JP2001329965A - 低温流体用回転式ポンプ - Google Patents
低温流体用回転式ポンプInfo
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- JP2001329965A JP2001329965A JP2000146494A JP2000146494A JP2001329965A JP 2001329965 A JP2001329965 A JP 2001329965A JP 2000146494 A JP2000146494 A JP 2000146494A JP 2000146494 A JP2000146494 A JP 2000146494A JP 2001329965 A JP2001329965 A JP 2001329965A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- rotary pump
- temperature fluid
- pump
- main shaft
- heat insulating
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Details And Applications Of Rotary Liquid Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 低温流体の温度上昇を抑制し、効率よく搬送
できる低温流体用回転式ポンプを提供すること。 【解決手段】 モータ１とギヤポンプ等の回転式ポンプ
２を断熱部材１９を介して連設し、回転式ポンプの主軸
７を、断熱部材１９で包被したこと、さらに、回転式ポ
ンプ２と回転式ポンプの主軸７を包被している断熱部材
１９を断熱材１８で包被したことを特徴とする。
できる低温流体用回転式ポンプを提供すること。 【解決手段】 モータ１とギヤポンプ等の回転式ポンプ
２を断熱部材１９を介して連設し、回転式ポンプの主軸
７を、断熱部材１９で包被したこと、さらに、回転式ポ
ンプ２と回転式ポンプの主軸７を包被している断熱部材
１９を断熱材１８で包被したことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フロン代替物質で
あるパーフルオロポリエーテル、フッ素系不活性液体等
の低温流体搬送用のギヤポンプ等の回転式ポンプに関す
る。さらに詳しくは軸継手としてマグネットカップリン
グを使用した低温流体搬送用回転式ポンプに関する。
あるパーフルオロポリエーテル、フッ素系不活性液体等
の低温流体搬送用のギヤポンプ等の回転式ポンプに関す
る。さらに詳しくは軸継手としてマグネットカップリン
グを使用した低温流体搬送用回転式ポンプに関する。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエハの電気特性検査は低温に冷
却した状態で行なわれるため、ウエハ載置台の冷却流体
として、また、冷蔵庫や冷凍ショーケース用の冷却流体
としてフッ素系不活性液体例えばフロリナート（商品
名）とか、パーフルオロポリエーテルからなる商品名ガ
ルデン等がフロン代替低温流体として使用されており、
該流体の搬送にギヤポンプ等の回転式ポンプが使用され
ている。
却した状態で行なわれるため、ウエハ載置台の冷却流体
として、また、冷蔵庫や冷凍ショーケース用の冷却流体
としてフッ素系不活性液体例えばフロリナート（商品
名）とか、パーフルオロポリエーテルからなる商品名ガ
ルデン等がフロン代替低温流体として使用されており、
該流体の搬送にギヤポンプ等の回転式ポンプが使用され
ている。
【０００３】図２〜図４に従来から使用されている低温
流体用ギヤポンプを示す。図２は一部切欠正面図、図３
は図２におけるＡ−Ａ矢視拡大断面図、図４は図２にお
けるＢ−Ｂ矢視拡大断面図である。低温流体用ギヤポン
プは、大別してモータ１、ギヤポンプ２、両者の軸継手
となるマグネットカップリング３から構成されている。
流体用ギヤポンプを示す。図２は一部切欠正面図、図３
は図２におけるＡ−Ａ矢視拡大断面図、図４は図２にお
けるＢ−Ｂ矢視拡大断面図である。低温流体用ギヤポン
プは、大別してモータ１、ギヤポンプ２、両者の軸継手
となるマグネットカップリング３から構成されている。
【０００４】マグネットカップリング３はモータ軸４に
ボルト等により固着されている鉄系金属からなる駆動側
磁石保持器５、該保持器５の内周に等間隔に複数個配設
されている駆動磁石６、６、・・、ギヤポンプ２の主軸
７の一端に固着されている従動磁石８、駆動磁石６と従
動磁石間に配設されているステンレス鋼或いはＦＲＰ製
シールケース９から構成されており、前記従動磁石８は
図４に示すように駆動磁石６、６、・・と対向してＮ・
Ｓ対極となるように配設されている。
ボルト等により固着されている鉄系金属からなる駆動側
磁石保持器５、該保持器５の内周に等間隔に複数個配設
されている駆動磁石６、６、・・、ギヤポンプ２の主軸
７の一端に固着されている従動磁石８、駆動磁石６と従
動磁石間に配設されているステンレス鋼或いはＦＲＰ製
シールケース９から構成されており、前記従動磁石８は
図４に示すように駆動磁石６、６、・・と対向してＮ・
Ｓ対極となるように配設されている。
【０００５】１０はモータ１のケーシング１１の端面に
ボルト付けされているギヤポンプ取付け部材で、ギヤポ
ンプ２の主軸７がすべり軸受１２を介して該取付け部材
１０に軸支されており、主軸７の従動磁石８取付け位置
と反対側にギヤポンプ２の駆動ギヤ１３が装着されてい
る。１３’はギヤポンプ２の従動ギヤである。１４はギ
ヤポンプのエンドプレートで前記駆動ギヤの主軸７の先
端部をすべり軸受１２を介して軸支している。１５はシ
ールリング、１６は低温流体管路でギヤポンプ２の入口
及び出口に連通されている。
ボルト付けされているギヤポンプ取付け部材で、ギヤポ
ンプ２の主軸７がすべり軸受１２を介して該取付け部材
１０に軸支されており、主軸７の従動磁石８取付け位置
と反対側にギヤポンプ２の駆動ギヤ１３が装着されてい
る。１３’はギヤポンプ２の従動ギヤである。１４はギ
ヤポンプのエンドプレートで前記駆動ギヤの主軸７の先
端部をすべり軸受１２を介して軸支している。１５はシ
ールリング、１６は低温流体管路でギヤポンプ２の入口
及び出口に連通されている。
【０００６】マグネットカップリングを使用したギヤポ
ンプは、磁石の磁力により駆動力を伝達でき、駆動部と
ポンプ部との軸継手部分に運動用の軸シール部を不要と
し、密封性の高い静止用のシール部材のみ使用し完全に
密封するためギヤポンプ２内の低温流体の漏出、また
は、外部からの汚染物質の侵入を防止できる。しかしな
がら、従来のマグネットカップリングを使用したギヤポ
ンプは、ギヤポンプの主軸７が短いために駆動ギヤ１３
及び従動ギヤ１３’とマグネットカップリング３の従動
磁石８とが近接しており、さらに、主軸７を支承してい
る取付け部材１０が断熱構造となっていないため以下の
問題点があった。
ンプは、磁石の磁力により駆動力を伝達でき、駆動部と
ポンプ部との軸継手部分に運動用の軸シール部を不要と
し、密封性の高い静止用のシール部材のみ使用し完全に
密封するためギヤポンプ２内の低温流体の漏出、また
は、外部からの汚染物質の侵入を防止できる。しかしな
がら、従来のマグネットカップリングを使用したギヤポ
ンプは、ギヤポンプの主軸７が短いために駆動ギヤ１３
及び従動ギヤ１３’とマグネットカップリング３の従動
磁石８とが近接しており、さらに、主軸７を支承してい
る取付け部材１０が断熱構造となっていないため以下の
問題点があった。
【０００７】(1) 駆動ギヤ１３の主軸７が室温部と直
接隣接しているために熱が低温流体に伝わりやすく低温
流体の温度を上昇させてしまう。 (2) 主軸７とすべり軸受１２の隙間から漏洩したギヤ
ポンプ２からの低温流体が、従動磁石８とシールケース
９との隙間に入りこみ従動磁石８が回転するときの摩擦
損失が増加する。 (3) シールケース９全体が冷却されるためシールケー
ス９を包被している駆動磁石６とシールケース９の間に
霜が付着し、駆動磁石６の回転抵抗となる。 (4) モータ軸４及び、モータまでが冷却されモータ１
内に空気中の水分が結露するおそれがある。
接隣接しているために熱が低温流体に伝わりやすく低温
流体の温度を上昇させてしまう。 (2) 主軸７とすべり軸受１２の隙間から漏洩したギヤ
ポンプ２からの低温流体が、従動磁石８とシールケース
９との隙間に入りこみ従動磁石８が回転するときの摩擦
損失が増加する。 (3) シールケース９全体が冷却されるためシールケー
ス９を包被している駆動磁石６とシールケース９の間に
霜が付着し、駆動磁石６の回転抵抗となる。 (4) モータ軸４及び、モータまでが冷却されモータ１
内に空気中の水分が結露するおそれがある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の問題点を改
善し、低温流体の温度上昇を抑制するとともに、マグネ
ットカップリング及びモータが冷却されるのを防止し、
低温流体を効率よく搬送できる低温流体用回転式ポンプ
を提供することを目的とする。
善し、低温流体の温度上昇を抑制するとともに、マグネ
ットカップリング及びモータが冷却されるのを防止し、
低温流体を効率よく搬送できる低温流体用回転式ポンプ
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】モータの動力をカップリ
ングを介して回転式ポンプに動力伝達する低温流体用回
転式ポンプにおいて、モータと回転式ポンプを断熱部材
を介して連設し、前記回転式ポンプの主軸を、前記断熱
部材で包被したことを特徴とする。また、回転式ポンプ
及び回転式ポンプの主軸を包被している断熱部材をさら
に断熱材で包被したことを特徴とする。
ングを介して回転式ポンプに動力伝達する低温流体用回
転式ポンプにおいて、モータと回転式ポンプを断熱部材
を介して連設し、前記回転式ポンプの主軸を、前記断熱
部材で包被したことを特徴とする。また、回転式ポンプ
及び回転式ポンプの主軸を包被している断熱部材をさら
に断熱材で包被したことを特徴とする。
【００１０】
【発明の実施の形態】本発明にかかる低温流体用回転式
ポンプの実施の形態を図１を参照して説明する。図１は
上記低温流体用回転式ポンプの一部切欠正面図である。
なお、説明の都合上、図２〜図４に示す従来装置と同一
部品には同一符号を付して説明する。本発明にかかる低
温流体用回転ポンプにおけるモータ１とギヤポンプ２及
びマグネットカップリング３は図２〜図４に示す従来の
ものと同一構造をしている。
ポンプの実施の形態を図１を参照して説明する。図１は
上記低温流体用回転式ポンプの一部切欠正面図である。
なお、説明の都合上、図２〜図４に示す従来装置と同一
部品には同一符号を付して説明する。本発明にかかる低
温流体用回転ポンプにおけるモータ１とギヤポンプ２及
びマグネットカップリング３は図２〜図４に示す従来の
ものと同一構造をしている。
【００１１】従来のものと相違するところは、マグネッ
トカップリング３の従動磁石８とギヤポンプ２の駆動ギ
ヤ１３をそれぞれ装着している主軸７を延伸させたこと
と、該主軸７及び、ギヤポンプ２を断熱部材で包被した
ことである。以下詳述する。
トカップリング３の従動磁石８とギヤポンプ２の駆動ギ
ヤ１３をそれぞれ装着している主軸７を延伸させたこと
と、該主軸７及び、ギヤポンプ２を断熱部材で包被した
ことである。以下詳述する。
【００１２】本発明ではギヤポンプの主軸７を延伸させ
た関係で、モータケーシング１１にボルト付けされてい
るシールケース９のフランジ部９1に断熱部材を構成す
るステンレス鋼或いはＦＲＰ製の断熱管１９の一端フラ
ンジ部１９1がボルト付けされており、該断熱管１９の
他端フランジ部１９2にギヤポンプ取付け部材１０がボ
ルト付けされている。
た関係で、モータケーシング１１にボルト付けされてい
るシールケース９のフランジ部９1に断熱部材を構成す
るステンレス鋼或いはＦＲＰ製の断熱管１９の一端フラ
ンジ部１９1がボルト付けされており、該断熱管１９の
他端フランジ部１９2にギヤポンプ取付け部材１０がボ
ルト付けされている。
【００１３】また、断熱管１９内には主軸７の貫通孔を
有する円柱状断熱材１７が装入されている。そして、主
軸７は前記断熱管１９に装着されているすべり軸受１２
1とギヤポンプ取付け部材１０に装着のすべり軸受１２2
及び、ギヤポンプエンドプレート１４に装着のすべり軸
受１２3により軸支されている。
有する円柱状断熱材１７が装入されている。そして、主
軸７は前記断熱管１９に装着されているすべり軸受１２
1とギヤポンプ取付け部材１０に装着のすべり軸受１２2
及び、ギヤポンプエンドプレート１４に装着のすべり軸
受１２3により軸支されている。
【００１４】２０はギヤポンプ本体及びエンドプレート
１４を包被しているシールキャップで、該シールキャッ
プ２０の開口端部はシールリング２１を介して前記取付
け部材１０に装着されている。本発明ではさらに、前記
主軸７の断熱部材である断熱管１９とギヤポンプ２全体
を断熱材１８でさらに包被した構造としている。
１４を包被しているシールキャップで、該シールキャッ
プ２０の開口端部はシールリング２１を介して前記取付
け部材１０に装着されている。本発明ではさらに、前記
主軸７の断熱部材である断熱管１９とギヤポンプ２全体
を断熱材１８でさらに包被した構造としている。
【００１５】上記断熱材１７、１８の材料として発泡ウ
レタン、発泡スチロール、発泡ネオプレン（登録商標）
ゴム発泡シリコンゴム、コルク、綿が使用される。な
お、本発明におけるギヤポンプ２及び、マグネットカッ
プリング３の構造は前記図２〜図３に示す従来装置と同
一なので説明を省略する。
レタン、発泡スチロール、発泡ネオプレン（登録商標）
ゴム発泡シリコンゴム、コルク、綿が使用される。な
お、本発明におけるギヤポンプ２及び、マグネットカッ
プリング３の構造は前記図２〜図３に示す従来装置と同
一なので説明を省略する。
【００１６】また、上記説明では回転式ポンプとしてギ
ヤポンプを例示したがギヤポンプに代えて２葉又は３葉
回転ポンプ、ベーンポンプ、ねじポンプ等を使用するこ
とは任意であり、軸継手としてマグネットカップリング
に代えてＦＲＰ等熱伝導率の低い材料及び断熱材を使用
して、モータ軸とポンプ主軸の伝熱を抑制する通常タイ
プのカップリングを使用することは任意である。
ヤポンプを例示したがギヤポンプに代えて２葉又は３葉
回転ポンプ、ベーンポンプ、ねじポンプ等を使用するこ
とは任意であり、軸継手としてマグネットカップリング
に代えてＦＲＰ等熱伝導率の低い材料及び断熱材を使用
して、モータ軸とポンプ主軸の伝熱を抑制する通常タイ
プのカップリングを使用することは任意である。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、回転式ポンプの主軸７
を延伸させ、該主軸７及び回転式ポンプを断熱材で包被
したことにより室温部から回転式ポンプひいては回転式
ポンプで搬送される低温流体への伝熱を低減できるので
冷却効率を向上できる。また、回転式ポンプの取付け部
材１０が従来のようにモータケーシング１１及びマグネ
ットカップリング３に近接して装着されていないのでモ
ータ１及びマグネットカップリング３を冷却することが
ない。
を延伸させ、該主軸７及び回転式ポンプを断熱材で包被
したことにより室温部から回転式ポンプひいては回転式
ポンプで搬送される低温流体への伝熱を低減できるので
冷却効率を向上できる。また、回転式ポンプの取付け部
材１０が従来のようにモータケーシング１１及びマグネ
ットカップリング３に近接して装着されていないのでモ
ータ１及びマグネットカップリング３を冷却することが
ない。
【００１８】したがって、駆動磁石６とシールケース９
との間に霜が付着しない。また、シールケース９と従動
磁石の隙間に例え低温流体が漏洩したとしても、低温流
体が室温に上昇され粘度が降下し、従動磁石８の回転時
の摩擦損失の増大を防止する。さらに、モータ内に結露
するおそれがない等の効果を奏する。
との間に霜が付着しない。また、シールケース９と従動
磁石の隙間に例え低温流体が漏洩したとしても、低温流
体が室温に上昇され粘度が降下し、従動磁石８の回転時
の摩擦損失の増大を防止する。さらに、モータ内に結露
するおそれがない等の効果を奏する。
【図１】本発明にかかる低温流体用回転式ポンプの一部
切欠正面図。
切欠正面図。
【図２】従来から公知の低温流体用回転式ポンプの一部
切欠正面図。
切欠正面図。
【図３】図２のＡ−Ａ矢視拡大断面図。
【図４】図２のＢ−Ｂ矢視拡大断面図。
１ モータ １３ 駆
動歯車 ２ 回転式ポンプ（ギヤポンプ等） １３’ 従
動歯車 ３ マグネットカップリング １４ ポ
ンプエンドプレート ４ モータ軸 １５ シ
ールリング ５ 駆動側磁石保持器 １６ 低
温流体管路 ６ 駆動磁石 １７ 断
熱材 ７ ポンプ主軸 １８ 断
熱材 ８ 従動磁石 １９ 断
熱管 ９ シールケース １９1、１
９2 フランジ １０ ポンプ取付け部材 ２０
シールキャップ １１ モータケーシング ２１
シールリング １２（１２1、１２2、１２3） すべり軸受
動歯車 ２ 回転式ポンプ（ギヤポンプ等） １３’ 従
動歯車 ３ マグネットカップリング １４ ポ
ンプエンドプレート ４ モータ軸 １５ シ
ールリング ５ 駆動側磁石保持器 １６ 低
温流体管路 ６ 駆動磁石 １７ 断
熱材 ７ ポンプ主軸 １８ 断
熱材 ８ 従動磁石 １９ 断
熱管 ９ シールケース １９1、１
９2 フランジ １０ ポンプ取付け部材 ２０
シールキャップ １１ モータケーシング ２１
シールリング １２（１２1、１２2、１２3） すべり軸受
Claims (2)
- 【請求項１】モータの動力をカップリングを介して回転
式ポンプに動力伝達する低温流体用回転式ポンプにおい
て、モータと回転式ポンプを断熱部材を介して連設し、
前記回転式ポンプの主軸を、前記断熱部材で包被してい
ることを特徴とする低温流体用回転式ポンプ。 - 【請求項２】回転式ポンプ及び回転式ポンプの主軸を包
被している断熱部材を断熱材で包被していることを特徴
とする請求項１記載の低温流体用回転式ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000146494A JP2001329965A (ja) | 2000-05-18 | 2000-05-18 | 低温流体用回転式ポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000146494A JP2001329965A (ja) | 2000-05-18 | 2000-05-18 | 低温流体用回転式ポンプ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001329965A true JP2001329965A (ja) | 2001-11-30 |
Family
ID=18652841
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000146494A Pending JP2001329965A (ja) | 2000-05-18 | 2000-05-18 | 低温流体用回転式ポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001329965A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210130481A (ko) * | 2020-04-22 | 2021-11-01 | 김범열 | 극저온 유체 펌프 |
-
2000
- 2000-05-18 JP JP2000146494A patent/JP2001329965A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20210130481A (ko) * | 2020-04-22 | 2021-11-01 | 김범열 | 극저온 유체 펌프 |
| KR102408397B1 (ko) * | 2020-04-22 | 2022-06-14 | (주)동일산업 | 극저온 유체 펌프 |
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