JP2002122088A - 真空ポンプにおける流路構造 - Google Patents
真空ポンプにおける流路構造Info
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/12—Arrangements for admission or discharge of the working fluid, e.g. constructional features of the inlet or outlet
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/06—Silencing
- F04C29/065—Noise dampening volumes, e.g. muffler chambers
-
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- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
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- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】排ガスのガス流路上に介在された逆流防止手段
における動作障害の発生を防止する。 【解決手段】ガイド管４１の管内には弁体４３及び復帰
ばね４４が収容されている。ガイド管４１にはテーパ形
状の弁孔４１１が形成されており、弁体４３は弁孔４１
１を開閉する。弁体４３は、弁孔４１１を閉鎖する閉鎖
端壁４５と、円筒形状の周壁４６と、周壁４６の外周面
に振り分けられて立設された複数の摺接突部４７と、閉
鎖端壁４５の外周に止着されたシールリング５０とから
なる。ガイド管４１、弁体４３及び復帰ばね４４は、逆
流防止手段を構成する。復帰ばね４４は、弁孔４１１を
閉じる方向へ弁体４３を付勢する。
における動作障害の発生を防止する。 【解決手段】ガイド管４１の管内には弁体４３及び復帰
ばね４４が収容されている。ガイド管４１にはテーパ形
状の弁孔４１１が形成されており、弁体４３は弁孔４１
１を開閉する。弁体４３は、弁孔４１１を閉鎖する閉鎖
端壁４５と、円筒形状の周壁４６と、周壁４６の外周面
に振り分けられて立設された複数の摺接突部４７と、閉
鎖端壁４５の外周に止着されたシールリング５０とから
なる。ガイド管４１、弁体４３及び復帰ばね４４は、逆
流防止手段を構成する。復帰ばね４４は、弁孔４１１を
閉じる方向へ弁体４３を付勢する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、回転軸の回転に基
づいてガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によ
ってガスを移送して吸引作用をもたらし、前記ガスのガ
ス流路上に逆流防止手段を介在した真空ポンプにおける
流路構造に関するものである。
づいてガス移送体を動かし、前記ガス移送体の動作によ
ってガスを移送して吸引作用をもたらし、前記ガスのガ
ス流路上に逆流防止手段を介在した真空ポンプにおける
流路構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】特開平２−１５７４９０号公報、特開平
８−１４１７２号公報に開示される真空ポンプの一種で
あるルーツポンプでは、隣合って２個で組をなすロータ
が噛合した状態で回転される。噛合しながら回転する２
個のロータの回転動作は、ガスを圧縮しながら移送す
る。ロータの回転軸のうちの一方は、モータから駆動力
を得ており、他方の回転軸はギア機構を介して前記一方
の回転軸から駆動力を得ている。ポンプ本体から吐出さ
れるガスは、ポンプ本体外のガス流路を経由して排ガス
処理装置へ送られる。特開平２−１５７４９０号公報の
装置では、ポンプ本体外のガス流路上に消音器（マフ
ラ）が介在されている。真空ポンプでは、ポンプ本体外
のガス流路内で脈動が発生し、これが大きな騒音の原因
となる。消音器はこのような騒音の発生を抑制するため
のものであり、消音器としては逆止弁が用いられる。逆
止弁を構成する弁体は弁孔を開閉し、ポンプ排出流量が
ゼロになると弁体が弁孔を閉じる。逆止弁は前記した脈
動の発生を抑制する。
８−１４１７２号公報に開示される真空ポンプの一種で
あるルーツポンプでは、隣合って２個で組をなすロータ
が噛合した状態で回転される。噛合しながら回転する２
個のロータの回転動作は、ガスを圧縮しながら移送す
る。ロータの回転軸のうちの一方は、モータから駆動力
を得ており、他方の回転軸はギア機構を介して前記一方
の回転軸から駆動力を得ている。ポンプ本体から吐出さ
れるガスは、ポンプ本体外のガス流路を経由して排ガス
処理装置へ送られる。特開平２−１５７４９０号公報の
装置では、ポンプ本体外のガス流路上に消音器（マフ
ラ）が介在されている。真空ポンプでは、ポンプ本体外
のガス流路内で脈動が発生し、これが大きな騒音の原因
となる。消音器はこのような騒音の発生を抑制するため
のものであり、消音器としては逆止弁が用いられる。逆
止弁を構成する弁体は弁孔を開閉し、ポンプ排出流量が
ゼロになると弁体が弁孔を閉じる。逆止弁は前記した脈
動の発生を抑制する。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】排ガスの種類〔例えば
パーフルオロカーボン（ＰＦＣ）等〕によっては、圧力
を高くしたり、あるいは温度が低くなると固化する性質
の排ガスがある。このような排ガスの固化物が弁体とそ
のガイドとの間に噛みこまれ、また滞留すると、弁体の
開閉動作に障害が起き、逆止弁が脈動発生抑制の機能を
果たさなくなる。
パーフルオロカーボン（ＰＦＣ）等〕によっては、圧力
を高くしたり、あるいは温度が低くなると固化する性質
の排ガスがある。このような排ガスの固化物が弁体とそ
のガイドとの間に噛みこまれ、また滞留すると、弁体の
開閉動作に障害が起き、逆止弁が脈動発生抑制の機能を
果たさなくなる。
【０００４】本発明は、排ガスのガス流路上に介在され
た逆流防止手段における動作障害の発生を防止すること
を目的とする。
た逆流防止手段における動作障害の発生を防止すること
を目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】そのために本発明は、回
転軸の回転に基づいてガス移送体を動かし、前記ガス移
送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたら
し、前記ガスのガス流路上に逆流防止手段を介在した真
空ポンプを対象とし、請求項１の発明では、前記ガス流
路の一部を形成するガイド管と、前記ガイド管内で前記
ガイド管の長さ方向に摺動案内される弁体と、前記弁体
によって開閉される弁孔を形成する弁孔形成体と、前記
弁孔を閉じる方向へ前記弁体を付勢する付勢手段とを備
えた逆流防止手段を構成し、前記ガイド管と前記弁体と
のいずれか一方に対して摺接する複数の摺接部を備えた
摺接手段を前記ガイド管の内周面と前記弁体との間に介
在し、前記複数の摺接部を前記ガイド管の内周面方向に
振り分け配置した。
転軸の回転に基づいてガス移送体を動かし、前記ガス移
送体の動作によってガスを移送して吸引作用をもたら
し、前記ガスのガス流路上に逆流防止手段を介在した真
空ポンプを対象とし、請求項１の発明では、前記ガス流
路の一部を形成するガイド管と、前記ガイド管内で前記
ガイド管の長さ方向に摺動案内される弁体と、前記弁体
によって開閉される弁孔を形成する弁孔形成体と、前記
弁孔を閉じる方向へ前記弁体を付勢する付勢手段とを備
えた逆流防止手段を構成し、前記ガイド管と前記弁体と
のいずれか一方に対して摺接する複数の摺接部を備えた
摺接手段を前記ガイド管の内周面と前記弁体との間に介
在し、前記複数の摺接部を前記ガイド管の内周面方向に
振り分け配置した。
【０００６】複数の摺接部を弁体の移動方向に見た場
合、ガイド管の周方向におけるガイド管と摺接部との摺
接範囲、あるいは弁体と摺接部との摺接範囲は、ガイド
管の全周のうちの一部となる。このような摺接をもたら
す構成は、排ガスの固化物が摺接部と弁体との間、ある
いは摺接部とガイド管との間に噛みこまれ、また滞留す
る事態の発生を防止する。
合、ガイド管の周方向におけるガイド管と摺接部との摺
接範囲、あるいは弁体と摺接部との摺接範囲は、ガイド
管の全周のうちの一部となる。このような摺接をもたら
す構成は、排ガスの固化物が摺接部と弁体との間、ある
いは摺接部とガイド管との間に噛みこまれ、また滞留す
る事態の発生を防止する。
【０００７】請求項２の発明では、請求項１において、
前記ガイド管の内周面に前記弁体を摺動案内するガイド
部を設け、前記弁体と前記ガイド部とのうちのいずれか
一方に摺接する複数の摺接部を他方に設け、前記他方の
周方向に前記複数の摺接部を振り分け配置した。
前記ガイド管の内周面に前記弁体を摺動案内するガイド
部を設け、前記弁体と前記ガイド部とのうちのいずれか
一方に摺接する複数の摺接部を他方に設け、前記他方の
周方向に前記複数の摺接部を振り分け配置した。
【０００８】請求項３の発明では、請求項２において、
前記ガイド部は環状の基礎内周面を備え、前記弁体は前
記基礎内周面と相似の基礎外周面を備え、前記摺接部
は、前記基礎内周面と前記基礎外周面とのいずれか一方
に設けられると共に、他方に対して摺接するようにし
た。
前記ガイド部は環状の基礎内周面を備え、前記弁体は前
記基礎内周面と相似の基礎外周面を備え、前記摺接部
は、前記基礎内周面と前記基礎外周面とのいずれか一方
に設けられると共に、他方に対して摺接するようにし
た。
【０００９】請求項２及び請求項３の発明では、ガイド
管と弁体との摺接は、複数の摺接部を介して行われる。
複数の摺接部を弁体の移動方向に見た場合、ガイド管の
周方向におけるガイド管と弁体との摺接範囲は、ガイド
管の全周のうちの一部となる。このような摺接をもたら
す構成は、排ガスの固化物がガイド部と弁体との間に噛
みこまれ、また滞留する事態の発生を防止する。
管と弁体との摺接は、複数の摺接部を介して行われる。
複数の摺接部を弁体の移動方向に見た場合、ガイド管の
周方向におけるガイド管と弁体との摺接範囲は、ガイド
管の全周のうちの一部となる。このような摺接をもたら
す構成は、排ガスの固化物がガイド部と弁体との間に噛
みこまれ、また滞留する事態の発生を防止する。
【００１０】請求項４の発明では、請求項２及び請求項
３のいずれか１項において、前記弁体は、前記弁孔を閉
鎖する閉鎖端壁と環状の周壁とを備え、前記複数の摺接
部は、前記弁体の周壁に設けた。
３のいずれか１項において、前記弁体は、前記弁孔を閉
鎖する閉鎖端壁と環状の周壁とを備え、前記複数の摺接
部は、前記弁体の周壁に設けた。
【００１１】ガイド管の管内で移動する弁体に摺接部を
設けた構成は、ガイド管側のガイド部と摺接部との良好
な摺接をもたらす上で有利である。請求項５の発明で
は、請求項４において、前記複数の摺接部は、前記弁体
の移動方向に長い形状とした。
設けた構成は、ガイド管側のガイド部と摺接部との良好
な摺接をもたらす上で有利である。請求項５の発明で
は、請求項４において、前記複数の摺接部は、前記弁体
の移動方向に長い形状とした。
【００１２】弁体の移動方向に長い形状の摺接部は、弁
体の移動動作の円滑化に寄与する。請求項６の発明で
は、請求項４及び請求項５のいずれか１項において、前
記弁体は、前記周壁の外側から内側へガスを流通させる
流通孔を前記周壁に備えているようにした。
体の移動動作の円滑化に寄与する。請求項６の発明で
は、請求項４及び請求項５のいずれか１項において、前
記弁体は、前記周壁の外側から内側へガスを流通させる
流通孔を前記周壁に備えているようにした。
【００１３】流通孔は、弁体におけるガスに対する流通
抵抗を低減する上で有効である。
抵抗を低減する上で有効である。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、本発明をルーツポンプに具
体化した第１の実施の形態を図１〜図５に基づいて説明
する。
体化した第１の実施の形態を図１〜図５に基づいて説明
する。
【００１５】図１に示すように、多段ルーツポンプ１１
のロータハウジング１２の前端にはフロントハウジング
１３が接合されており、フロントハウジング１３には封
鎖体３６が接合されている。ロータハウジング１２の後
端にはリヤハウジング１４が接合されている。ロータハ
ウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の隔壁１
６とからなる。図２（ｂ）に示すように、シリンダブロ
ック１５は、一対のブロック片１７，１８からなり、隔
壁１６は一対の壁片１６１，１６２からなる。図１に示
すように、フロントハウジング１３と隔壁１６との間の
空間、隣合う隔壁１６の間の空間、及びリヤハウジング
１４と隔壁１６との間の空間は、それぞれポンプ室５
１，５２，５３，５４，５５となっている。
のロータハウジング１２の前端にはフロントハウジング
１３が接合されており、フロントハウジング１３には封
鎖体３６が接合されている。ロータハウジング１２の後
端にはリヤハウジング１４が接合されている。ロータハ
ウジング１２は、シリンダブロック１５と複数の隔壁１
６とからなる。図２（ｂ）に示すように、シリンダブロ
ック１５は、一対のブロック片１７，１８からなり、隔
壁１６は一対の壁片１６１，１６２からなる。図１に示
すように、フロントハウジング１３と隔壁１６との間の
空間、隣合う隔壁１６の間の空間、及びリヤハウジング
１４と隔壁１６との間の空間は、それぞれポンプ室５
１，５２，５３，５４，５５となっている。
【００１６】フロントハウジング１３とリヤハウジング
１４とには回転軸１９がラジアルベアリング２１，３７
を介して回転可能に支持されている。フロントハウジン
グ１３とリヤハウジング１４とには回転軸２０が同様に
ラジアルベアリング２２，３８を介して回転可能に支持
されている。両回転軸１９，２０は互いに平行に水平方
向に配置されている。回転軸１９，２０は隔壁１６に通
されている。
１４とには回転軸１９がラジアルベアリング２１，３７
を介して回転可能に支持されている。フロントハウジン
グ１３とリヤハウジング１４とには回転軸２０が同様に
ラジアルベアリング２２，３８を介して回転可能に支持
されている。両回転軸１９，２０は互いに平行に水平方
向に配置されている。回転軸１９，２０は隔壁１６に通
されている。
【００１７】回転軸１９にはガス移送体としての複数の
ロータ２３，２４，２５，２６，２７が一体形成されて
おり、回転軸２０には同数のロータ２８，２９，３０，
３１，３２が一体形成されている。ロータ２３〜３２
は、回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方向に見
て同形同大の形状をしている。ロータ２３，２４，２
５，２６，２７の厚みはこの順に小さくなってゆくよう
にしてあり、ロータ２８，２９，３０，３１，３２の厚
みも同様にこの順に小さくなってゆくようにしてある。
ロータ２３，２８は僅かの隙間を保って互いに噛合した
状態でポンプ室５１に収容されており、ロータ２４，２
９も同様に互いに噛合した状態でポンプ室５２に収容さ
れている。以下同様にしてロータ２５，３０はポンプ室
５３に、ロータ２６，３１はポンプ室５４に、ロータ２
７，３２はポンプ室５５にそれぞれ収容されている。
ロータ２３，２４，２５，２６，２７が一体形成されて
おり、回転軸２０には同数のロータ２８，２９，３０，
３１，３２が一体形成されている。ロータ２３〜３２
は、回転軸１９，２０の軸線１９１，２０１の方向に見
て同形同大の形状をしている。ロータ２３，２４，２
５，２６，２７の厚みはこの順に小さくなってゆくよう
にしてあり、ロータ２８，２９，３０，３１，３２の厚
みも同様にこの順に小さくなってゆくようにしてある。
ロータ２３，２８は僅かの隙間を保って互いに噛合した
状態でポンプ室５１に収容されており、ロータ２４，２
９も同様に互いに噛合した状態でポンプ室５２に収容さ
れている。以下同様にしてロータ２５，３０はポンプ室
５３に、ロータ２６，３１はポンプ室５４に、ロータ２
７，３２はポンプ室５５にそれぞれ収容されている。
【００１８】リヤハウジング１４にはギヤハウジング３
３が組み付けられている。回転軸１９，２０は、リヤハ
ウジング１４を貫通してギヤハウジング３３内に突出し
ており、各回転軸１９，２０の突出端部には歯車３４，
３５が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウ
ジング３３には電動モータＭが組み付けられている。電
動モータＭの駆動力は、軸継ぎ手１０を介して回転軸１
９に伝えられ、回転軸１９は、電動モータＭによって図
２（ａ），（ｂ）及び図３（ａ），（ｂ）の矢印Ｒ１の
方向に回転される。回転軸２０は、歯車３４，３５を介
して電動モータＭから駆動力を得ており、回転軸２０は
図２（ａ），（ｂ）及び図３（ａ），（ｂ）の矢印Ｒ２
で示すように回転軸１９とは逆方向に回転する。
３が組み付けられている。回転軸１９，２０は、リヤハ
ウジング１４を貫通してギヤハウジング３３内に突出し
ており、各回転軸１９，２０の突出端部には歯車３４，
３５が互いに噛合した状態で止着されている。ギヤハウ
ジング３３には電動モータＭが組み付けられている。電
動モータＭの駆動力は、軸継ぎ手１０を介して回転軸１
９に伝えられ、回転軸１９は、電動モータＭによって図
２（ａ），（ｂ）及び図３（ａ），（ｂ）の矢印Ｒ１の
方向に回転される。回転軸２０は、歯車３４，３５を介
して電動モータＭから駆動力を得ており、回転軸２０は
図２（ａ），（ｂ）及び図３（ａ），（ｂ）の矢印Ｒ２
で示すように回転軸１９とは逆方向に回転する。
【００１９】図１及び図２（ｂ）に示すように、隔壁１
６内には通路１６３が形成されている。図２（ｂ）に示
すように、隔壁１６には通路１６３の入口１６４及び出
口１６５が形成されている。隣合うポンプ室５１，５
２，５３，５４，５５は、通路１６３を介して連通して
いる。
６内には通路１６３が形成されている。図２（ｂ）に示
すように、隔壁１６には通路１６３の入口１６４及び出
口１６５が形成されている。隣合うポンプ室５１，５
２，５３，５４，５５は、通路１６３を介して連通して
いる。
【００２０】図２（ａ）に示すように、ブロック片１７
には導入口１７１がポンプ室５１に連通するように形成
されている。図３（ｂ）に示すように、ブロック片１８
には排出口１８１がポンプ室５５に連通するように形成
されている。導入口１７１からポンプ室５１に導入され
たガスは、ロータ２３，２８の回転によって隔壁１６の
入口１６４から通路１６３を経由して出口１６５より隣
のポンプ室５２へ移送される。以下、同様にガスは、ポ
ンプ室の容積が小さくなってゆく順、即ちポンプ室５
２，５３，５４，５５の順に移送される。ポンプ室５５
へ移送されたガスは、排出口１８１から外部へ排出され
る。ロータ２３〜３２は、ガスを移送するガス移送体で
ある。
には導入口１７１がポンプ室５１に連通するように形成
されている。図３（ｂ）に示すように、ブロック片１８
には排出口１８１がポンプ室５５に連通するように形成
されている。導入口１７１からポンプ室５１に導入され
たガスは、ロータ２３，２８の回転によって隔壁１６の
入口１６４から通路１６３を経由して出口１６５より隣
のポンプ室５２へ移送される。以下、同様にガスは、ポ
ンプ室の容積が小さくなってゆく順、即ちポンプ室５
２，５３，５４，５５の順に移送される。ポンプ室５５
へ移送されたガスは、排出口１８１から外部へ排出され
る。ロータ２３〜３２は、ガスを移送するガス移送体で
ある。
【００２１】図３（ｂ）に示すように、排出口１８１に
は接続フランジ３９が接続されている。図４（ａ）に示
すように、接続フランジ３９にはマフラ４０が接続され
ており、マフラ４０には円筒形状のガイド管４１が接続
されている。さらにガイド管４１には排出管４２が接続
されている。排出管４２は、図示しない排ガス処理装置
に接続されている。接続フランジ３９、マフラ４０、ガ
イド管４１及び排出管４２は、多段ルーツポンプ１１か
ら吐出される排ガスを前記排ガス処理装置へ送るガス流
路を構成する。
は接続フランジ３９が接続されている。図４（ａ）に示
すように、接続フランジ３９にはマフラ４０が接続され
ており、マフラ４０には円筒形状のガイド管４１が接続
されている。さらにガイド管４１には排出管４２が接続
されている。排出管４２は、図示しない排ガス処理装置
に接続されている。接続フランジ３９、マフラ４０、ガ
イド管４１及び排出管４２は、多段ルーツポンプ１１か
ら吐出される排ガスを前記排ガス処理装置へ送るガス流
路を構成する。
【００２２】ガイド管４１の管内には弁体４３及び復帰
ばね４４が収容されている。ガイド管４１にはテーパ形
状の弁孔４１１が形成されており、弁体４３は往復動に
よって弁孔４１１を開閉する。弁体４３は、弁孔４１１
を閉鎖する閉鎖端壁４５と、円筒形状の周壁４６と、周
壁４６の外周面に立設された複数の摺接突部４７（本実
施の形態では４つ）と、閉鎖端壁４５の外周に取り付け
られたシールリング５０とからなる。ガイド管４１、弁
体４３及び復帰ばね４４は、逆流防止手段を構成する。
ガイド管４１は、弁体４３によって開閉される弁孔４１
１を形成する弁孔形成体を兼ねる。復帰ばね４４は、弁
孔４１１を閉じる方向へ弁体４３を付勢する付勢手段と
なる。
ばね４４が収容されている。ガイド管４１にはテーパ形
状の弁孔４１１が形成されており、弁体４３は往復動に
よって弁孔４１１を開閉する。弁体４３は、弁孔４１１
を閉鎖する閉鎖端壁４５と、円筒形状の周壁４６と、周
壁４６の外周面に立設された複数の摺接突部４７（本実
施の形態では４つ）と、閉鎖端壁４５の外周に取り付け
られたシールリング５０とからなる。ガイド管４１、弁
体４３及び復帰ばね４４は、逆流防止手段を構成する。
ガイド管４１は、弁体４３によって開閉される弁孔４１
１を形成する弁孔形成体を兼ねる。復帰ばね４４は、弁
孔４１１を閉じる方向へ弁体４３を付勢する付勢手段と
なる。
【００２３】複数の摺接突部４７は、等角度間隔で弁体
周壁４６の外周面４６２の周方向に振り分け配置されて
いる。シールリング５０は弁孔４１１のテーパ面に接離
し、シールリング５０が弁孔４１１のテーパ面に接した
状態は、弁体４３が弁孔４１１を閉じた状態である。隣
合う摺接突部４７の間の周壁４６の部位には流通孔４６
１が貫設されている。
周壁４６の外周面４６２の周方向に振り分け配置されて
いる。シールリング５０は弁孔４１１のテーパ面に接離
し、シールリング５０が弁孔４１１のテーパ面に接した
状態は、弁体４３が弁孔４１１を閉じた状態である。隣
合う摺接突部４７の間の周壁４６の部位には流通孔４６
１が貫設されている。
【００２４】図５に示すように、摺接突部４７は、弁体
４３の移動方向、即ち弁体４３の中心軸線Ｌ２の方向に
長い板形状をしている。摺接突部４７の突端面４７１
は、ガイド管４１のガイド内周面４１２に摺接する。
４３の移動方向、即ち弁体４３の中心軸線Ｌ２の方向に
長い板形状をしている。摺接突部４７の突端面４７１
は、ガイド管４１のガイド内周面４１２に摺接する。
【００２５】図４（ｂ）に示すように、ガイド管４１の
ガイド内周面４１２、及び弁体４３の周壁４６の外周面
４６２は円周面である。図４（ａ）に示すように、ガイ
ド内周面４１２の中心軸線Ｌ１と、外周面４６２の中心
軸線Ｌ２とは略一致する。基礎内周面となるガイド内周
面４１２と、基礎外周面となる外周面４６２とは、相似
形であり、弁体４３側の基礎外周面上に設けられた摺接
突部４７は、ガイド管４１側の基礎内周面に摺接する。
弁体４３に一体形成された摺接突部４７は、ガイド管４
１に摺接する摺接部であり、複数の摺接突部４７は、ガ
イド管４１の内周面と弁体４３との間に介在される摺接
手段を構成する。
ガイド内周面４１２、及び弁体４３の周壁４６の外周面
４６２は円周面である。図４（ａ）に示すように、ガイ
ド内周面４１２の中心軸線Ｌ１と、外周面４６２の中心
軸線Ｌ２とは略一致する。基礎内周面となるガイド内周
面４１２と、基礎外周面となる外周面４６２とは、相似
形であり、弁体４３側の基礎外周面上に設けられた摺接
突部４７は、ガイド管４１側の基礎内周面に摺接する。
弁体４３に一体形成された摺接突部４７は、ガイド管４
１に摺接する摺接部であり、複数の摺接突部４７は、ガ
イド管４１の内周面と弁体４３との間に介在される摺接
手段を構成する。
【００２６】最小容積のポンプ室５５から排出口１８１
を経由して接続フランジ３９へ吐出された排ガスは、マ
フラ４０を経由して弁孔４１１に至る。マフラ４０内の
圧力によって弁体４３の閉鎖端壁４５に掛かる荷重が、
ガイド管４１内の圧力と復帰ばね４４のばね力とによっ
て閉鎖端壁４５に掛かる荷重を上回る場合には、弁体４
３が弁孔４１１を開く。弁孔４１１を通過した排ガス
は、弁体４３の周壁４６の周囲、及び流通孔４６１を通
って排出管４２側へ流れる。
を経由して接続フランジ３９へ吐出された排ガスは、マ
フラ４０を経由して弁孔４１１に至る。マフラ４０内の
圧力によって弁体４３の閉鎖端壁４５に掛かる荷重が、
ガイド管４１内の圧力と復帰ばね４４のばね力とによっ
て閉鎖端壁４５に掛かる荷重を上回る場合には、弁体４
３が弁孔４１１を開く。弁孔４１１を通過した排ガス
は、弁体４３の周壁４６の周囲、及び流通孔４６１を通
って排出管４２側へ流れる。
【００２７】第１の実施の形態では以下の効果が得られ
る。 （１-1）弁体４３の開閉動作は、ガイド管４１のガイド
内周面４１２によって案内されるが、ガイド管４１と弁
体４３との摺接は、弁体４３の周壁４６の外周面４６２
の周方向に振り分け配置された複数の摺接突部４７を介
して行われる。ガイド内周面４１２に対して摺接する摺
接突部４７は、弁体４３の移動方向（軸線Ｌ２の方向）
に見た状態では、ガイド管４１のガイド内周面４１２の
全周のうちの一部に対してのみ摺接する。即ち、ガイド
管４１の周方向におけるガイド管４１と複数の摺接突部
４７との摺接範囲は、ガイド管４１の全周のうちの一部
のみとなる。弁体４３に対するガイド管４１の摺接部位
がガイド管４１の全周のうちの一部のみとなるような摺
接をもたらす構成は、排ガスの固化物がガイド内周面４
１２と弁体４３との間に噛みこまれる事態の発生を防止
する。従って、弁体４３の開閉動作の円滑性が損なわれ
ることはなく、逆流防止手段の動作障害の発生が防止さ
れる。
る。 （１-1）弁体４３の開閉動作は、ガイド管４１のガイド
内周面４１２によって案内されるが、ガイド管４１と弁
体４３との摺接は、弁体４３の周壁４６の外周面４６２
の周方向に振り分け配置された複数の摺接突部４７を介
して行われる。ガイド内周面４１２に対して摺接する摺
接突部４７は、弁体４３の移動方向（軸線Ｌ２の方向）
に見た状態では、ガイド管４１のガイド内周面４１２の
全周のうちの一部に対してのみ摺接する。即ち、ガイド
管４１の周方向におけるガイド管４１と複数の摺接突部
４７との摺接範囲は、ガイド管４１の全周のうちの一部
のみとなる。弁体４３に対するガイド管４１の摺接部位
がガイド管４１の全周のうちの一部のみとなるような摺
接をもたらす構成は、排ガスの固化物がガイド内周面４
１２と弁体４３との間に噛みこまれる事態の発生を防止
する。従って、弁体４３の開閉動作の円滑性が損なわれ
ることはなく、逆流防止手段の動作障害の発生が防止さ
れる。
【００２８】（１-2）ガイド管４１の内周面は円周面で
あるが、ガイド管４１の内周面を円周面に形成するのは
容易である。円周面であるガイド内周面４１２に摺接突
部４７の突端面４７１を精度よく摺接させるための好適
な突端面４７１の形状は、ガイド内周面４１２と略同大
の円周面である。弁体４３の周壁４６の外周面４６２側
に摺接突部４７を一体形成した構成は、ガイド管４１の
内周面側に摺接突部を形成する場合に比べ、突端面４７
１を所望の形状に加工する上で有利である。
あるが、ガイド管４１の内周面を円周面に形成するのは
容易である。円周面であるガイド内周面４１２に摺接突
部４７の突端面４７１を精度よく摺接させるための好適
な突端面４７１の形状は、ガイド内周面４１２と略同大
の円周面である。弁体４３の周壁４６の外周面４６２側
に摺接突部４７を一体形成した構成は、ガイド管４１の
内周面側に摺接突部を形成する場合に比べ、突端面４７
１を所望の形状に加工する上で有利である。
【００２９】（１-3）ガイド内周面４１２に摺接する摺
接突部４７は、弁体４３の移動方向に長い板形状であ
る。摺接突部４７を弁体４３の移動方向に長い板形状と
した構成は、弁体４３の移動時の姿勢安定化に寄与す
る。移動時の弁体４３の姿勢が安定していれば、弁体４
３の移動動作が円滑になる。従って、弁体４３の移動方
向に長い形状の摺接突部４７は、弁体４３の移動動作の
円滑化に寄与する。
接突部４７は、弁体４３の移動方向に長い板形状であ
る。摺接突部４７を弁体４３の移動方向に長い板形状と
した構成は、弁体４３の移動時の姿勢安定化に寄与す
る。移動時の弁体４３の姿勢が安定していれば、弁体４
３の移動動作が円滑になる。従って、弁体４３の移動方
向に長い形状の摺接突部４７は、弁体４３の移動動作の
円滑化に寄与する。
【００３０】（１-4）弁孔４１１を通過した排ガスの一
部は、周壁４６の外周面４６２側から流通孔４６１を通
って周壁４６の内周側へ流れる。多段ルーツポンプ１１
の運転を開始して真空度を素早く高めるには、弁体４３
における排ガスに対する流通抵抗を低減する必要がある
が、流通孔４６１は、弁体４３における排ガスに対する
流通抵抗を低減する上で有効である。
部は、周壁４６の外周面４６２側から流通孔４６１を通
って周壁４６の内周側へ流れる。多段ルーツポンプ１１
の運転を開始して真空度を素早く高めるには、弁体４３
における排ガスに対する流通抵抗を低減する必要がある
が、流通孔４６１は、弁体４３における排ガスに対する
流通抵抗を低減する上で有効である。
【００３１】次に、図６の第２の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。流通孔４６３は、周壁４６の端部側に開口して
いる。このような流通孔４６３は、排ガスに対する流通
抵抗を低減する上で第１の実施の形態の場合よりも一層
有効である。
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。流通孔４６３は、周壁４６の端部側に開口して
いる。このような流通孔４６３は、排ガスに対する流通
抵抗を低減する上で第１の実施の形態の場合よりも一層
有効である。
【００３２】次に、図７の第３の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。摺接突部４７Ｂは、弁体４３の移動方向に先鋭
な先鋭部４７２，４７３を備えている。摺接突部４７Ｂ
のこのような先鋭形状は、摺接突部４７Ｂの突端面４７
１とガイド内周面４１２との間への排ガスの固化物の噛
み込みを回避する上で有効である。
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。摺接突部４７Ｂは、弁体４３の移動方向に先鋭
な先鋭部４７２，４７３を備えている。摺接突部４７Ｂ
のこのような先鋭形状は、摺接突部４７Ｂの突端面４７
１とガイド内周面４１２との間への排ガスの固化物の噛
み込みを回避する上で有効である。
【００３３】次に、図８の第４の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。流通孔４６１には面取り部４６４，４６５が形
成されている。面取り部４６４，４６５は、流通孔４６
１におけるガスの流通の容易性を向上し、弁体４３にお
ける排ガスに対する流通抵抗が低減する。
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。流通孔４６１には面取り部４６４，４６５が形
成されている。面取り部４６４，４６５は、流通孔４６
１におけるガスの流通の容易性を向上し、弁体４３にお
ける排ガスに対する流通抵抗が低減する。
【００３４】次に、図９の第５の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。一対の摺接突部４７Ｃ，４７Ｄが弁体４３の移
動方向に見て重なるように間隔を置いて配置されてお
り、摺接突部４７Ｃ，４７Ｄの複数対が周壁４６の周方
向に配列されている。対の摺接突部４７Ｃ，４７Ｄは、
両者の間隔を大きくとることによって弁体４３の移動時
の姿勢安定性の向上に寄与する。
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。一対の摺接突部４７Ｃ，４７Ｄが弁体４３の移
動方向に見て重なるように間隔を置いて配置されてお
り、摺接突部４７Ｃ，４７Ｄの複数対が周壁４６の周方
向に配列されている。対の摺接突部４７Ｃ，４７Ｄは、
両者の間隔を大きくとることによって弁体４３の移動時
の姿勢安定性の向上に寄与する。
【００３５】次に、図１０の第６の実施の形態を説明す
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。摺接突部４７Ｅは隣合う流通孔４６１の間にあ
り、摺接突部４７Ｆは流通孔４６１の下流にある。周壁
４６の周方向に振り分けられた複数の摺接突部４７Ｅ
と、周壁４６の周方向に振り分けられた複数の摺接突部
４７Ｆとは、弁体４３の移動方向に見て重ならないよう
に配置されている。摺接突部４７Ｆは、流通孔４６１へ
の排ガスの流入を容易にする。
る。第１の実施の形態と同じ構成部には同じ符号が付し
てある。摺接突部４７Ｅは隣合う流通孔４６１の間にあ
り、摺接突部４７Ｆは流通孔４６１の下流にある。周壁
４６の周方向に振り分けられた複数の摺接突部４７Ｅ
と、周壁４６の周方向に振り分けられた複数の摺接突部
４７Ｆとは、弁体４３の移動方向に見て重ならないよう
に配置されている。摺接突部４７Ｆは、流通孔４６１へ
の排ガスの流入を容易にする。
【００３６】次に、図１１（ａ），（ｂ）の第７の実施
の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には
同じ符号が付してある。ガイド管４１の基礎内周面４１
３には複数の摺接突部４８（本実施の形態では４つ）が
立設されている。複数の摺接突部４８は、円周面である
基礎内周面４１３の周方向に等角度間隔で振り分け配置
されている。摺接突部４８は、弁体４９の移動方向に長
い板形状をしている。摺接突部４８の突端面４８１は、
弁体４９の基礎外周面４６６に摺接する。基礎外周面４
６６は基礎内周面４１３の相似形である。
の形態を説明する。第１の実施の形態と同じ構成部には
同じ符号が付してある。ガイド管４１の基礎内周面４１
３には複数の摺接突部４８（本実施の形態では４つ）が
立設されている。複数の摺接突部４８は、円周面である
基礎内周面４１３の周方向に等角度間隔で振り分け配置
されている。摺接突部４８は、弁体４９の移動方向に長
い板形状をしている。摺接突部４８の突端面４８１は、
弁体４９の基礎外周面４６６に摺接する。基礎外周面４
６６は基礎内周面４１３の相似形である。
【００３７】第７の実施の形態では、第１の実施の形態
における（１-1）項、（１-3）項及び（１-4）項と同様
の効果が得られる。本発明では以下のような実施の形態
も可能である。 （１）前記各実施の形態における流通孔を省略するこ
と。 （２）ガイド管及び弁体のいずれに対しても別体の摺接
手段を構成し、この摺接手段の複数の摺接部がガイド管
と弁体とのいずれか一方、あるいは両方に摺接するよう
にガイド管と弁体との間に介在すること。 （３）真空ポンプの本体に繋がる吸入管上に介在された
逆流防止手段に本発明を適用すること。 （４）ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用す
ること。
における（１-1）項、（１-3）項及び（１-4）項と同様
の効果が得られる。本発明では以下のような実施の形態
も可能である。 （１）前記各実施の形態における流通孔を省略するこ
と。 （２）ガイド管及び弁体のいずれに対しても別体の摺接
手段を構成し、この摺接手段の複数の摺接部がガイド管
と弁体とのいずれか一方、あるいは両方に摺接するよう
にガイド管と弁体との間に介在すること。 （３）真空ポンプの本体に繋がる吸入管上に介在された
逆流防止手段に本発明を適用すること。 （４）ルーツポンプ以外の真空ポンプに本発明を適用す
ること。
【００３８】
【発明の効果】以上詳述したように本発明では、ガイド
管と弁体とのいずれか一方に対して摺接する複数の摺接
部を備えた摺接手段を前記ガイド管の内周面と前記弁体
との間に介在し、前記複数の摺接部を前記ガイド管の内
周面方向に振り分け配置したので、排ガス固化物等が噛
みこまれ難く、また滞留し難く、排ガスのガス流路上に
介在された逆流防止手段における動作障害の発生を防止
し得るという優れた効果を奏する。
管と弁体とのいずれか一方に対して摺接する複数の摺接
部を備えた摺接手段を前記ガイド管の内周面と前記弁体
との間に介在し、前記複数の摺接部を前記ガイド管の内
周面方向に振り分け配置したので、排ガス固化物等が噛
みこまれ難く、また滞留し難く、排ガスのガス流路上に
介在された逆流防止手段における動作障害の発生を防止
し得るという優れた効果を奏する。
【図１】第１の実施の形態を示す多段ルーツポンプ１１
全体の平断面図。
全体の平断面図。
【図２】（ａ）は図１のＡ−Ａ線断面図。（ｂ）は図１
のＢ−Ｂ線断面図。
のＢ−Ｂ線断面図。
【図３】（ａ）は図１のＣ−Ｃ線断面図。（ｂ）は図１
のＤ−Ｄ線断面図。
のＤ−Ｄ線断面図。
【図４】（ａ）は要部平断面図。（ｂ）は（ａ）のＥ−
Ｅ線断面図。
Ｅ線断面図。
【図５】要部斜視図。
【図６】第２の実施の形態を示す要部斜視図。
【図７】第３の実施の形態を示す要部斜視図。
【図８】第４の実施の形態を示す要部平断面図。
【図９】第５の実施の形態を示す要部斜視図。
【図１０】第６の実施の形態を示す要部斜視図。
【図１１】第７の実施の形態を示し、（ａ）は要部平断
面図。（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線断面図。
面図。（ｂ）は（ａ）のＦ−Ｆ線断面図。
１１…真空ポンプである多段ルーツポンプ。１９，２０
…回転軸。１９１，２０１…軸線。２３，２４，２５，
２６，２７，２８，２９，３０，３１，３２…ガス移送
体であるロータ。３９…ガス流路を構成する接続フラン
ジ。４０…ガス流路を構成するマフラ。４１…ガス流路
を構成すると共に、逆流防止手段を構成し、弁孔形成体
を兼ねるガイド管。４１２…ガイド部及び基礎内周面と
なるガイド内周面。４１３…基礎内周面。４２…ガス流
路を構成する排出管。４３，４９…逆流防止手段を構成
する弁体。４４…付勢手段となる復帰ばね。４５…閉鎖
端壁。４６…周壁。４６１，４６３…流通孔。４６２…
基礎外周面となる外周面。４６６…基礎外周面。４７，
４７Ｂ，４７Ｃ，４７Ｄ，４７Ｅ，４７Ｆ，４８…摺接
手段を構成する摺接部となる摺接突部。
…回転軸。１９１，２０１…軸線。２３，２４，２５，
２６，２７，２８，２９，３０，３１，３２…ガス移送
体であるロータ。３９…ガス流路を構成する接続フラン
ジ。４０…ガス流路を構成するマフラ。４１…ガス流路
を構成すると共に、逆流防止手段を構成し、弁孔形成体
を兼ねるガイド管。４１２…ガイド部及び基礎内周面と
なるガイド内周面。４１３…基礎内周面。４２…ガス流
路を構成する排出管。４３，４９…逆流防止手段を構成
する弁体。４４…付勢手段となる復帰ばね。４５…閉鎖
端壁。４６…周壁。４６１，４６３…流通孔。４６２…
基礎外周面となる外周面。４６６…基礎外周面。４７，
４７Ｂ，４７Ｃ，４７Ｄ，４７Ｅ，４７Ｆ，４８…摺接
手段を構成する摺接部となる摺接突部。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｆ１６Ｋ 15/06 Ｆ１６Ｋ 15/06 15/10 15/10 Ｆターム(参考） 3H029 AA01 AA06 AA09 AA17 AB06 BB21 BB31 BB36 BB41 BB42 CC15 CC25 CC54 CC85 3H052 AA01 CA04 CA24 CC03 EA01 3H058 AA05 BB34 BB38 CA04 CA05 CA33 CD05 CD10 EE05 3H076 AA16 AA21 BB01 BB02 BB13 BB43 CC43 CC93
Claims (6)
- 【請求項１】回転軸の回転に基づいてガス移送体を動か
し、前記ガス移送体の動作によってガスを移送して吸引
作用をもたらし、前記ガスのガス流路上に逆流防止手段
を介在した真空ポンプにおいて、 前記ガス流路の一部を形成するガイド管と、 前記ガイド管内で前記ガイド管の長さ方向に摺動案内さ
れる弁体と、 前記弁体によって開閉される弁孔を形成する弁孔形成体
と、 前記弁孔を閉じる方向へ前記弁体を付勢する付勢手段と
を備えた前記逆流防止手段を構成し、 前記ガイド管と前記弁体とのいずれか一方に対して摺接
する複数の摺接部を備えた摺接手段を前記ガイド管の内
周面と前記弁体との間に介在し、前記複数の摺接部を前
記ガイド管の内周面方向に振り分け配置した真空ポンプ
における流路構造。 - 【請求項２】前記ガイド管の内周面に前記弁体を摺動案
内するガイド部を設け、前記弁体と前記ガイド部とのう
ちのいずれか一方に対して摺接する複数の摺接部を他方
に突設し、前記他方の周方向に前記複数の摺接部を振り
分け配置した請求項１に記載の真空ポンプにおける流路
構造。 - 【請求項３】前記ガイド部は環状の基礎内周面を備え、
前記弁体は前記基礎内周面と相似の基礎外周面を備え、
前記摺接部は、前記基礎内周面と前記基礎外周面とのい
ずれか一方に設けられると共に、他方に対して摺接する
請求項２に記載の真空ポンプにおける流路構造。 - 【請求項４】前記弁体は、前記弁孔を閉鎖する閉鎖端壁
と環状の周壁とを備え、前記複数の摺接部は、前記弁体
の周壁に設けられている請求項２及び請求項３のいずれ
か１項に記載の真空ポンプにおける流路構造。 - 【請求項５】前記複数の摺接部は、前記弁体の移動方向
に長い形状である請求項４に記載の真空ポンプにおける
流路構造。 - 【請求項６】前記弁体は、前記周壁の外側から内側へガ
スを流通させる流通孔を前記周壁に備えている請求項４
及び請求項５のいずれか１項に記載の真空ポンプにおけ
る流路構造。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000314966A JP2002122088A (ja) | 2000-10-16 | 2000-10-16 | 真空ポンプにおける流路構造 |
| EP01124519A EP1199476A3 (en) | 2000-10-16 | 2001-10-12 | Vacuum pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000314966A JP2002122088A (ja) | 2000-10-16 | 2000-10-16 | 真空ポンプにおける流路構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002122088A true JP2002122088A (ja) | 2002-04-26 |
Family
ID=18794137
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000314966A Pending JP2002122088A (ja) | 2000-10-16 | 2000-10-16 | 真空ポンプにおける流路構造 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP1199476A3 (ja) |
| JP (1) | JP2002122088A (ja) |
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| JP2007099089A (ja) * | 2005-10-04 | 2007-04-19 | Showa Corp | 油圧式動力舵取装置 |
| JP2010228421A (ja) * | 2009-03-30 | 2010-10-14 | Brother Ind Ltd | 液体供給ジョイント、これを使用した液体吐出ヘッド及び記録装置 |
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| CN102168761B (zh) * | 2011-04-29 | 2013-06-19 | 武汉肤尔医用科技有限公司 | 带有锁定机构的双向气阀 |
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