KR101805475B1

KR101805475B1 - 진공밸브

Info

Publication number: KR101805475B1
Application number: KR1020170043024A
Authority: KR
Inventors: 서진천
Original assignee: 서진천
Priority date: 2017-04-03
Filing date: 2017-04-03
Publication date: 2017-12-07

Abstract

본 발명은 실린더부를 통해 블레이드를 수직이동시키고, 에어공급배기유닛을 통한 공압으로 블레이드부를 수평이동시킴으로써, 구동시 실린더의 사용을 최소화하고, 제1, 2 플레이트에 균일하게 공급되는 공압을 통해 제1, 2 이동통로의 기밀성을 상승시키는 장점이 있다.

Description

진공밸브{Vaccum valve}

본 발명은 진공밸브에 관한 것으로서, 전면과 후면에 각각 개구된 제1, 2 이동통로(110, 120) 및 내측에 각각의 상기 제1, 2 이동통로(110, 120)와 연통된 공간부(130)가 형성되는 밸브하우징(100);과, 상기 밸브하우징(100)의 하부에 각각 설치되는 실린더부(300) 및 에어공급배기유닛(400);과, 상기 공간부(130)에 구비되되, 상기 실린더부(300)와 연결되어 상기 실린더부(300)의 작동 여부에 따라 승, 하강되고, 상기 에어공급배기유닛(400)과 연결되어 에어의 공급 여부에 따라 전면방향과 후면방향으로 이동하여 상기 제1 이동통로(110)측에 지지되는 제1 플레이트(510)와 상기 제2 이동통로(120)를 개폐시키는 제2 플레이트(520)가 포함되는 블레이드부(500);로 구성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브에 관한 것이다.

일반적으로, 반도체 소자, FPD 또는 기판 등의 고정밀제품은 고정밀도를 요구함으로써, 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있는 추세이다.

이러한 이유로 고정밀제품은 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조되는 것이 바람직하다.

따라서, 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술은 고정밀제품의 품질의 절대적인 영향을 준다.

이와 따라, 고정밀제품의 제조공정에서는 순간적인 진공상태의 환경을 선택적으로 조성하기 위하여 게이드밸브가 사용된다.

이러한 게이트밸브는 크게 단방향타입과 양방향타입의 두가지 종류로 분류되어 제조공정의 특성에 맞는 타입을 선택하여 설치된다.

특히 양방향타입의 게이트밸브의 경우, 선택적으로 고정밀제품의 이동공간을 폐쇄할 수 있고, 일측의 이동공간만을 폐쇄하도록 설정하였다가 일측의 이동공간 폐쇄에 문제가 발생하게 되면, 타측의 이동공간을 폐쇄하도록 설정할 수 있어 구동의 연속성을 확보하는 것이 가능하다.

이러한 양방향타입의 게이트밸브는 다양한 실시예로 공개되어 있으며, 그 중 하기 특허문헌 1의 “슬롯밸브(대한민국 등록특허공보 제10-2010-0110488호)”는 처리모듈(PM)측과 이송모듈(TM)측 사이에 구비되어 피처리물이 이동되는 통로인 제1/2 슬롯(S1,S2)이 형성되는 진공하우징(H1)의 일측에 연통되는 밸브하우징(H2);과, 밸브하우징(H2)의 외측에 구비되는 도어(110);와, 도어(110)의 일단에 연결되는 샤프트(120);와, 밸브하우징(H2)의 내부에 구비되는 실린더(130);와, 실린더(130) 내부에서 샤프트(120)의 타단에 연결되어 샤프트(120)에 연결된 도어(110)가 제1/2 슬롯(S1,S2)에 대응되는 위치를 가지도록 제1/2 슬롯(S1,S2)에 평행하게 이동시키는 피스톤(140);과, 샤프트(120)가 관통된 실린더(130)의 타단에 구비되어 도어(110)가 선택적으로 제1/2 슬롯(S1,S2)에 접촉되도록 실린더(130)를 회동시키는 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2); 및 실린더(130)의 타단과 제1/2 액츄에이터(150-1,150-2) 사이에 연결되어 액츄에이터(150)의 선택적인 구동에 따라 실린더(130)가 회동되도록 구동력을 전달하는 제1/2 연결링크(160-1,160-2)를 포함하는 것을 특징으로서, 슬롯이 하나의 도어와 도어구동부로 이루어진 간단한 구성에 의해 선택적으로 개폐되는 것이 가능하다는 장점이 있었다.

그러나, 상기 특허문헌 1의 “슬롯밸브”는 실린더가 수직상승한 상태에서 캠구조의 제1/2 액츄에이터에 의해 도어가 경사이동함으로써, 실린더의 효율성이 저하되고, 슬롯의 기밀성 또한 저하된다는 문제점이 있었다.

특허문헌 1: 대한민국 등록특허공보 제10-2010-0110488호

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 실린더부를 통해 블레이드를 수직이동시키고, 에어공급배기유닛을 통한 공압으로 블레이드부를 수평이동시킴으로써, 구동시 실린더의 사용을 최소화하고, 제1, 2 플레이트에 균일하게 공급되는 공압을 통해 제1, 2 이동통로의 기밀성을 상승시키는 진공밸브를 제공하는 것이다.

또한, 블레이드부에 제1, 2 플레이트를 지지하는 별도의 서포트모듈을 결합시킴으로써, 제1, 2 플레이트를 수평이동시키는 구동실린더모듈에는 블레이드부의 무게전달을 최소화하여 구동실린더모듈 내의 구성요소가 블레이드부의 무게로 인해 파손되거나 변형되는 것을 방지하여 신뢰성이 보장된 기계적 구동이 가능한 진공밸브를 제공하는 것이다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 진공밸브는, 전면과 후면에 각각 개구된 제1, 2 이동통로(110, 120) 및 내측에 각각의 상기 제1, 2 이동통로(110, 120)와 연통된 공간부(130)가 형성되는 밸브하우징(100);과, 상기 밸브하우징(100)의 하부에 각각 설치되는 실린더부(300) 및 에어공급배기유닛(400);과, 상기 공간부(130)에 구비되되, 상기 실린더부(300)와 연결되어 상기 실린더부(300)의 작동 여부에 따라 승, 하강되고, 상기 에어공급배기유닛(400)과 연결되어 에어의 공급 여부에 따라 전면방향과 후면방향으로 이동하여 상기 제1 이동통로(110)측에 지지되는 제1 플레이트(510)와 상기 제2 이동통로(120)를 개폐시키는 제2 플레이트(520)가 포함되는 블레이드부(500);로 구성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 블레이드부(500)는, 전면은 상기 제1 플레이트(510)와 결합되고, 하부는 상기 에어공급배기유닛(400)과 결합되어 에어가 연통되는 서포트모듈(530)이 형성되고, 상기 서포트모듈(530)의 후면에 결합되어 에어가 연통되되, 전면에는 인입공(542)을 포함하는 다수개의 안착홀(541)이 형성되는 베이스플레이트(540)가 형성되며, 전면은 상기 베이스플레이트(540)의 후면에 결합되고, 후면은 상기 제2 플레이트(520)와 결합되되, 전면에 안내홈(551)이 형성되어 에어가 각각의 상기 안착홀(541)로 이동되는 것을 가이드하는 가이드플레이트(550)가 형성되고, 상기 안착홀(541)에는 상기 인입공(542)으로부터 인입되는 에어에 의해 작동하여 상기 제1 플레이트(510)를 전면방향으로 이동시키는 구동실린더모듈(600)이 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 전면에 인입공(542)을 포함하는 다수개의 안착홀(541)이 형성되고, 하부는 상기 에어공급배기유닛(400)과 결합되는 베이스플레이트(540)가 형성되고, 상기 제1 플레이트(510)와 상기 베이스플레이트(540)의 사이에는 상기 제1 플레이트(510)와 상기 베이스플레이트(540)를 연결하여 지지하는 서포트모듈(530)이 형성되며, 전면은 상기 베이스플레이트(540)의 후면에 결합되고, 후면은 상기 제2 플레이트(520)와 결합되되, 전면에 안내홈(551)이 형성되어 에어가 각각의 상기 안착홀(541)로 이동되는 것을 가이드하는 가이드플레이트(550)가 형성되고, 상기 안착홀(541)에는 상기 인입공(542)으로부터 인입되는 에어에 의해 작동하여 상기 제1 플레이트(510)를 전면방향으로 이동시키는 구동실린더모듈(600)이 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 구동실린더모듈(600)은, 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 공급되는 에어를 통해 상기 제1 플레이트(510)를 전면방향으로 이동시켜 상기 제1 이동통로(110)를 폐쇄시키고, 상기 제1 이동통로(110)가 상기 제1 플레이트(510)에 의해 폐쇄된 상태에서 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 에어가 연속하여 공급시, 공압에 의해 상기 베이스플레이트(540)를 후면방향으로 밀어 상기 제2 플레이트(520)를 후면방향으로 이동시켜 상기 제2 이동통로(120)를 폐쇄시키는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 베이스플레이트(540)의 양측면에는 상기 제2 플레이트(520)가 상기 제2 이동통로(120)를 폐쇄시 상기 베이스플레이트(540), 상기 가이드플레이트(550) 및 상기 제2 플레이트(520)의 수평이동을 가이드하고, 상기 제2 플레이트(520)가 상기 제2 이동통로(120)를 폐쇄한 상태에서 에어가 외부로 배기시 상기 베이스플레이트(540), 상기 가이드플레이트(550) 및 상기 제2 플레이트(520)가 원위치로 되돌아 가는 것을 가이드하는 이동가이드모듈(700)이 각각 형성되는 것을 특징으로 한다.

또한, 각각의 상기 이동가이드모듈(700)은 상기 실린더부(300)의 샤프트(310)와 각각 결합되어 고정되는 것을 특징으로 한다.

이상, 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 실린더부를 통해 블레이드를 수직이동시키고, 에어공급배기유닛을 통한 공압으로 블레이드부를 수평이동시킴으로써, 구동시 실린더의 사용을 최소화하고, 제1, 2 플레이트에 균일하게 공급되는 공압을 통해 제1, 2 이동통로의 기밀성을 상승시키는 장점이 있다.

또한, 블레이드부에 제1, 2 플레이트를 지지하는 별도의 서포트모듈을 결합시킴으로써, 제1, 2 플레이트를 수평이동시키는 구동실린더모듈에는 블레이드부의 무게전달을 최소화하여 구동실린더모듈 내의 구성요소가 블레이드부의 무게로 인해 파손되거나 변형되는 것을 방지하여 신뢰성이 보장된 기계적 구동이 가능하다는 장점이 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 전체 모습을 보인 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브 중 블레이드부의 전체 모습을 보인 사시도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 분해된 모습을 보인 분해사시도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 구성 중 베이스플레이트 및 가이드플레이트의 모습을 보인 사시도
도 5는 도 4의 A-A 단면도
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 구성 중 서포트모듈의 전면 및 D-D의 단면의 모습을 보인상태도
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 구성 중 서포트모듈의 측면 및 E-E의 단면의 모습을 보인 상태도
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 구성 중 구동실린더모듈의 전면 및 B-B의 단면의 모습을 보인 상태도
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 구성 중 이동가이드모듈의 전면 및 C-C의 단면의 모습을 보인 상태도
도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브의 구성 중 블레이드부의 전면 및 F-F, G-G, H-H의 단면의 모습을 보인 상태도
도 11 내지 15는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공밸브가 제1, 2 이동통로를 폐쇄시키는 모습을 보인 실시예도
도 16은 본 발명의 바람직한 다른 실시예에 따른 진공밸브의 분해된 모습을 보인 분해사시도

이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공밸브(1)를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.

도 1, 도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공밸브(1)는 크게 밸브하우징(100), 하부플레이트(200), 실린더부(300), 에어공급배기유닛(400), 블레이드부(500), 구동실린더모듈(600) 및 이동가이드모듈(700)로 구성된다.

먼저, 밸브하우징(100)에 대하여 설명한다. 상기 밸브하우징(100)은 도 1 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 전면과 후면에 각각 반도체소자(예컨대 웨이퍼 등) 또는 FPD가 이동되는 제1, 2 이동통로(110, 120)가 통공되어 형성되는 구성요소로서, 상기 밸브하우징(100)의 내측에는 후술할 블레이드부(500)가 위치되어 상기 제1, 2 이동통로(110, 120)를 개폐할 수 있도록 공간으로 이루어진 공간부(130)가 형성된다.

다음으로, 하부플레이트(200)에 대하여 설명한다. 상기 하부플레이트(200)는 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 밸브하우징(100)의 하부에 결합되어 상기 공간부(130) 내에 설치된 상기 블레이드부(500)가 외부로 이탈되는 것을 방지하는 역할을 한다.

또한, 상기 하부플레이트(200)에는 상기 하부플레이트(200)의 하부측에 설치되는 후술할 실린더부(300) 및 에어공급배기유닛(400)이 상기 공간부(130) 내에 위치한 상기 블레이드부(500)와 기구적으로 연결될 수 있도록 구멍이 타공형성되는 것이 바람직하다.

다음으로, 실린더부(300)에 대하여 설명한다. 상기 실린더부(300)는 도 1, 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 하부플레이트(200)의 하부 양측에 각각 설치되어 샤프트(310)와 연결된 상기 블레이드부(500)의 수직이동을 가능하게 하는 구성요소로서, 상기 실린더부(300)는 본 발명이 속하는 분야에서 널리 알려진 수준의 기술수준에 해당하므로, 상세한 설명은 생략한다.

다음으로, 에어공급배기유닛(400)에 대하여 설명한다. 상기 에어공급배기유닛(400)은 도 1, 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 하부플레이트(200)의 하부 중앙측에 설치되어 에어샤프트(410)와 연결된 상기 블레이드부(500) 내에 에어를 주입하여 상기 블레이드부(500) 내에 공압이 생성되는 것을 가능하게 하거나 상기 블레이드부(500) 내에 에어를 외부로 배기되도록 안내하는 구성요소로서, 상기 에어공급배기유닛(400)은 본 발명이 속하는 분야에서 널리 알려진 수준의 기술수준에 해당하므로, 상세한 설명은 생략한다.

다음으로, 블레이드부(500)에 대하여 설명한다. 상기 블레이드부(500)는 도 3, 도 4 또는 도 5에 나타낸 것과 같이, 상기 공간부(130)에 구비되어 상황에 따라 각각의 상기 제1, 2 이동통로(110, 120)를 걔폐시키는 구성요소로서, 제1 플레이트(510), 제2 플레이트(520), 서포트모듈(530), 베이스플레이트(540), 가이드플레이트(550)으로 구성된다.

상기 제1 플레이트(510)는 상기 블레이드부(500) 작동여부에 따라 상기 제1 이동통로(110)측으로 이동하여 상기 블레이드부(500)의 내측면에 지지되는 구성요소로서, 공압을 통해 후술할 제2 플레이트(520)가 후면방향으로 이동하는 경우, 상기 제2 플레이트(520)가 상기 제2 이동통로(120)를 폐쇄하는 것을 가이드 해 준다.

한편, 상기 제1 플레이트(510)의 내측에는 하나 이상의 관통공(511)이 형성됨으로써, 본 발명의 일 실시예에 따른 진공밸브(1) 일측의 챔버 내부는 진공 또는 대기압 상태이고 타측의 챔버 내부는 진공 또는 대기압 상태일 경우, 상기 진공밸브(1)의 내부에 발생할 수 있는 압력변화를 방지해 주어 상기 진공밸브(10)가 안정적으로 작동되는 것을 가능하게 해 준다.

상기 제2 플레이트(520)는 상기 제2 이동통로(120)를 개폐하는 구성요소로서, 상기 구동실린더모듈(600)의 작동 여부에 따라 후면방향으로 이동하여 상기 제2 이동통로(120)를 개폐하는 역할을 한다.

상기 서포트모듈(530)은 전면에는 상기 제1 플레이트(510)와 결합되고, 후면에는 후술할 베이스플레이트(540)와 결합되며, 하부는상기 에어공급배기유닛(400)과 결합되어 상기 블레이드부(500)를 지지하고, 상기 에오공급배기유닛(400)을 통해 상기 블레이드부(500) 내부에 에어를 전달하거나 에어를 외부로 배기시키는 것을 가이드하는 구성요소로서, 도 6 또는 도 7에 나타낸 것과 같이, 에어공급라인(531), 에어배기라인(532), 제1 하우징(533), 제1 가압판(534), 연결유닛(535), 제1 벨로우즈(536) 및 제1 외기공(537)으로 구성된다.

상기 에어공급라인(531)는 상기 서포트모듈(530)의 내부에 형성되는 일종의 관로로서, 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 공급되는 에어를 제1 통공(531a)를 통해 후술할 가이드플레이트(550)의 안내홈(551)으로 이동되는 것을 가이드함으로써, 상기 안내홈(551)와 연결된 후술할 베이스플레이트(540)의 인입공(542)에 에어를 주입시켜 상기 인입공(542)이 형성된 안착홀(541)에 안착된 상기 구동실린더모듈(600)에 공압을 제공하여 후술할 구동실린더모듈(600)의 제2 가압판(630)을 전진시켜 상기 제1 플레이트(510)가 전면방향으로 이동되는 것을 가능하게 한다.

상기 에어배기라인(532)는 상기 서포트모듈(530)의 내부에 형성되는 일종의 관로로서, 상기 제2 가압판(630)이 전진되는 경우, 후술할 구동실린더모듈(600)의 하우징 내부(611)에 존재하는 에어가 후술할 베이스플레이트(540)의 배출공(545) 및 후술할 가이드플레이트(550)의 띠형안내홈(552)을 따라 제2 통공(532a)를 통해 상기 에어배기라인(532)으로 이동되어 상기 에어공급배기유닛(400)으로 배기되는 것을 가이드 함으로써, 상기 구동실린더모듈(600)의 기계적 원활한 작동을 가능하게 한다.

상기 제1 하우징(533)은 상기 서포트모듈(530)의 외형을 이루는 일종의 몸체로서, 내측에 하나 이상의 홀 및 구멍이 형성되어 후술할 제1 가압판(534)와 연결유닛(535)이 축결합되는 것을 가능하게 한다.

상기 제1 가압판(534)은 상기 서포트모듈(530)의 전면에 하나 이상 축결합되는 구성요소로서, 상기 제1 플레이트(510)의 후면과 직접적으로 연결되어 상기 제1 플레이트(510)를 지지하고, 상기 구동실린더모듈(600)에 의해 상기 제1 플레이트(510)가 전면방향으로 이동하는 경우, 상기 제1 플레이트(510)의 정확한 수평이동을 가이드 하는 역할을 한다.

상기 연결유닛(535)은 상기 서포트모듈(530)의 후면에 하나 이상 형성되어 상기 제1 가압판(534)과 연결되는 구성요소로서, 상기 베이스플레이트(540)와 직접적으로 연결되어 상기 제2 플레이트(520)를 간접적으로 지지하는 역할을 한다.

상기 제1 벨로우즈(536)는 상기 제1 가압판(534) 및 상기 서포트모듈(530) 사이에 형성되어 상기 제1 가압판(534)의 이동을 가이드하는 역할을 한다.

상기 제1 외기공(537)은 상기 제1 가압판(534)에 형성되는 일종의 구멍으로서, 상기 제1 벨로우즈(536)가 팽창상태에서 수축상태로 변환하는 경우 상기 제1 벨로우즈(536) 내의 공압을 외부로 배기시키는 역할을 한다.

상기 베이스플레이트(540)는 전면에는 상기 서포트모듈(530)과 결합되고, 후면에는 상기 가이드플레이트(550)와 결합되어 상기 서포트모듈(530)을 통해 주입되는 에어를 상기 구동실린더모듈(600)에 전달하거나 구동실린더모듈(600) 내의 에어를 상기 서포트모듈(530)측으로 전달하여 외부로 배기시키는 것을 가이드 하는 구성요소로서, 안착홀(541), 인입공(542), 제1 에어이동공(543), 제2 에어이동공(544) 및 배출공(545)로 구성된다.

상기 안착홀(541)은 상기 베이스플레이트(540)의 전면에 하나 이상 함몰형성되어 상기 구동실린더모듈(600)이 설치되는 공간을 말한다.

상기 인입공(542)은 상기 안착홈(541)에 타공형성된 일종의 구멍으로서, 상기 인입공(542)은 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 공급된 에어가 상기 에어공급라인(531), 제1 통공(531a) 및 안내홈(551)을 거쳐 상기 안착홈(541)으로 이동되는 것을 가능하게 해 줌으로써, 상기 구동실린더모듈(600)이 공압에 의해 작동되는 것을 가능하게 한다.

상기 제1 에어이동공(543)은 상기 베이스플레이트(540)의 내부에 타공된 일종의 구멍으로서, 상기 제1 통공(531a)와 연통되고, 상기 안내홈(551)과 연통되도록 형성함으로써, 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 발생되는 에어가 상기 안착홈(541)으로 이동되는 것을 가능하게 해 준다.

상기 제2 에어이동공(544)은 상기 베이스플레이트(540)의 내부에 타공된 일종의 구멍으로서, 상기 제2 통공(532a)와 연통되고, 상기 띠형안내홈(552)과 연통되도록 형성함으로써, 상기 구동실린더모듈(600)의 하우징내부(611)의 에어를 배기하는 경우, 상기 에어배기라인(532)으로 배기시켜 에어가 상기 에어공급배기유닛(400)으로 이동되는 것을 가능하게 해 준다.

상기 배출공(545)는 상기 안착홀(541)에 타공된 일종의 구멍으로서, 상기 띠형안내홈(552)과 연통되도록 형성함으로써, 상기 구동실린더모듈(600)의 하우징내부(611)의 에어를 배기하는 경우, 상기 제2 외기공(612), 배출공(545), 띠형안내홈(552), 제2 에어이동공(544), 제2 통공(532a), 에어배기라인(532) 순으로 에어가 이동되어 최종적으로 상기 에어공급배기유닛(400)으로 이동되는 것을 가능하게 해 준다.

한편, 상기 서포트모듈(530) 및 상기 베이스플레이트(540)의 다른 일실시예로 도 16에 나타낸 것과 같이, 상기 서포트모듈(530)은 단순히 상기 제1 플레이트(510)와 상기 베이스플레이트(540)의 연결하는 구조로 형성되는 것이 가능하다.

이때, 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 에어를 상기 베이스플레이트(540)에 공급하거나 에어를 배기 위하여, 상기 베이스플레이트(540) 내부에는 에어가 주입되는 제1 에어이동라인(546)과 에어가 배기되는 제2 에어이동라인(547)이 형성된다.

한편, 상기 제1 에어이동라인(546)과 에어가 배기되는 제2 에어이동라인(547)는 상기 에어공급배기유닛(400)의 에어샤프트(410)와 직접 연결되는 것도 가능하고, 제3통공(810)과 제4통공(820)이 형성되는 연결브라켓(800)을 통해 상기 에어공급배기유닛(400)과 연결되는 것도 가능하다.

상기 가이드플레이트(550)는 전면이 상기 베이스플레이트(540)와 결합되고, 후면이 상기 제2 플레이트(520)와 결합되어 상기 베이스플레이트(540)와 함께 상기 서포트모듈(530)을 통해 주입되는 에어를 상기 구동실린더모듈(600)에 전달하거나 구동실린더모듈(600) 내의 에어를 상기 서포트모듈(530)측으로 전달하여 외부로 배기시키는 것을 가이드 하는 구성요소로서, 안내홈(551), 띠형안내홈(552), 장착홀(553), 제1 토출공(554), 에어토출라인(555) 및 제2 토출공(556)으로 구성된다.

상기 안내홈(551)은 상기 가이드플레이트(550)의 전면에 함몰형성되는 구성요소로서, 상기 제1 에어이동공(543)을 통해 주입된 에어가 각각의 상기 인입공(542)으로 이동되는 것을 가능하게 해 준다.

상기 띠형안내홈(552)은 상기 안내홈(551)의 주변으로 띠형상처럼 함몰형성되는 구성요소로서, 상기 배출공(545)을 통해 상기 구동실린더모듈(600)의 하우징내부(611)으로부터 배기되는 에어가 상기 제2 에어이동공(544)으로 이동되는 것을 가능하게 해 준다.

상기 장착홀(553)은 상기 가이드플레이트(500)의 전면 양측에 하나 이상 함몰형성되어 후술할 이동가이드모듈(700)의 제3 가압판(720)이 안착되는 것을 가능하게 해 준다.

상기 제1 토출공(554)는 상기 장착홀(553)에 타공된 일종의 구멍으로서, 상기 이동가이드모듈(700) 내의 에어가 배기시, 상기 제1 토출공(554)을 통해 에어가 후술할 에어토출라인(555)으로 이동되는 것을 가능하게 해 준다.

상기 에어토출라인(555)은 상기 가이드플레이트(500)의 내부에 형성되는 일종의 관로로서, 상기 제1 토출공(554)과 후술할 제2 토출공(556)을 연결하여 상기 이동가이드모듈(700) 내의 에어가 배기시, 상기 에어토출라인(555)을 통해 에어가 상기 제2 토출공(556)으로 이동되는 것을 가능하게 해 준다.

상기 제2 토출공(556)은 상기 가이드플레이트(500)의 내부에 형성되어 상기 띠형안내홈(552)와 연통되는 구성요소로서, 상기 이동가이드모듈(700) 내의 에어가 배기시, 상기 제2 토출공(556)을 통해 에어가 상기 띠형안내홈(552), 제2 에어이동공(544), 제2 통공(532a), 에어배기라인(532) 순으로 이동되어 최종적으로 상기 에어공급배기유닛(400)으로 이동되는 것을 가능하게 해 준다.

다음으로, 구동실린더모듈(600)에 대하여 설명한다. 상기 구동실린더모듈(600)은 도 8 또는 도 10에 나타낸 것과 같이, 상기 안착홀(541)에 안착되고, 상기 제1 플레이트(510)와 결합되어 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 에어를 공급받아 상기 제1 플레이트(510)를 전면방향으로 이동시키고, 에어의 공급량에 따라 상기 제2 플레이트(520)를 후면방향으로 이동시키는 구성요소로서, 제2 하우징(610), 제2 피스톤(620), 제2 가압판(630), 제2 벨로우즈(640) 및 탄성부재(650)으로 구성된다.

상기 제2 하우징(610)은 상기 구동실린더모듈(600)의 외형을 이루는 일종의 몸체로서, 내측에 공간으로 이루어진 하우징내부(611)가 형성되어 후술할 제2 피스톤(620)의 수평으로의 이동을 가능하게 해 준다.

한편, 상기 하우징내부(611)에는 상기 배출공(545)과 연통되는 제2 외기공(612)가 형성됨으로써, 상기 하우징내부(611)의 에어가 배기시 상기 제2 외기공(611)을 통해 상기 에어공급배기유닛(400) 측으로 이동되는 것을 가능하게 해 준다.

상기 제2 피스톤(620)은 상기 구동실린더모듈(600)의 후면에 장착되고, 상기 제2 가압판(630)와 연결되는 구성요소로서, 상기 인입공(542)으로부터 에어가 인입되는 경우, 에어의 가압으로 인해 전진하여 상기 제2 가압판(630)을 전진시켜 상기 제2 가압판(630)과 결합된 상기 제1 블레이드(510)를 전면방향으로 이동시키는 것을 가능하게 해 준다.

상기 제2 가압판(630)는 상기 구동실린더모듈(600)의 전면에 형성되고, 상기 제2 피스톤(620)과 축결합되는 구성요소로서, 상기 제1 플레이트(510)의 후면과 연결되어 에어의 공급 여부에 따라 전진하여 상기 제1 블레이드(510)를 전면방향으로 이동시키는 것을 가능하게 해 준다.

상기 제2 벨로우즈(640)는 상기 제2 가압판(630) 및 상기 구동실린더모듈(600) 사이에 형성되어 상기 제2 가압판(630)의 이동을 가이드하는 역할을 한다.

상기 탄성부재(650)는 상기 하우징내부(611)에 압축력 상태를 유지하며 구비되고, 상기 제2 하우징(610)과 제2 피스톤(620)을 지지하는 구성요소로서, 상기 제2 가압판(630)이 전진하여 상기 제1 플레이트(510)가 상기 제1 이동통로(110)를 폐쇄한 상태에서 상기 하우징내부(611)의 에어가 배기시켜 상기 제1 이동통로(110)를 개방하는 경우, 전진되어 있는 상기 제2 가압판(630)이 탄성력에 의해 후면방향으로 당겨짐으로써, 상기 제2 가압판(630)과 결합되어 있는 상기 제1 플레이트(510)를 후면방향으로 이동시켜 상기 제1 이동통로(110)가 개방되는 것을 가능하게 한다.

한편, 본 발명에 있어서, 상기 구동실린더모듈(600)은 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 공급되는 에어를 통해 상기 제1 플레이트(510)를 전면방향으로 이동시켜 상기 제1 이동통로(110)를 폐쇄시키고, 이후, 상기 제1 이동통로(110)가 상기 제1 플레이트(510)에 의해 폐쇄된 상태에서 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 에어를 연속하여 공급하게 되면, 상기 제1 플레이트(510)가 상기 밸브하우징(100)의 전면 내측에 접촉되어 전면방향으로의 이동이 제한됨에 따라 공압에 의해 상기 베이스플레이트(540)를 후면방향으로 밀어 상기 제2 플레이트(520)를 후면방향으로 이동시켜 상기 제2 이동통로(120)를 폐쇄시키는 것이 특징이다.

다음으로, 이동가이드모듈(700)에 대하여 설명한다. 상기 이동가이드모듈(700)은 도 9 또는 도 10에 나타낸 것과 같이, 상기 베이스플레이트부(540)의 양측면에 결합되고, 각각의 실린더부(300)에 결합되어, 상기 제2 플레이트(520)가 상기 제2 이동통로(120)를 폐쇄시 상기 베이스플레이트(540), 상기 가이드플레이트(550) 및 상기 제2 플레이트(520)의 수평이동을 가이드하고, 상기 제2 플레이트(520)가 상기 제2 이동통로(120)를 폐쇄한 상태에서 에어가 외부로 배기시 상기 베이스플레이트(540), 상기 가이드플레이트(550) 및 상기 제2 플레이트(520)가 원위치로 되돌아 가는 것을 가이드 하는 구성요소로서, 그 구성은 상기 서포트모듈(530)과 유사하다.

한편, 상기 이동가이드모듈(700)의 측면에는 판스프링(740)이 형성되어 상기 베이스플레이트(540)와 결합됨으로써, 상기 제2 이동통로(120)를 폐쇄한 상태에서 에어가 외부로 배기시 상기 베이스플레이트(540), 상기 가이드플레이트(550) 및 상기 제2 플레이트(520)가 원위치로 되돌아 가는 것을 가능하게 한다.

한편, 상기 이동가이드모듈(700)은 상기 실린더부(300)의 샤프트(310)와 결합되어 고정됨으로써, 상기 블레이드부(500)의 수평이동만을 가이드하여 정확하고 신뢰도가 높은 구동을 구현할 수 있게 해 준다.

이하에서는 도 11 내지 도 12를 참조하여, 본 발명의 일 실시예어 따른 듀얼 데이트밸브(1)를 통해 상기 제1, 2 이동통로(110, 120)를 폐쇄하는 과정에 대하여 설명하기로 한다.

설명에 앞서, 보다 정확한 설명을 위하여 도 11과 도 12에는 밸브하우징(100)의 도시를 생략하였음에 유의하여야 한다.

먼저, 도 11에 나타낸 것과 같이, 최초 작동 전에는 상기 블레이드부(500)가 상기 하부플레이트(200) 측에 가깝게 위치한다.

이후, 도 12에 나타낸 것과 같이, 상기 실린더부(300)가 작동하면 상기 블레이드부(500)는 상승하게 되는데, 이때 상기 블레이드부(500)는 상기 제1, 2 이동통로(110, 120)와 수평면상 동일한 위치까지 상승하게 된다.

다음으로, 도 13에 나타낸 것과 같이, 상기 제1, 2 블레이드(510, 520)가 작동 전에 상기 공간부(130)에 위치한 상태에서, 도 14에 나타낸 것과 같이, 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 에어가 상기 구동실린더모듈(600)로 주입되면, 상기 제2 피스톤(620)이 전진하여 상기 제2 가압판(610)을 전진시키고, 상기 제2 가압판(610)이 전진함에 따라 상기 제1 플레이트(510)가 전면방향으로 이동하여 상기 제1 이동통로(110)를 폐쇄시키게 된다.

이후, 도 14에 나타낸 것과 같이, 상기 제1플레이트(510)가 상기 제1 이동통로(110)를 폐쇄시킨 상태에서 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 에어가 계속 상기 구동실린더모듈(600)로 주입되면, 상기 제1 플레이트(510)가 더 이상 전면방향으로의 이동하지 못하게 됨에 따라 상기 제2 가압판(610)이 상기 제1 플레이트(510)에 지지되면서 공압에 의해 상기 제2 하우징(610)을 후면으로 밀리면서 상기 베이스플레이트(540), 가이드플레이트(550) 및 제2 플레이트(520)를 후면방향으로 밀어 상기 제2 플레이트(520)가 상기 제2 이동통로(120)를 폐쇄시키게 된다.

이때, 상기 이동가이드모듈(700)은 고정된 상태에서 상기 베이스플레이트(540)와 연결된 상기 판스프링(740)은 휘어지게 된다.

한편, 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 에어가 차단된 후 에어가 외부로 배기되면, 먼저, 상기 베이스플레이트(540), 가이드플레이트(550) 및 제2 플레이트(520)는 상기 판스프링(740)의 탄성력에 의해 원위치로 복귀하게 되어 상기 제2 이동통로(120)가 개방되고, 상기 제1 플레이트(510)는 상기 탄성부재(650)의 탄성력에 의해 원위치로 복귀하게 되어 상기 제1 이동통로(110)가 개방된다.

도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

1: 듀얼 게이트 밸브
100: 밸브하우징
110: 제1 이동통로 120: 제2 이동통로
130: 공간부
200: 하부플레이트
300: 실린더부 310: 샤프트
400: 에어공급배기유닛 410: 에어샤프트
500: 블레이드부
510: 제1 플레이트 511: 관통공
520: 제2 플레이트
530: 서포트모듈 531: 에어공급라인
531a: 제1 통공 532: 에어배기라인
532a: 제2 통공 533: 제1 하우징
534: 제1 가압판 535: 연결유닛
536: 제1 벨로우즈 537: 제1 외기공
540: 베이스플레이트
541: 안착홀 542: 인입공
543: 제1 에어이동공 544: 제2 에어이동공
545: 배출공
550: 가이드플레이트
551: 안내홈 552:띠형안내홈
553: 장착홀 554: 제1 토출공
555: 에어토출라인 556: 제2 토출공
600: 구동실린더모듈
610: 제2 하우징 611: 하우징내부
612: 제2 외기공 620: 제2 피스톤
630: 제2 가압판 640: 제2 벨로우즈
650: 탄성부재
700: 이동가이드모듈
710: 제3 하우징 720: 제3 가압판
721: 제3 외기공 730: 제3 벨로우즈
740: 판스프링
800: 연결브라켓 810: 제3통공
820: 제4 통공

Claims

삭제
전면과 후면에 각각 개구된 제1, 2 이동통로(110, 120) 및 내측에 각각의 상기 제1, 2 이동통로(110, 120)와 연통된 공간부(130)가 형성되는 밸브하우징(100);
상기 밸브하우징(100)의 하부에 각각 설치되는 실린더부(300) 및 에어공급배기유닛(400);
상기 공간부(130)에 구비되되, 상기 실린더부(300)와 연결되어 상기 실린더부(300)의 작동 여부에 따라 승, 하강되고, 상기 에어공급배기유닛(400)과 연결되어 에어의 공급 여부에 따라 전면방향과 후면방향으로 이동하여 상기 제1 이동통로(110)측에 지지되는 제1 플레이트(510)와 상기 제2 이동통로(120)를 개폐시키는 제2 플레이트(520)가 포함되는 블레이드부(500);로 구성되되,
블레이드부(500)는,
전면은 상기 제1 플레이트(510)와 결합되고, 하부는 상기 에어공급배기유닛(400)과 결합되어 에어가 연통되는 서포트모듈(530)이 형성되고,
상기 서포트모듈(530)의 후면에 결합되어 에어가 연통되되, 전면에는 인입공(542)을 포함하는 다수개의 안착홀(541)이 형성되는 베이스플레이트(540)가 형성되며,
전면은 상기 베이스플레이트(540)의 후면에 결합되고, 후면은 상기 제2 플레이트(520)와 결합되되, 전면에 안내홈(551)이 형성되어 에어가 각각의 상기 안착홀(541)로 이동되는 것을 가이드하는 가이드플레이트(550)가 형성되고,
상기 안착홀(541)에는 상기 인입공(542)으로부터 인입되는 에어에 의해 작동하여 상기 제1 플레이트(510)를 전면방향으로 이동시키는 구동실린더모듈(600)이 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브(1).
전면과 후면에 각각 개구된 제1, 2 이동통로(110, 120) 및 내측에 각각의 상기 제1, 2 이동통로(110, 120)와 연통된 공간부(130)가 형성되는 밸브하우징(100);
상기 밸브하우징(100)의 하부에 각각 설치되는 실린더부(300) 및 에어공급배기유닛(400);
상기 공간부(130)에 구비되되, 상기 실린더부(300)와 연결되어 상기 실린더부(300)의 작동 여부에 따라 승, 하강되고, 상기 에어공급배기유닛(400)과 연결되어 에어의 공급 여부에 따라 전면방향과 후면방향으로 이동하여 상기 제1 이동통로(110)측에 지지되는 제1 플레이트(510)와 상기 제2 이동통로(120)를 개폐시키는 제2 플레이트(520)가 포함되는 블레이드부(500);로 구성되되,
블레이드부(500)는,
전면에 인입공(542)을 포함하는 다수개의 안착홀(541)이 형성되고, 하부는 상기 에어공급배기유닛(400)과 결합되는 베이스플레이트(540)가 형성되고,
상기 제1 플레이트(510)와 상기 베이스플레이트(540)의 사이에는 상기 제1 플레이트(510)와 상기 베이스플레이트(540)를 연결하여 지지하는 서포트모듈(530)이 형성되며,
전면은 상기 베이스플레이트(540)의 후면에 결합되고, 후면은 상기 제2 플레이트(520)와 결합되되, 전면에 안내홈(551)이 형성되어 에어가 각각의 상기 안착홀(541)로 이동되는 것을 가이드하는 가이드플레이트(550)가 형성되고,
상기 안착홀(541)에는 상기 인입공(542)으로부터 인입되는 에어에 의해 작동하여 상기 제1 플레이트(510)를 전면방향으로 이동시키는 구동실린더모듈(600)이 하나 이상 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브(1).
청구항 제2항 또는 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 구동실린더모듈(600)은,
상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 공급되는 에어를 통해 상기 제1 플레이트(510)를 전면방향으로 이동시켜 상기 제1 이동통로(110)를 폐쇄시키고,
상기 제1 이동통로(110)가 상기 제1 플레이트(510)에 의해 폐쇄된 상태에서 상기 에어공급배기유닛(400)으로부터 에어가 연속하여 공급시, 공압에 의해 상기 베이스플레이트(540)를 후면방향으로 밀어 상기 제2 플레이트(520)를 후면방향으로 이동시켜 상기 제2 이동통로(120)를 폐쇄시키는 것을 특징으로 하는 진공밸브(1).
청구항 제2항 또는 제3항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 베이스플레이트(540)의 양측면에는 상기 제2 플레이트(520)가 상기 제2 이동통로(120)를 폐쇄시 상기 베이스플레이트(540), 상기 가이드플레이트(550) 및 상기 제2 플레이트(520)의 수평이동을 가이드하고, 상기 제2 플레이트(520)가 상기 제2 이동통로(120)를 폐쇄한 상태에서 에어가 외부로 배기시 상기 베이스플레이트(540), 상기 가이드플레이트(550) 및 상기 제2 플레이트(520)가 원위치로 되돌아 가는 것을 가이드 하는 이동가이드모듈(700)이 각각 형성되는 것을 특징으로 하는 진공밸브(1).
청구항 제5항에 있어서,
각각의 상기 이동가이드모듈(700)은 상기 실린더부(300)의 샤프트(310)와 각각 결합되어 고정되는 것을 특징으로 하는 진공밸브(1).