KR101311641B1 - 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치는 내부에 중공부가 형성되고, 외부에 상기 중공부와 연통하는 제1통로와 제2통로가 형성된 밸브몸체;와, 직선왕복하는 구동축이 형성되어 상기 밸브몸체에 설치되는 액추에이터;와, 상기 밸브몸체의 수용공간 내에서 상기 액추에이터의 구동축에 연결되어 액추에이터의 구동에 따라 상기 제2통로를 선택적으로 마감하는 차단부재;를 포함하며, 상기 차단부재가 접촉하는 제2통로의 내주면에는 제1경사면이 형성되고, 상기 차단부재의 전면부 테두리에는 상기 제1경사면에 대응하는 제2경사면이 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치{Powder Protection Angle Valve}

본 발명은 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 액추에어터의 구동에 의해 차단부재가 밸브의 통로를 개폐하는 것으로, 공정부산물이 밸브 내부에 축적되는 것을 방지하여 밸브가 폐쇄되었을 때 기밀성을 높이고 밸브의 수명을 연장할 수 있는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치에 관한 것이다.

일반적으로 반도체는 고정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공 상태에서 제조된다, 따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 개폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.

반도체 제조공정에는 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 이 챔버 내의 공기를 흡입하는 진공펌프 사이에 설치되어 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하도록 진공밸브가 중요한 역할을 한다.

이때 진공밸브는 장비의 유지 보수를 위하여 진공챔버와 진공펌프 사이를 차단하여 장비나 설비를 점검하거나 세정하는 것과 같이 장비의 유지 보수를 위하여 사용된다.

또한, 진공밸브는 진공펌프나 장비가 오동작할 때 재빨리 진공챔버와 진공펌프의 연결통로를 닫아 펌프의 배기구로부터 역류되는 오염물질을 차단하고 진공챔버 내의 진공 상태가 유지되도록 함으로써 생산 라인의 장비가 지속적으로 생산을 가능토록 하는 역할을 한다.

첨부도면 중 도 1은 종래 기술에 따른 진공앵글밸브의 단면도이다.

도 1을 참조하면, 종래의 진공앵글밸브는 진공챔버와 진공펌프를 연결하는 연결관 사이에서 플랜지 이음으로 연결된다.

종래 기술에 따른 진공앵글밸브는 밸브가 개방되고 진공챔버에서 공정을 진행하는 동안 몸체 내부를 통과하는 공정부산물이 차단부재(300)와 결합된 밸로우즈(140)와 차단부재(300)가 맞닿는 몸체(100) 내부 면에 증착되어 밸브 개폐 동작 불량과 밸브가 폐쇄되었을 때 밀폐불량이 발생하는 원인이 되며, 이로 인하여 진공챔버로 이물질이 역류되어 진공챔버 내부가 오염되고 밸브의 수명을 단축시키는 문제점이 있다.

특허문헌 1. 한국 등록특허 제826295호, 프리시스 주식회사 (2008.04.29)

따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 밸브몸체와 차단부재의 접촉면을 각각 서로 대응하는 경사면으로 구성하여 공정부산물의 축적을 방지하는 것과 동시에, 폐쇄상태에서의 접촉면적을 확대시킴으로써 기밀성을 향상시킬 수 있는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치를 제공함에 있다.

또한, 밸브몸체의 외측면에 히터를 배치하고, 차단부재의 전면부에 발열부를 배치하여 밸브몸체와 차단부재가 각각 직접가열되도록 함으로써 유체에 노출되는 밸브몸체의 내측면과 차단부재의 외측면에 공정부산물이 증착되는 것을 방지할 수 있는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치를 제공함에 있다.

또한, 차단부재와 벨로우즈의 사이에 고정플레이트를 배치하고, 고정플레이트에 차단부재와 벨로우즈가 착탈 가능하게 고정되도록 함으로써, 차단부재와 벨로우즈를 각각 개별적으로 간편하고 신속하게 조립 및 분해시킬 수 있는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치를 제공함에 있다.

또한, 차단부재의 개방상태에서 벨로우즈가 수용몸체의 내부에 수용되어 유체에 노출되지 않도록 함으로써 벨로우즈가 공정부산물에 노출되는 것을 방지할 수 있는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치를 제공함에 있다.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 내부에 중공부가 형성되고, 외부에 상기 중공부와 연통하는 제1통로와 제2통로가 형성된 밸브몸체;와, 직선왕복하는 구동축이 형성되어 상기 밸브몸체에 설치되는 액추에이터;와, 상기 밸브몸체의 수용공간 내에서 상기 액추에이터의 구동축에 연결되어 액추에이터의 구동에 따라 상기 제1통로를 선택적으로 마감하는 차단부재;를 포함하며, 상기 차단부재가 접촉하는 제1통로의 내주면에는 제1경사면이 형성되고, 상기 차단부재의 전면부 테두리에는 상기 제1경사면에 대응하는 제2경사면이 형성되는 것을 특징으로 하는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치에 의해 달성된다.

여기서, 상기 밸브몸체의 제1경사면과 차단부재의 제2경사면 사이에는 실링부재가 개재되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 밸브몸체의 외측면에 설치되어 발열하는 가열수단;을 더 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 밸브몸체는, 내부에 수용공간이 형성되어 상기 밸브몸체와 액추에이터 사이에 배치되는 수용몸체와, 중앙에 관통공이 형성되어 상기 수용몸체와 밸브몸체의 사이에 배치되는 격벽과, 상기 수용몸체의 수용공간에 배치되고 양단부가 상기 액추에이터측과 차단부재측에 각각 고정되어 액추에이터의 구동축을 감싸는 벨로우즈를 더 포함하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 차단부재는 제2통로를 개방한 상태에서 후면 테두리부분이 격벽에 밀착되어 수용몸체의 수용공간을 차폐하는 것이 바람직하다.

또한, 상기 차단부재와 격벽의 사이에는 실링부재가 개재되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 구동축과 차단부재의 사이에는 고정플레이트가 배치되고, 상기 차단부재는 고정플레이트에 착탈 가능하게 설치되는 것이 바람직하다.

또한, 상기 차단부재의 전면부에는 발열체가 설치되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 밸브몸체와 차단부재의 접촉면을 각각 서로 대응하는 경사면으로 구성하여 공정부산물의 축적을 방지하는 것과 동시에, 폐쇄상태에서의 접촉면적을 확대시킴으로써 기밀성을 향상시킬 수 있는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치가 제공된다.

또한, 밸브몸체의 외측면에 히터를 배치하고, 차단부재의 전면부에 발열부를 배치하여 밸브몸체와 차단부재가 각각 직접가열되도록 함으로써 유체에 노출되는 밸브몸체의 내측면과 차단부재의 외측면에 공정부산물이 증착되는 것을 방지할 수 있는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치가 제공된다.

또한, 차단부재와 벨로우즈의 사이에 고정플레이트를 배치하고, 고정플레이트에 차단부재와 벨로우즈가 착탈 가능하게 고정되도록 함으로써, 차단부재와 벨로우즈를 각각 개별적으로 간편하고 신속하게 조립 및 분해시킬 수 있는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치가 제공된다.

또한, 차단부재의 개방상태에서 벨로우즈가 수용몸체의 내부에 수용되어 유체에 노출되지 않도록 함으로써 벨로우즈가 공정부산물에 노출되는 것을 방지할 수 있는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치가 제공된다.

도 1은 종래 진공앵글밸브장치의 단면도,
도 2는 본 발명 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치의 부분절개 사시도,
도 3은 본 발명 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치가 개방상태의 단면도이고,
도 4는 본 발명 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치의 폐쇄상태의 단면도이다.

설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치에 대하여 상세하게 설명한다.

첨부도면 중 도 2는 본 발명 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치의 부분절개 사시도이다.

상기 도면에서 도시하는 바와 같은 본 발명 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치는 밸브몸체(10)와, 수용몸체(15)와, 개폐수단 및 가열수단(30)을 포함하여 구성된다.

상기 밸브몸체(10)는 내부에 중공부(11)가 형성되고, 외부에 상기 중공부(11)와 연통하는 제1통로(12)와 제2통로(13)가 형성되고, 제2통로(13)와 대향하는 면에 개구부가 형성되며, 제2통로(13)의 내주면에는 개폐수단의 차단부재(23)가 접촉하는 제1경사면(14)이 형성된다. 이러한 제1경사면(14)은, 제1경사면(14)과 중공부(11)의 내주면 사이각이 둔각이 되고 제1경사면(14)과 제2통로(13) 내주면의 사이각이 우각이 되도록, 하단부가 제2통로(13)의 상단 내주연과 연결된다. 또한, 제1경사면(14)과 제1통로(12) 내주면의 사이각이 우각이 되도록 상기 제1경사면(14)의 상단은 제1통로(12)의 개구측 내주연 하단부와 연결된다.

또한, 상기 밸브몸체(10)에는 내부에 수용공간(15a)이 형성되어 상기 밸브몸체(10)와 액추에이터(21) 사이에 배치되는 수용몸체(15)와, 중앙에 관통공(16a)이 형성되어 상기 수용몸체(15)의 수용공간(15a)과 밸브몸체(10)의 중공부(11) 사이에 배치되는 격벽(16)과, 상기 수용몸체(15)의 수용공간(15a)에 배치되고 양단부가 상기 액추에이터(21)측과 차단부재(23)측에 각각 고정되어 액추에이터(21)의 구동축(21a)을 감싸는 벨로우즈(17)와, 상기 격벽(16)의 중공부(11)와 대향하는 면의 관통공(16a) 주변부에 설치되어 개폐수단의 차단부재(23)와 접촉하는 실링부재(S)가 설치된다.

상기 개폐수단은 밸브몸체(10)에 설치되어 제2통로(13)를 선택적으로 개폐하는 것으로, 액추에이터(21)와, 고정플레이트(22)와 차단부재(23)를 포함하여 구성된다.

여기서, 상기 액추에이터(21)는 공압 또는 유압의 공급에 의해 구동하는 것으로, 밸브몸체(10) 내에서 직선왕복하는 구동축(21a)이 수용몸체(15)를 관통하여 제2통로(13)를 향하도록 밸브몸체(10)의 수용몸체(15) 외측에 설치된다.

또한, 상기 고정플레이트(22)는 액추에이터(21)의 구동축(21a) 선단부에 고정설치되며, 고정플레이트(22)의 후면에 벨로우즈(17)의 일단부가 연결된다.

또한, 상기 차단부재(23)는 고정플레이트(22)의 전면부에 볼트 등에 의해 착탈 가능하게 설치되어 액추에이터(21)의 전진구동에 의해 상기 제2통로(13)를 차폐하고, 후진구동에 의해 격벽(16)의 관통공(16a)을 차폐하는 것으로, 전면부 테두리에는 상기 밸브몸체(10)의 제1경사면(14)에 대응하는 제2경사면(23a)이 형성되고, 상기 제2경사면(23a)에는 상기 밸브몸체(10)의 제1경사면(14)에 밀착되는 실링부재(S)가 설치되며, 전면부에는 발열체(24)가 설치된다.

상기 가열수단(30)은 상기 밸브몸체(10)의 외측면에 배치되어 발열하면서 밸브몸체(10)를 가열하는 것으로, 밸브몸체(10)의 외측을 감싸는 자켓이나 코일형태로 구성될 수 있을 것이다.

지금부터는 상술한 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.

첨부도면 중 도 3은 본 발명 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치가 개방상태의 단면도이고, 도 4는 본 발명 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치의 폐쇄상태의 단면도이다.

먼저, 도 3을 참조하여 본 발명 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치의 결합상태를 살펴보면 다음과 같다.

밸브몸체(10)의 제2통로(13)와 대향하는 개구부에는 격벽(16)을 사이에 두고 수용몸체(15)가 설치되고, 제2통로(13)와 대향하는 수용몸체(15)의 외측면에 액추에이터(21)가 설치되며, 액추에이터(21)의 구동축(21a)은 수용몸체(15)의 외측면을 관통하여 수용몸체(15)의 수용공간(15a) 내에 배치된다.

상기 액추에이터(21)의 구동축(21a)의 선단부에는 격벽(16)의 관통공(16a)에 대응하는 직경을 갖는 고정플레이트(22)가 고정되고, 고정플레이트(22)의 전면부에는 볼트와 같은 체결부재를 통해 밸브몸체(10)의 중공부(11) 내에 배치된 차단부재(23)가 착탈가능하게 조립되며, 상기 차단부재(23)의 전면부에는 발열체(24)가 고정되어 차단부재(23)를 소정온도로 가열함으로써 차단부재(23)의 외측면에 공정부산물이 증착되는 것을 방지한다.

또한, 상기 고정플레이트(22)의 후면부와 액추에이터(21)가 설치된 부분의 수용몸체(15)의 내측면에는 벨로우즈(17)의 양단부가 각각 설치되어 상기 액추에이터(21)의 구동축(21a)을 감싼 상태에서, 수용몸체(15)의 수용공간(15a) 내에 위치하게 된다.

한편, 상기 밸브몸체(10)의 외측면에는 가열수단(30)이 배치되어 밸브몸체(10)를 소정온도로 가열하여 밸브몸체(10)를 통과하는 기체중의 성분이 밸브몸체(10)의 내벽면에 증착되는 것을 방지한다.

또한, 상기 차단부재(23)와 대향하는 격벽(16)의 관통공(16a) 주변부에는 실링부재(S)가 설치되어 차단부재(23)와 격벽(16)이 밀착된 상태에서 맞닿은 면을 통해 기체가 수용몸체(15)의 수용공간(15a) 내부로 유입되는 것을 방지하고, 차단부재(23)의 전면부 테두리의 제2경사면(23a)에는 실링부재(S)가 설치되어 차단부재(23)의 제2경사면(23a)과 밸브몸체(10)의 제1경사면(14)이 밀착된 상태에서 맞닿은 면의 기밀성을 유지한다.

한편, 상기 차단부재(23)는 고정축의 선단부에 설치된 고정플레이트(22)의 전면부에 볼트와 같은 체결부재를 통해 착탈가능하게 설치되고, 벨로우즈(17)의 일단부는 고정플레이트(22)의 후면부에 설치되므로, 차단부재(23)나 벨로우즈(17)의 마모 등으로 인한 부품의 교체시 해당 부품을 개별적으로 교체할 수 있으므로, 간편하고 신속한 유지보수가 가능하게 된다.

도 3 및 도 4를 참조하여 상기와 같이 결합된 본 발명 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치의 개방상태의 작용을 살펴보면 다음과 같다.

먼저 개방작용을 살펴보면, 도 4의 상태로부터 액추에이터(21)가 수축방향으로 후진구동하는 경우, 도 3과 같이 액추에이터(21)의 구동축(21a)에 연결된 차단부재(23)가 제2통로(13)의 내측으로부터 이탈하여 격벽(16)을 향해 이동함에 따라 제1통로(12)와 제2통로(13)가 중공부(11)를 통해 연통된다.

이때, 상기 차단부재(23)의 후단부가 밸브몸체(10)와 수용몸체(15)의 사이에 위치한 격벽(16)에 밀착되고, 이 과정에서 격벽(16)의 관통공(16a) 주변에 설치된 실링부재(S)가 차단부재(23)의 후단부 테두리에 밀착되면서 맞닿은 면의 기밀성을 확보하게 되므로, 밸브몸체(10) 내부를 통과하는 유체가 차단부재(23)와 격벽(16)의 사이공간을 통해 수용몸체(15)의 수용공간(15a) 내부로 유입되는 것이 방지된다.

따라서, 밸브의 개방상태에서 수용몸체(15)의 수용공간(15a)내에 위치하게 되는 벨로우즈(17)가 기체중에 노출되는 것이 방지되며, 상기 차단부재(23)가 개방위치로 이동하여 격벽(16)에 밀착된 상태에서는 차단부재(23)가 제1통로(12)의 개구영역으로부터 완전하게 이탈하게 되므로 유체의 이송에 방해요소로 작용하지 않게 된다.
또한, 공정부산물을 포함하는 유체가 제1통로(12)에서 밸브몸체(10)의 중공부(11)를 경유하여 제2통로(13)로 이동하는 과정에서, 제1통로(12)와 제2통로(13)의 사이영역에 위치하는 각 면들의 관계를 살펴보면 제1통로(12)와 제1경사면(14)의 사이각이 우각이고, 제1경사면(14)과 제2통로(13) 내주면의 사이각이 우각이고, 제1경사면(14)과 중공부(11)의 사이각이 둔각이므로, 유체가 비교적 층류를 형성하면서 이동하게 된다. 따라서, 유체에 포함된 공정부산물이 밸브몸체(10)의 내부에 증착하는 것을 방지할 수 있다.

특히, 상기 밸브몸체(10)의 외부에 설치된 가열수단(30)에 의해 밸브몸체(10)가 소정의 온도로 직접 가열되고, 차단부재(23) 역시 차단부재(23)의 전면부에 설치된 발열체(24)에 의해 직접 가열되어 균일한 온도분포를 유지할 수 있게 되며, 이로 인해 유체 중의 공정부산물이 밸브몸체(10)의 내측면과 차단부재(23)의 전면부에 증착되는 것이 방지될 뿐만 아니라, 차단부재(23)의 차폐성능이 저하되는 것이 방지된다.

상기와 같이 차단부재(23)가 격벽(16)측으로 이동한 상태에서는 제2통로(13)가 개방되어 진공펌프에 의한 진공챔버의 진공화가 가능하게 된다.

다음으로 폐쇄작용을 살펴보면, 도 3의 상태로부터 액추에이터(21)가 연장방향으로 전진구동하는 경우, 도 4와 같이 액추에이터(21)의 구동축(21a)에 연결된 차단부재(23)가 격벽(16)의 관통공(16a)으로부터 제2통로(13)를 향해 이동하게 되며, 차단부재(23)의 전면부 테두리의 제2경사면(23a)이 제2통로(13)의 내주면에 형성된 제1경사면(14)에 접촉하면서 제2통로(13)를 폐쇄하여 유체가 흐르는 것을 차단하게 된다. 특히, 밸브몸체(10)와 차단부재(23)의 접촉부위가 제1경사면(14)과 제2경사면(23a)으로 각각 구성되어 있으므로 접촉부위에 공정부산물이 축적되는 것이 방지되고, 폐쇄시 접촉면적이 넓어 기밀성 확보가 용이하게 된다. 또한, 폐쇄 과정에서 차단부재(23)의 제2경사면(23a)에 마련된 실링부재(S)가 밸브몸체(10)의 제1경사면(14)과 밀착되면서 접합면의 기밀성이 유지되므로 유체가 다시 진공챔버 측으로 역류하는 것이 방지된다.

또한, 차단부재(23)가 전진이동함에 따라 밸브몸체(10)의 중공부(11)에 위치하게 되는 에어실린더의 구동축(21a)은 벨로우즈(17)의 내측에 위치하게 되므로, 구동축(21a)이 제2통로(13) 및 중공부(11) 내에서 유체에 노출되는 것이 방지된다.

본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.

10:밸브몸체, 11:중공부, 12:제1통로, 13:제2통로, 14:제1경사면,
15:수용몸체, 15a:수용공간, 16:격벽, 16a:관통공, 17:벨로우즈,
21:액추에이터, 21a:구동축, 22:고정플레이트, 23:차단부재,
23a:제2경사면, 24:발열체, 30:가열수단, S:실링부재

Claims (8)

1. 내부에 중공부가 형성되고, 외부에 상기 중공부와 연통하는 제1통로와 제2통로가 형성된 밸브몸체;
   직선왕복하는 구동축이 형성되어 상기 밸브몸체에 설치되는 액추에이터;
   상기 밸브몸체의 수용공간 내에서 상기 액추에이터의 구동축에 연결되어 액추에이터의 구동에 따라 상기 제2통로를 선택적으로 마감하는 차단부재; 및,
   상기 밸브몸체의 외측면에 설치되어 발열하는 가열수단;을 포함하며,
   상기 중공부에는 제2통로의 내주연과 중공부의 내주연을 연결하는 제1경사면이 형성되고, 상기 차단부재의 전면부 테두리에는 상기 제1경사면에 대응하는 제2경사면이 형성되며, 상기 제1경사면의 상단은 제1통로의 개구측 내주연 하단부와 연결되는 것을 특징으로 하는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치.
2. 제 1항에 있어서,
   상기 밸브몸체의 제1경사면과 차단부재의 제2경사면 사이에는 실링부재가 개재되는 것을 특징으로 하는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치.
3. 삭제
4. 제 1항 내지 제 2항 중 어느 한 항에 있어서,
   상기 밸브몸체는, 내부에 수용공간이 형성되어 상기 밸브몸체와 액추에이터 사이에 배치되는 수용몸체와, 중앙에 관통공이 형성되어 상기 수용몸체와 밸브몸체의 사이에 배치되는 격벽과, 상기 수용몸체의 수용공간에 배치되고 양단부가 상기 액추에이터측과 차단부재측에 각각 고정되어 액추에이터의 구동축을 감싸는 벨로우즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치.
5. 제 4항에 있어서,
   상기 차단부재는 제2통로를 개방상태에서 후면 테두리부분이 격벽에 밀착되어 수용몸체의 수용공간을 차폐하는 것을 특징으로 하는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치.
6. 제 5항에 있어서,
   상기 차단부재와 격벽의 사이에는 실링부재가 개재되는 것을 특징으로 하는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치.
7. 제 6항에 있어서,
   상기 구동축과 차단부재의 사이에는 고정플레이트가 배치되고, 상기 차단부재는 고정플레이트에 착탈 가능하게 설치되는 것을 특징으로 하는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치.
8. 제 7항에 있어서,
   상기 차단부재의 전면부에는 발열체가 설치되는 것을 특징으로 하는 공정부산물 증착방지형 진공앵글밸브장치.

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