KR20230050068A - 진공 게이트 밸브 - Google Patents

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KR20230050068A
KR20230050068A KR1020210133328A KR20210133328A KR20230050068A KR 20230050068 A KR20230050068 A KR 20230050068A KR 1020210133328 A KR1020210133328 A KR 1020210133328A KR 20210133328 A KR20210133328 A KR 20210133328A KR 20230050068 A KR20230050068 A KR 20230050068A
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Abstract

본 발명에 따르면, 도브테일형 단면의 오링 홈을 복수의 파트로 구성하여 생산성이 향상된 게이트 플레이트를 구비한 진공 게이트 밸브가 제공된다. 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브는, 일 축 방향의 유체 관로와 교차하는 방향으로 직선 이동하며 상기 유체 관로를 폐쇄 및 개방하는 게이트 플레이트; 양측이 상기 유체 관로와 결합되고, 상기 게이트 플레이트의 폐쇄 위치 및 개방 위치를 정의하며, 상기 유체 관로의 둘레를 따라 상기 게이트 플레이트가 상기 폐쇄 위치에 진입하는 방면에 배치된 밸브 시트를 구비하는 밸브 본체; 상기 폐쇄 위치 및 상기 개방 위치로 상기 게이트 플레이트를 전진 및 후진 이동시키는 엑츄에이터; 및 상기 게이트 플레이트에서 상기 밸브 시트에 대응되는 전방측 면에 오목한 형태로 배치되고, 두 측벽과 바닥면을 가져 폐루프 형태의 오링을 수용하며, 상기 전방측을 향해 열린 입구보다 상기 바닥면의 폭이 더 넓은 오링 홈; 을 포함하고, 상기 오링 홈은, 게이트 플레이트 몸체에 일체로 형성된 것으로, 상기 두 측벽 중 상기 게이트 플레이트의 중심 쪽에 배치된 내측 측벽과 상기 바닥면을 포함하는 내측 파트; 및 상기 게이트 플레이트 몸체와 별개의 부재로 형성되어 그 외측에 결합되며, 상기 내측 측벽 반대편의 외측 측벽을 포함하는 외측 파트; 를 포함하여 구성된다.

Description

진공 게이트 밸브{Vacuum Gate Valve}
본 발명은 진공 게이트 밸브 장치에 관한 것으로, 좀 더 상세하게는 전/후진 직선 동작에 의해 게이트를 개폐하는 직동형 진공 게이트 밸브 장치에 관한 것이다. 진공 게이트 밸브는 주로 진공 공정을 포함하는 반도체 및 평판형 디스플레이 등의 제조 설비에서 진공 챔버와 진공 펌프 사이에 적용되며, 용도가 이에 한정되는 것은 아니다.
진공 게이트 밸브는 진공 공정 챔버와 진공 펌프 사이의 관로에 배치되어 플레이트형 게이트 구조물이 상기 관로를 개폐하도록 구성된 밸브를 말한다. 진공 밸브는 공정 챔버 내에서 진행되는 박막 공정을 포함하는 반도체, 평판형 디스플레이 등의 제조 설비에 적용된다. 공정에 따라 필요한 시기에 상기 공정 챔버 내부가 적절한 진공도에 도달하도록 진공 펌프의 흡입력을 이용하여 배기를 진행하는데, 진공 펌프의 흡입력이 상기 공정 챔버에 인가되거나 차단되도록 상기 관로를 개폐하는 것이 진공 게이트 밸브의 역할이다.
진공 게이트 밸브에서 게이트 구조물을 구동하는 방식으로는 게이트 구조물의 작동 모드에 따라 L-모션(Motion) 방식과 직선 모션(Motion) 방식을 들 수 있다. L-모션(Motion) 방식이란, 게이트 플레이트가 실린더의 동작에 의해 관로의 축에 교차하는 방향으로 진입하고, 이 때, 롤캠(Roll-cam) 등에 의해 게이트 플레이트가 관로 축 방향으로 움직여 통로를 개폐하는 방식을 말한다. 직선 모션 방식은 게이트 구조물이 실린더 등에 의해 관로 축에 교차하는 방향으로 직선 운동하며 관로를 개폐하는 방식을 말한다. 본 출원 발명은 직선 모션 방식에 속하는 게이트 밸브에 관한 것으로서, 이하에서는 이러한 직선 모션 방식을 '직동형'이라 칭하기로 한다.
직동형 진공 게이트 밸브의 게이트 플레이트는 관로를 폐쇄할 때, 밸브 내 관로의 둘레에 마련된 밸브 시트와 맞닿아 가압되며 유체의 흐름을 차단하는 실링 부재(sealing member)를 포함한다. 실링 부재로는 주로 폐루프 형태의 오(O)링이 적용되는데, 오링을 게이트 플레이트에 설치하기 위해 압착 본딩(bonding)하거나, 게이트 플레이트에 그루브(Groove)를 형성하여 오링을 수용하는 등의 형태가 알려져 있다.
게이트 플레이트에 오링을 수용하는 그루브(Groove), 즉 오링 홈이 형성된 예로서, 등록특허공보 제10-0865796호에는 오링 홈의 입구부분보다 바닥부분이 더 넓은 형태로 형성된 예가 제시된 바 있다. 이런 도브테일(Dovetail) 단면의 오링 홈은 오링에 가해지는 압력을 분산시켜 내구성을 향상시키는 이점이 있다. 그러나, 게이트 플레이트의 비교적 얇은면에 입구보다 바닥이 넓은 형태의 오링 홈을 언더컷(Undercut) 가공하는 데에는, CNC 가공 기술을 활용하더라도 상당한 비용과 노력이 소요된다. 특히, 게이트 플레이트의 구경이 크거나, 오링 홈의 사이즈가 작을수록 제작이 어려워지는 문제가 있다.
등록특허공보 제10-0865796호(2008.10.22)
전술한 게이트 플레이트 제조상의 문제점을 해소하기 위해, 본 발명은 도브테일형 단면의 오링 홈을 둘 이상의 파트로 나누어 구성하되, 상기 둘 이상의 파트가 결합될 때, 실링(sealing) 면을 가로지르거나 우회하는 누출 경로를 형성하지 않도록 결합될 수 있는 구성을 제공하는 데에 그 목적이 있다. 본 발명은 이를 통해 유지보수가 용이할 뿐만 아니라 제조상의 생산성이 향상된 진공 게이트 밸브를 제공하는 데에 그 목적이 있다.
전술한 과제의 해결을 위하여, 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브는, 일 축 방향의 유체 관로와 교차하는 방향으로 직선 이동하며 상기 유체 관로를 폐쇄 및 개방하는 게이트 플레이트; 양측이 상기 유체 관로와 결합되고, 상기 게이트 플레이트의 폐쇄 위치 및 개방 위치를 정의하며, 상기 유체 관로의 둘레를 따라 상기 게이트 플레이트가 상기 폐쇄 위치에 진입하는 방면에 배치된 밸브 시트를 구비하는 밸브 본체; 상기 폐쇄 위치 및 상기 개방 위치로 상기 게이트 플레이트를 전진 및 후진 이동시키는 엑츄에이터; 및 상기 게이트 플레이트에서 상기 밸브 시트에 대응되는 전방측 면에 오목한 형태로 배치되고, 두 측벽과 바닥면을 가져 폐루프 형태의 오링을 수용하며, 상기 전방측을 향해 열린 입구보다 상기 바닥면의 폭이 더 넓은 오링 홈; 을 포함하고, 상기 오링 홈은, 게이트 플레이트 몸체에 일체로 형성된 것으로, 상기 두 측벽 중 상기 게이트 플레이트의 중심 쪽에 배치된 내측 측벽과 상기 바닥면을 포함하는 내측 파트; 및 상기 게이트 플레이트 몸체와 별개의 부재로 형성되어 그 외측에 결합되며, 상기 내측 측벽 반대편의 외측 측벽을 포함하는 외측 파트; 를 포함하여 구성된다.
상기 외측 파트는, 상기 오링 홈의 길이 방향에 수직인 단면을 볼 때, 상기 전방측인 상부의 내측에 상기 외측 측벽을 구성하는 윤곽이 형성되고, 상기 바닥면 아래쪽으로 확장된 하부를 가지며, 상기 오링 홈의 길이 방향을 따라 곡선의 띠 형태로 연장될 수 있다.
이 경우, 상기 외측 파트의 단면 형상은 상기 하부가 상하로 긴 직사각형 모양으로 형성될 수 있다.
한편, 게이트 플레이트 몸체는 상기 바닥면의 외측단으로부터 상기 전방측의 반대쪽으로 파여 상기 외측 파트의 하부를 수용하는 외측 파트 수용홈을 포함할 수 있다.
이때, 상기 외측 파트의 단면 형상은 상기 하부가 상하로 긴 직사각형 모양으로 형성되고, 상기 외측 파트 수용홈은, 상기 바닥면에 대해 수직인 수직면과 상기 바닥면에 평행한 수평면을 포함하고, 상기 수직면과 상기 수평면에 의해 형성되어 외측으로 열린 빈 공간에 상기 외측 파트의 상기 하부가 수용되어 결합되도록 형성될 수 있다. 상기 외측 파트는 그 하부가 상기 외측 파트 수용홈의 상기 수직면에 대해 결합되도록 구성될 수 있다.
상기 오링 홈에서 상기 내측 파트와 상기 외측 파트의 경계선은 상기 바닥면에 상기 오링이 접촉하는 후방 실링면보다 더 외측에 위치하도록 구성될 수 있다.
상기 외측 파트는 상기 오링 홈의 길이 방향 전구간을 적어도 둘 이상으로 나눈 복수의 서브 파트로 구성될 수 있다.
한편, 상기 게이트 플레이트는 두께가 서로 다른 두 부분을 포함하고, 상기 두 부분 중 두께가 상대적으로 두꺼운 부분은 상기 액츄에이터와 샤프트를 통해 연결되고, 그 전방측 면에 형성된 제1 실링부를 구비하며, 상기 두 부분 중 두께가 상대적으로 얇은 부분은 상기 유체 관로의 단면에 대응되는 모양으로 형성되고, 그 전방측 면에 형성된 제2 실링부를 구비하며, 상기 오링 홈은 상기 제1 실링부와 상기 제2 실링부를 포함하는 폐루프 형태의 전구간에 대해 형성되고, 상기 외측 파트는 상기 제1 실링부에 대응되는 제1 외측 파트 및 상기 제2 실링부에 대응되는 제2 외측 파트를 포함하여 구성될 수 있다.
이 경우, 상기 외측 파트는 상기 제1 외측 파트와 상기 제2 외측 파트 사이를 연결하는 제3 외측 파트를 더 포함할 수 있다.
본 발명에 따르면, 도브테일형 단면의 오링 홈을 둘 이상의 파트로 나누어 구성하며, 상기 둘 이상의 파트가 결합될 때, 실링(sealing) 면을 가로지르거나 우회하는 누출 경로를 형성하지 않도록 결합될 수 있는 구성을 제공하는 효과가 있다. 본 발명에 따르면 이와 같은 구성을 통해 유지보수가 용이할 뿐만 아니라 제조상의 생산성이 크게 향상된 진공 게이트 밸브를 제공하는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 전체적인 구성을 보인다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 (a) 개방 / (b) 폐쇄 상태를 보인다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 게이트 플레이트에서 오링 홈의 구성 예를 보인다.
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 게이트 플레이트에서 (a) 오링 홈의 구성 및 (b) 밸브 폐쇄 상태에서 상기 오링 홈 부분의 모습을 보인다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 게이트 플레이트의 조립도이다.
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 게이트 플레이트의 조립도이다.
도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 게이트 플레이트의 조립 상태를 보인다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명의 다양한 실시예를 설명한다. 실시예를 통해 본 발명의 기술적 사상이 좀 더 명확하게 이해될 수 있을 것이다. 또한, 본 발명은 이하에 설명된 실시예에 한정되는 것이 아니라 그 기술적 사상의 범위 내에서 다양한 형태로 변형될 수 있다.
도 1은 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 전체적인 구성을 보인다.
본 실시예에 따른 진공 게이트 밸브(10)는 유체 관로(미도시)의 축(A)에 교차하는 방향으로 전진 및 후진하여 폐쇄 위치 및 개방 위치에 정지하도록 배치된 게이트 플레이트(100)와, 상기 게이트 플레이트(100)의 이동을 가이드하고 상기 축(A) 방향으로 연장된 유체 관로(미도시)와 결합되는 밸브 본체(200), 그리고 상기 게이트 플레이트(100)와 샤프트(320)를 통해 연결되어 동력을 전달하는 엑츄에이터(300)를 포함하여 구성된다.
상기 게이트 플레이트(100)는 상기 샤프트(320)와 연결된 몸체부 측에 배치된 제1 실링부(111)와 상기 유체 관로를 가로질러 막는 게이트의 전단부에 배치된 제2 실링부(112)를 포함한다. 상기 제1 실링부(111) 및 제2 실링부(112)는 상기 밸브 본체(200)에서 유체 관로의 둘레부 중 상기 게이트 플레이트(100)가 진입하는 쪽으로 볼록하게 형성된 제1 밸브 시트(211) 및 그 반대로 오목하게 형성된 제2 밸브 시트(212)와 서로 맞닿아 가압됨으로써, 상기 게이트 플레이트(100)에 의해 상기 유체 관로가 기밀성 있게 차단되도록 구성된다.
상기 엑츄에이터(300)는 일 예로 공압 실린더로 구성될 수 있다. 본 실시예와 달리 유압 실린더나 전기 모터로 구성될 수도 있다. 공압 또는 유압 실린더로 구성된 경우, 실린더 내부의 피스톤(310)이 왕복 운동하며 상기 샤프트(320)를 통해 상기 게이트 플레이트(100)를 이동시키도록 구성될 수 있다.
본 발명에 따른 진공 게이트 밸브(10)는, 이에 한정되는 것은 아니나, 단면이 원형인 유체 관로의 중간에 설치되도록 구성될 수 있다. 이 경우, 도시된 실시예와 같이 상기 게이트 플레이트(100)에서 제1 실링부(111)와 제2 실링부(112)를 상기 유체 관로의 축(A) 방향에서 보면 상기 유체 관로의 단면에 대응하여 대략적으로 원 모양을 띈다. 한편, 상기 제1 및 제2 실링부(111, 112)를 상기 게이트 플레이트(100)의 전/후진 이동 방향에서 보면 대략적으로 직사각형 모양을 띈 폐루프를 이루게 된다.
도 2는 본 발명의 한 실시예에 따른 진공 게이트 밸브의 (a) 개방 / (b) 폐쇄 상태를 보인다.
먼저 진공 게이트 밸브의 (a) 개방 상태는 엑츄에이터(300)의 피스톤(310)이 후진하여 정지된 상태로서, 게이트 플레이트(100)가 밸브 본체(200) 내의 유체 관로 부분으로부터 벗어난 제1 위치에 머무르는 상태를 일컫는다. 진공 게이트 밸브의 (b) 폐쇄 상태는 상기 피스톤(310)이 전진하여 정지된 상태로서, 게이트 플레이트(100)가 상기 유체 관로를 완전히 가로질러 상기 축(A) 방향의 유체의 흐름을 차단하는 제2 위치에 머무르는 상태를 일컫는다.
도 3은 본 발명의 한 실시예에 따른 게이트 플레이트에서 오링 홈의 구성 예를 보인다.
본 실시예에 따르면, 게이트 플레이트(100)에서 전술한 제1 실링부(111) 및 제2 실링부(112)는 양측단이 서로 연결되어 폐루프 형태의 실링부(110)를 구성한다. 상기 실링부(110)에는 실링 부재인 오링(미도시)과 상기 오링이 수용되는 오링 홈이 포함된다. 상기 오링 홈은 CNC 절삭 가공을 통해 형성되던 종래와 달리, 적어도 둘 이상의 파트의 조립을 통해 형성될 수 있다. 예컨대 상기 오링 홈은 상기 제1 및 제2 실링부(111, 112) 각각의 내측 부분을 구성하는 내측 파트로서의 상기 게이트 플레이트(100)의 몸체와, 이들 각각의 외측 부분을 구성하는 외측 파트(120)를 포함하여 구성될 수 있다. 여기서 내측은 대략적으로 평판 형상을 가진 상기 게이트 플레이트(100)에서 상기 제1 실링부(111)가 배치된 쪽인 제1면과, 상기 제1면과 평행하고 제2 실링부(112)가 배치된 쪽인 제2면 사이의 중심면 쪽을 말한다. 외측은 상기 중심면으로부터 상기 제1 실링부(111)의 바깥쪽과 상기 제2 실링부(112)의 바깥쪽을 의미한다.
상기 게이트 플레이트(100)는 두께가 서로 다른 두 부분으로 구성될 수 있는데, 두 부분 중 두께가 얇은 부분은 전술한 유체 관로에 대응되는 모양으로, 예컨대 대략적인 원형으로 형성된다. 상기 두께가 얇은 부분의 전방측 면, 즉 전술한 제2 밸브 시트(212, 도 1 참조)에 대향하는 면에는 상기 제2 실링부(112)가 형성된다. 상기 두 부분 중 두께가 상대적으로 두꺼운 부분의 전방측 면, 즉 전술한 제1 밸브 시트(211, 도 1 참조)에 대향하는 면에는 상기 제1 실링부(111)가 형성된다.
상기 오링 홈의 형태와, 상기 오링 홈이 둘 이상의 파트로 나뉘는 실질적인 구조에 대해서는 이하에서 상기 오링 홈의 횡단면을 참조하여 좀 더 구체적으로 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 게이트 플레이트에서 (a) 오링 홈의 구성 및 (b) 밸브 폐쇄 상태에서 상기 오링 홈 부분의 모습을 보인다. 좀 더 구체적으로, 도 4의 (a)는 본 실시예에 따른 오링 홈(110G)을 그 길이 방향에 수직으로 자른 단면의 모습을 보이고, 도 4의 (b)는 상기 오링 홈(110G)에 오링(110R)이 삽입된 상태로 밸브 시트(212)와 접하는, 밸브 폐쇄 상태의 상기 실링부(110)의 한 단면 모습을 보인다.
본 실시예에 따르면, 오링 홈(110G)의 내측 파트로서 내측 측벽(113)과 바닥면(114)이 형성된 상기 게이트 플레이트(100)의 몸체와 상기 오링 홈(110G)의 외측 측벽(123)을 포함하는 외측 파트(120)의 결합을 통해 단면 모양이 도브테일(Dovetail) 형태인 오링 홈(110G)이 제공된다. 이와 같이 오링 홈(110G)의 내측 파트와 외측 파트가 서로 분리된 구조를 통해, 두 측벽(113, 123) 사이의 간격이 입구쪽보다 바닥면(114) 쪽에서 더 넓은 형태의 오링 홈(110G)을 언더컷(undercut) 가공 없이 제작할 수 있도록 함으로써, 게이트 플레이트(100)에 대한 생산성을 크게 향상시킬 수 있다. 이는, 진공 게이트 밸브의 유지 보수 비용을 낮춰 경제성을 높이는 데에도 큰 도움이 된다.
상기 외측 파트(120)는, 도시된 단면의 관점에서 볼 때, 상기 외측 측벽(123)으로부터 상기 오링 홈(110G)의 바닥면(114) 한쪽 끝 부분의 아래쪽으로 직사각형 형태로 확장되어 상기 게이트 플레이트(100)의 몸체의 외측면에 수직면(115)과 수평면(116)으로 형성된 외측 파트 수용홈에 결합될 수 있다. 상기 외측 파트(120)와 상기 외측 파트 수용홈 사이의 결합은 볼트 결합, 핀 결합, 용접 등 다양한 형태로 이루어질 수 있다. 이때, 상기 외측 파트 수용홈에서 상기 오링 홈(110G)의 바닥면(114)에 대해 수직인 수직면(115)은 상기 바닥면(114)과 평행한 수평면(116)보다 더 넓게 형성되고, 상기 외측 파트(120)는 상기 수직면(115)을 향한 결합력에 의해 결합된 것이 바람직하다.
상기 외측 파트(120)를 상부(121)와 하부(122)로 나누어 보면, 상기 상부(121)에 상기 오링 홈의 외측 측벽(123)이 포함되고, 상기 하부(122)는 단면이 상하로 긴 직사각형을 이루며 상기 직사각형의 세로변이 외측 파트 수용홈의 수직면(115)의 폭에, 그 가로변이 상기 외측 파트 수용홈의 수평면(116) 폭과 일치하도록 형성될 수 있다.
(b)에 도시된 밸브 폐쇄 상태의 실링부(110) 모습을 보면, 게이트 플레이트(100)가 밸브 시트(212)를 향해 전방(도면의 위쪽)으로 가압하는 힘에 의해 오링(110R)에서 오링 홈 밖으로 노출된 부분은 밸브 시트(212)에 맞닿아 하나의 실링면(Sealing Surface)을 형성하고, 오링 홈 내에서는 상기 바닥면(114)에 맞닿아 다른 하나의 실링면을 형성한다. 여기서는 설명의 편의를 위해 상기 오링(110R)과 상기 밸브 시트(212) 사이의 실링면을 전방 실링면이라 부르고, 상기 오링(110R)과 상기 바닥면(114) 사이의 실링면을 후방 실링면이라 부르기로 한다. 본 도면에서 상기 실링부(110)의 좌/우측 중 어느 한쪽은 진공 펌프측 유체 관로와 연결되고, 나머지 한쪽은 공정 챔버측 유체 관로와 연결된다.
본 실시예에서 상기 바닥면(114)은 전술한 바와 같이 내측 파트인 상기 게이트 플레이트(100)의 몸체에 형성되는데, 상기 후방 실링면이 형성되는 부분을 모두 포함하도록 형성된다. 상기 바닥면(114)에는 상기 오링(110R)의 하부를 가로지르는 요철이나 스크래치 등이 생기지 않도록 하는 것이 바람직하다. 작은 스크래치도 누출의 원인이 될 수 있기 때문이다. 본 발명에 따른 진공 게이트 밸브에서 전술한 오링 홈(110G)을 둘 이상의 파트로 구성함에 있어서도, 파트의 분할과 결합은 상기 후방 실링면의 외측에서 이루어지고, 어떤 결합부위의 경계선도 상기 후방 실링면을 가로지르거나, 우회하여 그 양측을 연결하는 누출 경로를 형성하지 않도록 구성된다. 본 실시예의 경우에도, 상기 외측 파트(120)가 결합되는 상기 수직면(115)과 상기 수평면(116)은 상기 외측 측벽(121)의 하부에 형성되어, 두 파트의 결합부가 상기 후방 실링면을 침범하지 않는다.
도 5는 본 발명의 한 실시예에 따른 게이트 플레이트의 조립도이다.
본 실시예에 따르면, 전술한 실링부(110)에서 폐루프 형태의 오링 홈의 일부를 구성하는 외측 파트는, 제1 실링부(111)에 대응되는 제1 외측 파트(120A)와 제2 실링부(112)에 대응되는 제2 외측 파트(120B)로 분리되고, 조립될 수 있다. 상기 제1 외측 파트(120A)와 상기 제2 외측 파트(120B)가 서로 분리된 부분은 상기 제1 실링부(111)와 상기 제2 실링부(112)가 만나는 양 측단부에 형성될 수 있다. 다만, 이에 한정되는 것은 아니다. 중요한 점은 상기 제1 및 제2 외측 파트(120A, 120B)가 서로 분리된 부분 및 결합되는 부분이 전술한 후방 실링면 및 전방 실링면 중 어느 곳도 침범하지 않도록 배치된다는 점이다. 상기 제1 및 제2 외측 파트(120A, 120B)는 게이트 플레이트(100) 몸체에 대해 볼트 결합, 핀 결합, 용접 등 다양한 형태로 결합될 수 있다.
도 6은 본 발명의 한 실시예에 따른 게이트 플레이트의 조립도이다.
본 실시예에 따르면, 전술한 실시예와 같이 폐루프 형태의 오링 홈의 일부를 구성하는 외측 파트는, 제1 실링부(111)의 제1 평면 구간에 대응되는 제1 외측 파트(120C)와 제2 실링부(112)의 제2 평면 구간, 즉 상기 제1 평면 구간의 반대편 구간에 대응되는 제2 외측 파트(120D), 그리고 상기 제1 및 제2 실링부(111, 112)가 서로 만나는 양쪽 측단부(117)에 각각 대응되고, 상기 제1 및 제2 외측 파트(120C, 120D)의 양 측단을 각각 서로 연결하는 한 쌍의 제3 외측 파트(120E)로 구성될 수 있다. 이 경우에도 상기 제1 내지 제3 외측 파트(120C, 120D, 120E)는 게이트 플레이트(100)의 몸체에 대해 볼트 결합, 핀 결합, 용접 등 다양한 형태로 결합될 수 있다.
도 7은 본 발명의 한 실시예에 따른 게이트 플레이트의 조립 상태를 보인다.
도시된 실시예는 전술한 도 5의 실시예와 같이 실링부(110)를 따라 형성된 오링 홈의 외측 파트가 제1 외측 파트(120A)와 제2 외측 파트(120B)의 두 부분으로 구성된 경우에 해당하며, 이들 제1 및 제2 외측 파트(120A, 120B)가 상기 게이트 플레이트(100)의 몸체에 대해 볼트(128)를 이용하여 결합된 예를 보인다. 앞서 설명된 도 4를 함께 참조하여 설명하면, 제1 외측 파트(120A)를 결합하는 상기 볼트(128)는 상기 제1 외측 파트(120A)의 소정 부분을 관통하여 전술한 상기 게이트 플레이트(100)의 외측에 형성된 파트 수용홈 중에서 수직면(115)에 배치된 볼트 구멍에 체결될 수 있다. 여기서 상기 소정 부분은 도 4의 외측 파트(120)에서 전술한 외측 측벽(121) 아래쪽으로 확장된 부분에 해당된다.
10: 진공 게이트 밸브
100: 게이트 플레이트 110: 실링부
110G: 오링 홈 110R: 오링
111: 제1 실링부 112: 제2 실링부
113: 오링 홈의 내측 측벽 114: 오링 홈의 바닥면
120: 외측 파트 123: 오링 홈의 외측 측벽
200: 밸브 본체 212: 밸브 시트
300: 엑츄에이터

Claims (10)

  1. 일 축 방향의 유체 관로와 교차하는 방향으로 직선 이동하며 상기 유체 관로를 폐쇄 및 개방하는 게이트 플레이트;
    양측이 상기 유체 관로와 결합되고, 상기 게이트 플레이트의 폐쇄 위치 및 개방 위치를 정의하며, 상기 유체 관로의 둘레를 따라 상기 게이트 플레이트가 상기 폐쇄 위치에 진입하는 방면에 배치된 밸브 시트를 구비하는 밸브 본체;
    상기 폐쇄 위치 및 상기 개방 위치로 상기 게이트 플레이트를 전진 및 후진 이동시키는 엑츄에이터; 및
    상기 게이트 플레이트에서 상기 밸브 시트에 대응되는 전방측 면에 오목한 형태로 배치되고, 두 측벽과 바닥면을 가져 폐루프 형태의 오링을 수용하며, 상기 전방측을 향해 열린 입구보다 상기 바닥면의 폭이 더 넓은 오링 홈; 을 포함하고,
    상기 오링 홈은,
    게이트 플레이트 몸체에 일체로 형성된 것으로, 상기 두 측벽 중 상기 게이트 플레이트의 중심 쪽에 배치된 내측 측벽과 상기 바닥면을 포함하는 내측 파트; 및
    상기 게이트 플레이트 몸체와 별개의 부재로 형성되어 그 외측에 결합되며, 상기 내측 측벽 반대편의 외측 측벽을 포함하는 외측 파트; 를 포함하는,
    진공 게이트 밸브.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 외측 파트는, 상기 오링 홈의 길이 방향에 수직인 단면을 볼 때, 상기 전방측인 상부의 내측에 상기 외측 측벽을 구성하는 윤곽이 형성되고, 상기 바닥면 아래쪽으로 확장된 하부를 가지며, 상기 오링 홈의 길이 방향을 따라 곡선의 띠 형태로 연장된,
    진공 게이트 밸브.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 외측 파트의 단면 형상은 상기 하부가 상하로 긴 직사각형 모양으로 형성된,
    진공 게이트 밸브.
  4. 제2항에 있어서,
    게이트 플레이트 몸체는 상기 바닥면의 외측단으로부터 상기 전방측의 반대쪽으로 파여 상기 외측 파트의 하부를 수용하는 외측 파트 수용홈을 포함하는,
    진공 게이트 밸브.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 외측 파트의 단면 형상은 상기 하부가 상하로 긴 직사각형 모양으로 형성되고,
    상기 외측 파트 수용홈은, 상기 바닥면에 대해 수직인 수직면과 상기 바닥면에 평행한 수평면을 포함하고, 상기 수직면과 상기 수평면에 의해 형성되어 외측으로 열린 빈 공간에 상기 외측 파트의 상기 하부가 수용되어 결합되도록 형성된,
    진공 게이트 밸브.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 외측 파트는 그 하부가 상기 외측 파트 수용홈의 상기 수직면에 대해 결합되도록 구성된,
    진공 게이트 밸브.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 오링 홈에서 상기 내측 파트와 상기 외측 파트의 경계선은 상기 바닥면에 상기 오링이 접촉하는 후방 실링면보다 더 외측에 위치하도록 구성된,
    진공 게이트 밸브.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 외측 파트는 상기 오링 홈의 길이 방향 전구간을 적어도 둘 이상으로 나눈 복수의 서브 파트로 구성된,
    진공 게이트 밸브.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 게이트 플레이트는 두께가 서로 다른 두 부분을 포함하고,
    상기 두 부분 중 두께가 상대적으로 두꺼운 부분은 상기 액츄에이터와 샤프트를 통해 연결되고, 그 전방측 면에 형성된 제1 실링부를 구비하며,
    상기 두 부분 중 두께가 상대적으로 얇은 부분은 상기 유체 관로의 단면에 대응되는 모양으로 형성되고, 그 전방측 면에 형성된 제2 실링부를 구비하며,
    상기 오링 홈은 상기 제1 실링부와 상기 제2 실링부를 포함하는 폐루프 형태의 전구간에 대해 형성되고,
    상기 외측 파트는 상기 제1 실링부에 대응되는 제1 외측 파트 및 상기 제2 실링부에 대응되는 제2 외측 파트를 포함하는,
    진공 게이트 밸브.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 외측 파트는 상기 제1 외측 파트와 상기 제2 외측 파트 사이를 연결하는 제3 외측 파트를 더 포함하는,
    진공 게이트 밸브.
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EP1179835A2 (en) * 1995-03-31 2002-02-13 Applied Materials, Inc. Improved slit valve door and method of assembling
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