CN102748487A

CN102748487A - 闸阀

Info

Publication number: CN102748487A
Application number: CN2012101176469A
Authority: CN
Inventors: 下田洋己; 小川浩司
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 2011-04-21
Filing date: 2012-04-20
Publication date: 2012-10-24
Anticipated expiration: 2032-04-20
Also published as: JP2012225468A; KR101389864B1; JP5811320B2; CN102748487B; DE102012007533A1; US20120267556A1; US8657257B2; TWI534378B; KR20120120067A; TW201309951A

Abstract

一种闸阀，将阀板由连结板固定在阀杆的前端的阀板安装部，由该阀板对阀箱的连通孔进行开闭；其中，上述阀板具有将上述阀杆的阀板安装部插入的安装孔，在该安装孔的孔面上和上述阀板安装部的外面上形成相互地压接的接合平面，上述阀杆在上述阀板安装部的基端侧的位置具有上述阀板的基端侧端部嵌合的凹状的接合台阶部，在该接合台阶部形成在将上述接合平面彼此相互地压接的方向对上述阀板进行引导的倾斜面，上述连结板在朝上述阀板安装部的基端侧推压了上述阀板的状态下将该阀板与上述阀杆相互地连结。

Description

闸阀

技术领域

本发明涉及一种闸阀，该闸阀与半导体制造装置等的处理室连接，对与该处理室连通的流体流路、物品移送路等连通路进行开闭。

背景技术

在专利文献1及2中公开了了一种闸阀，该闸阀与半导体制造装置等的处理室连接，由阀箱内部的阀板对与该处理室连通的连通路进行开闭。在这样的闸阀中，因为上述阀板的密封构件容易由流过上述连通路的生产气体等腐蚀性流体损伤，所以需要适当地将该密封构件更换为新的密封构件。

为了使得此密封构件的更换容易进行，在记载于上述专利文献1及2的闸阀中，为了使阀箱的上端，即与用于使阀箱中的上述阀板进行开闭动作的阀杆被导入的一侧相反侧的面开口，以便能够取出上述阀板，使该开口由板状的盖体自如地开闭，而且通过开放此盖体，能够从该开口侧将阀杆的前端的阀板拆下，能够容易地从阀箱取出该阀板。

然而，阀板相对于上述阀杆的装拆结构，因为被限制在能够从阀箱的上端的开口容易地进行装拆操作的范围内，所以难以将阀板稳定地安装在阀杆的前端，或者存在以下所述的那样的各种问题。

例如，在专利文献1的闸阀中，使安装在阀杆上的板簧构件的凸部与阀板的开口部卡合，由其弹性力使阀板与阀杆卡合(上述专利文献1的图4及图5)，或在安装在阀板的孔部中的阀杆的前端的安装部设置倾斜面，由螺钉构件将与该倾斜面和阀板的内侧面卡合的楔构件紧固地固定在上述阀杆的前端(上述专利文献1的图8及图9)。

在上述文献的图4及图5的结构中，阀板的装拆简便，相反，由于由板簧构件的弹性力进行固定，所以在将阀板的密封构件(O形密封圈)固定在阀座上的情况下，还存在板簧构件变形，产生尘埃，阀板从阀杆脱离的可能性，另外在上述文献的图8及图9的结构中，由于是仅在阀杆的前端的固定，所以还存在倾斜地安装阀板的可能性，未必能够相对于阀箱的连通路使阀板正确地面对而稳定地固定。

另外，在上述专利文献2的闸阀中，以如下的方式构成，即，在插入到阀板的插孔中的阀杆的前端的连接部设置向心轴承部和旋转角限制部，在上述向心轴承部中使阀板能够相对于阀杆旋转，当阀板被推压到阀座上时，该阀板模仿阀座，在旋转角限制部中将在向心轴承部中可进行的旋转限制在规定的角度范围内，但此结构也不能相对于阀箱的连通路使阀板正确地面对而稳定地固定。

专利文献1：日本特开2002-195424号公报

专利文献2：日本特开2005-291221号公报

发明内容

发明所要解决的课题

上述阀板，本来希望相对于阀杆按照适当的姿势牢固地固定，但不希望是高精度的加工、采用高强度的固定组件，虽然是在能够容易地从阀箱的上端的开口进行装拆操作的范围中以尽可能适当的姿势牢固地进行固定的组件，并且是也能够避免产生尘埃等问题的结构，但要求采用简单、呈稳定的姿势地安装的装拆结构。

本发明的技术课题在于提供一种闸阀，其是由阀板对与处理室连通的阀箱的连通路进行开闭的闸阀，是满足上述要求的结构，更具体地说，在于提供一种如下的闸阀，其由利用了楔效果等的简单的安装结构牢固地固定阀杆的阀板安装部中的基端侧及前端侧，而且通过使相互面对的阀板与阀杆的接合平面相互强有力地紧密接触，使阀板的姿势稳定化。

为了解决课题的手段

为了解决上述课题，按照本发明，提供一种闸阀，其特征在于：具有阀箱、阀板、阀杆、连结板、开口和盖体；该阀箱具备与处理室连通的连通孔；该阀板安装在上述阀杆的前端的阀板安装部，收容在上述阀箱内，使密封构件与上述连通孔的周围接触分离而对该连通孔进行开闭；该阀杆使该阀板向将上述连通孔开放及封闭的位置位移；该连结板连结上述阀板与阀杆；该开口用于上述阀板的取出，形成在上述阀箱上；该盖体覆盖该开口，能够自如地装拆；

上述阀板具有将上述阀杆的阀板安装部插入的安装孔，在该安装孔的孔面和上述阀板安装部的外面上分别形成当由上述连结板连结了上述阀板与上述阀杆时相互地压接的接合平面；

上述阀杆在上述阀板安装部的基端侧的位置具有上述阀板的基端侧端部嵌合的凹状的接合台阶部，在该接合台阶部形成上述阀板的基端侧端部抵接的倾斜面，该倾斜面由楔效果使上述阀板在该阀板及上述阀杆的上述接合平面彼此相互地压接的方向位移；

上述连结板在朝上述阀板安装部的基端侧推压上述阀板的状态下将该阀板与上述阀杆相互地连结。

在本发明中，最好是上述接合台阶部的倾斜面是相对于上述阀杆的上述接合平面呈锐角地交叉的平面，另外，最好是在上述阀板的基端侧端部的与上述倾斜面抵接的部分上，形成了与该倾斜面平行的抵接面。

另外，在本发明中，上述连结板具有固定在上述阀板上的第一板部和固定在上述阀杆的阀板安装部的第二板部，上述阀杆中的上述阀板安装部的前端面处于相对于上述阀板的前端侧端面向上述安装孔内进行了后退的位置，通过由螺钉将上述连结板的第一板部固定在上述阀板的前端侧端面上，并且由螺钉将上述第二板部固定在上述阀板安装部的前端面上，朝上述阀板安装部的基端侧推压上述阀板。

在具有上述构成的闸阀中，当为了进行密封构件的更换等而从阀箱的开口将阀板取出时，通过拆下该开口的盖体，拆下将阀杆与连结板进行了固定的螺钉，能够将该阀板与上述连结板一起从阀杆的前端侧的阀板安装部拆下，通过上述开口从阀箱取出阀板。

另外，当将上述阀板安装在阀杆的前端部时，在由螺钉将上述连结板固定在阀板的前端侧端面上的状态下，使得阀杆与阀板的两接合平面面对，以将阀杆的阀板安装部插入到该阀板的安装孔内的方式将该阀板收进阀箱中。此时，通过使上述阀杆与阀板的接合平面一致，将上述阀板的基端侧端部推入阀杆的阀板安装部的基端侧的接合台阶部内，由通过倾斜面产生的楔效果使阀杆与阀板的接合平面彼此成为强有力地压接了的状态，在阀杆的前端部也由螺钉固定已由螺钉固定在上述阀板上的连结板，能够牢固地连结阀杆与阀板。

此时，通过在上述连结板上设置压接机构，如以下详细说明的那样，在阀板与阀杆的前端侧也能够将上述两接合平面相互地强有力地压接。

在上述压接机构的第一例中，以如下的方式构成：在上述第二板部的端部具有与上述阀杆的阀板安装部的端部抵接的倾斜部，该倾斜部产生将上述阀板与阀杆的接合平面彼此相互地压接的方向的分力。在此情况下，最好是在上述阀板安装部的端部的上述第二板部的倾斜部抵接的部分上，形成了与该倾斜部平行的倾斜部。这样，如果由螺钉将上述连结板固定在阀杆的前端部，将上述倾斜部推压到阀杆上，则由通过楔效果产生的上述分力将阀杆向阀板侧压接，阀板与阀杆的接合平面相互地更强有力地压接。

因此，上述阀杆与阀板能够由利用了楔效果等的简单的安装结构在阀杆的阀板安装部中的基端侧及前端侧牢固地固定接合平面。

作为上述压接机构的第二例，也可以具有形成在上述第二板部的中间部的屈伸自如的弹性弯曲部和形成在该第二板部的前端部的与上述阀杆卡合的前端卡合部，当由螺钉将上述第二板部固定在上述阀杆上时，通过上述弹性弯曲部伸张，上述阀板与阀杆的接合平面彼此相互地压接。

在此第二压接机构中，当由螺钉将连结板的第二板部的中间部固定在阀杆的前端部时，上述弹性弯曲部伸张，由其伸长力将阀杆的前端部压接在阀板内面上，与上述第一压接机构的情况同样地，能够在阀杆的阀板安装部中的基端侧及前端侧牢固地压接接合平面，进行固定。

在本发明中，最好是形成在上述连结板的第二板部上的螺钉穿插孔，具有能够吸收由螺钉将该第二板部固定在上述阀杆上时的该第二板部与上述阀杆的相对的偏离的尺寸的余量。

如上述的那样按照本发明的闸阀，能够由利用了楔效果等的简单的安装结构牢固地固定阀杆的阀板安装部中的基端侧及前端侧，而且使相互地面对的阀板与阀杆的接合平面相互地强有力地紧密接触，获得使阀板的姿势稳定化了的闸阀。

附图说明

图1是表示本发明的闸阀的第一实施例的基本构成的主要部分剖视图。

图2是上述第一实施例中的连结板的俯视图。

图3是上述第一实施例的主要部分分解立体图。

图4是表示上述第一实施例的变形例的主要部分剖视图。

图5是本发明的闸阀的第二实施例中的主要部分剖视图。

图6是上述第二实施例中的连结板的俯视图。

具体实施方式

为了实施发明的优选方式

图1～图3表示本发明的闸阀的第一实施例。此闸阀与半导体制造装置等中的处理室等连接使用，在阀箱1的前壁1a上具备与该处理室等连通的连通孔2，在配设在该阀箱1内而对该连通孔2进行开闭的阀板6的前面的密封面6a上设置了与该连通孔2周围的阀座部2a接触分离的密封构件(O形密封圈)7。

上述阀板6按照能够装拆的方式安装在形成在阀杆9的前端的阀板安装部10，上述阀杆9由省略了图示的驱动机构驱动，使上述阀板6向开放及封闭上述连通孔2的位置位移。更具体地说，上述阀杆9，呈圆柱状，前端部通过上述阀箱1的底壁，被导入到该阀箱1内，由上述驱动机构进行驱动，由此，从上述阀板6的由密封构件7对开设在上述阀箱1的前壁1a上的上述连通孔2的周围的阀座部2a进行密封的封闭位置，如图1所示，该阀板6的密封构件7从阀座部2a离开，但该阀板6倾斜转动到成为与上述连通孔2面对的状态的后退位置后，上述阀板6位移到与图1相比为下方的从该连通孔2完全离开的开放位置。另外，这种驱动机构为以往非常一般地被公知的机构，所以，省略更具体的说明。

另外，上述阀箱1在与上述前壁1a相对的后壁1b上具备与该前壁1a的连通孔2相向的连通孔3，由此在该阀箱1内形成了从上述前壁1a的连通孔2通过后壁1b的连通孔3呈直线性地与其它的室、流体设备等连通的通路。另外，在该阀箱1的上面，即与将上述阀杆9导入到该阀箱1中的一侧相反侧的面上，形成了能够从阀杆9拆下上述阀板6而向外部取出的开口4，在该开口4上开闭自如地覆盖设置了板状的盖体5。

为了将上述阀板6安装在阀杆9的前端侧的上述阀板安装部10，在该阀板6上按照向图的上下贯通该阀板6的方式形成了将上述阀板安装部10插入的安装孔8。此安装孔8是形状截面为矩形的孔，具有相互平行的前后的孔面8a、8b，其中的前方的孔面即与上述密封面6a背向的孔面8a是与上述阀板安装部10的接合平面10a抵接的接合平面8a。

另一方面，上述阀杆9的前端的上述阀板安装部10，如图1及图3所示，是由与上述阀箱1的前壁1a平行而且相互平行的2个平面10a、10c切除呈圆柱状的该阀杆9的前端部分而进行了平面化的安装部，将上述2个平面10a、10c中的朝前方的平面即朝上述连通孔2侧的平面10a，作为与上述阀板6的安装孔8的上述接合平面8a紧密地抵接的上述接合平面10a。

而且，当将上述阀板安装部10插入到阀板6的上述安装孔8内时，该阀板安装部10的前端面9a不会从上述安装孔8向外部突出，而是占据相对于上述阀板6的前端侧端面6c稍向上述安装孔8的内方进行了后退的位置。

而且，在上述阀杆9中的上述阀板安装部10的基端侧的位置，形成具有倾斜面11的凹状的接合台阶部10b，使上述阀板6的基端侧端部6b与此接合台阶部10b嵌合，向下方推压该阀板6，使该基端侧端部6b的倾斜的抵接面6e与上述倾斜面11压接，由此，在由楔效果使上述阀板6的接合平面8a与阀杆9的接合平面10a相互地压接的状态下，将该阀板6连结到上述阀杆9上。

上述倾斜面11是在朝上述阀杆9的基端侧逐渐与上述接合平面10a接近的方向倾斜的平面，一般是作为相对于上述接合平面10a呈锐角(最好为45度)交叉的单一的倾斜平面构成的，但不限定于此，可以形成为当将阀板6的基端侧端部6b推压到上述阀杆9的接合台阶部10b上时，其推压力的分力使上述阀板6与阀杆9的接合平面8a、10a相互地压接的那样的形状及角度。

另外，为了将上述阀板6与上述阀杆9相互地固定，设置了连结板14。此连结板14如图2所示，是一体地具有用于固定在上述阀板6的前端侧端面6c上的第一板部14a和用于固定在上述阀杆9的前端面9a上的第二板部14b的俯视形状呈凸形的构件，是通过分别由螺钉16、15将上述第一板部14a和第二板部14b固定在上述阀板6的前端侧端面6c和上述阀杆9的前端面9a上，将上述阀板6与阀杆9相互地连结的构件。此连结板14最好由金属制成，具有弹性。通过上述连结板14的安装，上述阀板6被朝下(阀杆的基端方向)推压，基端侧端部6b被推入到阀杆9的上述接合台阶部10b内，同时，由设在该连结板14上的压接机构朝阀板安装部10的接合平面10a侧推压上述阀板6，因此，上述阀板6与阀杆9按照上述接合平面8a、10a彼此相互地压接了的状态连结。

作为上述压接机构，在上述第一实施例中，在上述连结板14中的第二板部14b的前端部下面上形成倾斜部14c，并且，在上述阀杆9的与上述接合平面10a背向的平面10c的上端部，通过倾斜地切除该上端部，形成了与上述倾斜部14c面对的倾斜部10d。这些倾斜部14c、10d最好与上述抵接面6e及倾斜面11平行。按照此结构，如果由螺钉16、15将上述连结板14固定在阀板6和阀杆9上，则上述连结板14的倾斜部14c与阀杆9的倾斜部10d相互地压接，由此产生将该阀板6与阀杆9的两接合平面8a、10a相互地压接的方向的分力，上述阀板6与阀杆9在这些接合平面8a、10a的前端侧也相互地压接。

作为上述连结板14，不限于上述第一实施例的结构，例如也可采用图4所示的那样的变形例的结构。图4的变形例与上述第一实施例的不同点是，在连结板14中的阀板6的密封面6a侧的端部，具备与设在该阀板6的前端侧端面6c上的凹槽6d卡合的弯曲部14d。此弯曲部14d形成在除去了处于第一板部14a的两端的安装2个螺钉16的部分以外的该第一板部14a的中间部分上。

在上述第一实施例及变形例的连结板14中，由于当由穿插在穿插孔14e中的螺钉15将该连结板14固定在阀杆9的前端面9a上时，在该连结板14与前端面9a之间产生相对的偏离移动，所以最好预先通过将处于该连结板14的第二板部14b上的上述穿插孔14e做成与上述螺钉15的直径相比足够大的孔径或形成为长孔等方法，使该穿插孔14e具有能够完全地吸收上述连结板14与阀杆9的前端面9a的相对的偏离移动的尺寸的余量。

另外，上述变形例的其它的结构及作用，由于与上述第一实施例的情况没有不同之处，所以省略它们的说明。

在具有上述结构的闸阀中，当为了进行密封构件7的更换等从阀箱1将阀板6取出时，拆下该阀箱1的盖体5，仅松开将连结板14的第二板部14b固定在阀杆9的前端面9a上的螺钉15，从该阀杆9拆下，由此能够与连结板14一起将上述阀板6从阀杆9的前端侧的阀板安装部10拆下，通过阀箱1的开口4取出。

另外，当将上述阀板6安装在阀杆9的前端面9a上时，如图3所示，在由螺钉16将上述连结板14固定在该阀板6的前端侧端面6c上的状态下，使该阀板6的方向成为该阀板6与阀杆9的接合平面8a、10a彼此面对的方向，并以将上述阀杆9的阀板安装部10插入到该阀板6的安装孔8内的方式将该阀板6收容在阀箱1中。然后，如图1所示，在使上述阀板6与阀杆9的接合平面8a、10a一致的状态下，使该阀板6的基端侧端部6b嵌合在上述阀杆9的阀板安装部10的基端侧的接合台阶部10b内，并且使该阀板6的基端的抵接面6e与上述接合台阶部10b的倾斜面11抵接，在该状态下，由螺钉15将由螺钉16固定在上述阀板6上的上述连结板14固定在阀杆9的前端面9a上。由此，该阀板6被朝下方推压，上述抵接面6e与上述倾斜面11压接，同时，由压接机构朝阀板安装部10的接合平面10a侧推压上述阀板6，该压接机构由上述连结板14的倾斜部14c和阀杆9的倾斜部10d构成，因此，在将该阀板6与阀杆9的接合平面8a、10a彼此相互地强有力地压接的状态下，该阀板6被牢固地固定在上述阀杆9上。

作为上述压接机构，也可采用上述第一实施例以外的结构。图5及图6是表示使上述压接机构的结构不同的第二实施例的闸阀的主要部分的图，此闸阀具备由螺钉26固定在上述阀板6的前端侧端面6c上的图6所示的那样的连结板24。此连结板24，由于将用于向阀板6上固定的第一板部24a在俯视时形成为凹状，并且将用于向阀杆9上固定的第二板部24b按照从上述第一板部24a的一部分在凹部内沿上述阀杆9的前端面9a向阀板6的密封面6a的方向突出的方式形成，整体由具有弹性的金属板一体地形成。

上述第二板部24b，通过在中间部设置朝上方突出的能够弹性地屈伸的弹性弯曲部24d，形成为板簧状，在前端部具有与阀杆9的前端面9a的凹槽9b卡合的前端卡合部24c，当由穿插在穿插孔24e中的螺钉25将该第二板部24b固定在阀杆9的前端面9a上时，由于上述弹性弯曲部24d伸张成平坦或接近平坦的状态，所以由此第二板部24b构成了上述压接机构。另外，上述穿插孔24e具有能够吸收当由上述螺钉25将上述第二板部24b固定在阀杆9的前端面9a上时的该第二板部24b与上述阀杆9的前端面9a的相对的偏离移动的尺寸的余量。

上述连结板24，由于如果在弹性弯曲部24d的位置由螺钉25将上述第二板部24b固定在阀杆9的前端面9a上，则该弹性弯曲部24d呈直线状地伸长，由其伸长力使前端卡合部24c作用将阀板6与阀杆9的接合平面8a、10a相互地压接的方向的力，所以通过上述连结板24的第二板部24b的相对于阀杆9的前端面9a的螺钉固定，将阀板6与阀杆9的接合平面8a、10a相互地强有力地压接。因此，上述阀杆9与阀板6能够由简单的安装结构在阀杆9的阀板安装部10中的基端侧及前端侧牢固地固定接合平面8a、10a。此第二实施例中的其它的结构及作用与上述第一实施例没有不同之处。

Claims

1.一种闸阀，其特征在于：具有阀箱、阀板、阀杆、连结板、开口和盖体；该阀箱具备与处理室连通的连通孔；该阀板安装在上述阀杆的前端的阀板安装部，收容在上述阀箱内，使密封构件与上述连通孔的周围接触分离而对该连通孔进行开闭；该阀杆使该阀板向将上述连通孔开放及封闭的位置位移；该连结板连结上述阀板与阀杆；该开口用于上述阀板的取出，形成在上述阀箱上；该盖体覆盖该开口，能够自如地装拆；

2.根据权利要求1所述的闸阀，其特征在于：上述接合台阶部的倾斜面是相对于上述阀杆的上述接合平面呈锐角地交叉的平面。

3.根据权利要求1或2所述的闸阀，其特征在于：在上述阀板的基端侧端部的与上述倾斜面抵接的部分上，形成了与该倾斜面平行的抵接面。

4.根据权利要求1或2所述的闸阀，其特征在于：上述连结板具有固定在上述阀板上的第一板部和固定在上述阀杆的阀板安装部的第二板部，上述阀杆中的上述阀板安装部的前端面处于相对于上述阀板的前端侧端面向上述安装孔内进行了后退的位置，通过由螺钉将上述连结板的第一板部固定在上述阀板的前端侧端面上，并且由螺钉将上述第二板部固定在上述阀板安装部的前端面上，朝上述阀板安装部的基端侧推压上述阀板。

5.根据权利要求4所述的闸阀，其特征在于：上述连结板具备压接机构，该压接机构在上述阀板及上述阀杆的上述接合平面彼此相互地压接的方向推压该阀板。

6.根据权利要求5所述的闸阀，其特征在于：上述压接机构在上述第二板部的端部具有与上述阀杆的阀板安装部的端部抵接的倾斜部，该倾斜部产生将上述阀板与阀杆的接合平面彼此相互地压接的方向的分力。

7.根据权利要求6所述的闸阀，其特征在于：在上述阀板安装部的端部的上述第二板部的倾斜部抵接的部分上，形成了与该倾斜部平行的倾斜部。

8.根据权利要求5所述的闸阀，其特征在于：上述压接机构具有形成在上述第二板部的中间部的屈伸自如的弹性弯曲部和形成在该第二板部的前端部的与上述阀杆卡合的前端卡合部，当由螺钉将上述第二板部固定在上述阀杆上时，通过上述弹性弯曲部伸张，上述阀板与阀杆的接合平面彼此相互地压接。

9.根据权利要求6所述的闸阀，其特征在于：形成在上述连结板的第二板部上的螺钉穿插孔，具有能够吸收由螺钉将该第二板部固定在上述阀杆上时的该第二板部与上述阀杆的相对的偏离的尺寸的余量。

10.根据权利要求8所述的闸阀，其特征在于：形成在上述连结板的第二板部上的螺钉穿插孔，具有能够吸收由螺钉将该第二板部固定在上述阀杆上时的该第二板部与上述阀杆的相对的偏离的尺寸的余量。