KR20110046313A - 진공밸브를 위한 폐쇄 유닛 - Google Patents

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KR20110046313A KR1020100103949A KR20100103949A KR20110046313A KR 20110046313 A KR20110046313 A KR 20110046313A KR 1020100103949 A KR1020100103949 A KR 1020100103949A KR 20100103949 A KR20100103949 A KR 20100103949A KR 20110046313 A KR20110046313 A KR 20110046313A
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Abstract

진공밸브를 위한 폐쇄 유닛은 진공밸브의 제 1 밸브 개구부 (2) 를 폐쇄하기 위한 제 1 밸브 플레이트 (7) 와, 진공밸브의 제 2 밸브 개구부 (3) 를 폐쇄하기 위한 제 2 밸브 플레이트 (8) 와, 밸브 플레이트 (7, 8) 들 사이에 놓여 있으며 밸브 플레이트 (7, 8) 들이 탈착 가능하게 고정되어 있는 지지체 플레이트 (19) 와, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 를 지지체 플레이트 (19) 에 고정시키기 위한 각각 적어도 하나의 클램핑 피스 (20, 21) 를 포함하며, 상기 클램핑 피스에 의해 상호 작용하는 클램핑면 (22-26) 들이 서로 조여진다. 상호 작용하는 클램핑면 (22-26) 들 중 적어도 하나는 경사면으로서 형성되어 있으며, 상기 경사면을 통해 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 는 지지체 플레이트 (19) 에 내리눌려진다 (도 6).

Description

진공밸브를 위한 폐쇄 유닛 {CLOSING UNIT FOR A VACUUM VALVE}
본 발명은 진공밸브를 위한 폐쇄 유닛에 관한 것으로, 상기 폐쇄 유닛은 진공밸브의 제 1 밸브 개구부 (valve opening) 를 폐쇄하기 위한 제 1 밸브 플레이트 (valve plate) 와 진공밸브의 제 2 밸브 개구부를 폐쇄하기 위한 제 2 밸브 플레이트를 포함한다. 본 발명은 또한 진공밸브에 관한 것으로, 상기 진공밸브는 제 1 밸브 시트 (valve seat) 에 의해 둘러싸여 있는 제 1 밸브 개구부와 제 2 밸브 시트에 의해 둘러싸여 있는 제 2 밸브 개구부를 가진 밸브 하우징, 및 제 1 밸브 개구부를 폐쇄하기 위한 제 1 밸브 플레이트와 제 2 밸브 개구부를 폐쇄하기 위한 제 2 밸브 플레이트를 구비한 폐쇄 유닛을 포함한다. 본 발명은 또한 진공밸브를 위한 폐쇄 유닛의 지지체 플레이트 (support plate) 에 고정시키기 위한 밸브 플레이트에 관한 것이다.
대안적으로 제 1 밸브 플레이트 및 제 2 밸브 플레이트를 이용해 폐쇄될 수 있는 제 1 밸브 개구부 및 제 2 밸브 개구부를 가진 밸브 하우징을 구비한 진공밸브가 US 6,390,448 B1 및 US 6,913,243 B1 으로부터 공지되어 있다. 두 밸브 플레이트는 밸브 로드 (valve rod) 에, 또는 상기 밸드 로드에 부착된 엔드 피스 (end piece) 에 고정되어 있으며, 상기 부착은 선회 볼트를 통해 수행되고, 따라서 밸브 로드에 대한 각각의 밸브 플레이트의 각위치가 설정될 수 있다. 진공밸브가 열린 상태에서는, 밸브 로드는 물러나고 두 밸브 개구부는 개방되어 있다. 진공밸브를 닫기 위해, 두 밸브 플레이트는 우선 개방 위치로부터 중간 위치로 이동되며, 상기 중간 위치에서 상기 밸브 플레이트들은 두 밸브 개구부 사이에 놓여 있고, 이때 상기 밸브 플레이트들은 상기 밸브 개구부들로부터 들어내져 있다. 이 중간 위치로부터 출발하여, 밸브 로드에 대해 직각으로 있는 선회축 둘레의 밸브 로드의 선회를 통해 제 1 밸브 개구부가 제 1 밸브 플레이트를 이용해 폐쇄될 수 있거나 또는 제 2 밸브 개구부가 제 2 밸브 플레이트를 이용해 폐쇄될 수 있다. 예컨대 제 1 밸브 개구부의 닫힌 상태에서 제 2 밸브 플레이트의 정비가 예컨대 실링의 교체를 위해 실행될 수 있고, 또한 정반대로 실행될 수도 있다.
이 이외에, 제 1 밸브 플레이트와 제 2 밸브 플레이트에 의해 폐쇄될 수 있는 제 1 밸브 개구부와 제 2 밸브 개구부를 가지며, 이때 각각의 밸브 플레이트는 별도의 밸브 로드와 연결되어 있는 진공밸브가 US 6,095,741 로부터 공지되어 있다.
서로 독립적으로 조정될 수 있는 제 1 밸브 플레이트와 제 2 밸브 플레이트를 가진 진공밸브가 WO 2009/070824 A1 으로부터 공개되어 있다. 밸브 플레이트들 중 하나는 지지 유닛에 의해 지지되고, 상기 지지 유닛은 밸브 로드들에 부착되어 있다. 상기 지지 유닛은 밸브 플레이트를 조정하기 위한 다수의 액추에이터를 갖추고 있으며, 밸브 플레이트는 가이드 (guide) 들을 통해 이 액추에이터들과 연결되어 있고, 상기 가이드들은 도브테일 가이드 (dovetail guide) 들의 유형으로 형성되어 있으며, 따라서 밸브 플레이트는 액추에이터들로부터 인출될 수 있다.
밸브 로드에 밸브 플레이트를 고정시킴은 US 7,134,642 B2 로부터 공개되어 있으며, 이 경우 밸브 플레이트의 위치를 밸브 시트에 맞추기 위해, 밸브 플레이트는 상기 밸브 플레이트의 축 둘레로 제한적으로 선회 가능하다.
밸브 로드의 축에 대해 직각으로 있는 축 둘레로 밸브 플레이트가 틸팅할 수 있는, 밸브 로드에 밸브 플레이트를 고정시킴은 US 6,471,181 B2 로부터 공지되어 있다.
본 발명의 목적은, 각각의 밸브 플레이트의 조립 및 분해가 간단하고, 조립된 상태에서 각각의 밸브 플레이트가 안정적으로 고정되어 있으며 충분히 정확히 배치되어 있는, 도입부에 언급된 유형의 폐쇄 유닛을 제공하는 것이다.
이는 본 발명에 따르면 청구항 제 1 항의 특징들을 가진 폐쇄 유닛을 통해 달성된다.
본 발명의 폐쇄 유닛에 있어서, 밸브 플레이트들은 상기 밸브 플레이트들 사이에 놓여 있는 지지체 플레이트에 조립되어 있고, 또한 이것으로부터 떼어내질 수 있다. 각각의 밸브 플레이트를 지지체 플레이트에 고정시키기 위해 적어도 하나의 클램핑 피스 (clamping piece) 가 사용되며, 상기 클램핑 피스에 의해 상호 작용하는 클램핑면 (clamping surface) 들은 서로 조여지고, 상기 클램핑면들 중 적어도 하나는 경사면 (inclined surface) 으로서 형성되어 있으며, 상기 경사면을 통해 각각의 밸브 플레이트는 상기 지지체 플레이트에 내리눌려진다.
적어도 하나의 상기 경사면에 의해, 상기 지지체 플레이트 방향으로 각각의 밸브 플레이트에 작용하는 힘성분 (force component) 이 초래되며, 상기 힘성분에 의해 상기 밸브 플레이트는 상기 지지체 플레이트에 내리눌려진다. 각각의 경사면은 각각의 클램핑 피스에 작용하는 클램핑력 (clamping force) 에 대해 비스듬히 있으며, 바람직하게는 20°와 70°사이의 각도하에 있고, 예컨대 상기 각도는 45°이다.
상기 지지체 플레이트에 상기 밸브 플레이트를 내리누름으로써, 상기 밸브 플레이트의 흔들림 없이 상기 밸브 플레이트의 안정적인 고정이 달성된다. 이 경우, 지지체 플레이트에 대한 밸브 플레이트의 포지셔닝 (positioning) 은 단지 적은 허용오차를 갖고 달성될 수 있다. 상기 클램핑 피스들의 삽입은 간단한 조립 및 분해를 허용한다.
바람직하게는, 각각의 클램핑 피스를 조이기 위해, 상기 클램핑 피스와 상호 작용하는 적어도 하나의 클램핑 나사 (clamping screw) 가 제공되어 있으며, 이때 각각의 경사면은 상기 클램핑 나사의 축에 대해 비스듬히 있고, 바람직하게는 20°와 70°사이의 각도하에 있으며, 예컨대 상기 각도는 45°이다.
각각의 밸브 플레이트의, 그리고 지지체 플레이트의 상호 작용하는 클램핑면들 중 (상기 클램핑면들은 적어도 하나의 클램핑 피스에 의해 서로 조여진다), 또한 각각의 밸브 플레이트의, 그리고 이것과 함께 조여진 적어도 하나의 클램핑 피스의 상호 작용하는 클램핑면들 중 각각 적어도 하나는 경사면으로서 형성되어 있는 것이 바람직하고, 상기 경사면을 통해 각각의 밸브 플레이트는 지지체 플레이트에 내리눌려진다. 적어도 하나의 클램핑 피스에 의해 서로 조여진 모든 클램핑면들, 즉 각각의 밸브 플레이트의, 그리고 지지체 플레이트의 서로 조여진 클램핑면들과, 클램핑 피스 자체의, 그리고 각각의 밸브 플레이트의 서로 조여진 클램핑면들이 경사면들로서 형성되어 있으면 특히 바람직하며, 상기 경사면들을 통해 각각의 밸브 플레이트는 상기 지지체 플레이트에 내리눌려진다.
본 발명의 바람직한 실시형태에서, 각각의 밸브 플레이트는 - 상기 밸브 플레이트의 각각의 밸브 개구부를 폐쇄하기 위한 실링 (sealing) 을 지니고 있는 쪽에서 볼 때 - 본질적으로 직사각형으로 형성되어 있으며, 특히 둥근 모서리들을 가진, 마주하고 있는 보다 긴 쪽들 및 마주하고 있는 보다 짧은 쪽들을 가진 직사각형으로 형성되어 있다. 본질적으로 직사각형인 이러한 밸브 플레이트를 이용해, 본질적으로 직사각형인 또는 슬롯 (slot) 모양인 밸브 개구부가 폐쇄될 수 있다. 각각의 밸브 플레이트를 조이는 적어도 하나의 클램핑 피스는 바람직하게는 밸브 플레이트의 보다 긴 쪽들 중 하나와 상호 작용하며, 이때 바람직하게는 이 밸브 플레이트를 조이는 2 개 이상의 클램핑 피스들은 직사각형으로 형성된 밸브 플레이트의 보다 긴 쪽을 따라 서로 간격을 두고 배치되어 있다.
본 발명의 바람직한 실시형태에 따르면, 각각의 밸브 플레이트는 상기 밸브 플레이트와 상기 지지체 플레이트 사이에 형성된 가이드를 이용해 상기 지지체 플레이트 상으로 밀어질 수 있으며, 이때 이 가이드는 상기 밸브 플레이트가 상기 지지체 플레이트로부터 들어내지지 않도록 안전하게 한다. 이 경우, 밸브 플레이트는 상기 밸브 플레이트의, 그리고 상기 지지체 플레이트의 상호 작용하는 클램핑면들의 상호간의 스톱 (stop) 까지 상기 지지체 플레이트 상으로 밀어진다. 이 상태에서, 밸브 플레이트를 고정시키기 위해 적어도 하나의 클램핑 피스가 조립된다. 이 가이드에 의해, 밸브 플레이트는 클램핑 피스의 조립시 탈락되지 않도록 이미 안전해지고, 그리고 지지체 플레이트에 대해 사전 배치되어 있다 (pre-positioned).
상기 지지체 플레이트에 대해 밸브 플레이트를 안내하기 위해, 바람직하게는 상기 두 부품 중 하나 안에는 적어도 하나의 언더컷된 (undercut) 그루브 (groove) 가 형성되어 있으며, 상기 그루브와, 상기 두 부품 중 다른 것의 돌출부가 맞물리고, 이때 상기 돌출부는 언더컷된 상기 그루브의 언더컷되어 형성된 측벽들 (플랭크들 (flanks)) 과 상호 작용한다. 이러한 가이드는 특히 도브테일 가이드 형태로 형성되어 있을 수 있다.
본 발명에 따른 폐쇄 유닛이 삽입될 수 있는 진공밸브는 제 1 밸브 개구부 및 제 2 밸브 개구부를 가진 밸브 하우징을 구비하며, 상기 제 1 밸브 개구부는 제 1 밸브 시트에 의해 둘러싸여 있고 상기 제 2 밸브 개구부는 제 2 밸브 시트에 의해 둘러싸여 있으며, 상기 제 1 밸브 개구부를 폐쇄하기 위해서는 제 1 밸브 플레이트가 제 1 밸브 시트에 내리눌려질 수 있고, 상기 제 2 밸브 개구부를 폐쇄하기 위해서는 제 2 밸브 플레이트가 제 2 밸브 시트에 내리눌려질 수 있다.
본 발명에 따른 진공밸브는 예컨대 트랜스퍼 챔버와 진공 공정을 실행하기 위한 공정 시설의 공정 챔버 사이에서 트랜스퍼 밸브 (transfer valve) 를 형성할 수 있다.
본 발명의 그 밖의 관점에 따르면, 진공밸브를 위한 폐쇄 유닛의 지지체 플레이트에 고정시키기 위한 밸브 플레이트가 제공되어 있으며, 상기 밸브 플레이트는 경사면의 형태로 형성된 적어도 하나의 클램핑면을 구비하고, 상기 클램핑면을 이용해 밸브 플레이트는 지지체 플레이트와 상기 밸브 플레이트와의 조임시 상기 지지체 플레이트에 내리눌려질 수 있고, 상기 조임은 적어도 하나의 클램핑 피스를 통해 수행된다. 바람직하게는, 밸브 플레이트는 제 1 클램핑면과 제 2 클램핑면을 가지며, 상기 클램핑면들은 각각 경사면의 형태로 형성되어 있고, 그것들 중 제 1 클램핑면은 경사면의 형태로 형성된 지지체 플레이트의 클랭핑면과의 상호 작용을 위해 제공되어 있으며, 그것들 중 제 2 클램핑면은 경사면의 형태로 형성된, 적어도 하나의 클램핑 피스의 클램핑면과의 상호 작용을 위해 제공되어 있다. 이 이외에, 보다 바람직하게는, 밸브 플레이트와 지지체 플레이트 사이의 가이드를 형성하기 위한 그루브 또는 돌기가 제공되어 있으며, 상기 가이드는 밸브 플레이트가 지지체 플레이트로부터 들어내지지 않도록 안전하게 하고, 특히 도브테일 가이드의 형태로 형성되어 있다. 이 경우, 가이드의 경로 (path) 는 바람직하게는 비스듬히 있으며, 밸브 플레이트의 각각의 경사면의 세로 방향 확장부에 대해 직각으로 있는 것이 유리하다.
이하, 본 발명의 그 밖의 장점들과 상세 내용을 첨부된 도면을 참조로 설명한다.
도 1 은 본 발명에 따른 폐쇄 유닛을 기울인 도면이다.
도 2 는 도 1 의 폐쇄 유닛의 분해 조립도이다.
도 3 은 지지체 플레이트를 기울인 도면이다.
도 4 는 도 1 및 도 2 에서 뒤쪽에 놓여 있는 밸브 플레이트를 기울인 도면이다.
도 5 는 도 1 의 선 (AA) 을 따른 횡단면이다.
도 6 은 도 1 의 선 (BB) 을 따른 횡단면이다.
도 7 은 도 6 에 상응하는 횡단면에서, 분리된 상태에서의 지지체 플레이트와 두 밸브 플레이트를 나타낸 도면이며, 이때 이것들은 연결된 상태와 비교해 서로 평행으로 이동되어 있다.
도 8 은 세로 방향 중앙 단면 (도 1 의 절단선 CC) 이다.
도 9 는 도 1 에 상응하는 폐쇄 유닛을 가진 진공밸브를 기울인 도면이다.
도 10 은 제 1 폐쇄 위치에서의 진공밸브의 단면이다.
도 11 은 제 2 폐쇄 위치에서의 진공밸브의 부품의 도 10 에 상응하는 단면이다.
도 12 는 개방 위치에서의 진공밸브의 부품의 도 12 에 상응하는 단면이다.
본 발명에 따른 폐쇄 유닛의 실시예는 도 1 내지 도 8 에 도시되어 있다. 도 9 내지 도 12 는 진공밸브의 실시예를 부분적으로 개략적으로 보이고 있으며, 상기 진공밸브 안에는 이러한 유형의 폐쇄 유닛이 장착되어 있다. 진공밸브는 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 를 가진 밸브 하우징 (1) 을 구비하며, 상기 밸브 개구부들은 밸브 하우징 (1) 의 마주하고 있는 벽들 안에 배치되어 있다. 밸브 개구부 (2, 3) 들은 도시되어 있는 실시예에서 동렬로 놓여 있으며, 즉 밸브 개구부 (2, 3) 들의 축 (4, 5) 들의 방향으로 볼 때 서로 겹치고, 이때 바람직하게는 밸브 개구부 (2, 3) 들의 축 (4, 5) 들은 서로 평행으로, 하나의 공통의 직선 상에 놓여 있다. 특히, 밸브 개구부 (2, 3) 들은 동일한 치수를 가진다.
도시되어 있는 실시예에서, 밸브 개구부 (2, 3) 들은 슬롯 (slot) 모양으로 형성되어 있으며, 상기 밸브 개구부들은, 보다 짧은 쪽들보다 훨씬 더 크고 더 긴 쪽들을 가진 본질적으로 직사각형의 횡단면 형태를 가진다. 이러한 밸브 개구부들을 가진 진공밸브들은 반도체 공정 시설 안의 트랜스퍼 밸브들로서 이용된다. 이 경우, 진공밸브는 예컨대 트랜스퍼 모듈 (=트랜스퍼 챔버) 과 공정 모듈 (=공정 챔버) 사이에 배치되며, 이때 가공되어야 하는 공작물들, 예컨대 공정 모듈에서 가공되어야 하는 웨이퍼 (wafer) 들은 트랜스퍼 모듈로부터 진공밸브를 통해 공정 모듈 안으로 안내된다. 또한, 이러한 진공밸브는 예컨대 로드락 모듈 (Load-Lock-Module) 과 트랜스퍼 모듈 사이에 배치될 수 있고, 이때 공작물들은 대기 영역으로부터 로드락 모듈을 통해 트랜스퍼 모듈 안으로 삽입된다.
진공밸브의 제 1 밸브 개구부 (2) 또는 제 2 밸브 개구부 (3) 를 폐쇄하기 위해서는, 밸브 하우징 (1) 안에 배치된 폐쇄 유닛 (6) 이 사용되며, 상기 폐쇄 유닛은 제 1 밸브 플레이트 (7) 와 제 2 밸브 플레이트 (8) 를 포함하고, 상기 밸브 플레이트들은 각각 실링 (9, 10) 을 구비한다. 제 1 밸브 개구부 (2) 는 닫혀 있고 제 2 밸브 개구부 (3) 는 열려 있는 제 1 폐쇄 상태에서 (도 10 참조), 제 1 밸브 플레이트 (7) 의 실링 (9) 은 제 1 밸브 개구부 (2) 를 둘러싸는 제 1 밸브 시트 (11) 에 내리눌려져 있다. 이에 반해, 제 2 밸브 플레이트 (8) 의 실링 (10) 은 제 2 밸브 개구부 (3) 를 둘러싸는 제 2 밸브 시트 (12) 로부터 들어내져 있다.
제 2 밸브 개구부 (3) 는 닫혀 있고 제 1 밸브 개구부 (2) 는 열려 있는 제 2 폐쇄 상태에서 (도 11 참조), 제 2 밸브 플레이트 (8) 의 실링 (10) 은 제 2 밸브 시트 (12) 에 내리눌려져 있고, 반면 제 1 밸브 플레이트 (7) 의 실링 (9) 은 제 1 밸브 시트 (11) 로부터 들어내져 있다.
완전히 열린 상태에서 (도 12 참조), 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 는 열려 있고, 이때 폐쇄 유닛 (6) 은 밸브 개구부 (2, 3) 들의 축 (4, 5) 들의 방향으로 볼 때 밸브 개구부 (2, 3) 들과 겹치지 않는다.
폐쇄 유닛 (6) 을 진공밸브의 이 상태들 사이에서 움직이기 위해, 폐쇄 유닛 (6) 은 밸브 로드 (13) 에 부착되어 있다. 밸브 로드 (13) 의 운동은 상응하는 액추에이터 (actuator, 14, 15, 16) 들을 갖고 수행된다.
진공밸브의 개방 위치로부터 출발하여 (도 12) 진공밸브의 닫힌 상태들 중 하나 (도 10 또는 도 11) 로의 폐쇄 유닛 (6) 의 이동은 중간 위치를 통해 수행되며, 상기 중간 위치에서 폐쇄 유닛 (6) 은 밸브 개구부 (2, 3) 들을 - 상기 밸브 개구부 (2, 3) 들의 축 (4, 5) 들의 방향으로 볼 때 - 덮고 있고, 하지만 밸브 시트 (11, 12) 들로부터 들어내져 있다. 그러므로, 폐쇄 유닛 (6) 은 이 중간 위치에서는 도 10 및 도 11 에 도시되어 있는 위치들 사이에 있다.
폐쇄 유닛 (6) 을 상기 중간 위치와, 밸브 시트 (11, 12) 들 중 하나에 내리눌려져 있는 위치 사이에서 이동시키기 위해, 도시되어 있는 실시예에서 밸브 로드 (13) 는, 상기 밸브 로드 (13) 에 대해 직각으로 있는 축 (17) 둘레로 선회된다. 축 (17) 둘레로 밸브 로드 (13) 를 선회시키기 위한 액추에이터 (14, 15) 로서는 피스톤-실린더-유닛들이 개략적으로 도시되어 있다. 밸브 로드 (13) 를 그의 중간 위치와 도 12 에 도시되어 있는 개방 위치 사이에서 이동시키기 위해, 액추에이터 (16) 로서는 마찬가지로 피스톤-실린더-유닛이 개략적으로 도시되어 있다. 이 피스톤-실린더-유닛의 실린더는 밸브 하우징 (1) 에 대해, 또는 이와 단단히 연결된 드라이브 하우징 (18) 에 대해 축 (17) 둘레로 선회 가능하게 설치되어 있다. 액추에이터 (14, 15) 들은 액추에이터 (16) 의 실린더를 축 (17) 둘레로 선회시키기 위해 상기 실린더와 상호 작용한다.
폐쇄 유닛 (6) 을 단 하나의 밸브 시트에, 또는 대안적인 구현형태에서는 폐쇄 유닛의 마주하고 있는 쪽들에 놓여 있는 2 개의 밸브 시트 (11, 12) 중 하나에 내리누름이 폐쇄 유닛이 부착되어 있는 밸브 로드의 선회를 통해 수행되는 이러한 유형의 진공밸브들은 예컨대 명세서의 도입부에 언급된 선행기술로부터 공지되어 있다.
예컨대, 폐쇄 유닛 (6) 을 선형 (linear) 운동을 통해 상기 중간 위치로부터 출발하여 밸브 시트 (11, 12) 들 중 하나에 내리누르기 위해, 밸브 로드 (13) 를 선형으로 이동 가능하게 밸브 개구부 (2, 3) 들의 축 (4, 5) 들의 방향으로, 예컨대 액추에이터 (16) 를 위한 선형 가이드를 통해 형성하는 것도 가능하다.
피스톤-실린더-유닛들 형태와는 다른 액추에이터 (14, 15, 16) 들도 가능하다.
폐쇄 유닛 (6) 의 구현형태는 하기에서 도 1 내지 도 8 을 참조로 상세히 설명된다. 두 밸브 플레이트 (7, 8) 는 지지체 플레이트 (19) 에 탈착 가능하게 고정되어 있으며, 이때 지지체 플레이트 (19) 는 두 밸브 플레이트 (7, 8) 사이에 놓여 있다. 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 는 상기 밸브 플레이트 (7, 8) 의 큰 면들 중 하나에 의해 형성되는 측면과 함께, 지지체 플레이트 (19) 의 각각의 큰 면들 중 하나에 의해 형성되는 지지체 플레이트 (19) 의 측면에 밀착한다. 밸브 플레이트의 다른 큰 면을 형성하는 측면에는 (상기 측면은 지지체 플레이트 (19) 에 밀착하는 측면과 마주하고 있다) 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 의 실링 (9, 10) 이 배치되어 있다.
즉, 지지체 플레이트 (19) 의 두 큰 면을 형성하고 반대 방향을 향해 있는 지지체 플레이트 (19) 의 두 측면에는, 밸브 플레이트 (7, 8) 들 중 각각 하나가 밀착한다.
링 모양의 탄성적인 실링 (9, 10) 들은 예컨대 O 링들의 형태로 형성되어 있으며, 상기 실링들은 밸브 플레이트 (7, 8) 들의 그루브들 안에 삽입되어 있다. 예컨대, 가황 처리된 링 모양의 실링들의 형태의 구현도 가능하다.
지지체 플레이트 (19) 에 제 1 밸브 플레이트 (7) 를 고정시키기 위해서는 클램핑 피스 (20) 들이 사용되고, 지지체 플레이트 (19) 에 제 2 밸브 플레이트 (8) 를 고정시키기 위해서는 클램핑 피스 (21) 들이 사용된다. 클램핑 피스 (20, 21) 들은 클램핑면 (22) 들을 구비하며, 이때 클램핑 피스 (20) 들의 클램핑면 (22) 들은 제 1 밸브 플레이트 (7) 의 제 1 클램핑면과 상호 작용하고, 클램핑 피스 (21) 들의 클램핑면 (22) 들은 제 2 밸브 플레이트 (8) 의 제 1 클램핑면 (23) 과 상호 작용한다.
이 이외에, 제 1 밸브 플레이트 (7) 와 제 2 밸브 플레이트 (8) 는 각각 제 2 클램핑면 (24) 을 구비하며, 상기 제 2 클램핑면은 지지체 플레이트 (19) 의 각각의 클램핑면 (25, 26) 과 상호 작용한다.
클램핑 피스 (20, 21) 들을 이용해, 클램핑 피스들의, 그리고 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 의 상호 작용하는 클램핑면 (22, 23) 들과, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 의, 그리고 지지체 플레이트 (19) 의 상호 작용하는 클램핑면 (24, 25, 26) 들은 서로 조여진다. 이 목적을 위해 클램핑 나사 (27) 들이 이용되며, 상기 클램핑 나사들을 이용해 클램핑 피스 (20, 21) 들은 지지체 플레이트 (19) 와 나사결합된다. 클램핑 나사 (27) 들은 도시되어 있는 실시예에서 클램핑 피스 (20, 21) 들 안의 개구부들을 관통하며, 지지체 플레이트 (19) 의 나사 구멍 (threaded hole, 37) 안으로 나사결합되어 있다.
클램핑면 (22-26) 들은 상호 작용하는 경사면들로서 형성되어 있다. 이 경우, '경사면들' 이란 이 클램핑면 (22-26) 들 또는 그들의 표면 법선 (surface normal) 들이 클램핑력 (F) (이것은 도 6 에 부호로 나타나 있다) 에 대해 비스듬히 있는 것을 의미하고, 상기 클램핑력을 이용해 클램핑 피스 (20, 21) 들은 밸브 플레이트 (7, 8) 들에 대해 조여져 있다. 예컨대, 각각의 클램핑면 (22-26) 과 클램핑력 (F) 사이의 각도 (28) 는 30°와 60°사이의 범위에 있으며, 바람직하게는 약 45°이다. 클램핑면 (22-26) 들의 비스듬한 배치에 따르면, 상호 작용하는 클램핑면 (22-26) 들을 통해, 지지체 플레이트 (19) 방향으로 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 에 작용하는 각각 하나의 힘성분 (Fk) 이 초래된다. 상호 작용하는 경사면들에 대해 직각으로 있는, 상기 경사면들에 의해 전달되는 법선력 (Fn), 지지체 플레이트 (19) 방향으로 향해 있는 힘성분 (Fk) 으로의 그의 분해, 및 지지체 플레이트 (19) 에 대해 평행으로 작용하는 힘성분이 또한 도 6 에 도시되어 있다.
클램핑력 (F) 은 각각의 클램핑 나사 (27) 의 축 (29) 에 대해 평행으로 놓여 있다.
바람직하게는, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 에는 다수의 클램핑 피스 (20, 21) 가 동일한 쪽으로부터 작용하며, 이때 클램핑 나사 (27) 들의 축 (29) 들은 서로 평행으로 놓여 있다.
도시되어 있는 실시예에서, 밸브 플레이트 (7, 8) 들은, 그들의 큰 쪽들 중 하나에서 볼 때 - 본질적으로 직사각형 형태를 가진다 (둥근 모서리들을 가진 직사각형). 클램핑 피스 (20, 21) 들은 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 의 보다 긴 쪽들 중 하나에 작용하며, 이때 상기 클램핑 피스들은 보다 긴 이 쪽을 따라 서로 간격을 두고 있다. 바람직하게는, 클램핑 나사 (27) 들을 수용하는 나사 구멍 (37) 들은 이 경우 전면쪽에서 지지체 플레이트의 가느다란 쪽들 중 하나에 배치되어 있으며, 이때 제 1 밸브 플레이트 (7) 를 위한 클램핑 피스 (20) 들을 위한 클램핑 나사 (27) 들을 수용하는 나사 구멍 (37) 들과, 제 2 밸브 플레이트 (8) 를 위한 클램핑 피스 (21) 들을 위한 클램핑 나사 (27) 들을 수용하는 나사 구멍 (37) 들은 지지체 플레이트 (19) 의 동일한 가는다란 쪽 안으로 나사결합되어 있다.
클램핑력 (F) 에 대해 평행으로 놓여 있는, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 를 통한 횡단면에서, 클램핑면 (23, 24) 들은 도시되어 있는 실시예에서 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 의 지지체 플레이트 (19) 쪽으로 향해 있는 돌출부의 측면 플랭크들에 배치되어 있다. 이 클램핑면 (23, 24) 들 상으로의 표면 법선들은 이 경우 지지체 플레이트 (19) 의 가운데의 중앙 평면 (30) (도 7 참조) 으로부터 멀리 향해 있고, 이때 상기 표면 법선들은 중앙 평면 (30) 과 함께 90°와는 다른 각도 (31) 를 이루고 있으며, 바람직하게는 각도 (31) 는 20°와 70°사이의 범위에 있고, 예컨대 약 45°이다. 지지체 플레이트 (19) 의 중앙 평면 (30) 으로부터의 간격이 증가함과 함께 클램핑면 (23, 24) 들은 서로 근접한다. 통틀어, 클램핑면 (23, 24) 들을 구비하는 돌출부는 도브테일 연결에서와 같은 형태를 가진다.
지지체 플레이트 (19) 의 클램핑면 (25, 26) 상으로의 표면 법선은 가운데의 중앙 평면 (30) 쪽으로 향해 있고, 이때 상기 표면 법선은 가운데의 중앙 평면 (30) 과 함께 90°와는 다른 각도 (32) 를 이루고 있으며, 바람직하게는 각도 (32) 는 20°와 70°사이의 범위에 있고, 예컨대 약 45°이다.
조립 위치에서, 클램핑 피스 (20, 21) 의 클램핑면 (22) 상으로의 표면 법선은 지지체 플레이트 (19) 의 가운데의 중앙 평면 (30) 쪽으로 향해 있고, 가운데의 중앙 평면 (30) 과 함께 90°와는 다른 각도를 이루고 있으며, 바람직하게는 이 각도는 20°와 70°사이의 범위에 있고, 예컨대 약 45°이다.
지지체 플레이트 (19) 의 중앙 평면 (30) 은 가운데에서 지지체 플레이트 (19) 의 두 측면 사이에 놓여 있으며, 상기 측면들에는 제 1 밸브 플레이트 (7) 와 제 2 밸브 플레이트 (8) 가 밀착한다. 지지체 플레이트 (19) 가 밸브 로드 (13) 에 조립된 상태에서, 중앙 평면 (30) 은 바람직하게는 밸브 로드 (13) 에 대해 평행으로 놓여 있다.
이 이외에, 밸브 플레이트 (2, 3) 들은 가이드들을 통해 지지체 플레이트 (19) 와 연결되어 있으며, 상기 가이드들을 통해 상기 밸브 플레이트들은 지지체 플레이트 (19) 상으로 밀어질 수 있다. 이 가이드들에 의해 밸브 플레이트 (7, 8) 는, 클램핑력 (F) 방향에 대해 직각으로, 또한 중앙 평면 (30) 에 대해 평행으로 놓여 있는 방향으로 지지체 플레이트 (19) 에 대해 이동되지 않도록 안전해진다.
이 방향으로 지지체 플레이트 (19) 에 대해 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 가 이동되지 않도록 하는 이러한 안전 장치는, 예컨대 지지체 플레이트 (19) 와 밸브 플레이트 (7, 8) 들 안의 형상 결합식으로 상호 작용하는 돌출부들 및 오목부들에 의해 다른 방식으로도 달성될 수 있다.
각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 가 지지체 플레이트 (19) 로부터 들어내지지 않도록 안전하게 함으로써, 지지체 플레이트 (19) 에 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 를 조립할 때 클램핑 피스 (20, 21) 들이 아직 조립되어 있지 않은 동안은, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 와 지지체 플레이트 (19) 사이에 형성된 가이드가 지지체 플레이트 (19) 에 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 를 고정시키기 위해 사용된다.
슬라이딩 가이드 (sliding guide) 로서 형성되어 있는 이러한 가이드를 구현하기 위해, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 는 지지체 플레이트 (19) 쪽으로 향해 있는 그의 측면에, 언더컷된 그루브 (33) 를 구비하며, 상기 그루브와, 지지체 플레이트 (19) 에 배치된 돌출부 (34) 가 맞물리고, 상기 돌출부는 그루브 (33) 의 언더컷된 측벽들 또는 플랭크들과 상호 작용하며, 따라서 지지체 플레이트 (19) 로부터 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 가 들어내지는 것이 저지된다. 특히 도 8 로부터 알 수 있는 바와 같이, 돌출부 (34) 는, 그루브 (33) 의 언더컷된 측벽들과 상호 작용하는 언더컷된 측벽들 또는 플랭크들을 구비한다. 그루브 (33) 의 언더컷된 측벽들과 돌출부 (34) 의 언더컷된 측벽들은 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 와 지지체 플레이트 (19) 사이의 가이드의 가이드면들을 형성한다. 바람직하게는, 이 가이드는 도브테일 가이드의 형태로 형성되어 있으며, 이는 도면들로부터 알 수 있다. 언더컷된 그루브 (33) 들, 또는 언더컷된 측벽들을 가진 돌출부 (34) 들의 다른 형태들로 역시 가능하다. 언더컷된 그루브가 지지체 플레이트 (19) 에 형성될 수도 있고, 돌출부 (34) 가 밸브 플레이트 (7, 8) 에 형성될 수도 있다.
각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 가 선형 가이드로서 형성된 이 가이드를 통해 지지체 플레이트 (19) 에 대해 안내되어 있는 방향은 도시되어 있는 실시예에서 바람직하게는 클램핑력 (F) 에 대해 평행으로 놓여 있다.
각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 는, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 와 지지체 플레이트 (19) 사이에 형성된 가이드를 통해 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 의, 그리고 지지체 플레이트 (19) 의 상호 작용하는 클램핑면 (24, 25, 26) 들의 상호간의 스톱까지 상기 지지체 플레이트 상으로 밀어질 수 있다. 이 스톱에 의해, 밀기가 한정된다.
밸브 플레이트 (7, 8) 가 위로부터 지지체 플레이트 (19) 상으로 밀어지면, 이로써 밸브 플레이트 (7, 8) 는 탈락되지 않도록 안전해진다. 이 이외에, 클램핑 피스 (20, 21) 들이 조여지기 전에 밸브 플레이트 (7, 8) 는 지지체 플레이트 (19) 에 대해 사전 배치되어 있다.
제 1 밸브 플레이트 (7) 를 향해 있는 측면을 도 3 으로부터 알아볼 수 있으며, 상기 측면에는 돌출부 (34) 와 클램핑면 (25) 이 배치되어 있다. 마주하고 있는 측면은 원칙적으로 동일하게 형성되어 있다 (그곳에서 돌출부 (34) 가 상부 가장자리까지 다다른다는 점을 제외하고는 (상기 돌출부는 양쪽에서 상부 가장자리까지 다다를 수도 있고 또는 양쪽에서 상부 가장자리로부터 간격을 두고 끝날 수도 있다)).
제 1 밸브 플레이트 (7) 의 지지체 플레이트 (19) 로부터 멀리 향하는 측면은 도 1 및 도 2 로부터 알아볼 수 있으며, 상기 측면에는 실링 (9) 이 배치되어 있다. 실링 (10) 이 배치되어 있는, 제 2 밸브 플레이트 (8) 의 지지체 플레이트 (19) 로부터 멀리 향하는 표면은 동일하게 형성되어 있다.
제 2 밸브 플레이트 (8) 의 지지체 플레이트 (19) 를 향해 있는 측면은 도 4 로부터 알아볼 수 있으며, 상기 측면에는 언더컷된 그루브 (33) 와 제 1 클램핑면 (23) 과 제 2 클램핑면 (24) 이 배치되어 있다. 제 1 밸브 플레이트 (11) 의 지지체 플레이트 (19) 를 향해 있는 측면은 동일하게 형성되어 있다.
밸브 개구부 (2, 3) 들 중 하나를 닫을 때 축 (17) 둘레의 밸브 로드의 틸팅 (tilting) 에도 불구하고 각각의 실링 (9, 10) 의 둘레에 걸쳐 실링의 균일한 가압을 각각의 밸브 시트 (11, 12) 에 내리눌려져 있는 폐쇄 유닛 (6) 의 상태에서 얻기 위해, 밸브 플레이트 (7, 8) 들의 지지체 플레이트 (19) 로부터 멀리 향하는 두 측면은 서로 비스듬히 있다. 이루어진 각도는 본 실시예에서 1.6°이며, 적용 경우에 따라 더 크거나 또는 더 작을 수 있고, 이 경우 예컨대 1°와 3°사이의 범위에 있다.
이 비스듬한 위치는 실시예에서 제 2 밸브 플레이트 (8) 의 쐐기형 구현형태를 통해 달성된다. 두 밸브 플레이트 (7, 8) 가 쐐기형으로 형성될 수도 있고 및/또는 지지체 플레이트 (19) 가 쐐기형으로 형성될 수도 있다 (각각 횡단면과 관련하여).
밸브 플레이트 (7, 8) 들의 지지체 플레이트 (19) 로부터 멀리 향하는 두 측면의 이러한 비스듬한 배치 대신에, 예컨대 지지체 플레이트 (19) 를 밸브 로드 (13) 에 대해 틸팅 가능하게 설치하는 것도 가능하다. 이러한 틸팅 가능한 설치는 명세서의 도입부에 언급된 선행기술, 예컨대 US 6,471,181 B2 로부터 공지되어 있다. 밸브 로드에 대한 지지체 플레이트의 틸팅 가능한 설치는 예컨대 금속으로 만들어진 충분히 탄성적인 연결요소를 통해 달성될 수도 있으며, 상기 연결요소를 통해 지지체 플레이트는 밸브 로드와 연결되어 있다. 폐쇄 유닛 (6) 을 상기 중간 위치로부터 출발하여 두 밸브 시트 (11, 12) 중 하나에 내리누르기 위해 축 (17) 둘레의 밸브 로드의 틸팅 대신 밸브 로드 (13) 의 선형 이동이 실행되면 비스듬한 배치는 필요하지 않다.
밸브 로드 (13) 와 지지체 플레이트 (19) 와의 연결은, 예컨대 도시되어 있는 바와 같이 밸브 로드 (13) 의 단부가 지지체 플레이트 (19) 의 수용 개구부 (35) 안에 꽂히고, 지지체 플레이트 (19) 의 마주하고 있는 쪽으로부터 연결 나사 (36) 가 지지체 플레이트 (19) 안의 보어를 통해 돌출하며, 정면쪽에서 밸브 로드 (13) 의 단부에 제공된 나사산 안으로 나사결합되어 있음으로써 수행될 수 있다. 연결 나사 (36) 와 밸브 로드 (13) 의 축들은 지지체 플레이트 (19) 의 중앙 평면 (30) 에 대해 평행으로 놓여 있다. 이 경우, 밸브 시트 (11, 12) 들에 대해 폐쇄 유닛 (6) 의 위치를 적응시킬 수 있기 위해, 서로 연결된 상태에서 밸브 로드 (13) 의 축 둘레의 지지체 플레이트 (19) 의 제한된 선회 가능성이 형성되어 있을 수 있다. 이러한 형성은 밸브 플레이트들과 밸브 로드들의 연결에 있어서 예컨대 도입부에 언급된 US 7,134,642 B2 에 상응하는 선행기술로부터 공지되어 있다.
밸브 플레이트 (7, 8) 들은 각각 진공밸브의 사용 위치에서 위쪽에 놓여 있는 그들의 가느다란 쪽에 (이는 밸브 로드 (13) 로부터 멀리 향하는 가느다란 쪽이다) 바람직하게는 적어도 하나의 나사 구멍 (38, 39) 를 구비하며, 상기 나사 구멍 안으로, 밸브 플레이트 (7, 8) 의 조립 및 분해시 공구가 나사결합될 수 있다. 공구를 이용한 이러한 조작은 예컨대 명세서의 도입부에 언급된 US 7,134,642 B2 에 상응하는 선행기술로부터 공지되어 있다. 바람직하게는, 지지체 플레이트 (19) 는 마찬가지로 조립 위치에서 위쪽에 놓여 있는 그의 가느다란 쪽에 이러한 나사 구멍 (40) 을 가지며, 따라서 이것은 밸브 로드 (13) 에의 조립시 또는 상기 밸브 로드로부터의 분해시 공구의 나사결합에 의해 지지될 수 있다.
공정 챔버 쪽에서, 밸브 하우징은 도시되어 있는 실시예에서 인출될 수 있는 삽입체를 구비하며, 상기 삽입체는 밸브 플레이트를 향해 있는 쪽에 실링 (41) 을 구비하고, 상기 실링은 실링 (9) 과 밸브 개구부 (2) 의 사이에 놓여 있으며, 공정 챔버 안으로 들어온 가스의 침범으로부터 실링 (9) 을 보호해야 한다. 밸브 플레이트 (7) 와, 실링 (41) 을 구비하는 삽입체에는, 공정 가스에 대해 보호하는 코팅이 제공될 수 있다.
지지체 플레이트 (19) 방향으로 향해 있는 힘성분 (Fk) 은 각각 상호 작용하는 두 클램핑면 (22-26) 들 중 하나만 경사면으로서 형성되어 있으면 형성될 수도 있고, 이때 각각 상호 작용하는 두 클램핑면이 경사면으로서 형성되어 있는 것이 선호된다. 지지체 플레이트 (19) 에 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 를 내리누름은, 각각의 클램핑 피스 (20, 21) 의, 그리고 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 의 상호 작용하는 클램핑면들 중 적어도 하나, 바람직하게는 두 개가 경사면으로서 형성되어 있거나, 또는 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 와 지지체 플레이트 (19) 사이의 상호 작용하는 클램핑면들 중 적어도 하나, 바람직하게는 두 개가 경사면으로서 형성되어 있으면 달성될 수 있다. 하지만, 각각의 클램핑 피스 (20, 21) 와 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 사이에 적어도 하나의 경사면, 바람직하게는 두 개의 상호 작용하는 경사면들이 작용할 뿐만 아니라, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 와 지지체 플레이트 (19) 사이에 적어도 하나의 경사면, 바람직하게는 두 개의 상호 작용하는 경사면들이 작용하면 바람직하다.
각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 와 지지체 플레이트 (19) 사이의 가이드의 유극 (play) 에 따라, 가이드면들은 클램핑 피스 (20 또는 21) 들이 조여지면 맞물림이 해제된다.
지지체 플레이트 (19) 의 클램핑면 (25, 26) 들은 도면들에서 위에 놓여 있는, 돌출부 (34) 의 가장자리에 배치되어 있을 수도 있다 (이것은 돌출부 (34) 의 가장자리이며, 상기 가장자리는 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 가 밀려지는 방향과는 다른 반대방향을 가리키고 있다). 그 후, 이 클램핑면 (25, 26) 과 상호 작용하는 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 의 제 2 클램핑면 (24) 은 도 4 안의 그루브 (33) 를 위쪽으로 한정하는 그루브 (33) 의 가장자리에 배치될 수도 있다. 클램핑면 (22, 25 또는 26) 들과 클램핑면 (23, 24) 들이 클램핑력 (F) 의 방향으로 바람직하게는 간격을 두도록, 돌출부 (34) 는 지지체 플레이트 (19) 의 도 3 에서 앞쪽에 놓여 있는 쪽을 위해 도시되어 있는 것보다 위쪽으로 바람직하게는 약간 덜 멀리 다다를 것이다.
또다시 이 경우에도 돌출부 (34) 는 각각의 밸브 플레이트 (8) 에 배치되어 있을 수 있고, 그루브 (33) 는 지지체 플레이트 (19) 에 배치되어 있을 수 있다.
지지체 플레이트 (19) 에 대한 각각의 밸브 플레이트 (8) 를 위한 각각의 가이드는 2 개의 그루브 (33) 를 포함할 수도 있으며, 상기 그루브들은 2 개의 돌출부 (34) 와 상호 작용하고, 이때 두 그루브 (33) 또는 두 돌출부 (34) 는 지지체 플레이트 (19) 의, 또는 밸브 플레이트 (7, 8) 의 중앙 영역의 양쪽에 (상기 영역에서 밸브 로드가 맞물린다), 그리고 이 중앙 영역으로부터 간격을 두고 배치되어 있을 수 있다. 상기 돌출부들과 상기 그루브들은 지지체 플레이트 (19) 로부터 밸브 플레이트 (7, 8) 들의 들어내짐을 저지하기 위해 언더컷된 측벽들을 구비한다. 도입을 쉽게 하도록 하기 위해, 상기 그루브들은 도입쪽에서 확장되어 있을 수 있고 (각각의 그루브를 볼 때 V 모양으로) 및/또는 상기 돌출부들은 도입쪽에서 테이퍼되어 있을 수 있다 (각각의 돌출부를 볼 때 V 모양으로). 상호 작용하는 클램핑면들은 이미 기술한 바와 같이 이 경우에도 그루브들 및 돌출부들의 가장자리들에 형성되어 있을 수 있고, 상기 가장자리들은 지지체 플레이트 (19) 상으로의 밸브 플레이트 (7, 8) 들의 밀기를 한정한다. 상호 작용하는 클램핑 피스 (21) 들의 클램핑면 (22) 들과 밸브 플레이트 (7, 8) 들의 제 1 클램핑면 (23) 들은 각각 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 의 또는 지지체 플레이트 (19) 의 중앙 영역으로부터 간격을 두고 배치되어 있을 수 있다. 이로써, 지지체 플레이트 (19) 와 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 간의 연결은, 양쪽에서 상기 지지체 플레이트와 밸브 로드 (13) 와의 연결 영역으로부터 간격을 두고 있는 2 개의 영역들에서만 수행될 것이다. 이 경우, 지지체 플레이트 (19) 는 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 와의 각각의 연결 영역과 밸브 로드 (13) 와의 연결 영역 사이에 뻗어 있는 섹션들 안에서 약화되어 (weakened) 형성될 수 있고, 이 경우 이 섹션들을 통해 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 로부터 간격을 가질 수 있다. 이로 인해, 지지체 플레이트 (19) 의 토션 (torsion) 수행 능력을 위한 가능성이 형성될 수 있고, 이로 인해 밸브 로드 (13) 에 대해 직각으로 있는 축 둘레의 밸브 플레이트 (7, 8) 들의 일종의 틸팅 (비틀림) 이 가능해진다. 이러한 틸팅 가능한 설치는 US 6,471,181 B2 의 유형에 따른 마찬가지로 가능한 이미 언급된 틸팅 가능한 설치를 대체할 수 있다.
밸브 플레이트들이 상기 기술된 방식으로 부착될 수 있는, 이 문헌의 의미에서의 지지체 플레이트들은 밸브 플레이트들을 지지하는 부품들의 여러 가지 구현형태를 의미하며, 상기 부품들은 적어도 플레이트 모양으로 형성된 섹션들을 구비하고, 상기 섹션들에는 밸브 플레이트들이 조립된 상태에서 내리눌려져 있다. 그 사이에 지지체 플레이트의 막대형 섹션들이 놓여있을 수 있고, 상기 섹션들은 예컨대 상기 기술한 바와 같이 토션바 (torsion bar) 의 유형에 따라 형성되어 있을 수 있다.
만일 밸브 플레이트 (7, 8) 들과 지지체 플레이트 (19) 와의 조임이 2 개의 영역에서만 수행되고, 상기 영역들은 밸브 로드 (13) 와 지지체 플레이트 (19) 와의 연결 영역으로부터 간격을 두고 있으며, 이 연결 영역의 마주하고 있는 쪽들에 놓여 있다면, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 를 위해 지지체 플레이트로부터 밸브 플레이트가 들어내지지 않도록 안전하게 하는 하나의 개별적인 가이드만 제공되어 있을 수 있고, 이때 이 가이드는 지지체 플레이트 (19) 와 밸브 로드 (13) 와의 연결 영역으로부터 간격을 두고 배치되어 있다. 이로 인해, 여러 가지의 열팽창으로 인한 조임이 저지될 수 있다.
1 : 밸브 하우징 2 : 밸브 개구부
3 : 밸브 개구부 4 : 축
5 : 축 6 : 폐쇄 유닛
7 : 제 1 밸브 플레이트 8 : 제 2 밸브 플레이트
9 : 실링 10 : 실링
11 : 제 1 밸브 시트 12 : 제 2 밸브 시트
13 : 밸브 로드 14 : 액추에이터
15 : 액추에이터 16 : 액추에이터
17 : 축 18 : 드라이브 하우징
19 : 지지체 플레이트 20 : 클램핑 피스
21 : 클램핑 피스 22 : 클램핑면
23 : 제 1 클램핑면 24 : 제 2 클램핑면
25 : 클램핑면 26 : 클램핑면
27 : 클램핑 나사 28 : 각도
29 : 축 30 : 중앙 평면
31 : 각도 32 : 각도
33 : 그루브 34 : 돌출부
35 : 수용 개구부 36 : 연결 나사
37 : 나사 구멍 38 : 나사 구멍
39 : 나사 구멍 40 : 나사 구멍
41 : 실링

Claims (18)

  1. 진공밸브를 위한 폐쇄 유닛으로서, 상기 폐쇄 유닛은 진공밸브의 제 1 밸브 개구부 (2) 를 폐쇄하기 위한 제 1 밸브 플레이트 (7) 와 진공밸브의 제 2 밸브 개구부 (3) 를 폐쇄하기 위한 제 2 밸브 플레이트 (8) 를 포함한, 진공밸브를 위한 폐쇄 유닛에 있어서, 상기 폐쇄 유닛 (6) 은, 밸브 플레이트 (7, 8) 들 사이에 놓여 있으며 밸브 플레이트 (7, 8) 들이 탈착 가능하게 고정되어 있는 지지체 플레이트 (19), 및 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 를 지지체 플레이트 (19) 에 고정시키기 위한 각각 적어도 하나의 클램핑 피스 (20, 21) 를 포함하며, 상기 클램핑 피스를 이용해 상호 작용하는 클램핑면 (22-26) 면들은 서로 조여지고, 상기 클램핑면들 중 적어도 하나는 경사면으로서 형성되어 있으며, 상기 경사면을 통해 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 는 지지체 플레이트 (19) 에 내리눌려지는 것을 특징으로 하는 진공밸브를 위한 폐쇄 유닛.
  2. 제 1 항에 있어서, 밸브 플레이트 (7, 8) 의, 그리고 지지체 플레이트 (19) 의 적어도 하나의 상기 클램핑 피스 (20, 21) 를 이용해 상호 작용하는 클램핑면 (24, 25, 26) 들과, 밸브 플레이트 (7, 8) 의, 그리고 클램핑 피스 (20, 21) 의 상호 작용하는 클램핑면 (23, 22) 들은 서로 조여지는 것을 특징으로 하는 폐쇄 유닛.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 서로 조여진 모든 클램핑면 (22-26) 은 경사면들로서 형성되어 있으며, 상기 경사면들을 통해 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 는 지지체 플레이트 (19) 에 내리눌려지는 것을 특징으로 하는 폐쇄 유닛.
  4. 제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서, 각각의 클램핑 피스 (20, 21) 를 조이기 위해, 상기 클램핑 피스 (20, 21) 와 상호 작용하는 적어도 하나의 클램핑 나사 (27) 가 제공되어 있는 것을 특징으로 하는 폐쇄 유닛.
  5. 제 1 항 내지 제 4 항 중 어느 한 항에 있어서, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 는 2 개 이상의 클램핑 피스 (20, 21) 를 이용해 지지체 플레이트 (19) 와 함께 조여져 있는 것을 특징으로 하는 폐쇄 유닛.
  6. 제 5 항에 있어서, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 를 지지체 플레이트 (19) 와 함께 조이는 클램핑 피스 (20, 21) 들은 본질적으로 직사각형으로 형성된 밸브 플레이트 (7, 8) 의 보다 긴 한 쪽을 따라 서로 간격을 두고 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 폐쇄 유닛.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 지지체 플레이트 (19) 방향으로 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 에 작용하는 힘성분 (Fk) 을 형성하기 위해, 지지체 플레이트 (19) 에 배치된 경사면으로서 형성된 클램핑면 (25, 26) 의 표면 법선은 지지체 플레이트 (19) 의 가운데의 중앙 평면 (30) 쪽으로 향해 있으며, 상기 클램핑면은 밸브 플레이트 (7, 8) 들 중 하나에 배치된 클램핑면 (24) 과 상호 작용하는 것을 특징으로 하는 폐쇄 유닛.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서, 지지체 플레이트 (19) 방향으로 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 에 작용하는 힘성분을 형성하기 위해, 각각의 클램핑 피스 (20, 21) 에 배치된 경사면으로서 형성된 클램핑면 (22) 의 표면 법선은 지지체 플레이트 (19) 의 가운데의 중앙 평면 (30) 쪽으로 향해 있으며, 상기 클램핑면은 밸브 플레이트 (7, 8) 들 중 하나에 배치된 클램핑면 (23) 과 상호 작용하는 것을 특징으로 하는 폐쇄 유닛.
  9. 제 1 항 내지 제 8 항 중 어느 한 항에 있어서, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 는 상기 밸브 플레이트 (7, 8) 와 지지체 플레이트 (19) 사이에 형성된 가이드를 통해 지지체 플레이트 (19) 상으로 밀어질 수 있고, 이때 상기 가이드는 밸브 플레이트 (7, 8) 가 지지체 플레이트 (19) 로부터 들어내지지 않도록 안전하게 하는 것을 특징으로 하는 폐쇄 유닛.
  10. 제 9 항에 있어서, 지지체 플레이트 (19) 에 대해 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 를 안내하기 위해 밸브 플레이트 (7, 8) 안에는 또는 지지체 플레이트 (19) 안에는 언더컷된 그루브가 형성되어 있으며, 상기 그루브와, 이 두 부품 중 다른 것에 배치된 돌출부 (34) 가 맞물리고, 이때 상기 돌출부는 언더컷된 상기 그루브 (33) 의 언더컷되어 형성된 측벽들과 상호 작용하는 것을 특징으로 하는 폐쇄 유닛.
  11. 제 9 항 또는 제 10 항에 있어서, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 는 밸브 플레이트 (7, 8) 의, 그리고 지지체 플레이트 (19) 의 상호 작용하는 클램핑면 (24, 25, 26) 들의 상호간의 스톱까지 지지체 플레이트 (19) 상으로 밀어질 수 있는 것을 특징으로 하는 폐쇄 유닛.
  12. 제 9 항 내지 제 11 항 중 어느 한 항에 있어서, 각각의 밸브 플레이트 (7, 8) 와 지지체 플레이트 (19) 사이의 가이드에 의해 미리 정해져 있는 경로는 각각의 클램핑 피스 (20, 21) 에 작용하는 클램핑력 (F) 에 대해 평행으로 정렬되어 있는 것을 특징으로 하는 폐쇄 유닛.
  13. 진공밸브로서, 상기 진공밸브는 제 1 밸브 시트 (11) 에 의해 둘러싸여 있는 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 시트 (12) 에 의해 둘러싸여 있는 제 2 밸브 개구부 (3) 를 가진 밸브 하우징 (1), 및 제 1 밸브 개구부 (2) 를 폐쇄하기 위한 제 1 밸브 플레이트 (7) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 를 폐쇄하기 위한 제 2 밸브 플레이트 (8) 를 구비한 폐쇄 유닛 (6) 을 포함한 진공밸브에 있어서, 폐쇄 유닛 (6) 은 제 1 항 내지 제 12 항 중 어느 한 항에 따라 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
  14. 제 13 항에 있어서, 폐쇄 유닛 (6) 은 밸브 로드 (13) 에 부착되어 있으며, 상기 밸브 로드에 의해 폐쇄 유닛 (6) 은, 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 를 개방시키기는 개방 위치와, 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 의 축 (4, 5) 들의 방향으로 볼 때 제 1 밸브 개구부 (2) 와 제 2 밸브 개구부 (3) 를 덮고 있지만 제 1 밸브 시트 (11) 와 제 2 밸브 시트 (12) 로부터 들어내져 있는 중간 위치와, 제 1 밸브 플레이트 (7) 가 제 1 밸브 시트 (11) 에 내리눌려져 있고 제 2 밸브 플레이트 (8) 가 제 2 밸브 시트 (12) 로부터 들어내져 있는 제 1 폐쇄 위치와, 제 2 밸브 플레이트 (8) 가 제 2 밸브 시트 (12) 에 내리눌려져 있고 제 1 밸브 플레이트 (7) 가 제 1 밸브 시트 (11) 로부터 들어내져 있는 제 2 폐쇄 위치 사이에서 이동 가능한 것을 특징으로 하는 진공밸브.
  15. 진공밸브를 위한 폐쇄 유닛 (6) 의 지지체 플레이트 (19) 에 고정시키기 위한 밸브 플레이트에 있어서, 밸브 플레이트 (7, 8) 는 경사면의 형태로 형성된 적어도 하나의 클램핑면 (23, 24) 을 구비하며, 상기 클램핑면을 통해 밸브 플레이트 (7, 8) 는 적어도 하나의 클램핑 피스 (20, 21) 를 이용한 밸브 플레이트 (7, 8) 와 지지체 플레이트 (19) 와의 조임에 의해 지지체 플레이트 (19) 에 내리눌려질 수 있는 것을 특징으로 하는 밸브 플레이트.
  16. 제 15 항에 있어서, 밸브 플레이트 (7, 8) 는, 밸브 플레이트 (7, 8) 를 지지체 플레이트 (19) 상으로 밀기 위한 가이드를 형성하기 위한, 그리고 지지체 플레이트 (19) 로부터 밸브 플레이트 (7, 8) 가 들어내지지 않도록 안전하게 하기 위한 가이드면들을 추가적으로 구비하는 것을 특징으로 하는 밸브 플레이트.
  17. 제 16 항에 있어서, 상기 가이드면들은 밸브 플레이트 (7, 8) 의 그루브 (33) 또는 돌출부의 언더컷되어 형성된 측벽들에 의해 형성되며, 상기 그루브 또는 상기 돌출부는 밸브 플레이트 (7, 8) 의 지지체 플레이트 (19) 를 향한 쪽에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 밸브 플레이트.
  18. 제 16 항 또는 제 17 항에 있어서, 경사면의 형태로 형성된 적어도 하나의 클램핑면 (23, 24) 은 지지체 플레이트 (19) 상으로의 밸브 플레이트 (7, 8) 의 밀기를 한정하기 위한 스톱을 형성하는 것을 특징으로 하는 밸브 플레이트.
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