JP2005325960A - ゲートバルブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ゲートバルブ1は、相互に対向する位置に通孔11が形成された弁箱10と、ベローズ23を介して連結された一対の弁板21、22を有し、この弁箱10内に配置された弁組立体20と、この弁組立体20を先端に支持している支持ロッド50と、弁箱10側と支持ロッド50側とをシールするベローズ60と、支持ロッド50を介して弁組立体20を開弁位置と閉弁位置との間を移動させるエアシリンダ70、を備えており、弁箱10は、弁組立体20が通過可能な開口部12が形成されていると共に、開口部12を塞ぐように弁箱10にボルト15により着脱可能に取り付けられた蓋部14を有し、開口部12を介してボルト25を固定し又は緩めることにより弁組立体20を支持ロッド50から着脱することが可能となっている。
【選択図】図1
Description
相互に対向する位置に通孔が形成された弁箱と、
前記弁箱内に配置された一対の弁板、及び、前記一対の弁板を連結しているベローズを有する弁組立体と、
前記弁組立体を支持して、前記弁板が前記通孔に対向する閉弁位置と前記弁板が前記通孔に対向しない開弁位置との間で前記弁組立体を移動させる支持ロッドと、
前記一対の弁板を相互に離遠又は接近させる弁板駆動手段と、
前記一対の弁板が相互に離遠又は接近する方向に沿って、前記弁板を案内する案内手段と、を少なくとも有するゲートバルブであって、
前記弁板駆動手段は、前記一対の弁板及び前記ベローズにより形成される密閉空間に流体を供給し、前記密閉空間から前記流体を排出する流体供給手段であり、
前記弁箱は、前記弁組立体が通過可能な開口部が形成されていると共に、前記開口部を塞ぐように前記弁箱に着脱可能に取り付けられた蓋部を有し、
前記弁組立体は、前記開口部を介して前記支持ロッドから着脱可能となっていることを特徴とする。
前記ストッパブロックは、前記弁組立体を、前記支持ロッドから着脱可能となるように当該連結ロッドに、着脱可能に連結してあり、
前記ストッパブロックの前記支持ロッドに対する着脱が、前記弁箱の開口部を通して操作可能にしてあることが好ましい。
10…弁箱
11…通孔
12…開口部
14…蓋部
20…弁組立体
21…第1の弁板
21a…Oリング
22…第2の弁板
22a…Oリング
23…ベローズ
30…第1のガイド手段
31…シャフト
32…スリーブ
33…ブッシュ
40…第2のガイド手段
41…シャフト
42…ストッパブロック
43…ブッシュ
50…支持ロッド
60…ベローズ
70…エアシリンダ
Claims (4)
- 相互に対向する位置に通孔が形成された弁箱と、
前記弁箱内に配置された一対の弁板、及び、前記一対の弁板を連結しているベローズを有する弁組立体と、
前記弁組立体を支持して、前記弁板が前記通孔に対向する閉弁位置と前記弁板が前記通孔に対向しない開弁位置との間で前記弁組立体を移動させる支持ロッドと、
前記一対の弁板を相互に離遠又は接近させる弁板駆動手段と、
前記一対の弁板が相互に離遠又は接近する方向に沿って、前記弁板を案内する案内手段と、を少なくとも有するゲートバルブであって、
前記弁板駆動手段は、前記一対の弁板及び前記ベローズにより形成される密閉空間に流体を供給し、前記密閉空間から前記流体を排出する流体供給手段であり、
前記弁箱は、前記弁組立体が通過可能な開口部が形成されていると共に、前記開口部を塞ぐように前記弁箱に着脱可能に取り付けられた蓋部を有し、
前記弁組立体は、前記開口部を介して前記支持ロッドから着脱可能となっていることを特徴とするゲートバルブ。 - 前記案内手段は、
前記一対の弁板の間に配置されたシャフトと、
前記シャフトに沿って摺動可能であり、前記弁板に設けられたブッシュと、を含み、
前記シャフトの軸線方向は、前記一対の弁板が相互に離遠又は接近する方向に実質的に一致しており、
前記弁組立体は、前記ベローズが収縮時密着しないように、前記一対の弁板の接近動作時の接近距離を制限する制限手段をさらに有する請求項1記載のゲートバルブ。 - 前記制限手段により制限される前記一対の弁板同士の間の前記接近距離は、前記ベローズの自由長より長くなるように、前記制限手段は、前記ベローズの自由長より長い長さを持つスリーブを含み、
前記スリーブは、前記シャフトに固定されている請求項2に記載のゲートバルブ。 - 前記制限手段は、前記シャフトを保持するストッパブロックを含み、
前記ストッパブロックは、前記弁組立体を、前記支持ロッドから着脱可能となるように当該連結ロッドに、着脱可能に連結してあり、
前記ストッパブロックの前記支持ロッドに対する着脱が、前記弁箱の開口部を通して操作可能にしてあることを特徴とする請求項2または3に記載のゲートバルブ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004145973A JP4458342B2 (ja) | 2004-05-17 | 2004-05-17 | ゲートバルブ |
US11/128,334 US20050253099A1 (en) | 2004-05-17 | 2005-05-13 | Gate valve |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004145973A JP4458342B2 (ja) | 2004-05-17 | 2004-05-17 | ゲートバルブ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005325960A true JP2005325960A (ja) | 2005-11-24 |
JP4458342B2 JP4458342B2 (ja) | 2010-04-28 |
Family
ID=35308537
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004145973A Expired - Fee Related JP4458342B2 (ja) | 2004-05-17 | 2004-05-17 | ゲートバルブ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20050253099A1 (ja) |
JP (1) | JP4458342B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2004-05-17 JP JP2004145973A patent/JP4458342B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 2005-05-13 US US11/128,334 patent/US20050253099A1/en not_active Abandoned
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4458342B2 (ja) | 2010-04-28 |
US20050253099A1 (en) | 2005-11-17 |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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