KR101389864B1 - 게이트 밸브 - Google Patents

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KR101389864B1
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rod
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히로미 시모다
히로시 오가와
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에스엠시 가부시키가이샤
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Abstract

밸브 로드의 선단의 밸브 판 장착부에 밸브 판을 연결판에 고정하고 상기 밸브 판에 의해 밸브 박스의 연통 구멍을 개폐하는 게이트 밸브에 있어서, 상기 밸브 판은 상기 밸브 로드의 밸브 판 장착부가 삽입되는 장착 구멍을 갖고, 상기 장착 구멍의 구멍면과 상기 밸브 판 장착부의 외면에는 서로 압접되는 접합 평면이 형성되고, 상기 밸브 로드는 상기 밸브 판 장착부의 기단측의 위치에 상기 밸브 판의 기단측 단부가 감합되는 오목형의 접합 단차부를 갖고, 상기 접합 단차부에 상기 밸브 판을 상기 접합 평면끼리가 서로 압접되는 방향으로 가이드하는 경사면이 형성되고, 상기 연결판은 상기 밸브 판을 상기 밸브 판 장착부의 기단측을 향해서 압박한 상태에서 상기 밸브 판과 상기 밸브 로드를 서로 연결하고 있다.

Description

게이트 밸브{GATE VALVE}
본 발명은 반도체 제조 장치 등의 처리 챔버에 접속되어 그 처리 챔버로 통하는 유체 유로나 물품 이송로 등의 연통로를 개폐하는 게이트 밸브에 관한 것이다.
특허문헌 1 및 특허문헌 2에는 반도체 제조 장치 등의 처리 챔버에 접속되어 그 처리 챔버로 통하는 연통로를 밸브 박스의 내부의 밸브 판에 의해 개폐하는 게이트 밸브가 개시되어 있다. 이러한 게이트 밸브에 있어서는 상기 연통로를 흐르는 프로세스 가스 등의 부식성 유체에 의해 상기 밸브 판의 밀봉 부재가 손상되기 쉽기 때문에 상기 밀봉 부재를 새것과 적절하게 교환할 필요가 있다.
이 밀봉 부재의 교환을 용이하게 하기 위해서 상기 특허문헌 1 및 특허문헌 2에 기재된 게이트 밸브에 있어서는 밸브 박스의 상단, 즉 밸브 박스에 있어서의 상기 밸브 판을 개폐 동작시키기 위한 밸브 로드가 도입되어 있는 측과는 반대측의 면을 상기 밸브 판을 인출 가능하게 하기 위해서 개구시켜서 판 형상의 덮개체에 의해 개폐 가능하게 하고, 또한 이 덮개체를 개방함으로써 그 개구측으로부터 밸브 로드의 선단의 밸브 판을 분리 가능하게 해서 상기 밸브 판을 밸브 박스로부터 용이하게 인출할 수 있게 되어 있다.
그러나, 상기 밸브 로드에 대한 밸브 판의 착탈 구조는 밸브 박스의 상단의 개구로부터 용이하게 착탈 조작할 수 있는 범위에 한정되는 것이므로 밸브 판을 밸브 로드의 선단에 안정적으로 장착하는 것에는 곤란성이 있거나, 또는 이하에 설명하는 바와 같은 각종의 문제가 있다.
예를 들면, 특허문헌 1의 게이트 밸브에 있어서는 밸브 로드에 장착된 판 스프링 부재의 볼록부를 밸브 판의 개구부에 맞물려 그 탄발력에 의하여 밸브 판을 밸브 로드에 부착시키거나(동 문헌 1의 도 4 및 도 5), 또는 밸브 판의 구멍부에 장착되는 밸브 로드의 선단의 장착부에 경사면을 형성해서 그 경사면과 밸브 판의 내측면에 맞물리는 쐐기 부재를 상기 밸브 로드의 선단에 나사 부재에 의해 체결 고정하고 있다(동 문헌 1의 도 8 및 도 9).
상기 문헌의 도 4 및 도 5의 구성에서는 밸브 판의 착탈이 간편한 반면, 판 스프링 부재의 탄발력에 의해 고정되어 있기 때문에 밸브 판의 밀봉 부재(O링)가 밸브 시트에 고착된 경우에 판 스프링 부재가 변형해서 발진하거나 밸브 판이 밸브 로드로부터 이탈할 가능성도 있고, 또한 상기 문헌의 도 8 및 도 9의 구성에서는 밸브 로드의 선단에서만의 고정이기 때문에 밸브 판이 경사져 장착될 가능성도 있고, 밸브 박스의 연통로에 대해서 밸브 판을 정확히 대면시켜서 안정적으로 고정할 수 있다고는 한정되지 않는다.
또한, 상기 특허문헌 2의 게이트 밸브에 있어서는 밸브 판의 마개 받이에 삽입하는 밸브 로드의 선단의 접속부에 레이디얼 베어링부와 회전각 제한부를 설치하고, 상기 레이디얼 베어링부에 있어서는 밸브 로드에 대해서 밸브 판을 회전 가능하게 해서 밸브 판이 밸브 시트에 압박되었을 때에 상기 밸브 판을 밸브 시트에 따르게 하고, 회전각 제한부에 있어서는 레이디얼 베어링부에 있어서 가능한 회전을 소정의 각도 범위로 제한하도록 구성하고 있지만 이 구성도 밸브 박스의 연통로에 대해서 밸브 판을 정확히 대면시켜서 안정적으로 고정할 수 있는 것은 아니다.
일본 공개 특허 제2002-195424호 공보 일본 공개 특허 제2005-291221호 공보
상기 밸브 판은 본래 밸브 로드에 대해서 적절한 자세로 강고하게 고정되는 것이 기대되지만 그것은 고정밀도의 가공으로 고강도의 고정 수단을 채용하는 것을 기대하는 것이 아니라 밸브 박스의 상단의 개구로부터 용이하게 착탈 조작할 수 있는 범위에 있어서 가급적으로 적절한 자세로 강고하게 고정되는 수단이며, 발진 등의 문제도 피할 수 있는 구성이기는 하지만 간단하고 안정적인 자세로 장착되는 착탈 구조를 채용하는 것이 요구된다.
본 발명의 기술적 과제는 처리 챔버로 통하는 밸브 박스의 연통로를 밸브 판에 의해 개폐하는 게이트 밸브에 대한 상술한 요구를 만족시키는 구성을 제공하는 것에 있고, 더욱 구체적으로는 쐐기 효과 등을 이용한 간단한 장착 구조로 밸브 로드의 밸브 판 장착부에 있어서의 기단측 및 선단측을 강고하게 고정하고, 또한 서로 대면하는 밸브 판과 밸브 로드의 접합 평면을 서로 강하게 밀접시킴으로써 밸브 판의 자세를 안정화시키도록 한 게이트 밸브를 제공하는 것에 있다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명에 의하면 처리 챔버에 연통하는 연통 구멍을 구비한 밸브 박스와, 밸브 로드의 선단의 밸브 판 장착부에 장착되어 상기 밸브 박스 내에 수용되고 상기 연통 구멍의 주위에 밀봉 부재를 접촉 이간시켜서 상기 연통 구멍을 개폐하는 밸브 판과, 상기 밸브 판을 상기 연통 구멍을 개방 및 폐쇄하는 위치로 변위시키는 상기 밸브 로드와, 상기 밸브 판과 밸브 로드를 연결하는 연결판과, 상기 밸브 판의 인출을 위해 상기 밸브 박스에 형성된 개구와, 상기 개구를 덮는 착탈 가능의 덮개체를 갖는 게이트 밸브가 제공된다.
상기 게이트 밸브에 있어서 상기 밸브 판은 상기 밸브 로드의 밸브 판 장착부가 삽입되는 장착 구멍을 갖고, 상기 장착 구멍의 구멍면과 상기 밸브 판 장착부의 외면에 상기 밸브 판과 상기 밸브 로드를 상기 연결판에 의해 연결했을 때 서로 압접되는 접합 평면이 각각 형성되어 있다. 상기 밸브 로드는 상기 밸브 판 장착부의 기단측의 위치에 상기 밸브 판의 기단측 단부가 감합되는 오목형의 접합 단차부를 갖고, 상기 접합 단차부에는 상기 밸브 판의 기단측 단부가 접촉하는 경사면이 형성되고, 상기 경사면은 쐐기 효과에 의해 상기 밸브 판을 상기 밸브 판 및 상기 밸브 로드의 상기 접합 평면끼리가 서로 압접되는 방향으로 변위시킨다. 또한, 상기 연결판은, 상기 밸브 판과 상기 밸브 로드에 각각 나사로 고정되는 것에 의해서, 상기 밸브 판을 상기 밸브 판 장착부의 기단측을 향해서 압박한 상태로 상기 밸브 판과 상기 밸브 로드를 서로 연결하고 있다.
본 발명에 있어서 상기 접합 단차부의 경사면은 상기 밸브 로드의 상기 접합 평면에 대해서 예각적으로 교차하는 평면인 것이 바람직하고, 또한 상기 밸브 판의 기단측 단부의 상기 경사면에 접촉하는 부분에는 상기 경사면과 평행한 접촉면이 형성되어 있는 것이 바람직하다.
또한, 본 발명에 있어서 상기 연결판은 상기 밸브 판에 고정되는 제 1 판부와 상기 밸브 로드의 밸브 판 장착부에 고정되는 제 2 판부를 갖고, 상기 밸브 로드에 있어서의 상기 밸브 판 장착부의 선단면은 상기 밸브 판의 선단측 끝면에 대해서 상기 장착 구멍 내로 후퇴한 위치에 있고, 상기 연결판의 제 1 판부를 상기 밸브 판의 선단측 끝면에 나사에 의해 고정함과 아울러 상기 제 2 판부를 상기 밸브 판 장착부의 선단면에 나사에 의해 고정함으로써 상기 밸브 판이 상기 밸브 판 장착부의 기단측을 향해서 압박되고 있다.
상기 구성을 갖는 게이트 밸브에 있어서 밀봉 부재의 교환 등을 행하기 위해서 밸브 박스의 개구로부터 밸브 판을 인출할 때는 상기 개구의 덮개체를 분리하고, 밸브 로드와 연결판을 고정하고 있는 나사를 분리함으로써 상기 밸브 판을 상기 연결판과 함께 밸브 로드의 선단측의 밸브 판 장착부로부터 분리하고, 상기 개구를 통과시켜서 밸브 박스로부터 인출할 수 있다.
또한, 상기 밸브 판을 밸브 로드의 선단부에 장착할 때는 상기 연결판을 밸브 판의 선단측 끝면에 나사 고정한 상태에서 밸브 로드와 밸브 판의 양 접합 평면이 대면하도록 해서 상기 밸브 판의 장착 구멍 내에 밸브 로드의 밸브 판 장착부가 삽입되도록 상기 밸브 판을 밸브 박스에 넣는다. 그 때, 상기 밸브 로드와 밸브 판의 접합 평면을 맞추어 밸브 로드의 밸브 판 장착부의 기단측의 접합 단차부 내에 상기 밸브 판의 기단측 단부를 밀어넣어 경사면에 의한 쐐기 효과에 의해 밸브 로드와 밸브 판의 접합 평면끼리를 강하게 압접시킨 상태로 하고, 상기 밸브 판에 나사 고정되고 있던 연결판을 밸브 로드의 선단부에도 나사 고정함으로써 밸브 로드와 밸브 판을 강고하게 연결할 수 있다.
이 때, 상기 연결판에 압접 기구를 설치함으로써 이하에 상술하는 바와 같이 밸브 판과 밸브 로드의 선단측에 있어서도 상기 양 접합 평면을 서로 강하게 압접하는 것이 가능하다.
상기 압접 기구의 제 1 예에서는 상기 제 2 판부의 단부에 상기 밸브 로드의 밸브 판 장착부의 단부에 접촉하는 경사부를 갖고, 상기 경사부는 상기 밸브 판과 밸브 로드의 접합 평면끼리가 서로 압접되는 방향의 분력을 발생시키도록 구성된다. 이 경우에, 상기 밸브 판 장착부의 단부의 상기 제 2 판부의 경사부가 접촉하는 부분에 상기 경사부와 평행한 경사부가 형성되어 있는 것이 바람직하다. 그리고, 상기 연결판을 밸브 로드의 선단부에 나사 고정해서 상기 경사부를 밸브 로드에 압박하면 쐐기 효과에 의한 상기 분력에 의하여 밸브 로드가 밸브 판측에 압접되어 밸브 판과 밸브 로드의 접합 평면이 서로 한층 강하게 압접된다.
따라서, 상기 밸브 로드와 밸브 판은 쐐기 효과 등을 이용한 간단한 장착 구조로 밸브 로드의 밸브 판 장착부에 있어서의 기단측 및 선단측에 있어서 접합 평면을 강고하게 고정할 수 있다.
상기 압접 기구의 제 2 예로서, 상기 제 2 판부의 중간부에 형성된 굴신(bending and stretching) 가능한 탄성 굴곡부와 상기 제 2 판부의 선단부에 형성되어서 상기 밸브 로드에 맞물리는 선단 맞물림부를 갖고, 상기 제 2 판부를 나사에 의해 상기 밸브 로드에 고정했을 때 상기 탄성 굴곡부가 신장함으로써 상기 밸브 판과 밸브 로드의 접합 평면끼리가 서로 압접하게 되어 있어도 좋다.
이 제 2 압접 기구에 있어서는 연결판의 제 2 판부의 중간부를 밸브 로드의 선단부에 나사 고정할 때에 상기 탄성 굴곡부가 신장하고 그 신장력에 의해 밸브 로드의 선단부가 밸브 판 내면에 압접하게 되고, 상기 제 1 압접 기구의 경우와 마찬가지로 밸브 로드의 밸브 판 장착부에 있어서의 기단측 및 선단측에 있어서 접합 평면을 강고하게 압접해서 고정할 수 있다.
본 발명에 있어서 상기 연결판의 제 2 판부에 형성된 나사 관통 구멍은 상기 제 2 판부를 나사에 의해 상기 밸브 로드에 고정할 때의 상기 제 2 판부와 상기 밸브 로드의 상대적인 어긋남을 흡수할 수 있는 치수적 여유를 갖는 것이 바람직하다.
상술한 바와 같이 본 발명의 게이트 밸브에 의하면 쐐기 효과 등을 이용한 간단한 장착 구조로 밸브 로드의 밸브 판 장착부에 있어서의 기단측 및 선단측을 강고하게 고정하고, 또한 서로 대면하는 밸브 판과 밸브 로드의 접합 평면을 서로 강하게 밀접시킴으로써 밸브 판의 자세를 안정화시키도록 한 게이트 밸브를 얻을 수 있다.
도 1은 본 발명에 의한 게이트 밸브의 제 1 실시예의 기본적 구성을 도시하는 요부 단면도이다.
도 2는 상기 제 1 실시예에 있어서의 연결판의 평면도이다.
도 3은 상기 제 1 실시예의 요부 분해 사시도이다.
도 4는 상기 제 1 실시예의 변형예를 도시하는 요부 단면도이다.
도 5는 본 발명에 의한 게이트 밸브의 제 2 실시예에 있어서의 요부 단면도이다.
도 6은 상기 제 2 실시예에 있어서의 연결판의 평면도이다.
도 1 내지 도 3은 본 발명에 의한 게이트 밸브의 제 1 실시예를 도시하고 있다. 이 게이트 밸브는 반도체 제조 장치 등에 있어서의 처리 챔버 등에 접속해서 사용되는 것으로 밸브 박스(1)의 전방벽(1a)에 상기 처리 챔버 등에 연통하는 연통 구멍(2)을 구비하고, 상기 밸브 박스(1) 내에 설치되어서 상기 연통 구멍(2)을 개폐하는 밸브 판(6)의 앞면의 밀봉면(6a)에 상기 연통 구멍(2)의 주위의 밸브 시트부(2a)에 접촉 이간하는 밀봉 부재(O링)(7)가 설치되어 있다.
상기 밸브 판(6)은 밸브 로드(9)의 선단에 형성된 밸브 판 장착부(10)에 착탈 가능하게 장착되어 있고, 상기 밸브 로드(9)는 도시를 생략한 구동 기구에 의해 구동되어서 상기 밸브 판(6)을 상기 연통 구멍(2)을 개방 및 폐쇄하는 위치로 변위시킨다. 더욱 구체적으로 설명하면, 상기 밸브 로드(9)는 원기둥 형상을 하고 있어서 선단부가 상기 밸브 박스(1)의 저벽을 통과해서 상기 밸브 박스(1) 내에 도입되고, 상기 구동 기구에 의해 구동됨으로써 상기 밸브 박스(1)의 전방벽(1a)에 형성된 상기 연통 구멍(2)의 주위의 밸브 시트부(2a)를 상기 밸브 판(6)의 밀봉 부재(7)에 의해 밀봉하는 폐쇄 위치로부터 도 1과 같이 상기 밸브 판(6)의 밀봉 부재(7)가 밸브 시트부(2a)로부터 이간하지만 상기 밸브 판(6)은 상기 연통 구멍(2)에 대면한 형태로 되는 후퇴 위치까지 경동(傾動)한 후 상기 밸브 판(6)이 도 1보다 하방의 상기 연통 구멍(2)으로부터 완전하게 떨어지는 개방 위치까지 변위한다. 또한, 이 종류의 구동 기구는 종래부터 매우 일반적으로 알려져 있는 것이므로 더욱 구체적인 설명은 생략한다.
또한, 상기 밸브 박스(1)는 상기 전방벽(1a)에 마주대하는 후방벽(1b)에 상기 전방벽(1a)의 연통 구멍(2)에 대향하는 연통 구멍(3)을 구비하고, 그에 따라 상기 밸브 박스(1) 내에 상기 전방벽(1a)의 연통 구멍(2)으로부터 후방벽(1b)의 연통 구멍(3)을 통과해서 다른 챔버나 유체　기기 등에 직선적으로 연통하는 통로가 형성되어 있다. 또한, 상기 밸브 박스(1)의 상면, 즉 상기 밸브 박스(1)에 상기 밸브 로드(9)가 도입되어 있는 측과는 반대측의 면에 상기 밸브 판(6)을 밸브 로드(9)로부터 분리해서 외부로 인출 가능하게 하는 개구(4)가 형성되고, 상기 개구(4)에 판 형상의 덮개체(5)가 개폐 가능하게 피설(被設)되어 있다.
상기 밸브 판(6)을 밸브 로드(9)의 선단측의 상기 밸브 판 장착부(10)에 장착하기 위해서 상기 밸브 판(6)에는 상기 밸브 판 장착부(10)가 삽입되는 장착 구멍(8)이 상기 밸브 판(6)을 도면의 상하로 관통하도록 형성되어 있다. 이 장착 구멍(8)은 단면 형상이 직사각형의 구멍이며 서로 평행한 전후의 구멍면(8a, 8b)을 갖고, 이 중 전방의 구멍면 즉 상기 밀봉면(6a)에 대해서 배향하는 구멍면(8a)은 상기 밸브 판 장착부(10)의 접합 평면(10a)에 접촉하는 접합 평면(8a)이다.
한편, 상기 밸브 로드(9)의 선단의 상기 밸브 판 장착부(10)는 도 1 및 도 3에 도시하는 바와 같이 원기둥 형상을 한 상기 밸브 로드(9)의 선단 부분을 상기 밸브 박스(1)의 전방벽(1a)에 평행하고 또한 서로 평행한 2개의 평면(10a, 10c)으로 절제함으로써 평면화된 것으로 상기 2개의 평면(10a, 10c) 중 전방을 향하는 평면 즉 상기 연통 구멍(2)측을 향하는 평면(10a)을 상기 밸브 판(6)의 장착 구멍(8)의 상기 접합 평면(8a)에 빈틈없이 접촉시키는 상기 접합 평면(10a)으로 하고 있다.
또한, 상기 밸브 판 장착부(10)를 밸브 판(6)의 상기 장착 구멍(8) 내에 삽입했을 때 상기 밸브 판 장착부(10)의 선단면(9a)은 상기 장착 구멍(8)으로부터 외부로 돌출되지 않고, 상기 밸브 판(6)의 선단측 끝면(6c)에 대해서 상기 장착 구멍(8)의 안쪽으로 약간 후퇴한 위치를 차지한다.
그리고, 상기 밸브 로드(9)에 있어서의 상기 밸브 판 장착부(10)의 기단측의 위치에는 경사면(11)을 갖는 오목형의 접합 단차부(10b)가 형성되고, 이 접합 단차부(10b)에 상기 밸브 판(6)의 기단측 단부(6b)를 감합시키고, 상기 밸브 판(6)을 하방으로 압박해서 상기 기단측 단부(6b)의 경사지는 접촉면(6e)을 상기 경사면(11)에 압접시킴으로써 쐐기 효과에 의해 상기 밸브 판(6)의 접합 평면(8a)과 밸브 로드(9)의 접합 평면(10a)을 서로 압접시킨 상태에서 상기 밸브 판(6)이 상기 밸브 로드(9)에 연결되어 있다.
상기 경사면(11)은 상기 밸브 로드(9)의 기단측을 향해서 점차 상기 접합 평면(10a)에 가까워지는 방향으로 경사지는 평면이며, 일반적으로는 상기 접합 평면(10a)에 대해서 예각(바람직하게는 45도)으로 교차하는 단일의 경사 평면으로서 구성되지만 이것에 한정되는 것은 아니고, 상기 밸브 로드(9)의 접합 단차부(10b)에 밸브 판(6)의 기단측 단부(6b)를 압박했을 때에 그 압박력의 분력이 상기 밸브 판(6)과 밸브 로드(9)의 접합 평면(8a, 10a)을 서로 압접시키는 형상 및 각도로 형성할 수 있다.
또한, 상기 밸브 판(6)과 상기 밸브 로드(9)를 서로 고정하기 위해서 연결판(14)이 설치되어 있다. 이 연결판(14)은 도 2에 도시하는 바와 같이 상기 밸브 판(6)의 선단측 끝면(6c)에 고정하기 위한 제 1 판부(14a)와, 상기 밸브 로드(9)의 선단면(9a)에 고정하기 위한 제 2 판부(14b)를 일체로 갖는 평면으로 바라본 형상이 볼록형을 이루는 것으로, 상기 제 1 판부(14a)와 제 2 판부(14b)를 각각 나사(16, 15)에 의해 상기 밸브 판(6)의 선단측 끝면(6c)과 상기 밸브 로드(9)의 선단면(9a)에 고정함으로써 상기 밸브 판(6)과 밸브 로드(9)를 서로 연결하는 것이다. 이 연결판(14)은 금속제이고 탄성을 갖고 있는 것이 바람직하다. 상기 연결판(14)의 장착에 의해 상기 밸브 판(6)이 하향(밸브 로드의 기단 방향)으로 압박되어서 기단측 단부(6b)가 밸브 로드(9)의 상기 접합 단차부(10b) 내에 압입됨과 동시에 상기 연결판(14)에 설치된 압접 기구에 의해 상기 밸브 판(6)이 밸브 판 장착부(10)의 접합 평면(10a)측을 향해 압박되기 때문에 상기 밸브 판(6)과 밸브 로드(9)는 상기 접합 평면(8a, 10a)끼리가 서로 압접한 상태에서 연결된다.
상기 압접 기구로서 상기 제 1 실시예에 있어서는 상기 연결판(14)에 있어서의 제 2 판부(14b)의 선단부 하면에 경사부(14c)를 형성함과 아울러 상기 밸브 로드(9)의 상기 접합 평면(10a)에 배향하는 평면(10c)의 상단부에 상기 상단부를 비스듬히 절제함으로써 상기 경사부(14c)에 대면하는 경사부(10d)를 형성하고 있다. 이들 경사부(14c, 10d)는 상기 접촉면(6e) 및 경사면(11)과 평행한 것이 바람직하다. 이 구성에 의해 상기 연결판(14)을 나사(16, 15)에 의해 밸브 판(6)과 밸브 로드(9)에 고정하면 상기 연결판(14)의 경사부(14c)와 밸브 로드(9)의 경사부(10d)가 서로 압접됨으로써 상기 밸브 판(6)과 밸브 로드(9)의 양 접합 평면(8a, 10a)을 서로 압접하는 방향의 분력이 발생하고, 상기 밸브 판(6)과 밸브 로드(9)가 그들의 접합 평면(8a, 10a)의 선단측에 있어서도 서로 압접된다.
상기 연결판(14)으로서는 상기 제 1 실시예의 구성에 한정되지 않고, 예를 들면 도 4에 도시하는 바와 같은 변형예의 구성을 채용할 수도 있다. 동 도면의 변형예가 상기 제 1 실시예와 상위한 점은 연결판(14)에 있어서의 밸브 판(6)의 밀봉면(6a)측의 단부에 상기 밸브 판(6)의 선단측 끝면(6c)에 형성한 오목홈(6d)에 맞물리는 굴곡부(14d)를 구비한 것이다. 이 굴곡부(14d)는 제 1 판부(14a)의 양단에 있는 2개의 나사(16)가 장착되는 부분을 제외한 상기 제 1 판부(14a)의 중간부분에 형성되어 있다.
상기 제 1 실시예 및 변형예의 연결판(14)에 있어서는 상기 연결판(14)을 관통 구멍(14e)에 관통시킨 나사(15)에 의해 밸브 로드(9)의 선단면(9a)에 고정할 때에 상기 연결판(14)과 선단면(9a) 사이에 상대적인 어긋남 움직임이 생기므로 상기 연결판(14)의 제 2 판부(14b)에 있는 상기 관통 구멍(14e)을 상기 나사(15)의 직경보다 충분히 큰 구멍 직경으로 하거나 또는 긴 구멍으로 형성하는 등의 방법에 의해 상기 관통 구멍(14e)에 상기 연결판(14)과 밸브 로드(9)의 선단면(9a)의 상대적인 어긋남 움직임을 완전하게 흡수할 수 있는 치수적 여유를 갖게 해 두는 것이 바람직하다.
또한, 상기 변형예의 그 밖의 구성 및 작용은 상기 제 1 실시예의 경우와 변경되는 부분이 없으므로 그들의 설명은 생략한다.
상기 구성을 갖는 게이트 밸브에 있어서 밀봉 부재(7)의 교환 등을 행하기 위해서 밸브 판(6)을 밸브 박스(1)로부터 인출할 때는 상기 밸브 박스(1)의 덮개(5)를 분리하고, 연결판(14)의 제 2 판부(14b)를 밸브 로드(9)의 선단면(9a)에 고정하고 있는 나사(15)만을 느슨하게 해서 상기 밸브 로드(9)로부터 분리함으로써 상기 밸브 판(6)을 연결판(14)과 함께 밸브 로드(9)의 선단측의 밸브 판 장착부(10)로부터 분리하여 밸브 박스(1)의 개구(4)를 통해서 인출할 수 있다.
또한, 상기 밸브 판(6)을 밸브 로드(9)의 선단면(9a)에 장착할 때는 도 3에 도시하는 바와 같이 상기 연결판(14)을 상기 밸브 판(6)의 선단측 끝면(6c)에 나사(16)에 의해 고정한 상태에서 상기 밸브 판(6)의 방향을 상기 밸브 판(6)과 밸브 로드(9)의 접합 평면(8a, 10a)끼리가 대면하는 방향으로 해서 상기 밸브 판(6)의 장착 구멍(8) 내에 상기 밸브 로드(9)의 밸브 판 장착부(10)가 삽입되도록 상기 밸브 판(6)을 밸브 박스(1)에 수용한다. 그리고, 도 1과 같이 상기 밸브 판(6)과 밸브 로드(9)의 접합 평면(8a, 10a)을 맞춘 상태에서 상기 밸브 판(6)의 기단측 단부(6b)를 상기 밸브 로드(9)의 밸브 판 장착부(10)의 기단측의 접합 단차부(10b) 내에 감합시킴과 아울러 상기 밸브 판(6)의 기단의 접촉면(6e)을 상기 접합 단차부(10b)의 경사면(11)에 접촉시키고, 그 상태에서 상기 밸브 판(6)에 나사(16)에 의해 고정되어 있는 상기 연결판(14)을 밸브 로드(9)의 선단면(9a)에 나사(15)에 의해 고정한다. 이에 따라, 상기 밸브 판(6)이 하방으로 압박되어서 상기 접촉면(6e)이 상기 경사면(11)에 압접됨과 동시에 상기 연결판(14)의 경사부(14c)와 밸브 로드(9)의 경사부(10d)로 이루어지는 압접 기구에 의해 상기 밸브 판(6)이 밸브 판 장착부(10)의 접합 평면(10a)측을 향해서 압박되기 때문에 상기 밸브 판(6)과 밸브 로드(9)의 접합 평면(8a, 10a)끼리가 서로 강하게 압접된 상태에서 상기 밸브 판(6)이 상기 밸브 로드(9)에 강고하게 고정된다.
상기 압접 기구로서는 상기 제 1 실시예 이외의 구성을 채용할 수도 있다. 도 5 및 도 6은 상기 압접 기구의 구성을 달리하는 제 2 실시예의 게이트 밸브의 요부를 도시하는 것으로, 이 게이트 밸브는 상기 밸브 판(6)의 선단측 끝면(6c)에 나사(26)에 의해 고정되는 도 6에 도시하는 바와 같은 연결판(24)을 구비하고 있다. 이 연결판(24)은 밸브 판(6)에 고정하기 위한 제 1 판부(24a)를 평면으로 바라보아 오목형상으로 형성함과 아울러 밸브 로드(9)에 고정하기 위한 제 2 판부(24b)를 상기 제 1 판부(24a)의 일부로부터 오목부 내를 상기 밸브 로드(9)의 선단면(9a)을 따라 밸브 판(6)의 밀봉면(6a)의 방향으로 돌출시키도록 형성한 것으로 전체가 탄성을 갖는 금속판에 의해 일체로 형성되어 있다.
상기 제 2 판부(24b)는 중간부에 상향으로 돌출되는 탄성적으로 굴신 가능한 탄성 굴곡부(24d)를 설치함으로써 판 스프링 형상으로 형성되어 있어서 선단부에 밸브 로드(9)의 선단면(9a)의 오목홈(9b)에 맞물리는 선단 맞물림부(24c)를 갖고, 관통 구멍(24e)에 관통된 나사(25)에 의해 상기 제 2 판부(24b)를 밸브 로드(9)의 선단면(9a)에 고정했을 때 상기 탄성 굴곡부(24d)가 평탄 또는 평탄에 가까운 상태로 신장하도록 형성된 것으로 이 제 2 판부(24b)에 의해 상기 압접 기구가 구성되어 있다. 또한, 상기 관통 구멍(24e)에는 상기 제 2 판부(24b)를 상기 나사(25)에 의해 밸브 로드(9)의 선단면(9a)에 고정했을 때의 상기 제 2 판부(24b)와 상기 밸브 로드(9)의 선단면(9a)의 상대적인 어긋남 움직임을 흡수할 수 있는 치수적 여유를 갖게 하고 있다.
상기 연결판(24)은 상기 제 2 판부(24b)를 탄성 굴곡부(24d)의 위치에서 밸브 로드(9)의 선단면(9a)에 나사(25)에 의해 고정하면 상기 탄성 굴곡부(24d)가 직선상으로 신장하고, 그 신장력에 의해 선단 맞물림부(24c)가 밸브 판(6)과 밸브 로드(9)의 접합 평면(8a, 10a)을 서로 압접하는 방향의 힘을 작용시키게 되므로 상기 연결판(24)의 제 2 판부(24b)의 밸브 로드(9)의 선단면(9a)에 대한 나사 고정에 의해 밸브 판(6)과 밸브 로드(9)의 접합 평면(8a, 10a)이 서로 강하게 압접된다. 따라서, 상기 밸브 로드(9)와 밸브 판(6)은 간단한 장착 구조에 의해 밸브 로드(9)의 밸브 판 장착부(10)에 있어서의 기단측 및 선단측에 있어서 접합 평면(8a, 10a)을 강고하게 고정할 수 있다. 이 제 2 실시예에 있어서 그 외 구성 및 작용은 상기 제 1 실시예와 변경되는 부분이 없다.

Claims (10)

  1. 처리 챔버에 연통하는 연통 구멍을 구비한 밸브 박스와, 밸브 로드의 선단의 밸브 판 장착부에 장착되어 상기 밸브 박스 내에 수용되고 상기 연통 구멍의 주위에 밀봉 부재를 접촉 이간시켜서 상기 연통 구멍을 개폐하는 밸브 판과, 상기 밸브 판을 상기 연통 구멍을 개방 및 폐쇄하는 위치로 변위시키는 상기 밸브 로드와, 상기 밸브 판과 상기 밸브 로드를 연결하는 연결판과, 상기 밸브 판의 인출을 위해서 상기 밸브 박스에 형성된 개구와, 상기 개구를 덮는 착탈 가능한 덮개체를 갖고,
    상기 밸브 판은 상기 밸브 로드의 밸브 판 장착부가 삽입되는 장착 구멍을 갖고, 상기 장착 구멍의 구멍면과 상기 밸브 판 장착부의 외면에 상기 밸브 판과 상기 밸브 로드를 상기 연결판에 의해 연결했을 때 서로 압접되는 접합 평면이 각각 형성되고,
    상기 밸브 로드는 상기 밸브 판 장착부의 기단측의 위치에 상기 밸브 판의 기단측 단부가 감합되는 오목형의 접합 단차부를 갖고, 상기 접합 단차부에는 상기 밸브 판의 기단측 단부가 접촉하는 경사면이 형성되고, 상기 경사면은 쐐기 효과에 의해 상기 밸브 판을 상기 밸브 판 및 상기 밸브 로드의 상기 접합 평면끼리가 서로 압접되는 방향으로 변위되고,
    상기 연결판은, 상기 밸브 판과 상기 밸브 로드에 각각 나사로 고정되는 것에 의해서, 상기 밸브 판을 상기 밸브 판 장착부의 기단측을 향해서 압박한 상태로 상기 밸브 판과 상기 밸브 로드를 서로 연결하고 있는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 접합 단차부의 경사면은 상기 밸브 로드의 상기 접합 평면에 대해서 예각적으로 교차하는 평면인 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 밸브 판의 기단측 단부의 상기 경사면에 접촉하는 부분에 상기 경사면과 평행한 접촉면이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  4. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
    상기 연결판은 상기 밸브 판에 고정되는 제 1 판부와 상기 밸브 로드의 밸브 판 장착부에 고정되는 제 2 판부를 갖고, 상기 밸브 로드에 있어서의 상기 밸브 판 장착부의 선단면은 상기 밸브 판의 선단측 끝면에 대해서 상기 장착 구멍 내로 후퇴한 위치에 있고, 상기 연결판의 제 1 판부를 상기 밸브 판의 선단측 끝면에 나사에 의해 고정함과 아울러 상기 제 2 판부를 상기 밸브 판 장착부의 선단면에 나사에 의해 고정함으로써 상기 밸브 판이 상기 밸브 판 장착부의 기단측을 향해서 압박되어 있는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 연결판은, 상기 밸브 판 및 상기 밸브 로드의 상기 접합 평면끼리가 서로 압접되는 방향으로 상기 밸브 판을 압박하는 압접 기구를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 압접 기구는 상기 제 2 판부의 단부에 상기 밸브 로드의 밸브 판 장착부의 단부에 접촉하는 경사부를 갖고, 상기 경사부는 상기 밸브 판과 상기 밸브 로드의 접합 평면끼리가 서로 압접되는 방향의 분력을 발생시키는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 밸브 판 장착부의 단부의 상기 제 2 판부의 경사부가 접촉하는 부분에 상기 경사부와 평행한 경사부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  8. 제 5 항에 있어서,
    상기 압접 기구는 상기 제 2 판부의 중간부에 형성된 굴신 가능한 탄성 굴곡부와 상기 제 2 판부의 선단부에 형성되어서 상기 밸브 로드에 맞물리는 선단 맞물림부를 갖고, 상기 제 2 판부를 나사에 의해 상기 밸브 로드에 고정했을 때 상기 탄성 굴곡부가 신장함으로써 상기 밸브 판과 상기 밸브 로드의 접합 평면끼리가 서로 압접되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 연결판의 제 2 판부에 형성된 나사 관통 구멍은 상기 제 2 판부를 나사에 의해 상기 밸브 로드에 고정할 때의 상기 제 2 판부와 상기 밸브 로드의 상대적인 어긋남을 흡수할 수 있는 치수적 여유를 갖는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
  10. 제 8 항에 있어서,
    상기 연결판의 제 2 판부에 형성된 나사 관통 구멍은 상기 제 2 판부를 나사에 의해 상기 밸브 로드에 고정할 때의 상기 제 2 판부와 상기 밸브 로드의 상대적인 어긋남을 흡수할 수 있는 치수적 여유를 갖는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
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Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6160926B2 (ja) * 2014-06-05 2017-07-12 Smc株式会社 ゲートバルブ
FR3024205B1 (fr) * 2014-07-28 2017-02-03 Total Raffinage Chimie Vanne guillotine destinee a la regulation de flux dans une unite de craquage catalytique fluide
EP3348885B1 (de) * 2017-01-16 2019-12-11 VAT Holding AG Dichtung eines vakuumventils und diesbezügliches herstellungsverfahren
CN106639164A (zh) * 2017-02-10 2017-05-10 上海安投机械配件有限公司 一种预制混凝土构件对接用的钢筋接驳器及对接方法
JP7220663B2 (ja) 2017-03-31 2023-02-10 バット ホールディング アーゲー バルブ
JP7057584B2 (ja) * 2018-01-10 2022-04-20 Smc株式会社 弁ロッドに対する弁板の取付構造
JP7154495B2 (ja) * 2018-08-10 2022-10-18 株式会社ネリキ 導通口と配管端部との接続構造、開閉バルブ装置及び取外し治具
JP7385185B2 (ja) * 2019-06-19 2023-11-22 Smc株式会社 ゲート弁における弁ロッドに対する弁板の取付構造、及びその取付構造を有するゲート弁
JP7479586B2 (ja) * 2020-06-16 2024-05-09 Smc株式会社 ゲートバルブ
JP2022165505A (ja) 2021-04-20 2022-11-01 Smc株式会社 ゲートバルブ
KR102499321B1 (ko) * 2021-06-30 2023-02-15 주식회사 씰테크 반도체 진공용 밸브 구조
KR102551853B1 (ko) * 2021-06-30 2023-07-07 주식회사 씰테크 클램프 부재를 포함하는 반도체 진공용 밸브 구조

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002195424A (ja) 2000-12-27 2002-07-10 Smc Corp ゲートバルブ
JP2005291221A (ja) 2004-03-31 2005-10-20 Vat Holding Ag 真空ゲートバルブ、バルブ板および多機能工具
US20110095218A1 (en) 2009-10-27 2011-04-28 Vat Holding Ag Closing unit for a vacuum valve

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3601359A (en) * 1969-08-05 1971-08-24 Domer Scaramucci Disc valve assembly with replaceable disc and seats
CH557979A (de) * 1972-11-07 1975-01-15 Sulzer Ag Absperrschieber fuer in leitungen stroemende medien.
US3963214A (en) * 1974-11-26 1976-06-15 Mueller Co. Resilient seated gate valve with split body
DE19539804A1 (de) * 1995-10-26 1997-04-30 Vaw Ver Aluminium Werke Ag Klemmverbindung
JP4304365B2 (ja) * 2002-12-16 2009-07-29 Ｓｍｃ株式会社 ゲートバルブ
US7100892B2 (en) * 2003-08-26 2006-09-05 Kitz Sct Corporation Non-rubbing gate valve for semiconductor fabrication apparatus
KR100960030B1 (ko) * 2004-03-12 2010-05-28 배트 홀딩 아게 진공 게이트 밸브
JP5365867B2 (ja) 2009-10-15 2013-12-11 Ｓｍｃ株式会社 ゲートバルブ

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002195424A (ja) 2000-12-27 2002-07-10 Smc Corp ゲートバルブ
JP2005291221A (ja) 2004-03-31 2005-10-20 Vat Holding Ag 真空ゲートバルブ、バルブ板および多機能工具
US20110095218A1 (en) 2009-10-27 2011-04-28 Vat Holding Ag Closing unit for a vacuum valve
KR20110046313A (ko) * 2009-10-27 2011-05-04 배트 홀딩 아게 진공밸브를 위한 폐쇄 유닛

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Publication number Publication date
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US20120267556A1 (en) 2012-10-25

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