KR101431661B1 - 윙 블레이드 게이트 밸브 - Google Patents

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KR101431661B1
KR101431661B1 KR1020130059012A KR20130059012A KR101431661B1 KR 101431661 B1 KR101431661 B1 KR 101431661B1 KR 1020130059012 A KR1020130059012 A KR 1020130059012A KR 20130059012 A KR20130059012 A KR 20130059012A KR 101431661 B1 KR101431661 B1 KR 101431661B1
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손영만
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주식회사 에스알티
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Abstract

본 발명은 윙 블레이드 게이트 밸브에 관한 것으로, 주 하우징(110);과, 상기 주 하우징(110)의 전면에 설치되는 전면 하우징 플레이트(120);와, 상기 주 하우징(110)의 후면에 설치되며, 외측으로 상기 통공부(112)와 연통하는 후면 유로통로부(131)가 형성되는 후면 하우징 플레이트(130);과, 상기 주 하우징(110)의 하측에 결합되는 실 플레이트 바디(140)와, 상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에 결합되며, 중앙에 샤프트 통공(145)이 형성되어 있는 실린더 실 블록(144)과, 상기 샤프트 통공(145)을 통과하도록 설치되는 샤프트(160)의 일 측 말단에 결합되어, 상기 샤프트(160)의 구동에 따라 상기 삽입부(122)와 상기 밸브 시트 형성부(132) 사이에 삽입되거나 빠져나오면서 상기 전면 유로통로부(121)와 상기 후면 유로통로부(131) 사이를 폐쇄하거나 개방하는 윙 블레이드(150)와, 상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에 설치되며, 상기 샤프트(160)의 타 측 말단에 연결되어 상기 샤프트(160)를 상승 또는 하강시키는 구동을 하는 밸브 구동수단을 포함하여 구성되되, 상기 주 하우징(110), 전면 하우징 플레이트(120), 후면 하우징 플레이트(130), 실 플레이트 바디(140) 및 윙 블레이드(150)는 알루미늄 재질 또는 알루미늄을 포함하는 합금재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 윙 블레이드 게이트 밸브(100)에 관한 것이다.

Description

윙 블레이드 게이트 밸브{Wing Blade Gate Valve}
본 발명은 윙 블레이드 게이트 밸브에 관한 것으로, 전면과 후면을 통하여 통공부(112)가 형성되어 있고, 하면에 윙블레이드 통공(111)이 형성되어 있는 주 하우징(110);과,
상기 주 하우징(110)의 전면에 삽입부(122)가 삽입되어 설치되며, 외측으로 상기 통공부(112)와 연통하는 전면 유로통로부(121)가 형성되는 전면 하우징 플레이트(120);와,
상기 주 하우징(110)의 후면에 밸브 시트 형성부(132)가 삽입되어 설치되며, 외측으로 상기 통공부(112)와 연통하는 후면 유로통로부(131)가 형성되는 후면 하우징 플레이트(130);와,
상기 주 하우징(110)의 하측에 결합되며 내부에는 공간부(141)가 형성되어 있으며, 양 측면에는 롤러 유도 가이드공(142)이 상하 방향으로 형성되어 있는 실 플레이트 바디(140);와,
상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에 결합되며, 중앙에 샤프트 통공(145)이 형성되어 있는 실린더 실 블록(144);과,
상기 샤프트 통공(145)을 통과하도록 설치되는 샤프트(160)의 일 측 말단에 결합되어, 상기 샤프트(160)의 구동에 따라 상기 삽입부(122)와 상기 밸브 시트 형성부(132) 사이에 삽입되거나 빠져나오면서 상기 전면 유로통로부(121)와 상기 후면 유로통로부(131) 사이를 폐쇄하거나 개방하는 윙 블레이드(150);와,
상기 샤프트(160)에 결합되어 설치되는 가이드 롤러 블록(161)의 양 측면에 각각 설치되며, 각각의 상기 롤러 유도 가이드공(142)에 각각 삽입되어 상기 샤프트(160)의 상하 작동을 지지하며 유도하는 가이드 롤러(162);와,
상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에 설치되며, 상기 샤프트(160)의 타 측 말단에 연결되어 상기 샤프트(160)를 상승 또는 하강시키는 구동을 하는 밸브 구동수단; 을 포함하여 구성되되,
상기 주 하우징(110), 전면 하우징 플레이트(120), 후면 하우징 플레이트(130), 실 플레이트 바디(140) 및 윙 블레이드(150)는 알루미늄 재질 또는 알루미늄을 포함하는 합금재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 윙 블레이드 게이트 밸브(100)에 관한 것이다.
일반적으로 반도체는 공정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조되며, 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.상기와 같은 반도체를 제조하기 위한 공정구간에는 다양한 형상의 게이트밸브가 설치되어 세정모듈을 통과한 가스를 챔버간 전달하거나 차단하는 기능을 수행하게 된다.
상기와 같은 게이트밸브는, 공정챔버와 공정챔버 사이에 유입부 또는 유출부가 각각 결합된 상태에서 유출부 또는 유입부가 상호간 결합되어 실린더의 구동에 따라 밀폐부재인 블레이드가 해당 유입부를 개폐함으로써, 유출부로 가스가 전달되거나 차단되도록 동작한다.
이러한 게이트 밸브로는 일반적으로 하기 특허문헌 1의 "반도체 제조설비의 진공압 측정용 앵글밸브"(대한민국 등록특허 제10-1164658호)와 같이, 유로의 방향이 "L"자로 꺾이게 되는 앵글 밸브가 많이 사용되어 왔다.
그러나, 이러한 기존의 앵글 밸브는 유로의 방향이 "L"자로 꺾이게 되어 유체의 흐름이 효율적이지 못하다는 문제점이 있는 것은 물론, 개폐판(13)에 형성된 삽입홈에 오링이 삽입되는 구조(일명 "Dove Tail" 구조라 불린다)에 의해, 오링의 마모가 쉽게 발생하는 것은 물론, 개폐판의 측면 등에서는 금속끼리 접촉하게 된다는 문제가 있었다.
한편, 기존의 게이트 밸브는 주로 SUS 재질을 채용하고 있으나, 반도체 제조공정 중 특정 공정에서 사용되는 유체는 NF₃등의 부식성 독성 물질을 포함하거나, 플라즈마 상태인 경우가 많아 기존과 같은 SUS 재질은 사용이 부적절하다는 문제점이 있었다.
특허문헌 1: 대한민국 등록특허 제10-1164658호
본 발명은 상기한 기존 발명의 문제점을 해결하여, 본 발명에 의하는 경우, 비교적 간단한 구성으로도 유체의 흐름의 방향을 그대로 유지하면서 개폐가 가능하여 유체 이송의 효율을 극대화하는 것이 가능한 것은 물론, 개폐 작동을 위한 진공 구역과 구동을 위한 대기압 구역이 효율적으로 분리되어 구성되는 것이 가능한 윙 블레이드 게이트 밸브를 제공하는 것을 그 과제로 한다.
또한 작동 유체에 노출될 수 있는 진공 구역의 구성요소들이 알루미늄을 포함하는 재질로 구성되어 부식 등에 강하며, 윙 블레이드에 블레이드 실이 압착 고정되어 설치되므로 탈리나 마모가 쉽게 발생하지 않아 공정의 지속성을 유지할 수 있는 윙 블레이드 게이트 밸브를 제공하는 것을 그 과제로 한다.
한편, 공압 차단 등의 문제가 발생하는 경우 스프링의 힘에 의해 자동으로 밸브가 차단되도록 하여 2차적인 누출이나 오작동 등의 문제를 방지할 수 있는 윙 블레이드 게이트 밸브를 제공하는 것을 그 과제로 한다.
상기한 과제를 달성하기 위하여 본 발명은, 전면과 후면을 통하여 통공부(112)가 형성되어 있고, 하면에 윙블레이드 통공(111)이 형성되어 있는 주 하우징(110);과,
상기 주 하우징(110)의 전면에 삽입부(122)가 삽입되어 설치되며, 외측으로 상기 통공부(112)와 연통하는 전면 유로통로부(121)가 형성되는 전면 하우징 플레이트(120);와,
상기 주 하우징(110)의 후면에 밸브 시트 형성부(132)가 삽입되어 설치되며, 외측으로 상기 통공부(112)와 연통하는 후면 유로통로부(131)가 형성되는 후면 하우징 플레이트(130);와,
상기 주 하우징(110)의 하측에 결합되며 내부에는 공간부(141)가 형성되어 있으며, 양 측면에는 롤러 유도 가이드공(142)이 상하 방향으로 형성되어 있는 실 플레이트 바디(140);와,
상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에 결합되며, 중앙에 샤프트 통공(145)이 형성되어 있는 실린더 실 블록(144);과,
상기 샤프트 통공(145)을 통과하도록 설치되는 샤프트(160)의 일 측 말단에 결합되어, 상기 샤프트(160)의 구동에 따라 상기 삽입부(122)와 상기 밸브 시트 형성부(132) 사이에 삽입되거나 빠져나오면서 상기 전면 유로통로부(121)와 상기 후면 유로통로부(131) 사이를 폐쇄하거나 개방하는 윙 블레이드(150);와,
상기 샤프트(160)에 결합되어 설치되는 가이드 롤러 블록(161)의 양 측면에 각각 설치되며, 각각의 상기 롤러 유도 가이드공(142)에 각각 삽입되어 상기 샤프트(160)의 상하 작동을 지지하며 유도하는 가이드 롤러(162);와,
상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에 설치되며, 상기 샤프트(160)의 타 측 말단에 연결되어 상기 샤프트(160)를 상승 또는 하강시키는 구동을 하는 밸브 구동수단; 을 포함하여 구성되되,
상기 주 하우징(110), 전면 하우징 플레이트(120), 후면 하우징 플레이트(130), 실 플레이트 바디(140) 및 윙 블레이드(150)는 알루미늄 재질 또는 알루미늄을 포함하는 합금재질로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 윙 블레이드(150)는,
상기 샤프트(160)가 결합되며, 하측방향으로 만곡된 하측 결합 단턱(153)이 형성되어 있는 윙 블레이드 바디(152);와,
상기 윙 블레이드(150)의 상측 외주 말단부와 상기 하측 결합 단턱(153)을 연이어 지나가며 압착 고정되어 설치되는 블레이드 실(blade seal)(151); 을 더 포함하여 구성되고,
상기 삽입부(122)는,
상기 윙 블레이드(150)가 폐쇄 상태로 상승한 경우 상기 윙 블레이드(150)의 상측 외주 말단부가 접하여 폐쇄하게 되는 윙 블레이드 접촉부(124);와,
상기 윙 블레이드(150)가 폐쇄 상태로 상승한 경우 상기 윙 블레이드 바디(152)의 상기 하측 결합 단턱(153)이 접하여 폐쇄하게 되는 윙 블레이드 바디 접촉부(125); 를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 밸브 구동수단은,
상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에 결합되며, 그 하측은 실린더 커버(171)가 결합되어 폐쇄되는 실린더(170);와,
상기 샤프트(160)의 타 측 말단에 결합되어 상기 실린더(170) 내부에 설치되는 피스톤(180);과,
상기 피스톤(180)과 상기 실린더 커버(171) 사이에 설치되는 스프링(172);과,
상기 피스톤(180)이 최대로 상승한 상태에서 상기 실린더(170) 내부의 개방 작동 공간(175a)과 연통되도록 상기 실린더(170)의 상측에 설치되는 개방 압력공(173);과,
상기 피스톤(180)이 최대로 하강한 상태에서 상기 실린더(170) 내부의 폐쇄 작동 공간(175b)과 연통되도록 상기 실린더(170)의 하측에 설치되는 폐쇄 압력공(174); 을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 전면 유로통로부(121)의 외측 말단에 형성되는 전면 결합 플렌지(123);와, 상기 후면 유로통로부(131)의 외측 말단에 형성되는 후면 결합 플렌지(133); 를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 피스톤(180)의 하단에는 센서 마그네틱(190)이 더 장착되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의하는 경우, 비교적 간단한 구성으로도 유체의 흐름의 방향을 그대로 유지하면서 개폐가 가능하여 유체 이송의 효율을 극대화하는 것이 가능한 것은 물론, 개폐 작동을 위한 진공 구역과 구동을 위한 대기압 구역이 효율적으로 분리되어 구성되는 것이 가능하다는 장점이 있다.
또한 작동 유체에 노출될 수 있는 진공 구역의 구성요소들이 알루미늄을 포함하는 재질로 구성되어 부식 등에 강하며, 윙 블레이드에 블레이드 실이 압착 고정되어 설치되므로 탈리나 마모가 쉽게 발생하지 않아 공정의 지속성을 유지할 수 있다는 장점이 있다.
한편, 공압 차단 등의 문제가 발생하는 경우 스프링의 힘에 의해 자동으로 밸브가 차단되도록 하여 2차적인 누출이나 오작동 등의 문제를 방지할 수 있다는 효과가 있다.
도 1: 본 발명의 일실시예에 의한 윙 블레이드 게이트 밸브의 외관 정면도.
도 2: 본 발명의 일실시예에 의한 윙 블레이드 게이트 밸브의 외관 사시도.
도 3: 본 발명의 일실시예에 의한 윙 블레이드 게이트 밸브의 분해결합 사시도.
도 4: 본 발명의 일실시예에 의한 윙 블레이드 게이트 밸브의 윙 블레이드의 사시도.
도 5: 본 발명의 일실시예에 의한 윙 블레이드 게이트 밸브의 전면 하우징 플레이트의 배면 사시도.
도 6: 본 발명의 일실시예에 의한 윙 블레이드 게이트 밸브의 개방시 단면도.
도 7: 본 발명의 일실시예에 의한 윙 블레이드 게이트 밸브의 폐쇄시 단면도.
도 8: 본 발명의 일실시예에 의한 윙 블레이드 게이트 밸브의 전면 결합 플렌지 또는 후면 결합 플렌지의 연결시 구성을 나타내는 단면도.
이하에서는 본 발명의 일 실시 예에 따른 윙 블레이드 게이트 밸브를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
본 발명의 윙 블레이드 게이트 밸브는 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이 크게, 주 하우징(110), 전면 하우징 플레이트(120), 후면 하우징 플레이트(130), 실 플레이트 바디(140), 윙 블레이드(150) 및 밸브 구동수단을 포함하여 구성된다.
먼저, 주 하우징(110)에 관하여 설명한다. 상기 주 하우징(110)은 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 전면과 후면을 통하여 통공부(112)가 형성되어 있고, 하면에 윙블레이드 통공(111)이 형성되어 있다.
상기 전면 하우징 플레이트(120)는 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 주 하우징(110)의 전면에 삽입부(122)가 삽입되어 설치되며, 외측으로 상기 통공부(112)와 연통하는 전면 유로통로부(121)가 형성되어 있다.
상기 후면 하우징 플레이트(130)는 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 주 하우징(110)의 후면에 밸브 시트 형성부(132)가 삽입되어 설치되며, 외측으로 상기 통공부(112)와 연통하는 후면 유로통로부(131)가 형성되어 있다.
상기 주 하우징(110), 전면 하우징 플레이트(120) 및 후면 하우징 플레이트(130)는 도 3 및 도 6에 나타낸 것과 같이, 서로 결합되어 전체적으로 밸브 하우징을 구성하게 된다.
다음으로, 실 플레이트 바디(140)에 관하여 설명한다. 상기 실 플레이트 바디(140)는 도 3 및 도 6에 나타낸 것과 같이, 상기 주 하우징(110)의 하측에 결합되며 내부에는 공간부(141)가 형성되어 있으며, 양 측면에는 롤러 유도 가이드공(142)이 상하 방향으로 형성되어 있다. 한편, 상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에는 도 3 및 도 6에 나타낸 것과 같이, 중앙에 샤프트 통공(145)이 형성되어 있는 실린더 실 블록(144)이 결합된다. 상기 실린더 실 블록(144)에 의해 상기 상기 주 하우징(110), 전면 하우징 플레이트(120), 후면 하우징 플레이트(130), 실 플레이트 바디(140) 및 윙 블레이드(150)가 대기압 영역과 분리되어 진공 영역에 설치되어 작동하는 것이 가능하다.
다음으로, 윙 블레이드(150)에 관하여 설명한다. 상기 윙 블레이드(150)는 도 3 및 도 6에 나타낸 것과 같이, 상기 샤프트 통공(145)을 통과하도록 설치되는 샤프트(160)의 일 측 말단에 결합되어, 상기 샤프트(160)의 구동에 따라 상기 삽입부(122)와 상기 밸브 시트 형성부(132) 사이에 삽입되거나 빠져나오면서 상기 전면 유로통로부(121)와 상기 후면 유로통로부(131) 사이를 폐쇄하거나 개방하는 기능을 수행한다.
이 경우, 상기 윙 블레이드(150)는 더욱 효율적으로 폐쇄상태에서 밀폐상태를 유지하는 것이 가능하도록 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 샤프트(160)가 결합되며, 하측방향으로 만곡된 하측 결합 단턱(153)이 형성되어 있는 윙 블레이드 바디(152)와, 상기 윙 블레이드(150)의 상측 외주 말단부와 상기 하측 결합 단턱(153)을 연이어 지나가며 압착 고정되어 설치되는 블레이드 실(blade seal)(151)을 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다. 상기 블레이드 실(blade seal)(151)을 상기 윙 블레이드(150)에 압착 고정하는 실시예로는 압착 접착, 열압착 등 다양한 실시예가 가능하다. 이 경우 상기 블레이드 실(blade seal)(151)은 작동이나 폐쇄 상태에서 압착 고정면의 측면에서 받는 부하가 존재하지 않으며, 오로지 폐쇄 상태에 있는 경우 압착 고정면에 대하여 수직인 방향으로 압착되는 부하만이 작용하므로, 탈리가 거의 발생하지 않게 된다.
한편, 상기 윙 블레이드(150)가 상기 하측 결합 단턱(153)이 형성되어 있는 상기 윙 블레이드 바디(152)를 포함하는 구성을 가지는 경우 이 형상에 대응하여, 상기 전면 하우징 플레이트(120)의 상기 삽입부(122)는, 상기 윙 블레이드(150)가 폐쇄 상태로 상승한 경우 상기 윙 블레이드(150)의 상측 외주 말단부가 접하여 폐쇄하게 되는 윙 블레이드 접촉부(124)와, 상기 윙 블레이드(150)가 폐쇄 상태로 상승한 경우 상기 윙 블레이드 바디(152)의 상기 하측 결합 단턱(153)이 접하여 폐쇄하게 되는 윙 블레이드 바디 접촉부(125)를 더 포함하여 구성되도록 하는 것이 바람직하다.
이 경우, 상기 윙 블레이드(150)와 상기 하측 결합 단턱(153)은 도 7에 나타낸 것과 같이 각각 윙 블레이드 접촉부(124)와 상기 윙 블레이드 바디 접촉부(125)에 상기 블레이드 실(blade seal)(151)이 압착되며 밀폐되면서 서로 더욱 효율적으로 밀폐상태를 유지하는 것이 가능하게 된다.
한편, 작동 유체에 노출될 수 있는 진공 구역의 구성요소들인 상기 주 하우징(110), 전면 하우징 플레이트(120), 후면 하우징 플레이트(130), 실 플레이트 바디(140) 및 윙 블레이드(150)는 알루미늄 재질 또는 알루미늄을 포함하는 합금재질로 구성되도록 하여, NF₃등의 부식성 독성 물질을 포함하거나 플라즈마 상태인 경우가 많ㅇ느 작동 유체에 의한 부식이나 손상을 방지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 샤프트(160)가 안정적으로 지지되며 유도되어, 큰 외력을 효율적으로 지지하면서도 더욱 정확한 구동이 가능하도록 하기 위하여 상기 샤프트(160)에는 도 2 및 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 샤프트(160)에 결합하여 설치되는 가이드 롤러 블록(161)의 양 측면에 각각 설치되며, 각각의 상기 롤러 유도 가이드공(142)에 각각 삽입되어 상기 샤프트(160)의 상하 작동을 지지하며 유도하는 가이드 롤러(162)를 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
다음으로, 밸브 구동수단에 관하여 설명한다. 상기 밸브 구동수단은 상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에 설치되며, 상기 샤프트(160)의 타 측 말단에 연결되어 상기 샤프트(160)를 상승 또는 하강시키는 구동을 하는 기능을 가진다. 이러한 구성과 기능을 가지는 밸브 구동수단은 공압 작동 방식, 유압 작동 방식, 서보 모터를 이용하는 전기적 구동 방식은 물론, 수동 작동 방식 등 대단히 다양한 실시예가 가능하다.
이러한 상기 밸브 구동수단을 실시하는 일 실시예로는 도 3 및 도 6에 나타낸 것과 같이, 상기 밸브 구동수단은, 상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에 결합되며, 그 하측은 실린더 커버(171)가 결합되어 폐쇄되는 실린더(170)와, 상기 샤프트(160)의 타 측 말단에 결합되어 상기 실린더(170) 내부에 설치되는 피스톤(180)과, 상기 피스톤(180)과 상기 실린더 커버(171) 사이에 설치되는 스프링(172)과, 상기 피스톤(180)이 최대로 상승한 상태에서 상기 실린더(170) 내부의 개방 작동 공간(175a)과 연통되도록 상기 실린더(170)의 상측에 설치되는 개방 압력공(173);과, 상기 피스톤(180)이 최대로 하강한 상태에서 상기 실린더(170) 내부의 폐쇄 작동 공간(175b)과 연통되도록 상기 실린더(170)의 하측에 설치되는 폐쇄 압력공(174)을 더 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
상기한 구성의 밸브 구동수단에 의하는 경우, 상기 개방 압력공(173) 및 상기 폐쇄 압력공(174)에 순차적으로 공압 또는 유압을 공급하는 것에 의해 상기 피스톤(180)이 하강 또는 상승하면서, 상기 피스톤(180)에 연결된 상기 샤프트(160)의 하강/상승 작동에 의해 상기 윙 블레이드(150)가 밸브를 개방 또는 폐쇄하게 된다.
이 경우, 공압 차단 등의 문제가 발생하는 경우 도 7에 나타낸 것과 같이 상기 스프링(172)에 의해 자동으로 밸브가 차단되므로, 2차적인 누출이나 오작동 등의 문제를 방지할 수 있게 된다.
한편, 상기 진공 영역에 위치하는 구성요소들이 알루미늄을 포함하는 재질로 구성되는 특징을 고려하여, 상기 전면 유로통로부(121)의 외측 말단에 형성되는 전면 결합 플렌지(123)와, 상기 후면 유로통로부(131)의 외측 말단에 형성되는 후면 결합 플렌지(133)를 더 포함하여 구성되도록 하여, 외부의 배관이나 다른 유로 구성요소와 결합될 때의 강도를 유지할 수 있도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 윙 블레이드(150)의 개방 또는 폐쇄 위치를 파악하기 위하여 다양한 종류의 위치 측정 센서를 사용하는 것이 가능하다. 이 경우, 상기 위치 측정 센서로 마그네틱 센서를 사용하는 경우에는 도 3 및 도 6에 나타낸 것과 같이 상기 피스톤(180)의 하단에는 센서 마그네틱(190)이 더 장착되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 윙 블레이드 게이트 밸브(100)는 상기 전면 결합 플렌지(123) 및 상기 후면 결합 플렌지(133)가 다른 연결 배관 등에 연결되어 사용되게 된다. 그러나, 기존의 플랜지 연결구조에서는 플렌지의 내경에 형성된 단차에 센터링(O-Ring;0)이 구비된 상태에서 플랜지의 외측에 클램프 등이 조여지기 때문에, 센터링에 많은 손상이 발생하게 되거나 또는 가스(Gas)의 이동시 센터링이 직접 가스에 노출되어 센터링이 식각되어 부식되는 문제점이 발생하게 되고, 이로 인하여 센터링을 자주 교체해주어야 하는 문제점이 있으며, 상기와 같이 센터링이 가스에 직접 노출되어 식각 부식되는 경우, 또는 플랜지의 내경에 구비되는 경우, 플랜지 상호간의 공차나 유격 등에 의해 가스의 손실이 발생하게 되고 차폐 효율이 저하되어 반도체의 생산 수율에 치명적인 결과를 초래하게 되는 문제점이 있다.
이러한 문제점을 해결하기 위하여 본 발명의 상기 전면 결합 플렌지(123) 및 상기 후면 결합 플렌지(133)는 도 8에 나타낸 것과 같이, 상기 전면 결합 플렌지(123) 및 상기 후면 결합 플렌지(133)가 외주연측 단면이 '凸' 형상의 단차(S1)를 가지는 경우에는 접합면(11)과 걸림턱(12)으로 구성되고, 이에 연결되는 연결배관에는 이에 대응하여 외주연측 단면이 '凹' 형상의 단차(S2)를 가지면서 접합면(13)과 걸림돌기(14)로 구성되며, 상기 접합면(13)과 걸림돌기 (14) 사이에는 오링(0)이 끼워지는 요홈(G)이 형성되도록 하는 것이 바람직하다.
이때, 상기 접합면(I1,I3)과 걸림턱(I2) 및 걸림돌기(I4)의 결합시 상기 접합면(I3)의 요험(G)에 끼워지는 오링(0)에 의해 유출부(113A)와 유입부 (112B)의 내부를 이동하는 가스가 결합부위를 통하여 손실되는 것이 방지될 수 있고, 또한, 상기 오링(0)이 상기 전면 결합 플렌지(123) 및 상기 후면 결합 플렌지(133)의 내경에 위치되지 않고 외주연측에 위치됨으로써 직접 가스에 노출되지 않아 가스에 의한 식각 부식을 방지할 수 있고, 이를 통하여 오링(0)의 수명을 연장하여 보다 경제적인 효과를 파생시킬 수 있다.
한편, 상기한 구성과 반대의 경우로 상기 전면 결합 플렌지(123) 및 상기 후면 결합 플렌지(133)가 외주연측 단면이 '凹' 형상의 단차(S2)를 가지면서 접합면(13)과 걸림돌기(14)로 구성되고, 이에 연결되는 연결배관에는 이에 대응하여 외주연측 단면이 '凸' 형상의 단차(S1)를 가지면서 접합면(11)과 걸림턱(12)으로 구성되는 것 역시 가능하다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가지는 자에게 자명한 사실이라 할 것이다.
이상, 도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미 한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
100: 윙 블레이드 게이트 밸브
110: 주 하우징 111: 윙 블레이드 통공
112: 통공부
120: 전면 하우징 플레이트
121: 전면 유로통로부 122: 삽입부
123: 전면 결합 플렌지
124: 윙 블레이드 접촉부 125: 윙 블레이드 바디 접촉부
130: 후면 하우징 플레이트 131: 후면 유로통로부
132: 밸브 시트 형성부 133: 후면 결합 플렌지
140: 실 플레이트 바디 141: 공간부
142: 롤러 유도 가이드공
144: 실린더 실 블록 145: 샤프트 통공
150: 윙 블레이드 151: 블레이드 실
152: 윙 블레이드 바디 153: 하측 결합 단턱
160: 샤프트 161: 가이드 롤러 블록
162: 가이드 롤러
170: 실린더
171: 실린더 커버
172: 스프링
173: 개방 압력공 174: 폐쇄 압력공
180: 피스톤
190: 센서 마그네틱

Claims (5)

  1. 전면과 후면을 통하여 통공부(112)가 형성되어 있고, 하면에 윙블레이드 통공(111)이 형성되어 있는 주 하우징(110);
    상기 주 하우징(110)의 전면에 삽입부(122)가 삽입되어 설치되며, 외측으로 상기 통공부(112)와 연통하는 전면 유로통로부(121)가 형성되는 전면 하우징 플레이트(120);
    상기 주 하우징(110)의 후면에 밸브 시트 형성부(132)가 삽입되어 설치되며, 외측으로 상기 통공부(112)와 연통하는 후면 유로통로부(131)가 형성되는 후면 하우징 플레이트(130);
    상기 주 하우징(110)의 하측에 결합되며 내부에는 공간부(141)가 형성되어 있으며, 양 측면에는 롤러 유도 가이드공(142)이 상하 방향으로 형성되어 있는 실 플레이트 바디(140);
    상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에 결합되며, 중앙에 샤프트 통공(145)이 형성되어 있는 실린더 실 블록(144);
    상기 샤프트 통공(145)을 통과하도록 설치되는 샤프트(160)의 일 측 말단에 결합되어, 상기 샤프트(160)의 구동에 따라 상기 삽입부(122)와 상기 밸브 시트 형성부(132) 사이에 삽입되거나 빠져나오면서 상기 전면 유로통로부(121)와 상기 후면 유로통로부(131) 사이를 폐쇄하거나 개방하는 윙 블레이드(150);
    상기 샤프트(160)에 결합되어 설치되는 가이드 롤러 블록(161)의 양 측면에 각각 설치되며, 각각의 상기 롤러 유도 가이드공(142)에 각각 삽입되어 상기 샤프트(160)의 상하 작동을 지지하며 유도하는 가이드 롤러(162);
    상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에 설치되며, 상기 샤프트(160)의 타 측 말단에 연결되어 상기 샤프트(160)를 상승 또는 하강시키는 구동을 하는 밸브 구동수단; 을 포함하여 구성되되,
    상기 주 하우징(110), 전면 하우징 플레이트(120), 후면 하우징 플레이트(130), 실 플레이트 바디(140) 및 윙 블레이드(150)는 알루미늄 재질 또는 알루미늄을 포함하는 합금재질로 구성되는 것을 특징으로 하는 윙 블레이드 게이트 밸브(100).
  2. 청구항 제 1항에 있어서,
    상기 윙 블레이드(150)는,
    상기 샤프트(160)가 결합되며, 하측방향으로 만곡된 하측 결합 단턱(153)이 형성되어 있는 윙 블레이드 바디(152);
    상기 윙 블레이드(150)의 상측 외주 말단부와 상기 하측 결합 단턱(153)을 연이어 지나가며 압착 고정되어 설치되는 블레이드 실(blade seal)(151); 을 더 포함하여 구성되고,
    상기 삽입부(122)는,
    상기 윙 블레이드(150)가 폐쇄 상태로 상승한 경우 상기 윙 블레이드(150)의 상측 외주 말단부가 접하여 폐쇄하게 되는 윙 블레이드 접촉부(124);
    상기 윙 블레이드(150)가 폐쇄 상태로 상승한 경우 상기 윙 블레이드 바디(152)의 상기 하측 결합 단턱(153)이 접하여 폐쇄하게 되는 윙 블레이드 바디 접촉부(125); 를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 윙 블레이드 게이트 밸브(100).
  3. 청구항 제 1항 또는 청구항 제 2항에 있어서,
    상기 밸브 구동수단은,
    상기 실 플레이트 바디(140)의 하측에 결합되며, 그 하측은 실린더 커버(171)가 결합되어 폐쇄되는 실린더(170);
    상기 샤프트(160)의 타 측 말단에 결합되어 상기 실린더(170) 내부에 설치되는 피스톤(180);
    상기 피스톤(180)과 상기 실린더 커버(171) 사이에 설치되는 스프링(172);
    상기 피스톤(180)이 최대로 상승한 상태에서 상기 실린더(170) 내부의 개방 작동 공간(175a)과 연통되도록 상기 실린더(170)의 상측에 설치되는 개방 압력공(173);
    상기 피스톤(180)이 최대로 하강한 상태에서 상기 실린더(170) 내부의 폐쇄 작동 공간(175b)과 연통되도록 상기 실린더(170)의 하측에 설치되는 폐쇄 압력공(174); 을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 윙 블레이드 게이트 밸브(100).
  4. 청구항 제 3항에 있어서,
    상기 전면 유로통로부(121)의 외측 말단에 형성되는 전면 결합 플렌지(123);
    상기 후면 유로통로부(131)의 외측 말단에 형성되는 후면 결합 플렌지(133); 를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 윙 블레이드 게이트 밸브(100).
  5. 청구항 제 4항에 있어서,
    상기 피스톤(180)의 하단에는 센서 마그네틱(190)이 더 장착되는 것을 특징으로 하는 윙 블레이드 게이트 밸브(100).
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