 부재(150)의 내홈(152)와 반대 방향으로 제 1 각도(θ)로 경사지게 구성된다.
제 1 각도(θ)는 5~45도 범위가 바람직한데, 나사(170)가 조여지는 길이에 따른 클램핑 부재(140, 150)가 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)를 잡아당기는 길이가 제 1 각도(θ)의 사인값에 관련되므로, 45도를 넘어서는 경우에 급격하게 잡아당기는 결과가 초래되어 나사(170)의 체결 깊이가 제한될 수 있으며, 5도 미만인 경우에 밸브 플레이트(120, 130)를 잡아당기기 위한 체결 깊이가 길어져 충분히 잡아당기기 어려울 수 있다.
중간 부재(160)는 나사(170)의 헤드(171)가 들어가게 헤드(171)의 직경 이상의 직경을 가지는 제 1 구멍(161a)과 상기 나사(170)의 기둥(172)이 들어가며 헤드(171)가 걸리는 제 2 구멍(161b)을 포함하는 관통공(161) 및 외면(162)을 포함한다. 중간 부재(160)는 상기 제 1 및 제 2 클램핑 부재(140, 150)보다 작은 두께, Z 방향에서의 높이를 가지며, 전후 방향(Y 방향)에 평행한 상면 및 하면을 가지며 기울어진 기둥 형상을 가진다. 중간 부재(160)는 상기 제 1 및 제 2 클램핑 부재(140, 150)의 내홈(152)에 삽입되며, 중간 부재(160)의 외면(162)이 제 1 및 제 2 클램핑 부재(140, 150)의 내홈(152)에 미끄러지면서 이동된다. 중간 부재(160) 및 내홈(152)은 기울어진 각기둥, 이 실시예에서는 4각 기둥 형상을 가진다. 각기둥 형상을 가짐으로써, 내홈(152) 내에서 중간 부재(160)는 회전하지 않을 수 있다. 중간 부재(160)는 상기 나사(170)에 대하여 높이 방향으로는 이동을 제한하되, 나사(170)의 회전을 허용하도록 나사(170)가 삽입되는 관통공(161)및 나사(170)의 헤드(171)에 홈/돌기 구조를 가질 수 있다.
도 7 및 도 8 에는 본 발명에 따른 클램핑 부재(140, 150)의 체결에 따른 모습이 도시되어 있다.
도 7 에서 보이듯이, 클램핑 부재(140, 150)에 중간 부재(160)이 삽입되고, 중간 부재(160)에 나사(170)가 삽입된 상태에서 나사(170)의 나사산(173)이 지지 플레이트(110)의 나사 삽입홈(113)에 체결된다. 지지 플레이트(110)의 나사 삽입홈(113)의 위치는 고정되어 있으므로, 나사(170)가 체결됨에 따라서, 중간 부재(160)가 내려오면서 제 2 클램핑 부재(150)의 내홈(152)을 따라서 내려오면서 제 2 밸브 플레이트(130)와의 간격이 작아지게 제 2 클램프 부재(150)를 잡아 당긴다. 제 2 클램프 부재(150)의 삽입부(154)가 상기 제 2 밸브 플레이트(130)의 홈(132)안에 삽입되어 있으므로, 제 2 클램프 부재(150)가 제 1 밸브 플레이트(120) 방향으로 이동됨에 따라서 삽입부(154)의 내면이 홈(132)의 제 1 면(132a)에 밀착하면서 제 2 밸브 플레이트(130)를 지지 플레이트(110) 방향으로 잡아 당기며, 그에 의해서 제 2 밸브 플레이트(130)는 지지 플레이트(110)에 견고하게 결합될 수 있다.
한편, 도 8 에서 보이듯이, 나사(170)가 풀림에 따라서 중간 부재(160)가 나사(170)의 헤드(171)와 함께 상승되면, 제 2 클램핑 부재(150)의 내홈(152)의 형상에 따라서 상기 제 2 밸브 플레이트(130)와의 거리가 멀어지게 되며, 제 2 클램프 부재(150)의 삽입부(154)가 상기 제 2 밸브 플레이트(130)의 홈(132)의 제 2 면(132b)에 닿아서 제 2 밸브 플레이트(130)를 지지 플레이트(110)로부터 멀어지게 한다. 제 2 클램핑 부재(150)가 상부에 배치되어 나사(170)의 풀림에 따라서 중간 부재(160)가 함께 상승되지 않는다고 하더라도, 제 2 밸브 플레이트(130)는 자중을 이용하여 지지 플레이트(110)로 밀착되게 하는 구성이 없어서 제 2 밸브 플레이트(130)를 제거하는 것은 용이하게 수행될 수 있다.
또한, 본 발명의 일실시예에서, 상기 제 1 및 제 2 클램핑 부재(140, 150)는 지지 플레이트(110)의 상면 및 하면 모두에 형성되는데, 하면에 체결된 제 1 및 제 2 클램핑 부재(140, 150)를 해체하는 경우에 자중에 의해서 중간 부재(160)가 나사(170)의 헤드(171)와 함께 이동하게 되며, 이는 제 1 및 제 2 클램핑 부재(140, 150)의 해제로 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)를 지지 플레이트(110)로부터 이격시키게 되어 빠르게 밸브 플레이트를 교체하는 것이 가능해진다.
도 9 내지 도 12 에는 본 발명의 다른 실시예가 도시되어 있다. 도 9 에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 분해 사시도가 도시되어 있으며, 도 10 에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 사시 단면도가 도시되어 있고, 도 11 에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 단면도가 도시되어 있으며, 도 12 에는 본 발명의 다른 실시예에 따른 반도체 진공용 밸브 구조의 조립 단면도가 도시되어 있다.
도 9 내지 12 에서 보이듯이, 이 실시예에서, 반도체 진공용 밸브 구조(100)는 제 1 밸브 개구(3; 도 1 참고)를 폐쇄하기 위한 제 1 밸브 플레이트(120); 제 2 밸브 개구(3; 도 1 참고)를 폐쇄하기 위한 제 2 벨브 플레이트(130); 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130) 사이에 배치되며, 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)가 장착 및 탈착되게 연결되는 지지 플레이트(110); 상기 지지 플레이트(110)에 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)를 고정시키는 클램핑 부재(140, 150); 상기 클램핑 부재(140, 150)와 연동하여 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)를 상기 지지 플레이트(110)에 고정시키며 상기 지지 플레이트(110)에 체결되는 나사(170); 및 상기 나사(170)의 헤드(171)가 내부에 삽입되며, 외면(162)이 나사 연장 방향(Z 방향)에 대하여 제 1 각도로 기울어진 기둥 형상의 중간 부재(160);를 포함한다.
이 실시예에서, 상기 클램핑 부재(140, 150)는 상기 지지 플레이트(110)의 상면(114)에서만 상기 지지 플레이트(110)와 연결된다, 상기 지지 플레이트(110)는 하부에서는 상기 클램핑 부재(140, 150)가 아니 다른 구성으로 상기 제 1 밸브 플레이트(120) 및 제 2 밸브 플레이트(130)와 연결된다. 상기 클램핑 부재(140, 150)는 다른 실시예와 동일하므로, 이 실시예에서는 자세히 설명하지 않으며, 하부를 연결하는 구성에 대하여만 자세히 설명하도록 한다.
상기 지지 플레이트(110)는 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)를 향하는 측면에 측면 구멍(116)을 포함하며, 상기 측면 구멍(116)은 상기 나사(170)의 연장방향(Z 방향)으로의 길이가 폭 방향(X 방향) 길이보다 길게 형성되며, 내부 공간(117a, 117b)이 입구(116a, 116b)보다 큰 단면을 가진다.
측면 구멍(116)은 지지 플레이트(110)의 양 측면의 하측 부분에 일렬로 복수개가 형성된다. 도 9 에서 보이듯이, 이 실시예에서는 상기 클램핑 부재(140, 150)와 동일한 수의 측면 구멍(116)이 양측에 각각 형성된다. 측면 구멍(116)에 대응되는 위치에서 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)는 헤드(181)와 기둥(184)을 포함하는 걸림 돌기(180)를 포함한다. 상기 걸림 돌기(180)에서 상기 헤드(181)는 상기 기둥(184)보다 단면이 크다.
측면 구멍(116)은 Y 방향에서 봤을 때 상측 입구(116a)와 상기 상측 입구(116a)에 연결된 하측 입구(116b)를 포함한다. 상측 입구(116a)는 상기 헤드(181)가 측면 구멍안의 내부 공간(117a, 117b)으로 들어가도록 상기 헤드(181)의 단면적 이상이다. 상측 입구(116a)는 걸림 돌기(180)의 헤드(181)가 삽입되므로 삽입부라고 부를 수도 있다. 또한, 하측 입구(116b)는 상기 측면 구멍(116)으로 들어간 헤드(181)가 걸리도록 상기 헤드(181)의 직경보다 폭이 작게 형성될 수 있으며, 하측 입구(116b)는 헤드(181)가 걸리기 때문에 걸림부라고 부를 수 있다.
내부 공간(117a, 117b)에서는 걸림 돌기(180)의 헤드(181)가 상하로 이동될 수 있도록 구성된다. 즉 헤드 삽입부인 상측 입구(116a)의 안쪽 내부 공간(117a)과 걸림부인 하측 입구(116b)의 안쪽 내부 공간(117b)은 모두 동일한 폭 혹은 적어도 헤드(181) 이상의 폭을 가지게 형성된다. 바람직하게 내부 공간(117a, 117b)은 헤드(181)를 일정한 위치로 안내하도록 아래 방향을 갈수록 깊이나 폭이 조절되는 안내면을 포함할 수 있다.
걸림 돌기(180)는 헤드(181)와 기둥(184) 외에 상기 헤드(181)의 하면으로부터 상기 하측 입구(116b)의 두께에 대응되는 거리로 떨어진 위치에 돌출부(183)를 포함할 수 있으며, 돌출부(183)의 하부에는 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)의 나사공에 삽입/체결되는 나사산(182)이 형성된다. 이렇게 돌출부(183)가 형성됨으로 인하여, 걸림 돌기(180) 및 측면 구멍(116)를 통하여 지지 플레이트(110)와 제 1 및 제 2 밸브 플레이트(120, 130)의 하부 연결이 달성될 수 있다. 특히, 걸림 돌기(180)를 포함하는 밸브 플레이트(120, 130)를 지지 플레이트(110)에 상기 걸림 돌기(180)를 측면 구멍(116)의 상측 입구(116a)로 집어 넣은 후 아래로 이동시켜 하측 입구(116b)에 상기 기둥(184)이 걸리게 한 후 상기 클램핑 부재(140, 150)를 체결하는 것이 가능하다.
1: 밸브 2: 벽
3: 밸브 개구 100: 밸브 구조
110: 지지 플레이트 111: 본체
113: 나사 삽입홈 114: 상면
116: 측면 구멍 117: 내부 공간
120: 제 1 밸브 플레이트 122: 홈
130: 제 2 밸브 플레이트 132: 홈
140, 150: 클램핑 부재
151: 본체 152: 내홈
153: 연장부 154: 삽입부
160: 중간 부재 161: 관통공
162: 외면 170: 나사
171: 헤드 180: 걸림 돌기
181: 헤드 183: 돌출부
184: 기둥

Claims (10)

  1. 제 1 밸브 개구를 폐쇄하기 위한 제 1 밸브 플레이트;
    제 2 밸브 개구를 폐쇄하기 위한 제 2 벨브 플레이트;
    상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트 사이에 배치되며, 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트가 장착 및 탈착되게 연결되는 지지 플레이트;
    상기 지지 플레이트에 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 고정시키는 클램핑 부재;
    상기 클램핑 부재와 연동하여 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 상기 지지 플레이트에 고정시키며 상기 지지 플레이트에 체결되는 나사; 및
    상기 나사의 헤드가 내부에 삽입되며, 외면이 나사 연장 방향에 대하여 제 1 각도로 기울어진 기둥 형상의 중간 부재;를 포함하며,
    상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트는 지지 플레이트 측에서 상부 혹은 하부가 개방 형성된 홈을 포함하고,
    상기 클램핑 부재는
    상기 중간 부재가 삽입되도록 상기 중간 부재에 대응되는 형상으로 상기 제 1 각도로 기울어진 내홈; 상기 제 1 밸브 플레이트 방향으로 연장하는 연장부, 상기 제 1 밸브 플레이트에 형성된 홈에 삽입되는 삽입부를 포함하는 제 1 클램핑 부재와,
    상기 중간 부재가 삽입되도록 상기 중간 부재에 대응되는 형상으로 상기 제 1 각도로 기울어진 내홈; 상기 제 2 밸브 플레이트 방향으로 연장하는 연장부, 상기 제 2 밸브 플레이트에 형성된 홈에 삽입되는 삽입부를 포함하는 제 2 클램핑 부재를 포함하며,
    상기 제 1 또는 제 2 클램핑 부재의 내홈은 상기 지지 플레이트와의 거리가 커질수록 상기 제 1 또는 제 2 밸브 플레이트와의 거리가 커지게 기울어지며,
    상기 홈은 상기 지지 플레이트와 상대적으로 가까운 제 1 면과 상기 제 1 면과 마주보며 상기 지지 플레이트와 상대적으로 먼 제 2 면을 포함하며, 상기 홈은 상기 삽입부와 나사가 체결됐을 때에는 상기 제 1 면에서 상기 삽입부와 접하는 반도체 진공용 밸브 구조.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 클램핑 부재는 상기 지지 플레이트의 상면 및 하면에서 상기 지지 플레이트와 연결되는 것을 특징으로 하는 반도체 진공용 밸브 구조.
  3. 제 2 항에 있어서
    상기 중간 부재 및 상기 내홈은 상기 나사의 연장 방향에 수직한 단면이 사각형인 것을 특징으로 하는 반도체 진공용 밸브 구조.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 삽입부는 상기 연장부로부터 절곡 형성되며,
    상기 밸브 플레이트의 상기 홈에서 상기 제 1 면과 제 2 면 사이의 거리는 상기 삽입부의 두께보다 큰 것을 특징으로 하는 반도체 진공용 밸브 구조.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 1 클램핑 부재와 상기 제 2 클램핑 부재는 번갈아 배치되며,
    상기 제 1 각도는 5 ~ 45도인 것을 특징으로 하는 반도체 진공용 밸브 구조.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 클램핑 부재는 상기 지지 플레이트의 상면에서 상기 지지 플레이트와 연결되며,
    상기 지지 플레이트는 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 향하는 측면에 측면 구멍을 포함하며,
    상기 측면 구멍은 상기 나사의 연장방향으로의 길이가 폭보다 길게 형성되며, 내면이 입구보다 큰 단면을 가지며,
    상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트는 상기 지지 플레이트의 측면 구멍에 대응되는 위치에 헤드와 기둥을 포함하는 걸림 돌기를 포함하며,
    상기 걸림 돌기에서 상기 헤드는 상기 기둥보다 단면이 크며,
    상기 측면 구멍의 입구는 상기 헤드가 들어가도록 상기 헤드의 단면적 이상인 헤드 삽입부와 상기 측면 구멍으로 들어간 헤드가 걸리도록 상기 헤드의 최소 직경보다 폭이 작은 걸림부를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 진공용 밸브 구조.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 걸림 돌기는 걸림 나사이며,
    상기 측면 구멍은 상기 걸림 나사의 헤드를 안내하는 안내면을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 진공용 밸브 구조.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트에서 상기 홈은 밸브 로드가 상기 지지 플레이트와 결합되는 중앙부 양쪽에 각각 구비되는 것을 특징으로 하는 반도체 진공용 밸브 구조.
  9. 밸브 로드에 연결되는 반도체 진공용 밸브로서,
    제 1 밸브 개구를 폐쇄하기 위한 제 1 밸브 플레이트;
    제 2 밸브 개구를 폐쇄하기 위한 제 2 벨브 플레이트;
    상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트 사이에 배치되며, 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트가 장착 및 탈착되게 연결되는 지지 플레이트;
    상기 지지 플레이트에 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 고정시키는 클램핑 부재; 및
    상기 클램핑 부재와 연동하여 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 상기 지지 플레이트에 고정시키며 상기 지지 플레이트에 체결되는 나사;를 포함하며,
    상기 나사 혹은 클램핑 부재는 상기 나사의 체결에 따라서 상기 클램핑 부재를 상기 나사의 체결 방향에 대하여 수직한 방향으로 이동시키도록 구성된 방향 전환부를 포함하며,
    상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트는 지지 플레이트 측에서 상부 혹은 하부가 개방 형성된 홈을 포함하고,
    상기 클램핑 부재는
    상기 방향 전환부가 삽입되도록 상기 방향 전환부에 대응되는 형상으로 제 1 각도로 기울어진 내홈; 상기 제 1 밸브 플레이트 방향으로 연장하는 연장부, 상기 제 1 밸브 플레이트에 형성된 홈에 삽입되는 삽입부를 포함하는 제 1 클램핑 부재와,
    상기 방향 전환부가 삽입되도록 상기 방향 전환부에 대응되는 형상으로 상기 제 1 각도로 기울어진 내홈; 상기 제 2 밸브 플레이트 방향으로 연장하는 연장부, 상기 제 2 밸브 플레이트에 형성된 홈에 삽입되는 삽입부를 포함하는 제 2 클램핑 부재를 포함하며,
    상기 방향 전환부는 상기 지지 플레이트와의 거리가 커질수록 상기 연장부가 연장하는 방향의 밸브 플레이트와의 거리가 커지도록 구성되는 반도체 진공용 밸브 구조.
  10. 제 1 항 또는 제 9 항에 있어서,
    상기 지지 플레이트는 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트를 향하는 측면에 상기 상기 제 1 및 제 2 밸브 플레이트의 위치를 안내하는 안내 돌기 또는 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 진공용 밸브 구조.
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