CN110017384A - 阀板相对于阀杆的安装构造 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种阀板相对于阀杆的安装构造，将阀板与阀杆以能够沿阀杆的轴线方向拆下的方式连结并以不产生相对旋转的方式牢固地固定。在形成于阀板(3)的安装孔(13)的孔后壁(13b)的一部分和形成于阀杆(4)的安装部(14)的杆后壁(14b)的一部分分别形成通过相互抵接配合而发挥楔效应的倾斜部(13bl、14bl)，在用阀板固定螺钉(17)将阀板(3)与阀杆(4)沿轴线(L)方向固定时，通过倾斜部(13b1、14b1)彼此相互抵接时的楔效应，安装部(14)的杆前壁(14a)与安装孔(13)的孔前壁(13a)紧贴，阀板(3)与阀杆(4)以不产生相对旋转的方式高精度且牢固地固定。

Description

阀板相对于阀杆的安装构造

技术领域

本发明涉及用于将闸阀的阀板安装于阀杆的前端的安装构造。

背景技术

在半导体处理装置中，将闸阀用于与真空腔室连通的开口的开闭。该闸阀构成为，将安装于阀杆的前端的阀板收容在阀箱内，将该阀箱安装于真空腔室，利用所述阀板对形成于该阀箱的侧壁的所述开口进行开闭。此时，通过将安装于所述阀板的密封构件按压于所述开口的周围的阀座，从而进行所述开口的关闭。

在所述闸阀中，由于所述密封构件会随着所述闸阀的使用而逐渐劣化，所以需要在劣化的阶段更换为新的密封构件。在该情况下，以往，由于在将所述闸阀从真空腔室拆下之后，必须将所述阀板从阀杆拆下而从所述阀箱取出，然后进行所述密封构件的更换，因此更换需要较多的工夫和时间。因此，期望能够简单且迅速地进行密封构件的更换的闸阀的出现。

另外，近年来，由于半导体的线宽逐渐变窄，因此在处理工序时产生的颗粒的减少成为课题(零颗粒成为目标)，为了实现该课题，在闸阀中如何消除在工作时在各部件间产生摩擦的情形成为重要的课题。

另一方面，在专利文献1中公开了一种闸阀，所述闸阀能够在将闸阀安装于真空腔室的状态下将阀板从阀杆拆下并从阀箱取出。该改良型的闸阀通过利用螺钉将所述阀板固定于阀杆的上端，能够将该阀板沿阀杆的轴线方向拆下，并通过拆下阀箱的上表面的盖并松开所述螺钉，能够将所述阀板从所述阀杆拆下并从阀箱的上表面取出到外部。因此，该改良型的闸阀在进行密封构件的更换时，不需要将闸阀从真空腔室拆下，就能够仅将所述阀板从阀箱简单且迅速地取出。

但是，所述专利文献1公开的闸阀具有如下缺点：所述阀板能够旋转地安装于阀杆，在该阀板被按压于阀座部时，由于该阀板与所述阀座相应地旋转，因此在所述阀板与阀座之间产生摩擦，因该摩擦而容易产生颗粒。为了不产生所述颗粒，需要高精度且可靠地将所述阀板以不会相对旋转的方式固定于所述阀杆。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2005-291221号公报

发明内容

发明所要解决的课题

本发明的技术课题在于，通过在以能够简单且迅速地进行阀板从阀箱的取出的方式将该阀板与阀杆连结的同时，将所述阀板与阀杆牢固地固定，从而防止闸阀工作时的颗粒的产生。

用于解决课题的技术方案

为了解决所述课题，根据本发明，提供一种安装构造，在构成为将安装于阀杆的前端的阀板收容在阀箱内并利用所述阀板对形成于该阀箱的侧壁的开口进行开闭的闸阀中，所述安装构造用于将所述阀板以能够沿该阀杆的轴线方向拆下的方式安装于所述阀杆的前端。在该安装构造中，所述阀板具有安装有密封构件的阀前表面、与该阀前表面相反的一侧的阀背面、阀上表面及阀下表面、以及形成于该阀下表面的安装孔，所述安装孔具有在阀板的左右方向上细长的长孔状，并具有位于所述阀前表面侧的孔前壁、位于所述阀背面侧的孔后壁、左右的孔侧壁、以及作为该安装孔的深度方向的端部的孔端壁，所述阀杆具有插入于所述安装孔的安装部，该安装部具有与所述安装孔的孔前壁相向的杆前壁、与所述安装孔的孔后壁相向的杆后壁、左右的杆侧壁、以及与所述安装孔的孔端壁相向的杆前端壁，在所述阀板的阀上表面及阀杆的杆前端壁，在该阀杆的轴线上形成有用于安装将该阀板固定于阀杆的阀板固定螺钉的螺钉插通孔以及螺纹孔，在所述安装孔的孔后壁的一部分及所述安装部的杆后壁的一部分分别形成有倾斜部，所述倾斜部通过在将该安装部插入到所述安装孔内并利用所述阀板固定螺钉将所述阀板固定于阀杆时相互抵接配合，从而使所述安装部的杆前壁与所述安装孔的孔前壁相互紧贴。

在本发明中，所述安装孔的孔前壁、孔后壁及孔端壁和所述安装部的杆前壁、杆后壁及杆前端壁分别平坦。

另外，形成于所述安装孔的孔后壁的第一倾斜部形成于从该安装孔的深度方向的中途位置到该安装孔的入口为止的部分，并随着接近该入口而向所述孔后壁与孔前壁的间隔逐渐扩大的方向倾斜，形成于所述安装部的杆后壁的第二倾斜部形成于从该安装部的轴线方向的中途位置到该安装部的基端部为止的部分，并随着接近该基端部而向所述杆后壁与杆前壁的间隔逐渐扩大的方向倾斜。

在该情况下，优选的是，所述安装孔的孔后壁在孔端壁与所述第一倾斜部之间具有与所述孔前壁平行的第一平行部，所述安装部的杆后壁在杆前端壁与所述第二倾斜部之间具有与所述杆前壁平行的第二平行部，所述第一平行部的轴线方向宽度比所述第二平行部的轴线方向宽度大。

在本发明中，优选的是，在所述阀杆的安装部以与该安装部和所述安装孔之间的间隙连通的方式形成有空气孔，所述空气孔用于将所述螺纹孔内部的空气排出到外部。

另外，在本发明中，优选的是，为了通过拧入由螺纹杆构成的第一工具而使该阀板相对于所述阀杆沿轴线方向位移，在所述阀板的阀上表面上形成有由螺纹孔构成的第一工具安装孔，所述第一工具安装孔以从该阀上表面到达所述安装孔的方式形成于与所述阀上表面的所述螺钉插通孔相邻且与所述阀杆的杆前端壁对应的位置。

或者，也可以是，为了安装第二工具，在所述阀板的阀上表面上形成有两个第二工具安装孔，所述第二工具用于将该阀板沿轴线方向抬起并将其从所述阀杆拆下，该两个第二工具安装孔在夹着所述阀上表面的所述螺钉插通孔而呈左右对称的位置各形成有一个。

发明效果

根据本发明，通过将阀板以能够沿阀杆的轴线方向拆下的方式与该阀杆连结，能够简单且迅速地进行该阀板从阀箱的取出，另外，通过高精度且牢固地将所述阀板以不会产生相对的旋转的方式固定于所述阀杆，能够防止由所述阀板与阀杆的摩擦引起的颗粒的产生。

附图说明

图1是应用了本发明的闸阀的主视图。

图2是沿着图1的II-II线的局部放大剖视图。

图3是沿着图2的III-III线的局部放大剖视图，且是将图的朝向改变90度而得到的图。

图4是将阀板、阀杆及阀板固定螺钉分离而示出的剖视图。

图5是从正面侧观察将阀板固定于阀杆的状态的立体图。

图6是从背面侧观察图5的阀板及阀杆的立体图。

图7是取出阀板之前的闸阀的立体图。

图8是拆下阀箱上表面的盖的状态下的闸阀的立体图。

图9是将固定阀板和阀杆的阀板固定螺钉松开时的闸阀的立体图。

图10是图9的主要部分放大剖视图。

图11是用第一工具使阀板从阀杆浮起的中途的闸阀的立体图。

图12是图11的主要部分放大剖视图。

图13是将第二工具安装于阀板的状态下的闸阀的立体图。

图14是将阀板从阀箱取出的状态下的闸阀的立体图。

图15是从阀板拆下所述工具的状态下的闸阀的立体图。

附图标记说明

1 阀箱

1a 侧壁

2 开口

3 阀板

3a 阀前表面

3b 阀背面

3c 阀上表面

3d 阀下表面

4 阀杆

7 密封构件

13 安装孔

13a 孔前壁

13b 孔后壁

13b1 第一倾斜部

13b2 第一平行部

13c 孔侧壁

13d 孔端壁

13e 入口

14 安装部

14a 杆前壁

14b 杆后壁

14b1 第二倾斜部

14b2 第二平行部

14c 杆侧壁

14d 杆前端壁

14e 基端部

17 阀板固定螺钉

18 螺钉插通孔

19 螺纹孔

21 空气孔

22a、22b 工具

23a、23b 工具安装孔

Wl、W2 间隔

G1、G2 间隙

H 上下宽度。

具体实施方式

在图1及图2中示出了将本发明的安装构造应用于阀板与阀杆的安装的闸阀。该闸阀安装于未图示的真空腔室来进行使用，具有：阀箱1，所述阀箱1具备与该真空腔室连通的开口2；阀板3，所述阀板3收容于该阀箱1的内部并对所述开口2进行开闭；开闭操作用的阀杆4，所述阀杆4固定于该阀板3；以及阀驱动部5，所述阀驱动部5驱动该阀杆4，通过利用该阀驱动部5驱动所述阀杆4，从而使所述阀板3升降到作为用于关闭所述开口2的位置的实线的关闭位置和打开所述开口2的点划线的避让位置。在所述阀驱动部5设置有气缸等驱动机构6，该阀驱动部5及驱动机构6的结构及作用是公知的，因此在此省略说明。

所述阀箱1形成为横向细长的矩形的箱形，在该阀箱1的前后的侧壁1a、1c中的与真空腔室连接的前方的侧壁la上形成有横向细长的矩形的所述开口2和包围该开口2的平面状的阀座lb，构成为通过在所述关闭位置将安装于所述阀板3的前表面的密封构件7按压于该阀座1b，从而将所述开口2关闭。

从图7以及图8可知，盖10利用多个盖安装螺钉11装卸自如地安装于所述阀箱1的上表面，通过拆下该盖10，能够使该阀箱1的上表面开放，能够将所述阀板3从所述阀杆4拆下并沿着轴线L从开放的上表面的窗孔12取出到外部。

此外，在所述阀箱1，在后方的侧壁1c也形成有开口1d，但该开口1d不由所述阀板3开闭。

从图2至图6可知，所述阀板3形成为横向细长的矩形的板状，并具有安装有所述密封构件7的阀前表面3a、与该阀前表面3a相反的一侧的阀背面3b、阀上表面3c及阀下表面3d、以及形成于该阀下表面3d的安装孔13。所述阀前表面3a、阀背面3b、阀上表面3c、阀下表面3d均为平坦面。

所述安装孔13是用于将所述阀杆4的前端(上端)的安装部14插入并固定的孔，该安装孔13的横截面形状形成为在所述阀板3的长度方向即左右方向上细长的长孔状。另外，该安装孔13具有位于所述阀前表面3a侧的孔前壁13a、位于所述阀背面3b侧的孔后壁13b、左右的孔侧壁13c、13c以及作为该安装孔13的深度方向的端部的孔端壁13d，所述孔前壁13a、孔后壁13b及孔端壁13d均为平坦面，所述孔侧壁13c、13c是呈半圆状的凹曲面。另外，所述孔端壁13d与所述孔前壁13a呈直角地相连，所述孔端壁13d与作为所述孔后壁13b的一部分的第一平行部13b2也呈直角地相连。

所述阀杆4在呈圆柱状的主体部4a的前端具有用于插入于所述安装孔13的所述安装部14。该安装部14形成为将圆柱的直径方向的侧面沿着夹着轴线L而平行的两个平面切除那样的形状，并具有与所述安装孔13的孔前壁13a相向的杆前壁14a、与所述安装孔13的孔后壁13b相向的杆后壁14b、与所述安装孔13的左右的孔侧壁13c、13c相向的左右的杆侧壁14c、14c以及与所述安装孔13的孔端壁13d相向的杆前端壁14d。

所述杆前壁14a、杆后壁14b、杆前端壁14d均为平坦面，所述杆侧壁14c、14c为呈圆弧状的凸曲面。另外，所述杆前端壁14d与所述杆前壁14a呈直角地相连，所述杆前端壁14d与作为所述杆后壁14b的一部分的第二平行部14b2也呈直角地相连。

而且，通过使所述安装孔13的长轴方向宽度形成为比所述阀杆4的直径大，从而在所述安装孔13的孔侧壁13c、13c与安装部14的杆侧壁14c、14c之间形成有间隙G2。

利用阀板固定螺钉7将所述阀板3以能够沿该阀杆4的轴线L方向拆下的方式安装于所述阀杆4的前端。为了进行该安装，在所述阀板3的阀上表面3c，在所述轴线L上形成有用于供所述阀板固定螺钉17插通的螺钉插通孔18，在阀杆4的杆前端壁14d，在所述轴线L上形成有用于供所述阀板固定螺钉17拧入的螺纹孔19。

所述阀板固定螺钉17具有带六角孔的螺钉头17a、在外周未形成螺纹牙的轴部17b以及在外周形成有螺纹牙的螺纹部17c，该螺纹部17c的外径比所述轴部17b的外径大。

所述阀板3的螺钉插通孔18具有：大径部18a，所述大径部18a收容所述阀板固定螺钉17的螺钉头17a；小径部18b，所述小径部18b供所述阀板固定螺钉17的螺纹部17c及轴部17b插通；以及防脱部18c，所述防脱部18c通过在更换密封构件7时将所述阀板固定螺钉17松开时供该阀板固定螺钉17的螺纹部17c卡定，从而防止该阀板固定螺钉17从阀板3脱落。

所述大径部18a的内径及深度为所述阀板固定螺钉17的螺钉头17a与垫圈20一起完全收纳那样的大小，所述小径部18b的内径比所述大径部18a的内径小，但比所述阀板固定螺钉17的螺纹部17c的外径大，所述防脱部18c的内径比所述阀板固定螺钉17的轴部17b的外径大，但比螺纹部17c的外径小。另外，在所述防脱部18c的内周形成有螺纹孔，在将所述阀板固定螺钉17安装于所述阀板3时，将该阀板固定螺钉17的螺纹部17c拧入所述防脱部18c的螺纹孔，使其前进至通过该防脱部18c的位置，在如图4所示那样从所述阀板3完全拆下所述阀板固定螺钉17时，进行其相反的操作。

在利用该结构将所述阀板3固定于所述阀杆4的前端时，如图2所示，在该阀板3的安装孔13内插入阀杆4的安装部14，将所述阀板固定螺钉17拧入安装部14的上端的所述螺纹孔19内，将该阀板固定螺钉17拧紧至所述安装部14的杆前端壁14d与所述安装孔13的孔端壁13d抵接的位置，从而将所述阀板3固定于阀杆4的前端。

另外，在拆下所述阀板3时，如图10所示，通过将所述阀板固定螺钉17松开并将螺纹部17c从所述螺纹孔19拆下，从而将该阀板3从所述阀杆4沿轴线L方向拆下。

在此，在将所述阀板3固定于阀杆4时，使所述安装孔13的孔前壁13a与所述安装部14的杆前壁14a整面牢固地紧贴，以不产生以轴线L为中心的旋转方向的相对位移的方式将该阀板3与阀杆4牢固地固定，因此从图2及图4可知，在所述安装孔13的孔后壁13b的一部分和所述安装部14的杆后壁14b的一部分分别形成有倾斜部13b1、14b1，所述倾斜部13b1、14b1通过相互抵接配合而产生楔效应。

其中的形成于所述安装孔13的孔后壁13b的第一倾斜部13b1形成于从该安装孔13的深度方向的中途位置到该安装孔13的入口13e为止的部分，并随着接近该入口13e而向所述孔后壁13b与孔前壁13a的间隔W1逐渐扩大的方向倾斜。所述孔后壁13b的剩余部分、即从所述孔端壁13d到所述第一倾斜部13b1为止的部分成为与所述孔前壁13a平行的所述第一平行部13b2。所述第一倾斜部13b1的上下方向宽度(安装孔13的深度方向宽度)Ml比所述第一平行部13b2的上下方向宽度(安装孔13的深度方向宽度)M2小。

另外，形成于所述安装部14的杆后壁14b的第二倾斜部14b1形成于从该安装部14的轴线L方向的中途位置到该安装部14的基端部14e为止的部分，并随着接近该基端部14e而向所述杆后壁14b与杆前壁14a的间隔W2逐渐扩大的方向倾斜。所述杆后壁14b的剩余部分、即从所述杆前端壁14d到所述第二倾斜部14b1为止的部分成为与所述杆前壁14a平行的所述第二平行部14b2。所述第二倾斜部14b1的上下方向宽度(轴线L方向宽度)N1比所述第二平行部14b2的上下方向宽度(轴线L方向宽度)N2小。

而且，所述第一平行部13b2的上下方向宽度(轴线L方向宽度)M2比所述第二平行部14b2的轴线方向宽度N2大。

所述孔后壁13b的所述第一倾斜部13b1相对于所述第一平行部13b2的倾斜角度α、以及所述安装部14的所述第二倾斜部14b1相对于所述第二平行部14b2的倾斜角度β为彼此相同的角度，优选为2～4度左右，更优选为3度。

通过形成所述倾斜部13bl、14bl，从而当如前述那样拧紧阀板固定螺钉17而将所述阀板3固定于所述阀杆4时，所述安装孔13的第一倾斜部13b1与安装部14的第二倾斜部14b1相互抵接配合，由此产生楔效应，在该楔效应的作用下将所述安装部14向安装孔13的孔前壁13a侧推压，因此所述安装部14的杆前壁14a全面牢固地按压于所述安装孔13的孔前壁13a并紧贴，由此，所述阀板3和阀杆4以不产生以轴线L为中心的相对旋转的方式牢固地固定。

此时，在所述安装孔13的第一平行部13b2与安装部14的第二平行部14b2之间形成有微小的间隙G1，该间隙G1与所述安装孔13的孔侧壁13c、13c与安装部14的杆侧壁14c、14c之间的间隙G2连通。

另外，空气孔21以从所述螺纹孔19贯通至所述杆后壁14b的第二平行部14b2的方式形成于所述安装部14，所述空气孔21在将所述阀板固定螺钉1装卸于所述螺纹孔19时用于使该螺纹孔19内的空气向外部排出或者将来自外部的空气取入到该螺纹孔19内，由此，所述螺纹孔19与所述平行部13b2、14b2之间的间隙G1连通。但是，也可以是，该空气孔21在所述杆侧壁14c、14c开口，从而形成为将所述螺纹孔19与所述间隙G2连结。

这样，通过以不产生相对旋转的方式将所述阀板3和阀杆4牢固地固定，从而在闸阀工作时，防止由所述阀板3与阀杆4的相对位移引起的摩擦、所述密封构件7与阀座lb的摩擦等，因此能抑制因部件间的摩擦而产生颗粒。另外，仅通过在阀板3的安装孔13的一部分和阀杆4的安装部14的一部分设置倾斜部13bl、14bl，就能够将所述阀板3与阀杆4牢固地固定，因此其构造极其简单。

如图5及图6所示，为了能够容易拆下牢固地固定于所述阀杆4的该阀板3，在所述阀板3的阀上表面3c上形成有用于安装操作用的工具22a、22b(参照图14)的多个工具安装孔23a、23b。该工具安装孔23a、23b由螺纹孔形成，所述工具22a、22b由螺纹杆形成

在图示的例子中，在与所述螺钉插通孔18相邻且接近的位置形成有一个第一工具安装孔23a，在相对于所述轴线L(螺钉插通孔18)呈左右对称的位置形成有两个第二工具安装孔23b、23b。

所述第一工具安装孔23a用于利用拧入该工具安装孔23a的第一工具22a使所述阀板3从阀杆4浮起(参照图12)，在与所述阀杆4的安装部14的杆前端壁14d对应的位置形成有从所述阀上表面3c到达至所述安装孔13的深度。

另外，所述第二工具安装孔23b、23b用于拧入并安装第二工具22b，并配设于从所述杆前端壁14d沿横向偏移的位置，该第二工具安装孔23b、23b的深度比所述阀板3的上下宽度H小。因此，该第二工具安装孔23b、23b延伸至所述阀板3的上下宽度的中途。

在使用所述操作用的工具22a、22b来将所述阀板3从阀杆4拆下时，如图9及图10所示，在利用六角扳手24松开所述阀板固定螺钉17而使螺纹部17c从阀杆4的安装部14的螺纹孔19拔出之后，如图11及图12所示，将第一工具22a螺纹安装于所述第一工具安装孔23a。

然后，在拧紧该第一工具22a并使其前端与所述阀杆4的杆前端壁14d抵接后，进一步拧紧该第一工具22a，由此，使所述阀板3从所述阀杆4浮起，使该阀板3上升至所述安装孔13的第一倾斜部13b1与所述安装部14的第二倾斜部14b1彼此不再抵接的位置。这样一来，由于所述安装孔13与安装部14的嵌合状态变得松弛，因此，之后，如图13所示，通过将两个第二工具22b、22b拧入到两个第二工具安装孔23b、23b，并用双手拿着该第二工具22b、22b而提起阀板3，从而能够将该阀板3从阀杆4分离。

参照附图再次依次说明在具有所述构造的闸阀中在更换安装于所述阀板3的密封构件7时将所述阀板3从阀杆4拆下而从所述阀箱1取出的工序。

在取出所述阀板3时，使该阀板3从图2中实线所示的上升位置下降至图2中虚线所示的下降位置。

接着，如图8所示，通过拆下阀箱1的上表面的盖安装螺钉11，从而拆下盖10，打开该阀箱1的上表面的窗孔12。

接着，如图9及图10所示，从所述窗孔12插入六角扳手24而松开阀板固定螺钉17，在成为将该阀板固定螺钉17的螺纹部17c从阀杆4的上端的螺纹孔19完全拔出的状态后，如图11及图12所示，将第一工具22a拧入第一工具安装孔23a。然后，通过在该第一工具22a的前端与杆上端的杆前端壁14d抵接之后进一步拧入，从而使所述阀板3从所述阀杆4浮起，使该阀板3上升至安装孔13的第一倾斜部13b1与安装部14的第二倾斜部14b1不再卡合的位置。此时，所述阀板固定螺钉17也可以从所述阀板3完全拆下。

接着，如图13所示，在将两个第二工具22b、22b拧入两个第二工具安装孔23b、23b之后，用双手拿着该第二工具22b、22b并提起阀板3，由此，如图14所示，将所述阀板3从阀杆4分离，并且将其通过所述阀箱1的上表面的窗孔12取出到外部。然后，如图15所示，在从阀板3拆下所述各工具22a、22b之后，更换密封构件7。

密封构件7的更换结束后的所述阀板3再次安装所述两个第二工具22b、22b，用手拿着该第二工具22b、22b而将其收容在所述阀箱1内，使阀杆4的安装部14嵌合在安装孔13内，然后，拆下所述第二工具22b、22b，用所述六角扳手24拧入阀板固定螺钉17，由此固定于所述阀杆4。然后，通过用盖安装螺钉11将盖10安装于所述阀箱1的上表面，从而如图7所示，密封构件7的更换作业全部结束，所述闸阀成为能够使用的状态。

在图示的例子中，作为所述工具22a、22b，使用具备带六角孔的螺钉头的螺纹杆，但该工具也可以具备形成为横长的棒状的把手、或在侧面形成有防滑用的纵槽的圆柱状的把手来代替所述螺钉头。

Claims (7)

1.一种阀板相对于阀杆的安装构造，在构成为将安装于阀杆的前端的阀板收容在阀箱内并利用所述阀板对形成于该阀箱的侧壁的开口进行开闭的闸阀中，所述安装构造用于将所述阀板以能够沿该阀杆的轴线方向拆下的方式安装于所述阀杆的前端，所述安装构造的特征在于，

所述阀板具有安装有密封构件的阀前表面、与该阀前表面相反的一侧的阀背面、阀上表面及阀下表面、以及形成于该阀下表面的安装孔，

所述安装孔具有在阀板的左右方向上细长的长孔状，并具有位于所述阀前表面侧的孔前壁、位于所述阀背面侧的孔后壁、左右的孔侧壁、以及作为该安装孔的深度方向的端部的孔端壁，

所述阀杆具有插入于所述安装孔的安装部，该安装部具有与所述安装孔的孔前壁相向的杆前壁、与所述安装孔的孔后壁相向的杆后壁、左右的杆侧壁、以及与所述安装孔的孔端壁相向的杆前端壁，

在所述阀板的阀上表面及阀杆的杆前端壁，在该阀杆的轴线上形成有用于安装将该阀板固定于阀杆的阀板固定螺钉的螺钉插通孔以及螺纹孔，

在所述安装孔的孔后壁的一部分及所述安装部的杆后壁的一部分分别形成有倾斜部，所述倾斜部通过在将该安装部插入到所述安装孔内并利用所述阀板固定螺钉将所述阀板固定于阀杆时相互抵接配合，从而使所述安装部的杆前壁与所述安装孔的孔前壁相互紧贴。

2.根据权利要求1所述的阀板相对于阀杆的安装构造，其特征在于，

所述安装孔的孔前壁、孔后壁及孔端壁和所述安装部的杆前壁、杆后壁及杆前端壁分别平坦。

3.根据权利要求2所述的阀板相对于阀杆的安装构造，其特征在于，

形成于所述安装孔的孔后壁的第一倾斜部形成于从该安装孔的深度方向的中途位置到该安装孔的入口为止的部分，并随着接近该入口而向所述孔后壁与孔前壁的间隔逐渐扩大的方向倾斜，

形成于所述安装部的杆后壁的第二倾斜部形成于从该安装部的轴线方向的中途位置到该安装部的基端部为止的部分，并随着接近该基端部而向所述杆后壁与杆前壁的间隔逐渐扩大的方向倾斜。

4.根据权利要求3所述的阀板相对于阀杆的安装构造，其特征在于，

所述安装孔的孔后壁在孔端壁与所述第一倾斜部之间具有与所述孔前壁平行的第一平行部，所述安装部的杆后壁在杆前端壁与所述第二倾斜部之间具有与所述杆前壁平行的第二平行部，所述第一平行部的轴线方向宽度比所述第二平行部的轴线方向宽度大。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的阀板相对于阀杆的安装构造，其特征在于，

在所述阀杆的安装部以与该安装部和所述安装孔之间的间隙连通的方式形成有空气孔，所述空气孔用于将所述螺纹孔内部的空气排出到外部。

6.根据权利要求1～4中任一项所述的阀板相对于阀杆的安装构造，其特征在于，

为了通过拧入由螺纹杆构成的第一工具而使该阀板相对于所述阀杆沿轴线方向位移，在所述阀板的阀上表面上形成有由螺纹孔构成的第一工具安装孔，该第一工具安装孔以从该阀上表面到达所述安装孔的方式形成于与所述阀上表面的所述螺钉插通孔相邻且与所述阀杆的杆前端壁对应的位置。

7.根据权利要求1～4中任一项所述的阀板相对于阀杆的安装构造，其特征在于，

为了安装第二工具，在所述阀板的阀上表面上形成有两个第二工具安装孔，所述第二工具用于将该阀板沿轴线方向抬起并将其从所述阀杆拆下，该两个第二工具安装孔在夹着所述阀上表面的所述螺钉插通孔而呈左右对称的位置各形成有一个。