JPS6357908A - 真空内締付装置におけるエア抜き方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、真空内の締付装置におけるその内部に滞溜す
るエアを抜きとる方法に関する。

（従来の技術〕 真空中で使用する機器、装ｄたとえば真空用アクチュエ
ータ、真空ロボットその他現在一般に使われている真空
機器、半導体製造装置などにおいて、組立の際、ネジ底
部すなわち袋部分に空気が残留するスペースがあり、ネ
ジの締イ］によって空気を封入することになる。

〔発明が解決しようとする問題点〕

この封入された空気は真空度を保つ上では不都合なもの
である。

真空吸引中および吸引後、このネジ部の空気の漏洩によ
り、真空吸引時間を永くしたり、あるいは真空度の低下
を招く。

これを抑制するため、従来はネジは余分なスペースの少
ない仕上タップ加工する手段が用いられていた。

しかし、これでは加工作業性という面からは好ましい方
法ではなく、しか・ｂ完全に空気の封入を防ぐことはで
きなかった。

ここにおいて本発明は、真空機器、真空装置に使用する
固定ネジの底部つまり袋部分に、組立の際のネジの締付
による空気の封入を防ぐ真空内締付装置におけるエア抜
き方法を提供することを、その目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、 真空内の一方の部材に他方の部材を螺着固定するときに
、一方の部材にはネジ穴とその先端に袋部を設け、他方
の部材には貫通するネジと間隙をつくるバカ穴を備え、
ネジの頭部より底部まで！：１通した貫通穴と、ネジの
頭部とバカ穴部を疎通させるバカ穴対応貫通穴を持つ真
空用ネジを、一方の部材に手合した他方の部材の上から
バカ穴およびネジ穴に挿入し、一方の部材に他方の部材
を螺着させる 真空内締付装置におけるエア抜き方法である。

〔作　用〕

真空用ネジの頭部から底部に貫通する貫通穴および頭部
圧縮面とバカ穴を疎通させるバカ穴対応貫通穴を設ける
ことにより、ネジ底部の袋部分とバカ穴部に残留するエ
アの封入を防ぐ。

〔実施例〕

本発明が適用される真空槽内の真空壁に真空用アクチュ
エータが固定された状態を表わす正断面図を第４図に示
す。

第１図は、そのアクチュエータを真空壁に固定している
本発明の一実施例における構成を表わす詳細図である。

第４図で、真空槽１内に真空用アクチュエータ２のフラ
ンジ３が複数個の耐真空材からなる真空用ネジ４により
固定されている。

アクチュエータ２の出力軸５には真空槽１内で作業する
回転ドラム６が固着され、アクチュエータ２によって適
当な回転をすることができる。

ケーブル処理部７は大気Ｂ中に露出され、フランジ３に
固定されている。なお、８は真空槽１とフランジ３の接
合面に設けられ、真空槽１の真空を保持するためのＯリ
ングである。

真空槽１の真空用アクチュエータ（モータ）２の取り付
は部には、フランジ３の取り付はピッチに合ったタップ
穴が複数個設けられる。

これらタップ穴はタップの下キリ部９とタップ部１０か
らなる。

タップの下キリ部９は真空槽１内（真空△）と大気Ｂ側
を分離するために貫通されていない。

真空用ネジ４には頭部から底部に貫通する穴である貫通
穴１１およびバカ穴対応貫通穴１３が設けられる。

これらの穴の付いた複数個の真空用ネジ４によって、ア
クチュエータ２は真空槽１に固定されている。

第２図は、この真空用ネジの頭部平面図である。

以上の構成にて、真空槽１内を真空引きすると、アクチ
ュエータ２と真空槽１とを固定している複数個の真空用
ネジ４の袋部９およびバカ穴部１２にある空気も、真空
用ネジ４に設けた貫通穴１１゜バカ穴対応貫通穴１３を
通って、他の真空槽１内の空気と同時に抜は出る。

これにより真空引き時間の短縮および真空引き後の真空
用ネジ部の空気漏洩による真空度のバラツキを防止でき
る。

本発明の他の実施例の詳細を表わす正断面図を第３図に
示す。

この他の実施例はバカ穴対応貫通穴の真空用ネジ４０頭
部における形状を変形して、頭部のフランジ３と当接す
る底面に溝１４（バカ穴対応貫通穴１３に相当する）を
設けである。

満１４により貫通穴が屈折しているから、異物も侵入で
きない。

〔発明の効果〕 かくして本発明によれば、真空用ネジにおけるネジ部の
袋部分、バカ穴の空気の封入がなくなり、真空吸引時間
の短縮、吸引後の真空度のバラツキないしは低下を防止
でき、安定した超高真空が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例における構成を示寸正断面図
、第２図はその真空用ネジの頭部平面図、第３図は本発
明の他の実施例の正断面図、第４図は本発明が適用され
る真空槽内真空壁に真空用アクチュエータが固定された
状態図である。 １・・・真空槽、２・・・真空用アクチュエータ、３・
・・フランジ、４・・・真空用ネジ、５・・・出力軸、
６・・・回転ドラム、７・・・ケーブル処理部、８・・
・０リング、９・・・下キリ袋部、１０・・・タップ部
、１１・・・貞通穴、１２・・・バカ穴部、１３・・・
バカ穴対応貫通穴、１４・・・溝。 出願人代理人　　佐　　藤　　−雄 ８大気 第１図 第２図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空内の一方の部材に他方の部材を螺着固定すると
   きに、 一方の部材には螺刻されたネジ穴とその先端に袋部を設
   け、 他方の部材には貫通するネジを遊嵌させるバカ穴を備え
   、 ネジの頭部より底部まで貫通した貫通穴と、ネジの頭部
   とバカ穴部を疎通させるバカ穴対応貫通穴を具備した真
   空用ネジを、一方の部材に重畳した他方の部材の上から
   バカ穴およびネジ穴に挿入し、 一方の部材に他方の部材を螺着させる ことを特徴とする真空内締付装置におけるエア抜き方法
   。