JP2002195424A - ゲートバルブ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】弁ディスクを駆動する駆動部を弁箱から取り外
すことなく、弁箱の上部の開口部から弁ディスクを搬出
入して該弁ディスクを弁ロッドに容易に着脱できるよう
にする。 【解決手段】駆動部２４と一体に取着された弁箱２２の
上部壁４６を着脱可能に設け、弁箱２２の上部を開放も
しくは閉塞できるようにする。弁箱２２の上部を開放に
して該上部から弁ディスク２８の孔部６２を弁ロッド２
６ａ、２６ｂの取着部６０に嵌脱し、連結機構３０（１
５２）を介して弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６
ｂに着脱する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、集積回路
（ＩＣ）やその部品等のワークを一方の真空処理室から
他方の真空処理室に移送する移送通路、または、圧力流
体、気体等の流入通路もしくは排気通路等を開閉するこ
とが可能なゲートバルブに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、例えば、半導体ウェハや液晶基板
等の処理装置においては、半導体ウェハや液晶基板等を
種々の処理室に通路を介して出し入れすることが行われ
ており、前記通路には、それぞれ該通路を開閉するゲー
トバルブが設けられている。

【０００３】この種のゲートバルブは、例えば、特許第
２６１３１７号公報に開示されているように、シリンダ
の駆動作用下に変位する弁ロッドの直進運動によって弁
ディスクが弁座の対向位置に到達した後に、前記弁ロッ
ドの傾動運動によって前記弁ディスクが前記弁座に押し
付けられて着座することにより、弁箱に形成された通路
が閉塞されるように設けられている。

【０００４】従来技術に係るゲートバルブ１は、図１０
乃至図１２に示されるように、ワークを出し入れする通
路２が形成された弁箱３と、前記弁箱３内に形成された
弁座４に着座することにより前記通路２を閉塞する弁デ
ィスク５と、前記弁ディスク５に連結されて上下動およ
び傾動自在に設けられた弁ロッド６とを有する。

【０００５】この場合、弁ディスク５は図示しないねじ
部材により弁ロッド６に取着され、且つ弁座４の対向面
には通路２を囲繞する溝にシール部材７が装着されてい
る。

【０００６】弁ロッド６の上部にはブロック８が連結さ
れ、前記ブロック８の両端面には、弁箱３に固着された
一組のシリンダ９ａ、９ｂのシリンダチューブ１０の両
側面に画成されたガイド溝１１に沿って変位する枢軸１
２が固着されている。よって、前記ブロック８は、シリ
ンダ９ａ、９ｂの作動により枢軸１２が係合するガイド
溝１１の案内作用下に上下動および傾動可能に設けられ
ている。

【０００７】このため、ブロック８は、枢軸１２が係合
するガイド溝１１の案内作用下に、引張ばね１３を介し
てヨーク１４と一体的に上下方向に沿って直進運動する
とともに、前記ガイド溝１１の湾曲する下端部１１ａ
（図１２参照）によって支持された枢軸１２を支点とし
て矢印Ａ方向に傾動運動するように構成されている（図
１０参照）。

【０００８】従って、弁ディスク５は、枢軸１２を支点
として矢印Ｂ方向に傾動して弁座４に着座することによ
り、通路２が気密に閉塞される。なお、参照符号１５
は、断面菱形の板状カムを示しており、傾斜した前記板
状カム１５が略水平に変位することにより、ブロック８
がガイド溝１１の下端部１１ａを支点として矢印Ａ方向
に傾動するように設けられている。

【０００９】このため、従来技術に係るゲートバルブ１
では、長年の使用により、弁ディスク５が弁座４に着座
して通路２を閉塞した際に、シール機能の劣化によるシ
ール部材７の交換もしくは半導体ウェハや液晶基板等の
処理により弁座４、弁ディスク５等に付着した生成物を
除去するために、ブロック８およびシリンダチューブ１
０を弁箱３から取り外していた。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、比較的
重量物のブロックおよびシリンダチューブを弁箱に着脱
する作業は、ゲートバルブが収納されている狭いチャン
バー内で行われるために、前記ブロックおよびシリンダ
チューブを弁箱に着脱する際に多大な時間を要し、且つ
着脱作業が煩雑であり保守点検作業の費用を低減するこ
とができないという不具合があった。

【００１１】本発明は、前記の不具合を考慮してなされ
たもので、その目的は、ブロックおよびシリンダチュー
ブを弁箱に着脱することなく、弁箱の上部壁を着脱自在
に設け、該弁箱の上部より弁ディスクを弁ロッドに係着
できるようにして、シール部材の交換もしくは生成物の
除去を容易に行うことが可能なゲートバルブを提供する
ものである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】前記の目的を解決するた
めに、本発明は、弁箱と、前記弁箱に取着された駆動部
と、前記駆動部に連結され、該駆動部の駆動作用下に軸
線方向に沿って変位する弁ロッドと、前記弁ロッドに係
着されて該弁ロッドを介して前記弁箱の通路を開閉する
弁ディスクと、前記弁ディスクと前記弁ロッドとを着脱
自在に連結する連結機構と、を備え、前記連結機構によ
り前記弁ロッドに係着された前記弁ディスクを前記弁箱
から搬出入することを特徴とする。

【００１３】本発明によれば、弁箱の上部から弁ディス
クを搬出入して弁ロッドに着脱できるようにしたので、
弁ロッドに対して弁ディスクの係着および離脱が容易に
なり、シール部材の交換もしくは弁座、弁ディスク等に
付着した生成物の除去の作業を短時間で行うことができ
る。

【００１４】この場合、前記連結機構は、前記弁ロッド
に形成された取着部と、前記弁ディスクに形成され前記
取着部が嵌挿される孔部と、前記取着部に形成された溝
部と、前記溝部に取着され弾発力を有する板ばね部材と
を有し、前記板ばね部材に形成された凸部が前記弁ディ
スクに形成された開口部に係合し、前記板ばね部材の弾
発力により前記弁ディスクが前記弁ロッドに係着される
と、前記弁ロッドの軸線方向に沿った前記弁ディスクの
変位を規制することができ、好適である。

【００１５】この場合、前記連結機構は、前記弁ロッド
に形成された取着部と、前記弁ディスクに形成され前記
取着部が嵌挿された孔部と、前記取着部に形成された傾
斜面と、前記孔部に装着され前記傾斜面および前記弁デ
ィスクの内側面に係合する移動体とを有し、前記移動体
が変位方向に沿って変位することにより、前記弁ディス
クが前記弁ロッドに係着されると、構造が簡素化にな
り、好適である。

【００１６】さらに、前記取着部は、前記弁ロッドの一
側部の外周面を軸線方向および半径方向の外方に向かっ
て切り欠いて形成された第１取付面と、前記第１取付面
に対して略平行に形成された第２取付面と、前記第１お
よび第２取付面に連通する軸線方向に沿った側壁面が断
面略円弧状に形成された円弧面とを設けると、前記弁デ
ィスクおよび弁ロッドが相互に位置決めされるので、好
適である。

【００１７】前記移動体は、楔機能を有する楔部材であ
ると、前記弁ディスクを前記弁ロッドに確実に係着でき
るので、好適である。

【００１８】前記弁箱は、上部壁が着脱可能に設けられ
ると、前記弁ディスクを前記弁箱から容易に搬出入する
ことができ、好適である。

【００１９】

【発明の実施の形態】本発明に係るゲートバルブについ
て、好適な実施の形態を挙げ、添付の図面を参照しなが
ら、以下、詳細に説明する。

【００２０】図１乃至図６は、本発明の実施の形態に係
るゲートバルブ２０の構成を示す。

【００２１】ゲートバルブ２０は、弁箱２２と、前記弁
箱２２の下部に取着された駆動部２４と、前記駆動部２
４の駆動作用下に上下方向に沿って変位するとともに、
前記上下方向と略直交する方向に所定角度傾動する一組
の弁ロッド２６ａ、２６ｂと、前記弁ロッド２６ａ、２
６ｂの一端部に係着された略長方形状の弁ディスク２８
と、前記弁ディスク２８を前記弁ロッド２６ａ、２６ｂ
に係着する連結機構３０（図４参照）とを有する。前記
弁ディスク２８には、通路３４を囲繞する溝に沿ってシ
ール部材４０（図４参照）が装着され、前記シール部材
４０によって弁ディスク２８が後述する弁座３８に着座
した際の気密性が保持される。

【００２２】弁箱２２は略直方体状に形成され、前部壁
３２ａおよび後部壁３２ｂ（図４参照）に、図示しない
ワークを出し入れするための通路３４、３６が設けら
れ、且つ通路３４の内壁面に形成された弁座３８に弁デ
ィスク２８が着座することにより、前記通路３４が気密
に閉塞される。図１に示されるように、弁箱２２を形成
する側部壁４２ａ、４２ｂの上端面には、ねじ部材４４
により上部壁４６が着脱可能に設けられている。よっ
て、弁箱２２の上部は、上部壁４６の着脱により開閉さ
れる。この場合、図１に示されるように、弁ロッド２６
ａ、２６ｂは、弁箱２２の下部壁４８に形成された断面
略円形状の貫通孔５０ａ、５０ｂに挿通されている。

【００２３】連結機構３０（図４および図５参照）は、
弁ロッド２６ａ、２６ｂに形成された断面略半円形状の
取着部６０と、弁ディスク２８に形成され前記弁ロッド
２６ａ、２６ｂの取着部６０が嵌着された孔部６２と、
前記取着部６０に形成された溝（溝部）６４および６６
と、一側部が前記溝６４に取着され、且つ他側部が前記
溝６６内に係合する長尺状の板ばね部材６８とを有す
る。取着部６０は、弁ロッド２６ａ、２６ｂの一側部の
外周面を軸心近傍まで軸線方向に沿って切り欠いて形成
された取付面５２と、前記取付面５２に略直交する水平
方向に沿って設けられた平面５４と、前記取付面５２お
よび平面５４にそれぞれ略平行に形成された取付面５６
および下面５８と、前記取付面５２および５６に連通す
る軸線方向に沿った側壁面を断面略円弧状に形成した円
弧面５６ａとを有する。この場合、取付面５２と平面５
４とは第１取付面を、取付面５６と下面５８とは第２取
付面をそれぞれ構成する。

【００２４】前記溝６４および６６は、取着部６０の取
付面５６に軸線方向に沿って設けられ、且つ溝６４の深
さは、溝６６よりも大きく形成され、前記溝６４と溝６
６との接合面に段差が形成されている。

【００２５】前記板ばね部材６８は、一側部が下面５８
に当接してねじ部材７０を介して溝６６に取着され、他
側部がねじ部材７０を支点にして溝６４内に係合できる
ように設けられている。

【００２６】板ばね部材６８の中央部には、弁ディスク
２８の孔部６２に形成された開口部７２に係合する凸部
７４が設けられ、且つ他側部には傾斜部７６が設けられ
ている。前記傾斜部７６は溝６４側に屈折して弁ディス
ク２８の孔部６２に設けられている。なお、傾斜部７６
は、板ばね部材６８の他側部を溝６４内に係合させる際
に、ねじ部材７０を支点にして該板ばね部材６８を押し
て傾動させる機能を有する。板ばね部材６８の凸部７４
には、傾斜面８２ａ、８２ｂが設けられ、傾斜面８２ａ
の勾配は傾斜面８２ｂの勾配よりも小さく設定されてい
る。この場合、傾斜面８２ａは、板ばね部材６８の凸部
７４と弁ロッド２６ａ、２６ｂの開口部７２との係合を
容易にし、傾斜面８２ｂは、前記開口部７２と凸部７４
との係合を維持するように機能するものである。

【００２７】このため、弁ディスク２８の孔部６２が弁
ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に嵌挿されたとき
に、板ばね部材６８の凸部７４が弁ディスク２８の開口
部７２に係合し、且つ該板ばね部材６８は弁ロッド２６
ａ、２６ｂに設けられた溝６４、６６にガイドされ、板
ばね部材６８の弾発力により平坦部が弁ディスク２８の
内側面７８を押圧して弁ディスク２８が弁ロッド２６
ａ、２６ｂに係着される。

【００２８】駆動部２４は、ねじ部材８４を介して弁箱
２２に固定されたベースプレート８６と、前記ベースプ
レート８６に装着される有底筒状のケーシング８８と、
前記ケーシング８８内に配設されたシリンダ機構９０と
を有する。

【００２９】ベースプレート８６には、貫通孔５０ａ、
５０ｂの一端部に係合した鍔付ガイドリング９２が嵌着
されており、前記鍔付ガイドリング９２の上面と弁箱２
２の下部壁４８との間はシール部材９４により密封され
ている。鍔付ガイドリング９２の下面には、金属製のベ
ローズ９６の上端が気密に接続され、前記ベローズ９６
の下端はガイドリング９８の一側面に気密に接続されて
いる。よって、弁ロッド２６ａ、２６ｂの下方の外周面
は鍔付ガイドリング９２およびベローズ９６の内側に非
接触状態を維持するように挿通され、ベローズ９６によ
り弁ロッド２６ａ、２６ｂの下端と鍔付ガイドリング９
２の上面との間が密封されている。

【００３０】シリンダ機構９０は、両側面に軸線方向に
沿って延在する面１００に段部１００ａ（図６参照）が
形成され、図示しないねじ部材を介してベースプレート
８６に一端部が固定されるシリンダチューブ１０２と、
前記シリンダチューブ１０２内のシリンダ室１０４に摺
動自在に装着されたピストン１０６と、一端部が前記ピ
ストン１０６に連結されたピストンロッド１０８とを有
する。

【００３１】ピストン１０６の外周面には、該ピストン
１０６によって二分割された上部側シリンダ室１０４ａ
と下部側シリンダ室１０４ｂとをそれぞれ気密に保持す
るピストンパッキン１１０が装着されている。

【００３２】さらに、駆動部２４は、ロックナット１１
２およびスペーサ１１４を介してピストンロッド１０８
の他端部に固定されるレバー部材１１６と、前記レバー
部材１１６と一体的に変位する伝動部材１１８とを有す
る。略平行に延在するレバー部材１１６の両側面には、
該レバー部材１１６の両側面に略直交する水平方向に沿
って所定長だけ突出する一組の突出片１２０ａ、１２０
ｂが形成されている。突出片１２０ａ、１２０ｂには、
後述するばね部材１３８の一端部が係着される略円形状
の凹部１２２が形成されている。

【００３３】レバー部材１１６の両側面には、軸線方向
に沿って略長円状に切り欠かれた長孔１２４ａ、１２４
ｂがそれぞれ形成され、前記長孔１２４ａ、１２４ｂに
は、ピン部材１２６を介して伝動部材１１８に固定され
たローラ１２８が係合するように設けられている。

【００３４】さらに、レバー部材１１６の両側面の上部
側には、孔部（図示せず）を介して一組のピン部材１３
０が嵌着され、前記ピン部材１３０の一端部は、伝動部
材１１８の両側面に形成された係合用溝部１３２に係合
するように設けられている。

【００３５】伝動部材１１８の略平行に延在する両側面
には、該伝動部材１１８の両側面に略直交する水平方向
に沿って所定長だけ突出する一組のフランジ部１３４
ａ、１３４ｂが形成されている。フランジ部１３４ａ、
１３４ｂには、弁ロッド２６ａ、２６ｂの一端部が嵌挿
され、前記弁ロッド２６ａ、２６ｂのねじ部に締結され
るロックナット１３６を介して該弁ロッド２６ａ、２６
ｂが伝動部材１１８に固定されている。

【００３６】前記伝動部材１１８の一組のフランジ部１
３４ａ、１３４ｂとレバー部材１１６の一組の突出片１
２０ａ、１２０ｂとの間には、それぞればね部材１３８
が介装され、前記ばね部材１３８の一端部は、フランジ
部１３４ａ、１３４ｂに固定される弁ロッド２６ａ、２
６ｂの一端部に係着され、前記ばね部材１３８の他端部
は、突出片１２０ａ、１２０ｂの円形状の凹部１２２に
係着されている。

【００３７】また、係合用溝部１３２の下端部１３２ａ
にピン部材１３０が係合することにより、レバー部材１
１６と伝動部材１１８とが、上下方向および前後方向
（図２において左右方向）の位置ずれを防止し、且つ上
下方向に沿って所定間隔離間した状態で位置決めされ、
このように位置決めされた状態で一体的に上下動する。

【００３８】そして、ピン部材１３０が係合用溝部１３
２の下端部１３２ａから離脱して傾斜部１３２ｂ（図２
参照）に沿って上昇することにより、弁ディスク２８が
傾動可能となる。

【００３９】さらにまた、二股に分岐された伝動部材１
１８の上部には、一組の支点用ローラ１４０が回動自在
に軸支され、前記支点用ローラ１４０はシリンダチュー
ブ１０２の段部１００ａに非接触状態に設けられてい
る。この場合、支点用ローラ１４０は伝動部材１１８の
変位終端位置において、ベースプレート８６に設けた湾
曲する凹部１４４に挿入され、前記凹部１４４に係合す
る支点用ローラ１４０を支点として弁ディスク２８、弁
ロッド２６ａ、２６ｂおよび伝動部材１１８が所定角度
θだけ傾動する（図３参照）。

【００４０】伝動部材１１８の下部には、ピストンロッ
ド１０８が挿通し断面長円状からなる長孔１４２が形成
され、前記伝動部材１１８が傾動する際、前記ピストン
ロッド１０８が長孔１４２に沿って変位するように設け
られている。

【００４１】本発明の実施の形態に係るゲートバルブ２
０は、基本的には以上のように構成されるものであり、
次にその動作並びに作用効果について説明する。

【００４２】なお、以下の説明では、ピストン１０６が
シリンダ室１０４の最下端位置にあるとき、弁箱２２に
形成された通路３４が弁ディスク２８によって閉塞され
ていない開成状態を初期位置としている。

【００４３】初期位置では、ばね部材１３８の弾発力に
よってレバー部材１１６が下方側に押圧されているた
め、レバー部材１１６に固着されたピン部材１３０が伝
動部材１１８の係合用溝部１３２の下端部１３２ａに保
持された状態にある。また、初期位置では、レバー部材
１１６の両側面に形成された長孔１２４ａ、１２４ｂの
上部にローラ１２８が係合した状態にある。

【００４４】初期位置において、圧力流体供給源（図示
せず）から下部側シリンダ室１０４ｂに圧力流体を供給
すると、ピストン１０６の上昇とともにピストンロッド
１０８が上昇する。ピストンロッド１０８が上昇するこ
とにより、該ピストンロッド１０８とともにレバー部材
１１６、伝動部材１１８、弁ロッド２６ａ、２６ｂおよ
び弁ディスク２８が一体的に上昇する。

【００４５】この場合、レバー部材１１６は、ばね部材
１３８の弾発力によって下方側に押圧された状態にあ
り、前記レバー部材１１６の両側面に固着された一組の
ピン部材１３０が伝動部材１１８の係合用溝部１３２の
下端部１３２ａに保持されることにより、レバー部材１
１６と伝動部材１１８とは、図２に示されるように、そ
れぞれ上下方向および前後方向の位置ずれを防止した所
定位置に位置決め保持された状態にある。

【００４６】従って、レバー部材１１６および伝動部材
１１８は、前記所定位置に位置決め保持された状態で一
体的に上昇する。ピストンロッド１０８が上昇して伝動
部材１１８の一端部がベースプレート８６に当接するこ
とにより前記伝動部材１１８は変位終端位置に到達し、
弁ディスク２８は、通路３４の開口部に対峙した状態と
なる（図２参照）。その後、伝動部材１１８に設けられ
た支点用ローラ１４０はベースプレート８６に形成され
た湾曲する凹部１４４に係合される。

【００４７】伝動部材１１８が変位終端位置に到達した
後、ばね部材１３８の弾発力に抗してピストンロッド１
０８をさらに上昇させることにより、レバー部材１１６
のみが上昇する。その際に、伝動部材１１８は、レバー
部材１１６の長孔１２４ａ、１２４ｂに対するローラ１
２８の係合作用下に、支点用ローラ１４０を支点として
所定角度θだけ傾動し、弁ディスク２８が弁座３８に着
座することにより通路３４が閉塞される（図３参照）。
なお、伝動部材１１８が支点用ローラ１４０を支点とし
て傾動する際、レバー部材１１６の両側面に固着された
ピン部材１３０は、伝動部材１１８の係合用溝部１３２
の下端部１３２ａから離脱して傾斜部１３２ｂに沿って
上昇する。

【００４８】従って、弁ロッド２６ａ、２６ｂを介して
伝動部材１１８に固着された弁ディスク２８は、伝動部
材１１８が所定角度θだけ傾動することにより、通路３
４から所定間隔離間して対峙した状態から通路３４側に
略水平に変位する。この結果、弁ディスク２８に設けら
れたシール部材４０が弁座３８に着座して通路３４が閉
塞される。

【００４９】弁ディスク２８を弁座３８から離間させて
通路３４を開成する場合には、図示しない切換弁の切換
作用下に上部側シリンダ室１０４ａに圧力流体を供給す
ることによりピストン１０６が下降し、ピストンロッド
１０８、レバー部材１１６および伝動部材１１８が一体
的に下降することにより、初期位置に復帰する。

【００５０】次に、本実施の形態に係るゲートバルブ２
０において、弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６ｂ
から離脱して弁箱２２の上部より搬出する場合および弁
ディスク２８を弁箱２２の上部から搬入して弁ロッド２
６ａ、２６ｂに係着する場合について説明する。

【００５１】先ず、弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、
２６ｂから離脱する場合には、ピストン１０６を上昇さ
せて、伝動部材１１８の一端部がベースプレート８６に
当接することにより前記伝動部材１１８が変位終端位置
に到達し、弁ディスク２８を弁箱２２の通路３４の開口
部に対峙した状態にする。

【００５２】この状態で、弁箱２２の上部壁４６と側部
壁４２ａ、４２ｂとを締結しているねじ部材４４を取り
外し、前記弁箱２２の上部を開放する。

【００５３】次いで、板ばね部材６８の傾斜部７６を介
して該板ばね部材６８の他側部を溝６４内に係合させ、
前記板ばね部材６８の凸部７４を弁ディスク２８の開口
部７２から離脱させると、板ばね部材６８の弾発力によ
る弁ディスク２８の内側面７８への押圧が解放される。
その後、弁ディスク２８を引き上げると、該弁ディスク
２８の孔部６２が弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０
から離脱して弁箱２２の上部より搬出される。

【００５４】次に、弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、
２６ｂに係着する場合は、弁ディスク２８を弁箱２２の
上部より該弁箱２２に搬入し、弁ディスク２８の孔部６
２を弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に嵌挿する。
このため、板ばね部材６８の凸部７４が弁ディスク２８
の開口部７２に係合され、且つ前記板ばね部材６８の弾
発力により弁ディスク２８の内側面７８が押圧されて弁
ディスク２８が弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着される。

【００５５】この場合、弁ディスク２８の孔部６２が弁
ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に嵌挿される際に、
板ばね部材６８の傾斜部７６を介して該板ばね部材６８
の他側部を溝６４内に係合させ、板ばね部材６８の凸部
７４と弁ディスク２８の開口部７２との係合を解放する
と、板ばね部材６８の弾発力による弁ディスク２８の内
側面７８への押圧が軽減されて、弁ディスク２８の孔部
６２を弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に容易に嵌
挿することができる。

【００５６】本実施の形態に係るゲートバルブ２０で
は、弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着も
しくは離脱する場合に、板ばね部材６８の他側部を溝６
４内に係合させて弁ディスク２８の開口部７２と板ばね
部材６８の凸部７４とを容易に着脱することができる。

【００５７】図７乃至図９は本発明の他の実施の形態に
係るゲートバルブ１５０を示す。なお、図７乃至図９に
おいて、図１乃至図６の構成要素と同一の構成要素につ
いては同一の参照符号を付して、その詳細な説明を省略
する。

【００５８】図８において、連結機構１５２は、弁ロッ
ド２６ａ、２６ｂの取着部６０に形成された傾斜面１５
４と、前記弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に装着
された楔部材（移動体）１５６とを有する。前記傾斜面
１５４は、弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０の端面
部を軸心方向に沿って斜めに削成して設けられている。
前記楔部材１５６は、底面１５４ａに螺合するねじ部材
１５８を介して取着部６０の凹部１６６に取着されてお
り、該楔部材１５６の一側部には、傾斜面１５４に係合
する傾斜面１６０が設けられ、他側部には、弁ディスク
２８の内側面７８に係合する接触面１６２が設けられて
いる。

【００５９】なお、楔部材１５６がねじ部材１５８を介
して傾斜面１５４および１６０に沿って係合する際に、
楔部材１５６に設けた孔１６４の孔径は前記ねじ部材１
５８の軸径に対し大きく設けられている。

【００６０】この場合、ねじ部材１５８を回動させる
と、楔部材１５６の傾斜面１６０および接触面１６２
は、それぞれ取着部６０の傾斜面１５４、弁ディスク２
８の内側面７８に非接触状態で傾斜面１５４および１６
０に沿って変位する。楔部材１５６の傾斜面１６０およ
び接触面１６２のそれぞれが取着部６０の傾斜面１５
４、弁ディスク２８の内側面７８に接触して、さらに、
ねじ部材１５８を介して楔部材１５６を変位させると、
楔作用により楔部材１５６の傾斜面１６０および接触面
１６２は、それぞれ取着部６０の傾斜面１５４、弁ディ
スク２８の内側面７８を押圧し、弁ディスク２８は弁ロ
ッド２６ａ、２６ｂに係着される。本発明の他の実施の
形態に係るゲートバルブ１５０は、基本的には以上のよ
うに構成されるものであり、次にその動作ならびに作用
効果について説明する。

【００６１】前記ゲートバルブ１５０において、弁ディ
スク２８を弁ロッド２６ａ、２６ｂから離脱して弁箱２
２より搬出する場合、および弁ディスク２８を弁箱２２
に搬入して弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着する場合につ
いて説明する。

【００６２】弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６ｂ
から離脱する場合は、ピストン１０６を上昇させて、伝
動部材１１８の一端部がベースプレート８６に当接する
ことにより前記伝動部材１１８は変位終端位置に到達
し、弁ディスク２８を弁箱２２の通路３４の開口部に対
峙した状態にする。

【００６３】この状態で、弁箱２２の上部壁４６と側部
壁４２ａ、４２ｂとを締結しているねじ部材４４を取り
外し、弁箱２２の上部を開放する。

【００６４】次いで、ねじ部材１５８を回動させて楔部
材１５６を上方向に変位させると（図８参照）、前記楔
部材１５６の変位により該楔部材１５６の傾斜面１６０
および接触面１６２がそれぞれ取着部６０の傾斜面１５
４、弁ディスク２８の内側面７８から離間して、弁ロッ
ド２６ａ、２６ｂと弁ディスク２８との係着が解放され
る。そして、弁ディスク２８を引き上げると、該弁ディ
スク２８の孔部６２が弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部
６０より離脱して弁箱２２の上部より搬出される。

【００６５】次に、弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、
２６ｂに係着する場合は、弁ディスク２８を弁箱２２の
上部より該弁箱２２に搬入し、弁ディスク２８の孔部６
２を弁ロッド２６ａ、２６ｂの取着部６０に嵌挿する。
次いで、ねじ部材１５８を回動させると楔部材１５６は
弁ディスク２８の孔部６２に沿って下方向に変位し（図
８参照）、楔作用により楔部材１５６の傾斜面１６０お
よび接触面１６２は、それぞれ取着部６０の傾斜面１５
４、弁ディスク２８の内側面７８を押圧して弁ディスク
２８が弁ロッド２６ａ、２６ｂに係着される。

【００６６】このように、本発明の他の実施の形態で
は、弁ロッド２６ａ、２６ｂに設けられた楔部材１５６
の楔作用により弁ディスク２８を弁ロッド２６ａ、２６
ｂに対し容易に係着もしくは離脱することができる。

【００６７】

【発明の効果】本発明によれば、弁箱の上部から弁ディ
スクを搬出入して弁ロッドに着脱できるようにしたの
で、弁ロッドに対して弁ディスクの係着および離脱が容
易になり、シール部材の交換もしくは弁座、弁ディスク
等に付着する生成物の除去作業を短時間で行うことがで
きる。

【００６８】また、シール部材の交換もしくは弁座、弁
ディスク等に付着する生成物の除去作業が弁箱の外部で
行われるので、弁座や弁ディスクを損傷することがな
く、保守点検の費用を低減することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態に係るゲートバルブの概略
構成を示す縦断面図である。

【図２】図１のＩＩ−ＩＩ線に沿った縦断面図である。

【図３】図２に示す弁ロッドが角度θだけ傾動して弁デ
ィスクが弁座に着座した状態を示す縦断面図である。

【図４】図２に示す取着部の要部縦断面図である。

【図５】図４に示す取着部の要部斜視図である。

【図６】図１に示すシリンダチューブの斜視図である。

【図７】本発明の他の実施の形態に係るゲートバルブの
概略構成を示す一部縦断面図である。

【図８】図７のＶＩＩＩ−ＶＩＩＩ線に沿った縦断面図
である。

【図９】図８に示す取着部の要部斜視図である。

【図１０】従来技術に係るゲートバルブの軸線方向に沿
った縦断面図である。

【図１１】図１０に示すゲートバルブの軸線方向に沿っ
た縦断面図である。

【図１２】図１１に示すシリンダチューブの斜視図であ
る。

【符号の説明】

２０、１５０…ゲートバルブ ２２…弁箱 ２４…駆動部 ２６ａ、２６ｂ…弁
ロッド ２８…弁ディスク ３０、１５２…連結
機構 ３４、３６…通路 ５２、５６…取付面 ５６ａ…円弧面 ５４…平面 ５８…下面 ６０…取着部 ６２…孔部 ６４、６６…溝 ６８…板ばね部材 ７２…開口部 ７４…凸部 ７６…傾斜部 ８６ａ、８６ｂ、１５４、１６０…傾斜面 １５６…楔部材 １５８…ねじ部材

フロントページの続き (72)発明者 古舘 政一 茨城県筑波郡谷和原村絹の台４−２−２ エスエムシー株式会社筑波技術センター内 Ｆターム(参考） 3H051 AA03 BB02 BB03 CC05 CC06 CC12 FF09 3H053 AA26 BC03 BD02 DA01 DA07 3H063 AA04 BB33 BB47 DA15 DB46 GG02

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】弁箱と、 前記弁箱に取着された駆動部と、 前記駆動部に連結され、該駆動部の駆動作用下に軸線方
   向に沿って変位する弁ロッドと、 前記弁ロッドに係着されて該弁ロッドを介して前記弁箱
   の通路を開閉する弁ディスクと、 前記弁ディスクと前記弁ロッドとを着脱自在に接続する
   連結機構と、 を備え、前記連結機構により前記弁ロッドに係着された
   前記弁ディスクを前記弁箱から搬出入することを特徴と
   するゲートバルブ。
2. 【請求項２】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記連結機構は、前記弁ロッドに形成された取着部と、
   前記弁ディスクに形成され前記取着部が嵌挿される孔部
   と、前記取着部に形成された溝部と、前記溝部に取着さ
   れ弾発力を有する板ばね部材とを有し、前記板ばね部材
   に形成された凸部が前記弁ディスクに形成された開口部
   に係合し、前記板ばね部材の弾発力により前記弁ディス
   クが前記弁ロッドに係着されることを特徴とするゲート
   バルブ。
3. 【請求項３】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記連結機構は、前記弁ロッドに形成された取着部と、
   前記弁ディスクに形成され前記取着部が嵌挿された孔部
   と、前記取着部に形成された傾斜面と、前記孔部に装着
   され前記傾斜面および前記弁ディスクの内側面に係合す
   る移動体とを有し、前記移動体が変位方向に沿って変位
   することにより前記弁ディスクが前記弁ロッドに係着さ
   れることを特徴とするゲートバルブ。
4. 【請求項４】請求項２または３記載のゲートバルブにお
   いて、 前記取着部は、前記弁ロッドの一側部の外周面を軸線方
   向および半径方向の外方に向かって切り欠いて形成され
   た第１取付面と、前記第１取付面に対して略平行に形成
   された第２取付面と、前記第１および第２取付面に連通
   する軸線方向に沿った側壁面が断面略円弧状に形成され
   た円弧面とを有することを特徴とするゲートバルブ。
5. 【請求項５】請求項３記載のゲートバルブにおいて、 前記移動体は、楔機能を有する楔部材であることを特徴
   するゲートバルブ。
6. 【請求項６】請求項１記載のゲートバルブにおいて、 前記弁箱は、上部壁が着脱可能に設けられていること特
   徴とするゲートバルブ。