JP2005291221A - 真空ゲートバルブ、バルブ板および多機能工具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】開口部3を閉止するバルブ板5を有する真空ゲートバルブにおいて、バルブロッド8に支持され、調整可能に取付けられたバルブ板5を開口部3を越えて移動させ、開口部3を囲むバルブシート4に押しつけることにより開口部3を閉止する。バルブ板5とバルブロッド8の接続部は、ラジアル軸受部12と回転角制限部13を備える。ラジアル軸受部12はバルブロッド軸11を中心にバルブロッド8に対しバルブ板5を回転可能にする。バルブ板5がバルブシート4に押し付けられたとき、バルブロッド軸11を中心のバルブ板の調整がバルブシート4に倣う。回転角制限部13はラジアル軸受部12により可能な回転を所定の角度範囲14に制限する。バルブ板5が開口部3を越えて移動するとき、過大な回転角によるバルブハウジング1とバルブ板5の接触が防止される。
【選択図】図4
Description
2 壁
3 開口部
4 バルブシート
5 バルブ板
6 栓受
7 シール面
8 バルブロッド
9 接続部
10 制御装置
11 バルブロッド軸
22 多機能工具
Claims (16)
- 開口部(3)と該開口部(3)を取り囲むバルブシート(4)を備える壁(2)を有するバルブハウジング(1)と、栓受(6)が形成され、該開口部(3)を閉止するためのシール面(7)を備えるバルブ板(5)と、バルブロッド(8)とを備え、該バルブ板(5)が該栓受(6)に係合する該バルブロッド(8)の接続部(9)を介し該バルブロッド(8)に取り外し可能に取付けられ、該バルブロッド(8)が制御装置(10)を介し支持され、該バルブ板(5)をバルブロッド軸(11)に沿うように該開口部(3)を越えて移動させ、該バルブシート(4)に対し該バルブ板(5)の該シール面(7)を押しつけて開口部(3)が閉止可能となるような方法により調整可能であるような真空ゲートバルブにおいて、該栓受(6)と該栓受(6)に係合する接続部(9)は、該バルブ板(5)が該バルブシート(4)に最初に押しつけられたときに該バルブロッド軸(11)についての該バルブ板(5)の調整が該バルブシート(4)に適合するように、該バルブロッド軸(11)についての該バルブロッド(8)に対する該バルブ板(5)の部分的回転を可能とするラジアル軸受部(12)と、該バルブ板(5)が該開口部(3)を越えて移動するとき、該バルブハウジング(1)と該バルブ板(5)の間で過大な回転角により接触が生じないよう所定の角度範囲(14)に対し該ラジアル軸受部(12)により可能な回転を制限する回転角制限部(13)を備えることを特徴とする真空ゲートバルブ。
- 上記回転を可能にする上記ラジアル軸受部(12)は、上記バルブロッド(8)の上記接続部(9)に円筒状の軸(12a)と上記バルブ板(5)の上記栓受(6)内に該円筒状の軸(12a)に嵌合する円筒状の穴(12b)として形成され、該円筒状の軸(12a)は該円筒状の穴(12b)にすきま嵌めあるいはとまり嵌めで摺動するよう支持されていることを特徴とする請求項1記載の真空ゲートバルブ。
- 上記所定の角度範囲(14)に対する上記回転角制限部(13)は、上記バルブロッド(8)の上記接続部(9)上の外部多角形部と、上記バルブ板(5)の上記栓受(6)内の該外部多角形部と嵌合する内部多角形部として形成され、回転が該所定の角度範囲(14)に制限されるよう、該内部多角形部が該外部多角形部に対し大きいことを特徴とする請求項1または2記載の真空ゲートバルブ。
- 上記外部多角形部が平行平面の外部面(13a´)を有する外部四角形部(13a)として形成され、上記内部多角形部が平行平面の内部面(13b´)を有する内部四角形部(13b)として形成されていることを特徴とする請求項3に記載の真空ゲートバルブ。
- 上記バルブロッド(8)の上記接続部(9)で、上記バルブロッド軸(11)に配置された第1のネジ穴(15)と、上記栓受(6)と該栓受(6)に対向する側部(17)の間の、該バルブロッド軸(11)に沿った上記バルブ板(5)内の貫通穴(16)と、該貫通穴(16)を貫通し、該第1のネジ穴(15)に係合するネジ(18)とを備え、該バルブ板(5)が該バルブロッド(8)に該バルブロッド軸(11)に沿って軸方向に、取り外し可能に固定されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載の真空ゲートバルブ。
- 上記バルブ板(5)が、上記バルブロッド軸(11)に沿って該バルブ板(5)に手動で力を加えるため、特に上記バルブロッド(8)から該バルブ板(5)を取り外すために、上記シール面(7)の反対側の側面(20)に形成された少なくとも一つのハンドル凹部(19)を備えることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の真空ゲートバルブ。
- 上記バルブ板(5)が、上記バルブロッド軸(11)に沿って該バルブ板(5)に手動で力を加えるため、特に上記バルブロッド(8)から該バルブ板(5)を取り外すための多機能工具(22)を収容するために、栓受(6)の反対側の側面(17)に形成された少なくとも一つの第2のネジ穴(21)を備え、上記ネジ(18)が、該バルブ板(5)の該第2のネジ穴(21)の谷の径よりも小さい対角長さに対応したレンチのサイズを有する六角穴付きネジとして形成されたことを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載の真空ゲートバルブ。
- 請求項7に記載の真空ゲートバルブの上記バルブロッド(8)に上記バルブ板(5)を取付け、取り外しするための上記多機能工具(22)において、持ち上げ力とトルクを手動で供給するハンドル(23)と、長く延びた直線状の軸(24)、特に円筒状の軸とを備え、該軸(24)の第1の端部が該ハンドル(23)に取り付けられ、該軸(24)の第2の端部には、その先端(25)で、外部六角部(26)が上記六角穴付きネジ(18)にトルクを手動で与えるために形成され、該外部六角部(26)に隣接する部分で、上記バルブロッド軸(11)に沿って該バルブ板(5)に手動で力を加えるため、特に該バルブロッド(8)から該バルブ板(5)を取り外すために、外部ネジ部(27)が該バルブ板(5)の上記第2のネジ穴(21)とネジ結合するために形成されており、該外部六角部(26)の対角長さが該外部ネジ部(27)の谷の径よりも小さいことを特徴とする多機能工具。
- 請求項7に記載の真空ゲートバルブと請求項8に記載の多機能工具とを備えることを特徴とする装置。
- 請求項1から7のいずれかに記載の真空ゲートバルブに使用されるバルブ板であって、バルブハウジング(1)の壁(2)の開口部(3)を閉止するための少なくとも一つのシールリング(32)を有するシール面(7)と、該シール面(7)に対しバルブ板(5)に横向きに形成され、バルブロッド(8)の接続部(9)と係合され、該バルブロッド(8)に該バルブ板(5)を取り外し可能に取付けるための栓受(6)とを備え、該バルブロッド(8)が制御装置(10)を介し支持され、該バルブ板(5)をバルブロッド軸(11)に沿うように該開口部(3)を越えて移動させ、該開口部(3)の周りを囲むバルブシート(4)に対し該シールリング(32)を有する該バルブ板(5)を押しつけて開口部(3)が閉止可能となるような方法により調整可能であるようなバルブ板(5)において、該栓受(6)は、該バルブ板(5)が該バルブシート(4)に最初に押しつけられたときに該バルブロッド軸(11)についての該バルブ板(5)の調整が該バルブシート(4)に適合するように、該バルブロッド軸(11)についての該バルブロッド(8)に対する該バルブ板(5)の部分的回転を可能とするラジアル軸受部(12)と、該バルブ板(5)が該開口部(3)を越えて移動するとき、該バルブハウジング(1)と該バルブ板(5)の間で過大な回転角により接触が生じないよう所定の角度範囲(14)に対し該ラジアル軸受部(12)により可能な回転を制限する回転角制限部(13)を備えることを特徴とするバルブ板。
- 回転を可能とする上記ラジアル軸受部(12)が、上記栓受(6)に円筒状の穴(12b)として形成され、それにより、該円筒状の穴(12b)に嵌合する上記バルブロッド(8)の上記接続部(9)上の円筒状の軸(12a)がすきま嵌めあるいはとまり嵌めで摺動して支持可能であることを特徴とする請求項10に記載のバルブ板。
- 回転を所定の角度範囲(14)に制限する回転角制限部(13)は、内部多角形部に嵌合する上記バルブロッド(8)の上記接続部(9)の外部多角形部を収容するために、上記栓受(6)内に該内部多角形部として形成され、該内部多角形部は、該回転が該所定の角度範囲(14)に制限されるような該外部多角形部と比べて大きな寸法を有することを特徴とする請求項10あるいは11に記載のバルブ板。
- 上記内部多角形部は、上記接続部(9)の上記外部多角形部を形成する平行平面の外部面(13a´)を有する外部四角形部(13a)を収容するために平行平面の内部面(13b´)を有する内部四角形部(13b)として形成されていることを特徴とする請求項12に記載のバルブ板。
- 上記バルブロッド(8)の上記接続部(9)の端部で、ほぼ上記バルブロッド軸(11)に配置された第1のネジ穴(15)に係合可能なネジ(18)を挿通するための、上記栓受(6)と該栓受(6)に対向する上記側部(17)の間の、上記バルブロッド軸(11)に沿った貫通穴(16)であり、それにより、上記バルブ板(5)が該バルブロッド軸(11)に沿って該バルブロッド(8)に軸方向に、取り外し可能に固定されることができることを特徴とする請求項10から13のいずれかに記載のバルブ板。
- 上記バルブロッド軸(11)に沿って上記バルブ板(5)に手動で力を加えるため、特に上記バルブロッド(8)から該バルブ板(5)を取り外すために、上記シール面(7)の反対側の側面(20)に形成された少なくとも一つのハンドル凹部(19)を備えることを特徴とする請求項10から14のいずれかに記載のバルブ板。
- 上記バルブロッド軸(11)に沿って該バルブ板(5)に手動で力を加えるため、特に上記バルブロッド(8)から該バルブ板(5)を取り外すため、多機能工具(22)を収容するために、上記栓受(6)の反対側の上記側面(17)に少なくとも一つの第2のネジ穴(21)を備えたことを特徴とする請求項10から15のいずれかに記載のバルブ板。
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