JP4541015B2 - 真空ゲートバルブ、バルブ板および多機能工具 - Google Patents

Description

本発明は、バルブロッドに設けられたバルブ板を備える真空ゲートバルブに関し、そのバルブ板は開口部を越えて移動し、その開口部に押し付けられることによりその開口部を閉じるために用いられる。さらに、本発明は、そのバルブ板と、そのバルブ板を取り付け取り外しするための多機能工具に関する。

容器あるいは配管の開口部を閉止するために使用される真空ゲートバルブは、様々に実施されている技術で知られている。主としてＬ型の真空ゲートバルブは、最大に可能な範囲に汚染する微粒子の存在を含まないよう保護された雰囲気でのＩＣと半導体の製造で利用される。たとえば、半導体ウエファーあるいは液晶基板の製造装置において、高感度の半導体あるいは液晶素子が真空ゲートバルブを介し開かれる接続通路を経て次に接続可能な多数の製造チャンバーを通過すし、部品が一つの製造チャンバーから次に搬送され、次の製造工程が実行可能なように再び気密に閉止される。

従来技術で知られている真空ゲートバルブの一般的な実施は、比率は無視して図１（ａ）、１（ｂ）に図示されている。図１（ａ）は、開放初期位置にある真空ゲートバルブを示す。真空ゲートバルブは、閉止される矩形の開口部３が形成されている壁２を備えるバルブ・ハウジング１を有する。平面あるいは特別な面で形成されたバルブシート４が、シールを備えるあるいは備えない開口部３を囲む。真空ゲートバルブの開放初期位置において図１（ａ）に示すように壁２に接近し開口部３の側面位置に位置決めされたバルブ板５は、典型的な矩形の形状を成し、その開口部がバルブ板５のシール面７で完全に密閉されるように開口部３と重なる。バブル板５はバルブロッド軸１１を定めるバルブロッド８に取り付けられる。単一のバルブロッド８の位置に二つの平行のバルブロッドを利用することも可能である。従来技術で知られているバルブ板５とバルブロッド８を接続する方法は、以下に詳しく述べる。バルブロッド８は、図１（ｂ）、１（ｃ）に示すように、液圧シリンダーとスイベル歯車により、制御装置１０により二つの角度に沿って本質的に制御可能である。更に、バルブロッド８は、バルブロッド軸１１に沿って直線的に移動可能で、壁２に垂直な面に旋回可能である。

開口部３を閉止するのには二つの段階で成される。図１（ａ）、１（ｂ）で示される状態の間で生じる第１の段階で、バルブロッド８は、二つの矢印２８ａ、２８ｂで示されるバルブロッド軸１１に沿って、制御装置１０により延ばされる。それにより、バルブ板５と壁２あるいはバルブハウジング１のバルブシート４との間の接触を避けながら、壁２にほぼ平行な径路に沿ってバルブ板５は開口部３を越えて移動する。

図１（ｂ）、１（ｃ）で示される状態の間で生じ、矢印２８ｃの記号で表された第２の段階で、バルブロッド８は、制御装置１０により壁２に向かって旋回させられる。それにより、シールリングを保持するバルブ板５のシール面７がバルブシート４に対し押しつけられ、開口部がしっかりと閉止され、気密状態に適用できる。バルブ板５のシール面７上に配置され、開口部３を囲むバルブシート４に対し押しつけられたシール・リング、あるいはバルブ板５のシール面７が押しつけられるバルブシート４に配置されたシールリングを介し、密閉が可能となる。バブルシート４により、バルブ板５のシール面７が押しつけられ、このように密閉される壁２の対向する面が理解される。

異なるシール装置が従来技術（例えば、特許文献１参照）より知られている。商標バイトンで知られている弾性シール材料は、シールリングに適した材料である。２段階の閉止操作で、シールリングを破壊するいかなるせん断力が加わることはない。なぜなら、バルブロッド８の旋回運動により、バルブ板はバルブシート４に垂直で、ほぼ直線的な移動をするからである。従来技術によると、様々な制御装置１０が知られており、それぞれバルブロッド８とバルブ板５の制御の多少異なる方向の動きを与えることがある。バルブシート４に向かうバルブ板５の接近旋回軌道のかわりに、壁２に垂直なバルブ板５の完全に直線の移動が考えられている。上述の真空ゲートバルブの別の実施例が、知られている（例えば、特許文献２−１０）。

従来技術の特有の問題が、バルブハウジング１に対するバルブ板５の調整にある。開口部３を越えバルブ板５を移動させる第１のステップにおいて、シール面７の壁２あるいはバルブシート４との接触がシール面あるいはシールリングの損傷をもたらさないよう避けなければならない。さらに、圧力が加わる第２のステップにおいては、バルブ板５はバルブシート４に対し正確な調整が必要であり、さもないと、バルブ板５のシール面７がバルブシート４上に正確に位置付けられない。長いバルブ板５を使用するときは特に、シール面７とバルブシート４の平面が、圧力が加わる間、正確に平行であることが重要で、さもないと、バルブシートに沿ったシール面が不均一に応力を受け、不充分な固定と、シール材料の劣化を生じる。さらに、バルブ板５とバルブロッド８は、曲げと捩り力を受ける心配がある。このため、従来技術から知られている、ほとんどの部品に対する制御装置は、バルブロッド８とバルブ板５を正確に調整するための制御装置を備えている。

バルブロッド８とバルブ板５の結合は、バルブ板５に形成された栓受６内に案内され、固定されるバルブロッド８の接続部９により成される。この固定は、シール面の反対側から挿入された少なくとも一つのネジによって成される（例えば、特許文献１１、１２）。

米国特許６、６１９、６１８は、真空ゲートバルブが不均一な壁の厚さで二つの側面の範囲よりも中央部が厚いバルブ板を備えるものを開示している。中央の厚い壁の範囲で、バルブロッドの半円の栓受が形成され、その栓受とシール面の間の壁厚さが、栓受とシール面の反対の面との間の壁厚さと比べて厚い。バルブロッドは、その端部に、半円形で、栓受に挿入される接合部を備える。バルブ板は、シール面と反対側からねじ込まれたネジにより、バルブロッドに固く取付けられる。上記のようなバルブ板、栓受と接続部の設計により、バルブシート、特に長いバルブ板の側面範囲に圧力が加わるとき、軸を一本以上に、バルブ板の全体の厚みをより厚くしないで、バルブ板の過度の曲げを回避することが試みられている。

バルブ板は、真空ゲートバルブの気密性が不変であることを保証するために、特にシールリングの点検と交換のために、ある時間間隔での制御、維持が成されなければならない。従来技術で知られている真空ゲートバルブにおいて、バルブロッドからバルブ板を取り外すため、特に取付けネジを外しバルブ板をバルブロッドから取り外すためにバルブ板の各側部からの操作が必要とされるので、バルブ板の取り外しと再取り付けは難しいことがわかる。バルブ板を取り扱うのが人間工学的に劣るため、バルブシートへの損傷なしに、バルブ板あるいはバルブハウジングを安全に取り外すことが容易にはできない。
米国特許第６、６２９、６８２ Ｂ２号明細書 米国特許第６、４３１、５１８ Ｂ１号明細書 米国特許第５、４１５、３７６ Ａ号明細書 米国特許第５、６４１、１４９ Ａ号明細書 米国特許第６、０４５、１１７ Ａ号明細書 米国特許第５、９３４、６４６ Ａ号明細書 米国特許第５、７５５、２５５ Ａ号明細書 米国特許第６、０８２、７０６号明細書 米国特許第６、０９５、１８０号明細書 米国特許第６、６２９、６８２ Ｂ２号明細書 米国特許６、０６８、１８０号明細書 米国特許６、６１９、６１８号明細書

本発明は、高い信頼性と、簡単な取り扱い、保守と、単純な部品設計を特徴とする真空ゲートバルブを提供することを目的とする。

上述の目的を達成するために、本発明の独立の請求項に記載された特徴により、真空ゲートバルブが実現される。

本発明は、最初に圧力が与えられているとき、回転できるようにして、バルブロッド軸を中心にバルブ板の調整がバルブシートに倣うようなバルブロッドとバルブ板の間の結合を有する真空ゲートバルブを提供する考え方に基づいている。これにより、バルブ板の時間のかかる正確な前調整が不要となる。バルブハウジングとバルブ板との接触は、バルブ板が開口部を越えて移動するとき、回転を制限する手段を用いることにより回避される。さらに、本発明は、バルブ板の一つの側部だけからの操作によりバルブ板を取り外し、再取り付けできるようにして、真空ゲートバルブの保守を相当に単純化することを目的としている。

以下に、本発明を説明していく。

本発明の真空ゲートバルブは、一般的に、開口部を有する壁を備えるバルブハウジングと、その開口部を囲むバルブシートとを備える。その開口部は丸められた角を備えた矩形の断面を有する。バルブシートについて、壁部は、シール面として作用する他の面の上に配置されるシール面として機能すると理解される。ハウジングは、その壁のみで形成されてもよい。開口部はバルブ板により閉止可能である。バルブ板は、矩形の断面を有し、バルブ板が開口部に重なり閉止可能なような寸法のシール面を備える。実施可能な例として、バルブシートへの適用のため、シールリングがシール面のリムに固定される。バルブ板はバルブロッドに取り外し可能に取付けられる。真空ゲートバルブの制御装置を介しバルブロッドが支持され、バルブ板をバルブロッド軸にほぼ沿うように開口部を越えて移動させ、バルブシートに対しシール面を有するバルブ板を押しつけて開口部が閉止可能となるような方法によりバルブロッドが調整可能である。バルブロッドとバルブ板の調整を可能とする制御装置の様々な実現方法が従来技術で知られている。本発明において、栓受はバルブ板に形成される、もっと厳密には、栓受の形に対応した形状を有するバルブロッドの端部に形成された接続部が栓受に係合可能なように、バルブ板の二つの広い横方向の側面の一つに形成される。栓受と接続部は、それぞれラジアル軸受部と回転角制限部として機能するような形状を備えている。ラジアル軸受部は、バルブロッド軸を中心にバルブロッドに対しバルブ板が少なくとも部分回転するのを可能とする。それは、平ジャーナル軸受あるいはラジアル転がり軸受として形成できる。バルブ板がバルブシートに対し押しつけられているとき、バルブロッド軸についてのバルブ板の調整はバルブシートに倣うことが可能となる。このように、バルブロッド軸に直角な面に関し、バルブ板はバルブシートに平行に方向付けられ、それにより、バルブ板の二つの周囲端部で接触圧が同じとなる。この方法により、従来の精密な調整による高精度の嵌合と剛性なしに、不均一な加圧と変化するシール隙間が避られる。バルブハウジングと過大な回転角により生じるバルブハウジングとバルブ板との接触が、バルブ板が開口部を越え移動しているときに発生しないように、回転角制限部は、ラジアル軸受部により可能な回転を所定の角度範囲に制限するよう作用する。これにより、制御装置の適切な調整によりバルブ板を事前調整することが可能となる。バルブ板が自己調整するので、バルブロッド軸に対する正確な事前調整は省略できる。このラジアル軸受部と回転角制限部は、二つの分割された部分あるいは両方の機能を満たす単一の部分としても実現可能である。

図１は、従来技術を説明する際に既に上記で検討したような典型的な真空ゲートバルブの概略機能を示す。以降の図の記載においても、図１で示された参照の印を使用する。

図２、３、４、５は本発明による真空ゲートバルブの同じ実施例を異なる視野、画像、詳細の度合で示したものであるから、以下に一括して記述し、必要に応じ個々の図を参照する。図によって、外部から見えない部分は破線で示されている。

図示された真空ゲートバルブは、開口部３とその開口部３を囲むバルブシート４を備える壁２から成るバルブハウジング１を有し、同様に、バルブ板５は開口部３を閉止するためにシールリング３２を形成するリムであるシール面７を有する。（シール面７に対して）バルブ板５の二つの幅広い側面の一つの中間に、バルブロッド８の接続部９を入れる栓受６が形成されている。バルブ板５はバルブロッド８の接続部９を介しバルブロッド８に取り外し可能に取付けることができ、その接続部は栓受６に係合し、バルブロッドはバルブロッド軸を規定している。図２、３、４（ｂ）はそれぞれバルブ板５が取り外された状態を示しており、図４（ａ）、５はバルブ板５がバルブロッド８に取付けられた状態を示す。バルブロッド８は制御装置１０を介し支持され、バルブ板５をバルブロッド軸１１にほぼ沿うように開口部３を越えて移動させ、バルブシート４に対しシール面７のシールリング３２を有するバルブ板５を押しつけて開口部３が閉止可能となるような方法により調整可能である。

栓受６と接続部９は、協働し二つの機能部、すなわちラジアル軸受部１２と回転角制限部１３を形成する。ラジアル軸受部１２はバルブロッド軸１１を中心にバルブロッド８に対しバルブ板５の少なくとも部分的な回転を可能とし、それにより、バルブロッド軸１１についてバルブ板５の調整がバルブ板５のバルブシート４へ最初に倣うとき、バルブシートに適合する。本実施例では、ラジアル軸受部１２は、バルブロッド８の接続部９の円筒状の軸１２ａとその円筒状の軸１２ａと嵌合する円筒状の穴１２ｂとしてバルブ板５の栓受６内に形成される。円筒状の軸１２ａはすきま嵌めあるいはとまり嵌めで円筒状の穴１２ｂ内で、摺動して旋回支持される。ラジアル軸受部１２として、摩擦軸受あるいは平ジャーナル軸受よりもころがり軸受を使用することも可能である。

第２の機能部、すなわち回転角制限部１３は、所定の角度範囲１４にラジアル軸受部１２により可能な回転を制限するので（図６）、バルブ板５が開口部３を越えて移動するとき、過度に大きな回転角によるバルブハウジング１とバルブ板５との接触が生じない。本実施例では、回転角制限部１３は、バルブロッド８の接続部９の外部多角形部と、バルブ板５の栓受６内の、外部多角形部と嵌合する内部多角形部として形成される。外部多角形部に対する内部多角形部のプラス寸法は所定の角度範囲１４で制限される（図６）。ここで、内部多角形部は少なくとも二つの平行平面の内面１３ｂ´を備える内部四角形部１３ｂにより実現され、外部多角形部は平行平面の外面１３ａ´を備える外部四角形部１３ａとして実現される。内部、外部多角形部の他の実現形状も可能である。例えば四角形の代わりに、本実施例に示すように、内部、外部の面の範囲を決める端部が丸められているか、あるいは面取りされていても、三角形、五角形が適用されてもよい。

バルブロッド８の接続部９の先端面はバルブロッド軸１１上にその軸を有する中心ネジ穴１５を備える。このネジ穴１５は、第１のネジ穴１５として示される。さらに、栓受６の端部と栓受６の反対側の側面１７の間のバルブ板５内のバルブロッド軸１１に沿って、第1のネジ穴１５内にねじ込まれるようにネジ１８が貫通できるよう、貫通穴１６が設けられるので、バルブ板５は、バルブロッド軸１１に沿って取り外し可能なようにバルブロッド８に固定される。貫通穴１６は、ネジ頭を受け入れる座ぐりを備えている。ネジ１８は、紛失しないよう特に守られている。図４（ａ）、５において、バルブ板５がネジ１８によりバルブロッド８に取付けられている状態が示されている。ネジ１８は、内部六角形穴の円筒状六角穴付きネジとして示されている。ネジ結合の他の方法や他の結合方法も可能である。

代替の実施例として、上記の栓受がバルブロッドに配置され、接続部がピンとしてバルブ板に配置される。この場合、第１のネジ穴は栓受に形成され、貫通穴は接続部に形成される。さらに、より長いネジが使用される。もちろん、他の実現方法も可能である。

栓受６の反対の側面１７に、バルブ板５は、第２のネジ穴として以下に説明するネジ穴２１を備えている。このネジ穴２１は、貫通穴１６の隣で中央部に配置されている。ネジ１８を緩めた後、バルブ板５をバルブロッド８から取り外すために、この第２のネジ穴２１を使用し、ネジ穴２１に工具をねじ込み、バルブロッド軸１１に沿ってほぼ上向きにバルブ板５に手動で力を加えることができる。このように、ネジ１８を緩め、次に第２のネジ穴２１を介し持ち上げることで、バルブロッド８からバルブ板５を取り外すことが、一方の側面１７からで可能になるので、バルブ板５の保守が可能となる。ここで、ネジ１８は、バルブ板５の第２のネジ穴２１の谷径よりも小さな対角長さのレンチサイズを有する六角穴付きネジとして形成されので、六角穴付きネジ１８の対角長さを有する六角ピンが第２のネジ穴２１を貫通し引き入れることができる。ネジ穴は、形成される方法にかかわらず、内側にネジを切られていると一般に理解される。

図示された真空ゲートバルブの実施例において、バルブハウジング１は、蓋２９（図４）を移動させて開くことができる作業用開口部３０（図４（ｂ））を上部に備えている。ネジ１８を緩め、バルブ板５を持ち上げて、バルブ板５を完全に取り外すことが、この作業用開口部３０を介し簡単に、人間工学的に可能となる。取り外しの間、バルブ板の取り扱いをさらに良くするため、二つのハンドル凹部１９をシール面７の反対側の側面２０に形成する。それより、手動で、バルブ板５にバルブロッド８から持ち上げるためにほぼ上向きに力を加え、取り外した後バルブ板５をより扱い易くできるようになる。さらに掴み易くするため、ハンドル凹部１９の内側にすべり防止コートを施すことが可能である。

図６は、回転角制限部１３を通り、バルブロッド軸１１に垂直な断面図を示す。バルブハウジング１と、壁２と、回転角制限部１３とバルブロッド８の外部四角形部１３ａの平行平面の外部面１３ａ´とバルブ板５の内部四角形部１３ｂの平行平面の内部面１３ｂ´とを有するバルブ板５とバルブロッド８の部分が示されている。外部四角形部１３ａに対し内部四角形部１３ｂにより得られるプラス寸法を見ることができる。例に示すように、内部、外部四角形部は、個別の端部の長さあるいは異なる端部の長さを持つ矩形の断面を有する。プラス寸法は図示のように二つの寸法で規定される。図６（ａ）は中央の位置にあるバルブ板５を示し、図６（ｂ）は回転角制限部１３により制限されるような最大角度範囲１４を示している。プラス寸法は、開口部３を越えて移動するときにシール面７と壁２、特にバルブシート４との接触が生じないような角度範囲１４に移動度が制限されるようでなければならない。もちろん、角度範囲１４を図示例よりももっと小さくすることも可能である。初期の適合にシールリング３２に作用するせん断力を増大させる大きな回転角が避けられる点で、可能なかぎり角度範囲１４を小さくすることは利点はあるが、他方で、角度範囲１４は、初期の適合でバルブ板５の自由な調整が可能な十分に大きくなければならない。

図７は、真空ゲートバルブのバルブ板５をバルブロッド８から取り外し、あるいはバルブロッド８に取付けるための多機能工具２２を示す。この多機能工具２２は、ネジ１８を緩めること、第２のネジ穴２１にネジ込み、持ち上げる力を与えることによりバルブロッド８からバルブ板５を引き出すことを行う。多機能工具２２は、持ち上げ力とトルクを手動で与えるためのハンドル２３と、長い直線の軸２４を備え、特に円筒状の軸の第1の端部がハンドル２３に取付けられている。軸２４の他方の端部は先端部２５に外部六角形部２６を備えているので、トルクが手動でネジ１８に与えられる。外部六角形部２６は、バルブ板５の第２のネジ穴２１とネジ結合するように設計されたシャフト２４上の隣接部に外部ネジ２７に続いている。多機能工具２２を用いることで、バルブロッド８から持ち上げるために、バルブ板５に手動で、バルブロッド軸１１に沿って上向きに力を加えることができる。外部六角形部２６のレンチサイズはネジ１８のレンチサイズに対応しており、第２のネジ穴２１のネジに対応する外部ネジ２７の谷径よりも小さな対角長さを有する。

上記の真空ゲートバルブ、バルブ板５、多機能工具２２は、上述のラジアル軸受部と回転角制限部を用いなくても使用可能で、特に人間工学的な視点から、第２のネジ穴２１、ハンドル凹部１９、ネジ１８、多機能工具２２を用いることで、従来技術を越える改善が可能となる。

図８はバルブ板５をバルブロッド８から取り外す操作を示す。第１のステップで（図８（ａ））、多機能工具２２は開かれた作業用開口部３０を介しネジ１８に配置されており、ネジ１８は、バルブロッド軸１１を中心に矢印３１ａで示されるように多機能工具２２を回転するで、外部六角形部２６により緩められる。第２のステップで（図８（ｂ））、多機能工具２２は、矢印３１ｂに添う外部ネジ２７により、第２のネジ穴２１にねじ込まれる。第３のステップで（図８（ｃ））、矢印３１ｃに示すように、持ち上げ力が手動で上向きに加えられ、それにより、バルブ板５はバルブロッド８から持ち上げられ、作業用開口部３０を介し真空ゲートバルブから取り外される。

ネジ１８が緩められ、手動でハンドル凹部１９に届くとき、ハンドル凹部１９は、作業用開口部３０がなくても、バルブロッド８からバルブ板５を持ち上げ、バルブハウジング１から取り外すことを可能とする。バルブ板５への接近、取り外しは、この例では、シール面７の反対側の側面２０から行われ、図４（ｂ）に示すように、開口部３と反対側のバルブハウジング１の開口部をとおし成される。

典型的な真空ゲートバルブの機能を示す図である。 バルブ板の底面図と背面図である。 バルブロッドの接続部の側面図と上面図である。 （ａ）はバルブ板が取付けられた真空ゲートバルブの断面斜視図であり、（ｂ）はバルブ板が取り外された真空ゲートバルブの断面斜視図である。 栓受と接続部の詳細図である。 （ａ）は中央に位置付けられたバルブ板を有する回転角制限部の概略断面図であり、（ｂ）はバルブ板の可能な回転角を示す回転角制限部の概略断面図である。 バルブ板を取り外し、取付けをするための多機能工具を示す図である。 多機能工具を用いたバルブ板の取り外し操作を示す図である。

符号の説明

１ バルブハウジング
２ 壁
３ 開口部
４ バルブシート
５ バルブ板
６ 栓受
７ シール面
８ バルブロッド
９ 接続部
１０ 制御装置
１１ バルブロッド軸
２２ 多機能工具

Claims (16)

1. 開口部（３）と該開口部（３）を取り囲むバルブシート（４）とを備える壁（２）を有するバルブハウジング（１）と、栓受（６）が形成されており、前記開口部（３）を閉止するためのシール面（７）を備えるバルブ板（５）と、前記栓受（６）内に係合する接続部（９）を有するバルブロッド（８）と、を備え、前記バルブ板（５）が、前記接続部（９）を介し前記バルブロッド（８）に着脱可能に取り付けられ、前記バルブロッド（８）が、制御装置（１０）を介し支持され、前記バルブ板（５）をバルブロッド軸（１１）に沿うように前記開口部（３）を越えて移動させ、前記バルブシート（４）に前記バルブ板（５）の前記シール面（７）を押しつけて調整することにより、前記開口部（３）が閉止可能となる真空ゲートバルブにおいて、
   前記栓受（６）に係合する前記接続部（９）に、
   前記バルブ板（５）が前記バルブシート（４）に最初に押しつけられたときに、前記バルブ板（５）が前記バルブシート（４）に倣うように、前記バルブロッド軸（１１）周りに回転可能に、前記バルブロッド（８）に前記バルブ板（５）を支持するラジアル軸受部（１２）と、
   前記バルブ板（５）が前記開口部（３）を越えて移動するとき、前記バルブハウジング（１）と前記バルブ板（５）の間で過大な回転角により接触が生じないよう、所定の角度範囲（１４）に前記ラジアル軸受部（１２）による可能な回転を制限する回転角制限部（１３）とが、設けられている
   ことを特徴とする真空ゲートバルブ。
2. 前記ラジアル軸受部（１２）が、前記バルブロッド（８）の前記接続部（９）に形成された円筒状の軸（１２ａ）と、前記バルブ板（５）の前記栓受（６）内に形成され、且つ前記円筒状の軸（１２ａ）に嵌合する円筒状の穴（１２ｂ）とから構成され、
   前記円筒状の軸（１２ａ）が前記円筒状の穴（１２ｂ）にすきま嵌めあるいはとまり嵌めで摺動するよう支持されていることを特徴とする請求項１記載の真空ゲートバルブ。
3. 前記所定の角度範囲（１４）に対する前記回転角制限部（１３）が、前記バルブロッド（８）の前記接続部（９）上の外部多角形部と、前記バルブ板（５）の前記栓受（６）内の前記外部多角形部と嵌合する内部多角形部として形成され、回転が前記所定の角度範囲（１４）に制限されるように、前記内部多角形部が前記外部多角形部に対し大きいことを特徴とする請求項１または２記載の真空ゲートバルブ。
4. 前記外部多角形部が、平行平面の外部面（１３ａ´）を有する外部四角形部（１３ａ）として形成され、前記内部多角形部が、平行平面の内部面（１３ｂ´）を有する内部四角形部（１３ｂ）として形成されていることを特徴とする請求項３に記載の真空ゲートバルブ。
5. 前記バルブロッド（８）の前記接続部（９）に、前記バルブロッド軸（１１）上に配置された第１のネジ穴（１５）と、
   前記バルブ板（５）内の、前記栓受（６）と該栓受（６）の反対側の側部（１７）の間の、前記バルブロッド軸（１１）に沿った貫通穴（１６）と、
   前記貫通穴（１６）を貫通し、前記第１のネジ穴（１５）に係合するネジ（１８）と、を備え、
   前記バルブ板（５）が、前記バルブロッド軸（１１）に沿って軸方向に、取り外し可能に、前記バルブロッド（８）に固定されていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載の真空ゲートバルブ。
6. 前記バルブ板（５）に、前記バルブロッド軸（１１）に沿って該バルブ板（５）に手動で力を加えて、前記バルブロッド（８）から前記バルブ板（５）を取り外すために、前記シール面（７）の反対側の側面（２０）に形成された少なくとも一つのハンドル凹部（１９）が備えられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の真空ゲートバルブ。
7. 前記バルブ板（５）に、前記バルブロッド軸（１１）に沿って前記バルブ板（５）に手動で力を加えて、前記バルブロッド（８）から前記バルブ板（５）を取り外すための多機能工具（２２）を収容するために、前記栓受（６）の反対側の側面（１７）に形成された少なくとも一つの第２のネジ穴（２１）が備えられ、前記ネジ（１８）が、前記バルブ板（５）の前記第２のネジ穴（２１）の谷の径よりも小さい対角長さに対応したレンチのサイズを有する六角穴付きネジとして形成されたことを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の真空ゲートバルブ。
8. 請求項７に記載の真空ゲートバルブの前記バルブロッド（８）に前記バルブ板（５）を取付け、取り外しするための前記多機能工具（２２）において、
   持ち上げ力とトルクを手動で供給するハンドル（２３）と、長く延びた直線状で円筒状の軸（２４）とが備えられ、
   前記軸（２４）の第１の端部が前記ハンドル（２３）に取り付けられ、前記軸（２４）の第２の端部には、その先端（２５）に、外部六角部（２６）が前記六角穴付きネジ（１８）にトルクを手動で与えるために形成され、
   前記外部六角部（２６）に隣接する部分に、前記バルブロッド軸（１１）に沿って前記バルブ板（５）に手動で力を加えて、前記バルブロッド（８）から前記バルブ板（５）を取り外すために、前記バルブ板（５）の上記第２のネジ穴（２１）とネジ結合する外部ネジ部（２７）が形成されており、
   前記外部六角部（２６）の対角長さが前記外部ネジ部（２７）の谷の径よりも小さいことを特徴とする多機能工具。
9. 請求項７に記載の真空ゲートバルブと請求項８に記載の多機能工具とを備えることを特徴とする装置。
10. 請求項１から７のいずれか一項に記載の真空ゲートバルブに使用されるバルブ板であって、バルブハウジング（１）の壁（２）の開口部（３）を閉止するための少なくとも一つのシールリング（３２）を有するシール面（７）と、前記シール面（７）に対しバルブ板（５）に横向きに形成され、バルブロッド（８）の接続部（９）と係合され、前記バルブロッド（８）に前記バルブ板（５）を取り外し可能に取付けるための栓受（６）とを備え、前記バルブロッド（８）が制御装置（１０）を介し支持され、前記バルブ板（５）をバルブロッド軸（１１）に沿うように前記開口部（３）を越えて移動させ、前記開口部（３）の周りを囲むバルブシート（４）に対し前記シールリング（３２）を有する前記バルブ板（５）を押しつけて調整することにより、前記開口部（３）が閉止可能となる前記バルブ板（５）において、
    前記栓受（６）に、
    前記バルブ板（５）が前記バルブシート（４）に最初に押しつけられたときに、前記バルブ板（５）が前記バルブシート（４）に倣うように、前記バルブロッド軸（１１）周りに回転可能に、前記バルブロッド（８）に前記バルブ板（５）を支持するラジアル軸受部（１２）と、
    前記バルブ板（５）が前記開口部（３）を越えて移動するとき、前記バルブハウジング（１）と前記バルブ板（５）の間で過大な回転角により接触が生じないよう、所定の角度範囲（１４）に対し前記ラジアル軸受部（１２）による可能な回転を制限する回転角制限部（１３）とが設けられている
    ことを特徴とするバルブ板。
11. 前記ラジアル軸受部（１２）が、前記栓受（６）に円筒状の穴（１２ｂ）として形成され、それにより、前記円筒状の穴（１２ｂ）に嵌合する前記バルブロッド（８）の前記接続部（９）の円筒状の軸（１２ａ）が、すきま嵌めあるいはとまり嵌めで摺動するよう支持されることを特徴とする請求項１０に記載のバルブ板。
12. 回転を前記所定の角度範囲（１４）に制限する前記回転角制限部（１３）が、前記栓受（６）内に、前記バルブロッド（８）の前記接続部（９）の外部多角形部を収容し、嵌合する内部多角形部として形成され、そして、前記回転が前記所定の角度範囲（１４）に制限されるように、前記内部多角形部が前記外部多角形部と比べて大きな寸法を有することを特徴とする請求項１０あるいは１１に記載のバルブ板。
13. 前記内部多角形部が、前記接続部（９）の前記外部多角形部を形成する平行平面の外部面（１３ａ´）を有する外部四角形部（１３ａ）を収容するため、平行平面の内部面（１３ｂ´）を有する内部四角形部（１３ｂ）として形成されていることを特徴とする請求項１２に記載のバルブ板。
14. 前記バルブロッド（８）の前記接続部（９）の端部で前記バルブロッド軸（１１）に配置された第１のネジ穴（１５）に係合可能なネジ（１８）を挿通するための、前記バルブロッド軸（１１）に沿った貫通穴（１６）が、前記栓受（６）と該栓受（６）に対向する側部（１７）の間に設けられ、それにより、前記バルブ板（５）が、前記バルブロッド軸（１１）に沿って前記バルブロッド（８）に、取り外し可能に固定されることを特徴とする請求項１０から１３のいずれか一項に記載のバルブ板。
15. 前記バルブロッド軸（１１）に沿って前記バルブ板（５）に手動で力を加えて、前記バルブロッド（８）から前記バルブ板（５）を取り外すために、前記シール面（７）の反対側の側面（２０）に形成された少なくとも一つのハンドル凹部（１９）を備えることを特徴とする請求項１０から１４のいずれか一項に記載のバルブ板。
16. 前記バルブロッド軸（１１）に沿って前記バルブ板（５）に手動で力を加えて、前記バルブロッド（８）から前記バルブ板（５）を取り外すため、前記栓受（６）の反対側の上記側面（１７）に少なくとも一つの、多機能工具（２２）を収容するための第２のネジ穴（２１）を備えたことを特徴とする請求項１０から１５のいずれか一項に記載のバルブ板。

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