KR20140066412A - 게이트 밸브 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 에어 및 전기를 이용한 진공 밸브를 구동하도록 한 게이트 밸브 장치에 관한 것으로, 유체가 흐르는 통로 사이에 양 측면이 각각 밀폐 결합되어 통로 사이에 설치되는 메인 바디부; 상기 메인 바디부 내에서 왕복 이동하여 통로의 개폐 동작을 수행하는 무빙 메커니즘부; 상기 메인 바디부의 일측면에 결합 고정된 앤드 커버부; 상기 앤드 커버부를 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부에 결합 고정되며, 실린더 왕복 운동에 의해 상기 무빙 메커니즘부를 왕복 이동시켜 주는 실린더부; 및 상기 실린더부의 일단부에 연결 고정되며, 회전 운동을 왕복 운동으로 변환시켜 상기 실린더부의 실린더 왕복 운동으로 전달하는 모터부를 포함한다. 이러한 게이트 밸브 장치는 일반 상태 이용 시에 전기 절약과 빠른 동작을 수행할 수 있도록 함과 동시에, 정밀 상태 이용 시에 전기로만 밸브 구동을 수행하여 보다 정밀한 구간별 밸브 제어를 수행할 수 있다.
Description
본 발명은 게이트 밸브 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는, 에어(air) 및 전기를 이용한 진공 밸브를 구동하도록 한 게이트 밸브 장치에 관한 것이다.
일반적으로, LCD 기판이나 반도체 소자를 제조하기 위한 공정의 대부분은 진공 상태에서 진행되는데, 이때 사용되는 진공 장비에는 내부의 높은 진공도를 유지하기 위해서 진공 펌프가 사용되며, 진공 장비를 외부 또는 다른 진공 장비와 격리시키기 위해서 게이트 밸브를 구비한다.
이러한 게이트 밸브는 작업 환경이 진공을 요구하는 경우에 통로의 개폐 작동을 위해서 사용되는데, 외부보다 압력이 낮은 진공 장비의 게이트를 단속하는 것도 있지만, 챔버와 챔버 사이에 배치되어 다른 챔버보다 높은 압력을 가지는 챔버의 게이트를 단속하는 역압 대응 게이트 밸브도 있다.
한편, 한국등록특허 제10-0544299호는 블레이드를 개량하여 블레이드에 형성된 오링의 스크래치를 최소화하여 밸브의 수명을 연장하도록 한 진공 게이트 밸브에 관하여 개시되어 있는데, 공정 챔버와 진공 펌프에 연결되는 공기 통로가 형성되고, 일측으로부터 상기 공기 통로를 직교 방향으로 관통하는 슬라이드 공간이 형성되며, 내측면 양쪽에는 일측으로부터 상기 공기통로 방향으로 평행하다가 상향으로 구부러진 슬라이드 홈이 형성된 하우징; 상기 슬라이드 홈을 따라 이동하며, 상기 공기 통로를 개폐하는 상판 블레이드; 상기 상판 블레이드와 링크 결합된 하판 블레이드를 포함하는 것을 특징으로 한다. 개시된 기술에 따르면, 공기 이동 통로를 보다 효과적으로 밀폐할 수 있으며, 장기간 사용에서 발생하는 오링 스크래치 등의 손상을 최소화하여 밸브의 수명을 연장하도록 한다.
한국공개특허 제10-2010-0082997호는 메인 유체 통로를 구조가 간단하고 동력원이 필요 없는 체크 밸브를 설치하여 개폐시키도록 한 진공 게이트 밸브에 관하여 기재되어 있다. 이러한 개시된 기술에 의하면, 챔버와 진공 펌프에 연결되는 메인 유체 통로(110)가 형성되고, 상기 메인 유체 통로(110)를 직교 방향으로 관통하는 압축 공기 유입 공간(120)이 형성되는 하우징(100); 상기 압축 공기 유입 공간(120)에 설치되어 상기 메인 유체 통로(110)를 기압차에 의하여 개폐시키는 체크 밸브(200); 상기 하우징(100) 상부의 외주면 설치되는 중공형 제1몸체(310)와, 상기 중공형 제1몸체(310)의 하부에 설치되는 중공형 제2몸체(320)가 구비되는 밀폐용기(300)를 포함하는 것을 특징으로 함으로써, 메인 유체 통로의 구조가 단순하며 동력원이 필요 없는 체크 밸브를 설치하여 개폐하므로 제공 공정이 간편하고 제조 비용이 절감되며, 반영구적으로 사용이 가능하고, 체크 밸브가 손상되더라도 쉽게 교체가 가능하다.
그런데, 상술한 바와 같은 종래의 게이트 밸브 장치는, 단순하게 밸브의 온/오프(on/off)를 수행하도록 하기 위한 단순 밸브 개폐 구동용으로만 사용되도록 구현되거나, 아니면 사용자가 원하는 구간별로 정밀하게 밸브의 개폐 구동을 수행하도록 하기 위한 정밀 구간 제어용으로만 사용되도록 구현되는 것이 대부분이었다. 다시 말해서, 종래의 게이트 밸브 장치는, 단순 밸브 온/오프 개폐 시와 정밀 구간 밸브 제어 시 모두 사용하기 어려운 단점이 있었다.
본 발명의 일 실시예는 에어 및 전기를 이용한 진공 밸브로 단순 밸브 온/오프 구동과 정밀 구간 제어 구동을 함께 수행할 수 있도록 한 게이트 밸브 장치를 제공하고자 한다.
실시예들 중에서, 게이트 밸브 장치는 유체가 흐르는 통로 사이에 양 측면이 각각 밀폐 결합되어 통로 사이에 설치되는 메인 바디부; 상기 메인 바디부 내에서 왕복 이동하여 통로의 개폐 동작을 수행하는 무빙 메커니즘부; 상기 메인 바디부의 일측면에 결합 고정된 앤드 커버부; 상기 앤드 커버부를 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부에 결합 고정되며, 실린더 왕복 운동에 의해 상기 무빙 메커니즘부를 왕복 이동시켜 주는 실린더부; 및 상기 실린더부의 일단부에 연결 고정되며, 회전 운동을 왕복 운동으로 변환시켜 상기 실린더부의 실린더 왕복 운동으로 전달하는 모터부를 포함한다.
일 실시예에서, 상기 앤드 커버부는, 관통 홀을 구비하고 해당 관통 홀을 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부와 상기 실린더부의 일단부를 서로 결합 고정하여, 상기 무빙 메커니즘부가 상기 메인 바디부 내에서만 왕복 이동하도록 할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 모터부는, 회전 운동하도록 하기 위한 모터; 상기 모터의 회전 운동에 의해 회전하는 볼 스크류부; 및 상기 실린더부의 일단부에 연결 고정되며, 상기 볼 스크류부의 회전에 따라 왕복 운동하여 상기 실린더부의 일단부를 왕복 이동시켜 주는 실린더 체결부를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 실린더부는, 상기 앤드 커버부를 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부에 결합 고정되는 메커니즘 체결부; 상기 메커니즘 체결부에 일단부가 연결되고 상기 모터부에 다른 일단부가 연결되어, 상기 모터부에서 변환된 왕복 운동에 따라 상기 메커니즘 체결부를 왕복 이동시켜 주는 왕복 운동부; 및 상기 메커니즘 체결부의 왕복 운동을 가이드하기 위한 홀을 구비하며, 상기 왕복 운동부의 왕복 운동을 가이드하는 실린더 가이드부를 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 실린더부는, 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 상기 모터부의 일단부를 결합 고정시켜 주기 위한 모터 체결부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 왕복 운동부는, 상기 모터부의 실린더 체결부에 다른 일단부가 결합 고정되며, 상기 실린더 체결부의 왕복 운동에 의해 상기 실린더 가이드부 내에서 왕복 이동하여, 일단부에 연결된 메커니즘 체결부를 왕복 이동시켜 줄 수 있다.
일 실시예에서, 상기 무빙 메커니즘부는, 상기 메인 바디부 내에서 왕복 이동하여 상기 통로의 개폐 동작을 수행하는 블레이드부; 상기 블레이드부의 양쪽 단면 위에 각각 형성된 오링부; 및 상기 실린더부의 일단부를 결합 고정되어, 상기 실린더부의 일단부의 왕복 운동에 따라 상기 블레이드부를 왕복 이동시켜 주는 실린더 체결부를 더 포함할 수 있다.
일 실시예에서, 상기 메인 바디부는, 양 측면에 각각 형성되어 통로의 각 측면에 각각 밀폐 결합하여 통로 측면 사이에 설치되는 밀폐 결합부; 슬라이드 홈을 형성시켜 상기 무빙 메커니즘부를 슬라이드 가이딩하기 위한 슬라이드부; 홈을 형성시켜 홈으로 상기 무빙 메커니즘부가 삽입되도록 하기 위한 차단 홈부; 및 상기 슬라이드부의 일단부에 형성되어 상기 앤드 커버부를 결합 고정시켜 주기 위한 커버 결합부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치는, 진공 밸브를 에어 및 전기를 함께 이용하도록 구현하여 단순 밸브 개폐 구동과 정밀 구간 밸브 제어 구동 모두를 수행할 수 있도록 함으로써, 단순 밸브 온/오프 개폐 시와 정밀 구간 밸브 제어 시 모두 사용할 수 있어, 일반 상태 이용 시에 전기 절약과 빠른 동작을 수행할 수 있도록 함과 동시에, 정밀 상태 이용 시에 전기로만 밸브 구동을 수행하여 보다 정밀한 구간별 밸브 제어를 수행할 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치를 설명하는 사시도이다.
도 2는 도 1에 있는 게이트 밸브 장치를 설명하는 분해 사시도이다.
도 3은 도 2에 있는 실린더부를 설명하는 단면도이다.
도 2는 도 1에 있는 게이트 밸브 장치를 설명하는 분해 사시도이다.
도 3은 도 2에 있는 실린더부를 설명하는 단면도이다.
본 발명에 관한 설명은 구조적 내지 기능적 설명을 위한 실시예에 불과하므로, 본 발명의 권리범위는 본문에 설명된 실시예에 의하여 제한되는 것으로 해석되어서는 아니 된다. 즉, 실시예는 다양한 변경이 가능하고 여러 가지 형태를 가질 수 있으므로 본 발명의 권리범위는 기술적 사상을 실현할 수 있는 균등물들을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
한편, 본 발명에서 서술되는 용어의 의미는 다음과 같이 이해되어야 할 것이다.
"제1", "제2" 등의 용어는 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하기 위한 것으로, 이들 용어들에 의해 권리범위가 한정되어서는 아니 된다. 예를 들어, 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "연결되어"있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성요소에 직접적으로 연결될 수도 있지만, 중간에 다른 구성요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성요소가 다른 구성요소에 "직접 연결되어"있다고 언급된 때에는 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 한편, 구성요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한 복수의 표현을 포함하는 것으로 이해되어야 하고, "포함하다"또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이며, 하나 또는 그 이상의 다른 특징이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
각 단계들에 있어 식별부호(예를 들어, a, b, c 등)는 설명의 편의를 위하여 사용되는 것으로 식별부호는 각 단계들의 순서를 설명하는 것이 아니며, 각 단계들은 문맥상 명백하게 특정 순서를 기재하지 않는 이상 명기된 순서와 다르게 일어날 수 있다. 즉, 각 단계들은 명기된 순서와 동일하게 일어날 수도 있고 실질적으로 동시에 수행될 수도 있으며 반대의 순서대로 수행될 수도 있다.
본 발명은 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록매체에 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드로서 구현될 수 있고, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록 매체는 컴퓨터 시스템에 의하여 읽혀질 수 있는 데이터가 저장되는 모든 종류의 기록 장치를 포함한다. 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록 매체의 예로는 ROM, RAM, CD-ROM, 자기 테이프, 플로피 디스크, 광 데이터 저장 장치 등이 있으며, 또한, 캐리어 웨이브(예를 들어 인터넷을 통한 전송)의 형태로 구현되는 것도 포함한다. 또한, 컴퓨터가 읽을 수 있는 기록 매체는 네트워크로 연결된 컴퓨터 시스템에 분산되어, 분산 방식으로 컴퓨터가 읽을 수 있는 코드가 저장되고 실행될 수 있다.
여기서 사용되는 모든 용어들은 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가진다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미를 지니는 것으로 해석될 수 없다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치를 설명하는 사시도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치는, 메인 바디부(Main Body)(100), 무빙 메커니즘부(Moving Mechanism)(200), 앤드 커버부(End Cover)(300), 실린더부(Cylinder)(400) 및 모터부(Motor)(500)를 포함한다.
메인 바디부(100)는, 양 측면이 유체(기체 또는 액체)가 흐르는 통로 사이의 측면과 각각 밀폐 결합되도록 하여 해당 통로 사이에 설치되며, 해당 통로의 개폐 동작이 수행되도록 하기 위해서, 무빙 메커니즘부(200)가 내부에서 왕복 이동 가능하도록 구현된다.
또한, 메인 바디부(100)는, 일 단면부에 앤드 커버부(300)를 결합 고정하도록 설치하여, 해당 결합 고정된 앤드 커버부(300)에 의해 무빙 메커니즘부(200)가 내부에서만 왕복 이동할 수 있도록 해 준다.
무빙 메커니즘부(200)는, 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동 가능하도록 구현되며, 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동하여 통로의 개폐 동작을 수행하여 유체를 차단 또는 개방하도록 한다.
또한, 무빙 메커니즘부(200)는, 일단부가 실린더부(400)의 일단부에 결합 고정 설치되어, 실린더부(400)의 왕복 운동에 따라 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동하여 통로의 개폐 동작을 수행하도록 한다. 이때, 무빙 메커니즘부(200)의 일단부는 앤드 커버부(300)를 통해서(앤드 커버부(300)를 관통하여) 실린더부(400)의 일단부에 결합 고정 설치되어, 앤드 커버부(300)에 의해 메인 바디부(100) 내에서만 왕복 이동한다.
앤드 커버부(300)는, 메인 바디부(100)의 일측면에 결합 고정 설치되고, 관통을 통해 무빙 메커니즘부(200)의 일단부가 실린더부(400)의 일단부에 결합 고정 설치되도록 하여, 무빙 메커니즘부(200)가 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동 시에 무빙 메커니즘부(200)가 메인 바디부(100)의 외부로 나오지 않도록 해 준다. 즉, 앤드 커버부(300)는, 무빙 메커니즘부(200)가 메인 바디부(100) 내에서만 왕복 이동할 수 있도록 해 준다.
실린더부(400)는, 일단부가 앤드 커버부(300)를 통해서(앤드 커버부(300)를 관통하여) 무빙 메커니즘부(200)의 일단부에 결합 고정 설치되어, 실린더 왕복 운동에 의해 무빙 메커니즘부(200)를 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동시켜 준다. 이때, 일반 상태의 밸브 구동 시에, 실린더부(400)는, 바로 직접 실린더 왕복 운동시켜 무빙 메커니즘부(200)를 왕복 이동하도록 함으로써, 일반 사용에 의해 전기를 절약할 수 있고 빠른 밸브 개폐 동작을 수행할 수 있도록 한다.
또한, 실린더부(400)는, 다른 일단부가 모터부(500)의 일단부(몸체)에 결합 고정 설치되어, 모터부(500)에서 변환된 왕복 운동에 따라 일단부가 실린더 왕복 운동되도록 하여, 무빙 메커니즘부(200)를 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동시켜 준다. 이때, 정밀 상태의 밸브 구동 시에, 실린더부(400)는, 모터부(500)의 회전 운동(정방향 회전 또는 역방향 회전) 제어에 따라 실린더 왕복 운동하여 무빙 메커니즘부(200)를 정밀하게 왕복 이동하도록 함으로써, 정밀 사용에 의해 보다 정밀한 구간별 밸브 제어를 수행할 수 있도록 한다.
일 실시예에서, 실린더부(400)는, 공기 압력에 의해 일단부를 왕복 운동하도록 하는 에어 실린더일 수 있다.
모터부(500)는, 모터의 회전 운동(정방향 회전 또는 역방향 회전)를 왕복 운동으로 변환시켜 해당 변환된 왕복 운동을 실린더부(400)의 실린더 왕복 운동으로 전달하기 위해서, 회전 운동에 의한 왕복 운동을 수행하는 부분이 실린더부(400)의 일단부에 연결되어 고정 설치되고 몸체의 일단부가 실린더부(400)의 다른 일단부에 고정 설치된다.
이때, 모터부(500)는, 정밀 상태의 밸브 구동 시에 사용되는데, 모터의 회전 운동(정방향 회전 또는 역방향 회전)에 따라 왕복 운동을 수행하여 실린더부(400)의 일단부를 정밀하게 왕복 운동시켜 준다.
상술한 바와 같은 구성을 가진 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치는, 밸브 구동 시에 일반 상태일 때와 정밀 상태일 때 모두 사용 가능하고 특히, 사용자가 원하는 구간별 정밀 구간 제어가 가능함으로써, 일반 사용 시에는 전기 절약의 효과를 가짐과 동시에 빠른 동작을 수행할 수 있으며, 정밀 사용 시에는 단지 전기로만 밸브 구동이 가능하여 보다 정밀한 구간별 밸브 제어를 수행할 수 있다.
도 2는 도 1에 있는 게이트 밸브 장치를 설명하는 분해 사시도이고, 도 3은 도 2에 있는 실린더부를 설명하는 단면도이다.
메인 바디부(100)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 통로(110), 두 개의 밀폐 결합부(121, 122), 슬라이드부(130), 차단 홈부(140), 커버 결합부(150)를 포함한다.
밀폐 결합부(121, 122)는, 볼트 체결 형태의 플랜지로서, 유체(기체 또는 액체)가 흐르는 통로(110)를 형성하고 메인 바디부(100)의 양 측면에 각각 형성되어 통로(110)의 각 측면에 각각 밀폐 결합되도록 함으로써, 메인 바디부(100)를 통로 측면 사이에 설치되도록 한다.
슬라이드부(130)는, 슬라이드 홈을 형성하고 해당 슬라이드 홈을 따라 무빙 메커니즘부(200)가 왕복 이동하여 통로(110)를 개폐할 수 있도록 무빙 메커니즘부(200)를 슬라이드 가이딩하도록 한다.
차단 홈부(140)는, 통로(110)의 둘레로 홈이 형성되고 해당 홈으로 무빙 메커니즘부(200)가 삽입되어 통로(110)로 흐르는 유체를 차단하도록 한다.
커버 결합부(150)는, 슬라이드부(130)의 일단부에 형성되어 앤드 커버부(300)를 결합 고정시켜 준다. 이때, 커버 결합부(150)는, 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 앤드 커버부(300)를 결합 고정시킬 수 있다.
무빙 메커니즘부(200)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 블레이드부(210), 오링부(220), 실린더 체결부(230)를 포함한다.
블레이드부(210)는, 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동하여 통로(110)의 개폐 동작을 수행하여 유체를 차단 또는 개방하도록 한다. 즉, 블레이드부(210)는, 일단부에 실린더 체결부(230)가 형성되어 실린더부(400)의 왕복 운동에 따라 왕복 이동하는데, 슬라이드부(130)에 형성된 슬라이드 홈을 따라 왕복 이동하여 차단 홈부(140)에 삽입되거나 이탈된다.
오링부(220)는, 블레이드부(210)의 양쪽 단면 위에 각각 형성되며, 무빙 메커니즘부(200)가 통로(110)를 차단하도록 하는데, 블레이드부(210)가 차단 홈부(140)로 삽입될 때에 차단 홈부(140)와 밀착되어 밀폐시켜 줌으로써 유체를 차단시켜 주도록 한다.
실린더 체결부(230)는 실린더부(400)의 일단부를 결합 고정시켜 주는데, 앤드 커버부(300)의 관통 홀(310)를 통해 실린더부(400)의 일단부(즉, 메커니즘 체결부(410))와 체결됨으로써, 무빙 메커니즘부(200)가 앤드 커버부(300)에 의해 메인 바디부(100) 내에서만 왕복 이동하도록 한다.
또한, 실린더 체결부(230)는, 블레이드부(210)의 일단부에 설치되며, 실린더부(400)의 일단부(즉, 메커니즘 체결부(410))의 왕복 운동에 따라 블레이드부(210)를 왕복 이동시켜 준다.
앤드 커버부(300)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 메인 바디부(100)(즉, 커버 결합부(150))에 결합 고정되며, 관통 홀(310)을 포함한다.
관통 홀(310)은 무빙 메커니즘부(200)의 일단부와 실린더부(400)의 일단부가 앤드 커버부(300)를 통해서 서로 결합 고정될 수 있도록 공간을 제공해 준다.
실린더부(400)는, 도 2 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 메커니즘 체결부(410), 왕복 운동부(420), 실린더 가이드부(430), 모터 체결부(440)를 포함한다.
메커니즘 체결부(410)는, 무빙 메커니즘부(200)의 일단부를 결합 고정시켜 주는데, 앤드 커버부(300)의 관통 홀(310)을 통해 무빙 메커니즘부(200)의 일단부(즉, 실린더 체결부(230))와 체결됨으로써, 무빙 메커니즘부(200)가 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동하도록 한다.
왕복 운동부(420)는, 일단부에 메커니즘 체결부(410)와 일체형으로 형성되고 다른 일단부에 모터부(500)의 왕복 운동 부분(즉, 실린더 체결부(530))과 결합 고정되며, 모터부(500)의 볼 스크류부(520)가 삽입될 수 있도록 다른 일단부에 홈이 형성된다.
또한, 왕복 운동부(420)는, 모터부(500)의 볼 스크류부(520)의 회전 운동에 따라 왕복 운동하는 실린더 체결부(530)에 의해 실린더 가이드부(430) 내에서 왕복 이동하며, 이에 일단부에 형성된 메커니즘 체결부(410)를 왕복 이동하도록 한다.
실린더 가이드부(430)는, 내부에 형성되는 왕복 운동부(420)의 왕복 운동을 가이드하는데, 일단부에 메커니즘 체결부(410)의 왕복 운동을 가이드하기 위한 홀을 형성하며, 다른 일단부에 모터 체결부(440)와 일체형으로 형성된다.
모터 체결부(440)는 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 모터부(500)의 일단부(즉, 모터(510))를 결합 고정시켜 준다.
모터부(500)는, 도 2에 도시된 바와 같이, 모터(510), 볼 스크류부(Ball Screw)(520), 실린더 체결부(530)를 포함한다.
모터(510)는, 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 실린더부(400)의 다른 일단부(즉, 모터 체결부(440))에 결합 고정 설치되며, 전기를 공급받아 볼 스크류부(520)를 회전시켜 준다.
볼 스크류부(520)는, 모터(510)의 회전에 의해 회전 운동하여 실린더 체결부(530)를 왕복 운동시켜 준다.
실린더 체결부(530)는, 실린더부(400)의 일단부(즉, 왕복 운동부(420))에 연결되어 고정 설치되며, 볼 스크류부(520)의 회전에 따라 왕복 운동하여 실린더부(400)의 일단부를 왕복 이동하도록 한다.
아래에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 본 발명의 일 실시예에 따른 게이트 밸브 장치의 동작을 보다 상세히 살펴본다.
첫 번째로, 정밀 상태의 밸브 구동 시에 모터부(500)를 사용하도록 하는데, 이때 모터부(500)는, 사용자가 원하는 구간별 정밀 구간 제어를 위한 회전 운동(정방향 회전 또는 역방향 회전)을 수행하도록 한다.
그리고 회전 운동에 의해 발생되는 왕복 운동을 수행하는 부분을 실린더부(400)의 일단부에 연결시켜 고정 설치하며, 모터부(500) 몸체의 일단부가 실린더부(400)의 다른 일단부에 고정 설치하도록 함으로써, 회전 운동에 의해 발생되는 왕복 운동은 실린더부(400)에 전달될 수 있다.
다시 말해서, 모터부(500)의 실린더 체결부(530)는 실린더부(400)의 일단부(즉, 왕복 운동부(420))에 연결되어 고정 설치되며, 모터부(500)의 모터(510)는 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 실린더부(400)의 다른 일단부(즉, 모터 체결부(440))에 결합 고정 설치된다.
이에, 모터(510)가 전기를 공급받아 볼 스크류부(520)를 회전시켜 주게 되며, 이에 따라 볼 스크류부(520)는 모터(510)의 회전에 의해 회전 운동하게 된다.
이때, 실린더부(400)의 왕복 운동부(420)에 연결된 실린더 체결부(530)는, 볼 스크류부(520)의 회전에 따라 왕복 운동하여 실린더부(400)의 왕복 운동부(420)를 왕복 이동시켜 주게 된다.
그러면, 실린더부(400)는, 일단부가 앤드 커버부(300)를 통해서(앤드 커버부(300)를 관통하여) 무빙 메커니즘부(200)의 일단부에 결합 고정 설치되어 있으므로, 모터부(500)의 회전 운동(정방향 회전 또는 역방향 회전)에 따라 실린더 왕복 운동하여 무빙 메커니즘부(200)를 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동시켜 준다. 이때, 실린더부(400)는, 모터부(500)의 정밀 구동 제어에 따라 실린더 왕복 운동하여 무빙 메커니즘부(200)를 정밀하게 왕복 이동시켜 줌으로써, 정밀 사용에 의해 보다 정밀한 구간별 밸브 제어를 수행할 수 있다.
다시 말해서, 실린더부(400)의 메커니즘 체결부(410)는 무빙 메커니즘부(200)의 일단부에 결합 고정되어 있고, 실린더부(400)의 모터 체결부(440)는 다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 모터부(500)의 일단부(즉, 모터(510))에 결합 고정되어 있다. 또한, 실린더부(400)의 실린더 가이드부(430)의 일단부에는 메커니즘 체결부(410)의 왕복 운동을 가이드하기 위한 홀을 형성되어 있고, 다른 일단부에는 모터 체결부(440)와 일체형으로 형성되어 있다.
그리고 왕복 운동부(420)의 일단부가 메커니즘 체결부(410)와 일체형으로 형성되고, 다른 일단부가 모터부(500)의 실린더 체결부(530)와 결합 고정되어 있고 모터부(500)의 볼 스크류부(520)가 삽입될 수 있도록 홈이 형성되어 있다.
이에, 왕복 운동부(420)는, 모터부(500)의 볼 스크류부(520)의 회전 운동에 따라 왕복 운동하는 실린더 체결부(530)에 의해서 실린더 가이드부(430) 내에서 왕복 이동하며, 이에 따라 일단부에 형성된 메커니즘 체결부(410)를 왕복 이동하도록 한다.
두 번째로, 일반 상태의 밸브 구동 시에 모터부(500)의 구동 없이 실린더부(400)를 사용하도록 하는데, 이때 실린더부(400)는, 바로 직접 실린더 왕복 운동시켜 무빙 메커니즘부(200)를 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동시켜 줌으로써, 일반 사용에 의해 전기를 절약할 수 있고 빠른 밸브 개폐 동작을 수행할 수도 있다.
그러면, 일단부가 실린더부(400)의 일단부에 결합 고정된 무빙 메커니즘부(200)는, 실린더부(400)의 왕복 운동에 따라 메인 바디부(100) 내에서 왕복 이동하여 통로의 개폐 동작을 수행하도록 한다.
다시 말해서, 실린더부(400)의 일단부에 결합 고정된 실린더 체결부(230)는, 앤드 커버부(300)의 관통 홀(310)를 통해 실린더부(400)의 메커니즘 체결부(410)와 체결되어 있으며, 또한 블레이드부(210)의 일단부에 설치되어 있으므로, 실린더부(400)의 메커니즘 체결부(410)의 왕복 운동에 따라 블레이드부(210)를 왕복 이동시켜 준다.
이에, 블레이드부(210)는, 슬라이드부(130)에 형성된 슬라이드 홈을 따라 왕복 이동하여 차단 홈부(140)에 삽입되거나 이탈됨으로써, 통로(110)의 개폐 동작을 수행하여 유체를 차단 또는 개방하도록 한다. 특히, 블레이드부(210)가 차단 홈부(140)로 삽입되는 경우, 블레이드부(210)의 양쪽 단면 위에 각각 형성된 오링부(220)는, 차단 홈부(140)와 밀착되어 밀폐시켜 줌으로써 유체를 차단시켜 주도록 한다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100: 메인 바디부
110: 통로
121, 122: 밀폐 결합부
130: 슬라이드부
140: 차단 홈부
154: 커버 결합부
200: 무빙 메커니즘부
210: 블레이드부
220: 오링부
230: 실린더 체결부
300: 앤드 커버부
310: 관통 홀
400: 실린더부
410: 메커니즘 체결부
420: 왕복 운동부
430: 실린더 가이드부
440: 모터 체결부
500: 모터부
510: 모터
520: 볼 스크류부
530: 실린더 체결부
110: 통로
121, 122: 밀폐 결합부
130: 슬라이드부
140: 차단 홈부
154: 커버 결합부
200: 무빙 메커니즘부
210: 블레이드부
220: 오링부
230: 실린더 체결부
300: 앤드 커버부
310: 관통 홀
400: 실린더부
410: 메커니즘 체결부
420: 왕복 운동부
430: 실린더 가이드부
440: 모터 체결부
500: 모터부
510: 모터
520: 볼 스크류부
530: 실린더 체결부
Claims (8)
- 유체가 흐르는 통로 사이에 양 측면이 각각 밀폐 결합되어 통로 사이에 설치되는 메인 바디부;
상기 메인 바디부 내에서 왕복 이동하여 통로의 개폐 동작을 수행하는 무빙 메커니즘부;
상기 메인 바디부의 일측면에 결합 고정된 앤드 커버부;
상기 앤드 커버부를 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부에 결합 고정되며, 실린더 왕복 운동에 의해 상기 무빙 메커니즘부를 왕복 이동시켜 주는 실린더부; 및
상기 실린더부의 일단부에 연결 고정되며, 회전 운동을 왕복 운동으로 변환시켜 상기 실린더부의 실린더 왕복 운동으로 전달하는 모터부를 포함하는 게이트 밸브 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 앤드 커버부는,
관통 홀을 구비하고 해당 관통 홀을 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부와 상기 실린더부의 일단부를 서로 결합 고정하여, 상기 무빙 메커니즘부가 상기 메인 바디부 내에서만 왕복 이동하도록 하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 모터부는,
회전 운동하도록 하기 위한 모터;
상기 모터의 회전 운동에 의해 회전하는 볼 스크류부; 및
상기 실린더부의 일단부에 연결 고정되며, 상기 볼 스크류부의 회전에 따라 왕복 운동하여 상기 실린더부의 일단부를 왕복 이동시켜 주는 실린더 체결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 실린더부는,
상기 앤드 커버부를 통해 상기 무빙 메커니즘부의 일단부에 결합 고정되는 메커니즘 체결부;
상기 메커니즘 체결부에 일단부가 연결되고 상기 모터부에 다른 일단부가 연결되어, 상기 모터부에서 변환된 왕복 운동에 따라 상기 메커니즘 체결부를 왕복 이동시켜 주는 왕복 운동부; 및
상기 메커니즘 체결부의 왕복 운동을 가이드하기 위한 홀을 구비하며, 상기 왕복 운동부의 왕복 운동을 가이드하는 실린더 가이드부를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 실린더부는,
다수 개의 홀을 구비하여 볼트 체결 형태로 상기 모터부의 일단부를 결합 고정시켜 주기 위한 모터 체결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
- 제4항에 있어서, 상기 왕복 운동부는,
상기 모터부의 실린더 체결부에 다른 일단부가 결합 고정되며, 상기 실린더 체결부의 왕복 운동에 의해 상기 실린더 가이드부 내에서 왕복 이동하여, 일단부에 연결된 메커니즘 체결부를 왕복 이동시켜 주는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 무빙 메커니즘부는,
상기 메인 바디부 내에서 왕복 이동하여 상기 통로의 개폐 동작을 수행하는 블레이드부;
상기 블레이드부의 양쪽 단면 위에 각각 형성된 오링부; 및
상기 실린더부의 일단부를 결합 고정되어, 상기 실린더부의 일단부의 왕복 운동에 따라 상기 블레이드부를 왕복 이동시켜 주는 실린더 체결부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
- 제1항에 있어서, 상기 메인 바디부는,
양 측면에 각각 형성되어 통로의 각 측면에 각각 밀폐 결합하여 통로 측면 사이에 설치되는 밀폐 결합부;
슬라이드 홈을 형성시켜 상기 무빙 메커니즘부를 슬라이드 가이딩하기 위한 슬라이드부;
홈을 형성시켜 홈으로 상기 무빙 메커니즘부가 삽입되도록 하기 위한 차단 홈부; 및
상기 슬라이드부의 일단부에 형성되어 상기 앤드 커버부를 결합 고정시켜 주기 위한 커버 결합부를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트 밸브 장치.
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KR1020120133600A KR101422201B1 (ko) | 2012-11-23 | 2012-11-23 | 게이트 밸브 장치 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20220093283A (ko) * | 2020-12-27 | 2022-07-05 | (주)코셈 | 진공 개폐 유닛의 이미지 차징 현상이 개선된 전계 방출형 주사전자 현미경 |
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-
2012
- 2012-11-23 KR KR1020120133600A patent/KR101422201B1/ko not_active IP Right Cessation
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KR20220093283A (ko) * | 2020-12-27 | 2022-07-05 | (주)코셈 | 진공 개폐 유닛의 이미지 차징 현상이 개선된 전계 방출형 주사전자 현미경 |
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