TWI564484B - Pump - Google Patents

Description

泵

本發明係關於一種正排量乾式泵，用於此一泵之一沖洗系統及用於沖洗一正排量乾式泵之一方法。

諸如魯式(roots)、爪式或旋轉葉輪泵之正排量泵可包括複數個真空泵送級，其具有各別泵送機構，該等泵送機構係由一個或多個驅動軸桿而驅動。該等驅動軸桿自身係可由各別之馬達或更通常而言一軸桿係可由一馬達驅動，而一第二驅動軸桿係藉由一齒輪配置而連接至該第一驅動軸桿。一般而言，該等驅動軸桿藉由被容置於該泵之該高真空側及低真空側處之潤滑腔室中之軸承配置經支撐用於旋轉。

該等驅動軸桿延伸穿過該等潤滑腔室中之端板中之若干開口且該等軸桿與該等端板之間之空間係由若干軸桿密封件而密封。儘管該等軸桿密封件大致上相當有效，仍會取決於該等端板之各側上的相對壓力而發生流體通過該等開口的洩漏。當泵送某些氣體時，需要阻止該等氣體通過進入至該等潤滑腔室中，其使潤滑劑劣化且可損壞該泵之組件。已知使用沖洗氣體來防止經泵送之氣體進入該等潤滑腔室中且此方法一般採用於該低真空潤滑腔室。然而，將沖洗氣體引入該泵之該高真空側可限制該泵於該泵入口處產生高真空壓力之能力。

本發明尋求提供一種改良之配置。

在本發明之一第一態樣中，本發明提供一種正排量乾式泵，其包括：複數個真空泵送級，其包括各別之複數個泵送機構，該等泵送機構係由一個或多個驅動軸桿而驅動，用於將流體自該高真空級處之一泵入口連續地泵送通過該等泵送級而到達該低真空級處之一泵出口；一潤滑腔室，其容置一軸承總成，以支撐該驅動軸桿用於旋轉運動，該驅動軸桿自該高真空級通過該潤滑腔室之一端板之一開口而延伸至該該潤滑腔室；一級間沖洗埠，氣體可通過該沖洗埠而進入該高真空級之下游之一級間位置處之該泵且僅穿過該級間沖洗埠之下游之該或各個真空泵送級；一潤滑腔室沖洗埠，其係位於該潤滑腔室中，沖洗氣體可自一沖洗氣體源而流經該沖洗埠；其中該級間沖洗埠被連接至該潤滑腔室，以控制該潤滑腔室中之沖洗氣體之該壓力，從而阻止在該泵之使用期間，經泵送之氣體自該高真空腔室通過該端板之該開口而流動至該潤滑腔室。

將理解，在本發明之一第二態樣中，本發明於本文所大體描述之該沖洗配置可提供作為諸零件之一套件，以用於修改配合至現有之泵之沖洗系統。

在一進一步態樣中，本發明亦提供一種沖洗一正排量乾式泵之方法，該泵包括：複數個真空泵送級，該等泵送級包括各別之複數個泵送機構，該等泵送機構係由一個或多個驅動軸桿而驅動，用於將流體自該高真空級處之一泵入口連續地泵送通過該等泵送級而到達一低真空級；及一潤 滑腔室，其容置一軸承總成，以支撐該驅動軸桿用於旋轉運動，該驅動軸桿自該高真空級通過該潤滑腔室之一端板之一開口而延伸至該潤滑腔室；其中該方法包括：將沖洗氣體自一沖洗氣體源運送至該潤滑腔室；藉由將該潤滑腔室連接至該高真空級之下游之一級間沖洗埠而控制該潤滑腔室中之該壓力，該級間沖洗埠在使用中處於比該高真空級更高之一壓力下，使得該潤滑腔室中之該壓力阻止經泵送之氣體自該高真空級通過該端板之該開口而流動至該潤滑腔室。

附加之技術方案中界定本發明之其他較佳及/或選擇性態樣。

為了更好讓讀者更好地瞭解本發明，現將參考該等附圖而僅以舉例之方式描述本發明之若干實施例。

參考圖1，其顯示一沖洗系統，該沖洗系統包括一正排量乾式泵10，該乾式泵10為一魯式類型泵，但或者可為例如一爪式或螺桿泵。該泵10包括複數個真空泵送級12、14、16、18，其包括各別之複數個泵送機構20、22、24、26。儘管圖中顯示四個泵送級，根據要求(諸如該入口處所需之壓力及泵送容量)可選擇級之數目。在如圖1所示之一魯式類型泵中，該等泵送機構之該等轉子係由兩個驅動軸桿28、30而驅動，但在其他泵中，可能需要較少或較多之軸桿。該等泵送機構係由該等驅動軸桿所驅動，以將流體自處於一高真空級12處之一泵入口31連續地泵送通過該等泵送級而到達一低真空級16處之一泵出口33。

潤滑腔室32、34係位於該泵送級串之相對軸向端處且係藉由端板36、38而與各別鄰接之泵送級12、18分離。在此實例中，潤滑腔室32容置具有軸承40、42之一軸承總成及一齒輪總成44。位於一馬達腔室48中之一馬達46驅動由軸承40所支撐之該第一軸桿28且該齒輪總成44驅動該第二軸桿30。潤滑腔室34容置具有軸承50、52之一軸承總成，以支撐各別驅動軸桿28、30。該齒輪總成44係可替代地容置於潤滑腔室34中。潤滑劑54(諸如油)被提供於該等潤滑腔室之油盤中且一投擲臂(圖中未顯示)係可附接至該等軸桿中之一者，以使潤滑劑在該殼體中循環，以潤滑該等腔室內之若干移動零件(軸承、齒輪、軸桿)。

該等驅動軸桿28、30自該等潤滑腔室32、34延伸穿過該等端板36、38中之開口。圖2顯示潤滑腔室34與高真空級12之間之端板38中之一開口56之一放大圖。

在圖2中，該驅動軸桿28延伸穿過該開口56。一軸桿密封配置密封於該軸桿與該端板38之間。在此實例中，該軸桿密封配置包括兩個唇狀密封件60，其係安裝於該等端板中之環狀凹部中且朝向該軸桿28延伸。由於該等軸桿密封件之製造公差及磨損，該等軸桿密封件無法完全密封於該端板38與軸桿28之間。將發生通過該開口56之一小量洩漏，該開口56在圖2中係由該等唇狀密封件60與該軸桿之間之一間隙而表示。為解釋之目的，在此實例中將該間隙予以放大。因此，當該潤滑腔室34與該高真空級12之間存在一壓力梯度時，則流體通過該開口56而洩漏至該潤滑腔室或該高真空級，如圖2中之箭頭所示。經泵送氣體及關聯之副產品自該高真空級12洩漏進入該潤滑腔室34可對該泵造成損壞，下文對此將予以更詳盡之描述。

通常使用被運送進入至一泵之該拂掠容積或高壓力軸桿密封件中之非反應性氣體沖洗劑(通常係氮)來使得流經該泵之處理氣體之影響最小化。氣體沖洗劑通常僅用於該泵之該等低真空級處，此係因為該處理氣體於該位置處腐蝕或凝結最為嚴重。在該等高真空級處使用一氣體沖洗劑通常不必要且可能損害該泵到達極低壓力之能力。

當泵送一處理腔室或工具(例如，在半導體、太陽能板或平板顯示器製造腔室中)時，一些經泵送處處理氣體可具有反應性且對若干組件(諸如該齒輪總成(若存在於該泵之該高真空側)或軸承總成)造成損害。例如，處理副產品甚至在低壓下凝結。若容許此等氣體在該低壓力齒輪總成或軸承總成內側凝結，則其可能與該潤滑劑組合，從而形成黏性糊狀物，該糊狀物塗佈該等總成之若干組件之表面。潤滑劑可能陷於該糊狀物中，其將降低該油盤中之潤滑劑之液面。最終該等泵組件將缺乏潤滑劑且該泵將受損壞。

該潤滑腔室34與該高真空級12之間之壓力梯度並非恆定。在圖1及圖2所示之該類型之一泵之典型操作期間，該泵首先被致動且降低該泵入口31處之該壓力。由於自該潤滑腔室34至該高真空級12之洩漏，該潤滑腔室之壓力亦被降低，使得該潤滑腔室與該高真空級大致上處於相同之壓力下。該泵維持該入口處之高真空，直到需要自一處理腔室泵送處理氣體。當該泵處於此條件下，將該泵表述成於「極限」下操作。

當將處理氣體自處理腔室釋放，則該高真空級中之該壓力被增加，從而產生一自該高真空級至該潤滑腔室的壓力梯度。此壓力梯度造成處理氣體流經開口56而進入潤滑腔室中且如上所示，隨著時間經過而對該泵之若干組件造成損害。

自一處理腔室而釋放之一處理氣體之量及組成物係根據所進行之特定處理活動且根據該處理活動中之步驟而變化。在此後一情形下，一第一步驟可涉及在一處理腔室中於第一壓力下處理且一第二步驟可例如涉及於一第二壓力下清潔該處理腔室。

在將處理氣體釋放進入該高真空級之後，該泵之持續操作造成該高真空級中之一壓力降低，之後該潤滑腔室中壓力降低，直到該壓力相等且處理氣體停止洩漏進入至該潤滑腔室中。然而，處理一般是循環的且下一步驟或處理將再次造成該高真空級中之壓力暫時增加且處理氣體再次傳遞進入至該潤滑腔室中。

圖1及圖2中所示之配置控制該潤滑腔室34中之壓力，以阻止經泵送之氣體自該高真空級通過至該潤滑腔室，從而減少對該泵之損壞且改良該泵之工作壽命及持有成本。

參考圖1，提供一級間沖洗埠62，氣體可自一沖洗氣體源64通過該沖洗埠62而進入一級間位置處之該泵且僅穿過位於該高真空級之下游之該或各個真空泵送級。關於此且根據壓力狀態，該級間沖洗埠係可位於任何位置，使得在使用期間，該級間沖洗埠處之該壓力高於該等開口56處之該高真空級之壓力。該級間沖洗埠係可位於該等真空級12、14、16、18中之任何者之間或位於該高真空級12之下游之該等真空級14、16、18中之任何者之間。

亦在該潤滑腔室中提供一沖洗埠66，沖洗氣體可自沖洗氣體源64流經該沖洗埠66。該級間沖洗埠62被連接至該潤滑腔室34，以控制該潤滑腔室中之沖洗氣體之該壓力，從而阻止在該泵10之使用期間經泵送之氣體自該高真空級12通過該端板38之該開口56而流動至該潤滑腔室34。

該級間沖洗埠62之位置係經選擇使得在使用中，該潤滑腔室34中之沖洗氣體之該壓力大致上高於該高真空腔室12中之經泵送氣體之該壓力，從而在該潤滑腔室與該高真空級之間提供一正壓力差。

在圖1所示之該實例中，該沖洗氣體源64具有一導管68，其被連接至導管70、72，該等導管70、72繼而分別被連接至該級間沖洗埠62及該潤滑腔室埠66。因此，該級間沖洗埠62係藉由導管70、72及沖洗埠66而連接至該潤滑腔室34。在該導管72中提供一限制件74，以降低流動至該潤滑腔室之沖洗氣體之傳導。該導管70包括一單向閥76，其係用於阻止經泵送氣體自該級間沖洗埠通過至該潤滑腔室。在操作期間，該級間沖洗埠62處之該壓力高於該高真空腔室中之該壓力，且因此，由於該級間沖洗埠被連接至 該潤滑腔室，該潤滑腔室中之該壓力高於該高真空級中之該壓力，從而產生一自該潤滑腔室至該高真空級的壓力梯度，此壓力梯度阻止該高真空級中之處理氣體洩漏至該潤滑腔室。該限制件74係經組態以減小到達該潤滑腔室之沖洗氣體之該傳導且因此該潤滑腔室中之該壓力將低於該級間沖洗埠處之壓力，但是高於該高真空級中之該壓力。

譬如，該高真空級中之該壓力可為10^-3毫巴(mbar)且該級間沖洗埠處之該壓力可為1mbar。該潤滑腔室中之該壓力可在10^-2mbar之範圍，從而阻止處理氣體流動進入該潤滑腔室中。

在操作中，當該潤滑腔室及高真空級處於大致上相同之壓力下且處理氣體被釋放進入該高真空級時，該高真空級中之壓力之增加造成該級間沖洗埠之下游處之壓力之一增加，該級間埠繼而被連通至該潤滑腔室，使得該潤滑腔室中之該壓力升高。此以方式，該級間沖洗埠沖洗處之壓力係回應於該高真空級中之經泵送氣體之壓力，因而該高真空級中之壓力之一變化造成該潤滑腔室中之沖洗氣體之壓力之一對應被動變化。當進入該高真空腔室中之經泵送氣體流增加時，則該潤滑腔室中之沖洗氣體之該壓力被增加，以阻止經泵送氣體自該高真空級通過該端板中之該開口而流動至該潤滑腔室。

參考圖1及圖2兩圖，該潤滑腔室沖洗埠66係可如圖所示位於該端板38中，因而沖洗氣體可流經若干軸桿密封件60而進入該端板中之該開口中。此配置增加該潤滑腔室中之 該壓力差，而不會不必要地影響該潤滑腔室中之其他組件且將沖洗氣體運送至所關注之精確位置。或者或額外地如圖1中以虛線所示，可在該潤滑腔室34之該殼體中提供一沖洗埠66'且經由導管72'而將該沖洗埠66'連接至該源64，從而該整個潤滑腔室中之壓力被升高，而非僅該端板38之該開口56中之壓力升高。

雖然本文所描述之本發明特別適用於阻止處理氣體通過該軸桿周圍之該端板之該開口而洩漏，視需要，可在該端板中提供其他之洩漏路徑，使得本發明亦適用於阻止沿該等洩漏路徑而洩漏。

圖3中顯示另一泵80，在圖3中，與圖1及圖2配置類似之特徵係以類似之參考數字顯示。本文對圖3配置之描述將聚焦於此配置與圖1及圖2中之該配置之間之差異。

在圖3中，該潤滑腔室34包括一第二沖洗埠82，其係藉由一導管84而連接至一級間沖洗埠86，因而沖洗氣體可自該潤滑腔室34流動至該級間沖洗埠。該第一沖洗埠66係藉由導管88而連接至該沖洗氣體源64。在導管84中提供一限制件90，以限制該導管之傳導。圖4更詳盡地顯示該第一及第二沖洗埠82、84之配置，該等沖洗埠將沖洗氣體運送進入且離開該潤滑腔室34之該端板38中之該開口56。該圖4配置係類似於該圖2配置。

在如虛線所示之該替代性配置中，該潤滑腔室34包括一位於該腔室殼體之該本體中之一第二沖洗埠82'，其係藉由一導管84'而連接至該級間沖洗埠86，以致沖洗氣體係可自 該潤滑腔室34而流動至該級間沖洗埠。一第二沖洗埠66'係藉由導管88'而連接至沖洗氣體源64。該限制件90被提供於導管84'中。

在操作中，且當在極限下操作時，自該沖洗氣體源64運送至該潤滑腔室34之沖洗氣體係藉由該級間埠86之下游之該等真空泵送級而泵送，在所示之該實例中該等真空泵送級包括泵送級16、18。因此，該級間埠86處之該壓力高於該高真空級12中之該壓力。儘管該潤滑腔室34係於該級間埠86處泵送，該限制件90減小可自該潤滑腔室泵送之沖洗氣體之量，且因此該潤滑腔室之一壓力高於該級間沖洗埠之該壓力。該限制件係經組態使得該潤滑腔室中之沖洗氣體之該壓力稍微高於該高真空級中之該壓力，因而可產生一自該潤滑腔室至該高真空級之正壓力梯度，但該壓力梯度並非大至足以產生一通過該開口56而進入該高真空級中之高流量沖洗氣體。若容許發生，則沖洗氣體之此一流動會降低該泵於該泵之該入口31處達成高真空壓力之能力。

當經泵送之氣體被自一處理腔室通過該入口31而釋放，則該高真空級12中之該壓力升高，該壓力在一短暫延遲之後係可位於一第二範圍中，從而造成該級間沖洗埠處之該壓力升高。該級間沖洗埠處之壓力增加繼而造成該潤滑腔室中之壓力增加，使得當該高真空級中之該壓力升高，則該潤滑腔室中之該壓力亦升高。因此，該潤滑腔室中之該壓力係回應於該高真空級中之壓力，因此大致上維持自該潤滑腔室至該高真空級之一正壓力梯度，從而阻止經泵送氣體通過該開口56而流入該潤滑腔室中。

10．．．正排量乾式泵

12．．．真空泵送級

14．．．真空泵送級

16．．．真空泵送級

18．．．真空泵送級

20．．．泵送機構

22．．．泵送機構

24．．．泵送機構

26．．．泵送機構

28．．．驅動軸桿

30．．．驅動軸桿

31．．．泵入口

32．．．潤滑腔室

33．．．泵出口

34．．．潤滑腔室

36．．．端板

38．．．端板

40．．．軸承

42．．．軸承

44．．．齒輪總成

46．．．馬達

48．．．馬達腔室

50．．．軸承

52．．．軸承

54．．．潤滑劑

56．．．開口

60．．．唇狀密封件

62．．．級間沖洗埠

64．．．沖洗氣體源

66．．．沖洗埠

66'．．．沖洗埠

68．．．導管

70．．．導管

72．．．導管

72'．．．導管

74．．．限制件

76．．．單向閥

80．．．泵

82．．．第二沖洗埠

82'．．．沖洗埠

84．．．導管

84'．．．導管

86．．．級間沖洗埠

88．．．導管

88'．．．導管

90．．．限制件

圖1示意性顯示包括一正排量乾式泵之一沖洗系統；

圖2更詳盡地顯示圖1中所示之該正排量乾式泵之一端板中之一開口；

圖3示意性顯示包括一正排量乾式泵之一第二沖洗系統；且

圖4更詳盡地顯示圖3中所示之該正排量乾式泵之一端板中之一開口。

10．．．正排量乾式泵

12．．．真空泵送級

14．．．真空泵送級

16．．．真空泵送級

18．．．真空泵送級

20．．．泵送機構

22．．．泵送機構

24．．．泵送機構

26．．．泵送機構

28．．．驅動軸桿

30．．．驅動軸桿

31．．．泵入口

32．．．潤滑腔室

33．．．泵出口

34．．．潤滑腔室

36．．．端板

38．．．端板

40．．．軸承

42．．．軸承

44．．．齒輪總成

46．．．馬達

48．．．馬達腔室

50．．．軸承

52．．．軸承

54．．．潤滑劑

56．．．開口

62．．．級間沖洗埠

64．．．沖洗氣體源

66．．．沖洗埠

66'．．．沖洗埠

68．．．導管

70．．．導管

72．．．導管

72'．．．導管

74．．．限制件

76．．．單向閥

Claims (15)

1. 一種正排量乾式泵，其包括：複數個真空泵送級，其包括各別之複數個泵送機構，該等泵送機構係由一個或多個驅動軸桿驅動，用於將流體自一高真空級處之一泵入口連續地泵送通過該等泵送級而到達一低真空級處之一泵出口；一潤滑腔室，其容置一軸承總成，以支撐該驅動軸桿用於旋轉運動，該驅動軸桿自該高真空級通過該潤滑腔室之一端板中之一開口而延伸至該潤滑腔室；一級間沖洗埠，氣體通過該級間沖洗埠而進入該高真空級之下游之一級間位置處之該泵；一潤滑腔室沖洗埠，其係位於該潤滑腔室中，沖洗氣體自一沖洗氣體源流經該潤滑腔室沖洗埠而進入該潤滑腔室；其中該級間沖洗埠被連接至位於該潤滑腔室中的一第二沖洗埠，以使該潤滑腔室中的沖洗氣體經由該第二沖洗埠及一在該泵送級外部的導管自該潤滑腔室流出至該級間沖洗埠，藉而控制該潤滑腔室中之沖洗氣體之壓力，從而阻止在該泵之使用期間，經泵送氣體自一高真空腔室通過該端板之該開口而流動至該潤滑腔室。
2. 如請求項1之泵，其中該級間沖洗埠的位置係經選擇使得在使用中，該潤滑腔室中之沖洗氣體的壓力大致上高於該高真空腔室中之經泵送氣體之壓力，而在該潤滑腔室與該高真空級之間提供一正壓力差。
3. 如請求項1之泵，其中該級間沖洗埠處之壓力係回應於該高真空級中之經泵送氣體之壓力，因此該高真空級中之壓力之一變化會造成該潤滑腔室中之沖洗氣體之壓力的一對應變化。
4. 如請求項3之泵，其中該高真空級中之經泵送氣體之壓力之一增加會造成該潤滑腔室中之沖洗氣體之壓力之一增加，因此在流入該高真空腔室中之經泵送氣體之流的增加期間，該潤滑腔室中之沖洗氣體之壓力被增加，以阻止經泵送氣體自該高真空級通過該端板中之該開口而流動至該潤滑腔室。
5. 如請求項1之泵，其中該潤滑腔室沖洗埠係位於該端板中，使得沖洗氣體流動進入該端板中之該開口中之一軸桿密封件中。
6. 如請求項1之泵，其中該第二沖洗埠係藉由一導管而連接至該級間沖洗埠，而且該導管包括一限制件。
7. 一種沖洗一正排量乾式泵之方法，該泵包括：複數個真空泵送級，其包括各別之複數個泵送機構，該等泵送機構係由一個或多個驅動軸桿所驅動，用於將流體自一高真空級連續地泵送通過該等泵送級而至一低真空級；及一潤滑腔室，其容置一軸承總成，以支撐該驅動軸桿用於旋轉運動，該驅動軸桿自該高真空級通過該潤滑腔室之一端板之一開口而延伸至該潤滑腔室；其中該方法包括： 將沖洗氣體自一沖洗氣體源運送至該潤滑腔室；藉由將該潤滑腔室連接位於至該高真空級之下游的一級間沖洗埠而控制該潤滑腔室中之壓力，該級間沖洗埠在使用中所處之壓力比該高真空級之壓力高，以使該潤滑腔室中之沖洗氣體的壓力高於該高真空腔室中之該經泵送氣體的壓力，藉以在該潤滑腔室與該高真空級之間提供一正壓力差，其中該級間沖洗埠中的一壓力變化造成被輸送至該潤滑腔室之該沖洗氣體的一對應壓力變化。
8. 如請求項7之方法，其包括控制該潤滑腔室中之沖洗氣體之壓力，因此不論該高真空腔室中之壓力的變化，該沖洗氣體之壓力高於該高真空腔室中之經泵送氣體之壓力。
9. 如請求項8之方法，其中該級間沖洗埠處之經泵送氣體之壓力係回應於該高真空級中之經泵送氣體之壓力且該潤滑級中之沖洗氣體之壓力係回應於該級間沖洗埠處之經泵送氣體之壓力，以使該高真空級之壓力之變化造成該潤滑腔室中之壓力之變化。
10. 一種正排量乾式泵，其包括：複數個真空泵送級，其包括各別之複數個泵送機構，該等泵送機構係由一個或多個驅動軸桿驅動，用於將流體自一高真空級處之一泵入口連續地泵送通過該等泵送級而到達一低真空級處之一泵出口；一潤滑腔室，其容置一軸承總成，以支撐該驅動軸桿 用於旋轉運動，該驅動軸桿自該高真空級通過該潤滑腔室之一端板中之一開口而延伸至該潤滑腔室；一級間沖洗埠，氣體通過該級間沖洗埠而進入該高真空級之下游之一級間位置處之該泵；一潤滑腔室沖洗埠，其係位於該潤滑腔室中並連接至一沖洗氣體源，以使來自該沖洗氣體源之沖洗氣體流經該潤滑腔室沖洗埠；其中該級間沖洗埠被連接至位於該潤滑腔室，以控制該潤滑腔室中之沖洗氣體之壓力，以使該潤滑腔室中之沖洗氣體的壓力高於該高真空腔室中之該經泵送氣體的壓力，藉以在該潤滑腔室與該高真空級之間提供一正壓力差，其中該級間沖洗埠中的一壓力變化造成被輸送至該潤滑腔室之該沖洗氣體的一對應壓力變化。
11. 如請求項10之泵，其中該級間沖洗埠處之經泵送氣體之壓力係回應於該高真空級中之經泵送氣體之壓力，以使該高真空級之壓力之變化造成該潤滑腔室中之沖洗氣體的壓力的一對應變化。
12. 如請求項10之泵，其中該潤滑腔室沖洗埠係位於該端板中，使得沖洗氣體流動進入潤滑腔室處的壓力係被該端板中之該開口中之一軸桿密封件中。
13. 如請求項10之泵，其中該潤滑腔室沖洗埠係藉由一個或多個具有一限制件的導管而連接至該級間沖洗埠，使得沖洗氣體流入該潤滑腔室處的壓力係藉由該級間沖洗埠處之壓力而控制。
14. 如請求項13之泵，其中該導管包括一單向閥，其係用於阻止經泵送氣體自該級間沖洗埠通過至該潤滑腔室。
15. 如請求項10之泵，其中該潤滑腔室包括一第二沖洗埠，其係藉由一導管而連接至該級間沖洗埠，以使該沖洗氣體自該潤滑腔室流動至該級間沖洗埠。