JP2001193849A

JP2001193849A - ゲートバルブ

Info

Publication number: JP2001193849A
Application number: JP2000005269A
Authority: JP
Inventors: Toshiaki Iwabuchi; 俊昭岩淵
Original assignee: Benkan Corp
Current assignee: Benkan Corp
Priority date: 2000-01-05
Filing date: 2000-01-05
Publication date: 2001-07-17

Abstract

(57)【要約】【課題】弁棒の支持構造の簡素化を図り、組立作業を
容易に、かつ迅速に行うことができ、しかも、コストの
低下を図ることができる。【解決手段】開口２部を有し、開口部２の周囲に弁座
３を有する弁箱１の支持板８に軸受シールユニット１３
を設ける。軸受シールユニット１３に弁棒１２を軸方向
に移動可能に、かつ回動可能に挿通させて支持する。弁
棒１２の先端部に弁体３２を取付け、弁体３２を弁座３
に当接させ、若しくは弁座３から離隔させて開口部２を
開閉させる。弁箱１外に駆動手段３８を設ける。駆動手
段３８は、弁体３２を開口部２に対向する前進位置と開
口部２の軸心に対する直角方向の後退位置とに移動させ
るとともに、弁体３２の前進位置で弁体３２により開口
部２を開閉させるように、弁棒３２および弁体３２を弁
棒１２の軸方向に移動させるとともに、弁棒１２および
弁体３２を回動させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体ウ
エハ、液晶等の製造装置において、半導体ウエハ、液晶
等を各処理室に出し入れする通路を開閉するためなどに
用いるゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種のゲートバルブとしては、
処理室に不純物が侵入するのを防止する必要があり、例
えば、特開平７−８３３３６号公報、特開平８−１２８
５４２号公報等に記載されているように、弁棒および弁
体を作動させる機構部材を弁箱外に設けた構成が知られ
ている。このようなゲートバルブの構成について概略説
明すると、開口部を有し、この開口部の周囲に弁座を有
する弁箱に弁棒が挿通され、弁箱と弁棒における弁箱外
への突出部との間にベローズが取付けられ、弁棒には弁
箱内において弁座に当接し、若しくは弁座から離隔して
開口部を開閉するための弁体が固定され、弁体を開口部
に対向する前進位置と開口部の軸心に対する直角方向の
後退位置とに移動させるとともに、弁体を前進位置で開
口部を開閉させるように案内手段および駆動手段により
弁棒および弁体を弁棒の軸方向に移動させ、かつ弁棒お
よび弁体を回動させるように構成されている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来例のゲートバルブでは、弁棒および弁体の移
動および回動を案内する手段が、弁棒の両側で弁棒とシ
リンダ装置とに設ける必要があるため、案内構造が複雑
となり、組立作業にも手数を要する。

【０００４】ところで、上記のようなゲートバルブは、
一般的には弁箱を上方に配置して使用するが、上記のよ
うに弁箱と弁棒とをベローズによりシールすると、破損
したウエハの破片やガスが弁箱における弁棒の挿通空間
からベローズ内に入る。ウエハの破片等をベローズ内か
ら除去したり、ベローズを交換するには、駆動手段およ
び案内手段の全体を弁箱から取外さなければならず、し
かも、その取外し作業は弁箱の下側で行わなければなら
ないため、交換やメンテナンスの作業に多くの時間や手
数を要する。

【０００５】本発明の目的は、上記のような従来の問題
を解決しようとするものであって、弁棒を弁箱に軸方向
に移動可能に、かつ回動可能に支持するようにし、弁棒
の支持構造の簡素化を図ることができ、したがって、組
立作業を容易に、かつ迅速に行うことができ、しかも、
コストの低下を図ることができるようにしたゲートバル
ブを提供するにある。

【０００６】本発明の他の目的は、弁棒を弁箱に対して
シール状態に支持する手段を弁箱の内側から取り外すこ
とができるようにして交換やメンテナンスの作業に要す
る時間や手数を少なく抑えることができるようにしたゲ
ートバルブを提供するにある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明のゲートバルブは、開口部を有し、この開口部
の周囲に弁座を有する弁箱に先端側から挿入される弁棒
と、この弁棒の先端部に取付けられ、上記弁座に当接
し、若しくは上記弁座から離隔して上記開口部を開閉す
る弁体と、上記弁棒を上記弁箱に対してシール状態で軸
方向に移動可能に、かつ回動可能に支持するシールおよ
び支持手段と、上記弁箱外に設けられ、上記弁対を上記
開口部に対向する前進位置と上記開口部の軸芯に対する
直角方向の後退位置とに移動させるとともに、上記弁体
の上記前進位置で上記弁体により上記開口部を開閉させ
るように、上記弁棒および上記弁体を上記弁棒の軸方向
に移動させるとともに、上記弁棒および上記弁体を回動
させる駆動手段とを備えたものである。

【０００８】上記課題を解決するために本発明の他のゲ
ートバルブは、上記構成において、弁体が弁棒に取外し
可能に取付けられ、シールおよび支持手段の少なくとも
弁箱内側部分がこの弁箱内側から取外し可能に取付けら
れるものである。

【０００９】そして、上記構成において、シールおよび
支持手段として、弁箱の取付け穴にシール状態で上記弁
箱内側から少なくとも一部を取外すことができるように
取付けられ、球面状に凹入された内面を有する分割型の
ハウジングと、このハウジングの球面状内面に沿って回
転し得る球面状外面を有し、中央部に弁棒を軸方向に移
動可能に挿通させる貫通穴を有し、上記ハウジング内側
に取外し可能で回転可能に支持される回転体と、上記ハ
ウジングの球面状内面と上記回転体の球面状外面との少
なくとも一方に形成された係合溝と、この係合溝に係合
され、上記ハウジングと上記回転体とシールするシール
部材と、上記回転体の貫通穴内壁面に形成された係合溝
と、この係合溝に係合され、上記回転体と上記弁棒とを
シールするシール部材とを備えた軸受シールユニットに
より構成することができる。

【００１０】また、上記シールおよび支持手段として、
弁箱の取付け穴に取付けられ、球面状に凹入された内面
を有するハウジング、このハウジングの球面状内面に沿
って回転し得る球面状外面を有し、中央部に弁棒を軸方
向に移動可能に挿通させる貫通穴を有し、上記ハウジン
グの内側に回転可能に支持される回転体を備えた軸受ユ
ニットと、上記弁箱内で上記弁棒の外周部に設けられ、
上記弁箱の内部を外部に対してシールするベローズとか
ら構成することができる。

【００１１】または上記シールおよび支持手段として、
弁箱の取付け穴に取付けられ、球面状に凹入された内面
を有するハウジング、このハウジングの球面状内面に沿
って回転し得る球面状外面を有し、中央部に弁棒を軸方
向に移動可能に挿通させる貫通穴を有し、上記ハウジン
グの内側に回転可能に支持される回転体を備えた軸受ユ
ニットと、上記弁箱内で上記弁棒の外周部に取外し可能
に設けられ、上記弁箱の内部を外部に対してシールする
ベローズとから構成することができる。

【００１２】または上記シールおよび支持手段として、
弁箱の取付け穴に取付けられ、球面状に凹入された内面
を有するハウジング、このハウジングの球面状内面に沿
って回転し得る球面状外面を有し、中央部に弁棒を軸方
向に移動可能に挿通させる貫通穴を有し、上記ハウジン
グの内側に回転可能に支持される回転体を備えた軸受ユ
ニットと、上記弁箱外で上記弁棒の外周部に設けられ、
上記弁箱の内部を外部に対してシールするベローズとか
ら構成することができる。

【００１３】または上記シールおよび支持手段として、
弁箱の取付け穴に取付けられ、球面状に凹入された内面
を有するハウジング、このハウジングの球面状内面に沿
って回転し得る球面状外面を有し、中央部に弁棒を軸方
向に移動可能に挿通させる貫通穴を有し、上記ハウジン
グの内側に回転可能に支持される回転体を備えた軸受ユ
ニットと、上記弁箱外で上記弁棒の外周部に取外し可能
に設けられ、上記弁箱の内部を外部に対してシールする
ベローズとから構成することができる。

【００１４】また、上記のようにベローズを取外し可能
とする構成においては、ハウジングを、弁箱の内側から
少なくとも一部を取外し、回転体を取外すことができる
ように分割型に形成して上記弁箱の取付け穴に取り付け
ることができる。

【００１５】また、上記各構成における駆動手段とし
て、弁箱外に設けられるシリンダ装置と、弁体を弁座か
ら離隔させるように弁棒および上記弁体を付勢するばね
と、上記シリンダ装置の作動により上記弁体を開口部に
対向する前進位置と上記開口部の軸心に対する直角方向
の後退位置とに移動させる間においては、上記弁体を上
記弁座から離隔させるように上記弁棒および上記弁体を
上記ばねの弾性により保持させ、上記弁体を上記開口部
に対向させた前進位置において、上記シリンダ装置の作
動により上記弁棒および上記弁体を上記ばねの弾性に抗
して回動させ、上記弁体を上記弁座に当接させることが
できる回動手段とを備えることができる。

【００１６】また、上記各構成において、弁体を開口部
に対向させた前進位置で回転体に係合して上記弁体およ
び弁棒の前進を規制するためのストッパを上記弁棒に備
えることができる。

【００１７】上記のように構成された本発明によれば、
弁体および弁棒が弁棒の軸方向に移動し得るように、か
つ回動し得るように、弁棒を弁箱に対して支持手段によ
り支持しているので、支持手段は弁箱における弁棒の挿
通部に取付けるだけでよく、構成の簡素化を図ることが
できる。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態について
図面を参照しながら説明する。まず、本発明の第１の実
施形態ついて説明する。図１ないし図６は本発明の第１
の実施形態に係るゲートバルブを示し、図１は弁箱の開
口部を開放した状態の中央部縦断正面図、図２は弁箱の
開口部を弁体により閉じた状態の中央部縦断正面図、図
３は弁箱の開口部を開放した図１と同様の状態の中央部
縦断側面図、図４は弁箱の開口部に弁体を対向させた前
進規制状態の中央部縦断側面図、図５は弁箱の開口部を
弁体により閉じた図２と同様の状態の中央部縦断側面
図、図６は図１おける弁棒のシールおよび支持手段部分
の拡大図である。

【００１９】図１ないし図６に示すように、弁箱１はガ
ス流路用の開口部２を有し、開口部２の周囲に弁座３が
形成されている。本実施形態における弁座３は、開口部
２の周囲に形成された蟻溝状の係合溝４にゴム等の弾性
材から成るシール材５が圧入されて抜け止め状態に保持
されている。弁箱１の底板６には開口部７が形成され、
底板６の外側面には開口部７を閉塞するように支持板８
がねじ９により取外し可能に取付けられている。支持板
８の内側面には開口部７の周縁部に位置して係合溝１０
が形成され、係合溝１０にゴム等の弾性材から成るシー
ル材１１が係合され、シール材１１が係合溝１０と底板
６の外側面とに圧接されて底板６と支持板８とがシール
されている。支持板８には一対の弁棒１２が挿通され、
各弁棒１２は支持板８に対して軸受シールユニット１３
によりシール状態で軸方向に移動可能に、かつ回動可能
に支持される。本実施形態においては、軸受シールユニ
ット１３により弁箱１と弁棒１２とのシール機能および
弁箱１に対する弁棒１２の支持機能とが兼用されてい
る。

【００２０】軸受シールユニット１３の一例について説
明すると、ハウジング１４は全体として円筒状に形成さ
れ、その内側に凹入された球面状内面１５を有し、軸心
に対して直角方向の面で中央部において二分割されてい
る。そして、一方の分割片が支持板８の取付け穴１６に
嵌合状態に挿入されている。取付け穴１６はその軸心方
向の中間部において弁箱１の内部側より外部側がやや小
径となる段差部１７を有し、この段差部１７により分割
片が外方へ抜け止めされている。他方の分割片は一部が
取付け穴１６に挿入されて大部分が取付け穴１６から弁
箱１の開口部７内に突出されるか、若しくは全体が取付
け穴１６外で開口部７内に突出されている。回転体１８
は球面状外面１９を有し、中央部に貫通穴２０を有し、
球面状外面１９がハウジング１４の両分割片の球面状内
面１５に跨って取外し可能で回転し得るように支持され
ている。クランプ部材２１はその両端部がねじ２２によ
り支持板８の内側面に取外し可能に取付けられ、中間部
の外部側に一対形成された大径穴２３がハウジング１４
における弁箱１内への突出部に嵌合されている。クラン
プ部材２１には大径穴２３に続いて内部側に小径穴２４
が形成され、大径穴２３と小径穴２４との段差部２５に
よりハウジング１４が弁箱１の内方へ抜け止めされてい
る。

【００２１】回転体１８の貫通穴２０の径は弁棒１２の
外径とほぼ等しくなるように設定され、ハウジング１４
の上下の開放部の内径およびクランプ部材２１の小径穴
２４の径は弁棒１２の外形よりやや大きくなるように設
定されている。そして、弁棒１２はハウジング１４の開
放部、回転体１８の貫通穴２０、クランプ部材２１の小
径穴２４に挿通され、貫通穴２０に沿って軸方向に移動
可能に支持されるようになっている。

【００２２】ハウジング１４における外部側分割片の外
周面には環状の係合溝２６が形成され、係合溝２６にゴ
ム等の弾性材から成るシール材であるＯリング２７が係
合され、Ｏリング２７が係合溝２６と取付け穴１６の周
壁とに圧接されて両者間がシールされている。ハウジン
グ１４における両分割片間の空所２８にゴム等の弾性材
から成るシール材であるＯリング２９が挿入され、Ｏリ
ング２９が支持板８における取付け穴１６の壁面と回転
体１８の球面状外面１９とに圧接されて支持板８、ハウ
ジング１４、回転体１８との間がそれぞれシールされて
いる。回転体１８の貫通穴２０の周壁には環状の係合溝
３０が一条、若しくは複数条（図示例では２条）形成さ
れ、各係合溝３０にゴム等の弾性材から成るシール材で
あるＯリング３１が係合され、Ｏリング３１が係合溝３
０と弁棒１２の外周面とに圧接されて両者間がシールさ
れている。したがって、弁棒１２はＯリング３１により
シールされた状態で貫通穴２０に沿って軸方向に移動さ
れ、Ｏリング２９によりシールされた状態で回転体１８
と共にハウジング１４の球面状内面１５に沿って回動さ
れる。

【００２３】両弁棒１２における弁箱１内の先端部（上
端部）には弁体３２の中間部に一対形成された穴３３が
嵌合され、各穴３３に連通して反対側にねじ取付け穴３
４が形成され、ねじ取付け穴３４からねじ３５が弁棒１
２の先端部に軸心方向に形成されたねじ穴３６に螺入さ
れることにより、弁体３２が弁棒１２に取外し可能に取
り付けられている。そして、弁棒１２が上記のように軸
受シールユニット１３により軸方向への移動を案内され
ることにより、弁体３２が開口部２に対向する前進位置
（図４参照）と、開口部２に対する直角方向の後退位置
（図１、図３参照）とに移動されるようになっている。
また、弁棒１２が上記のように軸受シールユニット１３
により回動を案内されることにより、弁体３２が上記前
進位置で開口部２を開閉し得るようになっている。弁体
３２による開口部２の閉塞時において、弁体３２の回動
支点が弁座２の延長線上にないため、弁体３２における
開口部２側の面が弁棒１２側に至るに従い、次第に緩や
かに弁座３側へ近付くように傾斜されるなどにより、弁
体３２が弁座３の全周に均一な圧接力で確実に接触さ
れ、開口部２が確実に閉塞されるようになっている。ま
た、上記のように弁体３２を開口部２に対向させた前進
位置で弁棒１２の中間部に形成された係合部３７が回転
体１８に係合され、弁体３２および弁棒１２が前進規制
されるようになっている。

【００２４】上記のような弁棒１２および弁体３２の移
動および回動については弁箱１外に設けられた駆動手段
３８により行われる。その一例について説明すると、弁
棒１２の外側方において支持フレーム４０の一対の側板
４１がねじ４２等により支持板８に取外し可能に取付け
られ、支持フレーム４０における側板４１の端部間に渡
された支持板４３にエアシリンダ４４のシリンダ本体４
５の頂部が取り付けられ、エアシリンダ４４のピストン
ロッド４６が支持板４３に形成された穴４７に挿通され
て伸縮されるようになっている。ピストンロッド４６の
先端にはホルダ４８がねじ４９等により取外し可能に取
付けられ、ホルダ４８の両側には案内ローラ５０が水平
方向の軸により回転可能に支持されている。各案内ロー
ラ５０は各側板４１にピストンロッド４６の軸心方向に
沿って形成された案内溝５１に案内されるようになって
いる。

【００２５】両弁棒１２の基端部（下端部）はホルダ５
２の基部両側部に螺着等により取外し可能に取付けら
れ、ホルダ５２の両側突出部にはその内側に位置してロ
ーラ５３が水平方向の軸５４により回転可能に支持され
ている。ホルダ４８の両側部にはローラカム５５がねじ
５６等により取外し可能に、かつ位置調整可能に取付け
られている。各ローラカム５５のカム溝５７は、ローラ
５３を係合する円弧状の係合部５７ａに続いてローラ５
３を乗り越えさせる頂点部５７ｂにより緩やかに屈折す
る傾斜面５７ｃに形成されている。ホルダ５２の基部中
央部にはブラケット５８の基部がねじ５９等により取付
けられ、ブラケット５８の先端部（下端部）にはばね掛
け６０が取付けられている。両ローラカム５５間にはば
ね掛け６１が取り付けられている。両ばね掛け６０、６
１間には引張ばね６２が１本、若しくは複数本（図示例
では２本）掛けられてホルダ５２、ローラカム５５間に
引張ばね６２が張設され、この引張ばね６２の引張力に
よりローラ５３がローラカム５５のカム溝５７における
係合部５７ａ等の側に対して付勢されている。すなわ
ち、引張ばね６２により弁棒１２、弁体３２等が開口部
２の開放側へ付勢されている。

【００２６】そして、エアシリンダ４４のピストンロッ
ド４６の伸縮に伴ってホルダ４８、ローラカム５５が前
進、後退するに際し、ローラカム５５の係合部５７ａが
ローラ５３に係合された状態（図３、図４参照）で、弁
体３２および弁棒１２が上記のように弁棒１２の軸方向
に沿って移動され、開口部２１に対向する前進位置と後
退位置とに移動され、ローラ５３をローラカム５５の係
合部５７ａから頂点部５７ｂ上に位置させ、若しくは頂
点部５７ｂから傾斜面５７ｃへ僅かに低くなる位置に乗
り越えさせた状態（図５参照）で、弁体３２および弁棒
１２が上記のように回動され、弁体３２が開口部２を閉
塞し得るように設定されている。

【００２７】以上の構成において、以下、開口部２の開
閉動作について説明する。今、図１、図３に示すよう
に、エアシリンダ４４のピストンロッド４６が縮められ
てホルダ４８、ローラカム５５等が後退（下降）し、引
張ばね６２によりローラ５３がローラカム５７の係合部
５７ａに付勢された状態でローラ５３、ホルダ５２、弁
棒１２、弁体３２等が後退（下降）し、開口部２が開放
された状態に保持されているものとする。

【００２８】この状態から図４に示すように、エアシリ
ンダ４４のピストンロッド４６を伸長させ、ホルダ４
８、ローラカム５５等を案内ローラ５０と案内溝５１と
の案内（図２、図５参照）により前進（上昇）させる。
このとき、引張ばね６２の引張力によりローラ５３がカ
ム溝５７の係合部５７ａに係合状態に保持されているの
で、ローラ５３、ホルダ５２、弁棒１２、弁体３２等が
上記のように軸受シールユニット１３の案内より、弁体
３２を弁座３から少し離した位置で弁軸１２の軸方向、
すなわち、ピストンロッド４６の軸方向に沿って移動す
る。弁体３２が開口部２に対向する位置まで前進する
と、弁棒１２の係合部３７が軸受シールユニット１３の
回転体１８に係合し、ローラ５３、ホルダ５２、弁棒２
１、弁体３２等が前進規制される。

【００２９】続いて、図２、図５に示すように、エアシ
リンダ４４のピストンロッド４６を伸長させ、ホルダ４
８、ローラカム５５等を案内ローラ５０と案内溝５１と
の案内により前進させると、上記のようにローラ５３、
ホルダ５２、弁棒１２、弁体３２等が前進規制されてい
るので、ローラ５３を引張ばね６２の引張力に抗してカ
ム溝５７の係合部５７ａから頂点部５７ｂ上、若しくは
頂点部５７ｂを傾斜面５７ｃ側へ僅に乗り越えさせて水
平方向へ移動させる。これに伴い、ホルダ５２、弁棒１
２、弁体３２等を上記のように軸受シールユニット１３
を支点として回動させ、弁体３２を水平方向に移動させ
て弁座３に密着させ、開口部２をシール状態に閉塞する
ことができる。上記のようにローラ５３、ホルダ５２、
弁棒１２、弁体３２等を回動させる際、エアシリンダ４
４のピストンロッド４６、ホルダ４８、ローラカム５５
側は、ホルダ４８に支持した案内ローラ５０と支持フレ
ーム４０の案内溝５１とでピストンロッド４６の軸方向
に沿って直線状に移動させるように案内し、斜め方向か
ら荷重が加わらないようにピストンロッド４６等を円滑
に作動させることができる。

【００３０】また、ローラ５３をカム溝５７の頂点部５
７ｂに位置させた弁体３２による開口部２の閉塞状態
で、弁体３２の推力が最大となり、弁棒１２等の弾性に
よりシール荷重を保持するように設定しておくことによ
り、ローラ５３がカム溝５７の頂点部５７ｂ上に位置す
る場合には、弁体３２による開口部２の閉塞状態で弁体
３２の推力を維持することができ、また、ローラ５３が
カム溝５７の頂点部５７ｂから僅に低くなる傾斜面５７
ｃ側に位置する場合にも、弁体３２による開口部２の閉
塞状態で弁体３２の推力をほとんど弱めないようにする
ことができ、弁体３２により開口部２を確実にシールし
た閉塞状態で弁体３２をロックすることができる。

【００３１】これとは逆に、開口部２を開放するには、
図２、図５に示す状態でエアシリンダ４４のピストンロ
ッド４６を縮め、ホルダ４８、ローラカム５５等を案内
ローラ５０と案内溝５１との案内により後退させる。こ
の後退に伴い、まず、図４に示すように、ロックローラ
５５のカム溝５７における頂点部５７ｂ上に位置し、若
しくは頂点部５７ｂを僅に傾斜面５７ｃ側に乗り越えて
いるローラ５３が引張ばね６２の引張力により係合部５
７ａに落ち込んで係合する。これに伴い、ホルダ５２、
弁棒１２、弁体３２等が軸受シールユニット１３の案内
により上記とは逆方向に回動し、弁体１２の軸がピスト
ンロッド４６の軸とほぼ平行となり、弁体３２が弁座３
から離隔して開口部２を開放する。

【００３２】続いて、上記のようにローラ５３が引張ば
ね６２の引張力によりローラカム５５のカム溝５７にお
ける係合部５７ａに係合されているので、図１、図３に
示すように、ローラ５３、ホルダ５２、弁棒１２、弁体
３２等がホルダ４８、ローラカム５５等の後退と共に、
軸受シールユニット１３の案内により弁棒１２の軸方向
に沿って後退する。

【００３３】そして、上記のようにエアシリンダ４４の
作動により弁体３２が開口部２の開放状態で前進、後退
する間、ローラ５３が引張ばね６２の引張力によりカム
溝５７の係合部５７ａに係合し、ローラ５３がカム溝５
７の頂点部５７ｂに乗り上げ、若しくは頂点部５７ｂを
乗り越えなければ弁棒１２、弁体３２等を回動させて開
口部２を閉塞することができないようになっている。し
たがって、ローラ５３が頂点部５７ｂに乗り上げ、若し
くは頂点部５７ｂを乗り越える荷重が大きくなるので、
引張ばね６２の引張力が小さくても、弁体３２等の自重
と慣性で弁体３２が開口部２に対向する以前に開口部２
の閉塞位置へ回動するのを防止し、シール材５を弁体３
２でこすらないようにすることができる。また、弁体３
２で開口部２を閉塞する際、ローラ５３がカム溝５７に
おける頂点部５７ｂに乗り上げ、若しくは頂点部５７ｂ
を乗り越えることにより、弁体３２の締め付け推力を大
きくすることができ、エアシリンダ４４の操作圧力がな
くても弁体３２を開口部２の閉塞状態でロックすること
ができる。

【００３４】使用に伴って、軸受シールユニット１３に
おけるＯリング２６、２９、３１等の変換を必要とする
場合には、弁箱１側において、まず、ねじ３５を緩めて
弁体３２を弁棒１２から外す。次に、ねじ２２を緩めて
クランプ部材２１を支持板８および弁棒１２から外す。
次に、ハウジング１４の一方の分割片、回転体１８、ハ
ウジング１４の他方の分割片をＯリング２６、２９、３
１と共に、順次、支持板８の取付け穴１６および弁棒１
２から外す。次に、古いＯリング２６、２９、３１を新
しいＯリング２６、２９、３１に交換する。次にハウジ
ング１４の分割片、回転体１８、ハウジング１４の分割
片の順で弁棒１２に嵌め、弁棒１２に沿って移動させて
ハウジング１４の分割片を支持板８の取付け穴１６に挿
入するとともに、ハウジング１４内に回転体１８を収め
る。次に、クランプ部材２１を弁棒１２に嵌め、弁棒１
２に沿って移動させ、穴２３をハウジング１４の突出部
に嵌める。次に、クランプ部材２１をねじ２２により支
持板８に固定状態に取付ける。その後、弁棒１２の先端
部に弁体３２をねじ３５により取付ける。なお、軸受シ
ールユニット１３は回転体１８をハウジング１４内に収
めた状態で取付け穴１６に挿入することもできる。ま
た、ハウジング１４と回転体１８等の全体を変換するこ
ともできる。

【００３５】本実施形態によれば、弁体３２および弁棒
１２が弁棒１２の軸方向に移動し得るように、かつ回動
し得るように、弁棒１２を弁箱１に対して軸受シールユ
ニット１３により支持しているので、軸受シールユニッ
ト１３は弁箱１における弁棒１２の挿通部に取付けるだ
けでよく、構成の簡素化を図ることができる。したがっ
て、組立作業を容易に、かつ迅速に行うことができる。
また、軸受シールユニット１３は弁箱１側から交換する
ことができるので、交換、メンテナンス等の作業を短時
間で、しかも、能率よく行うことができる。したがっ
て、軸受シールユニット１３等の交換、メンテナンス等
に要するコストの低下を図ることができる。また、軸受
シールユニット１３は弁箱１に対して弁棒１２をシール
状態で軸方向に移動可能に、かつ回動可能に支持するの
で、弁箱１に対して弁棒１２を簡単にシール状態で挿通
させることができ、しかも、上記のような従来例の高価
なベローズに比べて低コスト化を図ることができる。更
に、弁棒１２に形成した係合部３７を軸受シールユニッ
ト１３の回転体１８に係合することにより、弁体３２が
開口部２に対応する弁体３２および弁棒１２の前進位置
を規制するので、上記従来例のようにストッパ機構を有
する案内手段を弁棒の両側に設ける場合に比べて構成の
簡素化を図り、低コスト化を図ることができる。

【００３６】次に、本発明の第２の実施形態について説
明する。図７ないし図９は本発明の第２の実施形態に係
るゲートバルブを示し、図７は弁箱の開口部を開放した
状態の中央部縦断正面図、図８は同状態の中央部縦断側
面図、図９は図７における弁棒のシールおよび支持手段
部分の拡大図である。

【００３７】上記第１の実施形態にあっては、弁体３２
を二本の弁棒１２等を用いて作動させるように構成して
いるが、本実施形態にあっては、弁体３２を一本の弁棒
１２等を用いて作動させるように構成している点におい
て構成を異にするので、上記第１の実施形態と同じ構成
については同一符号を付してその説明を省略し、主とし
て異なる構成について説明する。

【００３８】本実施形態においては、図７ないし図９に
示すように、一本の弁棒１２が弁箱１の支持板８に軸受
シールユニット１３により軸方向に沿って移動可能に、
かつ回動可能に挿通状態で支持されている。弁棒１２に
おける弁箱１内の先端部には弁体３２の中央部に形成さ
れた穴３３が嵌合され、穴３３の反対側に形成されたね
じ取付け穴３４からねじ３５が弁棒１２のねじ穴３６に
螺入されている。弁棒１２の先端部には軸心と直角方向
に貫通穴６３が形成され、貫通穴６３に挿通されたピン
６４が弁体３２にねじ取付け穴３４の反対側で形成され
た凹所６５に挿入され、上記ねじ３５による締付けによ
りピン６４が凹所６５におけるねじ取付け穴３４側の位
置決め面に係合されることにより、弁体３２が弁棒１２
および開口部２に対して適正な姿勢となるように取付け
られている。弁棒１２の基端部は駆動手段３８における
ホルダ５２の基部中央部に取外し可能に取付けられる。
その一例として、弁棒１２の基端部がホルダ５２の基部
中央部に形成された穴６６に挿入され、ホルダ５２の基
部に穴６６と直角方向で連通状態で形成されたねじ穴６
７にねじ６８が螺入され、ねじ６８の先端が弁棒１２の
基端部に形成された溝６９に係合されることにより、弁
棒１２の基端部がホルダ５２の基部中央部に取外し可能
に取付けられている。また、軸受けシールユニット１３
におけるハウジング１４と回転体１８との間をシールす
るＯリング２９は、ハウジング１４の各分割片に対応し
て回転体１８の外周面に形成された係合溝７０に係合さ
れている。

【００３９】本実施形態によれば、上記第１の実施形態
における利点に加え、弁棒１２を一本のみ用いるので、
軸受シールユニット１３等の構成の簡素化を図ることが
でき、一層、製作コストの低減を図ることができる。

【００４０】次に、本発明の第３の実施形態について説
明する。図１０は本発明の第３の実施形態に係るゲート
バルブを示し、中心線の両側でそれぞれ弁箱の開口部を
開放し、弁箱の開口部を閉塞した状態の中央部縦断正面
図である。

【００４１】上記第１の実施形態にあっては、エアシリ
ンダ４４のピストンロッド４６を伸長させることによ
り、弁体３２等を前進させるとともに、回動させて開口
部２を閉塞し、ピストンロッド４６を縮めることによ
り、弁体３２等を回動させて開口部２を開放するととも
に、後退させるように構成しているが、本実施形態にお
いては、エアシリンダ４４を上記とは逆向きに配置した
点において構成を異にするので、上記第１の実施形態と
同じ構成については同一符号を付してその説明を省略
し、主として異なる構成について説明する。

【００４２】本実施形態においては、図１０に示すよう
に、一対の弁棒１２の間において、エアシリンダ４４の
シリンダ本体４５の底部が支持板８に取付けられ、ピス
トンロッド４６の先端にホルダ４８がねじ等により取外
し可能に取付けられている。また、一対の弁棒１２間に
エアシリンダ４４が配置されることにより、一対の弁棒
１２の間隔が広くなるので、クランプ部材２１が弁棒１
２ごとに分割されている。また、一対の弁棒１２間にエ
アシリンダ４４が配置されることにより、ホルダ５２が
弁棒１２ごとに分割され、ホルダ５２とローラカム５５
とに突設されたばね掛け７１と７２とに引張ばね６２が
掛けられてホルダ５２、ローラカム５５間に引張ばね６
２が張設されている。そして、エアシリンダ４４のピス
トンロッド４６を縮めることにより、上記第１の実施形
態と同様にして弁棒１２、弁体３２等を前進させ、続い
て、前進限で回動させ、弁体３２により開口部２を閉塞
することができる。これとは逆に、エアシリンダ４４の
ピストンロッド４６を伸ばすことにより、上記第１の実
施形態と同様にして弁棒１２、弁体３２等を回動させて
開口部２を開放させ、続いて、後退させることができ
る。

【００４３】本実施形態においても、上記第１の実施形
態と同様の利点を有する。

【００４４】次に、本発明の第４の実施形態について説
明する。図１１は本発明の第４の実施形態に係るゲート
バルブを示し、中心線の両側でそれぞれ弁箱の開口部を
開放し、弁箱の開口部を閉塞した状態の中央部縦断正面
図である。

【００４５】上記第２の実施形態にあっては、エアシリ
ンダ４４のピストンロッド４６を伸長させることによ
り、弁体３２等を前進させるとともに、回動させて開口
部２を閉塞し、ピストンロッド４６を縮めることによ
り、弁体３２等を回動させて開口部２を開放するととも
に、後退させるように構成しているが、本実施形態にお
いては、エアシリンダ４４を上記とは逆向きに配置する
とともに、エアシリンダ４４を一対用いてホルダ４８、
ローラカム５５等の前進、後退を案内する案内ローラ５
０、案内溝５１等を不要とした点において構成を異にす
るので、上記第２の実施形態と同じ構成については同一
符号を付してその説明を省略し、主として異なる構成に
ついて説明する。

【００４６】本実施形態においては、図１１に示すよう
に、一本の弁棒１２の両側において、エアシリンダ４４
のシリンダ本体４５の底部が支持板８の外側面に取付け
られ、ピストンロッド４６の先端間にヨーク７３の両端
部が取付けられ、ヨーク７３の中間部にローラカム５５
がねじ５６等により取外し可能に取付けられている。そ
して、エアシリンダ４４のピストンロッド４６を縮める
ことにより、上記第１、第２の実施形態と同様にして弁
棒１２、弁体３２等を前進させ、続いて、前進限で回動
させ、弁体３２により開口部２を閉塞することができ
る。これとは逆に、エアシリンダ４４のピストンロッド
４６を伸ばすことにより、上記第１、第２の実施形態と
同様にして弁棒１２、弁体３２等を回動させて開口部２
を開放させ、続いて、後退させることができる。

【００４７】本実施形態においては、弁棒１２の両側に
一対のエアシリンダ４４を配置し、しかも、弁棒１２、
弁体３２等を前進させて回動させるためにエアシリンダ
４４に大きな負荷が加わる際にエアシリンダ４４のピス
トンロッド４６を縮めるようにしているので、ピストン
ロッド４６に撓むように負荷が作用するおそれはなく、
上記各実施形態における案内ローラ５０、案内溝５１、
ホルダ４８等は不要となる。したがって、本実施形態に
おいては、上記第２の実施形態と同様の利点に加え、構
成の簡素化を図り、製作コストの低減を図ることができ
る利点を有する。

【００４８】次に、本発明の第５の実施形態について説
明する。図１２は本発明の第５の実施形態に係るゲート
バルブを示し、中心線の両側でそれぞれ弁箱の開口部を
開放し、弁箱の開口部を閉塞した状態の中央部縦断正面
図である。

【００４９】上記第１の実施形態にあっては、弁棒１２
を軸受シールユニット１３により、弁箱１と弁棒１２と
のシール機能および弁箱１に対する弁棒１２の支持機能
を一体的に組み合わせるように構成しているが、本実施
形態にあっては、弁箱１内外のシール機能と弁棒１２の
支持機能とを独立させるように構成している点において
構成を異にするので、上記第１の実施形態と同じ構成に
ついては同一符号を付してその説明を省略し、主として
異なる構成について説明する。

【００５０】本実施形態においては、図１２に示すよう
に、各弁棒１２を支持する軸受ユニット７４が弁箱１の
支持板８に備えられている。その一例について説明する
と、ハウジング７５は全体として円筒状に形成され、凹
入された球面状内面７６を有し、軸心に対して直角方向
の面で中央部において二分割されている。一方の分割片
が支持板８の取付け穴７７に嵌合状態で挿入されてい
る。取付け穴７７はその軸心方向の中間部において弁箱
１の内部側より外部側がやや小径となる段差部７８を有
し、この段差部７８により分割片が外方へ抜け止めされ
ている。他方の分割片は取付け穴７７から弁箱１の開口
部７内に突出されている。回転体７９は球面状外面８０
を有し、中央部に貫通穴８１を有し、球面状外面８０が
ハウジング７５の両分割片の球面状内面７６に跨って回
転し得るように支持されている。クランプ部材８２はそ
の両端部がねじ８３により支持板８の内側面に取外し可
能に取付けられ、弁棒１２に対応して中間部の外部側に
形成された大径穴８４がハウジング７５における弁箱１
内への突出部の外周部に嵌合されている。クランプ部材
８２には大径穴８４に続いて内部側に小径穴８５が形成
され、大径穴８４と小径穴８５との段差部８６によりハ
ウジング７５が弁箱１の内方へ抜け止めされている。支
持板８の内側面には取付け穴７７の外周部において係合
溝８７が形成され、この係合溝８７にはシール材である
Ｏリング８８が係合され、Ｏリング８８が係合溝８７と
クランプ部材８２とに圧接されて支持板８とクランプ部
材８２とがシールされている。

【００５１】回転体７９の貫通穴８１の径は弁棒１２の
外形とほぼ等しくなるように設定され、ハウジング７５
の上下の開放部の内径およびクランプ部材８２の小径穴
８５の径は大径穴８４の径よりやや小さくなるように設
定されている。そして、弁棒１２はハウジング７５の開
放部、回転体７９の貫通穴８１、クランプ部材８２の小
径穴８５に挿通され、貫通穴８１により軸方向に移動可
能に支持され、ハウジング７５の球面状内面７６に回転
体７９と共に回動可能に支持されるようになっている。

【００５２】クランプ部材８２における弁棒１２の外周
部にはベローズ取付け用のリング状部８９が形成され、
弁棒１２における弁体３２の後部側外周にはベローズ取
付け用のリング９０が嵌合されている。リング９０は弁
棒１２に形成された係合部９１と、弁体３２の後側で弁
棒１２の外周に嵌合されたカラー９２とで挟持されて固
定状態に保持されている。リング９０の内周面と弁棒１
２の外周面とはシールされている。その一例として、リ
ング９０の内周面に係合溝９３が形成され、この係合溝
９３に係合されたシール材であるＯリング９４が係合溝
９３と弁棒１２の外周面とに圧接されている。リング状
部８９とリング９０にはベローズ９５の各端部が溶接等
によりシール状態に取付けられている。そして、ベロー
ズ９５により弁棒１２の外周部において弁箱１の内外が
シールされた状態で、上記第１の実施形態と同様に、弁
棒１２等が軸方向に移動され、かつ回動されて開口部２
が開閉されるようになっている。

【００５３】使用に伴って、ベローズ９５等の交換を必
要とする場合には、弁箱１側において、まず、ねじ３５
を暖めて弁体３２を弁棒１２から外し、カラー９２も弁
棒１２から外す。次に、ねじ８３を暖めてクランプ部材
８２、リング９０、ベローズ９５等を支持板８、弁棒１
２から外す。更に、必要であれば、ハウジング７５の一
方の分割片、回転体７９、ハウジング７５の他方の分割
片等を順次、支持板８の取付け穴７７および弁棒１２か
ら外す。次に、古いベローズ９５を新しいベローズ９５
にクランプ部材８２、リング９０等と共に交換し、必要
であれば、ハウジング７５、回転体７９を新しいものに
交換する。次に、ハウジング７５の分割片、回転体７
９、ハウジング７５の分割片の順で弁棒１２に嵌め、弁
棒１２に沿って移動させてハウジング７５の分割片を支
持板８の取付け穴７７に挿入するとともに、ハウジング
７５内に回転体７９を収める。次に、クランプ部材８
２、ベローズ９５、リング９０等を弁棒１２に嵌め、弁
棒１２に沿って移動させ、穴８４をハウジング７５の突
出部に嵌める。次に、クランプ部材８２をねじ８３によ
り支持板８に固定状態に取付ける。その後、弁棒１２の
先端部に弁体３２をねじ３５により取付ける。

【００５４】本実施形態によれば、上記第１の実施形態
における利点に加え、軸受ユニット７４を大気側に設
け、ベローズ９５を弁箱１側（真空側）に設けているの
で、弁箱１側を真空状態に確実に保つことができ、しか
も、不純物が弁箱１内に侵入するのを確実に防止するこ
とができ、真空度、不純物の侵入防止が厳格に要求され
る用途に特に有用である。

【００５５】次に、本発明の第６の実施形態について説
明する。図１３は本発明の第６の実施形態に係るゲート
バルブを示し、中心線の両側でそれぞれ弁箱の開口部を
開放し、弁箱の開口部を閉塞した状態の中央部縦断正面
図である。

【００５６】本実施形態にあっては、上記第５の実施形
態と同様に、シール機能と支持機能とを一体的に組み合
わせるように構成しているが、上記第５の実施形態とは
ベローズの配置を異にするのみであるので、上記第１な
いし第５の実施形態と同じ構成については同一符号を付
してその説明を省略し、主として異なる構成について説
明する。

【００５７】本実施形態においては、図１３に示すよう
に、上記第５の実施形態と同様に弁箱１の支持板８に軸
受ユニット７４が備えられている。支持板８の外面側に
は取付け穴７７の外周部においてベローズ取付け用のリ
ング９６がその外周複数箇所の突出部９７を利用してね
じ９８により取付けられている。支持板８の外側面には
取付け穴７７の外周において係合溝９９が形成され、こ
の係合溝９９に係合されたシール材であるＯリング１０
０が係合溝９９とリング９６とに圧接され、支持板８と
リング９６との間がシールされている。弁棒１２におけ
るホルダ５２の前側外周にはベローズ取付け用のリング
１０１が嵌合されている。リング１０１は弁棒１２に係
合された係合部１０２とホルダ５２の前面とで挟持され
て固定状態に保持されている。リング１０１の内周面と
弁棒１２の外周面とはシールされている。その一例とし
て、リング１０１の内周面に係合溝１０３が形成され、
この係合溝１０３に係合されたシール材であるＯリング
１０４が係合溝１０３と弁棒１２の外周面とに圧接され
ている。リング９６とリング１０１にはベローズ１０５
の各端部が溶接等によりシール状態に取付けられてい
る。そして、ベローズ１０５により弁棒１２の外周部に
おいて弁箱１の内外がシールされた状態で、上記第１の
実施形態と同様に、弁棒１２等が軸方向に移動され、か
つ回動されて開口部２が開閉されるようになっている。

【００５８】使用に伴って、ベローズ１０５等の交換を
必要とする場合には、弁箱１側において、まず、ねじ３
５を暖めて弁体３２を弁棒１２から外す。次に、ねじ２
２を暖めてクランプ部材８２を支持板８、弁棒１２から
外す。次に、ハウジング７５の一方の分割片、回転体７
９、ハウジング７５の他方の分割片等を順次、支持板８
の取付け穴７７および弁棒１２から外す。次に、ねじ４
２を緩めて駆動手段３８を支持板８から外すとともに、
弁棒１２を弁箱１から抜き取る。次に、古いベローズ１
０５を新しいベローズ１０５にリング９６、１０１等と
共に交換し、必要であれば、ハウジング７５、回転体７
９を新しいものに交換する。次に、リング９６、ベロー
ズ１０５、リング１０１等を弁棒１２に嵌めて弁棒１２
に沿って移動させる。次に、弁棒１２の先端側を弁箱１
内に取付け穴７７から挿入し、駆動手段３８をねじ４２
により支持板８に取付ける。次に、ハウジング７５の分
割片、回転体７９、ハウジング７５の分割片の順で弁棒
１２に嵌め、弁棒１２に沿って移動させてハウジング７
５の分割片を支持板８の取付け穴７７に挿入するととも
に、ハウジング７５内に回転体７９を収める。次に、ク
ランプ部材８２を弁棒１２に嵌め、弁棒１２に沿って移
動させ、穴８４をハウジング７５の突出部に嵌める。次
に、クランプ部材８２をねじ８３により支持板８に固定
状態に取付ける。その後、弁棒１２の先端部に弁体３２
をねじ３５により取付ける（なお、軸受ユニット７４を
先に支持板８に取付けた後、弁棒１２を軸受ユニット７
４の貫通穴８１に挿通させるようにしてもいよい。

【００５９】本実施形態によれば、ベローズ１０５を交
換する際、弁箱１外からの取外し、取付け作業を必要と
する点において上記第１の実施形態よりも交換、メンテ
ナンスの作業性にやや劣るが、その他においては、上記
第１の実施形態における利点に加え、軸受ユニット７４
とベローズ１０５とを組み合わせて用いているので、弁
箱１側を真空状態に確実に保つことができ、しかも、不
純物が弁箱１内に侵入するのを少なく抑制することがで
き、真空度が厳格に要求される用途に特に有用である。

【００６０】なお、上記各実施形態において、軸受シー
ルユニット１３、若しくは軸受ユニット７４の回転体１
８、若しくは７９の貫通穴２０、若しくは８１は回転体
１８、若しくは７９の貫通穴にスリーブを取付けること
により形成してもよく、また、上記第１、第２の実施形
態における軸受シールユニット１３はシール材を反対側
の部材に配置し、若しくは反対側の部材とに跨って配置
してもよく、また、ハウジング１４の一方の分割片は支
持板８の取付け穴１６、７７に溶接によりシール状態に
取付けるなど、種々設計変更することができる。また、
上記第５、第６の実施形態においては、上記第１の実施
形態と同様に弁棒１２を二本用いているが、上記第２の
実施形態と同様に弁棒１２を一本のみ用いる場合にも適
用することができ、また、上記第３、第４の実施形態の
ようにエアシリンダ４４を逆向きに配置する場合にも適
用することができる。また、上記第５、第６の実施形態
におけるベローズ１０５は取外し可能でなくてもよい。
更に、上記各実施形態においては、エアシリンダ４４の
作動により弁棒１２、弁体３２を引張ばね６２の弾性に
抗して回動させ、弁体３２を弁座３に当接させる駆動手
段３８における回動手段として、ローラ５３とローラカ
ム５５とを用いているが、これに限定されるものではな
く、公知であるリンクとその連結手段、菱形の板状カム
とその係合手段、ローラと傾斜長穴のほか、種々の機構
を用いることができる。このほか、本発明は、その基本
的技術思想を逸脱しない範囲で種々設計変更することが
できる。

【００６１】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、弁
体および弁棒が弁棒の軸方向に移動し得るように、かつ
回動し得るように、弁棒を弁箱に対して支持手段により
支持しているので、支持手段は弁箱における弁棒の挿通
部に取付けるだけでよく、構成の簡素化を図ることがで
きる。したがって、組立作業を容易に、かつ迅速に行う
ことができ、しかも、コストの低下を図ることができ
る。

【００６２】また、弁体を弁棒に取外し可能に取付け、
シールおよび支持手段の少なくとも弁箱内側部分をこの
弁箱内側から取外し可能に取付けることにより、部品の
交換、メンテナンス等の作業を短時間で、しかも、能率
よく行うことができ、したがって、部品の交換、メンテ
ナンス等に要するコストの低下を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施形態に係るゲートバルブを
示し、弁箱の開口部を開放した状態の中央部縦断正面図
である。

【図２】同ゲートバルブを示し、弁箱の開口部を弁体に
より閉じた状態の中央部縦断正面図である。

【図３】同ゲートバルブを示し、弁箱の開口部を開放し
た図１と同様の状態の中央部縦断側面図である。

【図４】同ゲートバルブを示し、弁箱の開口部に弁体を
対向させた前進規制状態の中央部縦断側面図である。

【図５】同ゲートバルブを示し、弁箱の開口部を弁体に
より閉じた図２と同様の状態の中央縦断側面図である。

【図６】同ゲートバルブを示し、図１における弁棒のシ
ールおよび支持手段部分の拡大図である。

【図７】本発明の第２の実施形態に係るゲートバルブを
示し、弁箱の開口部を開放した状態の中央部縦断正面図
である。

【図８】同ゲートバルブを示し、図７と同様の状態の中
央部縦断側面図である。

【図９】同ゲートバルブを示し、図７における弁棒のシ
ールおよび支持手段部分の拡大図である。

【図１０】本発明の第３の実施形態に係るゲートバルブ
を示し、中心線の両側でそれぞれ弁箱の開口部を開放
し、弁箱の開口部を閉塞した状態の中央部縦断正面図で
ある。

【図１１】本発明の第４の実施形態に係るゲートバルブ
を示し、中心線の両側でそれぞれ弁箱の開口部を開放
し、弁箱の開口部を閉塞した状態の中央部縦断正面図で
ある。

【図１２】本発明の第５の実施形態に係るゲートバルブ
を示し、中心線の両側でそれぞれ弁箱の開口部を開放
し、弁箱の開口部を閉塞した状態の中央部縦断正面図で
ある。

【図１３】本発明の第６の実施形態に係るゲートバルブ
を示し、中心線の両側でそれぞれ弁箱の開口部を開放
し、弁箱の開口部を閉塞した状態の中央部縦断正面図で
ある。

【符号の説明】

１弁箱２開口部３弁座１２弁棒１３軸受シールユニット１４ハウジング１５球面状内面１８回転体１９球面状外面２０貫通穴２１クランプ部材２７Ｏリング２９Ｏリング３１Ｏリング３２弁体３８駆動手段４４エアシリンダ５２ホルダ５３ローラ５５ローラカム５７カム溝６２引張ばね７４軸受ユニット７５ハウジング７６球面状内面７９回転体８０球面状外面８１貫通穴８２クランプ部材９５ベローズ１０５ベローズ

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｆ１６Ｋ 51/02 Ｆ１６Ｋ 51/02 ＢＦターム(参考） 3H051 AA03 BB02 BB03 CC11 CC12 CC16 FF09 3H053 AA02 AA22 AA26 AA31 BB23 BD01 BD02 BD03 DA09 3H056 AA05 BB33 BB37 BB38 BB41 CA01 CD04 GG02 GG14 3H063 AA04 BB22 BB33 BB37 BB39 BB41 BB47 DA15 DB22 DC04 EE08 EE11 EE15 GG02 GG15 3H066 AA03 BA18 BA19 BA38 DA01 DA11

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】開口部を有し、この開口部の周囲に弁座
を有する弁箱に先端側から挿入される弁棒と、この弁棒
の先端部に取付けられ、上記弁座に当接し、若しくは上
記弁座から離隔して上記開口部を開閉する弁体と、上記
弁棒を上記弁箱に対してシール状態で軸方向に移動可能
に、かつ回動可能に支持するシールおよび支持手段と、
上記弁箱外に設けられ、上記弁体を上記開口部に対向す
る前進位置と上記開口部の軸芯に対する直角方向の後退
位置とに移動させるとともに、上記弁体の上記前進位置
で上記弁体により上記開口部を開閉させるように、上記
弁棒および上記弁体を上記弁棒の軸方向に移動させると
ともに、上記弁棒および上記弁体を回動させる駆動手段
とを備えたゲートバルブ。
【請求項２】弁体が弁棒に取外し可能に取付けられ、
シールおよび支持手段の少なくとも弁箱内側部分がこの
弁箱内側から取外し可能に取付けられる請求項１記載の
ゲートバルブ。
【請求項３】シールおよび支持手段が、弁箱の取付け
穴にシール状態で上記弁箱内側から少なくとも一部を取
外すことができるように取付けられ、球面状に凹入され
た内面を有する分割型のハウジングと、このハウジング
の球面状内面に沿って回転し得る球面状外面を有し、中
央部に弁棒を軸方向に移動可能に挿通させる貫通穴を有
し、上記ハウジング内側に取外し可能で回転可能に支持
される回転体と、上記ハウジングの球面状内面と上記回
転体の球面状外面との少なくとも一方に形成された係合
溝と、この係合溝に係合され、上記ハウジングと上記回
転体とシールするシール部材と、上記回転体の貫通穴内
壁面に形成された係合溝と、この係合溝に係合され、上
記回転体と上記弁棒とをシールするシール部材とを備え
た軸受シールユニットにより構成されている請求項２記
載のゲートバルブ。
【請求項４】シールおよび支持手段が、弁箱の取付け
穴に取付けられ、球面状に凹入された内面を有するハウ
ジング、このハウジングの球面状内面に沿って回転し得
る球面状外面を有し、中央部に弁棒を軸方向に移動可能
に挿通させる貫通穴を有し、上記ハウジングの内側に回
転可能に支持される回転体を備えた軸受ユニットと、上
記弁箱内で上記弁棒の外周部に設けられ、上記弁箱の内
部を外部に対してシールするベローズとから構成されて
いる請求項１記載のゲートバルブ。
【請求項５】シールおよび支持手段が、弁箱の取付け
穴に取付けられ、球面状に凹入された内面を有するハウ
ジング、このハウジングの球面状内面に沿って回転し得
る球面状外面を有し、中央部に弁棒を軸方向に移動可能
に挿通させる貫通穴を有し、上記ハウジングの内側に回
転可能に支持される回転体を備えた軸受ユニットと、上
記弁箱内で上記弁棒の外周部に取外し可能に設けられ、
上記弁箱の内部を外部に対してシールするベローズとか
ら構成されている請求項２記載のゲートバルブ。
【請求項６】シールおよび支持手段が、弁箱の取付け
穴に取付けられ、球面状に凹入された内面を有するハウ
ジング、このハウジングの球面状内面に沿って回転し得
る球面状外面を有し、中央部に弁棒を軸方向に移動可能
に挿通させる貫通穴を有し、上記ハウジングの内側に回
転可能に支持される回転体を備えた軸受ユニットと、上
記弁箱外で上記弁棒の外周部に設けられ、上記弁箱の内
部を外部に対してシールするベローズとから構成されて
いる請求項１記載のゲートバルブ。
【請求項７】シールおよび支持手段が、弁箱の取付け
穴に取付けられ、球面状に凹入された内面を有するハウ
ジング、このハウジングの球面状内面に沿って回転し得
る球面状外面を有し、中央部に弁棒を軸方向に移動可能
に挿通させる貫通穴を有し、上記ハウジングの内側に回
転可能に支持される回転体を備えた軸受ユニットと、上
記弁箱外で上記弁棒の外周部に取外し可能に設けられ、
上記弁箱の内部を外部に対してシールするベローズとか
ら構成されている請求項２記載のゲートバルブ。
【請求項８】ハウジングが、弁箱の内側から少なくと
も一部を取外し、回転体を取外すことができるように分
割型に形成されて上記弁箱の取付け穴に取り付けられて
いる請求項５または７記載のゲートバルブ。
【請求項９】駆動手段が、弁箱外に設けられるシリン
ダ装置と、弁体を弁座から離隔させるように弁棒および
上記弁体を付勢するばねと、上記シリンダ装置の作動に
より上記弁体を開口部に対向する前進位置と上記開口部
の軸心に対する直角方向の後退位置とに移動させる間に
おいては、上記弁体を上記弁座から離隔させるように上
記弁棒および上記弁体を上記ばねの弾性により保持さ
せ、上記弁体を上記開口部に対向させた前進位置におい
て、上記シリンダ装置の作動により上記弁棒および上記
弁体を上記ばねの弾性に抗して回動させ、上記弁体を上
記弁座に当接させることができる回動手段とを備えた請
求項１ないし８のいずれかに記載のゲートバルブ。
【請求項１０】弁体を開口部に対向させた前進位置で
回転体に係合して上記弁体および弁棒の前進を規制する
ためのストッパを上記弁棒に備えた請求項２ないし９の
いずれかに記載のゲートバルブ。