KR20210130481A - 극저온 유체 펌프 - Google Patents

극저온 유체 펌프 Download PDF

Info

Publication number
KR20210130481A
KR20210130481A KR1020200048752A KR20200048752A KR20210130481A KR 20210130481 A KR20210130481 A KR 20210130481A KR 1020200048752 A KR1020200048752 A KR 1020200048752A KR 20200048752 A KR20200048752 A KR 20200048752A KR 20210130481 A KR20210130481 A KR 20210130481A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
gear
fluid pump
inlet
connection hole
cryogenic fluid
Prior art date
Application number
KR1020200048752A
Other languages
English (en)
Other versions
KR102408397B1 (ko
Inventor
김범열
Original Assignee
김범열
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 김범열 filed Critical 김범열
Priority to KR1020200048752A priority Critical patent/KR102408397B1/ko
Publication of KR20210130481A publication Critical patent/KR20210130481A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102408397B1 publication Critical patent/KR102408397B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
    • F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
    • F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
    • F04C18/18—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with similar tooth forms
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C27/00—Sealing arrangements in rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
    • F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/20—Rotors
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
    • F04C2240/00—Components
    • F04C2240/30—Casings or housings
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2210/00—Working fluid
    • F05B2210/10—Kind or type
    • F05B2210/14—Refrigerants with particular properties, e.g. HFC-134a
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F05—INDEXING SCHEMES RELATING TO ENGINES OR PUMPS IN VARIOUS SUBCLASSES OF CLASSES F01-F04
    • F05B—INDEXING SCHEME RELATING TO WIND, SPRING, WEIGHT, INERTIA OR LIKE MOTORS, TO MACHINES OR ENGINES FOR LIQUIDS COVERED BY SUBCLASSES F03B, F03D AND F03G
    • F05B2280/00—Materials; Properties thereof
    • F05B2280/40—Organic materials
    • F05B2280/4003—Synthetic polymers, e.g. plastics

Abstract

본 발명은 극저온 유체 펌프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 -30℃ ~ -80℃의 극저온 상태를 유지하기 위한 냉매를 순환시킬 때, 온도에 의한 부피변화를 최소화하여 안정적으로 냉매를 순환시킬 수 있으며, 냉매의 누수 및 열손실을 방지할 수 있어 열효율을 높일 수 있는 극저온 유체 펌프에 관한 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은 내부에 구동기어 및 종동기어가 수용되는 기어 수용부가 형성되는 몸체와, 상기 몸체의 일측에 연결되는 전부 커버와, 상기 몸체의 타측에 연결되는 후부 커버와, 상기 기어 수용부의 일측에 상기 후부 커버의 유입구와 연통되도록 형성되는 유입부와, 상기 기어 수용부의 타측에 상기 후부 커버의 배출구와 연통되도록 형성되는 배출부로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

Description

극저온 유체 펌프{a fluid pump used in very low temperature}
본 발명은 극저온 유체 펌프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 -30℃ ~ -80℃의 극저온 상태를 유지하기 위한 냉매를 순환시킬 때, 온도에 의한 부피변화를 최소화하여 안정적으로 냉매를 순환시킬 수 있으며, 냉매의 누수 및 열손실을 방지할 수 있어 열효율을 높일 수 있는 극저온 유체 펌프에 관한 것이다.
일반적으로 기어펌프란 케이싱(Casing)의 내측에 상호의 치가 맞물려 설치되는 구동기어와 종동기어가 구성된 구조로 이루어지고, 구동기어가 종동기어를 구동시켜 서로 맞물려 회전을 하면서 펌핑작용이 일어나게 된다.
이러한 펌핑작용은 기어의 치가 흡입구 측에서 서로 떨어질 때 기어의 치와 치 사이에 흡입실이 형성되고, 이 흡입실의 용적이 한 개의 이들이 점유한 용적만큼 증대되기 때문에 약간의 진공상태로 되어 기어홈과 케이싱 외주 사이에 끼어 토출구 방향으로 유체를 압송하게 된다.
보다 상세하게 설명하면 기어펌프(Gear Pump)는 서로 맞물리는 두 개의 구동기어와 종동기어로 이루어진 펌프기어를 이에 외접하는 케이싱에 넣고 기어를 회전시켜 톱니의 홈과 둘레의 벽 사이에 형성되는 공간의 이동을 통해 유체를 유동시키기 위한 펌핑부의 구조로 이루어지는 것이다.
이러한 기어 펌프의 일 예로, 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 기어펌프(10)는 흡입구(12a)와 토출구(12b)가 형성된 케이싱(12)의 내부에 서로 맞물려 회전되는 구동기어(14)와 종동기어(16)가 구비된 구조로 이루어지며, 구동기어(14)와 종동기어(16) 각각의 중심부에는 구동축(14a)과 종동축(16a)이 구성되어진다. 이때, 구동수단(모터 등)에 의해 구동기어(14)의 축(14a)을 통해 동력이 전달되어 회전이 이루어지면 구동기어(14)와 맞물린 종동기어(16)의 회전이 이루어져펌핑작용이 이루어진다.
그런데, 전술한 종래의 기어펌프는 상온에서 사용하는 기어펌프인데, 반도체 웨이퍼의 성능검사를 위하여 -30℃ ~ -80℃의 극저온 환경을 조성할 때, 사용하는 극저온 냉매의 순환에 사용할 경우, 온도 변화에 대한 치수 안정성이 떨어지기 때문에 안정적으로 사용할 수 없는 문제점이 있다.
또한, 각 구성들간의 밀폐력이 좋지 않아 열손실이 커질 뿐만 아니라, 최악의 경우 극저온 냉매의 누수가 발생할 수 있는 문제점이 있다.
한국등록특허 제10-1715677호
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 몸체의 내부에 구비되는 한 쌍의 기어를 온도변화에 따른 치수 안정성, 내충격성, 내약품성의 뛰어난 합성수지로 형성함으로써, -30℃ ~ -80℃의 극저온 환경을 형성하기 위한 냉매를 순환시킬 때, 안정적으로 펌핑 동작을 수행할 수 있는 극저온 유체 펌프를 제공하는 것이다.
그리고, 본 발명의 다른 목적은 내부에 한 쌍의 기어가 구비되는 몸체의 전후부에 각각 구비되는 전부 커버 및 후부 커버의 접하는 면에 실링홈을 형성하고 상기 실링홈에 패킹을 구비하여 냉매의 누수를 방지하고 열손실을 최소화할 수 있는 극저온 유체 펌프를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 또 다른 목적은 몸체의 일측에 연결되는 후부 커버에 완충부를 형성함으로써, 유입부를 통하여 유입된 냉매를 한 쌍의 기어가 배출부로 이동시키는 과정에서 서지압력이 발생할 경우 이를 해소할 수 있어 냉매 순환구조의 손상을 방지할 수 있는 초저운 유체 펌프를 제공하는 것이다.
이러한 문제점을 해결하기 위한 본 발명은;
내부에 구동기어 및 종동기어가 수용되는 기어 수용부가 형성되는 몸체와, 상기 몸체의 일측에 연결되는 전부 커버와, 상기 몸체의 타측에 연결되는 후부 커버와, 상기 기어 수용부의 일측에 상기 후부 커버의 유입구와 연통되도록 형성되는 유입부와, 상기 기어 수용부의 타측에 상기 후부 커버의 배출구와 연통되도록 형성되는 배출부로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 구동기어 및 종동기어는 극저온에서 치수 안정성을 가지는 합성수지로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 전부 커버와 후부 커버는 상기 몸체와 접하는 면의 가장자리에 실링홈이 형성되고, 상기 실링홈에는 패킹이 삽입되는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 기어 수용부의 양측에는 기어 수용부의 내경과 동일한 외경을 가지는 사이드 플레이트가 더 구비되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 사이드 플레이트의 외측에는 사이드 플레이트를 종동기어 및 구동기어 방향으로 가압하면서 유입부와 배출부를 차단하기 위한 E형 씰이 더 구비되는 것을 특징으로 한다.
한편, 상기 구동기어가 설치되는 구동축이 상기 전부 커버를 관통하여 돌출되고, 상기 구동축의 단부에는 열전도율이 낮은 재질의 합성수지로 이루어지는 커플러가 구비되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 전부 커버에는 서지 압력이 발생할 경우 배출부의 냉매를 유입부로 이동시켜 서지 압력을 해소하는 완충부가 더 형성되는 것을 특징으로 한다.
이때, 상기 완충부는 상기 유입부와 연통되는 유입 연결공과, 상기 배출부와 연통되는 배출 연결공과, 상기 유입 연결공과 배출 연결공을 연결하는 완충 연결공과, 상기 완충 연결공과 유입 연결공이 접하는 부분에 슬라이딩 가능하도록 구비되는 포펫과, 상기 완충 연결공에 형성되어 상기 포펫의 전단을 지지하는 걸림턱과, 상기 걸림턱 방향으로 상기 포펫을 탄성지지하는 스프링으로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
상기한 구성의 본 발명에 따르면, 몸체의 내부에 구비되는 한 쌍의 기어를 온도변화에 따른 치수 안정성, 내충격성, 내약품성의 뛰어난 합성수지로 형성함으로써, -30℃ ~ -80℃의 극저온 환경을 형성하기 위한 냉매를 순환시킬 때, 안정적으로 펌핑 동작을 수행할 수 있는 효과가 있다.
그리고, 본 발명은 내부에 한 쌍의 기어가 구비되는 몸체의 전후부에 각각 구비되는 전부 커버 및 후부 커버의 접하는 면에 실링홈을 형성하고 상기 실링홈에 패킹을 구비하여 냉매의 누수를 방지하고 열손실을 최소화할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명은 몸체의 일측에 연결되는 후부 커버에 완충부를 형성함으로써, 유입부를 통하여 유입된 냉매를 한 쌍의 기어가 배출부로 이동시키는 과정에서 서지압력이 발생할 경우 이를 해소할 수 있어 냉매 순환구조의 손상을 방지할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 종래의 기술에 따른 기어펌프를 보인 측단면 구성도이다.
도 2는 종래의 기술에 따른 기어펌프를 보인 정단면 구성도이다.
도 3은 본 발명에 따른 극저온 유체 펌프의 사시도이다.
도 4는 본 발명에 따른 극저온 유체 펌프의 분리 사시도이다.
도 5는 본 발명에 따른 극저온 유체 펌프의 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 극저온 유체 펌프의 몸체의 단면도이다.
도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 극저온 유체 펌프의 완충부의 단면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 보다 상세하게 설명한다. 도면상의 동일한 구성요소에 대해서는 동일한 참조부호를 사용하고 동일한 구성요소에 대해서 중복된 설명은 생략한다. 그리고, 본 발명은 다수의 상이한 형태로 구현될 수 있고, 기술된 실시 예에 한정되지 않음을 이해하여야 한다.
도 3은 본 발명에 따른 극저온 유체 펌프의 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 극저온 유체 펌프의 분리 사시도이고, 도 5는 본 발명에 따른 극저온 유체 펌프의 단면도이고, 도 6은 본 발명에 따른 극저온 유체 펌프의 몸체의 단면도이고, 도 7은 본 발명의 다른 실시 예에 따른 극저온 유체 펌프의 완충부의 단면도이다.
본 발명은 극저온 유체 펌프에 관한 것으로 도 3 내지 도 6에 도시된 바와 같이 그 구성은 내부에 구동기어(210) 및 종동기어(220)가 수용되는 기어 수용부(110)가 형성되는 몸체(100)와 상기 몸체(100)의 일측에 연결되는 전부 커버(400)와 상기 몸체(100)의 타측에 연결되는 후부 커버(300)로 이루어진다.
여기서, 상기 후부 커버(300)의 일측에는 외부로부터 냉매가 유입되는 유입구(310)가 형성되고, 타측에는 외부로 냉매가 배출되는 배출구(320)가 형성되는데, 상기 기어 수용부(110)의 일측에 상기 유입구(310)와 연통되도록 유입부(120)가 형성되고, 상기 기어 수용부(110)의 타측에 상기 배출구(130)와 연통되도록 배출부(130)가 형성된다.
이때, 상기 기어 수용부(110)의 내측에는 구동기어(210) 및 종동기어(220)가 맞물리도록 구비되며, 상기 유입구(310)를 통하여 유입부(120)로 유입된 냉매는 구동기어(210) 및 종동기어(220)의 회전에 의해 배출부(130)를 통하여 배출구(320)로 배출되어 냉매가 안정적으로 순환하게 된다.
그리고, 본 발명의 극저온 유체 펌프는 -30℃ ~ -80℃의 극저온 환경을 형성하기 위한 냉매를 순환시키기 위하여 사용하는 것으로서, 상기 유입구(310)와 배출구(320)에 각각 연결되는 연결부재(340)에 의해 외부의 냉매 순환관이 연결되어 극저온의 냉매를 순환시키게 되는데, 상기 몸체(100)의 내측에 수용되는 구동기어(210) 및 종동기어(220)는 극저온에서 치수 안정성이 높은 합성수지로 이루어진다.
그래서, 극저온의 냉매가 몸체(100) 내부에 수용되는 구동기어(210) 및 종동기어(220)와 접하더라도 수축되는 것을 최소화하여 각 기어이가 맞물려 밀폐된 상태를 안정적으로 유지할 수 있게 됨으로써, 냉매를 정상적으로 순환시킬 수 있게 된다.
한편, 상기 몸체(100)의 길이방향 양단부에 연결되는 전부 커버(400)와 후부 커버(300)는 상기 몸체(100)와 접하는 면의 가장자리에 실링홈(350,410)이 각각 형성되고, 상기 실링홈(350,410)에는 패킹(352,412)이 삽입된다.
여기서, 상기 패킹(352)은 극저온에서도 물성의 변화가 적은 탄성력이 좋은 합성수지로 이루어져 몸체(100)의 길아방향 양측에 전부 커버(400)와 후부 커버(300)를 결합할 때, 상기 패킹(352)에 의해 밀폐력을 높여주어 냉매가 누출되거나 내부의 냉기가 외부로 누출되는 것을 방지할 수 있게 된다.
이때, 상기 몸체(100)의 가장자리에는 전후 관통되도록 가이드핀공(140)이 형성되고, 상기 전부 커버(400) 및 후부 커버(300)에도 상기 가이드핀공(140)에 삽입되는 가이드핀(145)의 단부가 삽입되는 가이드핀 홈(미도시)이 형성되어 방향 조절없이 용이하게 결합할 수 있게 되며, 몸체(100), 전부 커버(400) 및 후부 커버(300)는 체결볼트(미도시)를 사용하여 결합하게 된다.
그리고, 상기 기어 수용부(110)는 몸체(100)의 길이방향을 따라 관통하도록 형성되는데, 상기 기어 수용부(110)의 길이 방향 양측에는 기어 수용부(110)의 내경과 동일한 외경을 가지는 사이드 플레이트(230)가 구비된다.
여기서, 상기 사이드 플레이트(230)는 구동기어(210) 및 종동기어(220)의 길이방향 양측 단부에 접하도록 위치하며, 구동기어(210)가 설치되는 구동축(212) 및 종동기어(220)가 설치되는 종동축(222)이 관통하는 통공(부호 미도시)이 각각 형성된다.
이때, 상기 기어 수용부(110)에는 구동기어(210)와 종동기어(220)가 구비되고, 기어 수용부(110)의 길이방향 양단부에는 사이드 플레이트(230)가 구비되어 유입부(120)와 배출부(130)를 차단하게 되어 상기 구동기어(210) 및 종동기어(220)의 회전에 의해 유입부(120)로 공급된 냉매를 배출부(130)로 이동시켜 냉매를 순환시키게 된다.
또한, 상기 사이드 플레이트(230)의 양측에는 상기 유입구(310) 및 배출구(320)에 대응되도록 절개부(232)가 형성되어 상기 유입구(310) 및 배출구(320)가 기어 수용부(110)의 양측에 형성되는 유입부(120) 및 배출부(130)와 안정적으로 연통되도록 한다.
여기서, 상기 사이드 플레이트(230)의 외측에는 E형 씰(240)이 더 구비되는데, 상기 E형 씰(240)은 상기 사이드 플레이트(230)를 구동기어(210) 및 종동기어(220) 방향으로 가압하여 기어 수용부(110)의 밀폐력을 높일 뿐만 아니라, 유입부(120) 및 배출부(130)를 완전히 차단하여 냉매가 서로 이동하는 것을 방지하게 된다.
한편, 상기 전부 커버(400)의 측부에는 브라켓(600)이 연결되어 본 발명의 극저온 유체 펌프를 고정 설치하게 되는데, 상기 브라켓(600)의 타측에는 모터(미도시)가 구비되어 구동기어(210)가 설치된 구동축(212)을 회전시키게 된다.
여기서, 상기 구동축(212)은 상기 전부 커버(400)를 관통하여 돌출되는데, 상기 전부 커버(400)를 관통하여 돌출된 구동축(212)의 단부에는 모터의 회전축과 연결하기 위한 커플러(610)가 구비된다.
이때, 상기 커플러(610)는 열전도율이 낮은 재질의 합성수지로 이루어져 몸체(100)의 내부에 수용된 냉매의 열기가 모터로 전달되는 것을 방지하게 되며, 상기 브라켓(600)의 내측에는 추가적으로 열차단부재(620)가 더 구비됨으로써, 상기 구동축(212)을 통하여 냉기가 외부로 누출되는 것을 방지하여 열손실을 줄여주게 된다.
그리고, 본 발명의 다른 실시 예로, 도 7에 도시된 바와 같이, 몸체(100)의 일측에 연결되는 전부 커버(400)에는 냉매의 순환 중에 발생할 수 있는 서지 압력을 해소하기 위한 완충부(500)가 더 구비된다.
여기서, 상기 완충부(500)는 상기 유입부(120)와 연통되도록 형성되는 유입 연결공(510)과 상기 배출부(130)와 연통되도록 형성되는 배출 연결공(520)과 상기 유입 연결공(510)과 배출 연결공(520)을 연결하도록 형성되는 완충 연결공(530)과 상기 완충 연결공(530)과 유입 연결공(510)이 접하는 부분에 슬라이딩 가능하도록 구비되는 포펫(540)으로 이루어진다.
이때, 상기 완충 연결공(530)의 단부는 전부 커버(400)의 외측과 연통되는 설치공(534)과 연결되도록 형성되며, 상기 포펫(540)은 상기 완충 연결공(530)에 설치되는데, 상기 완충 연결공(530)의 내주면 일측에는 상기 포펫(540)의 단부를 지지하는 걸림턱(532)이 형성되며, 상기 포펫(540)의 후부에는 포펫(540)을 걸림턱 방향으로 탄성지지하는 스프링(542)이 구비된다.
따라서, 상기 배출구(320)와 연결되는 배관의 내부에 서지 압력이 발생할 경우, 상기 스프링(540)이 포펫(540)을 가압하는 힘보다 배출부(130)의 내부에 수용된 냉매의 압력이 커지게 되므로 포펫(540)이 후방으로 이동하여 완충 연결공(530)과 유입 연결공(510)이 연통되어 배출부(130)의 높은 압력의 냉매가 유입부(120)로 이동하여 서지 압력을 해소하게 된다.
물론, 서지 압력이 해소되면 포펫(540)은 다시 정위치로 이동하여 유입 연결공(510)을 차단하여 안정적으로 냉매가 순환되도록 한다.
한편, 상기 완충 연결공(530)의 단부에 연장 형성되는 설치공(534)에는 상기 스프링(542)의 인출을 방지하기 위한 고정부재(550)가 구비되는데, 상기 고정부재(550)에는 조절나사(미도시)가 구비되어 상기 스프링(542)의 탄성력을 조절하게 된다.
따라서, 상기 조절나사를 통하여 스프링(542)이 포펫(540)을 가압하는 탄성력을 조절하여 정상상태의 배출부(130)의 내부 압력에 대응되거나 조금 높게 형성함으로써, 평상시에는 안정적으로 냉매가 순환되도록 하고, 서지 압력이 발생할 경우에는 상기 완충 연결공(530)을 통하여 냉매가 역류되도록 하여 서지 압력을 해소하게 된다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하였으나, 본 발명의 권리범위는 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 실시 예와 실질적으로 균등한 범위에 있는 것까지 본 발명의 권리 범위가 미치는 것으로 본 발명의 정신을 벗어나지 않는 범위 내에서 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 다양한 변형 실시가 가능한 것이다.
본 발명은 극저온 유체 펌프에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 -30℃ ~ -80℃의 극저온 상태를 유지하기 위한 냉매를 순환시킬 때, 온도에 의한 부피변화를 최소화하여 안정적으로 냉매를 순환시킬 수 있으며, 냉매의 누수 및 열손실을 방지할 수 있어 열효율을 높일 수 있는 극저온 유체 펌프에 관한 것이다.
100 : 몸체 110 : 기어 수용부
120 : 유입부 130 : 배출부
140 : 가이드핀공 210 : 구동기어
220 : 종동기어 230 : 사이드 플레이트
240 : E형 실 300 : 후부 커버
310 : 유입구 320 : 배출구
330,420 : 축수용홈 350,410 :실링홈
400 : 전부 커버 500 : 완충부
510 : 유입 연결공 520 : 배출 연결공
530 : 완충 연결공 540 : 포펫

Claims (8)

  1. 내부에 구동기어 및 종동기어가 수용되는 기어 수용부가 형성되는 몸체와,
    상기 몸체의 일측에 연결되는 전부 커버와,
    상기 몸체의 타측에 연결되는 후부 커버와,
    상기 기어 수용부의 일측에 상기 후부 커버의 유입구와 연통되도록 형성되는 유입부와,
    상기 기어 수용부의 타측에 상기 후부 커버의 배출구와 연통되도록 형성되는 배출부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 극저온 유체 펌프.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 구동기어 및 종동기어는 극저온에서 치수 안정성을 가지는 합성수지로 이루어지는 것을 특징으로 하는 극저온 유체 펌프.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 전부 커버와 후부 커버는 상기 몸체와 접하는 면의 가장자리에 실링홈이 형성되고,
    상기 실링홈에는 패킹이 삽입되는 것을 특징으로 하는 극저온 유체 펌프.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기어 수용부의 양측에는 기어 수용부의 내경과 동일한 외경을 가지는 사이드 플레이트가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 극저온 유체 펌프.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 사이드 플레이트의 외측에는 사이드 플레이트를 종동기어 및 구동기어 방향으로 가압하면서 유입부와 배출부를 차단하기 위한 E형 씰이 더 구비되는 것을 특징으로 하는 극저온 유체 펌프.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 구동기어가 설치되는 구동축이 상기 전부 커버를 관통하여 돌출되고,
    상기 구동축의 단부에는 열전도율이 낮은 재질의 합성수지로 이루어지는 커플러가 구비되는 것을 특징으로 하는 극저온 유체 펌프.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 전부 커버에는 서지 압력이 발생할 경우 배출부의 냉매를 유입부로 이동시켜 서지 압력을 해소하는 완충부가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 극저온 유체 펌프.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 완충부는 상기 유입부와 연통되는 유입 연결공과,
    상기 배출부와 연통되는 배출 연결공과,
    상기 유입 연결공과 배출 연결공을 연결하는 완충 연결공과,
    상기 완충 연결공과 유입 연결공이 접하는 부분에 슬라이딩 가능하도록 구비되는 포펫과,
    상기 완충 연결공에 형성되어 상기 포펫의 전단을 지지하는 걸림턱과,
    상기 걸림턱 방향으로 상기 포펫을 탄성지지하는 스프링으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 극저온 유체 펌프.
KR1020200048752A 2020-04-22 2020-04-22 극저온 유체 펌프 KR102408397B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200048752A KR102408397B1 (ko) 2020-04-22 2020-04-22 극저온 유체 펌프

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020200048752A KR102408397B1 (ko) 2020-04-22 2020-04-22 극저온 유체 펌프

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20210130481A true KR20210130481A (ko) 2021-11-01
KR102408397B1 KR102408397B1 (ko) 2022-06-14

Family

ID=78519237

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020200048752A KR102408397B1 (ko) 2020-04-22 2020-04-22 극저온 유체 펌프

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102408397B1 (ko)

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06218828A (ja) * 1993-01-28 1994-08-09 Toyobo Co Ltd 極低温繊維強化プラスチック材
JPH11294347A (ja) * 1998-04-09 1999-10-26 Jidosha Kiki Co Ltd 可変容量形ベーンポンプ
JP2000027771A (ja) * 1998-05-08 2000-01-25 Koyo Seiko Co Ltd ギヤポンプ
JP2001329965A (ja) * 2000-05-18 2001-11-30 Sumitomo Heavy Ind Ltd 低温流体用回転式ポンプ
KR200265247Y1 (ko) * 2001-11-13 2002-02-21 최정동 릴리프 회로를 내장한 기어펌프장치
KR101715677B1 (ko) 2015-09-17 2017-03-15 (유)한독엘리베이터 유압기어펌프

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06218828A (ja) * 1993-01-28 1994-08-09 Toyobo Co Ltd 極低温繊維強化プラスチック材
JPH11294347A (ja) * 1998-04-09 1999-10-26 Jidosha Kiki Co Ltd 可変容量形ベーンポンプ
JP2000027771A (ja) * 1998-05-08 2000-01-25 Koyo Seiko Co Ltd ギヤポンプ
JP2001329965A (ja) * 2000-05-18 2001-11-30 Sumitomo Heavy Ind Ltd 低温流体用回転式ポンプ
KR200265247Y1 (ko) * 2001-11-13 2002-02-21 최정동 릴리프 회로를 내장한 기어펌프장치
KR101715677B1 (ko) 2015-09-17 2017-03-15 (유)한독엘리베이터 유압기어펌프

Also Published As

Publication number Publication date
KR102408397B1 (ko) 2022-06-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9222475B2 (en) Scroll compressor with back pressure discharge
KR100810407B1 (ko) 회전식 팽창기
US9322405B2 (en) Rotary compressor with vapor injection system
TWI564484B (zh) Pump
US3216362A (en) Flexible ring pump drive device
KR102408397B1 (ko) 극저온 유체 펌프
US4413955A (en) Swash plate compressor
JPH09133220A (ja) メカニカルシール
US4281974A (en) Seal mechanism in gear pumps or motors
JP4080818B2 (ja) ベーン式液圧モータ
KR101593928B1 (ko) 진공오일 사용 회전식 진공펌프
JP4676510B2 (ja) 強腐食性液用ロータリジョイント
KR20130048334A (ko) 엔진 오일용 기계식 다단 가변 베인 펌프
JP3140882B2 (ja) 多段キャンドモータポンプのポンプ段部間シール構造
KR102388972B1 (ko) 다중 포트 밸브 장치
JP2005140035A (ja) 液圧機械
JP2019196721A (ja) ウォータポンプ
CN215633578U (zh) 微型双联柱塞泵泵体
WO2023190048A1 (ja) スクリュー圧縮機、および冷凍装置
CN213017713U (zh) 一种单端面机械密封结构
CN217152986U (zh) 一种动环及具有该动环的机械密封
KR101925793B1 (ko) 순환 유로가 형성된 로터리 베인 모터
KR102359990B1 (ko) 펌프용 유압 실링장치
JP2000314383A (ja) スクロール流体機械
JP2009019519A (ja) 流体圧縮機

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant