KR100323856B1 - 개선된 시일구조를 가지는 진공펌프 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 O-링을 장착하기 위한 O-링홈의 가공이 생략되어 구조가 간단하고 제작비용이 저렴하며, 시일기능의 유지 및 확보가 영구적이어서 유지보수 비용이 소요되지 않는 개선된 시일구조를 가지는 진공펌프 장치를 제공하는데 있다.

이를 위해 본 발명은 회전하는 로터에 의해 진공설비로부터 가스를 흡입 압축하여 배출하는 실린더 및 로터축 단부에 설치된 오일펌프를 보호하는 오일펌프 하우징과 오일펌프 카바를 포함하여 구성되는 진공펌프 장치에 있어서,

상기 순차적으로 조립되는 실린더, 오일펌프 하우징과 오일펌프 카바의 조립경계면에는 환형의 작은 오일시일공간이 형성되며, 상기 오일시일공간은 오일펌프로부터 급송되는 오일을 펌프장치의 각 운동부로 공급하는 오일통로에 연통시켜 구성하므로써 오일압에 의해 시일되도록 한 것을 특징으로 한다.

Description

개선된 시일구조를 가지는 진공펌프 장치{Vacuum pump apparatus having improved sealing structure}

본 발명은 개선된 시일구조를 가지는 진공펌프 장치에 관한 것이다.

진공펌프 장치는 도 3에 도시하는 것과 같이 로터(100)(101)의 회전에 의하여 펌프 흡입구(102)에 접속된 진공설비로부터 가스를 흡입하여 압축한 후 배기구(103)를 통하여 배출하는 실린더(104)(105)를 포함하고 있으며, 각 실린더(104)(105)와 앞카바 부재(106) 및 펌프카바(107) 등이 서로 조립되어 있다.

그리고 역류방지밸브(108)의 작동제어 및 펌프장치(110)의 각 운동부위들의 윤활과 기밀유지 및 냉각작용을 위하여 오일펌프(111)가 설치되며, 오일펌프(111)로부터 급송되는 오일은 오일통로(112)(113)(114)(115)(116) 등을 통하여 실린더(104)(105)를 비롯한 장치의 각 부분에 급송된다.

펌프장치(110)의 내부, 즉 실린더(104)(105) 내부는 장치의 작동시 고진공이 유지되어야하기 때문에 진공설비 이외의 펌프장치(110) 외부로부터 가스(공기)가 유입되지 않도록 각 부재(104)(105)(106)(107)들의 조립경계면(117)(118)(119)에는 밀봉을 위하여 O-링 홈을 가공한 후 O-링(120)을 장착하고 있다.

그러나 상기한 종래 구조의 시일구조에 의하면 각 부재(104)(105)(106)(107)의 조립경계면(117)(118)(119)에 O-링 홈을 가공해주어야 하므로 가공비용이 많이 소요되며, 또 O-링(120)이 오일 및 가스에 접촉하기 때문에 시간이 경과하면서 부식되어 시일기능이 저하되고 또 O-링(120)을 수시로 교체해 주기 위하여 펌프장치(110)의 분해조립을 번번히 하게 되므로써 유지보수 비용이 많이들게 되는 문제점이 있다.

이에 본 발명은 상기한 점을 감안하여 제안한 것으로서 그의 목적으로 하는 것은 O-링을 장착하기 위한 O-링홈의 가공이 생략되어 구조가 간단하고 제작비용이 저렴하며, 시일기능의 유지 및 확보가 영구적이어서 유지보수 비용이 소요되지 않는 개선된 시일구조를 가지는 진공펌프 장치를 제공하는데 있다.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 개선된 시일구조를 가지는 진공펌프 장치는

회전하는 로터에 의해 진공설비로부터 가스를 흡입 압축하여 배출하는 실린더 및 로터축 단부에 설치된 오일펌프를 보호하는 오일펌프 하우징과 오일펌프 카바를 포함하여 구성되는 진공펌프 장치에 있어서,

상기 순차적으로 조립되는 실린더, 오일펌프 하우징과 오일펌프 카바의 조립경계면에는 환형의 작은 오일시일공간이 형성되며, 상기 오일시일공간은 오일펌프로부터 급송되는 오일을 펌프장치의 각 운동부로 공급하는 오일통로에 연통시켜 구성하므로써 오일압에 의해 시일되도록 한 것을 특징으로 한다.

도 1은 본 발명에 의한 진공펌프 장치를 나타내는 도면

도 2는 본 발명에 의한 진공펌프 장치의 일측 단면도

도 3은 본 발명에 의한 시일구조를 나타내는 요부 확대도

도 4는 본 발명에 의한 진공펌프 장치의 실린더를 한평면에 가상적으로

나타낸 도면

도 5는 종래의 진공펌프 장치의 시일구조를 나타내는 도면

※ 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명

1 : 진공펌프 장치 2 : 펌프장치

4 : 오일펌프 케이싱 5,6 : 실린더

7 : 오일펌프 하우징 8 : 오일펌프 카바

13 : 오일펌프 17,18,20,56,58 : 오일통로

55,57,59 : 오일시일공간

이하에 본 발명의 구성과 작용을 첨부한 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 본 발명에 의한 진공펌프 장치를 나타내는 도면이며 도 2는 본 발명에 의한 진공펌프 장치의 일측 단면도이고 도 3은 본 발명의 시일구조를 나타내는 요부 확대도이다.

펌프장치(2, 이하 펌프 장치라함은 장치 전체를 뜻하는 진공펌프 장치와는구별되는 펌프 하우징과 오일 저장 케이싱으로 둘러쌓인 부분을 지칭한다)는 제1실린더(5), 제2실린더(6), 오일 펌프 하우징(7), 오일 펌프 카바(8) 및 실린더 내부에서 회전 운동하는 제1로터(9)와 제2로터(10)를 포함하는 구성으로 되어 있으며, 로터의 베인 홈 내에 2개씩의 베인(11)(11),(12)(12)을 보유한 상기 로터(9),(10)가 회전할 때 발생하는 원심력에 의해 상기 실린더(5),(6) 내벽면에 밀착하여 회전하면서 펌프 흡입구(46)에 접속되는 도시하지 아니한 진공설비로부터 실린더(5),(6)내로 가스를 흡입, 압축하여 외부로 배기하는 과정을 반복하게 된다. 펌프장치(2)의 실린더(5),(6)와 로터(9),(10) 등을 비롯한 각 운동 부위에는 오일의 지속적 공급이 없으면 각 운동 부위의 마모와 고착현상 및 누설 작용으로 인하여 진공 능력이 현저히 감소하며, 심하면 펌프 장치를 손상시키므로 강제 윤활 방식에 의해 오일을 공급해 준다.

오일 저장 케이싱(4) 내에 저장된 오일은 펌프 장치의 각 운동 부위들의 윤활과 기밀 유지 작용, 냉각 작용을 위하여 사용되며, 이를 펌프장치(2)에 공급하기 위하여 오일 펌프(13)와 윤활회로(오일 공급통로)가 필요하게 된다. 오일 펌프(13)는 펌프장치(2)에서 필요로 하는 양보다 충분한 양의 오일을 공급할 수 있는 것으로 선정해 주어야 하며, 내구성이 좋으며 강력한 유압을 발생하는 성능을 갖추어야 한다.

오일 펌프(13)의 오일 유입관로(15)의 입구(14)는 오일 저장 케이싱(4)의 오일과 맞닿아 있으며, 오일의 양이 적더라도 펌프장치(2)에 오일 공급이 가능하도록 오일 펌프 카바(8)의 하단부에 형성되어 있다.

상기 오일 펌프(13)는 로터 축(16)을 지지하는 오일 펌프 하우징(7)에 설치되며, 윤활회로를 형성하는 각 오일 통로 (17),(18),(19),(20),(55) 등을 통하여 각 운동 부위와 역류방지밸브(42) 및 오일시일공간(55),(57),(59)에 오일을 공급해 준다.

펌프 하우징(3) 상부의 윗면 카바(47)에 흡입구(46)가 설치되어 있으며, 펌프 흡입구(46)를 통해 진공설비로부터 흡입 공간(48)으로 흡입된 가스 또는 기체는 펌프장치(2)의 제1실린더(5) 내로 유입된 후, 로터의 회전에 따라 압축되어 흡입공간(62)을 통해 제2실린더(6)로 유입되고, 로터(10)에 의해 다시 압축된 기체는 배기구멍(65)을 통하여 배기 밸브(66)를 열고 케이싱(4)으로 배출되며, 케이싱(4)으로 배출된 기체는 배기구(78)를 통하여 외부로 배기된다. 이때 진공펌프(1)가 갑자기 가동을 멈추고 정지하게 되면 펌프장치의 실린더(5),(6)내부 및 이와 연결된 흡입공간(48),(62)과 흡입구(46) 및 흡입구에 연결된 도시되지 아니한 진공 설비로 윤활에 사용된 오일 또는 오염가스 및 외부 공기가 역류하여 진공을 파기하는 일이 발생하게 되는데 이것을 방지하기 위해 역류방지밸브(42a),(Non return valve)의 설치가 필요하게 된다.

역류방지밸브(42a)는 도 1에 도시하는 것과같이 오일 펌프(13)에 의해 형성된 오일압이 오일통로 (17),(18),(34),(35)를 통해 상부 오일 공간(37)에 작용할 때 펌프 흡입구(46)를 개방하도록 펌프 흡입구 공간(46a)내에서 하강 운동하며, 펌프장치의 정지시엔 펌프 흡입구(46)를 폐쇄하도록 상승작동하는 밸브판(42)과, 그 밸브판(42)의 하측으로 연장되어 상부 오일 공간(37)에 오일압이 작용시 하강하는피스톤(38)과, 상부 오일 공간(37)을 형성하고 피스톤(38)의 상하 운동시 피스톤(38)의 슬라이딩 이동을 안내하는 밸브 카바(40)와, 상부 오일 공간(37)내의 오일압을 유지하기 위한 밀봉부재로서 U-시일(39)과 O-링(43),(44),(45) 및 펌프장치(2)의 정지시에 상기 피스톤(38)을 부상시켜 주기 위해 하부 오일 공간(27)에 피스톤(38)을 상측으로 탄발토록 설치되는 리턴스프링(41)을 포함하여 구성된다.

밸브카바(40)내의 상부 오일 공간(37)은 오일 통로인 밸브작동관로 (33),(34),(35),(36)를 통하여 제1실린더(5)의 오일 통로(18)의 끝에 설치된 과압 밸브(Over pressure valve, 22)에 연결되어 있으며, 과압 밸브(22)는 오일 통로(18),(17)와 연결되어 있고, 오일 통로(17),(18)는 오일 펌프(13)와 연결되어 있다.

오일 펌프(13)의 용량은 펌프장치(2)가 필요로 하는 양보다 많은 오일이 흐르도록 설계되었으므로 펌프(1)가 가동되면 이에따라 오일 펌프(13)도 작동하게 되어 윤활 회로를 구성하고 있는 각 오일 통로를 따라 오일을 공급하게 되며, 여분의 오일은 다시 오일 저장 케이싱(4)으로 회수하게 된다. 오일 펌프(13) 작동에 의해 압력을 얻은 오일은 오일 통로(17),(18)를 통하여 과압 밸브(22)를 밀어 과압 밸브(22)가 하우징(3)면에 밀착해 기밀을 유지하여 오일통로(26)와 오일통로(33)를 분리시켜 준다. 과압 밸브(22) 내에는 스프링(25)에 의해 탄발지지된 압력 밸브(24)가 설치되어 있어, 펌프장치(2)가 정지되어 유압이 해제될 때에는 스프링(25) 탄성에 의해 압력 밸브(24)가 과압 밸브(22)의 오일 통로(21)를 폐쇄시키도록 밀착하면서 오일 통로(18)측으로 이동되어 과압 밸브(22)가 하우징(3)의 접촉면으로부터 떨어지게 되므로써 오일 통로(26)과 (33)은 서로 연결되어지게 된다. 과압 밸브(22)의 오일 통로(21)는 직경을 크게 설정하여 이물질이 오일 통로(21)를 막는 것을 방지하였고, 과압 밸브의 좁은 외경 틈새(23)와 스프링(25)에 의해 지지된 압력 밸브(24)를 통해 오일 통로(17),(18),(19),(20),(56),(58)의 오일압력이 유지되는 구조로 되어 있다. 오일압력에 의해 과압 밸브(22)가 이동하여 오일 통로(26)과 (33)은 서로 분리되고, 오일 통로(18)는 과압 밸브(22)의 외경 틈새(23)와 오일 통로(21)를 통하여 각각의 오일 통로(26),(33)와 연결된다. 과압 밸브(22)의 오일 통로(21)를 통과한 오일은 스프링(25)에 지지된 압력밸브(24)를 뒤로 밀면서 통로(24a)와 통로(26)를 통과하여 대기압에 노출된 하부 오일 공간(27)으로 유입된 후 하부 오일 공간(27)을 가득차면 오일통로(28)를 통하여 흘러 넘쳐 대기압 상태의 오일 저장 케이싱(4)으로 회수되고, 또한 하부 오일 공간(27)내에 가득찬 오일은 오일 통로(29),(32)를 통하여 회전운동을 하는 슬라이딩 베어링부, 슬리이브(30), 오일 시일(31)에 공급되어 윤활 및 기밀작용을 한 후, 개방된 오일 통로를 통해 오일 저장 케이싱(4)으로 회수된다.

오일압에 의해 과압 밸브(22)의 외경 틈새(23)를 통과한 오일은 오일 통로(33),(34),(35),(36)을 따라 이동되어 밸브 카바(40)내의 상부 오일 공간(37)을 채우게 된다. 상부 오일 공간(37)에 오일이 가득차면 오일통로(18),(34)에 작용하는 오일압에 의해 리턴스프링(41)을 압축하면서 피스톤(38)이 아래로 내려가게 되며, 이에따라 피스톤(38) 상단부에 부착되어 흡입구(46) 하면에 밀착되어 있던 밸브판(42)이 흡입구(46)의 하부면(밸브시트면)에서 이격되면서(열리면서) 펌프의흡입구(46)가 펌프 장치의 실린더(5),(6)와 흡입공간(48),(62)을 통해 연결된다. 이때, 밸브 카바(40)에 의해 형성된 상부 오일 공간(37)에 가득찬 오일은 피스톤에 조립된 U-시일(39)과 O-링(43) 및 밸브 카바(40)의 O-링(44),(45)에 의해 오일의 유출이 방지되므로써 오일압이 떨어지는 것을 방지해 준다.

오일 통로(33),(34),(35),(36)와 상부 오일 공간(37)의 크기(체적)를 크게 확보하여 오일 펌프(13)에 의해 이송된 오일이 오일 통로(33),(34),(35),(36)와 상부 오일 공간(37)에 가득차 오일압이 형성되는데까지 시간이 소요되는 구조로 하여 펌프 장치(2)가 작동을 시작하면 상기 오일통로 및 상부 오일 공간에 오일압이 형성되기까지에 걸리는 시간 이내에 펌프장치(2)의 실린더(5),(6) 내부의 진공이 먼저 회복되어지게 되며, 그 다음 상기 오일통로 및 상부 오일 공간(37)에 오일압이 형성되면서 피스톤(38)이 하강하여 밸브판(42)이 흡입구(46)를 열어주게 되므로써, 펌프장치(2)내의 유체가 진공설비로 역류하여 진공파기 및 오염을 일으키게 되는 것을 방지해 준다.

또 밸브카바(40) 내의 상부 오일 공간(37)에서 상하 운동하는 피스톤(38)에 조립된 U-시일(39)의 단면적을 크게 하므로서 오일통로(17),(18)내의 오일압이 상대적으로 낮더라도 U-시일(39)에 작용하는 전압력이 높아지게 되어 리턴 스프링(41)에 지지된 피스톤(38)을 하강작동시킬 수 있도록 하였고, 상기 U-시일(39) 아래의 하부 오일 공간(27)은 오일통로(28)를 통하여 오일 저장 케이싱(4)과 연결되어 있어, 피스톤(38)이 하강시 하부 오일 공간(27)내의 오일은 신속히 오일 저장 케이싱(4)으로 방출되고, 피스톤(38) 상승시엔 신속히 공기가 유입되어 피스톤(38)이 상하로 작동하는데 문제가 없도록 하였고, U-시일(39)이 작동중 파손되어 상부 오일 공간(37)내의 오일이 하부 오일 공간(27)으로 누출되어도 하부 오일 공간(27)으로 이송된 오일은 종래와 달리 펌프 흡입구(46)측으로 유입되지 아니하고 오일 저장 케이싱(4)으로 회수되는 구조로 하여 진공펌프의 진공성능에는 문제가 없도록 하였다.

이에따라 펌프정지시(순간 정전, 모타의 고장, 시스템의 문제)에는 오일 통로(17),(18)의 오일압이 떨어짐과 동시에 하우징(3)면에 밀착되어 오일통로(26)과 (33)을 분리시켜주던 과압 밸브(22)가 스프링(25) 탄성에 의해 뒤로 밀려 상기 오일통로(26)과 (33)을 연결시켜주므로써 상부 오일 공간(37)은 대기압상태의 오일 저장 케이싱(4)과 연통되어 오일압이 순식간에 해소된다. 오일압이 해소되면 피스톤(38)이 리턴스프링(41)의 탄발력에 의해 신속히 부상하여 피스톤(38) 상부에 밀착된 밸브판(42)이 흡입구(46) 하면을 기밀하게 막아 흡입구(46)와 펌프 장치의 실린더(5),(6)를 단절시키므로써 실린더(5),(6)의 윤활 및 기밀을 위한 오일 및 오염된 가스들이 진공 설비로 역류하여 제품 및 진공 설비를 오염시키게 되는 것을 방지해 준다. 이때 피스톤(38)이 리턴스프링(41)의 탄발력에 의해 부상할 때(올라올 때) 오일공간(37)내의 오일은 오일통로(36),(35),(34),(33)및 이들과 연통된 오일통로(26)을 통과하여 하부 오일 공간(28)으로 이동하며, 다시 오일통로(27)를 통해 대기압상태인 오일 저장 케이싱(4)으로 회수된다. 여기서 오일통로(26)과 (33)을 분리시키거나 또는 연결해 주는 기능을 갖는 과압 밸브(22)가 펌프 정지시에 스프링(25) 탄발력에 의해 신속하게 뒤로 이동되므로써 역류방지밸브(42a)가 빠르게 작동되어지게 되는 것이다.

오일 펌프(13)에서 이송된 오일은 또 하나의 오일 통로(19),(20) 및 (49),(50)을 따라 이동하여 로터(9),(10)의 슬라이딩 베어링 부(53),(54)에 오일을 강제적으로 공급해 주며, 오일통로(49)로부터 분기된 오일통로(51)를 통해 제2실린더(6)내로 공급해 준다. 이때에 슬라이딩 베어링(53),(54)부 및 제2실린더(6)로 유입된 오일은 각 운동부위에 윤활작용, 기밀작용, 냉각작용을 한 후 제2실린더(6)내의 배기구(65) 구멍을 통하여 진공설비로부터 흡입한 압축가스와 함께 배기밸브(66)를 열고 오일 저장 케이싱(4)내로 회수되며, 가벼운 가스는 배기구(78)를 통해 대기 또는 별도 정화처리장치로 배출된다. 한편 펌프장치(2)의 가동중 오일통로(18),(20)의 오일압은 과압 밸브(22)의 외경틈새(23)와 스프링(25)에 지지된 압력밸브(24)에서 유지하며, 여분의 오일은 압력밸브(24)의 연통공(24a) 및 오일통로(26)를 통해 하부 오일 공간(27)으로 이송되며, 하부 오일 공간(27)내를 가득채운 오일은 오일통로(28)를 통하여(넘쳐흘러) 오일 저장 케이싱(4)으로 회수된다.

또, 제1실린더(5)와 제2실린더(6)가 조립되는 경계면과, 제2실린더(6)와 오일 펌프 하우징(7)의 조립 경계면 및 오일 펌프 하우징(7)과 오일 펌프 카바(8)의 조립 경계면에는 각각 환형의 오일시일공간(59),(57),(55)이 형성되고, 이 환형의 오일시일공간(55),(57),(59)은 오일통로(56),(58)에 연통되어 있어 오일펌프(13)로부터 급송되는 오일이 각 오일시일공간(55),(57),(59)에 공급된다. 이에따라 오일 회로내에 형성된 오일압에 의해 오일시일공간(55),(57),(59)에 오일이 가득차 기밀공간을 형성해 주므로서 펌프장치(2) 외부로부터 각 부재(5),(6),(7),(8)가 조립되는 경계면의 틈새를 통하여 펌프장치(2)내부로 유체가 침투하는 것을 방지해주게 되며, 이로써 각 부품의 면에 기밀을 유지하기 위해 가공 및 삽입되던 O-링 홈 및 O-링이 필요치 않게 되어 부품수가 감소되고 제작이 간단해지며, 기밀유지가 확실하게 된다.

진공펌프(1)가 작동하면 역류방지밸브(42a)가 열리면서 흡입구(46)를 통하여 도시하지 아니한 진공설비로부터 가스가 흡입된다. 흡입된 가스는 하우징(3)의 흡입통로(48)를 통하여 펌프장치(2)의 제1실린더(5)로 흡입되며, 실린더(5)내에서 회전 운동하는 제1로터(9)의 제1베인(11)에 의해 압축된 유체는 흡입통로(62)를 통하여 제2실린더(6)로 배출되어지게 되며, 제2실린더(6)내에서 회전 운동하는 제2로터(10)의 제2베인(12)에 의해 압축된 유체는 배기 구멍(65)을 통하여 배기 밸브(66)를 열고 배기된다.

한편, 제1실린더(5)에서 제2실린더(6)를 한평면에 도시하여 나타낸 도 4에서와 같이 제1실린더(5)에서 제2실린더(6)로 넘어가는 흡입통로(62)에 턱(60)을 형성하여 제1실린더(5)에서 압축되어 제2실린더(6)로 배기된 유체가 제1실린더(5)로 다시 넘어가는 것을 방지하여 펌프의 효율 및 진공성능을 떨어뜨리는 요인을 방지하였으며, 흡입통로(62)내의 턱안쪽 공간(61)내에서 제2실린더(6)로 넘어가지 못하고 잔류한 유체를 제2실린더(6)의 흡입구(64)와 턱안쪽 공간(61)을 경사흡입통로(63)로 서로 경사지게 연결(턱안쪽 공간(61)이 높은 위치임)하여 잔류 유체가 제2실린더(6)측으로 이동되도록 하므로써 고효율의 안정된 진공성능을 갖도록 하였다.

그리고 펌프 장치(2)의 각 운동부위의 윤활작용, 기밀작용, 냉각작용을 위해 사용된 오일 저장 케이싱(4)내의 오일이 과량으로 응축된 가스에 의해 오염되면 펌프의 진공성능이 떨어져 깨끗한 오일을 필요로 하게 된다. 이때에 오일속에 과량으로 응축된 가스를 정화하기 위해 가스밸러스트 밸브(67a)가 펌프 흡입구(46) 일측으로 윗면카바(47)에 설치되어 있으며, 가스밸러스트 밸브(67a)는 제2실린더(6)에 신선한 공기를 공급하여 오일속에 함유된 응축성 가스를 정화하게 된다.

이상과 같은 본 발명에 의하면 펌프장치를 형성하는 제1실린더, 제2실린더, 오일펌프 하우징 및 오일펌프 카바가 순차적으로 조립되어 형성되는 각 부재의 조립경계면에 환형으로 형성되는 작은 크기의 오일시일공간을 형성하고, 그 오일시일공간을 오일펌프로부터 급송되는 오일을 펌프장치의 각 운동부위에 이송되도록 안내하는 오일통로에 연통되도록 하므로써 오일시일공간에 작용하는 높은 오일압에 의하여 조립경게면의 틈새를 완전히 밀봉할 수 있게 되어 기밀유지성이 크게 향상되어 실린더내의 진공성이 향상되며, 종래 시일을 위하여 필요하던 O-링 및 O-링 홈의 가공이 필요없게 되어 장치의 제작비용이 크게 절감되고 O-링의 시일성 유지를 위한 유지보수 효과가 있다.

Claims (1)

1. 회전하는 로터에 의해 진공설비로부터 가스를 흡입 압축하여 배출하는 실린더 및 로터축 단부에 설치된 오일펌프를 보호하는 오일펌프 하우징과 오일펌프 카바를 포함하여 구성되는 진공펌프 장치에 있어서,

   상기 순차적으로 조립되는 실린더, 오일펌프 하우징과 오일펌프 카바의 조립경계면에는 환형의 작은 오일시일공간이 형성되며, 상기 오일시일공간은 오일펌프로부터 급송되는 오일을 펌프장치의 각 운동부로 공급하는 오일통로에 연통시켜 구성하므로써 오일압에 의해 시일되도록 한 것을 특징으로 하는 개선된 시일구조를 가지는 진공펌프 장치.