TWI791714B - 閥板對閥桿的安裝構造 - Google Patents

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Abstract

將閥板對於閥桿，連結成為可朝該閥桿的軸線方向卸下，並且牢固地固定成不產生相對的旋轉。 分別在形成於閥板(3)的安裝孔(13)的孔後壁(13b)的局部、以及形成於閥桿(4)的安裝部(14)的桿後壁(14b)的局部，形成將藉由彼此相互抵接而發揮楔形效應的傾斜部(13b1、14b1)，將前述閥板(3)和閥桿(4)以閥板固定螺絲(17)固定於軸線L方向時，藉由前述傾斜部(13b1、14b1)彼此相互抵接時的楔形效應，前述安裝部(14)的桿前壁(14a)和前述安裝孔(13)的孔前壁(13a)貼緊而高精度且牢固地固定成前述閥板(3)和閥桿(4)不產生相對的旋轉。

Description

閥板對閥桿的安裝構造
本發明是有關於用來將閘閥的閥板安裝於閥桿的前端的安裝構造。
於半導體處理裝置中，使用將與真空腔室連通的開口進行開閉的閘閥。該閘閥是構成為將安裝於閥桿的前端的閥板收容於閥箱內，將該閥箱安裝於真空處理室，以前述閥板來開閉形成於該閥箱的側壁的前述開口。此時，前述開口的閉鎖是藉由將安裝於前述閥板的密封構件壓在前述開口的周圍的閥座來進行。
在前述閘閥中，因為前述密封構件隨著該使用逐漸劣化，所以必須在劣化的段階更換新的密封構件。該情況下，在以往，將前述閘閥從真空處理室卸下後，因為必須將前述閥板從閥桿卸下來從前述閥箱取出，接著進行前述密封構件的更換，所以更換須要較多的工夫和時間。因此，期望出現可以簡單且迅速進行密封構件的更換的閘閥。 另外，在近年，因為半導體的線寬度變得更加狹窄，所以降低在處理步驟時發生的粒子(零粒子為目標)成為課題，為了實現此點，所以在閘閥中，如何消除作動時在各零件間發生磨擦的情形成為重要的課題。
另一方面，在專利文獻1揭示：可以在將閘閥安裝於真空處理室的狀態下，將閥板從閥桿卸下並從閥箱取出的閘閥。該改良型的閘閥，藉由將前述閥板以螺絲固定於閥桿的上端，可將該閥板朝閥桿的軸線方向卸下，藉由將閥箱的上表面的蓋卸下並將前述螺絲旋鬆，可以將前述閥板從前述閥桿卸下並從閥箱的上表面往外部取出。因此，該改良型的閘閥是在進行密封構件的更換時，不須將閘閥從真空處理室卸下，可以簡單且迅速地僅將前述閥板從閥箱取出。
但是，揭示於前述專利文獻1的閘閥是前述閥板可旋轉地安裝於閥桿，該閥板被壓在閥座部時，因為該閥板跟隨前述閥座進行旋轉，所以有著在前述閥板和閥座之間發生磨擦，且因該磨擦容易產生粒子的缺點。為了不產生前述粒子，必須將前述閥板對於前述閥桿，高精度且確實地進行固定使其不相對旋轉。 [先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1 日本特開2005-291221號公報
[發明所欲解決之問題]
本發明的技術的課題在於：在將閥板和閥桿，連結成為可以簡單且迅速進行從該閥板的閥箱的取出的同時，藉由將前述閥板和閥桿牢固地固定，防止閘閥作動時的粒子產生。 [解決問題之技術手段]
為了解決前述課題，依據本發明，提供：一種安裝構造，是在構成為將安裝於閥桿的前端的閥板收容於閥箱內，將形成於該閥箱的側壁的開口以前述閥板進行開閉的閘閥中，用來以可將前述閥板朝該閥桿的軸線方向卸下方式安裝於在前述閥桿的前端。在該安裝構造中，前述閥板，具有：安裝密封構件的閥前面、該閥前面的相反側的閥背面、閥上表面和閥下表面、以及形成於該閥下表面的安裝孔，前述安裝孔，形成朝閥板的左右方向細長的長孔狀，具有：位於前述閥前面側的孔前壁、位於前述閥背面側的孔後壁、左右的孔側壁、以及該安裝孔的深度方向的端部的孔端壁，前述閥桿具有插入於前述安裝孔的安裝部，該安裝部，具有：相對向於前述安裝孔的孔前壁的桿前壁、相對向於前述安裝孔的孔後壁的桿後壁、左右的桿側壁、以及相對向於前述安裝孔的孔端壁的桿前端壁，用來安裝將該閥板固定於閥桿的閥板固定螺絲的螺絲插入孔以及螺絲孔，是在該閥桿的軸線上，形成於前述閥板的閥上表面以及閥桿的桿前端壁，在前述安裝孔的孔後壁的局部以及前述安裝部的桿後壁的局部，分別形成有：將該安裝部插入前述安裝孔內並以前述閥板固定螺絲將前述閥板固定於閥桿時，藉由彼此相互抵接來使前述安裝部的桿前壁和前述安裝孔的孔前壁彼此緊貼的傾斜部。
在本發明中，前述安裝孔的孔前壁、孔後壁、以及孔端壁；前述安裝部的桿前壁、桿後壁、以及桿前端壁，皆為平坦。 另外，形成於前述安裝孔的孔後壁的第1傾斜部，是形成於從該安裝孔的深度方向的途中位置到該安裝孔的入口為止的部分，隨著靠近該入口而前述孔後壁和孔前壁的間隔逐漸朝擴展方向傾斜，形成於前述安裝部的桿後壁的第2傾斜部，是形成於從該安裝部的軸線方向的途中位置到該安裝部的基端部為止的部分，隨著靠近該基端部而前述桿後壁和桿前壁的間隔逐漸朝擴展方向傾斜。 該情況下，較佳為前述安裝孔的孔後壁是在孔端壁和前述第1傾斜部之間，具有與前述孔前壁平行的第1平行部，前述安裝部的桿後壁是在桿前端壁和前述第2傾斜部之間，具有與前述桿前壁平行的第2平行部，前述第1平行部的軸線方向寬度是比前述第2平行部的軸線方向寬度大。
在本發明中較佳為：用來將前述螺絲孔內部的空氣往外部釋放的氣孔，以連通於該安裝部和前述安裝孔之間的間隙的方式，形成於前述閥桿的安裝部。
另外，在本發明中，較佳為：為了藉由將由螺絲桿所構成的第1工具鎖入來將該閥板對於前述閥桿朝軸線方向位移，由螺絲孔所構成的第1工具安裝孔形成於前述閥板的閥上表面，該第1工具安裝孔，是在鄰接於前述閥上表面之前述螺絲插入孔且對應於前述閥桿的桿前端壁的位置，以從該閥上表面到達前述安裝孔的方式形成。 或者，也可以為了安裝將該閥板朝軸線方向拉起並從前述閥桿卸下的第2工具，在前述閥板的閥上表面形成兩個第2工具安裝孔，該兩個第2工具安裝孔是在隔著前述閥上表面之前述螺絲插入孔成為左右對稱的位置各形成一個。 [發明效果]
依據本發明，藉由將閥板對於閥桿，連結成為可朝該閥桿的軸線方向卸下，可以將從該閥板的閥箱的取出簡單且迅速地進行，另外，藉由將前述閥板於前述閥桿，高精度且牢固地固定成不產生相對的旋轉，可以防止前述閥板和閥桿的磨擦所造成的粒子產生。
在第1圖以及第2圖，表示將本發明的安裝構造適用於閥板和閥桿的安裝的閘閥。該閘閥是安裝於未圖示的真空處理室使用，具有：閥箱1，具備連通於該真空處理室的開口2；前述閥板3，是收容於該閥箱1的內部且將前述開口2進行開閉；前述閥桿4，是固定於該閥板3的開閉操作用；以及閥驅動部5，是將該閥桿4予以驅動，藉由以該閥驅動部5來將前述閥桿4予以驅動，使前述閥板3升降於：用來將前述開口2予以閉鎖的位置亦即實線的閉鎖位置、以及將前述開口2打開的鏈線的待用位置。雖然在前述閥驅動部5，設置氣缸等的驅動機構6，但由於該閥驅動部5以及驅動機構6的構造以及作用為眾所周知，因而省略在此的說明。
前述閥箱1是形成橫向細長的矩形的箱形，構成為在形成於該閥箱1的前後的側壁1a、1c之中連結於真空處理室的前方的側壁1a，形成：橫向細長的矩形的前述開口2、以及包圍該開口2的平面狀的閥座1b，在前述閉鎖位置上，藉由將安裝於前述閥板3的前面的密封構件7壓在該閥座1b，以閉鎖前述開口2。
也如同從第7圖以及第8圖所知般，蓋10被複數的蓋安裝螺絲11拆裝自如地安裝在前述閥箱1的上表面，藉由將該蓋10卸下，該閥箱1的上表面成為可開啟，可以從開啟的上表面的窗孔12，將前述閥板3從前述閥桿4卸下並沿著軸線L往外部取出。 此外，在前述閥箱1中，雖然也在後方的側壁1c形成開口1d，但該開口1d不藉由前述閥板3進行開閉。
如同從第2圖至第6圖所知般，前述閥板3是形成橫向細長的矩形的板狀，具有：安裝有前述密封構件7的閥前面3a、該閥前面3a的相反側的閥背面3b、閥上表面3c和閥下表面3d、以及形成於該閥下表面3d的安裝孔13。前述閥前面3a和閥背面3b和閥上表面3c以及閥下表面3d，皆為平坦面。
前述安裝孔13是用來插入前述閥桿4的前端(上端)的安裝部14進行固定的孔，該安裝孔13的橫剖面形狀是在前述閥板3的長度方向亦即左右方向形成細長的長孔狀。另外，該安裝孔13，具有：孔前壁13a，是位於前述閥前面3a側；孔後壁13b，是位於前述閥背面3b側；左右的孔側壁13c、13c；以及孔端壁13d，是該安裝孔13的深度方向的端部，前述孔前壁13a和孔後壁13b以及孔端壁13d皆為平坦面，前述孔側壁13c、13c是形成半圓狀的凹曲面。另外，前述孔端壁13d和前述孔前壁13a是直角連接，前述孔端壁13d和前述孔後壁13b的局部亦即第1平行部13b2也直角連接。
前述閥桿4是在形成為圓柱狀的本體部4a的前端，具有用來插入前述安裝孔13的前述安裝部14。該安裝部14是形成為將圓柱的直徑方向的側面，沿著隔著軸線L平行的兩個的平面切除的形狀，具有：桿前壁14a，是相對向於前述安裝孔13的孔前壁13a；桿後壁14b，是相對向於前述安裝孔13的孔後壁13b；左右的桿側壁14c、14c，是相對向於前述安裝孔13的左右的孔側壁13c、13c；以及桿前端壁14d，是相對向於前述安裝孔13的孔端壁13d。
前述桿前壁14a和桿後壁14b以及桿前端壁14d皆為平坦面，前述桿側壁14c、14c是形成為圓弧狀的凸曲面。另外，前述桿前端壁14d和前述桿前壁14a是直角連接，前述桿前端壁14d和前述桿後壁14b的局部亦即第2平行部14b2也直角連接。 並且，藉由將前述安裝孔13的長軸方向寬度形成為比前述閥桿4的直徑更大，在前述安裝孔13的孔側壁13c、13c和安裝部14的桿側壁14c、14c之間，形成間隙G2。
前述閥板3是藉由閥板固定螺絲17以可朝該閥桿4的軸線L方向卸下方式，安裝於前述閥桿4的前端。為了進行該安裝，所以在前述閥板3的閥上表面3c，用來將前述閥板固定螺絲17插入的螺絲插入孔18形成於前述軸線L上，在閥桿4的桿前端壁14d，用來將前述閥板固定螺絲17鎖入的螺絲孔19形成於前述軸線L上。
前述閥板固定螺絲17，具有：具六角孔的螺絲頭17a、未在外周形成螺紋的軸部17b、以及在外周形成螺紋的螺絲部17c，該螺絲部17c的外徑是比前述軸部17b的外徑更大。
前述閥板3的螺絲插入孔18，具有：大徑部18a，是收容前述閥板固定螺絲17的螺絲頭17a；小徑部18b，是插入前述閥板固定螺絲17的螺絲部17c和軸部17b；以及鎖定部18c，是在密封構件7的更換時藉由在將前述閥板固定螺絲17旋鬆時，該閥板固定螺絲17的螺絲部17c卡止來防止該閥板固定螺絲17從閥板3脫落。
前述大徑部18a的內徑以及深度是前述閥板固定螺絲17的螺絲頭17a與墊圈20一齊完全收納的大小，前述小徑部18b的內徑是比前述大徑部18a的內徑更小，且比前述閥板固定螺絲17的螺絲部17c的外徑更大，前述鎖定部18c的內徑是比前述閥板固定螺絲17的軸部17b的外徑更大，且比螺絲部17c的外徑更小。另外，螺絲孔形成於前述鎖定部18c的內周，將前述閥板固定螺絲17安裝於前述閥板3時，是將該閥板固定螺絲17的螺絲部17c鎖入於前述鎖定部18c的螺絲孔，使其前進至通過該鎖定部18c的位置，如第4圖所示般將前述閥板固定螺絲17從前述閥板3完全卸下時是進行相反的操作。
藉由該構造，將前述閥板3固定於前述閥桿4的前端時是如第2圖所示般，將閥桿4的安裝部14插入該閥板3的安裝孔13內，並將前述閥板固定螺絲17鎖入於安裝部14的上端的前述螺絲孔19內，藉由將該閥板固定螺絲17旋緊至前述安裝部14的桿前端壁14d抵接於前述安裝孔13的孔端壁13d的位置為止，俾將前述閥板3固定於閥桿4的前端。 另外，將前述閥板3卸下時是如第10圖所示般，藉由將前述閥板固定螺絲17旋鬆而從前述螺絲孔19卸下螺絲部17c，將該閥板3從前述閥桿4朝軸線L方向卸下。
在此，因為將前述閥板3固定於閥桿4時，使前述安裝孔13的孔前壁13a和前述安裝部14的桿前壁14a全面地牢固緊貼，以不使該閥板3和閥桿4產生以軸線L為中心的旋轉方向的相對地位移的方式牢固地進行固定，所以從第2圖以及第4圖如同所知般，分別在前述安裝孔13的孔後壁13b的局部和前述安裝部14的桿後壁14b的局部，形成藉由彼此相互抵接而產生楔形效應的傾斜部13bl、14bl。
其中，形成於前述安裝孔13的孔後壁13b的第1傾斜部13b1，是形成於從該安裝孔13的深度方向的途中位置到該安裝孔13的入口13e為止的部分，隨著靠近該入口13e而前述孔後壁13b和孔前壁13a的間隔Wl逐漸朝擴展方向傾斜。前述孔後壁13b的其餘的部分，亦即從前述孔端壁13d至前述第1傾斜部13b1為止的部分，是成為與前述孔前壁13a平行的前述第1平行部13b2。前述第1傾斜部13b1的上下方向寬度(安裝孔13的深度方向寬度)M1，是比前述第1平行部13b2的上下方向寬度(安裝孔13的深度方向寬度)M2更小。
另外，形成於前述安裝部14的桿後壁14b的第2傾斜部14b1，是形成於從該安裝部14的軸線方向L的途中位置到該安裝部14的基端部14e為止的部分，隨著靠近該基端部14e而前述桿後壁14b和桿前壁14a的間隔W2逐漸朝擴展方向傾斜。前述桿後壁14b的其餘的部分，亦即從前述桿端壁14d至前述第2傾斜部14b1為止的部分，是成為與前述桿前壁14a平行的前述第2平行部14b2。前述第2傾斜部14b1的上下方向寬度(軸線L方向寬度)N1，是比前述第2平行部14b2的上下方向寬度(軸線L方向寬度)N2更小。 並且，前述第1平行部13b2的上下方向寬度(軸線L方向寬度)M2，是比前述第2平行部14b2的軸線方向寬度N2更大。
相對於前述孔後壁13b之前述第1傾斜部13b1的前述第1平行部13b2的傾斜角度α、以及相對於前述安裝部14之前述第2傾斜部14b1的前述第2平行部14b2的傾斜角度β，是彼此相同角度，較佳為2－4度左右，更佳為3度。
藉由形成前述傾斜部13b1、14b1，當如前述般將閥板固定螺絲17旋緊來將前述閥板3固定於前述閥桿4時，因為藉由前述安裝孔13的第1傾斜部13b1和安裝部14的第2傾斜部14b1彼此相互抵接發揮楔形效應，前述安裝部14藉該楔形效應被推往安裝孔13的孔前壁13a側，所以前述安裝部14的桿前壁14a被全面地緊壓並貼緊在前述安裝孔13的孔前壁13a，因此前述閥板3和閥桿4是以不產生以軸線L為中心的相對的旋轉的方式牢固地固定。 此時，在前述安裝孔13的第1平行部13b2和安裝部14的第2平行部14b2之間形成細微的間隙Gl，該間隙G1是連通於前述安裝孔13的孔側壁13c、13c和安裝部14的桿側壁14c、14c之間的間隙G2。
另外，在將前述閥板固定螺絲17拆裝於前述螺絲孔19時，藉由用來將該螺絲孔19內的空氣往外部釋放或將來自於外部的空氣抽入該螺絲孔19內的氣孔21，以從前述螺絲孔19貫穿至前述桿後壁14b的第2平行部14b2為止的方式形成於前述安裝部14，以使前述螺絲孔19和前述平行部13b2、14b2間的間隙G1連通。但是，該氣孔21也可以藉由開口於前述桿側壁14c、14c，形成將前述螺絲孔19和前述間隙G2連結。
以此方式，藉由以前述閥板3和閥桿4不產生相對旋轉的方式牢固地固定，因為在閘閥的作動時，可防止前述閥板3和閥桿4的相對地位移所造成的磨擦、及前述密封構件7和閥座1b的磨擦等，所以可減少零件間的磨擦所造成的粒子產生。另外，因為僅將傾斜部13b1、14b1設置於閥板3的安裝孔13的局部和閥桿4的安裝部14的局部就可以牢固地將前述閥板3和閥桿4予以固定，所以其構造極為簡單。
在前述閥板3的閥上表面3c，為了可以容易將牢固地固定於前述閥桿4的該閥板3卸下，所以如第5圖以及第6圖所示般，形成有用來安裝操作用的工具22a、22b(參照第14圖)的複數的工具安裝孔23a、23b。該工具安裝孔23a、23b是由螺絲孔所形成，前述工具22a、22b是由螺絲桿所形成。 在圖示的例子中，在鄰接且靠近於前述螺絲插入孔18的位置形成一個的第1工具安裝孔23a，在相對於前述軸線L(螺絲插入孔18)成為左右對稱的位置形成兩個的第2工具安裝孔23b、23b。
前述第1工具安裝孔23a是用來藉由鎖入於該工具安裝孔23a的第1工具22a以使前述閥板3從閥桿4浮起(參照第12圖)，在對應於前述閥桿4的安裝部14的桿前端壁14d的位置，形成從前述閥上表面3c到達前述安裝孔13為止的深度。 另外，前述第2工具安裝孔23b、23b是用來將第2工具22b鎖入進行安裝，配設於從前述桿前端壁14d朝橫向遠離的位置，該第2工具安裝孔23b、23b的深度是比前述閥板3的上下寬度H更小。因此，該第2工具安裝孔23b、23b是延伸到前述閥板3的上下寬度的途中。
使用前述操作用的工具22a、22b來將前述閥板3從閥桿4卸下時，如第9圖以及第10圖所示般，將前述閥板固定螺絲17藉由六角扳手24旋鬆而使螺絲部17c從閥桿4的安裝部14的螺絲孔19抽出後，如第11圖以及第12圖所示般，將第1工具22a鎖入前述第1工具安裝孔23a。 而且，藉由將該第1工具22a旋緊來使其前端抵接於前述閥桿4的桿前端壁14d後，進一步將該第1工具22a旋緊，以使前述閥板3從前述閥桿4浮起，並使該閥板3上昇至前述安裝孔13的第1傾斜部13b1和前述安裝部14的第2傾斜部14b1不彼此抵接的位置為止。如此一來，因為前述安裝孔13和安裝部14的嵌合狀態變鬆，所以之後是如第13圖所示般，藉由將兩個的第2工具22b、22b鎖入於兩個的第2工具安裝孔23b、23b，兩手拿著該第2工具22b、22b來將閥板3拉起，可以將該閥板3從閥桿4分離。
在具有前述構造的閘閥中，針對在將安裝於前述閥板3的密封構件7進行更換時，將前述閥板3從閥桿4卸下並從前述閥箱1取出的步驟，參照圖式重新依序進行說明。
在將前述閥板3取出時，使該閥板3，從在第2圖以實線表示的上昇位置，下降至在該圖以鏈線表示的下降位置。 接著，如第8圖所示般，藉由將閥箱1的上表面的蓋安裝螺絲11卸下來將蓋10卸下，並將該閥箱1的上表面的窗孔12打開。
接著，如第9圖以及第10圖所示般，從前述窗孔12將六角扳手24插入來將閥板固定螺絲17旋鬆，將該閥板固定螺絲17的螺絲部17c從閥桿4的上端的螺絲孔19完全抽出的狀態後，如第11圖以及第12圖所示般，將第1工具22a鎖入於第1工具安裝孔23a。而且，藉由該第1工具22a的前端抵接於桿上端的桿前端壁14d後仍進一步鎖入，以使前述閥板3從前述閥桿4浮起，並使該閥板3上昇至安裝孔13的第1傾斜部13b1和安裝部14的第2傾斜部14b1不卡合的位置。此時前述閥板固定螺絲17，也可以從前述閥板3完全卸下。
接著，如第13圖所示般，將兩個的第2工具22b、22b鎖入於兩個的第2工具安裝孔23b、23b後，藉由兩手拿著該第2工具22b、22b來將閥板3拉起，如第14圖所示般，使前述閥板3從閥桿4分離，並且通過前述閥箱1的上表面的窗孔12往外部取出。而且，如第15圖所示般將前述各工具22a、22b從閥板3卸下後，將密封構件7進行更換。
密封構件7的更換結束的前述閥板3，再次安裝前述兩個的第2工具22b、22b，將該第2工具22b、22b以手持來收容於前述閥箱1內，使閥桿4的安裝部14嵌合於安裝孔13內後，藉由將前述第2工具22b、22b卸下，以前述六角扳手24將閥板固定螺絲17鎖入，固定於前述閥桿4。而且，藉由將蓋10以蓋安裝螺絲11安裝於前述閥箱1的上表面，如第7圖所示般，密封構件7的更換作業全部結束，前述閘閥成為可使用狀態。
在圖示的例子中，雖然使用具備附六角孔的螺絲頭的螺絲桿，作為前述工具22a、22b，但該工具也可以具備形成為橫寬的棒狀的把手，以及於側面形成防滑用的縱向凹槽的圓柱狀的把手，以代替前述螺絲頭。
1‧‧‧閥箱 1a‧‧‧側壁 2‧‧‧開口 3‧‧‧閥板 3a‧‧‧閥前面 3b‧‧‧閥背面 3c‧‧‧閥上表面 3d‧‧‧閥下表面 4‧‧‧閥桿 7‧‧‧密封構件 13‧‧‧安裝孔 13a‧‧‧孔前壁 13b‧‧‧孔後壁 13b1‧‧‧第1傾斜部 13b2‧‧‧第1平行部 13c‧‧‧孔側壁 13d‧‧‧孔端壁 13e‧‧‧入口 14‧‧‧安裝部 14a‧‧‧桿前壁 14b‧‧‧桿後壁 14b1‧‧‧第2傾斜部 14b2‧‧‧第2平行部 14c‧‧‧桿側壁 14d‧‧‧桿前端壁 14e‧‧‧基端部 17‧‧‧閥板固定螺絲 18‧‧‧螺絲插入孔 19‧‧‧螺絲孔 21‧‧‧氣孔 22a、22b‧‧‧工具 23a、23b‧‧‧工具安裝孔 W1、W2‧‧‧間隔 G1、G2‧‧‧間隙 H‧‧‧上下寬度
第1圖是適用本發明的閘閥的前視圖。 第2圖是沿第1圖的II-II線的部分擴大剖面圖。 第3圖是沿第2圖的III-III線的部分擴大剖面圖，且將圖的方向改變90度的圖。 第4圖是將閥板和閥桿及閥板固定螺絲分離表示的剖面圖。 第5圖是從正面側觀看將閥板固定於閥桿的狀態的立體圖。 第6圖是從背面側觀看第5圖的閥板以及閥桿的立體圖。 第7圖是將閥板取出前的閘閥的立體圖。 第8圖是將閥箱上表面的蓋卸下的狀態的閘閥的立體圖。 第9圖是將固定閥板和閥桿的閥板固定螺絲旋鬆時的閘閥的立體圖。 第10圖是第9圖的重要部位擴大剖面圖。 第11圖是以第1工具使閥板從閥桿浮起的途中的閘閥的立體圖。 第12圖是第11圖的重要部位擴大剖面圖。 第13圖是將第2工具安裝於閥板的狀態的閘閥的立體圖。 第14圖是將閥板從閥箱取出的狀態的閘閥的立體圖。 第15圖是從閥板將前述工具卸下的狀態的閘閥的立體圖。
3‧‧‧閥板
3a‧‧‧閥前面
3b‧‧‧閥背面
3c‧‧‧閥上表面
3d‧‧‧閥下表面
4‧‧‧閥桿
4a‧‧‧本體部
7‧‧‧密封構件
13‧‧‧安裝孔
13a‧‧‧孔前壁
13b‧‧‧孔後壁
13b1‧‧‧第1傾斜部
13b2‧‧‧第1平行部
13d‧‧‧孔端壁
13e‧‧‧入口
14‧‧‧安裝部
14a‧‧‧桿前壁
14b‧‧‧桿後壁
14b1‧‧‧第2傾斜部
14b2‧‧‧第2平行部
14d‧‧‧桿前端壁
14e‧‧‧基端部
17‧‧‧閥板固定螺絲
17a‧‧‧螺絲頭
17b‧‧‧軸部
17c‧‧‧螺絲部
18‧‧‧螺絲插入孔
18a‧‧‧大徑部
18b‧‧‧小徑部
18c‧‧‧鎖定部
19‧‧‧螺絲孔
20‧‧‧墊圈
21‧‧‧氣孔

Claims (7)

  1. 一種閥板對閥桿的安裝構造，是在構成為將安裝於閥桿的前端的閥板收容於閥箱內，將形成於該閥箱的側壁的開口以前述閥板進行開閉的閘閥中，用來以可將前述閥板朝該閥桿的軸線方向卸下方式安裝於在前述閥桿的前端，其特徵為：前述閥板，具有：安裝密封構件的閥前面、該閥前面的相反側的閥背面、閥上表面和閥下表面、以及形成於該閥下表面的安裝孔，前述安裝孔，形成朝閥板的左右方向細長的長孔狀，具有：位於前述閥前面側的孔前壁、位於前述閥背面側的孔後壁、左右的孔側壁、以及該安裝孔的深度方向的端部的孔端壁，前述閥桿具有插入於前述安裝孔的安裝部，該安裝部，具有：相對向於前述安裝孔的孔前壁的桿前壁、相對向於前述安裝孔的孔後壁的桿後壁、左右的桿側壁、以及相對向於前述安裝孔的孔端壁的桿前端壁，用來安裝將該閥板固定於閥桿的閥板固定螺絲的螺絲插入孔以及螺絲孔，是在該閥桿的軸線上，形成於前述閥板的閥上表面以及閥桿的桿前端壁，當已將前述安裝部插入前述安裝孔內並以前述閥板固定螺絲將前述閥板固定於閥桿時，前述桿後壁的局部抵接於前述孔後壁的局部，前述桿後壁之其餘的部分與前述孔 後壁之其餘的部分彼此形成非接觸，前述桿前壁和前述孔前壁間之相對的面，彼此形成緊貼。
  2. 如申請專利範圍第1項的閥板對閥桿的安裝構造，其中，前述孔前壁的局部，是前述安裝孔之入口側的部分，前述桿後壁的局部，是前述安裝部之基端部附近的部分。
  3. 如申請專利範圍第2項的閥板對閥桿的安裝構造，其中，前述安裝孔之孔後壁的局部及前述安裝部之桿後壁的局部，是彼此抵接的傾斜部，形成於前述安裝孔的孔後壁的第1傾斜部，是形成於從該安裝孔的深度方向的途中位置到該安裝孔的入口為止的部分，隨著靠近該入口而前述孔後壁和孔前壁的間隔逐漸朝擴展方向傾斜，形成於前述安裝部的桿後壁的第2傾斜部，是形成於從該安裝部的軸線方向的途中位置到該安裝部的基端部為止的部分，隨著靠近該基端部而前述桿後壁和桿前壁的間隔逐漸朝擴展方向傾斜。
  4. 如申請專利範圍第3項的閥板對閥桿的安裝構造，其中，前述安裝孔的孔後壁是在孔端壁和前述第1傾斜部之 間，具有與前述孔前壁平行的第1平行部，前述安裝部的桿後壁是在桿前端壁和前述第2傾斜部之間，具有與前述桿前壁平行的第2平行部，前述第1平行部的軸線方向寬度是比前述第2平行部的軸線方向寬度大。
  5. 如申請專利範圍第1、2、3、或4項的閥板對閥桿的安裝構造，其中，用來將前述螺絲孔內部的空氣往外部釋放的氣孔，以連通於該安裝部和前述安裝孔之間的間隙的方式，形成於前述閥桿的安裝部。
  6. 如申請專利範圍第1、2、3、或4項的閥板對閥桿的安裝構造，其中，為了藉由將由螺絲桿所構成的第1工具鎖入來將該閥板對於前述閥桿朝軸線方向位移，由螺絲孔所構成的第1工具安裝孔形成於前述閥板的閥上表面，該第1工具安裝孔，是在鄰接於前述閥上表面之前述螺絲插入孔且對應於前述閥桿的桿前端壁的位置，以從該閥上表面到達前述安裝孔的方式形成。
  7. 如申請專利範圍第1、2、3、或4項的閥板對閥桿的安裝構造，其中，為了安裝將該閥板朝軸線方向拉起並從前述閥桿卸下的第2工具，在前述閥板的閥上表面形成兩個第2工具安裝 孔，該兩個第2工具安裝孔是在隔著前述閥上表面之前述螺絲插入孔成為左右對稱的位置各形成一個。
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