KR100544299B1 - 진공 게이트밸브 - Google Patents

진공 게이트밸브 Download PDF

Info

Publication number
KR100544299B1
KR100544299B1 KR1020050041429A KR20050041429A KR100544299B1 KR 100544299 B1 KR100544299 B1 KR 100544299B1 KR 1020050041429 A KR1020050041429 A KR 1020050041429A KR 20050041429 A KR20050041429 A KR 20050041429A KR 100544299 B1 KR100544299 B1 KR 100544299B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
blade
air passage
gate valve
slide groove
lower blade
Prior art date
Application number
KR1020050041429A
Other languages
English (en)
Inventor
김배진
Original Assignee
주식회사 에스티에스
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 에스티에스 filed Critical 주식회사 에스티에스
Priority to KR1020050041429A priority Critical patent/KR100544299B1/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100544299B1 publication Critical patent/KR100544299B1/ko

Links

Images

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
    • F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
    • F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
    • F16K3/30—Details
    • F16K3/314—Forms or constructions of slides; Attachment of the slide to the spindle
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Details Of Valves (AREA)
  • Sliding Valves (AREA)

Abstract

본 발명은 진공 게이트밸브에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 진공 게이트밸브는, 공정챔버와 진공펌프에 연결되는 공기통로가 형성되고, 일측으로부터 상기 공기통로를 직교방향으로 관통하는 슬라이드 공간이 형성되며, 내측면 양쪽에는 일측으로부터 상기 공기통로 방향으로 평행하다가 상향으로 구부러진 슬라이드홈이 형성된 하우징; 상기 슬라이드홈을 따라 이동하며, 상기 공기통로를 개폐하는 상판 블레이드; 상기 상판 블레이드와 링크결합된 하판 블레이드를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 본 발명에 따른 진공 게이트에 의하면, 간단한 구조에 의하여 밀폐부재의 스크래치를 줄임으로써 밸브의 수명을 연장하는 장점이 있다.
밸브, 진공밸브, 게이트밸브

Description

진공 게이트밸브{Vacuum gate valve}
도 1은 반도체소자 제조장치를 설명하는 참고도,
도 2는 종래 진공 게이트밸브의 평면도,
도 3은 종래 진공 게이트밸브의 측단면도,
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트밸브의 하우징(100)의 사시도,
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트밸브의 하우징(100)의 측단면도,
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트밸브의 상판 블레이드(210)와 하판 블레이드(220)의 외관사시도,
도 7은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트밸브에서 링크의 움직을 설명하는 설명도,
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트밸브에서 밸브 오픈시의 평면도와 측단면도,
도 9는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트밸브에서 밸브 오픈시의 설명도,
도 10은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트밸브에서 밸브가 닫힐 때를 설명하는 설명도이다.
*도면의 주요부위에 대한 부호의 설명*
100: 하우징 110: 공기통로
120: 슬라이드 공간 130: 제 1플랜지
140: 제 2플랜지 150: 슬라이드홈
210: 상판 블레이드 220: 하판 블레이드
230: 링크 240: 롤베어링
250: 롤러 300: 액츄에이터
본 발명은 진공 게이트밸브에 관한 것으로서, 더 상세하게는 밸브를 밀폐하는 블레이드를 개량하여 블레이드에 형성된 오링의 스크래치를 최소화하여 밸브의 수명이 연장되는 진공 게이트밸브에 관한 것이다.
일반적으로 반도체는 고정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조된다. 따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.
반도체소자 제조장치에는 공정챔버의 유동성가스를 배기시키기 위하여, 배기용 펌프와 유동성의 가스를 중화시키기 위한 가스처리기가 구비되어 있다.
도 1은 이러한 반도체소자 제조장치의 부분적인 개략도이다.
공정챔버(10)와 진공펌프(20)의 사이에는 배기가스의 양을 조절하는 스로틀밸브(12)와 배기가스의 통로를 개폐하는 게이트밸브(14)가 설치되어 있다. 그리고 공정챔버(10)와 진공펌프(20)의 사이, 또는 진공펌프(20)와 가스처리기(30)의 사이에는 라인을 일시적으로 차단하기 위한 게이트 밸브(40)가 설치되어 있다. 이러한 게이트 밸브(40)는 라인을 가동중인 상태에서 라인을 점검할 수 있도록 일부라인을 개방하고 일부라인을 폐쇄시키는 역할을 한다.
이와 같은 게이트 밸브로서 종래에 사용되고 있는 한 예를 설명한다.
도 2는 종래 게이트 밸브의 평면도이고, 도 3은 도 2에 도시한 게이트 밸브의 측단면도이다.
이 도면에 도시된 게이트 밸브(40)는 공정챔버(10)와 진공펌프(20)에 연결되 연결관(22,32)에 각각 플랜지이음으로 연결되는 통과공(52)을 갖는 본체부(50)의 일측으로 연장 형성된 슬라이더부(60)와, 이 슬라이더부(60)의 본체부(50) 상대측 부위에 설치되는 실린더(70)와, 실린더와 연결된 구동축(72)에 의해 왕복 슬라이딩되어 본체부(50)의 통과공(52)을 개폐하는 차단판(80)으로 이루어진다.
차단판에는 가장자리를 따라 홈이 형성되고, 이 홈(82)에 본체부와의 밀폐를 위한 오링(84)이 결합되어 있다.
이와 같은 종래의 게이트 밸브(40)는 실린더(70)의 수축 또는 팽창운동에 의해 실린더와 연결된 구동축이 왕복 운동으로 슬라이더부에서 슬라이딩되어 본체부의 통과공을 개폐하게 된다. 그런데 상기와 같은 종래의 게이트 밸브(40)는 본체부 (50)의 통과공(52)과 차단판(80)과의 기밀은 오링(84)에 의해 이루어지게 된다. 따라서 차단판을 최초에 본체부의 통과공에 결합시킬 때 오링에 스크래치 등이 발생할 염려가 있으며, 그 결합에서 강한 힘을 필요로 하여 제조공정상 작업이 어려운 문제점이 있었다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서 본 발명의 목적은 효과적으로 공기이동통로를 개폐함과 동시에, 장기간 사용에서 발생되는 스크래치 등의 손상을 최소화시킨 진공 게이트밸브를 제공하는 것이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명에 따른 진공 게이트밸브는, 공정챔버와 진공펌프에 연결되는 공기통로가 형성되고, 일측으로부터 상기 공기통로를 직교방향으로 관통하는 슬라이드 공간이 형성되며, 내측면 양쪽에는 일측으로부터 상기 공기통로 방향으로 평행하다가 상향으로 구부러진 슬라이드홈이 형성된 하우징; 상기 슬라이드홈을 따라 이동하며, 상기 공기통로를 개폐하는 상판 블레이드; 상기 상판 블레이드와 링크결합된 하판 블레이드를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한 상기 슬라이드홈은 일측으로부터 상기 공기통로 방향으로 평행하다가 공기통로에서 상향으로 구부러진 형상임을 특징으로 한다.
또한, 상기 하판 블레이드는 상기 상판블레이드와 함께 상기 슬라이드홈을 따라 이동하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하우징의 양측면 내측에는 상기 하판 블레이드가 이동되는 일자형 슬라이드홈이 더 포함되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 상판 블레이드 및 하판 블레이드에는 상기 슬라이드홈을 따라 이동하는 롤베어링이 더 포함되는 것을 특징으로 하며, 상기 상판 블레이드에는 양 측면으로 각각 한 개의 롤베어링이 장착되고, 상기 하판 블레이드에는 양 측면으로 각각 두 개의 롤베어링이 장착되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하판 블레이드의 양 측면 전후부에는 상기 하우징의 측면과의 마찰을 최소화하는 롤러가 각각 2개씩 장착되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하판 블레이드에 액츄에이터의 구동력을 전달하는 구동축; 및
상기 구동축에 구동력을 제공하는 액츄에이터;를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트밸브는 하우징(100), 상판블레이드(210), 하판 블레이드(220)가 포함된다. 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트밸브의 하우징(100)의 사시도이며, 도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트밸브의 하우징(100)의 측단면도이다. 도 4내지 도 5를 이용하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공게이트밸브를 설명하기로 한다.
상기 하우징(100)에는, 공정챔버에 연결되는 제 1플랜지(130)가 공기통로(110)의 일측단에 구비되고, 진공펌프에 연결되는 제 2플랜지(140)가 공기통로(110)의 타측단에 구비된다. 따라서 진공펌프는 제 1플랜지(130)와 공기통로(110) 및 제 2플랜지(140)를 통하여 공정챔버내의 공기를 흡입하게 된다.
상기 공기통로(110)의 반대편에는 후술할 상판 블레이드(210) 및 하판 블레이드(220)가 왕복운동하는 공간인 슬라이드공간(120)이 형성되며, 상기 하우징(100)의 슬라이드공간(120)내의 내측면 양쪽에는 슬라이드홈(150)이 형성된다. 상기 슬라이드공간(120)내의 슬라이드홈(150)을 따라 후술할 상기 상판블레이드 및 상기 하판 블레이드(220)에 부착된 롤베어링(240)에 의하여, 상판 블레이드(210) 및 하판 블레이드(220)가 운동하게 된다.
상기 슬라이드홈(150)의 형상은, 후술할 액츄에이터(300)방향으로부터 상기 공기통로(110) 방향으로 평행하게 파여져 있다가, 공기통로(110) 부근에서 상향으로 구부러져 있음에 특징이 있다. 바람직하게는 공기통로의 끝단에서 상향으로 구부러진 형상이 좋지만, 공기통로의 시작단에서 상향으로 구부러지는 것도 가능하다. 후술하겠지만 이렇게 상향으로 구부러져 있으므로 상기 하판 블레이드(220)와 링크연결되는 상판 블레이드(210)가 상향운동하게 되어 공기통로(110)를 밀폐하게 된다.
또한, 상기 슬라이드홈(150) 이외에 상기 하판 블레이드(220)를 위한 별도의 일자형 슬라이드홈(미도시)을 더 형성하게 할 수 있다. 이 경우에는 상기 상판 블레이드(220)는 상기 슬라이드홈(150)을 따라 이동하는 반면에, 상기 하판 블레이드(220)는 상기 일자형 슬라이드홈을 따라 이동하게 된다.
상기 하우징(100)의 제작은 일체로 제작될 수도 있으나, 제 1플랜지(130), 제2플랜지(140)와 기타의 부분들을 별도로 제작한 후 이를 용접하는 것이 비용상 유리할 것이다.
상판 블레이드(210)와 하판 블레이드(220)는 쌍으로 이루어 동작하게 된다.
상기 상판 블레이드(210)의 형상은 사각형상의 판으로 형성되는 것이 일반적이다. 상판 블레이드(210)의 상면에 공기통로(110)와 마주치는 부분에는 원형의 고무 또는 플라스틱재질의 오링이 형성되는 것이 밸브의 밀폐에 좋다.
상판 블레이드(210)의 양 측면의 전두부분(즉 도 6의 좌측)에는 각각 하나 이상씩 롤베어링(240)이 설치되어 있다. 상기 롤베어링(240)에 의하여 상판블레이드는 상기 슬라이드홈(150)을 따라 이동하게 되며, 공기통로(110)에 이르면 상향으로 구부러진 상기 슬라이드홈(150)의 끝부분에서 상승하게되어 결과적으로 상기 상판 블레이드(210)로 공기통로(110)를 밀폐하게 된다.
하판 블레이드(220)는 상기 상판 블레이드(210)와 상기 링크(230)에 의하여 연결되어 있다. 링크는 여러 곳에서 연결될 수 있으나, 바람직하게는 사각형상의 블레이드라면 블레이드의 각 꼭지점 부근에 4개로 형성하는 것이 간단하며 좋다.
상기 하판 블레이드(220)의 양측면 전후에는 롤베어링(240)이 설치된다. 따라서 하판 블레이드(220)에 설치되는 롤베어링(240)은 4개 이상이 되는 것이 좋다. 상기 롤베어링(240)은 간단하게는 상기 상판 블레이드(210)의 롤베어링(240)과 마찬가지로 상기 슬라이드홈(150)을 따라 함께 이동하게 하는 것이 좋으나, 상기 하판 블레이드(220)를 위한 별도의 일자형 슬라이드홈(미도시)이 형성된 경우에는 상기 상판 블레이드와는 별개로 일자형 슬라이드홈을 따라 이동하게 할 수 있다. 상기 롤베어링(240)의 운동에 따라 롤베어링(240)이 설치된 하판 블레이드(220)가 함께 움직이게 된다.
한편 상기 하판 블레이드(220)는 평행운동한다는 점에서, 평행운동하다가 공기통로(110)에서 상향운동하는 상기 상판 블레이드(210)의 롤베어링(240)과 차이가 있다.
또한 상기 하판 블레이드(220)의 양측면 전후부에는 롤러(250)가 설치되는 것이 좋다. 상기 롤러(250)에 의하여 상기 하우징(100)의 내측면과의 마찰을 최소화 할 수 있으며, 블레이드의 왕복운동이 보다 정교하여 진다.
하판 블레이드(220)의 후미에는 구동축이 연결되며, 상기 구동축에는 액츄에이터(300)가 연결되는 것이 일반적이다.
도 8에는 구동축과 액츄에이터(300)가 모두 구비된 예를 도시하고 있다.
상기 구동축을 연결하기 위하여 상기 하판 블레이드(220)의 후미(즉 도 9에서 우측)에는 상기 구동축을 연결하기 위한 구멍이 뚫려있다. 액츄에이터(300) 및 구동축은 수동식 또는 자동식으로 여러가지의 형태로 설계할 수 있으며, 이에 대한 것은 공지기술이므로 자세한 설명을 생략하기로 한다.
이하에서는 상기와 같은 구성으로 된 본 발명에 따른 일시예의 진공 게이트밸브의 작용을 설명한다.
도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 진공 게이트밸브에서 밸브 오픈시의 평면도와 측단면도이다. 도 8에 도시된 바와 같이 밸브가 열린 상태에서는 상기 상판 블레이드(210)와 상기 하판 블레이드(220)는 포개어져 있으며, 상판 블레이드(210)의 롤베어링(240)과 하판 블레이드(220)의 롤베어링(240)은 상기 슬라이드홈(150)에 일직선 상에 위치하게 된다.
밸브가 닫힐 때에는 상기 액츄에이터(300)가 구동축에 공기통로(110)방향(도 8의 좌측방향)으로 힘을 제공한다. 상기 구동축은 상기 하판 블레이드(220)에 연결되어 있으므로 상기 액츄에이터(300)로부터 받은 힘을 하판 블레이드(220)에 전달하고, 상기 하판 블레이드(220)에 연결된 상기 상판 블레이드(210) 역시 함께 운동하게 된다. 이 경우 상기 상판 블레이드(210)와 상기 하판 블레이드(220) 사이의 링크(230)는 도 8에서 보는 바와 같이 블레이드의 운동선과 소정의 각을 두고 뉘어져 있다.
한편 하판 블레이드(220)는 계속해서 액츄에이터(300)로부터 제공받은 힘을 상판 블레이드(210)에 제공하게 되는데, 공기통로(110)가 끝나가는 지점에서부터 상기 슬라이드홈(150)은 상향으로 구부러져 있으므로 상판 블레이드(210)는 더 이상 평행운동을 할 수 없게 되어 상향으로 움직이게 되며, 하판 블레이드(220)의 계 속되는 힘의 전달로 상판 블레이드(210)와 하판 블레이드(220) 사이의 링크(230)는 수직하게 되고 밸브는 닫히게 된다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공 게이트밸브에서 링크(230)의 움직임을 설명하는 설명도 이며, 도 10은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 진공 게이트밸브에서 밸브가 닫힌 모습을 보여준다.
도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
이상 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 공기이동통로를 보다 효과적으로 밀폐할 수 있으며, 장기간 사용에서 발생하는 스크래치 등의 손상을 최소화시킬 수 있어 밸브의 수명을 연장하는 장점이 있다.

Claims (8)

  1. 공정챔버와 진공펌프에 연결되는 공기통로가 형성되고, 일측으로부터 상기 공기통로를 직교방향으로 관통하는 슬라이드 공간이 형성되며, 내측면 양쪽에는 일측으로부터 상기 공기통로 방향으로 평행하다가 상향으로 구부러진 슬라이드홈이 형성된 하우징;
    상기 슬라이드홈을 따라 이동하며, 상기 공기통로를 개폐하는 상판 블레이드;
    상기 상판 블레이드와 링크결합된 하판 블레이드를 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
  2. 청구항 제1에 있어서,
    상기 슬라이드홈은 일측으로부터 상기 공기통로 방향으로 평행하다가 공기통로에서 상향으로 구부러진 형상임을 특징으로 하는 게이트밸브.
  3. 청구항 제1에 있어서,
    상기 하판 블레이드는 상기 상판블레이드와 함께 상기 슬라이드홈을 따라 이동하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
  4. 청구항 제1에 있어서,
    상기 하우징의 양측면 내측에는 상기 하판 블레이드가 이동되는 일자형 슬라이드홈이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
  5. 청구항 제 1에 있어서,
    상기 상판 블레이드 및 하판 블레이드에는 상기 슬라이드홈을 따라 이동하는 롤베어링이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
  6. 청구항 제5에 있어서,
    상기 상판 블레이드에는 양 측면으로 각각 한 개의 롤베어링이 장착되고, 상기 하판 블레이드에는 양 측면으로 각각 두 개의 롤베어링이 장착되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
  7. 청구항 제 1에 있어서,
    상기 하판 블레이드의 양 측면 전후부에는 상기 하우징의 측면과의 마찰을 최소화하는 롤러가 각각 2개씩 장착되는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
  8. 청구항 제 1에 있어서,
    상기 하판 블레이드에 액츄에이터의 구동력을 전달하는 구동축; 및
    상기 구동축에 구동력을 제공하는 액츄에이터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 게이트밸브.
KR1020050041429A 2005-05-18 2005-05-18 진공 게이트밸브 KR100544299B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050041429A KR100544299B1 (ko) 2005-05-18 2005-05-18 진공 게이트밸브

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020050041429A KR100544299B1 (ko) 2005-05-18 2005-05-18 진공 게이트밸브

Publications (1)

Publication Number Publication Date
KR100544299B1 true KR100544299B1 (ko) 2006-01-23

Family

ID=37178262

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020050041429A KR100544299B1 (ko) 2005-05-18 2005-05-18 진공 게이트밸브

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR100544299B1 (ko)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160103339A (ko) * 2015-02-24 2016-09-01 킹 라이 하이제닉 머티리얼즈 캄파니 리미티드 견고한 시일링 메카니즘을 갖는 게이트 밸브
KR20180020803A (ko) 2016-08-19 2018-02-28 주식회사 마이크로텍 게이트 밸브의 구동장치
WO2019074340A1 (ko) * 2017-10-13 2019-04-18 주식회사 라온티엠디 밸브 조립체
KR102230465B1 (ko) 2019-09-20 2021-03-22 (주)엔투텍 진공 게이트 밸브
KR20210034380A (ko) 2019-09-20 2021-03-30 (주)엔투텍 진공 게이트 밸브

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20160103339A (ko) * 2015-02-24 2016-09-01 킹 라이 하이제닉 머티리얼즈 캄파니 리미티드 견고한 시일링 메카니즘을 갖는 게이트 밸브
KR101656985B1 (ko) 2015-02-24 2016-09-12 킹 라이 하이제닉 머티리얼즈 캄파니 리미티드 견고한 시일링 메카니즘을 갖는 게이트 밸브
KR20180020803A (ko) 2016-08-19 2018-02-28 주식회사 마이크로텍 게이트 밸브의 구동장치
WO2019074340A1 (ko) * 2017-10-13 2019-04-18 주식회사 라온티엠디 밸브 조립체
KR20190041649A (ko) * 2017-10-13 2019-04-23 주식회사 라온티엠디 밸브 조립체
CN111226064A (zh) * 2017-10-13 2020-06-02 莱恩Tmd有限公司 阀组合体
KR102145830B1 (ko) * 2017-10-13 2020-08-19 주식회사 라온티엠디 밸브 조립체
US11092247B2 (en) 2017-10-13 2021-08-17 Laon Tmd Co., Ltd. Valve assembly
TWI749266B (zh) * 2017-10-13 2021-12-11 南韓商萊恩Ｔｍｄ有限公司 閥組合體
KR102230465B1 (ko) 2019-09-20 2021-03-22 (주)엔투텍 진공 게이트 밸브
KR20210034380A (ko) 2019-09-20 2021-03-30 (주)엔투텍 진공 게이트 밸브

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100544299B1 (ko) 진공 게이트밸브
KR101363959B1 (ko) 무슬라이딩형 게이트 밸브
KR101099571B1 (ko) 진공 게이트밸브
KR101784839B1 (ko) 양방향 게이트밸브
KR101320364B1 (ko) 더스트커버가 구비된 리니어모션가이드
JP2008075871A (ja) 真空バルブ
US10563775B2 (en) Vacuum valve
US10352480B2 (en) Bidirectional gate valve
KR101494307B1 (ko) 다양한 형태의 진공장치에 설치가 가능한 진공 게이트밸브
JP2012506153A (ja) 真空チャンバ用の出入扉
KR101431661B1 (ko) 윙 블레이드 게이트 밸브
US20180156339A1 (en) Blade for vacuum valve
KR101007876B1 (ko) 진공 게이트 밸브
CN111791267A (zh) 一种水平关节机器人的密封机构
JP2000337553A (ja) 真空装置及び真空ゲート弁
KR100459344B1 (ko) 반도체소자 제조장치의 진공밸브
KR101758802B1 (ko) 게이트 밸브의 프로텍션 장치
KR101739557B1 (ko) 게이트 밸브의 개폐장치
KR100365015B1 (ko) 클린용 직교로봇의 클린환경대응 구조
KR20160150406A (ko) 게이트 밸브
US11920693B1 (en) U motion gate valve
CN109454365A (zh) 一种用于空调管阀焊接设备的随行板装置
KR930021983A (ko) 진공게이트 밸브
JP2005536688A (ja) ステム又はシャフトシール構造
KR20230050068A (ko) 진공 게이트 밸브

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
A302 Request for accelerated examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130104

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20131203

Year of fee payment: 9

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150108

Year of fee payment: 10

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160107

Year of fee payment: 11

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170110

Year of fee payment: 12

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180110

Year of fee payment: 13

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190103

Year of fee payment: 14

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20200109

Year of fee payment: 15