CN111226064B - 阀组合体 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及能够容易地设置在真空室的排气线且阀构成排气线的一部分而通过阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳的阀组合体，本发明的阀组合体包括：阀外壳，在真空腔室排气线的一部分被去除的状态下，被插入设置到所述排气线的去除部分，向所述排气线的连通方向开口且向垂直于所述连通方向的方向具有一定的内部空间；阀，可水平移动地设置在所述阀外壳内部，在所述阀外壳内部水平移动而连通或阻断所述排气线；阀驱动部，与所述阀相连地设置在所述阀外壳的一侧，使得所述阀向垂直于所述排气线的方向水平移动；阀移动引导部，设置在所述阀外壳内部而引导所述阀的移动路线。

Description

阀组合体
技术领域
本发明涉及阀组合体，更具体地说，涉及能够容易地设置在真空室的排气线且阀构成排气线的一部分而通过阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳的阀组合体。
背景技术
在半导体、LCD、LED、太阳电池等精密制造领域，广泛使用制造过程中能够保持设备内部压力低于大气压的真空设备。这种真空设备包括用于抽吸和排出真空设备内部的气体以保持真空设备内部较低压力的真空泵以及连接该真空泵和真空设备的排气管线。
并且，该排气线上设置有闸阀而用于排气线本身的开闭。现有的闸阀如图1所示，设置在排气线10的中间，包括阀外壳40，阀20以及阀驱动部(附图中未示出)。
首先，阀20是阻断所述排气线10的构件，向垂直于所述排气线10的方向移动。并且，所述阀外壳40提供所述阀20移动的路线，设置在排气线10而起到防止通过排气线排出的气体向外部泄漏的作用。最后，阀驱动部结合到所述阀20的后端而起到驱动所述阀20的作用。
但是，这种结构的闸阀如图1所示，闸阀内阀20与阀外壳40之间的空间未被阻断，存在通过排气线10排出的工程副产物或污染物质30积聚在所述阀外壳40内部及阀20表面的问题。
因工程副产物或污染物质30积聚在阀外壳40内部或阀20上，存在导致阀外壳40或阀20腐蚀而产生驱动不良且需要频繁维修的致命问题，以及因不必要的摩擦导致排气能力下降的问题。
发明内容
(要解决的技术问题)
本发明要解决的技术问题是提供一种能够容易地设置在真空室的排气线，阀构成排气线的一部分而通过该阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳的阀组合体。
(解决问题的手段)
用于解决前述技术问题的本发明的阀组合体包括：阀外壳，在真空腔室排气线的一部分被去除的状态下，被插入设置到所述排气线的去除部分，向所述排气线的连通方向开口且向垂直于所述连通方向的方向具有一定的内部空间；阀，可水平移动地设置在所述阀外壳内部，在所述阀外壳内部水平移动而连通或阻断所述排气线；阀驱动部，与所述阀相连地设置在所述阀外壳的一侧，使得所述阀向垂直于所述排气线的方向水平移动；阀移动引导部，设置在所述阀外壳内部而引导所述阀的移动路线。
并且，本发明中，优选地，所述阀外壳包括：外壳主体，提供所述阀的水平移动空间；一对开口部，结合到所述外壳主体中所述排气线的状态下向所述排气线的连通方向开口。
并且，本发明中，优选地，所述阀包括：上部叶片，连通或阻断所述一对开口部中的上侧开口部；下部叶片，与上部叶片并排设置在所述上部叶片下侧，连通或阻断所述一对开口部中的下侧开口部；叶片连接部，设置在所述上部叶片与下部叶片之间，以能够自由改变所述上部叶片与下部叶片之间的间隔地连接所述上部叶片与下部叶片；多个突起部，在所述上下部叶片的各侧面突出，可滑动地结合到所述阀移动引导部。
并且，本发明中，优选地，所述上部叶片包括：连通孔，以厚度方向贯通所述上部叶片而形成；密封部，邻接所述连通孔而形成，形成大小与所述连通孔相同的密封件插入槽；密封件，插入设置到所述密封件插入槽，所述密封部阻断所述阀外壳的开口部时，阻断所述上部叶片与阀外壳之间的缝隙。
并且，本发明中，优选地，所述阀驱动部包括：叶片连接部，设置在所述阀外壳内部，分别结合到所述上下部叶片；动力提供部，设置在所述阀外壳外部，提供使得所述叶片连接部水平移动的动力；连接轴，连接所述动力提供部与所述叶片连接部。
并且，本发明中，优选地，所述叶片连接部包括：连接模块，具有向与水平移动方向相同的方向以一定间隔隔开形成的一对安装长孔；一对滑动模块，可滑动地设置在各个所述安装长孔；一对连接销，其一端可转动地结合到所述各滑动模块，另一端可转动地结合到各个所述上下部叶片的内面。
并且，优选地，本发明的阀组合体还具有：加热部，设置在所述外壳主体中开口部附近，加热所述阀外壳内部。
并且，优选地，本发明的阀组合体还具有：正压保持部，设置在所述外壳主体，向所述外壳主体与阀之间的空间喷射惰性气体。
并且，优选地，本发明的阀组合体还具有：压力保持线，贯通所述外壳主体，一端向所述排气线中的腔室侧排气线开口，另一端向所述排气线中的泵侧排气线开口；慢泵阀，设置在所述压力保持线中，约束所述压力保持线。
并且，本发明中，优选地，所述外壳主体包括：筒状的下侧主体，上面开放且具有一定的内部空间；主体盖，结合到所述下侧主体的上面而覆盖所述下侧主体的开放的上面，
并且，所述一对开口部是在所述下侧主体及主体盖上各形成一个。
并且，优选地，本发明的阀组合体还具有：轴承部，分别设置在所述上下部叶片的侧面，减少所述上下部叶片侧面与所述阀外壳内面之间的摩擦力。
并且，本发明中，优选地，所述一对连接销以向所述一对滑动模块相对的方向形成锐角。
并且，优选地，本发明的阀组合体还具有：外壳主体连接线，在压力保持线中间连通，与所述阀外壳内部空间连通。
并且，优选地，本发明的阀组合体还具有：隔热板，设置在所述阀外壳与动力提供部之间，阻断所述阀外壳与动力提供部之间的热传递。
并且，本发明中，优选地，所述移动引导部形成水平区间及倾斜区间，阴刻形成在所述外壳主体的内面，向连通位置及阻断位置引导所述阀。
(发明的效果)
本发明的阀组合体的优点在于，能够容易地设置在真空室的排气线且阀构成排气线的一部分而通过阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳。
附图说明
图1是示出现有的阀组合体的结构的图。
图2是示出本发明的一个实施例的阀组合体的结构的剖视图。
图3是示出本发明的一个实施例的阀外壳的结构的立体图。
图4是示出本发明的一个实施例的阀组合体的结构的立体图。
图5是示出本发明的一个实施例的上部叶片的结构的平面图。
图6是示出本发明的一个实施例的阀移动引导部的结构的图。
图7，8是示出本发明的一个实施例的阀驱动部的驱动过程的图。
图9是示出本发明的一个实施例的压力保持线及慢泵阀的结构的图。
最佳实施方式
下面参照附图详细地说明本发明的具体实施例。
本实施例的阀组合体1如图2至4所示，可以包括阀外壳主体100，阀200，阀驱动部300及阀移动引导部400。
首先，所述阀外壳100如图2所示，在真空腔室排气线10的一部分被去除的状态下，被插入设置到所述排气线10的去除部分，提供设置阀组合体1的其他构件的空间。并且，所述阀外壳100如图2，3所示，向所述排气线10的连通方向开口且向垂直于所述连通方向的方向具有一定的内部空间。其中，连通方向是指如图2所示的排气线10的排气流动的方向，附图中从上侧朝向下侧的方向D1。
为此，本实施例中所述阀外壳100具体如图3所示，可以由外壳主体110与一对开口部120构成。所述外壳主体110的内部具有阀200能够水平移动的一定的空间，所述一对开口部120在结合到所述外壳主体110中所述排气线10的状态下，向所述排气线10的连通方向开口。
因此，所述外壳主体110如图3所示，由上面开放且具有一定的内部空间的筒状的下侧主体112和主体盖114构成，所述主体盖114结合到所述下侧主体112的上面而覆盖所述下侧主体112的开放的上面。并且，所述一对开口部120是在所述下侧主体112及主体盖114上各形成一个。
其次，所述阀200如图2，4所示，是水平移动地设置在所述阀外壳100内部且在所述阀外壳100内部水平移动而连通或阻断所述排气线10的构件。本实施例中，所述阀200为了连通过程及阻断过程中完全保持气密而具有双重叶片结构，具体来说，所述阀200可以包括上部叶片210，下部叶片220，叶片连接部230及突起部240。
首先，所述上下部叶片210，220以对称结构设置在上下侧，由能够通过所述叶片连接部230改变其间隔的结构结合。因此，所述上下部叶片210，220起到连通或阻断形成在所述外壳主体110的开口部120的功能，所述上下部叶片210，220上分别形成连通孔212，222和密封部214，224。并且，各连通孔212，222相互可滑动地连接，如图2所示，具有延长所述排气线10截断部分的结构。
其中，所述连通孔212以厚度方向贯通所述上部叶片210而形成，所述密封部214如图5所示，邻接所述连通孔212而形成，形成大小与所述连通孔212相同的密封件插入槽216。当然，在所述连通孔212的外周部也形成密封件插入槽215，设置密封件。
并且，所述叶片连接部230如图2所示，设置在所述上部叶片210与下部叶片220之间，是以能够自由改变所述上部叶片210与下部叶片220之间的间隔地连接所述上部叶片210与下部叶片220的构件。因此，所述叶片连接部230可简单地具有销形态，以被插入到分别形成在所述上部叶片210与下部叶片220的插入槽的状态进行设置。这种状态下，所述叶片连接部230具有可以向上下方向滑动的结构。
其次，所述突起部240如图5所示，在所述上下部叶片210的各侧面突出，可滑动地结合到所述阀移动引导部400。因此，以在所述上部叶片210的一侧设置至少两个地设置多个所述突起部240。其中，所述突起部240具有能够被插入到所述阀移动引导部400的直径，其外面设置用于减少摩擦力的轴承(附图中未示出)。并且，所述下部叶片220上也与上部叶片210相同地设置所述突起部240。
并且，优选地，如图5所示，所述上部叶片210的侧面还具有轴承部250，用于减少所述上部叶片210侧面与所述外壳主体110内面之间的摩擦力。该轴承部250可以具有滚珠轴承等结构，减少与所述外壳主体110之间的摩擦而抑制微粒的产生。
其次，所述阀驱动部300如图2所示，与所述阀200相连地设置在所述阀外壳100的一侧，使得所述阀200向垂直于所述排气线10的方向水平移动。为此，本实施例中所述阀驱动部300具体如图2所示，可以包括叶片连接部310，动力提供部320及连接轴330。
所述叶片连接部310设置在所述阀外壳100内部，分别结合到所述上下部叶片210，220而通过所述动力提供部320的动力分别驱动上下叶片210，220。具体来说，所述叶片连接部310如图7，8所示，可以由连接模块311和连接销312构成。所述连接模块311具有向与水平移动方向相同的方向以一定间隔隔开形成的一对安装长孔313，一端连接到所述连接轴330而能够水平移动。并且，在各长孔313上可滑动地设置滑动模块314。
并且，所述连接销312如图7，8所示，一端可转动地结合到所述各滑动模块314，另一端可转动地分别结合到所述上下部叶片210，220的内面，一个长孔313上设置有一对连接销312而分别连接到上下部叶片210，220。这种一对连接销312是向相对的方向对称地设置共四个连接销312，如图7，8所示。
其中，优选地，所述一对连接销312如图7，8所示，以向所述一对滑动模块314相对的方向形成锐角。这样向相对的方向具有小于180°的角度设置连接销312的优点在于，如图7，8所示，在前进过程及后退过程中，前方或后方中其中一处的连接销312充分受力而能够实现容易的驱动。
然后，所述动力提供部320如图2所示，设置在所述阀外壳100外部，提供用于使得所述叶片连接部310水平移动的动力。该动力提供部320可以具有向气缸、电机等水平移动动力的多种结构。
并且，所述连接轴330如图2所示，是连接所述动力提供部320与所述叶片连接部310的构件，可以具有简单的轴结构。
另外，本实施例中，优选地，如图2，4所示，还具有隔热板340，设置在所述阀外壳100与动力提供部320之间而阻断所述阀外壳100与动力提供部320之间的热传递。优选地，该隔热板340由热稳定的聚醚醚酮(PEEK)等工程塑料构成，更优选地，为了减少与所述阀外壳100的接触面积，如图4所示地具有隔开槽342。
然后，所述阀移动引导部400如图2，3所示，是设置在所述阀外壳100内部而引导所述阀200的移动路线的构件。该阀移动引导部400可以通过阴刻阀外壳100内面而直接形成在所述阀外壳主体100，也可以具有在板上形成后将该板结合到所述阀外壳100内侧的结构。
其中，所述阀移动引导部400如图6所示，具有形成水平区间411及倾斜区间412，413而向连通位置及阻断位置引导所述阀200的结构。具体而言，在所述阻断位置，如图6所示，经过倾斜区间413后形成较短的水平区间414。因此，在阻断位置，上下部叶片210，220被该水平区间414挂住而稳定地阻断上下开口部120。
相反，在所述连通位置，如图6所示，具有仅形成倾斜区间412的结构。因此，以所述上下部叶片210，220被该倾斜区间412的末端挂住的状态连通。在连通位置，通过所述排气线10排出气体，因此保持阀外壳100与阀200之间的气密非常重要。因此，在该连通位置，通过所述动力提供部320持续对所述上下部叶片210，220加压的动作进一步确保气密。
当然，在通过水平区间411的过程中，上下部叶片210，220之间的间隔变小而所述上下部叶片210，220不接触阀外壳100的内面而能够稳定地实现水平移动。
另外，优选地，本实施例的阀组合体1还具有加热部500。该加热部500如图2所示，设置在所述外壳主体110中开口部120附近，加热所述阀外壳100内部。若是在真空室内部实施高温工艺，排气也是被加热的状态。只有该排气保持相同温度地通过阀组合体1区间，阀组合体1才不会产生微粒，因此需要加热阀外壳100和阀200等。
并且，优选地，本实施例的阀组合体1如图2所示，还具有正压保持部600。所述正压保持部600是设置在所述外壳主体110而向所述外壳主体110与阀200之间的空间喷射惰性气体的构件。若所述阀外壳100内部的压力保持高于所述阀200或排气线10的压力，则向阀外壳100内部流入排气的可能性会降低，因此所述正压保持部600根据所述排气线10的压力而改变惰性气体的喷射压力，以保持阀外壳100内部的压力更高。
具体实施方式
本实施例的阀组合体1还具有压力保持线710和外壳主体连接线720及慢泵阀730。所述压力保持线710如图9所示，是贯通所述外壳主体110地设置且一端向所述排气线10中的腔室侧排气线10a开口，另一端向所述排气线中的泵侧排气线10b开口的气体通过线。并且，所述外壳主体连接线720是在压力保持线710中间连通且与所述阀外壳100内部空间连通的气体通过线。通过该压力保持线710和外壳主体连接线720来调整所述阀外壳110内部压力和排气线10的压力始终保持相同。
并且，所述慢泵阀730如图9所示，是设置在所述压力保持线710而约束所述压力保持线710的构件。在将阀200的阻断状态改变成连通状态之前，进行慢泵阀730从阻断状态变成打开状态，使得所述外壳主体110的内部压力与排气线的压力相同的过程。然后再将阀200变成打开状态，就能防止因阀外壳100内部的压力差导致的故障、障碍等。
工业实用性
根据本发明的阀组合体，能够容易地设置在真空室的排气线，阀构成排气线的一部分而通过阀的水平移动来完全阻断流入闸阀内部的工程污染物质及副产物且排气效果极佳。

Claims (3)

1.一种阀组合体，包括：
阀外壳，在真空腔室排气线的一部分被去除的状态下，被插入设置到所述排气线的去除部分，向所述排气线的连通方向开口且向垂直于所述连通方向的方向具有一定的内部空间；
阀，可水平移动地设置在所述阀外壳内部，在所述阀外壳内部水平移动而连通或阻断所述排气线；
阀驱动部，与所述阀相连地设置在所述阀外壳的一侧，使得所述阀向垂直于所述排气线的方向水平移动；
阀移动引导部，设置在所述阀外壳内部而引导所述阀的移动路线；
所述阀包括：
上部叶片，连通或阻断一对开口部中的上侧开口部；
下部叶片，与上部叶片并排设置在所述上部叶片下侧，连通或阻断所述一对开口部中的下侧开口部；
第一叶片连接部，设置在所述上部叶片与下部叶片之间，以能够自由改变所述上部叶片与下部叶片之间的间隔地连接所述上部叶片与下部叶片；以及
多个突起部，在上、下部叶片的各侧面突出，可滑动地结合到所述阀移动引导部；
所述阀驱动部包括：
第二叶片连接部，设置在所述阀外壳内部，分别结合到上、下部叶片；
动力提供部，设置在所述阀外壳外部，提供使得所述第二叶片连接部水平移动的动力；以及
连接轴，连接所述动力提供部与所述第二叶片连接部；
所述第二叶片连接部包括：
连接模块，具有向与水平移动方向相同的方向以一定间隔隔开形成的一对安装长孔；
一对滑动模块，可滑动地设置在各个所述安装长孔；
一对连接销，其一端可转动地结合到所述各滑动模块，另一端可转动地结合到各个上、下部叶片的内面；
一对连接销以向一对滑动模块相对的方向形成锐角。
2.根据权利要求1所述的阀组合体，其特征在于，
所述阀外壳包括：
外壳主体，提供所述阀的水平移动空间；
一对开口部，结合到所述外壳主体中所述排气线的状态下向所述排气线的连通方向开口。
3.根据权利要求2所述的阀组合体，其特征在于，
所述上部叶片包括：
连通孔，以厚度方向贯通所述上部叶片而形成；
密封部，邻接所述连通孔而形成，形成大小与所述连通孔相同的密封件插入槽；
密封件，插入设置到所述密封件插入槽，所述密封部阻断所述阀外壳的开口部时，阻断所述上部叶片与阀外壳之间的缝隙。
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