KR101842969B1

KR101842969B1 - 게이트 밸브

Info

Publication number: KR101842969B1
Application number: KR1020160001099A
Authority: KR
Inventors: 송성태
Original assignee: 주식회사 마이크로텍
Priority date: 2016-01-05
Filing date: 2016-01-05
Publication date: 2018-03-29
Also published as: KR20170081994A

Abstract

본 발명은 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되는 게이트 밸브의 개폐 동작을 원활하게 수행하는 게이트 밸브에 관한 것이다. 본 발명은, 유체통로가 형성된 밸브몸체부와, 밸브몸체부의 내부에 슬라이딩하도록 설치되어 유체통로를 개폐하는 개폐부를 구비하는 게이트 밸브로서, 유체통로의 상류에 결합되어 유체통로와 연통되는 연통로가 형성된 상류 플랜지부; 및 유체통로의 하류에 결합되어 유체통로와 연통되는 연통로가 형성된 하류 플랜지부; 를 포함하고, 상류 플랜지부 및 하류 플랜지부 중 적어도 어느 하나의 연통로는 유체통로에 근접할수록 단면적이 좁아진다. 이에 의해, 유체통로에서 파우더의 유속을 빠르게 유도하여 파우더가 밸브몸체부 내부에 부착되는 것을 방지할 수 있는 효과를 제공한다.

Description

게이트 밸브{GATE VALVE}

본 발명은 게이트 밸브에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되는 게이트 밸브의 개폐 동작을 원활하게 수행하는 게이트 밸브에 관한 것이다.

일반적으로 LCD(liquid crystal display) 기판이나 반도체 웨이퍼의 에칭 공정, 증착 공정, 스퍼터링 공정이나 패럴린 코팅과 같이 진공 상태를 필요로 하는 특수한 코팅 공정과 같은 작업을 할 때에는 작업이 이루어지는 챔버 내부의 공기를 제거하여 진공 환경을 형성한다. 이 경우, 적절한 진공도를 설정 및 유지하는 것이 중요한 데, 이 때 반드시 필요한 것이 진공 게이트 밸브이다.

진공 게이트 밸브는 챔버와 펌프를 연결하는 통로에 위치하여 통로를 개폐함으로써 진공상태를 유지 또는 해제하는 역할을 한다. 이러한 진공 게이트 밸브는 통상 하나의 구동판과 하나의 기밀판의 작동에 의해 챔버쪽으로 연결되는 통로를 밀폐시킴으로써 챔버의 기밀성을 유지하게 된다.

따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다. 따라서 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 이 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어, 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 진공 게이트 밸브가 중요한 역할을 담당하게 되므로, 그 수명을 유지하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있다.

특히 진공 게이트 밸브를 통하여 배출되는 진공챔버 내의 유체는 여러 가지 부산물이 포함된다. 이러한 부산물은 유체의 배출시 게이트 밸브의 개폐판을 구동하기 위한 엑츄에이터의 링크나 개폐판이 슬라이딩되는 하우징의 내벽에 지속적으로 부착되어 개폐판의 전후진 동작을 방해하고, 개폐판과 유체통로 사이의 밀폐력을 감소시키므로, 진공 게이트 밸브 내부에 부착된 부산물을 제거하기 위한 부산물 제거부재가 필요 하였다.

종래의 부산물 제거부재로는 게이트 밸브의 유체통로 부위에 설치되어 질소와 같은 세정가스를 공급함으로써 진공 게이트 밸브의 몸체 내부에 부착된 파우더 등의 이물질을 제거하는 세정가스 공급부를 구비하였다.

그러나, 이러한 세정가스 공급부는 진공 게이트 밸브에 부가적으로 설치되어 진공 게이트 밸브의 개폐여부에 따라 동작되므로 그 구조와 제어가 복잡하였다.

또한, 진공 게이트 밸브 내의 부산물을 지속적으로 제거하기 위해서는, 세정가스를 정기적으로 공급해야 하므로 부산물 제거 비용이 높다는 문제가 있었다.

또한, 진공 게이트 밸브 내에 부착된 부산물이 공급된 세정가스에 의해 출구로 빠져나가지 못하고 진공 게이트 밸브의 더 깊숙한 내부 공간으로 이동되었다. 이는 개폐판의 슬라이딩 불량을 야기시킬 뿐만 아니라, 진공 게이트 밸브 전체를 해체하여 세척하거나 클리닝해야하는 문제가 있었고, 유체통로의 개폐성능 및 밀폐성능의 저하로 인하여 여기에 연결되는 진공 반도체 설비에서의 처리공정에서도 처리불량을 제공하는 문제가 있었다.

대한민국 등록특허공보 제10-0446455호 (2004년 08월 20일)

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로서, 유체통로를 통해 배출되는 파우더가 진공 게이트 밸브 내부에 부착되는 것을 방지하여 개폐판과 유체통로 사이의 밀폐력을 향상시킬 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 개폐판의 파우더에 의한 부식을 방지하고 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 개폐판의 슬라이딩 불량을 감소시킬 수 있는 게이트 밸브를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.

또한, 본 발명은 진공 게이트 밸브 내의 파우더 부착을 방지하기 위한 구조와 제어 방법이 간단하면서도 유지 비용이 적은 게이트 밸브를 제공하는 것을 또 다른 목적으로 한다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 유체통로가 형성된 밸브몸체부와, 상기 밸브몸체부의 내부에 슬라이딩하도록 설치되어 상기 유체통로를 개폐하는 개폐부를 구비하는 게이트 밸브로서, 상기 유체통로의 상류에 결합되어 상기 유체통로와 연통되는 연통로가 형성된 상류 플랜지부; 및 상기 유체통로의 하류에 결합되어 상기 유체통로와 연통되는 연통로가 형성된 하류 플랜지부; 를 포함하고, 상기 상류 플랜지부 및 상기 하류 플랜지부 중 적어도 어느 하나의 연통로는 상기 유체통로에 근접할수록 단면적이 좁아지는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 각 연통로는, 상기 유체통로의 유체 진행 방향으로부터 외측으로 경사진 경사각을 갖는 경사면으로 이루어져 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 각 경사면의 경사각은, 서로 상이하게 형성되는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 경사면은, 상기 유체통로의 유체 진행 방향으로부터 외측으로 14°~ 64°의 경사각을 갖는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 상기 상류 플랜지부 및 상기 하류 플랜지부 중 어느 하나의 연통로는 상기 유체통로에 근접할수록 단면적이 좁아지고, 나머지 하나의 연통로는 상기 유체통로와 동일한 단면적으로 형성되는 것을 특징으로 한다.

이상에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 유체통로에 근접할수록 단면적이 좁아지는 연통로가 형성된 플랜지부를 구비하여 유체통로에서 파우더의 유속을 빠르게 유도함으로써, 파우더가 유체통로 부근의 밸브몸체부 내부에 부착되는 것을 방지하고, 개폐판과 유체통로 사이의 밀폐력을 향상시킬 수 있는 효과를 제공한다.

또한, 본 발명은 파우더가 유체통로를 빠르게 통과하여 밸브몸체부 내부의 슬라이딩 공간에 부착되지 않으므로, 개폐부의 파우더에 의한 부식을 방지하고 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 슬라이딩판의 슬라이딩 불량을 감소시킬 수 있는 효과를 제공한다.

또한, 본 발명은 종래의 진공 게이트 밸브에 간단히 플랜지부를 교체하여 사용할 수 있고, 그 구조가 간단하며, 파우더의 부착 방지를 위해 별도로 제어할 필요가 없고 별도의 비용이 소모되지 않는다는 효과를 제공한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 게이트 밸브를 나타내는 사시도.
도 2는 본 발명의 실시예에 의한 게이트 밸브를 나타내는 분해도.
도 3은 본 발명의 실시예에 의한 게이트 밸브를 나타내는 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 의한 게이트 밸브의 다른 플랜지부를 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 의한 게이트 밸브의 또 다른 플랜지부를 나타내는 단면도.
도 6은 본 발명의 실시예에 의한 게이트 밸브의 또 다른 플랜지부를 나타내는 단면도.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 더욱 상세히 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시예에 의한 게이트 밸브를 나타내는 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 의한 게이트 밸브를 나타내는 분해도이고, 도 3은 본 발명의 실시예에 의한 게이트 밸브를 나타내는 단면도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 의한 게이트 밸브의 다른 플랜지부를 나타내는 단면도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 의한 게이트 밸브의 또 다른 플랜지부를 나타내는 단면도이고, 도 6은 본 발명의 실시예에 의한 게이트 밸브의 또 다른 플랜지부를 나타내는 단면도이다.

도 1 내지 도 3에 나타낸 바와 같이 실시예에 의한 게이트 밸브는, 밸브몸체부(10), 개폐부(20), 상류 플랜지부(30), 하류 플랜지부(40), 개폐구동부(50) 및 슬로우 펌프(60)로 이루어져 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되는 게이트 밸브의 개폐 동작을 원활하게 수행하기 위한 진공 게이트 밸브이다.

밸브몸체부(10)는 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되는 진공 게이트 밸브를 구성하며 유체통로(11)가 형성된 박스형상의 몸체부재로서, 상판(12), 하판(13), 복수의 측판(14), 몸체플랜지(15) 및 고정브래킷(16)으로 이루어져 있다.

상판(12)은 밸브몸체부(10)의 상면을 구성하며, 상판(12)의 일측에는 유체통로(11)를 구성하는 관통홀(12a)이 형성되고, 하판(13)은 밸브몸체부(10)의 하면을 구성하며 하판(13)의 일측에는 유체통로(11)를 구성하는 관통홀(13a)이 형성된다. 따라서, 상판(12)과 하판(13)에 형성된 각 관통홀(12a, 13a)은 밸브몸체부(10)의 유체통로(11)를 구성하게 된다.

복수의 측판(14)은 상판(12)과 하판(13) 사이에 결합되어 밸브몸체부(10)의 측면을 구성한다. 이때, 복수의 측판(14)은 밸브몸체부(10)의 전방면과 좌우측면의 3면을 구성할 수 있다.

몸체플랜지(15)는 밸브몸체부(10) 후방에 결합되어 밸브몸체부(10)와 개폐구동부(50)의 결합을 용이하게 할 수 있다.

고정브래킷(16)은 밸브몸체부(10) 전방에 결합되어 밸브몸체부(10)를 챔버에 고정시킨다.

이처럼 밸브몸체부(10)를 구성함으로써, 밸브몸체부(10) 내부에는 슬라이딩 공간(17)이 구비된다. 슬라이딩 공간(17)은 개폐부(20)가 유체통로(11)를 개폐하도록 유체통로(11)와 수직한 방향으로 슬라이딩되는 공간이다.

개폐부(20)는 유체통로(11)를 개폐하도록 밸브몸체부(10)의 슬라이딩 공간(17)에서 슬라이딩되도록 설치된 개폐부재로서, 개폐판(21), 슬라이딩판(22), 디스크(23), 실링부재(24), 고정핀(25) 및 차단판(26)으로 이루어져 있다.

개폐판(21)은 판형태의 부재로서, 유체통로(11)에 수직으로 교차하도록 설치되어 전후진됨으로써 유체통로(11)의 입구를 개폐시킨다. 개폐판(21)의 일면에는 실링홈(21a)이 형성된다.

슬라이딩판(22)은 개폐판(21)의 하부에 결합되어 밸브몸체부(10)의 슬라이딩 공간(17)에서 슬라이딩된다. 이로써, 개폐판(21)을 전후진시켜 유체통로(11)를 개폐할 수 있다.

디스크(23)는 슬라이딩판(22)의 하부에 결합되어 개폐판(21)과 슬라이딩판(22)을 지지한다.

실링부재(24)는 개폐판(21)의 실링홈(21a)에 삽입되어 유체통로(11) 입구와 개폐판(21)의 밀폐력을 향상시킨다. 이러한 실링부재(24)로는 오링(O-ring)을 사용할 수 있다.

고정핀(25)은 슬라이딩판(22)의 측면과 하면 중 적어도 하나에 구비되어 밸브몸체부(10)와의 접촉시 슬라이딩 마찰을 감소시키도록 밸브몸체부(10)와 점접촉하도록 반구형상으로 형성된다.

고정핀(25)은 슬라이딩판(22)의 양측면에 각각 전후진 방향으로 2개 이상 이격 설치되고, 하면에 슬라이딩판(22)의 슬라이딩시 밸브몸체부(10) 하판(13)의 관통홀(13a)을 지나지 않는 위치에 3개 이상 이격 설치되는 것이 바람직하다.

종래의 게이트 밸브는 슬라이딩판을 슬라이딩시키기 위해 롤러를 사용하였으나, 롤러는 고정핀(25)에 비하여 밸브몸체부와의 접촉면적이 넓어 마찰이 크고, 슬라이딩판과 롤러 사이에 파우더와 같은 이물질이 부착되면 롤러가 균일하게 회전하지 않아 슬라이딩판의 슬라이딩 불량을 야기시켰다.

따라서, 고정핀(25)은 밸브몸체부(10)로부터 슬라이딩판(22)을 이격하여 지지하게 되고, 개폐부(20)의 슬라이딩시 고정핀(25)과 밸브몸체부(10)와 점접촉하여 접촉력을 균일하게 유지하므로 슬라이딩판(22)의 슬라이딩을 원활하게 유지할 수 있다.

차단판(26)은 슬라이딩판(22)의 전방에 결합되어 슬라이딩 공간(17)을 밀폐시킨다. 이로써, 슬라이딩 공간(17)에 파우더가 침투되는 것을 방지하여 파우더에 의한 개폐부(20)의 부식을 방지하고, 슬라이딩판(22)의 슬라이딩시 덩어리 파우더에 의한 걸림을 방지하여 슬라이딩판(22)의 슬라이딩 불량을 감소시킬 수 있다.

또한, 차단판(26)은 유체통로(11) 밀폐시 관통홀(12a, 13a) 주변에 부착된 파우더를 밀어내어 개폐판(21)과 관통홀(12a) 사이의 밀폐력을 향상시킬 수 있다.

따라서, 차단판(26)은 슬라이딩 공간(17)을 밀폐시켜 슬라이딩판(22)의 슬라이딩을 원활하게 하고, 유체통로(11) 주변에 부착된 파우더를 밀어내어 개폐판(21)과 관통홀(12a) 사이의 밀폐력을 향상시킬 수 있다.

이러한 차단판(26)의 재질은 고무나 실리콘 등으로 이루어져, 개폐부(20)가 부드럽게 전후진되며, 밸브몸체부(10)와의 접촉면에서 파손이 발생하지 않도록 하는 것이 바람직하다.

또한, 차단판(26)의 상단은 실링부재(24)의 상단과 동일한 수평면에 위치시키는 것이 바람직하다.

만약, 차단판(26)의 상단이 실링부재(24)의 상단보다 높게 위치하는 경우, 실링부재(24)는 밸브몸체부(10)의 상판(12)으로부터 이격되어 있어 유체통로(11) 밀폐시 효과적으로 밀폐시킬 수 없다. 반대로, 차단판(26)의 상단이 실링부재(24)의 상단보다 낮게 위치하는 경우, 차단판(26)은 밸브몸체부(10)의 상판(12)으로부터 이격되어 있어 파우더가 슬라이딩 공간(17)으로 침투되기 쉽고, 유체통로(11)의 주변에 부착된 파우더를 효과적으로 밀어낼 수 없다.

한편, 이러한 차단판(26)은 슬라이딩판(22)의 전방에 결합되며, 차단판(26) 전방의 수직 단면적이 후방의 수직 단면적보다 좁게 형성된다. 이는 차단판(26)의 전진을 용이하게 할 뿐만 아니라 전진시 밸브몸체부(10)와 접촉되는 부분의 파손을 예방할 수 있다.

상류 플랜지부(30) 및 하류 플랜지부(40)는 유체통로(11)와 연통되어 유체가 흐르는 튜브 형태의 연통로와 연통로 양단의 둘레에 다른 부재와 결합이 용이하도록 돌출 형성된 플랜지로 구성되어 있다.

상류 플랜지부(30)는 유체통로(11)의 상류에 결합되어 유체통로(11)와 연통되는 상류 연통로(31)가 형성된다.

상류 연통로(31) 상단의 둘레에 돌출 형성된 플랜지는 진공챔버와 결합되고, 상류 연통로(31) 하단의 둘레에 돌출 형성된 플랜지는 밸브몸체부(10)의 상판(12) 관통홀(12a)에 결합되어 진공챔버와 게이트 밸브 사이의 접속을 용이하게 한다.

하류 플랜지부(40)는 유체통로(11)의 하류에 결합되어 유체통로(11)와 연통되는 하류 연통로(41)가 형성된다.

하류 연통로(41) 상단의 둘레에 돌출 형성된 플랜지는 밸브몸체부(10)의 하판(13) 관통홀(13a)에 결합되고, 하류 연통로(41) 하단의 둘레에 돌출 형성된 플랜지는 진공펌프와 결합되어 진공펌프와 게이트 밸브 사이의 접속을 용이하게 한다.

상류 플랜지부(30) 및 하류 플랜지부(40) 중 적어도 하나의 연통로(31, 41)는 유체통로(11) 근접할수록 단면적이 좁게 형성된다.

이하에서는 상류 연통로(31)와 하류 연통로(41)의 다양한 형상에 대하여 도 3 내지 도 6을 참고하여 구체적으로 설명한다.

도 3에 도시한 바와 같이, 상류 연통로(31) 및 하류 연통로(41)는 유체통로(11)의 유체 진행 방향으로부터 외측으로 경사진 경사각을 갖는 경사면으로 이루어진다.

상류 연통로(31)는 유체의 진행 방향으로부터 상부 경사각(α)을 갖는 경사면으로 이루어지고, 하류 연통로(41)는 유체의 진행 방향으로부터 하부 경사각(β)을 갖는 경사면으로 이루어진다. 이때 상부 경사각(α) 및 하부 경사각(β)은 동일하게 형성된다.

도 4에 도시한 바와 같이, 상류 연통로(31)의 상부 경사각(α) 및 하류 연통로(41)의 하부 경사각(β)은 서로 상이하게 형성된다. 도면에는 상부 경사각(α)이 하부 경사각(β)보다 크게 도시하였으나, 하부 경사각(β)이 상부 경사각(α)보다 크게 형성될 수 있다.

도 5에 도시한 바와 같이, 상류 플랜지부(30) 및 하류 플랜지부(40) 중 어느 하나의 연통로는 유체통로(11)에 근접할수록 단면적이 좁아지고, 나머지 하나의 연통로는 유체통로(11)와 동일한 단면적으로 형성된다. 도면에는 상부 연통로(31)는 상부 경사각(α)을 갖는 경사면으로 이루어지고, 하류 연통로(41)는 유체통로(11)와 동일한 단면적의 원기둥 형태로 이루어진다.

도 6에 도시한 바와 같이, 상류 연통로(31) 및 하류 연통로(41)는 연통로의 중심을 향해 볼록한 내면을 갖는다.

도면에 도시하지는 않았지만, 상류 연통로 및 하류 연통로 중 어느 하나만 볼록한 내면을 갖게 형성될 수 있으며, 연통로의 중심을 향해 오목한 내면을 갖게 형성될 수도 있다.

도 3 내지 도 5에서 각 경사면은 유체통로(11)의 진행 방향으로부터 외측으로 14°~64°의 경사각을 갖는 것이 바람직하다. 경사각이 14° 미만이면, 연통로의 단면적을 유체통로에 근접할수록 좁아지게 형성한 효과를 기대할 수 없다. 반대로, 경사각이 64°를 초과하면, 진공챔버에서 유입되는 파우더가 연통로의 경사면에 부딪혀 다시 진공챔버에 유입되거나, 연통로를 통과하는 파우더의 유속이 급격히 변화하여 파우더가 게이트 밸브의 구성요소에 흠집을 발생시킬 수 있다.

상술한 바와 같이 상류 플랜지부(30) 및 하류 플랜지부(40)를 형성함으로써, 상류 플랜지부(30)를 통해 유입되어 하류 플랜지부(40)로 배출되는 파우더는 상류 플랜지부(30)의 입구보다 유체통로(11)에서 더 빠른 속도로 통과하게 된다.

이로써, 유체통로(11)의 주변 및 밸브몸체부(10)의 내부에 파우더가 부착되는 것을 방지할 수 있다.

개폐구동부(50)는 밸브몸체부(10)의 일측 외부에 설치되어 개폐부(20)를 전후방향으로 슬라이딩시키는 구동수단으로서, 액추에이터(51), 링크기구(52), 구동덮개(53) 등으로 이루어져 있다.

액추에이터(51)는 링크기구(52)를 통해 개폐부(20)에 슬라이딩 구동력을 제공하는 구동원으로, 직선구동력을 제공하는 실린더, 선형모터 등과 같은 다양한 구동수단을 사용할 수 있다. 액추에이터(51)는 밸브몸체부(10)의 일단에 설치된 별도의 유공압설비로 구성할 수 있다.

링크기구(52)는 액추에이터(51)의 직선구동력을 기구적인 연결에 의해 회전구동력으로 전환시켜서 그 회전력에 의해 개폐부(20)를 전후방향으로 슬라이딩 이송시키는 동력전달부재이다. 링크기구(52)는 밸브몸체부(10)의 슬라이딩 공간(17)에 위치된다. 링크기구(52)는 지렛대 원리로 액추에이터(51)의 직선구동력을 증폭시켜 회전구동력으로 전달시킨다. 이로써, 액추에이터(51)의 직선 구동거리에 비하여 개폐부(20)의 전후진 슬라이딩 거리가 길다.

구동덮개(53)는 밸브몸체부(10) 외부에 설치되는 액추에이터(51)와 밸브몸체부(10) 내부에 위치되는 링크기구(52) 사이에 개재되어 밸브몸체부(10)의 후방면을 구성한다.

일반적으로, 유체통로(11)가 밀폐된 상태에서는 게이트 밸브 상류 및 하류의 진공상태가 상이하게 형성된다. 이 상태로 유체통로(11)를 개방하면 게이트 밸브 하류에 연결된 진공펌프가 손상될 위험이 크므로 유체통로(11)를 개방하기 이전에 슬로우 펌프(60)를 동작시켜 진공펌프의 손상 위험을 예방한다.

슬로우 펌프(60)는 유체통로(11)의 개방시 게이트 밸브 상류 및 하류의 진공상태를 일정하게 형성시키는 부재로서, 개폐밸브(61), 제1 연결관(62), 제2 연결관(63)으로 이루어져 있다.

개폐밸브(61)는 상류 연통로(31)와 연결된 제1 연결관(62)과 밸브몸체부(10) 내부와 연결된 제2 연결관(63) 사이에 설치되어, 유체통로(11)의 개폐동작에 따라 동작된다. 개폐밸브(61)는 유체통로(11)가 밀폐된 상태에서는 동작하지 않고, 유체통로(11)가 개방되기 직전에 동작한다.

슬로우 펌프(60)의 동작 과정은, 유체통로(11)가 개방되기 직전에 슬로우 펌프(60)의 내부로 공기를 주입하여 개폐밸브(61)를 개방하고, 개폐밸브(61)의 개방으로 인하여 제1, 제2 연결관(62, 63)이 연통된다. 이로써, 유체통로(11)가 개방되기 전에 게이트 밸브의 상류 및 하류를 연통시켜 진공상태를 일정하게 형성시킨다.

이상 설명한 본 발명은 그 기술적 사상 또는 주요한 특징으로부터 벗어남이 없이 다른 여러 가지 형태로 실시될 수 있다. 따라서 상기 실시예는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않으며 한정적으로 해석되어서는 안 된다.

10 : 밸브몸체부
11 : 유체통로
20 : 개폐부
21 : 개폐판
22 : 슬라이딩판
23 : 디스크
24 : 실링부재
25 : 고정핀
26 : 차단판
30 : 상류 플랜지부
31 : 상류 연통로
40 : 하류 플랜지부
41 : 하류 연통로
50 : 개폐구동부
60 : 슬로우 펌프

Claims

유체통로가 형성된 밸브몸체부와, 상기 밸브몸체부의 내부에 슬라이딩하도록 설치되어 상기 유체통로를 개폐하는 개폐부를 구비하며, 진공챔버와 진공펌프 사이에 설치되는 게이트 밸브로서,
상기 유체통로의 상류에 결합되어 상기 유체통로와 연통되는 연통로가 형성된 상류 플랜지부; 및
상기 유체통로의 하류에 결합되어 상기 유체통로와 연통되는 연통로가 형성된 하류 플랜지부; 를 포함하고,
상기 유체통로에서의 유속을 상승시켜 상기 유체통로 주변 및 상기 밸브몸체부의 내부의 파우더 부착을 방지하도록, 상기 상류 플랜지부 및 상기 하류 플랜지부 중 적어도 어느 하나의 연통로는 상기 유체통로에 근접할수록 단면적이 좁아지고,
상기 개폐부는,
상기 유체통로의 입구를 개폐시키는 개폐판에 결합되어 상기 밸브몸체부의 슬라이딩 공간에서 슬라이딩되며, 상기 밸브몸체부와 점접촉하도록 반구 형상으로 형성된 고정핀이 설치된 슬라이딩판;
상기 슬라이딩판과 결합되어 상단이 상기 밸브몸체부와 접촉하며 슬라이딩되어 상기 슬라이딩 공간을 밀폐시키는 차단판; 및
상기 개폐판의 일면에 형성된 실링홈에 삽입되는 실링부재;를 포함하고,
상기 차단판의 상단은, 상기 실링부재의 상단과 동일한 수평면에 위치되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 각 연통로는, 상기 유체통로의 유체 진행 방향으로부터 외측으로 경사진 경사각을 갖는 경사면으로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
제 2 항에 있어서,
상기 각 경사면의 경사각은, 서로 상이하게 형성되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
제 2 항에 있어서,
상기 경사면은, 상기 유체통로의 유체 진행 방향으로부터 외측으로 14°~ 64°의 경사각을 갖는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 상류 플랜지부 및 상기 하류 플랜지부 중 어느 하나의 연통로는 상기 유체통로에 근접할수록 단면적이 좁아지고, 나머지 하나의 연통로는 상기 유체통로와 동일한 단면적으로 형성되는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브.