KR102574233B1 - U motion 게이트밸브 - Google Patents

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KR102574233B1
KR102574233B1 KR1020230033456A KR20230033456A KR102574233B1 KR 102574233 B1 KR102574233 B1 KR 102574233B1 KR 1020230033456 A KR1020230033456 A KR 1020230033456A KR 20230033456 A KR20230033456 A KR 20230033456A KR 102574233 B1 KR102574233 B1 KR 102574233B1
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hole
guide sheet
gate valve
vertical cylinder
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KR1020230033456A
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손영만
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주식회사 에스알티
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Abstract

본 발명은 3종 지레의 원리를 이용하여 메인샤프트의 선단 및 말단이 자유단인 상태에서 U모션 동작을 통한 밸브의 밀폐시, 배출구 측의 긴밀한 밀폐상태가 유지되는 U MOTION 게이트밸브에 관한 것이다.

Description

U MOTION 게이트밸브{U Motion gate valve}
본 발명은 U MOTION 게이트밸브에 관한 것으로서, 내측에 공간이 형성되고, 전면측에 제1 통과공(110)이 형성되며, 후면측에 제2 통과공(120)이 형성되는 하우징(100);와, 상기 하우징(100)의 전면에 형성되되, 상부에 유입구(210)가 형성되고, 하부에 배출구(220)가 형성되며, 내측에 유체이동로(230)가 형성되는 밸브블럭(200);과, 상기 하우징(100)의 내측에 형성되되, 샤프트삽입공(310)이 타공형성되는 이동가이드시트(300);와, 상기 이동가이드시트(300)의 전면에 형성되는 벨로우즈(400);와, 상기 제2 통과공(120), 상기 샤프트삽입공(310), 상기 벨로우즈(400) 및 상기 제1 통과공(110) 순으로 삽입되는 메인샤프트(500);와, 상기 메인샤프트(500)의 선단에 형성되어 상기 배출구(220)를 개폐하는 밀폐블레이드(510);와, 상기 이동가이드시트(300)에 결합되어 구동여부에 따라 상기 이동가이드시트(300)를 상승 또는 하강시키는 수직실린더(600); 및 상기 이동가이드시트(300)에 연결되어 구동여부에 따라 상기 이동가이드 시트(300)를 전진 또는 후진시키고, 상기 수직실린더(600)의 구동여부에 따라 상기 이동가이드시트(300)의 상승 또는 하강 이동을 가이드 하는 수평실린더(700);로 구성되는 것을 특징으로 하는 U MOTION 게이트밸브에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체는 공정밀도를 요구하므로 높은 청결도와 특수한 제조기술이 요구되고 있다.
이러한 이유로 반도체 소자는 공기 중에 포함된 이물질의 접촉을 가장 완벽하게 차단할 수 있는 진공상태에서 제조되며, 반도체 제조장치의 진공 작업구역과 대기와의 밀폐기술도 반도체 제품의 품질에 많은 영향을 준다.
상기와 같은 반도체를 제조하기 위한 공정구간에는 다양한 형상의 게이트밸브가 설치되어 세정모듈을 통과한 가스를 챔버간 전달하거나 차단하는 기능을 수행하게 된다.
상기와 같은 게이트밸브는, 공정챔버와 공정챔버 사이에 유입부 또는 유출부가 각각 결합된 상태에서 유출부 또는 유입부가 상호간 결합되어 실린더의 구동에 따라 밀폐부재인 블레이드가 해당 유입부를 개폐함으로써, 유출부로 가스가 전달되거나 차단되도록 동작한다.
이러한 게이트 밸브는 다양한 형태로 제작되어 공개되고 있으며, 그 중 하기 특허문헌 1의 “반도체 및 LCD 진공장비용 게이트밸브(대한민국 등록특허공보 제10-0804589호)”이 게시되어 있다.
상기 특허문헌 1의 “반도체 및 LCD 진공장비용 게이트밸브”는, 유입관 및 배출관이 마주보게 형성되고 내부에는 상기 유입관과 상기 배출관과 연결되는 제1 챔버와, 상기 제1 챔버와 연결되는 제2 챔버가 형성된 본체를 가지는 본체부;와, 상기 본체의 일측면 외부에 결합되고 실린더로드는 상기 본체의 내측으로 연장되는 공압실린더를 가지는 구동부; 및 상기 본체의 내부에 배치되며 상기 실린더로드와 연결되고, 상기 밸브 개방 시 상기 제2 챔버 내에 배치되고 상기 밸브 차단 시 상기 제1 챔버에 배치되어 상기 유입관 및 상기 배출관을 차단하는 제1 차단디스크 및 제2 차단디스크와, 상기 밸브 개방 시 상기 고 부식성 유체와 상기 제2 챔버 내에 배치된 상기 제1 차단디스크 및 상기 제2 차단디스크와의 접촉을 차단하는 보호플레이트 가지는 게이트부로 이루어지는 것이 특징으로서, 이로 인하여, 고부식성 유체와 제1 차단디스크 및 제2 차단디스크의 접촉을 최소화하여 밸브의 수명을 연장할 수 있는 장점이 있었다.
한편, 특허문헌 2의 “게이트밸브(대한민국 등록특허공보 제10-1684881호)”와 같이, 특허문헌 2의 샤프트부에 특허문헌 1의 벨로우즈가 적용된 상태에서 밸브의 밀폐를 위해 샤프트부가 구동부에 의해 수평이동 후 수직이동하여 밀폐판이 유입로를 폐쇄하는 경우, 샤프트부의 말단이 구동부에 고정결합된 상태에서 밀폐판이 유입로 측으로 힘이 가해져 벨로우즈의 선단이 꺾이는 이른바 측면처짐현상(Lattral)이 발생되고, 이로 인하여, 통상 SUS재질로 이루어진 벨로우즈에 반발력이 발생함에 따라 밀폐판의 실링동작이 완벽하게 이루어지지 않게 되어 유입로의 밀폐가 이루어지지 않는다는 문제점이 있었다.
특허문헌 1: 대한민국 등록특허공보 제10-0804589호 특허문헌 2: 대한민국 등록특허공보 제10-1684881호
본 발명은 상술한 문제점을 해결하고자 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 3종 지레의 원리를 이용하여 U모션 동작이 이루어지는 밸브의 밀폐시, 메인샤프트의 말단에는 받침점이 작용하고, 메인샤프트의 중앙측에는 힘점이 작용하며, 메인샤프트의 선단에는 작용점이 작용하여 배출구를 밀폐시킬 수 있도록 구성함으로써, 메인샤프트의 선단의 밀착력 및 메인샤프트의 말단의 지지력을 통해 측면처짐현상(Lattral)으로 인한 벨로우즈의 반발력을 상쇄하여 긴밀한 밀폐상태가 유지될 수 있는 U MOTION 게이트밸브를 제공하는 것이다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 따른 U MOTION 게이트밸브는, 내측에 공간이 형성되고, 전면측에 제1 통과공(110)이 형성되며, 후면측에 제2 통과공(120)이 형성되는 하우징(100);와, 상기 하우징(100)의 전면에 형성되되, 상부에 유입구(210)가 형성되고, 하부에 배출구(220)가 형성되며, 내측에 유체이동로(230)가 형성되는 밸브블럭(200);과, 상기 하우징(100)의 내측에 형성되되, 샤프트삽입공(310)이 타공형성되는 이동가이드시트(300);와, 상기 이동가이드시트(300)의 전면에 형성되는 벨로우즈(400);와, 상기 제2 통과공(120), 상기 샤프트삽입공(310), 상기 벨로우즈(400) 및 상기 제1 통과공(110) 순으로 삽입되는 메인샤프트(500);와, 상기 메인샤프트(500)의 선단에 형성되어 상기 배출구(220)를 개폐하는 밀폐블레이드(510);와, 상기 이동가이드시트(300)에 결합되어 구동여부에 따라 상기 이동가이드시트(300)를 상승 또는 하강시키는 수직실린더(600); 및 상기 이동가이드시트(300)에 연결되어 구동여부에 따라 상기 이동가이드 시트(300)를 전진 또는 후진시키고, 상기 수직실린더(600)의 구동여부에 따라 상기 이동가이드시트(300)의 상승 또는 하강 이동을 가이드 하는 수평실린더(700);로 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 메인샤프트(500)의 선단과 말단은 자유단으로 형성되고, 상기 수평실린더(700)의 구동에 의해 상기 메인샤프트(500)가 전진한 상태에서 상기 수직실린더(600)의 구동에 의해 상기 메인샤프트(500)가 하강시, 상기 메인샤프트(500)의 말단이 상기 제2 통과공(120)의 내측 바닥면(121)에 지지된 상태에서 상기 밀폐블레이드(510)가 상기 배출구(220)를 폐쇄시키는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 메인샤프트(500)의 말단에는 상기 수평실린더(700)의 구동에 의해 상기 메인샤프트(500)가 전진하여 상기 메인샤프트(500)의 말단이 상기 제2 통과공(120) 내에 위치한 상태에서 상기 수직실린더(600)의 구동에 의해 상기 메인샤프트(500)가 하강시 상기 제2 통과공(120)의 내측 바닥면(121)에 지지되도록 지지블럭(520)이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이동가이드시트(300)의 상부에는 한 쌍의 수평이동블럭(320)이 형성되고, 상기 수직실린더(600)는, 제1 피스톤로드(611)가 포함된 한 쌍의 제1 피스톤(610)과, 상기 제1 피스톤로드(611)의 하부에는 상기 수평이동블럭(320)에 결합되는 가이드레일(620)이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 이동가이드시트(300)의 양측에는 한 쌍의 삽입공(330)이 타공형성되고, 상기 수평실린더(700)는, 제2 피스톤로드(711)가 포함된 제2 피스톤(710)과, 상기 제2 피스톤로드(711)의 선단에 형성되는 이동클립(720)과, 상기 이동클립(720)의 양측에는 상기 삽입공(330)에 삽입되도록 승강안내핀(730)이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제2 통과공(120)의 내측 바닥면(121)에는 상기 지지블럭(520)과 상기 제2 통과공(120)의 내측 바닥면과의 접촉 높이를 조절할 수 있도록 높이조절블럭(800)이 더 형성되는 것을 특징으로 한다.
이상, 상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 3종 지레의 원리를 이용하여 메인샤프트의 선단 및 말단이 자유단인 상태에서 U모션 동작을 통한 밸브의 밀폐시, 배출구 측의 긴밀한 밀폐상태가 유지된다는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 U MOTION 게이트밸브의 전체 모습을 보인 사시도
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 U MOTION 게이트밸브의 분해된 모습을 보인 분해사시도
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 U MOTION 게이트밸브의 단면 모습을 보인 단면도
도 4는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 U MOTION 게이트밸브의 구성 중 이동가이드시트, 벨로우즈, 메인샤프트, 수직실린더 및 수평실린더의 결합된 모습을 보인 사시도
도 5 내지 도 8은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 U MOTION 게이트밸브의 밀폐작동의 모습을 보인 실시예도
이하에서는 첨부된 도면을 참조로 하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 U MOTION 게이트밸브(1)를 상세히 설명한다. 우선, 도면들 중, 동일한 구성요소 또는 부품들은 가능한 한 동일한 참조부호로 나타내고 있음에 유의하여야 한다. 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 혹은 구성에 관한 구체적인 설명은 본 발명의 요지를 모호하지 않게 하기 위하여 생략한다.
도 1, 도 2 또는 도 3을 참고하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 U MOTION 게이트밸브(1)는 크게, 하우징(100), 밸브블럭(200), 이동가이드시트(300), 벨로우즈(400), 메인샤프트(500), 수직실린더(600) 및 수평실린더(700)로 구성된다.
설명에 앞서, 본 발명의 상세하고 명확한 설명을 위해 일부 도면에는 본 발명의 구성요소가 일부 생략되어 도시되었고, 도 5를 기준으로 우측방향을 전면/전진/선단으로, 좌측방향을 후면/후진/말단으로, 상부방향을 상부/상승으로, 하부방향을 하부/하강으로 설정한다는 것에 유의하여야 한다.
먼저, 하우징(100)에 대하여 설명한다. 상기 하우징(100)은 도 1, 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 박스형태를 가지는 구성요소로서, 내측에는 후술할 이동가이드시트(300), 벨로우즈(400), 메인샤프트(500) 등이 구비되도록 공간이 형성된다.
한편, 상기 하우징(100)의 전면측에는 상기 메인샤프트(500)가 통과되어 상기 메인샤프트(500)의 선단이 후술할 밸브블럭(200)의 내측에 위치할 수 있도록 제1 통과공(110)이 타공형성된다.
또한, 상기 하우징(100)의 후면측에는 상기 메인샤프트(500)가 통과되고, 수평상 후술할 밀폐블레이드(510)가 후술할 배출구(220)의 밀폐위치에 놓이게 되면, 상기 메인샤프트(500)의 말단이 위치되도록 제2 통과공(120)이 타공형성된다.
다음으로, 밸브블럭(200)에 대하여 설명한다. 상기 밸브블럭(200)은 도 1, 도 2 또는 도 3에 나타낸 것과 같이, 상기 하우징(100)의 전면에 긴밀하게 결합되어 공정챔버와 공정챔버 또는 공정챔버와 공정펌프간 공정가스 또는 크리닝가스 등의 유체가 이동되는 구성요소로서, 상기 밸브블럭(200)의 상부에는 유체가 유입되는 유입구(210), 하부에는 유체가 배출되는 배출구(220), 상기 유입구(210)와 상기 배출구(230) 사이에 공간으로 형성되어 유체가 상기 유입구(210)에서 상기 배출구(230)로 이동되는 것을 안내하는 유체이동로(230)가 형성된다.
다음으로, 이동가이드시트(300)에 대하여 설명한다. 상기 이동가이드시트(300)는 도 2, 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 하우징(100)의 내측에 형성되어 상기 메인샤프트(500)의 수평이동 및 수직이동을 가이드하는 구성요소로서, 샤프트삽입공(310), 수평이동블럭(320) 및 삽입공(300)으로 이루어진다.
상기 샤프트삽입공(310)은 상기 이동가이드시트(300)의 수평상 길게 타공형성되어 상기 메인샤프트(500)가 삽입고정된다.
상기 수평이동블럭(320)은 상기 이동가이드시트(300)의 상부 양쪽에 형성되어 후술할 가이드레일(620)과 연결된다. 이로 인하여, 상기 수평실린더(700)의 구동에 의해 상기 이동가이드시트(300)가 전진 또는 후진 이동하는 경우, 상기 가이드레일(620)을 따라 정확한 수평이동이 가능해 진다.
상기 삽입공(330)은 상기 이동가이드시트(300)의 양측에 타공형성되는 일종의 구멍으로서, 후술할 승강안내핀(730)이 삽입된다. 이로 인하여, 상기 수직실린더(600)의 구동에 의해 상기 이동가이드시트(300)가 상승 또는 하강 이동하는 경우, 상기 승강안내핀(730)을 따라 정확안 수직이동이 가능해 진다.
다음으로, 벨로우즈(400)에 대하여 설명한다. 상기 벨로우즈(400)는 도 2, 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 이동가이드시트(300)의 전면과 상기 하우징(100)의 선단면 사이에 긴밀하게 결합되어 상기 유체이동로(230)를 통해 상기 하우징(100) 내부로 유입되는 파티클, 유해물질로부터 화학적 데미지을 방지하는 역할을 한다.
다음으로, 메인샤프트(500)에 대하여 설명한다. 상기 메인샤프트(500)는 도 2, 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 이동가이드시트(300)와 연결되어 상기 이동가이드시트(300)의 이동에 따라 전진, 후진 또는 상승, 하강 이동하여 상기 배출구(220)의 개폐를 가이드하는 구성요소로서, 상기 제2 통과공(120), 상기 샤프트삽입공(310), 상기 벨로우즈(400) 및 상기 제1 통과공(110) 순으로 삽입되는 것이 바람직하다.
한편, 본발명에 있어서, 메인샤프트(500)는 상기 수직실린더(600)의 구동에 의해 상기 배출구(220)를 폐쇄하는 동작이 이루어지면 도 8에 나타낸 것과 같이, 3종 지레의 원리 구조로 구동력을 전달받도록 형성된다.
즉, 상기 메인샤프트(500)의 선단과 말단은 자유단으로 형성한 상태에서 상기 배출구(220)를 폐쇄시, 상기 메인샤프트(500)의 선단은 작용점((3)), 상기 메인샤프트(500)의 중앙측(상기 메인샤프트(500)의 말단에 가까운 중앙측)은 상기 수직실린더(600)의 구동력을 받는 힘점((2)), 상기 메인샤프트(500)의 말단은 상기 제2 통과공(120)의 내측 바닥면(121)에 지지되는 받침점((1))이 된다.
한편, 상기 메인샤프트(500)의 선단에는 상기 배출구(220)를 개폐하는 밀폐블레이드(510)가 형성된다.
또한, 상기 메인샤프트(500)의 말단에는 지지블럭(520)이 형성됨으로써, 상기 수평실린더(700)의 구동에 의해 상기 메인샤프트(500)가 전진하여 상기 메인샤프트(500)의 말단이 상기 제2 통과공(120) 내에 위치한 상태에서 상기 수직실린더(600)의 구동에 의해 상기 메인샤프트(500)가 하강시, 상기 제2 통과공(120)의 내측 바닥면(121)에 안정적으로 지지되는 것을 가능하게 한다.
한편, 상기 제2 통과공(120)에는 탈착가능한 높이조절블럭(800)이 더 형성됨으로써, 상기 메인샤프트(500)의 말단 또는 지지블럭(520)과 상기 제2 통과공(120)의 내측 바닥면과의 접촉 높이를 조절가능하게 하여, 본 발명의 구성요소의 가공오차, 조립오차 등에 대응할 수 있어 신뢰성을 확보된 안정적인 밀폐 성능을 구현할 수 있게 해 준다.
다음으로, 수직실린더(600)에 대하여 설명한다. 상기 수직실린더(600)는 도 2, 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 이동가이드시트(300)의 상부측에 결합되어 상기 이동가이드시트(300)를 상승 또는 하강시키는 구동력을 제공하는 구성요소로서, 제1 피스톤로드(611)가 포함된 한 쌍의 제1 피스톤(610)이 형성된다.
한편, 상기 제1 피스톤로드(611)의 하부에는 가이드레일(620)이 형성되어 상기 수평이동블럭(320)과 연결됨으로써, 상기 수평실린더(700)의 구동력을 통한 상기 메인샤프트(500)의 전진 또는 후진 이동시, 상기 이동가이드시트(300)의 정확한 수평이동을 가이드 한다.
다음으로, 수평실린더(700)에 대하여 설명한다. 상기 수평실린더(700)는 도 2, 도 3 또는 도 4에 나타낸 것과 같이, 상기 이동가이드시트(300)의 하부측에 결합되어 상기 이동가이드시트(300)를 전진 또는 후진 이동시키는 구동력을 제공하고, 상기 수직실린더(600)의 구동여부에 따라 상기 이동가이드시트(300)의 상승 또는 하강 이동을 가이드 하는 구성요소로서, 제2 피스톤로드(711)가 포함된 제2 피스톤(710)이 형성된다.
또한, 상기 제2 피스톤로드(711)의 선단에는 상기 이동가이드시트(300)와 간접연결되어 상기 이동가이드시트(300)의 전진 또는 후진 이동을 가이드하는 이동클립(720)이 형성되고, 상기 이동클립(720)의 양측에는 승강안내핀(730)이 형성되어 상기 삽입공(330)에 삽입됨으로써, 상기 메인샤프트(500)의 수직이동을 가능하게 한다.
이하에서는, 도 5 내지 도 7를 참고하여, 발명의 바람직한 실시예에 따른 U MOTION 게이트밸브(1)의 배출구(220)의 폐쇄시 작동과정을 설명하기로 한다.
먼저, 도 5에 나타낸 것과 같이, 상기 배출구(220)가 개방된 상태에서는 상기 밀폐블레이드(510)가 상기 배출구(220)로부터 수직, 수평방향으로부터 이격되고, 상기 메인샤프트(500)의 말단은 상기 하우징(100)의 외측으로 노출된 상태를 유지한다.
이후, 도 6에 나타낸 것과 같이, 상기 배출구(220)를 폐쇄하기 위해 상기 수평실린더(700)를 구동한다.
상기 수평실린더(700)의 구동이 이루어지면, 상기 이동가이드시트(300)는 상기 가이드레일(620)을 따라 수평방향으로 이동하게 되고, 이로 인하여, 상기 메인샤프트(500)가 전진하게 된다.
상기 밀폐블레이드(510)의 중심이 상기 배출구(220)의 중심과 일치하는 위치까지 상기 메인샤프트(500)를 전진시키게 되면, 상기 메인샤프트(500)의 말단은 상기 제2 통과공(120) 상에 위치하게 된다.
다음으로, 도 7에 나타낸 것과 같이, 상기 수직실린더(600)를 구동시키게 되면, 상기 이동가이드시트(300)는 상기 삽입공(330)에 삽입된 상기 승강안내핀(730)을 따라 수직방향으로 이동하게 되고, 이로 인하여, 상기 메인샤프트(500)는 하강하게 된다.
한편, 상기 수직실린더(600)의 구동력에 의해 상기 메인샤프트(500)가 계속 하강하게 되면, 상기 배출구(220)에는 상기 밀폐블레이드(510)가 맞닿게 되어 해당 부분에 밀폐가 이루어지고, 상기 메인샤프트(500)의 말단은 상기 제2 통과공(120)의 내측 바닥면(121)(또는 높이조절블럭(800)의 상부면)에 맞닿게 된다.
이때, 상기 벨로우즈(400)의 전면측은 상기 하우징(100) 내부면과의 접촉현상 또는 상기 메인샤프트(500)의 선단 누름에 따른 측면처짐현상(Lattral)이 발생되고, 이에 따라 상기 벨로우즈(400)의 재질특성상 반발력이 발생하게 되는데, 이 경우, 상기 수직실린더(600의 구동력을 높여 강한 압력으로 상기 이동가이드시트(300)를 가압하게 되면, 상기 메인샤프트(500)의 중앙측(상기 메인샤프트(500)의 말단에 가까운 중앙측)에는 상기 수직실린더(600)의 구동력을 받는 힘점((2))에 강한 압력이 가압되어 힘점((2))을 중심으로 작용점((3)) 방향으로 발생하는 모멘트 힘(Moment force)가 받침점((1)) 방향으로 발생하는 모멘트 힘(Moment force)보다 크게 되어 상기 메인샤프트(500)의 선단쪽에 위치한 벨로우즈(400) 측으로 전달되는 가압력을 통해 상기 벨로우즈(400)의 측면처짐부분의 반발력을 상쇄시켜 신뢰성 높은 긴밀한 밀폐상태가 유지되는 것을 가능하게 한다.
도면과 명세서에서 최적 실시 예들이 개시되었다. 여기서 특정한 용어들이 사용되었으나, 이는 단지 본 발명을 설명하기 위한 목적에서 사용된 것이지 의미한정이나 특허청구범위에 기재된 본 발명의 범위를 제한하기 위하여 사용된 것은 아니다. 그러므로 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시 예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
1: U MOTION 게이트밸브
100: 하우징 110: 제1 통과공
120: 제2 통과공
200: 밸브블럭 210: 유입구
220: 배출구 230: 유체이동로
300: 이동가이드시트 310: 샤프트삽입공
320: 수평이동블럭 330: 삽입공
400: 벨로우즈
500: 메인샤프트 510: 밀폐블레이드
520: 지지블럭
600: 수직실린더 610: 제1 피스톤
611: 제1 피스톤로드 620: 가이드레일
700: 수평실린더 710: 제2 피스톤
711: 제2 피스톤로드 720: 이동클립
730: 승강안내핀
800: 높이조절블럭

Claims (6)

  1. 내측에 공간이 형성되고, 전면측에 제1 통과공(110)이 형성되며, 후면측에 제2 통과공(120)이 형성되는 하우징(100);
    상기 하우징(100)의 전면에 형성되되, 상부에 유입구(210)가 형성되고, 하부에 배출구(220)가 형성되며, 내측에 유체이동로(230)가 형성되는 밸브블럭(200);
    상기 하우징(100)의 내측에 형성되되, 샤프트삽입공(310)이 타공형성되는 이동가이드시트(300);
    상기 이동가이드시트(300)의 전면에 형성되는 벨로우즈(400);
    상기 제2 통과공(120), 상기 샤프트삽입공(310), 상기 벨로우즈(400) 및 상기 제1 통과공(110) 순으로 삽입되는 메인샤프트(500);
    상기 메인샤프트(500)의 선단에 형성되어 상기 배출구(220)를 개폐하는 밀폐블레이드(510);
    상기 이동가이드시트(300)에 결합되어 구동여부에 따라 상기 이동가이드시트(300)를 상승 또는 하강시키는 수직실린더(600); 및
    상기 이동가이드시트(300)에 연결되어 구동여부에 따라 상기 이동가이드 시트(300)를 전진 또는 후진시키고, 상기 수직실린더(600)의 구동여부에 따라 상기 이동가이드시트(300)의 상승 또는 하강 이동을 가이드 하는 수평실린더(700);로 구성되고,
    상기 메인샤프트(500)의 말단에는 상기 수평실린더(700)의 구동에 의해 상기 메인샤프트(500)가 전진하여 상기 메인샤프트(500)의 말단이 상기 제2 통과공(120) 내에 위치한 상태에서 상기 수직실린더(600)의 구동에 의해 상기 메인샤프트(500)가 하강시, 상기 제2 통과공(120)의 내측 바닥면(121)에 지지되도록 지지블럭(520)이 형성되는 것을 특징으로 하는 U MOTION 게이트밸브(1).
  2. 제1항에 있어서,
    상기 메인샤프트(500)의 선단과 말단은 자유단으로 형성되고,
    상기 수평실린더(700)의 구동에 의해 상기 메인샤프트(500)가 전진한 상태에서 상기 수직실린더(600)의 구동에 의해 상기 메인샤프트(500)가 하강시, 상기 메인샤프트(500)의 말단이 상기 제2 통과공(120)의 내측 바닥면(121)에 지지된 상태에서 상기 밀폐블레이드(510)가 상기 배출구(220)를 폐쇄시키는 것을 특징으로 하는 U MOTION 게이트밸브(1).
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 이동가이드시트(300)의 상부에는 한 쌍의 수평이동블럭(320)이 형성되고,
    상기 수직실린더(600)는,
    제1 피스톤로드(611)가 포함된 한 쌍의 제1 피스톤(610)과,
    상기 제1 피스톤로드(611)의 하부에는 상기 수평이동블럭(320)에 결합되는 가이드레일(620)이 형성되는 것을 특징으로 하는 U MOTION 게이트밸브(1).
  5. 제1항에 있어서,
    상기 이동가이드시트(300)의 양측에는 한 쌍의 삽입공(330)이 타공형성되고,
    상기 수평실린더(700)는,
    제2 피스톤로드(711)가 포함된 제2 피스톤(710)과,
    상기 제2 피스톤로드(711)의 선단에 형성되는 이동클립(720)과,
    상기 이동클립(720)의 양측에는 상기 삽입공(330)에 삽입되도록 승강안내핀(730)이 형성되는 것을 특징으로 하는 U MOTION 게이트밸브(1).
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제2 통과공(120)의 내측 바닥면(121)에는
    상기 지지블럭(520)과 상기 제2 통과공(120)의 내측 바닥면과의 접촉 높이를 조절할 수 있도록 높이조절블럭(800)이 더 형성되는 것을 특징으로 하는 U MOTION 게이트밸브(1).
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