JP7057584B2 - 弁ロッドに対する弁板の取付構造 - Google Patents
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Description
また、近年においては、半導体の線幅がますます狭くなって来ているため、処理工程時に発生するパーティクルの低減(ゼロパーティクルが目標)が課題となっており、それを実現するために、ゲートバルブにおいては、作動時に各部品間で擦れが発生するのを如何に無くすかということが重要な課題になっている。
また、前記取付孔の孔後壁の一部及び前記取付部のロッド後壁の一部は、相互に当接し合う傾斜部であり、前記取付孔の孔後壁に形成された第1傾斜部は、該取付孔の深さ方向の途中位置から該取付孔の入口までの部分に形成されていて、該入口に近づくに従って前記孔後壁と孔前壁との間隔が次第に広がる方向に傾斜しており、
前記取付部のロッド後壁に形成された第2傾斜部は、該取付部の軸線方向の途中位置から該取付部の基端部までの部分に形成されていて、該基端部に近づくに従って前記ロッド後壁とロッド前壁との間隔が次第に広がる方向に傾斜している。
この場合、前記取付孔の孔後壁は、孔端壁と前記第1傾斜部との間に、前記孔前壁と平行な平行部を有し、前記取付部のロッド後壁は、ロッド先端壁と前記第2傾斜部との間に、前記ロッド前壁と平行な平行部を有することが好ましい。
なお、前記弁箱1には、後方の側壁1cにも開口1dが形成されているが、この開口1dは前記弁板3によって開閉されない。
更に、前記取付孔13の長軸方向幅を前記弁ロッド4の直径より大きく形成することにより、前記取付孔13の孔側壁13c,13cと取付部14のロッド側壁14c,14cとの間には、隙間G2が形成されている。
また、前記弁板3を取り外すときは、図10に示すように、前記弁板固定螺子17を緩めて螺子部17cを前記螺子孔19から取り外すことにより、該弁板3を前記弁ロッド4から軸線L方向に取り外す。
このとき、前記取付孔13の平行部13b2と取付部14の平行部14b2との間には僅かな隙間G1が形成され、この隙間G1は、前記取付孔13の孔側壁13c,13cと取付部14のロッド側壁14c,14cとの間の隙間G2に連通している。
図示した例では、前記螺子挿通孔18に隣接し且つ近接する位置に1つの第1の工具取付孔23aが形成され、前記軸線Lに対して左右対称をなす位置に2つの第2の工具取付孔23b,23bが形成されている。
また、前記第2の工具取付孔23b,23bは、第2の工具22bをねじ込んで取り付けるためのもので、前記ロッド先端壁14dから横方向に外れた位置に配設されており、該第2の工具取付孔23b,23bの深さは、前記弁板3の上下幅Hより小さい。このため、該第2の工具取付孔23b,23bは、前記弁板3の上下幅の途中まで延在していることになる。
そして、該第1の工具22aを締め込んでその先端を前記弁ロッド4のロッド先端壁14dに当接させた後、更に該第1の工具22aを締め込むことにより、前記弁板3を前記弁ロッド4から浮上させ、前記取付孔13の第1傾斜部13b1と前記取付部14の第2傾斜部14b1とが互いに当接しなくなる位置まで該弁板3を上昇させる。そうすると、前記取付孔13と取付部14との嵌合状態は緩くなるため、その後は、図13に示すように、2つの第2の工具取付孔23b,23bに2つの第2の工具22b,22bをねじ込み、この第2の工具22b,22bを両手に持って弁板3を引き上げることにより、該弁板3を弁ロッド4から分離することができる。
次に、図8に示すように、弁箱1の上面の蓋取付螺子11を取り外すことによって蓋10を取り外し、該弁箱1の上面の窓孔12を開放する。
1a 側壁
2 開口
3 弁板
3a 弁前面
3b 弁背面
3c 弁上面
3d 弁下面
4 弁ロッド
7 シール部材
13 取付孔
13a 孔前壁
13b 孔後壁
13b1 第1傾斜部
13b2 平行部
13c 孔側壁
13d 孔端壁
13e 入口
14 取付部
14a ロッド前壁
14b ロッド後壁
14b1 第2傾斜部
14b2 平行部
14c ロッド側壁
14d ロッド先端壁
14e 基端部
17 弁板固定螺子
18 螺子挿通孔
19 螺子孔
21 空気孔
22a,22b 工具
23a,23b 工具取付孔
W1,W2 間隔
G1,G2 隙間
H 上下幅
Claims (6)
- 弁ロッドの先端に取り付けた弁板を弁箱内に収容し、該弁箱の側壁に形成された開口を前記弁板で開閉するように構成されたゲートバルブにおいて、前記弁ロッドの先端に前記弁板を該弁ロッドの軸線方向に取り外し可能なるように取り付けるための取付構造であって、
前記弁板は、シール部材が取り付けられた弁前面と、該弁前面の反対側の弁背面と、弁上面及び弁下面と、該弁下面に形成された取付孔とを有し、
前記取付孔は、弁板の左右方向に細長い長孔状をしていて、前記弁前面側に位置する孔前壁と、前記弁背面側に位置する孔後壁と、左右の孔側壁と、該取付孔の深さ方向の端部である孔端壁とを有しており、
前記弁ロッドは、前記取付孔に挿入される取付部を有し、該取付部は、前記取付孔の孔前壁に対向するロッド前壁と、前記取付孔の孔後壁に対向するロッド後壁と、左右のロッド側壁と、前記取付孔の孔端壁に対向するロッド先端壁とを有し、
前記弁板の弁上面及び弁ロッドのロッド先端壁には、該弁板を弁ロッドに固定する弁板固定螺子を取り付けるための螺子挿通孔及び螺子孔が該弁ロッドの軸線上に形成され、
前記取付部を前記取付孔内に挿入して弁板を弁ロッドに弁板固定螺子で固定したとき、前記ロッド後壁の一部が前記孔後壁の一部に当接し、前記ロッド後壁の残りの部分と前記孔後壁の残りの部分とは互いに非接触となり、前記ロッド前壁と前記孔前壁との相対する面同士が密接する、
ことを特徴とする弁ロッドに対する弁板の取付構造。 - 前記孔後壁の一部は、前記取付孔の入り口側の部分であり、前記ロッド後壁の一部は、前記取付部の基端部寄りの部分であることを特徴とする請求項1に記載の弁ロッドに対する弁板の取付構造。
- 前記取付孔の孔後壁の一部及び前記取付部のロッド後壁の一部は、相互に当接し合う傾斜部であり、
前記取付孔の孔後壁に形成された第1傾斜部は、該取付孔の深さ方向の途中位置から該取付孔の入口までの部分に形成されていて、該入口に近づくに従って前記孔後壁と孔前壁との間隔が次第に広がる方向に傾斜しており、
前記取付部のロッド後壁に形成された第2傾斜部は、該取付部の軸線方向の途中位置から該取付部の基端部までの部分に形成されていて、該基端部に近づくに従って前記ロッド後壁とロッド前壁との間隔が次第に広がる方向に傾斜している、
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の弁ロッドに対する弁板の取付構造。 - 前記取付孔の孔後壁は、孔端壁と前記第1傾斜部との間に、前記孔前壁と平行な平行部を有し、前記取付部のロッド後壁は、ロッド先端壁と前記第2傾斜部との間に、前記ロッド前壁と平行な平行部を有することを特徴とする請求項3に記載の弁ロッドに対する弁板の取付構造。
- 前記弁ロッドの取付部には、前記螺子孔内部の空気を外部に逃がすための空気孔が、該取付部と前記取付孔との間の隙間に連通するように形成されていることを特徴とする請求項1から4の何れかに記載の弁ロッドに対する弁板の取付構造。
- 前記弁板の弁上面には、前記弁ロッドのロッド先端壁に対応する位置と、該ロッド先端壁から横方向に外れた位置とに、前記弁板を持ち上げて前記弁ロッドから取り外すための工具を取り付ける工具取付孔がそれぞれ形成され、
前記ロッド先端壁に対応する位置に形成された第1の工具取付孔の深さは、前記弁上面から取付孔まで達する深さであり、前記ロッド先端壁から外れた位置に形成された第2の工具取付孔の深さは、前記弁板の上下幅より小さい、
ことを特徴とする請求項1から5の何れかに記載の弁ロッドに対する弁板の取付構造。
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