KR950007519B1 - 로터리 형식의 진공펌프장치 - Google Patents

Abstract

내용 없음.

Description

로터리 형식의 진공펌프장치

제1도는 본 발명 로터리 진공펌프장치의 내부 절개도.

제2도는 윤활회로에 연결된 오일여과기의 설치를 보여주는 제1도의 2-2 단면도.

제3도는 기체의 흡·배기를 보여주기 위한 제1도의 3-3 단면도.

제4도는 펌프장치의 확대도.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

2 : 펌프장치 3 : 펌프하우징

4 : 오일저장케이싱(펌프케이싱) 5, 6 : 실린더

7, 8 : 로터 9, 10 : 베인

11 : 오일펌프 12,16,17,18,19,39,40 : 윤활회로

14, 42, 42', 44 : 로터축 15 : 앞카버

20 : 오일휠터 21 : 펌프흡입구

24 : 배기밸브 25 : 역류방지밸브

26 : 역류방지밸브제어장치 36 : 오일저장탱크

47, 48 : 오일공간 52 : 과잉압력배출밸브

본 발명은 개선된 구조를 갖는 로터리 형식의 진공펌프장치로서 특히 펌프장치가 작업중에 예상치 못한 고장이나 정전으로 정지하였을시 펌프장치내의 오일 및 오일증기가 진공시스템으로 역류하여 오염시키는 것을 방지하는 수단을 보유하는 로터리 형식의 진공펌프장치의 구조 개선에 관한 것이다.

로터리 형식의 진공펌프는 높은 진공도를 얻기 위하여 액체시일링 수단으로서 오일을 사용한다. 동시에 오일은 펌프장치를 순환하면서 펌프를 냉각시키고 베어링 및 각 부품을 윤활시키는 역활을 한다.

따라서, 장치내에 오일을 강제 순환시키기 위해 보조윤활 펌프(오일펌프)가 사용되어지는데 펌프가 갑자기 작동을 멈추거나 오일의 공급이 갑자기 중지되는 경우에는 펌프케이싱(오일저장케이싱)내에 들어 있는 기름과 공기가 압력 감소에 따라 펌프속으로 역류할 위험성이 있으며, 뒤이어 흡입덕트를 통하여 진공설비속으로 들어가 진공설비를 오염시키게 되면 진공설비에 심각한 손상을 주게 된다. 이에 따라 흡입덕트를 폐쇄하는 작용을 하는 역류방지밸브(Non-Return Valve)와 그것을 행하도록 제어하는 장치가 필수적이다.

그러나, 종래의 역류방지밸브의 제어장치는 윤활회로내를 흐르는 유체의 압력이 회복되어질 때만 정지위치로부터 이동하여 역류방지밸브를 개방시키게 되므로 진공펌프가 정지상태로부터 재작동하여 흡인라인으로부터 펌프작용을 재개할때까지 압력회복을 위하여 많은 시간을 기다려야만 하는 문제점이 발생한다.

이와 같은 결점을 해결하기 위한 일련의 해결책이 미국특허 제4,844,702호 (1989. 7. 4 특허공고)에 제시되어 있다.

상기 발명은 개선된 구조를 갖는 윤활회로에 관한 것으로 상기 발명에 따른 윤활회로는 폐쇄부재의 도움으로 펌프가 정지한 후 펌프로부터 진공압력공간부를 고립시키는 것을 포함하며 윤활 및 보조제어를 위한 유압회로가 관련 펌프장치로 구성된 로터리 진공펌프에 연결되어 있다.

이 윤활회로(유압회로)는 작동수단 펌프 배출공간부내에 있는 유체의 압력이 상기 배출공간부와 폐쇄부재 작동수단과의 사이에 연속된 두개의 덕트의 도움으로 폐쇄부재를 제어하는데 사용되도록 제공되어지며 윤활펌프장치에 의해 발생한 유압이 펌프장치의 각 운동부위에 제공되어지며, 또한 폐쇄부재의 작동을 감독하는 제어부재에 도달하기 위하여 압력전달관을 통하여 전달되도록 작용한다.

그러나, 상기 특허는 구조적으로 다음과 같은 문제점을 갖고 있다.

첫째, 펌프 케이싱(오일저장케이싱)내의 오일이 펌프장치로 유입되는 유입구의 위치가 높아 오일의 유면이 조금만 떨어져도 오일의 공급이 중단되므로 폐쇄부재가 작동치 않게 된다.

둘째, 오일펌프의 오일유입구에 휠터 여과망이 설치되어 있어 여과망이 막힐 경우 수리하는데 많은 시간이 소요된다.

세째, 오일펌프로부터 이송된 오일중 윤활회로를 따라 각 운동부위에 공급되고 남은 오일은 과잉 압력배출밸브를 통하여 회수되어져야 하나 오일펌프와 압력배출밸브가 근접되어 있어 윤활회로로의 오일의 공급이 각 부분에 공급되기전에 중간에 압력배출밸브를 통하여 누설될 염려가 있다.

네째, 오일이 압력배출밸브를 통하여 오일저장케이싱내로 회수될때 강력한 유압에 의하여 분사 현상이 일어나 케이싱 내면에 부딪히면서 소음이 발생하고 배기되는 기체와 함께 섞여서 배기구로 배출되는 경우가 발생하므로 오일의 소모가 생겨난다.

다섯째, 베인이 실린더 내면에 항상 밀착하여 운동할 수 있도록 베인사이에 스프링을 삽입하였으나 반복작용하는 인장 및 압축응력에 의해 스프링이 쉽게 파손되기 때문에 작업 손실과 운전비용이 많이 들어 비경제적이다.

이에 따라 본 발명의 목적은 펌프 케이싱내의 오일의 양이 매우 적어지더라도 펌프의 각 부분에 오일을 공급하여 윤활을 가능케 하는 구조의 진공펌프장치를 제공하는 것이다.

이 과제를 해결키 위한 본 발명의 구성으로서는 오일펌프로 공급되는 오일흡입관로의 입구가 펌프케이싱의 바닥면을 향하도록 펌프장치 하단부에 위치토록 한다. 이와 같이 구성된 본 발명 장치는 종래의 오일흡입구가 로터축상에 위치하고 있어 케이싱내의 수면이 상기 축보다 내려가면 펌프 각 장치에의 윤활이 불가능해지므로 펌프 구동을 중지시켜야만 하였으나 펌프몸체 하단부까지 오일이 감소하더라도 윤활이 가능하다.

본 발명의 다른 목적은 오일휠터의 교환이 간편한 구조의 진공펌프장치를 제공하는 것이다.

이를 위해 본 발명은 오일휠터를 펌프 하우징 외부에 설치하여 순환되는 오일이 외부에 부착된 오일휠터를 경유에서 각 부분에 오일을 공급하게 된다.

본 발명의 또 다른 목적은 과잉압력에 의해 중간에 회수되는 오일로부터 발생하는 소음 및 오일의 소모를 방지하며, 또한 충분한 오일을 각 부분에 공급할 수 있는 진공펌프장치를 제공하는 것이다.

이를 위해 본 발명은 오일의 과잉압력 배출밸브를 윤활회로의 끝부분에 설치함과 아울러 그 출구가 케이싱내 오일의 수면하에 위치하게 된다.

본 발명의 또 다른 목적은 실린더 내면에 대한 베인의 밀착력을 안정적으로 확보하며 베인의 수축시 완충효과가 높으며 기밀성과 윤활성을 향상시킨 진공펌프장치를 제공하는 것이다.

이를 위해 본 발명은 오일펌프로부터 공급되는 오일 압력을 활용하여 로터의 운동부위에 오일을 공급함과 함께 로터에 형성된 오일통로를 통해 베인사이 오일공간에 오일을 공급하므로서 완충 작용과 기밀 및 윤활작용을 하게 된다.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면을 참조로 상술한다.

제1도는 본 발명 로터리 진공펌프장치(1)의 내부 절개 단면도로서 펌프 내부의 주요부분들을 보여주고 있다. 펌프장치(2)가 펌프 하우징(3)과 오일저장케이싱(4, 혹은 펌프케이싱)에 둘러쌓여 있으며 오일저장케이싱 내의 공간부는 다량의 오일을 수장하고 있다.

펌프장치(2)는 제1실린더(5)와 제2실린더(6) 및 상기 실린더 내부에서 회전운동하는 제1로터(7)와 제2로터(8)를 포함하는 구성으로 되어 있으며, 각각의 로터의 베인홈내에 2개의 베인(9), (9'), (10), (10')를 보유한 상기 로터(7), (8)가 회전할때 발생하는 원심력에 의해 상기 실린더 내벽면에 밀착하여 회전하면서 진공설비로부터 실린더 내로 가스를 흡입 압축하여 외부로 배기하는 과정을 반복하게 된다.

펌프장치의 실린더와 로터등을 비롯한 각 운동부위에는 오일의 지속적 공급이 없으면 각 운동부위의 마모와 고착현상 및 누설작용으로 인하여 진공 능력이 현저히 감소하며, 심하면 장치를 손상시키게 되므로 강제 윤활방식에 의해 오일을 공급하게 된다.

오일저장케이싱내에 저장된 오일은 펌프장치의 각 운동부위들의 윤활과 기밀작용을 위하여 사용되어지며 이를 펌프장치에 공급하기 위하여 오일펌프(11)와 윤활회로(오일공급로)가 필요하게 된다. 오일펌프(11)는 펌프장치(2)에서 필요로 하는 양보다 충분한 양의 오일을 공급할 수 있는 것으로 선정해주어야 하며, 내구성이 좋으며 강력한 유압을 발생하는 성능을 갖추어야 한다. 이때 사용되는 오일펌프(11)는 오일을 급송할 수 있는 펌프라면 어느것이나 무방하며 본 발명 실시예를 도시한 제2도에서는 통상적인 기어펌프를 예시적으로 나타내었다.

오일펌프(11)의 오일유입관로(12)의 입구(13)는 오일저장케이싱(4)내의 오일의 양이 적더라도 펌프장치(2)에 오일공급이 가능토록 오일저장케이싱의 바닥면을 향하도록 구성한다.

상기 오일펌프(11)는 로터축(14)을 지지하는 앞카바(15)에 설치되며 윤활회로를 형성하는 각 오일통로(16), (17), (18), (19)등을 통하여 진공펌프장치의 각 운동부위 및 역류방지장치에 오일을 공급해 준다.

진공펌프장치의 운동부위에 공급해주는 오일은 이물질이 포함되어 있을 경우 운동부위를 마모시키고 오염시켜 장치의 성능을 저하시키게 되므로 정제된 오일을 공급해주어야 하는데, 오일휠터가 오일케이싱내에 위치할 경우 휠터의 교환 수리가 불편하므로 제2도에 도시한 바와 같이 오일통로(17)를 통하여 장치 외부에 오일휠터(20)를 설치하므로서 상기한 문제점을 회피하게 된다.

펌프 하우징(3) 상부로는 펌프흡입구(21)가 설치되어 있으며, 흡입공간(22), (23)을 통하여 흡입된 가스 또는 공기가 펌프장치의 실린더(5). (6) 내부로 유입된후 로터(7, 8)의 회전에 따라 압축되어 배기밸브(24)를 통하여 배기된다.

이때 진공펌프장치가 갑자기 가동을 멈추고 정지하게 되면 진공펌프 내부 및 이와 연통된 흡입공간(22), (23)과 흡입구(21) 및 흡입구에 연결된 도시되지 아니한 진공설비에로 윤활에 사용된 오일 또는 오염된 가스 및 외부 공기가 역류하여 진공설비를 오염시키거나 진공을 파기하는 일이 발생하는데 이것을 방지하기 위해 역류방지밸브 (25) 및 이를 제어하는 역류방지밸브제어장치(26)의 설치가 필요하게 된다.

역류방지밸브(25)는 오일펌프로부터 공급되는 오일에 의해 작동되어지며, 펌프장치(2)가 정지할때 펌프흡입구(21)를 폐쇄하도록 작동한다.

역류방지밸브(25)는 펌프흡입구(21) 직하방의 흡입공간(22)내에 설치되며, 흡입공간(22)내에 돌출형성된 실린더(27)와 실린더내에서 상, 하 습동하는 피스톤(28) 및 피스톤 상단에 부착된 밸브판(29)으로 구성된다. 이 실린더(27)는 작동관로(30)을 통하여 앞카버(15)에 설치된 역류방지밸브제어장치(26)와 연결되어 있으며, 역류방지밸브제어장치의 타단은 오일통로 19를 통하여 오일통로 17에 연결된다.

따라서, 본 발명의 특징중 하나는 오일펌프와 윤활회로, 역류방지밸브 및 그 제어장치등이 모두 펌프하우징과 앞카버에 집중설치되어 장치의 가공조립 비용이 현저히 감소하게 된다는 점이다.

상기 역류방지밸브제어장치(26)는 앞커버(15) 부재에 형성된 실린더 형상의 제어공간(31)을 보유하며, 상기 제어공간의 양단은 각기 오일통로 19와 작동관로 30에 연결되며 제어공간과 접속되는 작동관로 30에는 플러그(32)가 삽입되어 있다.

또한, 오일통로 19쪽의 공간부에는 압축스프링(33)에 의해 지지되는 피스톤 (34)이 위치하며, 제어공간은 오일통로 35를 통하여 오일저장탱크(36)와 연결된다.

역류방지밸브제어장치(26)의 상부쪽에 위치한 오일저장탱크(36)는 상부 개구부(37)를 통하여 오일저장케이싱(4)의 상부 공간부(38)와 개방되어 있으며, 상부 공간부(38)는 배기구(39)를 통하여 외부 대기에 노출되므로 대기압이 작용하고 있는 상태이다.

오일펌프(11)의 용량은 장치가 필요로 하는 량보다 많은 오일이 흐르도록 설계되었으므로 펌프장치(2)가 가동되면 이에 따라 오일펌프(11)도 작동하게 되어 윤활회로를 구성하는 각 오일통로를 따라 오일을 공급하게 되며 여분의 오일은 다시 오일저장케이싱으로 회수하게 된다.

오일펌프 작동에 의해 압력을 얻은 오일은 오일통로 18을 통하여 진공펌프장치의 각 운동부위에 공급되어지고 일부는 오일통로 19를 통하여 역류밸브제어장치의 피스톤(34)에 작용하게 된다.

이때의 유압이 압축스프링(33)의 탄성력보다 크므로 피스톤 스프링을 압축하면서 이동하여 플러그(32)의 구멍을 폐쇄시키므로 작동관로 30은 제어공간(31)과는 단절 상태에 있게 된다.

여기서 펌프가 계속 작동하고 있는 동안은 플러그구멍의 폐쇄상태가 유지되며, 여분의 오일은 오일통로 35를 거쳐 오일저장탱크를 가득채우게 되며, 탱크의 상부 개구부(37)를 통하여 흐럴 넘쳐 오일저장케이싱내로 회수된다.

운전중 펌프가 정지될 경우 각 오일통로를 흐르는 유압이 급격히 감소하여, 역류방지밸브제어장치의 피스톤이 압축스프링의 탄발력으로 원상 복귀하면서 오일통로 19를 제어공간으로부터 차단시키며, 동시에 플러그 구멍은 개방되므로 오일저장탱크와 오일통로 35 및 작동관로 30은 상호 연통되는 상태가 된다.

그런데, 흡입공간(22)내는 진공압 상태인데 반하여 오일저장탱크(36)에는 대기압이 작용하므로 양자의 압력차에 따라 오일저장탱크에 저장된 오일은 오일통로 35와 작동관로 30을 통하여 흘러서 밸브장치의 밸브판(29)이 흡입구(212) 하단에 밀착하여 흡입구를 폐쇄할 때까지 피스톤(28)을 밀어올리게 되며, 이로써 흡입구에 접속된 진공설비(도시생략)를 펌프장치로부터 단절시키게 된다.

이와 같이 진공설비를 펌프장치로부터 단절시켜야 하는 이유는 진공설비가 진공펌프장치와 개방상태에 있게 되면 펌프장치내로 유입되는 오일이 압력차에 의해 흡입공간과 흡입구를 통하여 진공설비내로 역류하여 진공설비를 오염시키게 됨과 아울러 외부로부터 공기가 유입되어 진공이 파기되는 것을 방지하기 위해서이다. 역류방지밸브 피스톤(28)은 실린더(27)내에서 상하로 작동하는데 필요한 만큼 틈새(공차)를 유지시켜 주어야 하며, 오일과 공기가 빠져나갈 만큼 이 틈새가 크므로 제작하는데 정밀한 가공이 필요치 아니하여 제작비가 적게드는 장점이 있다.

따라서, 역류방지밸브 피스톤(28)이 부상하여 밸브판(29)이 흡입구를 폐쇄한 다음에는, 오일저장탱크속의 오일과 기체가 상기 틈새를 통과하여 진공상태인 진공펌프 실린더 내부로 유입되어 대기압으로 만들어주게 되므로 역류방지밸브판(29)이 흡입구 구멍에 더욱 강하게 밀착하는데 도움을 주며, 펌프장치내로 유입된 오일은 장치의 재작동시 윤활 및 기밀작용을 한후 배기밸브(24)을 통하여 오일저장케이싱(4)내로 회수된다.

역류방지밸브제어장치의 위치는 역류방지밸브와 가까운 거리에 위치하는 것이 작동상 유리하다. 이는 짧은 시간내에 역류방지밸브를 작동시키기 위함이며, 펌프장치의 가동시 플러그(32)가 피스톤(34)에 의해 폐쇄된 후 대기압 상태의 공기가 차 있는 작동관로 30내의 공기가 피스톤(28)과 실린더(27) 사이의 틈새로 통과되어 펌프장치의 실린더내로 유입되어 외부로 배기되어야 하므로 역류방지밸브제어장치와 역류방지밸브간의 거리가 멀게되면(즉, 작동관로 30의 길이가 긴 경우를 말함), 흡입공간을 포함한 작동관로 30내를 진공화시키는데 많은 시간이 소요되므로 비경제적이기 때문이다.

이러한 이유는 작동관로 30내의 공간이 진공화되어야만 진공설비로부터 펌프흡입구(21)를 통하여 흡입공간(22)으로 유입되는 기체압에 의해 역류방지밸브의 피스톤이 하강하여 펌프 흡입구(21)가 개방되고 반대로 작동관로 30이 밸브판(29)의 밀착으로 흡입공간(22)에 대해 폐쇄된 후에 비로소 정상적인 진공 작업이 수행되기 때문이다.

여기서 미설명부호 55는 구동모터, 56는 모터하우징, 57은 냉각팬, 58은 축커플링, 59는 오일펌프고정판, 60은 배기밸브카버이다.

도면 제2도는 제1도의 2-2 단면도로서 오일펌프(11)의 구동에 의해 오일유입관로(12)을 통하여 유입된 오일이 장치의 윤활회로를 구성하는 각 오일통로(16), (17), (18), (19)를 순환하는 동안 외부에 설치된 오일여과기(20)를 거쳐 오일이 공급됨을 보여주는 도면으로서 오일 여과기가 장치의 외부에 부착되어 있기 때문에 오일여과기를 수리 교환하기가 매우 간편하게 된다.

도면 제3도는 펌프장치의 로터(8)가 회전할때 펌프흡입구(21)와 흡입공간 (22), (23)을 통하여 도시되지 아니한 진공설비로부터 기체를 실린더내로 흡입하여 압축한후 배기밸브(24)를 거쳐 외부로 배출함을 보여주는 단면도이다.

제4도는 펌프장치(2)의 각 운동부위에 오일을 공급하여 윤활시키며, 양 베인(9), (9'), (10), (10') 사이의 공간부에 오일을 공급함을 보여주는 상세단면도이다.

오일펌프(11)로부터 공급된 오일은 오일통로 18과 39 및 40을 따라 중간판 (41)에 의해 지지되는 로터축(42), (42')의 슬라이딩 부위와 뒷카바(43)에 의해 지지되는 로터축(44)의 슬라이딩 운동부위에 공급되며 각 운동부위의 틈새(45), (46)를 따라 베인사이에 내부 오일공간(47), (48)으로 들어간다.

상기 틈새 45는 축과 구멍의 계합시의 치수 허용차이어도 무방하나 보다 원활한 오일의 공급을 위해서는 축방향으로 형성된 1개 또는 2개의 가로홈으로 형성할 수 있다.

또한, 제1로터(7)와 제2로터(8)은 제1실린더(5)와 제2실린더(6)와의 조립을 위하여 2개의 부분으로 분리성형되어 2개의 핀(49)으로 접속되므로 중간판(41)에 의해 지지되는 양 로터축(42), (42') 사이에 형성된 공간부(50)와 뒷카바(43)와 로터축 (44) 사이의 공간부(51)에 오일이 충진되어 로터축(42), (42'), (44)의 전원주면을 통하여 오일이 원활하게 공급되어진다.

틈새 46은 베인을 수용하기 위한 베인홈의 폭이 베인의 폭보다 넓게 가공해주므로서 생긴 오일통로이다.

로터가 회전할때 베인은 원심력에 의해 실린더 내벽면에 밀착하여 회전하게 되는데 2개의 베인 사이의 거리가 멀어졌다 가까워졌다 하므로 베인홈 및 실린더벽면과의 사이에는 심한 마찰이 있게 된다.

따라서, 두개의 베인 사이에 형성된 오일공간(47), (48)내의 오일은 베인이 수축하여 베인 사이의 거리가 가까워질때는 충격을 완화하는 역활을 함과 아울러 이때 압축력을 받게되는 오일은 각 틈새를 통하여 운동부위에 공급되므로 윤활작용과 기밀작용이 매우 원활해지는 것이며, 실린더내로 들어간 오일은 기체와 함께 배기되어 오일저장 케이싱으로 회수되어진다.

그런데, 두개의 베인사이의 진폭이 2~3mm 정도이므로 수축시에 운동부위에 공급되고 남은 오일은 틈새(45), (46)를 통하여 오일통로 39와 40으로 방출되어질 수 밖에 없게 된다.

그러나, 오일펌프로부터 필요한 양보다 훨씬 많은 양의 오일이 공급되고 있으므로 베인의 수축시 순간적 압력상승으로 장치에 무리를 줄 수 있다.

이를 방지하기 위한 설비로서 사용되고 남는 여분의 오일을 회수하기 위한 과잉압력배출밸브(52)가 뒷카바(43)의 오일통로 40으로부터 분기되도록 설치한다. 오일압력 변동에 따라 오일통로를 폐쇄하거나 개방케되는 피스톤(53)과 이를 지지하는 압축스프링(54)으로 구성된 과잉압력배출밸브(52)는 윤활회로가 끝나는 부근으로서 오일저장케이싱내의 유수면보다 낮은 위치에 설치함이 바람직하다.

이와 같이 과잉압력배출밸브가 오일에 수장된채 작동케하므로서 높은 압력의 오일이 밸브를 통하여 누출할때 발생하는 소음을 방지케되며, 또한 배기되는 기체를 따라 외부로 소실되는 것도 피할 수 있게 되는 것이다.

본 발명은 상기한 실시예 및 도면에 국한하지 아니하며, 특허청구범위에 기재된 발명의 범위내에서 여러가지 변형이 가능할 수 있음을 밝혀둔다.

Claims (6)

1. 제1실린더와 제2실린더를 보유하며, 상기 실린더내에서 회전운동을 하므로써 진공설비로부터 기체를 흡입하여 압축한 후 배기밸브를 통하여 외부로 배출시키는 작용을 하는 제1로터와 제2로터를 포함하여 구성되는 펌프장치와 ; 상기 펌프장치를 보호하기 위한 케이스로서 상기 펌프장치의 운동부위 및 부속장치에 공급하기 위한 오일을 수장하며 기체의 배기구를 통하여 대기압에 개방되는 오일저장케이싱과, 상기 오일저장케이싱과 협동하여 오일을 케이싱내에 저장할 수 있도록 하며, 진공설비로부터 상기 실린더내로 기체를 흡입하는 통로인 펌프흡입구와 흡입공간을 갖는 펌프하우징과, 상기 로터의 축을 지지토록 상기 펌프하우징과 펌프장치 사이에 위치하는 앞카버와, 상기 펌프장치와 이를 제어하기 위한 부속장치들에 오일을 공급하기 위하여 상기 앞카버를 관통하는 로터축상에 설치되는 오일펌프와, 상기 펌프장치에 오일을 공급하는 관로로서 그 흡입구가 오일저장케이싱의 바닥면을 향하도록 설계된 오일흡입관로를 갖는 윤활회로와, 상기 오일 펌프로부터 압송되는 오일로부터 불순물을 걸르기 위하여 상기 펌프 하우징 바깥에 설치되는 오일여과기와, 상기 펌프장치가 작동을 중지할때 오일과 기체가 진공설비내로 역류하는 것을 방지하기 위하여 상기 펌프 흡입구 하단에 위치하여 상기 펌프 흡입구를 폐쇄토록 작동하는 역류방지밸브와, 상기 펌프장치의 작동이 중지할때 상기 역류방지밸브의 작동관로를 개방시키기 위한 장치로서 상기 역류방지밸브의 작동응답 시간을 단축시키며, 상기 펌프장치의 재시동시 상기 역류방지밸브의 작동관로를 진공화시키는데 소요되는 시간을 단축하기 위하여 상기 작동관로를 가능한 짧게 유지토록 인접 부재인 앞카버에 설치되는 역류방지밸브 제어장치와, 상기 로터축의 끝단부를 지지하는 뒷카버 및 상기 오일펌프로부터 공급된 여분의 오일을 오일저장 케이싱내로 회수하기 위한 장치로서 윤활회로의 끝단부인 상기 뒷카바 하단에 설치되는 과잉압력배출밸브와로 구성됨을 특징으로 하는 로터리 형식의 진공펌프장치.
2. 제1항에 있어서, 상기 제1로터와 제2로터는 베인홈내에서 습동하는 2개의 베인사이에 상기 오일펌프로부터 공급되는 오일을 저장하는 오일공간을 보유함을 특징으로 하는 로터리 형식의 진공펌프장치.
3. 제1항에 있어서, 상기 과잉압력배출밸브는 상기 오일저장케이싱내의 오일내에 수장되어지도록 설치됨을 특징으로 하는 로터리 형식의 진공펌프장치.
4. 제2항에 있어서, 상기 작동관로를 통하여 상기 역류방지밸브를 부상시키기 위한 오일을 공급하는 오일저장탱크가 상기 역류방지밸브보다 높은 위치를 갖도록 상기 펌프 하우징에 설치됨을 특징으로 하는 로터리 형식의 진공펌프장치.
5. 제4항에 있어서, 상기 오일펌프가 작동하고 있는 동안은 상기 역류방지밸브제어장치가 상기 작동관로를 폐쇄하게 되며, 상기 오일펌프로부터 송출되는 오일은 상기 오일저장탱크를 가득채운 후 상기 오일저장 케이싱내로 회수되어지며, 상기 오일펌프가 작동 중지하여 상기 작동관로가 개방될때엔 상기 오일저장탱크에 저장된 오일이 상기 역류방지밸브와의 위치에너지차 및 주변 압력차이에 의해 상기 역류방지밸브를 부상시켜 상기 펌프 흡입구를 폐쇄하여 상기 역류방지밸브의 피스톤과 실린더내면의 틈새를 통하여 오일과 오일저장케이싱내의 공기가 펌프장치의 실린더내로 유입됨을 특징으로 하는 로터리 형식의 진공펌프장치.
6. 제5항에 있어서, 상기 오일펌프로부터 송출되는 오일통로인 윤활회로와 상기 역류방지밸브 및 그 제어장치가 상기 펌프 하우징과 앞카버에 집중 배치되는 구조를 가짐을 특징으로 하는 로터리 형식의 진공펌프장치.