JP5687049B2 - 搬送装置及び真空処理装置 - Google Patents
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- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 33
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 claims description 30
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 29
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 20
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 14
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 claims description 11
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 8
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 35
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 17
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 7
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 6
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000009351 contact transmission Effects 0.000 description 2
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 2
- 230000005347 demagnetization Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000005057 refrigeration Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Description
前記冷媒の前記連通路内の流通によって、前記螺旋状磁石および前記オイルシールが冷却されることを特徴とする。また、本発明に係る真空処理装置は、上述の搬送装置によって、基板を保持したキャリアを所定の真空処理が行われるチャンバに搬送することを特徴とする。
LC ロードロックチャンバ
UL アンロードロックチャンバ
PC,PC1,PC2,PC3 処理チャンバ
GV ゲートバルブ
T 搬送装置
Gr 潤滑剤
a 摺接部分
4 基板
5 キャリア
5a キャリア側磁石部5a(永久磁石)
9 磁気ネジ駆動機構(駆動部)
11 螺旋状磁石軸
11a 螺旋状磁石
13 駆動軸
15 自重受け用ベアリング
17 ハウジング
18 連通路
19 カラー
20 オイルシール
21,22 傘歯車
23 ケース
25 隙間
24 ベアリング
23a,26 Oリング
31 導入口
32 排出口
101 磁気ネジ駆動機構
102 傘歯車機構
103 動力伝達部
105 オイルシール
Claims (3)
- 基板を保持してチャンバ内を移動できるキャリアと、前記キャリアに設けられた永久磁石と、前記チャンバに設けられ、前記永久磁石と磁気結合を形成する螺旋状磁石と、前記螺旋状磁石を回転する駆動部とを備える搬送装置であって、
前記駆動部は、
前記螺旋状磁石を有する螺旋状磁石軸と、
前記螺旋状磁石軸に回転力を伝達する駆動軸と、
前記螺旋状磁石軸及び前記駆動軸を回転可能に支持するハウジングと、
前記螺旋状磁石軸が内側に配置されるとともに内側の空間が前記チャンバ内の雰囲気と隔てられている管状のケースと、
前記螺旋状磁石の外周面と前記ケースの内周面との隙間に冷媒を導入する冷却部と、
前記駆動軸若しくは前記螺旋状磁石軸の表面に摺接するように前記ハウジングに取り付けられ、潤滑材を前記ハウジング内に封止するオイルシールと、
前記ハウジング内に形成され、一端で前記隙間と気密に連通している連通路と、を備え、
前記隙間は大気雰囲気に保持されるとともに、前記連通路の他端は前記チャンバの外側の大気雰囲気に接続されており、
前記隙間に導入された冷媒は、前記連通路内を一端から他端に向かって流通した後に前記チャンバの外側に排出され、
前記冷媒の前記連通路内の流通によって、前記螺旋状磁石および前記オイルシールが冷却されることを特徴とする搬送装置。 - 基板を保持してチャンバ内を移動できるキャリアと、前記キャリアに設けられた永久磁石と、前記チャンバに設けられ、前記永久磁石と磁気結合を形成する螺旋状磁石と、前記螺旋状磁石を回転する駆動部とを備える搬送装置であって、
前記駆動部は、
前記螺旋状磁石を有する螺旋状磁石軸と、
前記螺旋状磁石軸に回転力を伝達する駆動軸と、
前記螺旋状磁石軸及び前記駆動軸を回転可能に支持するハウジングと、
前記螺旋状磁石軸が内側に配置されるとともに内側の空間が前記チャンバ内の雰囲気と隔てられている管状のケースと、
前記駆動軸若しくは前記螺旋状磁石軸を内側に挿通した状態で、前記駆動軸若しくは前記螺旋状磁石軸に取り付けられた円筒状のカラーと、
前記カラーの外周の表面に摺接するように前記ハウジングに取り付けられ、潤滑材を前記ハウジング内に封止するオイルシールと、
前記ハウジング内に形成され、一端で前記隙間と気密に連通している連通路とを備え、
前記隙間は大気雰囲気に保持されるとともに、前記連通路の他端は前記チャンバの外側の大気雰囲気に接続されており、
前記隙間に導入された冷媒は、前記連通路内を一端から他端に向かって流通した後に前記チャンバの外側に排出され、
前記冷媒の前記連通路内の流通によって、前記螺旋状磁石および前記オイルシールが冷却されることを特徴とする搬送装置。 - 請求項1または2に記載された搬送装置によって、基板を保持した前記キャリアが所定の真空処理が行われるチャンバに搬送されることを特徴とする真空処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010289266A JP5687049B2 (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | 搬送装置及び真空処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010289266A JP5687049B2 (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | 搬送装置及び真空処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012136320A JP2012136320A (ja) | 2012-07-19 |
JP5687049B2 true JP5687049B2 (ja) | 2015-03-18 |
Family
ID=46674096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010289266A Active JP5687049B2 (ja) | 2010-12-27 | 2010-12-27 | 搬送装置及び真空処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5687049B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10611581B2 (en) * | 2016-07-11 | 2020-04-07 | Azbil Corporation | Transfer apparatus |
FR3083532B1 (fr) * | 2018-07-03 | 2021-10-22 | Prodel Tech | Dispositif de transfert perfectionne |
CN112722856A (zh) * | 2019-09-25 | 2021-04-30 | 石狮市玛旭贸易有限公司 | 一种真空管道交通运输系统及方法 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH02198920A (ja) * | 1989-01-28 | 1990-08-07 | Sukegawa Electric Co Ltd | 磁気浮上形真空内搬送装置 |
JP3456307B2 (ja) * | 1995-06-30 | 2003-10-14 | 株式会社ニコン | 磁気浮上型ステージ |
JP2000344477A (ja) * | 1999-06-02 | 2000-12-12 | Ebara Corp | 水圧駆動式昇降割出装置 |
JP2001149812A (ja) * | 1999-11-30 | 2001-06-05 | Shinkawa Denki Kk | 磁性金属切粉の回収装置 |
JP2002068476A (ja) * | 2000-08-29 | 2002-03-08 | Anelva Corp | 磁気搬送装置 |
JP2007162721A (ja) * | 2005-12-09 | 2007-06-28 | Toyota Motor Corp | アクチュエータ |
JP2008297092A (ja) * | 2007-06-01 | 2008-12-11 | Canon Anelva Corp | 磁気搬送システムおよび磁気搬送方法 |
CN102421932B (zh) * | 2009-05-15 | 2014-02-19 | 国立大学法人东北大学 | 旋转磁铁溅镀装置 |
-
2010
- 2010-12-27 JP JP2010289266A patent/JP5687049B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012136320A (ja) | 2012-07-19 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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