JP2001304115A - 真空ポンプにおけるガス供給装置 - Google Patents
真空ポンプにおけるガス供給装置Info
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C23/00—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C23/001—Combinations of two or more pumps, each being of rotary-piston or oscillating-piston type, specially adapted for elastic fluids; Pumping installations specially adapted for elastic fluids; Multi-stage pumps specially adapted for elastic fluids of similar working principle
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/87249—Multiple inlet with multiple outlet
Abstract
(57)【要約】
【課題】不活性ガスの供給経路上に逆止弁の機能を組み
込んだ場合の真空ポンプの大型化を抑制する。 【解決手段】ロータハウジング１２には固定絞り器３６
Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄが螺着されている。フロン
トハウジング１３には固定絞り器３７が螺着されてお
り、リヤハウジング１４には固定絞り器３８が螺着され
ている。各固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６
Ｄ，３７，３８には不活性ガスが分岐管５４〜５９を介
して供給される。固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，
３６Ｄ，３７，３８は、逆止弁４４と、逆止弁４４に螺
合された固定絞り４５と、逆止弁４４に螺合された管継
ぎ手４６とからなる。
込んだ場合の真空ポンプの大型化を抑制する。 【解決手段】ロータハウジング１２には固定絞り器３６
Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄが螺着されている。フロン
トハウジング１３には固定絞り器３７が螺着されてお
り、リヤハウジング１４には固定絞り器３８が螺着され
ている。各固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６
Ｄ，３７，３８には不活性ガスが分岐管５４〜５９を介
して供給される。固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，
３６Ｄ，３７，３８は、逆止弁４４と、逆止弁４４に螺
合された固定絞り４５と、逆止弁４４に螺合された管継
ぎ手４６とからなる。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス移送体の移送
動作によって吸引作用をもたらす真空ポンプに対し、前
記ガス移送体の移送動作によって移送される排ガスの存
在領域に別のガスを供給するガス供給装置に関するもの
である。
動作によって吸引作用をもたらす真空ポンプに対し、前
記ガス移送体の移送動作によって移送される排ガスの存
在領域に別のガスを供給するガス供給装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】特開平５−１１８２８６号公報に開示さ
れる真空ポンプでは、一対で組をなすロータが噛合した
状態で回転される。噛合しながら回転する複数のロータ
の回転動作は、排ガスを移送する。パーフルオロカーボ
ン（ＰＦＣ）ガス等の排ガスは、圧力を高くすると固化
したり、ポンプ内の潤滑油が排ガスと化学反応して劣化
したりする。そこで、排ガスの経路内に窒素ガスのよう
な不活性ガスを供給して排ガスの希釈を行なうことが行
われる。
れる真空ポンプでは、一対で組をなすロータが噛合した
状態で回転される。噛合しながら回転する複数のロータ
の回転動作は、排ガスを移送する。パーフルオロカーボ
ン（ＰＦＣ）ガス等の排ガスは、圧力を高くすると固化
したり、ポンプ内の潤滑油が排ガスと化学反応して劣化
したりする。そこで、排ガスの経路内に窒素ガスのよう
な不活性ガスを供給して排ガスの希釈を行なうことが行
われる。
【０００３】特開平５−１１８２８６号公報では、不活
性ガスの供給経路上にニードルバルブあるいは固定絞り
を介在した構成が開示されている。ニードルバルブは、
不活性ガスの供給量を調整できる。固定絞りを用いた装
置における不活性ガスの供給量は、必要供給能力を持っ
た固定絞りの選択によって調整される。
性ガスの供給経路上にニードルバルブあるいは固定絞り
を介在した構成が開示されている。ニードルバルブは、
不活性ガスの供給量を調整できる。固定絞りを用いた装
置における不活性ガスの供給量は、必要供給能力を持っ
た固定絞りの選択によって調整される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】不活性ガスの供給圧力
よりも排ガスの圧力の方が高くなった場合には、排ガス
が不活性ガスの供給経路へと侵入する。このような排ガ
スの侵入は、不活性ガスの供給装置を損傷する原因にな
る。そこで、不活性ガスの供給経路に逆止弁を設けて排
ガスの侵入を防ぐのがよい。しかし、逆止弁は、１つの
ニードルバルブあるいは１つの固定絞りに対して１つ必
要であり、ニードルバルブあるいは固定絞りの数だけの
逆止弁が必要となる。そのため、不活性ガスの供給経路
上に単純に逆止弁を介在する構成は、真空ポンプの大型
化をもたらす。
よりも排ガスの圧力の方が高くなった場合には、排ガス
が不活性ガスの供給経路へと侵入する。このような排ガ
スの侵入は、不活性ガスの供給装置を損傷する原因にな
る。そこで、不活性ガスの供給経路に逆止弁を設けて排
ガスの侵入を防ぐのがよい。しかし、逆止弁は、１つの
ニードルバルブあるいは１つの固定絞りに対して１つ必
要であり、ニードルバルブあるいは固定絞りの数だけの
逆止弁が必要となる。そのため、不活性ガスの供給経路
上に単純に逆止弁を介在する構成は、真空ポンプの大型
化をもたらす。
【０００５】本発明は、不活性ガスの供給経路上に逆止
弁の機能を組み込んだ場合の真空ポンプの大型化を抑制
することを目的とする。
弁の機能を組み込んだ場合の真空ポンプの大型化を抑制
することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そのために本発明は、ガ
ス移送体の移送動作によって吸引作用をもたらす真空ポ
ンプに対し、前記ガス移送体の移送動作によって移送さ
れる排ガスの存在領域に別のガスを供給するガス供給装
置を対象とし、請求項１の発明では、逆流防止機能を備
えた固定流量規定手段を前記別のガスの供給経路上に介
在した。
ス移送体の移送動作によって吸引作用をもたらす真空ポ
ンプに対し、前記ガス移送体の移送動作によって移送さ
れる排ガスの存在領域に別のガスを供給するガス供給装
置を対象とし、請求項１の発明では、逆流防止機能を備
えた固定流量規定手段を前記別のガスの供給経路上に介
在した。
【０００７】逆流防止機能を備えた固定流量規定手段
は、前記別のガスの供給経路への排ガスの侵入を防止す
る。逆流防止機能を備えた固定流量規定手段は、真空ポ
ンプの大型化の抑制に有効である。
は、前記別のガスの供給経路への排ガスの侵入を防止す
る。逆流防止機能を備えた固定流量規定手段は、真空ポ
ンプの大型化の抑制に有効である。
【０００８】請求項２の発明では、請求項１において、
前記供給経路は複数あり、複数の前記供給経路を接続し
たそれぞれの前記存在領域に応じた単位時間当たりの適
正なガス供給量をもたらす固定流量規定手段が選択され
て前記複数の供給経路上に介在されているようにした。
前記供給経路は複数あり、複数の前記供給経路を接続し
たそれぞれの前記存在領域に応じた単位時間当たりの適
正なガス供給量をもたらす固定流量規定手段が選択され
て前記複数の供給経路上に介在されているようにした。
【０００９】所定のガス供給量をもたらす固定流量規定
手段の製造は容易である。前記存在領域に必要なガス供
給量をもたらす固定流量規定手段の選択は簡単である。
請求項３の発明では、請求項１及び請求項２のいずれか
１項において、前記真空ポンプのハウジングにはガス供
給用のねじ孔が前記供給経路の一部として形成されてお
り、前記固定流量規定手段は、前記ねじ孔に螺着した。
手段の製造は容易である。前記存在領域に必要なガス供
給量をもたらす固定流量規定手段の選択は簡単である。
請求項３の発明では、請求項１及び請求項２のいずれか
１項において、前記真空ポンプのハウジングにはガス供
給用のねじ孔が前記供給経路の一部として形成されてお
り、前記固定流量規定手段は、前記ねじ孔に螺着した。
【００１０】螺着によってハウジングへ固定流量規定手
段を取り付ける構成は、簡便である。請求項４の発明で
は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項において、前
記固定流量規定手段は、逆止弁と、オリフィスを備えた
固定絞りとを螺合して一体化されたものであり、前記逆
止弁は前記固定絞りの上流にあるようにした。
段を取り付ける構成は、簡便である。請求項４の発明で
は、請求項１乃至請求項３のいずれか１項において、前
記固定流量規定手段は、逆止弁と、オリフィスを備えた
固定絞りとを螺合して一体化されたものであり、前記逆
止弁は前記固定絞りの上流にあるようにした。
【００１１】オリフィスを備えた固定絞りと逆止弁とを
螺合して一体化した固定流量規定手段は、逆止弁及び固
定絞りの規格品の採用を可能にする。請求項５の発明で
は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、前
記真空ポンプは、複数の回転軸を平行に配置すると共
に、前記各回転軸上にロータを配列し、隣合う回転軸上
のロータを互いに噛み合わせ、互いに噛み合った状態の
複数のロータを１組として収容するポンプ室を前記回転
軸の軸線方向へ複数配列するようにハウジング内に形成
した多段ルーツポンプとした。
螺合して一体化した固定流量規定手段は、逆止弁及び固
定絞りの規格品の採用を可能にする。請求項５の発明で
は、請求項１乃至請求項４のいずれか１項において、前
記真空ポンプは、複数の回転軸を平行に配置すると共
に、前記各回転軸上にロータを配列し、隣合う回転軸上
のロータを互いに噛み合わせ、互いに噛み合った状態の
複数のロータを１組として収容するポンプ室を前記回転
軸の軸線方向へ複数配列するようにハウジング内に形成
した多段ルーツポンプとした。
【００１２】多段ルーツポンプは、本発明の適用対象と
して好適である。
して好適である。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下、本発明を多段ルーツポンプ
に具体化した第１の実施の形態を図１〜図５に基づいて
説明する。
に具体化した第１の実施の形態を図１〜図５に基づいて
説明する。
【００１４】図１（ａ）に示すように、多段ルーツポン
プ１１のロータハウジング１２の前端にはフロントハウ
ジング１３が接合されており、フロントハウジング１３
には封鎖体１０が接合されている。ロータハウジング１
２の後端にはリヤハウジング１４が接合されている。ロ
ータハウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の
隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄとからなる。図２
に示すように、シリンダブロック１５は、一対のブロッ
ク片１７，１８からなり、各隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１６
Ｃ，１６Ｄは一対の壁片１６１，１６２からなる。図１
（ａ）に示すように、フロントハウジング１３と隔壁１
６Ａとの間の空間、隣合う隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１６
Ｃ，１６Ｄの間の空間、及びリヤハウジング１４と隔壁
１６Ｄとの間の空間は、それぞれポンプ室３９，４０，
４１，４２，４３となっている。
プ１１のロータハウジング１２の前端にはフロントハウ
ジング１３が接合されており、フロントハウジング１３
には封鎖体１０が接合されている。ロータハウジング１
２の後端にはリヤハウジング１４が接合されている。ロ
ータハウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の
隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄとからなる。図２
に示すように、シリンダブロック１５は、一対のブロッ
ク片１７，１８からなり、各隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１６
Ｃ，１６Ｄは一対の壁片１６１，１６２からなる。図１
（ａ）に示すように、フロントハウジング１３と隔壁１
６Ａとの間の空間、隣合う隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１６
Ｃ，１６Ｄの間の空間、及びリヤハウジング１４と隔壁
１６Ｄとの間の空間は、それぞれポンプ室３９，４０，
４１，４２，４３となっている。
【００１５】フロントハウジング１３とリヤハウジング
１４とには一対の回転軸１９，２０がラジアルベアリン
グ２１，２１Ａ，２２，２２Ａを介して回転可能に支持
されている。両回転軸１９，２０は互いに平行に配置さ
れている。回転軸１９，２０は隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１
６Ｃ，１６Ｄに通されている回転軸１９には複数のロー
タ２３，２４，２５，２６，２７が一体形成されてお
り、回転軸２０には同数のロータ２８，２９，３０，３
１，３２が一体形成されている。ロータ２３〜３２は、
回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方向に見て同
形同大の形状をしている。ロータ２３，２４，２５，２
６，２７の厚みはこの順に小さくなってゆくようにして
あり、ロータ２８，２９，３０，３１，３２の厚みはこ
の順に小さくなってゆくようにしてある。ロータ２３，
２８は互いに噛合した状態でポンプ室３９に収容されて
おり、ロータ２４，２９は互いに噛合した状態でポンプ
室４０に収容されている。ロータ２５，３０は互いに噛
合した状態でポンプ室４１に収容されており、ロータ２
６，３１は互いに噛合した状態でポンプ室４２に収容さ
れている。ロータ２７，３２は互いに噛合した状態でポ
ンプ室４３に収容されている。
１４とには一対の回転軸１９，２０がラジアルベアリン
グ２１，２１Ａ，２２，２２Ａを介して回転可能に支持
されている。両回転軸１９，２０は互いに平行に配置さ
れている。回転軸１９，２０は隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１
６Ｃ，１６Ｄに通されている回転軸１９には複数のロー
タ２３，２４，２５，２６，２７が一体形成されてお
り、回転軸２０には同数のロータ２８，２９，３０，３
１，３２が一体形成されている。ロータ２３〜３２は、
回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方向に見て同
形同大の形状をしている。ロータ２３，２４，２５，２
６，２７の厚みはこの順に小さくなってゆくようにして
あり、ロータ２８，２９，３０，３１，３２の厚みはこ
の順に小さくなってゆくようにしてある。ロータ２３，
２８は互いに噛合した状態でポンプ室３９に収容されて
おり、ロータ２４，２９は互いに噛合した状態でポンプ
室４０に収容されている。ロータ２５，３０は互いに噛
合した状態でポンプ室４１に収容されており、ロータ２
６，３１は互いに噛合した状態でポンプ室４２に収容さ
れている。ロータ２７，３２は互いに噛合した状態でポ
ンプ室４３に収容されている。
【００１６】リヤハウジング１４には駆動部３３が組み
付けられている。回転軸１９，２０はリヤハウジング１
４を貫通して駆動部３３内に突出しており、各回転軸１
９，２０の突出端部には歯車３４，３５が互いに噛合し
た状態で止着されている。回転軸１９は駆動部３３内の
図示しないモータによって図２〜図４の矢印Ｒ１の方向
に回転される。回転軸１９の回転は歯車３４，３５を介
して回転軸２０に伝えられ、回転軸２０は図２〜図４の
矢印Ｒ２で示すように回転軸１９とは逆方向に回転す
る。
付けられている。回転軸１９，２０はリヤハウジング１
４を貫通して駆動部３３内に突出しており、各回転軸１
９，２０の突出端部には歯車３４，３５が互いに噛合し
た状態で止着されている。回転軸１９は駆動部３３内の
図示しないモータによって図２〜図４の矢印Ｒ１の方向
に回転される。回転軸１９の回転は歯車３４，３５を介
して回転軸２０に伝えられ、回転軸２０は図２〜図４の
矢印Ｒ２で示すように回転軸１９とは逆方向に回転す
る。
【００１７】図１（ａ）及び図２に示すように、隔壁１
６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄ内には通路１６３が形成
されている。図２に示すように、隔壁１６Ａ，１６Ｂ，
１６Ｃ，１６Ｄには通路１６３の入口１６４及び出口１
６５が形成されている。隣合うポンプ室３９，４０，４
１，４２，４３は、通路１６３を介して連通している。
６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄ内には通路１６３が形成
されている。図２に示すように、隔壁１６Ａ，１６Ｂ，
１６Ｃ，１６Ｄには通路１６３の入口１６４及び出口１
６５が形成されている。隣合うポンプ室３９，４０，４
１，４２，４３は、通路１６３を介して連通している。
【００１８】図３に示すように、ブロック片１８にはガ
ス導入口１８１がポンプ室３９に連通するように形成さ
れている。図４に示すように、ブロック片１７にはガス
排出口１７１がポンプ室４３に連通するように形成され
ている。ガス導入口１８１からポンプ室３９に導入され
たガスは、ロータ２３，２８の回転によって隔壁１６Ａ
の入口１６４から通路１６３を経由して出口１６５から
隣のポンプ室４０へ移送される。以下、同様にガスは、
ポンプ室の容積が小さくなる順、即ちポンプ室４０，４
１，４２，４３の順に移送される。ポンプ室４３へ移送
されたガスは、ガス排出口１７１から外部へ排出され
る。ロータ２３〜３２は、ガスを移送するガス移送体で
ある。
ス導入口１８１がポンプ室３９に連通するように形成さ
れている。図４に示すように、ブロック片１７にはガス
排出口１７１がポンプ室４３に連通するように形成され
ている。ガス導入口１８１からポンプ室３９に導入され
たガスは、ロータ２３，２８の回転によって隔壁１６Ａ
の入口１６４から通路１６３を経由して出口１６５から
隣のポンプ室４０へ移送される。以下、同様にガスは、
ポンプ室の容積が小さくなる順、即ちポンプ室４０，４
１，４２，４３の順に移送される。ポンプ室４３へ移送
されたガスは、ガス排出口１７１から外部へ排出され
る。ロータ２３〜３２は、ガスを移送するガス移送体で
ある。
【００１９】図１（ａ）に示すように、ロータハウジン
グ１２には複数の固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，
３６Ｄが螺着されている。図２に示すように、ロータハ
ウジング１２にはねじ孔１２１が形成されており、ねじ
孔１２１には固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６
Ｄが螺合されている。ねじ孔１２１は、隔壁１６Ａ，１
６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄの通路１６３に連通している。
グ１２には複数の固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，
３６Ｄが螺着されている。図２に示すように、ロータハ
ウジング１２にはねじ孔１２１が形成されており、ねじ
孔１２１には固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６
Ｄが螺合されている。ねじ孔１２１は、隔壁１６Ａ，１
６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄの通路１６３に連通している。
【００２０】図１（ａ）に示すように、フロントハウジ
ング１３にはねじ孔１３４が形成されており、ねじ孔１
３４には固定絞り器３７が螺合されている。リヤハウジ
ング１４にはねじ孔１４４が形成されており、ねじ孔１
４４には固定絞り器３８が螺合されている。各固定絞り
器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８には分
岐管５４，５５，５６，５７，５８，５９が接続されて
おり、分岐管５４，５５，５６，５７，５８，５９は主
管６０に接続されている。主管６０は、図示しないガス
供給源に接続されている。ガス供給源の不活性ガス（例
えば窒素ガス）は、主管６０及び分岐管５４〜５９を介
して各固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３
７，３８に供給される。
ング１３にはねじ孔１３４が形成されており、ねじ孔１
３４には固定絞り器３７が螺合されている。リヤハウジ
ング１４にはねじ孔１４４が形成されており、ねじ孔１
４４には固定絞り器３８が螺合されている。各固定絞り
器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８には分
岐管５４，５５，５６，５７，５８，５９が接続されて
おり、分岐管５４，５５，５６，５７，５８，５９は主
管６０に接続されている。主管６０は、図示しないガス
供給源に接続されている。ガス供給源の不活性ガス（例
えば窒素ガス）は、主管６０及び分岐管５４〜５９を介
して各固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３
７，３８に供給される。
【００２１】図１（ｂ）に示すように、固定絞り器３６
Ａは、逆止弁４４と、逆止弁４４の雄ねじ部４４１に雌
ねじ部４５１を介して螺合された固定絞り４５と、逆止
弁４４の雄ねじ部４４２に雌ねじ部４６１を介して螺合
された管継ぎ手４６とからなる。逆止弁４４と固定絞り
４５との間にはシールリング４７が介在されている。固
定絞り４５の先端部にはオリフィス４５３が形成されて
いる。固定絞り４５の先端部は雄ねじ部４５２となって
おり、固定絞り器３６Ａは雄ねじ部４５２をねじ孔１２
１に螺合して螺着される。図５は、固定絞り器３６Ａ，
３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８を逆止弁４４、固
定絞り４５及び管継ぎ手４６に分解した状態を示す。逆
止弁４４は固定絞り４５の上流側にある。
Ａは、逆止弁４４と、逆止弁４４の雄ねじ部４４１に雌
ねじ部４５１を介して螺合された固定絞り４５と、逆止
弁４４の雄ねじ部４４２に雌ねじ部４６１を介して螺合
された管継ぎ手４６とからなる。逆止弁４４と固定絞り
４５との間にはシールリング４７が介在されている。固
定絞り４５の先端部にはオリフィス４５３が形成されて
いる。固定絞り４５の先端部は雄ねじ部４５２となって
おり、固定絞り器３６Ａは雄ねじ部４５２をねじ孔１２
１に螺合して螺着される。図５は、固定絞り器３６Ａ，
３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８を逆止弁４４、固
定絞り４５及び管継ぎ手４６に分解した状態を示す。逆
止弁４４は固定絞り４５の上流側にある。
【００２２】図１（ｂ）に示すように、逆止弁４４は、
弁孔５１１を形成したハウジング５１と、ばね座兼用の
ガイド４８と、ガイド４８によって摺動案内される弁支
持体４９と、弁支持体４９に取り付けられたリング形状
のゴム製の弾性弁５０と、弁支持体４９を弁孔５１１側
に付勢するばね５２とを備えている。弁支持体４９には
通過溝４９１が形成されている。分岐管５４は、逆止弁
４４に嵌入されている。
弁孔５１１を形成したハウジング５１と、ばね座兼用の
ガイド４８と、ガイド４８によって摺動案内される弁支
持体４９と、弁支持体４９に取り付けられたリング形状
のゴム製の弾性弁５０と、弁支持体４９を弁孔５１１側
に付勢するばね５２とを備えている。弁支持体４９には
通過溝４９１が形成されている。分岐管５４は、逆止弁
４４に嵌入されている。
【００２３】管継ぎ手４６は、一対のゴム製のシールリ
ング５３Ａ，５３Ｂを備えている。逆止弁４４に対して
管継ぎ手４６を締め付けると、シールリング５３Ａが管
継ぎ手４６と分岐管５４との間で弾性変形すると共に、
シールリング５３Ｂが逆止弁４４と分岐管５４との間で
弾性変形する。分岐管５４は、シールリング５３Ａ，５
３Ｂの弾性変形によって固定絞り器３６Ａからの抜けを
阻止される。
ング５３Ａ，５３Ｂを備えている。逆止弁４４に対して
管継ぎ手４６を締め付けると、シールリング５３Ａが管
継ぎ手４６と分岐管５４との間で弾性変形すると共に、
シールリング５３Ｂが逆止弁４４と分岐管５４との間で
弾性変形する。分岐管５４は、シールリング５３Ａ，５
３Ｂの弾性変形によって固定絞り器３６Ａからの抜けを
阻止される。
【００２４】他の固定絞り器３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，
３７，３８も固定絞り器３６Ａと同じ構造である。固定
絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８へ
送られた不活性ガスは、ばね５２のばね力に抗して弾性
弁５０を押し退けて弁孔５１１を通過する。弁孔５１１
を通過した不活性ガスは、通過溝４９１を経由して固定
絞り４５内に入る。固定絞り４５内に入った不活性ガス
は、オリフィス４５３を通過する。
３７，３８も固定絞り器３６Ａと同じ構造である。固定
絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８へ
送られた不活性ガスは、ばね５２のばね力に抗して弾性
弁５０を押し退けて弁孔５１１を通過する。弁孔５１１
を通過した不活性ガスは、通過溝４９１を経由して固定
絞り４５内に入る。固定絞り４５内に入った不活性ガス
は、オリフィス４５３を通過する。
【００２５】図１（ａ）に示すように、固定絞り器３７
を螺合したねじ孔１３４にはフロントハウジング１３内
の通路１３１が接続されている。通路１３１は、回転軸
１９，２０の周囲の環状の通路１３２，１３３に通じて
いる。通路１３２，１３３は、ラジアルベアリング２
１，２２とロータ２３，２８との間に設けられている。
を螺合したねじ孔１３４にはフロントハウジング１３内
の通路１３１が接続されている。通路１３１は、回転軸
１９，２０の周囲の環状の通路１３２，１３３に通じて
いる。通路１３２，１３３は、ラジアルベアリング２
１，２２とロータ２３，２８との間に設けられている。
【００２６】固定絞り器３８を螺合したねじ孔１４４に
はリヤハウジング１４内の通路１４１が接続されてい
る。通路１４１は、回転軸１９，２０の周囲の環状の通
路１４２，１４３に通じている。通路１４２，１４３
は、ラジアルベアリング２１Ａ，２２Ａとロータ２７，
３２との間に設けられている。
はリヤハウジング１４内の通路１４１が接続されてい
る。通路１４１は、回転軸１９，２０の周囲の環状の通
路１４２，１４３に通じている。通路１４２，１４３
は、ラジアルベアリング２１Ａ，２２Ａとロータ２７，
３２との間に設けられている。
【００２７】主管６０及び分岐管５４を介して固定絞り
器３６Ａに送られた不活性ガスは、隔壁１６Ａ内の通路
１６３へ送り込まれる。主管６０及び分岐管５５を介し
て固定絞り器３６Ｂに送られた不活性ガスは、隔壁１６
Ｂ内の通路１６３へ送り込まれる。主管６０及び分岐管
５６を介して固定絞り器３６Ｃに送られた不活性ガス
は、隔壁１６Ｃ内の通路１６３へ送り込まれる。主管６
０及び分岐管５７を介して固定絞り器３６Ｄに送られた
不活性ガスは、隔壁１６Ｄ内の通路１６３へ送り込まれ
る。各通路１６３内へ送り込まれた不活性ガスは、各通
路１６３内の排ガス〔例えばパーフルオロカーボン（Ｐ
ＦＣ）ガス等の排ガス〕を希釈する。
器３６Ａに送られた不活性ガスは、隔壁１６Ａ内の通路
１６３へ送り込まれる。主管６０及び分岐管５５を介し
て固定絞り器３６Ｂに送られた不活性ガスは、隔壁１６
Ｂ内の通路１６３へ送り込まれる。主管６０及び分岐管
５６を介して固定絞り器３６Ｃに送られた不活性ガス
は、隔壁１６Ｃ内の通路１６３へ送り込まれる。主管６
０及び分岐管５７を介して固定絞り器３６Ｄに送られた
不活性ガスは、隔壁１６Ｄ内の通路１６３へ送り込まれ
る。各通路１６３内へ送り込まれた不活性ガスは、各通
路１６３内の排ガス〔例えばパーフルオロカーボン（Ｐ
ＦＣ）ガス等の排ガス〕を希釈する。
【００２８】主管６０及び分岐管５８を介して固定絞り
器３７に送られた不活性ガスは、通路１３１，１３２，
１３３へ送り込まれる。通路１３２，１３３へ送り込ま
れた不活性ガスは、回転軸１９，２０とフロントハウジ
ング１３との間の間隙からラジアルベアリング２１，２
２へ侵入しようとする排ガスを希釈する。
器３７に送られた不活性ガスは、通路１３１，１３２，
１３３へ送り込まれる。通路１３２，１３３へ送り込ま
れた不活性ガスは、回転軸１９，２０とフロントハウジ
ング１３との間の間隙からラジアルベアリング２１，２
２へ侵入しようとする排ガスを希釈する。
【００２９】主管６０及び分岐管５９を介して固定絞り
器３８に送られた不活性ガスは、通路１４１，１４２，
１４３へ送り込まれる。通路１４２，１４３へ送り込ま
れた不活性ガスは、回転軸１９，２０とリヤハウジング
１４との間の間隙からラジアルベアリング２１Ａ，２２
Ａへ侵入しようとする排ガスを希釈する。
器３８に送られた不活性ガスは、通路１４１，１４２，
１４３へ送り込まれる。通路１４２，１４３へ送り込ま
れた不活性ガスは、回転軸１９，２０とリヤハウジング
１４との間の間隙からラジアルベアリング２１Ａ，２２
Ａへ侵入しようとする排ガスを希釈する。
【００３０】第１の実施の形態では以下の効果が得られ
る。 （１-1）不活性ガスの供給圧力、即ち主管６０及び分岐
管５４〜５９内の圧力は、各隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１６
Ｃ，１６Ｄ内の通路１６３内の予想圧力、及び通路１３
２，１３３，１４２，１４３内の予想圧力よりも高くし
てある。しかし、通路１６３内あるいは通路１３２，１
３３，１４２，１４３内の圧力が不活性ガスの供給圧力
よりも高くなるおそれもある。逆止弁４４は、分岐管５
４〜５９側への排ガスの侵入を防止する。逆止弁４４と
固定絞り４５とを組み合わせて単品とした固定絞り器３
６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８は、分岐管
５４〜５９及び主管６０という不活性ガスの供給経路へ
の排ガスの侵入を防止する逆流防止機能を備えた固定流
量規定手段となる。逆止弁４４と固定絞り４５とを組み
合わせて単品とした固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６
Ｃ，３６Ｄ，３７，３８は、逆止弁と固定絞りとの間に
配管を介在した構成に比べてコンパクトである。従っ
て、逆流防止機能を備えた固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，
３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８は、真空ポンプの大型化の
抑制に有効である。
る。 （１-1）不活性ガスの供給圧力、即ち主管６０及び分岐
管５４〜５９内の圧力は、各隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１６
Ｃ，１６Ｄ内の通路１６３内の予想圧力、及び通路１３
２，１３３，１４２，１４３内の予想圧力よりも高くし
てある。しかし、通路１６３内あるいは通路１３２，１
３３，１４２，１４３内の圧力が不活性ガスの供給圧力
よりも高くなるおそれもある。逆止弁４４は、分岐管５
４〜５９側への排ガスの侵入を防止する。逆止弁４４と
固定絞り４５とを組み合わせて単品とした固定絞り器３
６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８は、分岐管
５４〜５９及び主管６０という不活性ガスの供給経路へ
の排ガスの侵入を防止する逆流防止機能を備えた固定流
量規定手段となる。逆止弁４４と固定絞り４５とを組み
合わせて単品とした固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６
Ｃ，３６Ｄ，３７，３８は、逆止弁と固定絞りとの間に
配管を介在した構成に比べてコンパクトである。従っ
て、逆流防止機能を備えた固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，
３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８は、真空ポンプの大型化の
抑制に有効である。
【００３１】（１-2）各隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，
１６Ｄ内の通路１６３内の圧力、通路１３２，１３３内
の圧力、及び通路１４２，１４３内の圧力は、それぞれ
異なる。従って、各隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６
Ｄ内の通路１６３内の排ガスの濃度、通路１３２，１３
３内の排ガスの濃度、通路１４２，１４３内の排ガスの
濃度は、それぞれ異なる。従って、各隔壁１６Ａ，１６
Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄ内の通路１６３、通路１３２，１３
３、通路１４２，１４３という排ガスの存在領域に対す
る不活性ガスの単位時間当たりの適正な供給量もそれぞ
れ異なる。固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６
Ｄ，３７，３８は、前記した排ガスの存在領域に対する
不活性ガスの単位時間当たりの適正な供給量をもたらす
ように選択してある。即ち、固定絞り器３６Ａ，３６
Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８におけるオリフィス４
５３の径Ｄ〔図１（ｂ）に図示〕は、分岐管５４〜５９
及び主管６０という供給経路内の圧力、前記存在領域内
の圧力等を考慮して前記適正な供給量をもたらすように
設定されている。このような所定のガス供給量をもたら
すオリフィス４５３の径の設定は、ガス供給圧、前記存
在領域の圧力がわかっていれば容易に計算できる。従っ
て、所定のガス供給量をもたらす固定絞り器３６Ａ，３
６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８の製造は容易であ
り、前記存在領域に必要なガス供給量をもたらす固定絞
り器の選択は簡単である。
１６Ｄ内の通路１６３内の圧力、通路１３２，１３３内
の圧力、及び通路１４２，１４３内の圧力は、それぞれ
異なる。従って、各隔壁１６Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６
Ｄ内の通路１６３内の排ガスの濃度、通路１３２，１３
３内の排ガスの濃度、通路１４２，１４３内の排ガスの
濃度は、それぞれ異なる。従って、各隔壁１６Ａ，１６
Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄ内の通路１６３、通路１３２，１３
３、通路１４２，１４３という排ガスの存在領域に対す
る不活性ガスの単位時間当たりの適正な供給量もそれぞ
れ異なる。固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６Ｃ，３６
Ｄ，３７，３８は、前記した排ガスの存在領域に対する
不活性ガスの単位時間当たりの適正な供給量をもたらす
ように選択してある。即ち、固定絞り器３６Ａ，３６
Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８におけるオリフィス４
５３の径Ｄ〔図１（ｂ）に図示〕は、分岐管５４〜５９
及び主管６０という供給経路内の圧力、前記存在領域内
の圧力等を考慮して前記適正な供給量をもたらすように
設定されている。このような所定のガス供給量をもたら
すオリフィス４５３の径の設定は、ガス供給圧、前記存
在領域の圧力がわかっていれば容易に計算できる。従っ
て、所定のガス供給量をもたらす固定絞り器３６Ａ，３
６Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８の製造は容易であ
り、前記存在領域に必要なガス供給量をもたらす固定絞
り器の選択は簡単である。
【００３２】（１-3）固定絞り器３６Ａ，３６Ｂ，３６
Ｃ，３６Ｄ，３７，３８は、不活性ガスの供給経路の一
部としてハウジング１２，１３，１４に形成されたねじ
孔１２１，１３４，１４４に螺着される。螺着によって
ハウジング１２，１３，１４へ固定絞り器３６Ａ，３６
Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８を取り付ける構成は、
簡便である。
Ｃ，３６Ｄ，３７，３８は、不活性ガスの供給経路の一
部としてハウジング１２，１３，１４に形成されたねじ
孔１２１，１３４，１４４に螺着される。螺着によって
ハウジング１２，１３，１４へ固定絞り器３６Ａ，３６
Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８を取り付ける構成は、
簡便である。
【００３３】（１-4）逆止弁４４及び固定絞り４５とし
ては、既存の規格品を利用することができる。既存の規
格品の採用はコスト的に有利である。 （１-5）多段ルーツポンプ１１は、不活性ガスの必要供
給量の異なる複数の前記存在領域（即ち、各隔壁１６
Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄ内の通路１６３、環状の通
路１３２，１３３，１４２，１４３）を有する。このよ
うな多段ルーツポンプ１１は、複数の供給経路となる分
岐管５４〜５９を接続したそれぞれの存在領域に応じた
適正なガス供給量をもたらす固定絞り器３６Ａ，３６
Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８を選択して分岐管５４
〜５９上に介在するという本発明の適用対象として好適
である。
ては、既存の規格品を利用することができる。既存の規
格品の採用はコスト的に有利である。 （１-5）多段ルーツポンプ１１は、不活性ガスの必要供
給量の異なる複数の前記存在領域（即ち、各隔壁１６
Ａ，１６Ｂ，１６Ｃ，１６Ｄ内の通路１６３、環状の通
路１３２，１３３，１４２，１４３）を有する。このよ
うな多段ルーツポンプ１１は、複数の供給経路となる分
岐管５４〜５９を接続したそれぞれの存在領域に応じた
適正なガス供給量をもたらす固定絞り器３６Ａ，３６
Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８を選択して分岐管５４
〜５９上に介在するという本発明の適用対象として好適
である。
【００３４】次に、図６の第２の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。この実施の形態における固定絞り器６２では、
オリフィス６１１を有する円板形状の固定絞り６１が逆
止弁４４Ａの筒内に圧入されている。固定絞り器６２
は、第１の実施の形態における固定絞り器３６Ａ，３６
Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８よりもコンパクトにな
る。
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。この実施の形態における固定絞り器６２では、
オリフィス６１１を有する円板形状の固定絞り６１が逆
止弁４４Ａの筒内に圧入されている。固定絞り器６２
は、第１の実施の形態における固定絞り器３６Ａ，３６
Ｂ，３６Ｃ，３６Ｄ，３７，３８よりもコンパクトにな
る。
【００３５】本発明では以下のような実施の形態も可能
である。 （１）第１の実施の形態において、環状の通路１３２，
１３３にそれぞれ別の固定絞り器から不活性ガスを供給
し、環状の通路１４２，１４３にそれぞれ別の固定絞り
器から不活性ガスを供給すること。 （２）第１の実施の形態において、環状の通路１３２，
１３３，１４２，１４３の代わりにラビリンスシールを
用いること。 （３）ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用す
ること。
である。 （１）第１の実施の形態において、環状の通路１３２，
１３３にそれぞれ別の固定絞り器から不活性ガスを供給
し、環状の通路１４２，１４３にそれぞれ別の固定絞り
器から不活性ガスを供給すること。 （２）第１の実施の形態において、環状の通路１３２，
１３３，１４２，１４３の代わりにラビリンスシールを
用いること。 （３）ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用す
ること。
【００３６】
【発明の効果】以上詳述したように本発明では、逆流防
止機能を備えた固定流量規定手段を別のガスの供給経路
上に介在したので、別のガスの供給経路上に逆止弁の機
能を組み込んだ場合の真空ポンプの大型化を抑制し得る
という優れた効果を奏する。
止機能を備えた固定流量規定手段を別のガスの供給経路
上に介在したので、別のガスの供給経路上に逆止弁の機
能を組み込んだ場合の真空ポンプの大型化を抑制し得る
という優れた効果を奏する。
【図１】第１の実施の形態を示し、（ａ）は平断面図。
（ｂ）は固定絞り器の断面図。
（ｂ）は固定絞り器の断面図。
【図２】図１のＡ−Ａ線断面図。
【図３】図１のＢ−Ｂ線断面図。
【図４】図１のＣ−Ｃ線断面図。
【図５】要部分解斜視図。
【図６】第２の実施の形態を示す要部側断面図。
１１…多段ルーツポンプ。１２…ハウジングを構成する
ロータハウジング。１３…ハウジングを構成するフロン
トハウジング。１４…ハウジングを構成するリヤハウジ
ング。１２１，１３４，１４４…ねじ孔。１３２，１３
３，１４２，１４３，１６３…存在領域となる通路。１
９，２０…回転軸。２３〜３２…ガス移送体となるロー
タ。３９〜４３…ポンプ室。５４，５５，５６，５７，
５８，５９…供給経路となる分岐管。
ロータハウジング。１３…ハウジングを構成するフロン
トハウジング。１４…ハウジングを構成するリヤハウジ
ング。１２１，１３４，１４４…ねじ孔。１３２，１３
３，１４２，１４３，１６３…存在領域となる通路。１
９，２０…回転軸。２３〜３２…ガス移送体となるロー
タ。３９〜４３…ポンプ室。５４，５５，５６，５７，
５８，５９…供給経路となる分岐管。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 桑原 衛 愛知県刈谷市豊田町２丁目１番地 株式会 社豊田自動織機製作所内 Ｆターム(参考） 3H029 AA06 AA09 AA17 AB06 BB32 CC01 CC09 CC13 CC23 3H076 AA16 AA21 AA39 BB38 BB41 CC43 CC46 CC86 CC91 CC99
Claims (5)
- 【請求項１】ガス移送体の移送動作によって吸引作用を
もたらす真空ポンプに対し、前記ガス移送体の移送動作
によって移送される排ガスの存在領域に別のガスを供給
するガス供給装置において、 逆流防止機能を備えた固定流量規定手段を前記別のガス
の供給経路上に介在した真空ポンプにおけるガス供給装
置。 - 【請求項２】前記供給経路は複数あり、複数の前記供給
経路を接続したそれぞれの前記存在領域に応じた単位時
間当たりの適正なガス供給量をもたらす固定流量規定手
段が選択されて前記複数の供給経路上に介在されている
請求項１に記載の真空ポンプにおけるガス供給装置。 - 【請求項３】前記真空ポンプのハウジングにはガス供給
用のねじ孔が前記供給経路の一部として形成されてお
り、前記固定流量規定手段は、前記ねじ孔に螺着されて
いる請求項１及び請求項２のいずれか１項に記載の真空
ポンプにおけるガス供給装置。 - 【請求項４】前記固定流量規定手段は、逆止弁と、オリ
フィスを備えた固定絞りとを螺合して一体化されたもの
であり、前記逆止弁は前記固定絞りの上流にある請求項
１乃至請求項３のいずれか１項に記載の真空ポンプにお
けるガス供給装置。 - 【請求項５】前記真空ポンプは、複数の回転軸を平行に
配置すると共に、前記各回転軸上にロータを配列し、隣
合う回転軸上のロータを互いに噛み合わせ、互いに噛み
合った状態の複数のロータを１組として収容するポンプ
室を前記回転軸の軸線方向へ複数配列するようにハウジ
ング内に形成した多段ルーツポンプである請求項１乃至
請求項４のいずれか１項に記載の真空ポンプにおけるガ
ス供給装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000125272A JP2001304115A (ja) | 2000-04-26 | 2000-04-26 | 真空ポンプにおけるガス供給装置 |
| EP01109986A EP1150015A3 (en) | 2000-04-26 | 2001-04-25 | Vacuum pump |
| US09/841,742 US6471497B2 (en) | 2000-04-26 | 2001-04-25 | Gas supplying device for vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000125272A JP2001304115A (ja) | 2000-04-26 | 2000-04-26 | 真空ポンプにおけるガス供給装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001304115A true JP2001304115A (ja) | 2001-10-31 |
Family
ID=18635255
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000125272A Withdrawn JP2001304115A (ja) | 2000-04-26 | 2000-04-26 | 真空ポンプにおけるガス供給装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6471497B2 (ja) |
| EP (1) | EP1150015A3 (ja) |
| JP (1) | JP2001304115A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008281003A (ja) * | 2007-05-11 | 2008-11-20 | Alcatel-Lucent | ドライ真空ポンプ |
| JP2013515899A (ja) * | 2009-12-24 | 2013-05-09 | エドワーズ リミテッド | ポンプ |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3941452B2 (ja) * | 2001-10-17 | 2007-07-04 | 株式会社豊田自動織機 | 真空ポンプにおける運転停止制御方法及び運転停止制御装置 |
| JP3758550B2 (ja) * | 2001-10-24 | 2006-03-22 | アイシン精機株式会社 | 多段真空ポンプ |
| JP3991918B2 (ja) * | 2003-05-19 | 2007-10-17 | 株式会社豊田自動織機 | ルーツポンプ |
| GB0519742D0 (en) * | 2005-09-28 | 2005-11-09 | Boc Group Plc | Method of pumping gas |
| GB0620144D0 (en) * | 2006-10-11 | 2006-11-22 | Boc Group Plc | Vacuum pump |
| KR100873104B1 (ko) * | 2007-03-16 | 2008-12-09 | 삼성전자주식회사 | 회전체 크리닝 유니트 및 이를 갖는 진공펌프 |
| GB0719394D0 (en) * | 2007-10-04 | 2007-11-14 | Edwards Ltd | A multi stage clam shell vacuum pump |
| KR20100091063A (ko) * | 2009-02-09 | 2010-08-18 | 삼성전자주식회사 | 회전체 크리닝 장치 및 이를 갖는 진공 펌프 |
| FR2988443B1 (fr) * | 2012-03-23 | 2014-04-25 | Peugeot Citroen Automobiles Sa | Pompe a vide a connecteur optimise |
| TR201901251T4 (tr) | 2015-06-17 | 2019-02-21 | Jurop S P A | Bir atık madde giriş ekipmanı ya da sistemi için emme/sıkıştırma düzeneği. |
| DK180548B1 (en) * | 2019-11-29 | 2021-06-17 | Danhydra As | Double pump |
| GB2608381A (en) * | 2021-06-29 | 2023-01-04 | Edwards Korea Ltd | Stator assembly for a roots vacuum pump |
Family Cites Families (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3189046A (en) * | 1962-11-09 | 1965-06-15 | Nuclear Products Company | Poppet check valve |
| FR93701E (fr) * | 1967-04-03 | 1969-05-09 | Legris Fils | Programmateur a fluide et a circuit intégré. |
| GB1364854A (en) * | 1971-08-23 | 1974-08-29 | Cenco Inc | Vacuum pump |
| US3782640A (en) * | 1972-03-01 | 1974-01-01 | J Kirschmann | Valve mechanism for liquid applicator |
| US4257443A (en) * | 1978-12-15 | 1981-03-24 | Victor Equipment Company | Check valve |
| AU550468B2 (en) * | 1980-09-19 | 1986-03-20 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Compressor capability control |
| JPS57126591A (en) * | 1981-01-29 | 1982-08-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Compressor |
| US4867200A (en) * | 1988-06-30 | 1989-09-19 | Markley George L | Unidirectional fluid flow check valve assembly |
| EP0370117B1 (de) * | 1988-10-24 | 1994-01-12 | Leybold Aktiengesellschaft | Zweiwellenvakuumpumpe und Verfahren zu ihrem Betrieb |
| EP0365695B1 (de) * | 1988-10-24 | 1992-11-25 | Leybold Aktiengesellschaft | Zweiwellenvakuumpumpe mit Schöpfraum |
| KR940000217B1 (ko) * | 1989-06-05 | 1994-01-12 | 가부시기가이샤 히다찌 세이사꾸쇼 | 스크류 압축장치 및 그 제어장치 |
| KR100203019B1 (ko) * | 1991-03-04 | 1999-06-15 | 우도 벡; 클라우스 한, 파울 바흐만 | 다단 건식 진공펌프의 불활성 가스 공급장치 |
| JPH0679159A (ja) | 1991-07-17 | 1994-03-22 | Tokyo Electron Ltd | 真空室用ガス導入装置 |
| JP3009263B2 (ja) | 1991-09-05 | 2000-02-14 | 株式会社荏原製作所 | 多段真空ポンプのガス供給装置 |
| JPH0599181A (ja) | 1991-10-02 | 1993-04-20 | Hitachi Ltd | ドライ真空ポンプの潤滑油自動回収装置 |
| US5277224A (en) * | 1993-03-02 | 1994-01-11 | Century Industries Inc. | Five valve manifold for use with a pressure sensing apparatus |
| US5752481A (en) * | 1993-10-18 | 1998-05-19 | Valve Maintenance Corporation | Injection valve assembly for an internal combustion engine |
| JP3553310B2 (ja) | 1997-03-11 | 2004-08-11 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気システム |
| DE19962445A1 (de) * | 1999-12-22 | 2001-06-28 | Leybold Vakuum Gmbh | Trockenverdichtende Vakuumpumpe mit Gasballasteinrichtung |
-
2000
- 2000-04-26 JP JP2000125272A patent/JP2001304115A/ja not_active Withdrawn
-
2001
- 2001-04-25 US US09/841,742 patent/US6471497B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2001-04-25 EP EP01109986A patent/EP1150015A3/en not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008281003A (ja) * | 2007-05-11 | 2008-11-20 | Alcatel-Lucent | ドライ真空ポンプ |
| JP2013515899A (ja) * | 2009-12-24 | 2013-05-09 | エドワーズ リミテッド | ポンプ |
| US9334863B2 (en) | 2009-12-24 | 2016-05-10 | Edwards Limited | Pump |
| TWI564484B (zh) * | 2009-12-24 | 2017-01-01 | 愛德華有限公司 | Pump |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20020004016A1 (en) | 2002-01-10 |
| US6471497B2 (en) | 2002-10-29 |
| EP1150015A2 (en) | 2001-10-31 |
| EP1150015A3 (en) | 2003-01-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060623 |
|
| A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20070309 |