KR100717865B1

KR100717865B1 - 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브

Info

Publication number: KR100717865B1
Application number: KR1020060009691A
Authority: KR
Inventors: 지종우
Original assignee: 주식회사 에스티에스
Priority date: 2006-02-01
Filing date: 2006-02-01
Publication date: 2007-05-14
Also published as: US20090057597A1; WO2007089076A1

Abstract

본 발명은 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브는, 챔버와 진공펌프에 연결되는 메인유체통로가 형성되고, 상기 메인유체통로를 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간이 형성된 하우징; 상기 슬라이드 공간내에 삽입되어서 상기 메인유체통로를 개폐하는 유체통로 밀폐부재; 상기 유체통로 밀폐부재를 구동시키는 제1액츄에이터; 상기 메인유체통로와 평행한 방향으로 수직이동을 하며 상기 슬라이드 공간을 개폐시키는 부식방지 밀폐부재; 상기 부식방지 밀폐부재를 상하방향으로 이동시키는 제2액츄에이터;를 포함하는 진공게이트밸브에 있어서, 상기 제2엑츄에이터는 상기 부식방지 밀폐부재를 상방향으로 이동시키는 제2압축공기 유입부가 형성되어 있는 중공형 제1몸체;와 상기 부식방지 밀폐부재를 하방향으로 이동시키는 제 3압축공기 유입부가 형성되며, 상단에는 상기 챔버로부터 진공펌프로 유체를 이동시키는 하나 이상의 유량조절홈이 형성된 중공형 제2몸체;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

상기와 같은 본 발명에 따른 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브에 의하면, 제2몸체의 상단 양측에 슬라이드 공간과 맞닿는 부분에 유량조절홈이 구비되어 슬라이드 공간으로 유체가 유입되어 유체통로 밀폐부재가 부식되는 것을 방지할 뿐만 아니라, 챔버에서 진공펌프로 유체의 이동시에 보조유체관을 형성하지 않아도 유량을 조절하는 것이 가능한 장점이 있다.

부식방지 밀폐부재, 유량조절홈, 밀폐판, 액츄에이터

Description

개선된 부식방지용 진공 게이트밸브{Improved protection vacuum gate valve }

도 1은 종래의 유량조절 진공 게이트밸브의 구성을 보인 설명도,

도 2는 종래의 부식방지용 진공 게이트밸브의 측면도,

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브의 유체통로 밀폐부재가 열렸을때의 상태를 보인 측면도,

도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브의 유체통로 밀폐부재가 닫혔을때의 상태를 보인 측면도,

도 5는 본 발명의 유체통로 밀폐부재의 구성을 보인 설명도,

도 6은 본 발명의 제2몸체의 구성을 보인 사시도,

도 7은 본 발명의 부식방지 밀폐부재 및 제 2액츄에이터의 구성을 보인 분해단면도,

도 8은 본 발명의 부식 방지용 진공 게이트밸브의 열릴때의 과정을 보인 설명도,

도 9는 본 발명의 부식 방지용 진공 게이트밸브의 닫힐때의 과정을 보인 설명도이다.

*도면의 주요부위에 대한 부호의 설명*

100: 하우징 110: 메인유체통로

112: 유입부 114: 유출부

120: 오링 130:슬라이드공간

140: 차단판

200: 유체통로 밀폐부재 210: 프레임

220: 밀폐판 230: 고정구

240: 탄성부 250: 롤러

300: 링크 310: 제1축

320: 제1힌지축 330: 제2축

340: 제2힌지축 350: 제3힌지축

360: 제4힌지축

400: 제1액츄에이터 401: 피스톤

405: 제1실린더 410: 구동축

415, 416: 제1압축공기 유입부 425: 고정원동체

430: 슬라이드홈 435: 인디게이트링

440: 눈금자

500: 부식방지 밀폐부재 520: 제1돌출부

600: 제2액츄에이터 610: 제1몸체

611: 제2돌출부 612: 제2압축공기 유입부

620: 제2몸체 621: 제3돌출부

622: 제3압축공기 유입부 623: 안내홈

625: 유량조절홈 630: 급속배기밸브

본 발명은 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브에 관한 것으로서, 더 상세하게는 제2몸체의 상단 양측에 슬라이드 공간과 맞닿는 부분에 유량조절홈이 구비되어 슬라이드 공간으로 유체가 유입되어 유체통로 밀폐부재가 부식되는 것을 방지할 뿐만 아니라, 챔버에서 진공펌프로 유체의 이동시에 보조유체관을 형성하지 않아도 유량을 조절하는 것이 가능한 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브에 관한 것이다.

일반적으로 반도체는 고정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다. 이러한 이유로 반도체 소자는 공기중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조된다. 따라서 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.

따라서 반도체 소자의 집적공정이 이루어지는 챔버와 이 챔버내의 공기를 흡입하는 진공펌프와의 사이에 설치되어, 진공펌프의 흡입력이 챔버로 전달되는 것을 개폐하는 진공밸브가 중요한 역할을 담당하게 되므로, 그 수명을 유지하기 위한 노력 또한 중요한 문제점으로 대두되고 있다.

이하에서는 도 1 및 2를 참조하여 종래의 진공 게이트밸브를 설명하기로 한다.

먼저, 도 1은 종래의 유량조절 진공 게이트밸브의 구성을 보인 설명도이다.

도 1은 본 출원인에 의하여 등록된 대한민국 등록특허공보 제 10-0520726호의 "유량조절밸브"에 개재되어 있는 것으로서,

도 1을 참조하면, 종래의 유량조절 진공 게이트밸브는 유체가 유입되는 유입부(12), 유체가 유출되는 유출부(14), 상기 유입부(12)와 유출부(14)를 연결하는 메인 유체통로(11), 상기 유입부(12)의 측면으로부터 외측 방향으로 형성되어 소량의 유체가 유출되는 일자형 보조유체관(16), 상기 보조유체관(16)을 통하여 유출된 유체를 상기 유출부(14)로 유출시키는 일자형 보조유체관(17), 상기 보조유체관(16)과 보조유체관(17)을 연결하며, 슬라이드공간(13)이 형성되어 있는 연결형 플레이트를 포함하는 몸체(10); 상기 메인 유체통로(11)를 개폐하는 밀폐부재(미도시); 상기 밀폐부재에 연결된 제1구동축(미도시)을 구동시키는 메인액츄에이터(미도시); 상기 보조유체관(16) 또는 보조유체관(17) 중 어느 하나의 관의 구경의 크기를 조절하는 관구경 조절수단을 포함하고 있다.

그러나, 상기와 같은 종래의 진공 게이트밸브는 밸브가 열려 상기 메인유체통로(11)에 유체가 유입될 때에, 챔버로부터 진공펌프로 이동하는 유체의 흐름을 조절하기 위하여 보조유체관(16) 및 보조유체관(17)을 형성해야 하므로 밸브의 제조공정시간 및 비용이 증가하는 문제점이 있었다.

또한, 상기 보조유체관(17)의 관구경을 조절하기 위한 관구경 조절밸브(70)를 따로 구비해야 하므로 구조가 복잡해지는 문제점이 있었다.

또한, 챔버로부터 진공펌프로 유체가 이동시에 상기 슬라이드공간(13)으로 유체가 유입되어 상기 슬라이드공간(13)에 파우더가 고착되어 메인유체통로(11)를 개폐하는 상기 밀폐부재의 작동이 불가능하거나 부식되는 문제점이 있었다.

이를 개선하기 위한 진공 게이트밸브가 도 2에 도시되어 있다.

도 2를 참조하면, 종래의 부식방지용 진공 게이트밸브는 챔버(미도시)와 진공펌프(미도시)에 연결되는 메인유체통로(11)가 형성되고, 상기 메인유체통로(11)를 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간(13)이 형성된 하우징(10); 상기 슬라이드 공간(13)내에 삽입되어서 상기 메인유체통로(11)를 개폐하는 유체통로 밀폐부재(20); 상기 유체통로 밀폐부재(20)와 링크(30)연결된 구동축(41)을 전후진 시키는 제1액츄에이터(40); 상기 메인유체통로(11)와 평행한 방향으로 수직이동을 하며 상기 슬라이드공간(13)을 개폐시키는 부식방지 밀폐부재(50); 상기 부식방지 밀폐부재(50)를 상하로 구동시키는 제2액츄에이터(60);를 포함하고 있다.

그러나, 상기와 같은 종래의 진공 게이트밸브는 부식방지 밀폐부재(50)가 구비되어 상기 슬라이드공간(13)으로 유체가 유입되는 것을 방지하는 것은 가능하나, 여전히 밸브가 갑자기 오픈될때, 챔버와 진공펌프의 압력차에 의해 밸브가 손상되는 것을 방지하기 위하여 별도의 보조유체통로(12) 및 상기 보조유체통로(12)를 흐르는 유체의 양을 조절하는 수단이 필요했다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서 본 발명의 목적은 제2몸체의 상단 양측에 슬라이드 공간과 맞닿는 부분에 유량조절홈이 구비되어, 슬라이드 공간으로 유체가 유입되어 유체통로 밀폐부재가 부식되는 것을 방지할 뿐만 아니라, 챔버에서 진공펌프로 유체의 이동시에 보조유체관을 형성하지 않아도 유량을 조절하는 것이 가능한 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브를 제공하는 것이다.

또한, 밀폐판을 얇은 판으로 가볍고 단순한 구조로 하여 제조시 편리하고 비용절감의 효과가 있는 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브를 제공하는 것이다.

또한, 밀폐판의 상단에 탄성부가 구비되어 부식방지 밀폐부재가 상하로 이동함에 따라 밀폐판이 이동하며 메인유체통로를 개폐시킬 수 있는 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브를 제공하는 것이다.

또한, 부식방지 밀폐부재의 상단과 맞닿는 하우징의 내부에 오링을 형성하여 기밀성을 강화시킬 수 있는 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브를 제공하는 것이다.

상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 본 발명에 따른 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브는, 챔버와 진공펌프에 연결되는 메인유체통로가 형성되고, 상기 메인유체통로를 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간이 형성된 하우징; 상기 슬라 이드 공간내에 삽입되어서 상기 메인유체통로를 개폐하는 유체통로 밀폐부재; 상기 유체통로 밀폐부재를 구동시키는 제1액츄에이터; 상기 메인유체통로와 평행한 방향으로 수직이동을 하며 상기 슬라이드 공간을 개폐시키는 부식방지 밀폐부재; 상기 부식방지 밀폐부재를 상하방향으로 이동시키는 제2액츄에이터;를 포함하는 진공게이트밸브에 있어서, 상기 제2엑츄에이터는 상기 부식방지 밀폐부재를 상방향으로 이동시키는 제2압축공기 유입부가 형성되어 있는 중공형 제1몸체;와 상기 부식방지 밀폐부재를 하방향으로 이동시키는 제 3압축공기 유입부가 형성되며, 상단에는 상기 챔버로부터 진공펌프로 유체를 이동시키는 하나 이상의 유량조절홈이 형성된 중공형 제2몸체;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 유체통로 밀폐부재는 상기 제1액츄에이터의 구동축에 링크결합되어 상기 슬라이드공간을 이동하는 프레임; 상기 프레임의 상단에 결합되어 상기 슬라이드공간을 함께 이동하고, 상기 메인유체통로에서는 상하로 이동하며 메인유체통로를 개폐하는 밀폐판; 상기 밀폐판을 상기 프레임에 고정시키는 2개 이상의 고정구;를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 유체통로 밀폐부재는 상기 밀폐판과 고정구 사이에 위치하여 상기 밀폐판에 하방향으로 힘을 제공하는 탄성부를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 하우징의 내부에는 상기 부식방지 밀폐부재의 상단과 맞닿는 부분에 오링이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 부식방지 밀폐부재의 중앙에는 외주면을 둘러싼 제1돌출부;가 형성되며, 상기 제2몸체에는 상기 부식방지 밀폐부재에 형성되어 있는 제1돌출부의 이동을 안내하는 안내홈;을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1액츄에이터에는 상기 유체통로 밀폐부재의 위치를 감지하는 센서 및 상기 부식방지 밀폐부재의 위치를 감지하는 센서의 값을 표시하는 표시수단을 더 포함하는 것을 특징으로 한다.

이하, 도면을 참조하여 본 발명을 상세히 설명하기로 한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.

도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브의 유체통로 밀폐부재가 열렸을때의 상태를 보인 측면도이며, 도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 부식 방지용 진공 게이트밸브의 유체통로 밀폐부재가 닫혔을때의 상태를 보인 측면도이다.

도 3 및 4를 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브는 하우징(100), 유체통로 밀폐부재(200), 링크(300), 제1액츄에이터(400), 부식방지 밀폐부재(500), 제2액츄에이터(600)가 포함된다.

상기 하우징(100)은 메인유체통로(110), 슬라이드공간(130)을 포함한다.

상기 메인유체통로(110)는 일측은 챔버에 연결되는 유입부(112)가 형성되며, 타측은 진공펌프에 연결되는 유출부(114)가 형성되는 것이 바람직하다. 상기 메인유체통로(110)는 상기 챔버에서 유입되는 유체를 상기 진공펌프로 유출하는 통로라 고 할 수 있다.

상기 슬라이드공간(130)은 상기 메인유체통로(110)를 직교방향으로 관통하여 형성되는 것으로서, 후술할 유체통로 밀폐부재(200)의 이동통로이다. 후술할 유체통로 밀폐부재(200)는 상기 슬라이드공간(130)을 이동하며 상기 메인유체통로(110)를 개폐하는 역할을 한다.

한편, 상기 하우징(100)의 내부에는 후술할 부식방지 밀폐부재(500)가 상방향으로 이동하여 상기 슬라이드공간(130)을 차단할 때에 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 상단과 맞닿는 부분에 오링(120)이 형성되어 있는 것이 바람직하다.

도 5를 참조하면, 상기 유체통로 밀폐부재(200)는 상기 슬라이드 공간(130)을 이동하며 상기 메인유체통로(110)를 개폐하는 얇은 판으로서, 프레임(210), 밀폐판(220), 고정구(230)를 포함한다.

상기 프레임(210)은 후술할 제1액츄에이터(400)의 구동축(410)에 링크결합되어 상기 슬라이드공간(130)을 이동하는 것으로서, 상단에는 후술할 밀폐판(220)이 결합되어 밀폐판(220)과 함께 상기 슬라이드공간(130)을 이동하다 상기 메인유체통로(110)에 위치하였을때, 밀폐판(220)이 상하로 이동가능하도록 지지하는 것이 바람직하다.

상기 밀폐판(220)은 상기 프레임(210)의 상단에 결합되어 상기 슬라이드공간 (130)을 함께 이동하는 얇은 판으로서, 본 발명에 있어서, 상기 유체통로 밀폐부재(200)가 상기 메인유체통로(110)에 위치 하였을때, 후술할 부식방지 밀폐부재(500)의 승하강 동작에 따라 상기 밀폐판(220)이 상하로 함께 이동하며 상기 메인유체통로(110)를 개폐하는 것이 특징이다.

상기 고정구(230)는 상기 밀폐판(220)을 상기 프레임(210)에 고정시키는 것으로서, 상기 밀폐판(220)이 사각형상일 경우에는 4개가 구비되는 것이 좋으나, 대각선으로 2개가 구비되는 것도 가능하다.

한편, 상기 유체통로 밀폐부재(200)에는 상기 밀폐판(220)과 고정구(230) 사이에 위치하여 상기 밀폐판(220)에 하방향으로 힘을 제공하는 탄성부(240)가 구비되는 것이 바람직하다.

상기 탄성부(240)는 상기 밀폐판(220)의 상단에 고정구(230)에 의하여 결합되는데, 밸브가 열려있을 때에는 상기 밀폐판(220)이 상기 프레임(210)에 고정되어 움직임이 일어나지 않도록 하며, 밸브가 닫혀서 상기 유체통로 밀폐부재(200)가 상기 메인유체통로(110)에 위치할 때에는 후술할 부식방지 밀폐부재(500)의 상승에 따라 상기 밀폐판(220)으로부터 압력을 받아 수축하게 된다.

또한, 상기 부식방지 밀폐부재(500)가 하강하면, 상기 밀폐판(220)의 이동으로 인하여 수축되었던 상기 탄성부(240)가 이완하며 상기 밀폐판(220)을 하방향으로 이동시키게 된다. 이로 인하여, 상기 슬라이드공간(130)이 소정간격 개방되며 후술할 유량조절홈(625)을 통하여 챔버에서 진공펌프로 이동하는 유체의 압력을 조절하는 것이 가능하게 되는 것이다.

또한, 상기 프레임(210)의 가장자리에는 상기 슬라이드 공간(130)의 측벽에 접촉되는 복수개의 롤러(250)가 회전 가능하도록 결합되는 것이 바람직하다. 상기 유체통로 밀폐부재(200)는 상기 프레임(210)에 형성되어 있는 상기 롤러(250)로 인하여 상기 슬라이드 공간(130)에서 이동이 용이하게 되는 것이다.

상기 링크(300)는 도 5에 도시된 바와 같이, 제1축(310)과 제2축(330)으로 구성되어 있는대, 상기 제1축(310)은 제1힌지축(320)에 의하여 상기 제1축(310)의 일단이 상기 프레임(210)에 회동 가능하게 연결되며, 상기 제2축(330)은 제2힌지축(340)에 의하여 상기 제1축(310)의 타단과 상기 제2축(330)의 일단이 회동 가능하게 연결된다. 또한, 상기 제2축(330)의 타단은 제3힌지축(350)에 의하여 상기 차단판(140)에 회동 가능하게 연결되며, 제4힌지축(360)에 의하여 후술할 구동축(410)에 회동 가능하게 연결되는 것이 바람직하다. 이러한 상기 링크(300)는 후술할 구동축(410)이 전진하면, 상기 제2축(330)과 제1축(310)을 연속으로 회동시켜 결과적으로 상기 제1축(310)이 전진하는 방향으로 힘을 가하여 상기 프레임(210)을 전진시킨다. 이와 반대로 후술할 구동축(410)이 후진하면, 상기 제2축(330)과 제1축(310)을 역방향으로 회동시켜 상기 제1축(310)이 후진하는 방향으로 힘을 가하여 상기 프레임(210)을 후진시킨다.

상기 제1액츄에이터(400)는 구동축(410)을 전후진 시키는 작용을 한다. 이러한 제1액츄에이터(400)는 자동식 또는 수동식 등이 있을 수 있으나, 자동식의 경우에는 압축공기에 의하여 작동하는 뉴메틱(PNEUMATIC) 타입으로 하는 것이 바람직하다.

뉴메틱타입의 제1액츄에이터(400)는 압축공기가 유입되는 제1압축공기 유입부(415, 416), 제1실린더(405), 구동축(410), 등이 포함되나, 공지기술이므로 자세한 설명을 생략하기로 한다

한편, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 제 1액츄에이터(400)는 외부에서 상기 제 1액츄에이터(400)의 구동을 쉽게 인지할 수 있도록 인디게이트링(435)과 외주면에 슬라이드홈(430)이 형성된 고정원통체(425)를 포함하는 것이 좋다.

상기 인디게이트링(435)은 상기 고정원통체(425)의 외주면을 사이에 두고 상기 구동축(410)과 결합되어 상기 구동축(410)이 움직일 때 함께 상기 슬라이드홈(430)을 따라 운동하게 된다. 상기 고정원통체(425)의 외주면에는 밸브의 개폐를 표시한 눈금자(440)를 붙이는 것이 바람직하며, 상기 눈금자(440)에 적혀진 표시를 용이하게 인식하기 위하여 상기 인디게이트링(435)은 투명소재를 사용하는 것이 좋다.

또한, 상기 제1액츄에이터(400)는 상기 유체통로 밀폐부재(200)의 위치를 감지할 수 있는 센서(미도시)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 센서는 상기 유체통로 밀폐부재(200)의 위치를 감지하여 후술할 부식방지 밀폐부재(500)의 작동을 가능하게 한다.

상기 부식방지 밀폐부재(500)는 수직운동을 하며 상기 메인유체통로(110)내에 형성되어 있는 상기 슬라이드공간(130)을 개폐하는 것으로서, 그 형태는 다양한 형상으로 구성될 수 있으나, 간단하게는 상기 하우징(100)에 형성되어 있는 상기 메인유체통로(110)를 감싸는 실린더형으로 구성되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 부식방지 밀폐부재(500)는 중앙부분에 제1돌출부(520)가 형성되는 것이 바람직하다.

상기 제1돌출부(520)는 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 중앙부분에 외주면을 둘러싸며 형성되는 것으로서, 후술할 제2압축공기 유입부(612) 및 제3압축공기 유입부(622)로부터 공기가 유입되면 압력을 받아 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 상하 이동을 가능하게 한다.

상기 부식방지 밀폐부재(500)는 후술할 제1몸체(610)에 형성되어 있는 제2압축공기 유입부(612) 및 제2몸체(620)에 형성되어 있는 제3압축공기 유입부(622)로 인하여 승하강이 가능한 것이 특징이다.

상기 부식방지 밀폐부재(500)는 제3압축공기 유입부(622)로 부터 공기가 유입되어 하방향으로 이동하는 것도 가능하나, 외부로부터 힘이 가해지지 않을 경우에는 즉, 제2압축공기 유입부(612)로부터 공기가 유입되지 않을 경우에는 자체 무게에 의한 자연낙하 또한 가능할 것이므로, 제3압축공기 유입부(622)는 본 발명에 반드시 필요한 부분은 아닐 것이다.

이하에서는 도 7을 참조하여 제2액츄에이터의 구성 및 작용을 설명한다.

상기 제2액츄에이터(600)는 제1몸체(610), 제2몸체(620)를 포함한다.

상기 제1몸체(610)는 후술할 제2몸체(620)와 결합이 가능하도록 외주면 상부에 둘레를 따라 제2돌출부(611)가 형성되는 것이 좋다. 상기 제2돌출부(611)의 내측에는 제2압축공기 유입부(612)가 형성되는 것이 바람직하다.

상기 제2압축공기 유입부(612)는 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 제1돌출부(520) 하단에 위치하게 되는데, 상기 제2압축공기 유입부(612)를 통하여 압축공기가 유입되면 그 상부에 위치하는 상기 제1돌출부(520)로 압력을 전달하여 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 상방향으로 이동시키는 역할을 한다.

상기 제2몸체(620)는 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 사이에 두고 상기 제1몸체(610)와 결합하는 것으로서, 상기 제1몸체(610)와 결합이 가능하도록 외주면 하부에 둘레를 따라 제3돌출부(621)가 형성되는 것이 좋다. 상기 제3돌출부(621)의 내측에는 제3압축공기 유입부(622)가 형성되는 것이 바람직하다.

상기 제3압축공기 유입부(622)는 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 제1돌출부(520) 양측 상단에 위치하게 되는데, 상기 제3압축공기 유입부(622)를 통하여 압축공기가 유입되면 그 하부에 위치하는 상기 제1돌출부(520)로 압력을 전달하여 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 하방향으로 이동시키는 역할을 한다.

또한, 상기 제2몸체(620)의 내주면에는 내주면 둘레를 따라 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 제1돌출부(520)의 승하강 운동을 안내하는 안내홈(623)이 형성되 는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 제2몸체(620)는 상단 양측에 상기 슬라이드 공간(130)과 맞닿는 부분에 유량조절홈(625)이 형성되어 있는 것이 특징으로서, 상기 유량조절홈(625)으로 인하여 챔버에서 진공펌프로 유체가 이동할 때에 상기 메인유체통로(110)를 이동하는 유체의 양을 조절할 수 있게 되는 것이다.

도 6 및 7을 참조하여 자세히 설명하면, 상기 유량조절홈(625)은 상기 제2몸체(620)의 상단에서 하방향으로 형성된 타원형의 홈으로서, 상기 메인유체통로(110)가 폐쇄되어 있는 상태에서 개방될 때에 상기 유체통로 밀폐부재(200)가 하강하게 되면 상기 슬라이드 공간(130)이 소정간격 개방되는데, 이때, 챔버에서 유입된 유체가 상기 슬라이드 공간(130)의 개방된 틈사이로 유입되어 상기 제2몸체(620)에 형성되어 있는 상기 유량조절홈(625)을 통하여 진공펌프방향으로 소량 이동하게 되는 것이다. 이로 인하여 갑작스런 밸브의 개방으로 인한 압력때문에 발생하던 공정챔버 및 진공펌프의 손상을 방지할 수 있게 된다.

또한, 상기 제2몸체(620)는 상기 유량조절홈(625)이 형성됨으로 인하여 밸브를 제조할 때에 종래의 보조유체통로 및 관구경 조절밸브를 형성하여야 하는 번거러움을 해소하는 것이 가능하게 된다.

한편, 상기 제2액츄에이터(600)에는 상기 부식방지 밀폐부재(500)가 신속하게 이동될 수 있도록 급속배기밸브(630)가 구비되는 것이 바람직하다. 상기 급속배기밸브(630)로 인하여, 상기 부식방지 밀폐부재(500)가 하방향으로 이동할때 상기 제2액츄에이터(600)내의 유체를 외부로 빠르게 배출함으로써 상기 부식방지 밀폐부 재(500)의 신속한 이동이 가능하게 된다.

또한, 상기 제2액츄에이터(600)는 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 위치를 감지할 수 있는 센서(미도시)를 구비하는 것이 바람직하다. 상기 센서가 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 위치를 감지하게 되면, 감지된 값에 의하여 상기 유체통로 밀폐부재(200)의 작동을 제어할 수 있다. 마찬가지로 상기 제1액츄에이터(400)에도 상기 유체통로 밀폐부재(200)의 위치를 감지하는 센서를 구비하여, 상기 유체통로 밀폐부재(200)의 위치에 따라 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 구동하게 하는 것이 바람직하다.

이하에서는 상기와 같은 구성으로 된 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브의 작용을 설명한다.

먼저, 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브가 열리는 과정을 설명한다.

도 8을 참조하여 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브의 열리는 과정을 설명하면, 닫혀있는 상태에서는 유체통로 밀폐부재(200)는 메인유체통로(110)상에 위치하며, 부식방지 밀폐부재(500)는 상승하여 유체통로 밀폐부재(200)를 가압하게 된다. 이때, 제3압축공기 유입부(622)를 통하여 압축공기를 유입시키면 부식방지 밀폐부재(500)는 하강하게 되고, 부식방지 밀폐부재(500)의 하강과 함께 유체통로 밀폐부재(200)도 함께 하강하게 된다. 이로 인하여, 슬라이드공간(130)이 소정간격 개방되며, 제2몸체(620)에 형성되어 있는 유량조절홈(625)을 통하여 유체가 소량 이동하며 챔버로부터 진공펌프로의 압력을 조절하게 된다.

다음으로, 제1압축공기 유입부(416)를 통하여 압축공기가 유입되어 제1액츄에이터(400)내의 구동축(410)을 슬라이드 공간(130)으로부터 외측으로 인출시키면, 구동축(410)에 링크연결된 유체통로 밀폐부재(200)는 제1액츄에이터(400) 측으로 이동하게 된다. 따라서 유체통로 밀폐부재(200)는 메인유체통로(110)로부터 이탈하여 제1액츄에이터(400)측의 슬라이드 공간(130)으로 이동하게 된다. 유체통로 밀폐부재(200)가 메인유체통로(110)를 완전히 벗어나게 되면, 상기 제1액츄에이터(400)의 구동축(410)의 움직임이 센서에 의하여 감지되고 이로 인하여, 제2압축공기 유입부(612)에 압축 공기가 유입되어, 유입된 압축 공기가 그 상부에 있는 제1돌출부(520)에 압력을 가하여 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 상승시킨다. 따라서 상기 슬라이드공간(130)을 차단한 상태로 메인유체통로(110)가 개방되는 것이다.

다음으로, 도 9를 참조하여 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브의 닫히는 과정을 설명하면, 열려있는 상태에서는 유체통로 밀폐부재(200)는 메인유체통로(110)를 벗어나 제1액츄에이터(400) 방향의 슬라이드공간(130)에 위치하며, 부식방지 밀폐부재(500)는 상승하여 슬라이드공간(130)을 차단하게 된다. 이때, 제3압축공기 유입부(622)를 통하여 압축공기를 유입시키면 부식방지 밀폐부재(500)가 하강하며 슬라이드공간(130)이 개방되게 된다. 상기 부식방지 밀폐부재(500)의 움직임이 센서에 의하여 감지되면, 이로 인하여 제1압축공기 유입부(415)를 통하여 압축공기가 유입되어 제1액츄에이터(400)의 구동축(410)을 슬라이드 공간(130)으로 밀게된다. 구동축(410)을 밀게되면, 구동축(410)에 링크연결된 유체통로 밀폐부재(200)는 메인유체통로(110) 측으로 이동하며 상기 메인유체통로(110)를 폐쇄하게 되는 것이다. 이때, 메인유체통로(110)는 폐쇄되었지만 슬라이드공간(130)은 열려있는 상태이므로 유체가 슬라이드공간(130)으로 유입되는 것을 방지하기 위하여 제2압축공기 유입부(612)에 압축 공기가 유입되고, 유입된 압축 공기가 그 상부에 있는 제1돌출부(520)에 압력을 가하여 상기 부식방지 밀폐부재(500)를 상승시킨다. 따라서 상기 부식방지 밀폐부재(500)가 상기 슬라이드공간(130)을 차단하게 되고, 동시에 상기 유체통로 밀폐부재(200)를 가압하여 상기 메인유체통로(110)를 밀폐시킨다. 그 결과 메인유체통로(110)는 폐쇄된다.

도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

이상 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면 제2몸체의 상단 양측에 슬라이드 공간과 맞닿는 부분에 유량조절홈이 구비되어 슬라이드 공간으로 유체가 유입되어 유체통로 밀폐부재가 부식되는 것을 방지할 뿐만 아니라, 챔버에서 진공펌프로 유체의 이동시에 보조유체관을 형성하지 않아도 유량을 조절하는 것이 가능한 장점이 있다.

또한, 밀폐판을 얇은 판으로 가볍고 단순한 구조로 하여 제조시 편리하고 비용절감의 효과가 있는 장점이 있다.

또한, 밀폐판의 상단에 탄성부가 구비되어 부식방지 밀폐부재가 상하로 이동함에 따라 밀폐판이 이동하며 메인유체통로를 개폐시킬 수 있는 장점이 있다.

또한, 부식방지 밀폐부재의 상단과 맞닿는 하우징의 내부에 오링이 형성되어 기밀성을 강화시킬 수 있는 장점이 있다.

Claims

챔버와 진공펌프에 연결되는 메인유체통로가 형성되고, 상기 메인유체통로를 직교방향으로 관통하는 슬라이드공간이 형성된 하우징; 상기 슬라이드 공간내에 삽입되어서 상기 메인유체통로를 개폐하는 유체통로 밀폐부재; 상기 유체통로 밀폐부재를 구동시키는 제1액츄에이터; 상기 메인유체통로와 평행한 방향으로 수직이동을 하며 상기 슬라이드 공간을 개폐시키는 부식방지 밀폐부재; 상기 부식방지 밀폐부재를 상하방향으로 이동시키는 제2액츄에이터;를 포함하는 진공게이트밸브에 있어서,

상기 제2엑츄에이터는 상기 부식방지 밀폐부재를 상방향으로 이동시키는 제2압축공기 유입부가 형성되어 있는 중공형 제1몸체;와 상기 부식방지 밀폐부재를 하방향으로 이동시키는 제 3압축공기 유입부가 형성되며, 상단에는 상기 챔버로부터 진공펌프로 유체를 이동시키는 하나 이상의 유량조절홈이 형성된 중공형 제2몸체;를 포함하는 것을 특징으로 하는 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브.
청구항 제1에 있어서,

상기 유체통로 밀폐부재는 상기 제1액츄에이터의 구동축에 링크결합되어 상기 슬라이드공간을 이동하는 프레임;

상기 프레임의 상단에 결합되어 상기 슬라이드공간을 함께 이동하고, 상기 메인유체통로에서는 상하로 이동하며 메인유체통로를 개폐하는 밀폐판;

상기 밀폐판을 상기 프레임에 고정시키는 2개 이상의 고정구;를 포함하는 것을 특징으로 하는 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브.
청구항 제2에 있어서,

상기 유체통로 밀폐부재는 상기 밀폐판과 고정구 사이에 위치하여 상기 밀폐판에 하방향으로 힘을 제공하는 탄성부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브.
청구항 제1에 있어서,

상기 하우징의 내부에는 상기 부식방지 밀폐부재의 상단과 맞닿는 부분에 오링이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브.
청구항 제1에 있어서,

상기 부식방지 밀폐부재의 중앙에는 외주면을 둘러싼 제1돌출부;가 형성되며, 상기 제2몸체에는 상기 부식방지 밀폐부재에 형성되어 있는 제1돌출부의 이동을 안내하는 안내홈;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브.
청구항 제1에 있어서,

상기 제1액츄에이터에는 상기 유체통로 밀폐부재의 위치를 감지하는 센서 및 상기 부식방지 밀폐부재의 위치를 감지하는 센서의 값을 표시하는 표시수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브.
청구항 제1에 있어서,

상기 제2액츄에이터에는 상기 제2액츄에이터내의 유체를 외부로 배출하는 급속배기밸브;가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 개선된 부식방지용 진공 게이트밸브.