KR102504619B1

KR102504619B1 - 진공밸브

Info

Publication number: KR102504619B1
Application number: KR1020177025113A
Authority: KR
Inventors: 플로리안 에르네
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2015-03-09
Filing date: 2016-02-19
Publication date: 2023-02-27
Also published as: JP2018507992A; US10302225B2; SG11201706945XA; WO2016142150A1; CN107407443B; TW201641856A; JP6677738B2; CN107407443A; MY189235A; TWI679365B; KR20170120122A; US20180274695A1

Abstract

진공밸브는 축 (3) 을 구비하는, 밸브시트 (5) 에 의해 둘러싸인 밸브 개구부 (2) 를 갖는 밸브몸체 (1) 와, 폐쇄부재 (4) 를 포함하고, 상기 폐쇄부재는 그가 상기 밸브 개구부 (2) 를 해제하는 개방위치와, 그가 상기 밸브 개구부 (2) 를 덮는, 하지만 상기 밸브시트 (5) 에서 들어 올려져 있는 중간위치 사이에서, 세로-이동방향 (16) 에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 폐쇄부재는 상기 중간위치와, 그가 상기 밸브시트 (5) 에 밀착하는 폐쇄위치 사이에서, 가로-이동방향 (30) 에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 진공밸브는 상기 폐쇄부재 (4) 를 받치는 밸브로드 (9) 와, 세로방향 행정-리니어 가이드 (13) 를 포함하고, 상기 세로방향 행정-리니어 가이드는 상기 밸브로드 (9) 와 연결된 세로방향 행정-슬라이더 (14) 와, 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 을 구비하고, 상기 세로방향 행정-가이드 부품에 의해 상기 세로방향 행정-슬라이더 (14) 는 상기 세로-이동방향 (16) 으로 선형으로 이동 가능하게 안내되고, 상기 진공밸브는 가로방향 행정-리니어 가이드 (17) 를 포함하고, 상기 가로방향 행정-리니어 가이드는 상기 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 과 연결된 가로방향 행정-슬라이더 (18) 와, 가로방향 행정-가이드 부품 (19) 을 포함하고, 상기 가로방향 행정-가이드 부품에 의해 상기 가로방향 행정-슬라이더 (18) 는 상기 세로-이동방향 (16) 에 대해 비스듬히 있는 비스듬한-이동방향 (20) 으로 선형으로 이동 가능하게 안내된다.

Description

진공밸브{VACUUM VALVE}

본 발명은 진공밸브에 관한 것이며, 상기 진공밸브는 축을 구비하는, 밸브시트 (valve seat) 에 의해 둘러싸인 밸브 개구부 (valve opening) 를 갖는 밸브몸체 (valve body) 와, 폐쇄부재를 포함하고, 상기 폐쇄부재는 그가 상기 밸브 개구부를 해제하는 개방위치와 그가 상기 밸브 개구부를 덮는, 하지만 상기 밸브시트에서 들어 올려져 있는 중간위치 사이에서, 세로-이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 폐쇄부재는 상기 중간위치와, 그가 상기 밸브시트에 밀착하는 폐쇄위치 사이에서, 가로-이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 진공밸브는 상기 폐쇄부재를 받치는 밸브로드 (valve rod) 와, 세로방향 행정-리니어 가이드 (longitudinal stroke-linear guide) 를 포함하고, 상기 세로방향 행정-리니어 가이드는 상기 밸브로드와 연결된 세로방향 행정-슬라이더 (longitudinal stroke-slider) 와, 세로방향 행정-가이드 부품 (longitudinal stroke-guide part) 을 구비하고, 상기 세로방향 행정-가이드 부품에 의해 상기 세로방향 행정-슬라이더는 상기 세로-이동방향으로 선형으로 이동 가능하게 안내되고, 상기 진공밸브는 세로방향 행정-드라이브를 포함하고, 상기 세로방향 행정-드라이브에 의해 상기 폐쇄부재를 상기 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 세로방향 행정-슬라이더는 상기 세로방향 행정-가이드 부품에 대해 이동 가능하고, 상기 진공밸브는 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 상기 폐쇄부재를 이동시키기 위한 가로방향 행정-드라이브를 포함한다.

진공밸브를 닫기 위해 폐쇄부재가 우선 밸브로드에 대해 평행으로 있는 세로-이동방향으로 개방위치로부터, 상기 폐쇄부재가 밸브 개구부를 덮는, 하지만 밸브시트에서 들어 올려져 있는 중간위치로 이동되는, 그리고 그 후 상기 세로-이동방향에 대해 직각으로 있는 가로-이동방향으로 밸브시트에 밀착되는 진공밸브들은 L 밸브들이라고도 불린다.

L 밸브들의 이종 구조에 있어서, 그의 중간위치로부터 그의 폐쇄위치로 그리고 그 반대로 밸브 플레이트의 이동을 가능하게 하기 위해, 밸브로드는 세로-이동방향에 대해 직각으로 있는 축 둘레로 선회 가능하게 설치되어 있다. 이때, 예컨대 US 6,237,892 B1, US 7,066,443 B2 또는 US 2012/0258242 A1 로부터 알려져 있는 바와 같이, 상기 축 둘레로 상기 밸브로드를 선회시키기 위해 연결 링크 가이드들이 쓰일 수 있다.

상기 폐쇄부재를 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 세로-이동방향에 대해 각을 이루고 있는, 특히 직각으로 있는 가로-이동방향으로 상기 폐쇄부재의 평행이동이 수행되는 L 밸브들에 있어서, 통례적인 실시형태에 따르면 상기 폐쇄부재를 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 이동시키기 위한 드라이브 요소들은 상기 폐쇄부재를 받치는 지지 유닛에 배치되고, 이때 상기 지지 유닛은 진공밸브의 밸브 하우징의 내부에 있고, 상기 진공밸브의 진공영역 밖으로 안내된 밸브로드에 부착되어 있다. L 밸브들의 이러한 유형의 실시들은 예컨대 US 6,056,266 A, US 6,899,316 B2 및 US 7,611,122 B2 에 나타나 있다. 피스톤-실린더-유닛들의 작동의 정확한 시퀀스를 안전하게 하기 위해, US 6,056,266 A 및 US 7,611,122 B2 에는 이때 시퀀스 제어들도 나타나 있다. L 밸브를 위한 그 밖의 이러한 시퀀스 제어는 US 8,177,190 B2 에 나타나 있다.

상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 상기 폐쇄부재의 선형 이동이 수행되고, 이때 상기 개방위치와 상기 중간위치 사이에서의 상기 폐쇄부재의 이동을 위한 드라이브 뿐만 아니라 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 상기 폐쇄부재의 이동을 위한 드라이브도 진공 밖에 배치된 L 밸브는 WO 2010/034046 A1 에 나타나 있다. 밸브로드를 세로-이동방향으로 이동 가능하게 지지하는, 세로-이동방향으로의 상기 밸브로드의 이동을 위한 드라이브도 부착되어 있는 블록 (block) 은 이때 상기 세로-이동방향에 대해 직각으로 있는 가로-이동방향으로 선형으로 이동 가능하고, 이때 이 선형 이동은 이 방향으로 작용하는 피스톤-실린더-유닛들을 이용해 수행된다.

US 7,762,527 B2 는 세로-이동방향으로의 그리고 가로-이동방향으로의 폐쇄부재의 선형 이동을 위한 드라이브들이 진공 밖에 배치되어 있는 L 밸브의 실시형태를 나타낸다. 가능한 형성은 이때, 상기 세로-이동방향으로 상기 폐쇄부재를 이동시키기 위한 피스톤-실린더-유닛이 밸브 하우징에 대해 리니어 가이드를 이용해 상기 세로-이동방향에 대해 직각으로 있는 가로-이동방향으로 이동 가능하게 지지되는 것을 제공한다.

도입부에서 언급된 유형의 진공밸브는 WO 2014/075757 A1 에 나타나 있다. 밸브로드를 세로-이동방향으로 이동 가능하게 안내하는 세로방향 행정-리니어 가이드는 여기에서는 밸브로드와 연결된 전달 피스 (transmission piece) 에 의해 세로방향 행정-슬라이더에 상응하여 형성되고, 상기 세로방향 행정-슬라이더는 막대 모양의 가이드 부품들을 따라서 이동 가능하게 안내된다. 상기 막대 모양의 가이드 부품들은 상기 세로-이동방향에 대해 직각으로 있는 가로-이동방향으로 이동 가능하고, 공압식 피스톤-실린더-유닛들에 의해 형성된 가로방향 행정-드라이브에 의해 가로-이동방향으로 이동된다. 상기 밸브로드를 상기 세로-이동방향으로 이동시키기 위해 마찬가지로 공압식 피스톤-실린더-유닛들이 쓰이고, 그들의 밸브로드들은 상기 전달 피스와 연결되고, 이때 이 연결은 상기 가로-이동방향으로 상기 밸브로드들에 대한 상기 전달 피스의 가동성 (mobility) 을 가능하게 한다. 이 문헌에 나타나 있는 장치의 단점은 드라이브 요소들과 가이드 요소들을 구비하는 유닛의 비교적 비용이 많이 드는 형성이고, 이는 상기 진공밸브의 비용 상승을 초래한다. 또한, 이 진공밸브에 있어서는, 선택적으로 여러 가지 유형의 드라이브를 이용하는 것이 어려울 것이다.

본 발명의 목적은 도입부에서 언급된 유형의 개선된 진공밸브를 제공하는 것이다.

이는 본 발명에 따르면 청구항 1 항의 특징들을 갖는 진공밸브를 통해 달성된다.

본 발명에 따른 진공밸브는 세로방향 행정-가이드 부품을 따라서 세로-이동방향에 대해 평행으로 선형으로 이동 가능하게 안내된 세로방향 행정-슬라이더를 갖는 세로방향 행정-리니어 가이드를 포함하고, 상기 세로방향 행정-슬라이더는 밸브로드와 연결되고, 상기 진공밸브는 가로방향 행정-가이드 부품을 따라서 비스듬한-이동방향에 대해 평행으로 선형으로 이동 가능하게 안내된 가로방향 행정-슬라이더를 갖는 가로방향 행정-리니어 가이드를 포함하고, 이때 상기 가로방향 행정-슬라이더는 상기 세로방향 행정-리니어 가이드의 상기 세로방향 행정-가이드 부품과 연결된다. 상기 폐쇄부재를 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 가로방향 행정-슬라이더는 가로방향 행정-드라이브에 의해 상기 가로방향 행정-가이드 부품을 따라서 이동된다. 상기 세로방향 행정-가이드 부품과 상기 가로방향 행정-슬라이더의 연결을 통해, 이때 상기 비스듬한-이동방향에 대해 평행으로 상기 세로방향 행정-가이드 부품의 이동도 수행되고, 반면 상기 세로방향 행정-슬라이더는 세로방향 행정-이동방향과 관련하여 그의 자세를 유지한다. 그러므로, 가로-이동방향에 대해 평행으로 상기 세로방향 행정-슬라이더의 운동이 발생하고, 그러므로 상기 가로-이동방향에 대해 평행으로 상기 폐쇄부재의 이동이 발생한다.

상기 세로-이동방향으로의 그리고 상기 가로-이동방향으로의 상기 폐쇄부재의 운동을 실행하기 위해 서로 비스듬히 있는 리니어 가이드들의 사용을 통해, 비용절감적인 형성이 가능해진다. 유리하게 상기 리니어 가이드들을 위해, 기계 제작에서 많이 사용되는 그리고 비용절감적으로 상업적으로 구입 가능한 표준부품들이 이용될 수 있다. 이 리니어 가이드들을 고정하기 위한 부품들은 비교적 간단히 그리고 비용절감적으로 형성될 수 있다.

그 밖에, 본 발명에 따른 형성을 통해, 상기 세로-이동방향으로 그리고 상기 가로-이동방향으로 상기 폐쇄부재의 운동을 안내하기 위한 가이드 부품들을 구비하는 가이드 유닛 (guide unit) 과, 세로방향 행정-드라이브와 가로방향 행정-드라이브를 포함하는 드라이브 유닛 (drive unit) 사이의, 상기 세로-이동방향과 관련된 공간적 분리가 가능해진다. 이러한 방식으로, 상기 동일한 가이드 유닛이 또는 하나의 적어도 본질적으로 동일하게 형성된 가이드 유닛이 여러 가지 유형의 드라이브 유닛들과 관련해서 이용될 수 있는 형태로, 모듈식 (modular) 구성이 가능해진다. 예컨대, 드라이브 유닛의 한 가능한 유형은 구동요소들로서의 공압식 피스톤-실린더-유닛들을 구비할 수 있고, 드라이브 유닛의 다른 유형은 전기적으로 작동되는 구동요소들을 구비할 수 있다.

상기 세로-이동방향과 상기 비스듬한-이동방향 사이의 각도는 유리하게 45°보다 작고, 이때 그에 비해 보다 작은 각도가, 상기 진공밸브의 너무 크지 않은 제조폭 (상기 가로-이동방향과 관련하여) 을 가능하게 하기 위해, 유리하다. 상기 세로-이동방향과 상기 비스듬한-이동방향 사이의 각도는 유리하게 4°보다 크고, 이때 그에 비해 보다 큰 각도가, 상기 진공밸브의 너무 크지 않은 제조길이 (상기 세로-이동방향과 관련하여) 를 가능하게 하기 위해, 유리하다. 유리하게, 상기 비스듬한-이동방향과 상기 세로-이동방향 사이의 각도는 5°내지 20°의 범위에 있고, 이때 6°내지 12°의 범위가 특히 선호된다. 이때 상기 가로방향 행정-드라이브에 의해 상기 폐쇄부재에 상기 가로-이동방향으로 가해진 힘을 위한 전동이 달성된다. 이를 통해, 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서 상기 밸브시트에의 상기 폐쇄부재의 필요한 누름력은 상기 가로방향 행정-드라이브의 비교적 적은 구동력을 통해 달성될 수 있다. 상기 폐쇄위치에서의 상기 밸브시트에의 상기 폐쇄부재의 누름력을 위한 상기 가로방향 행정-드라이브의 힘 조절 또는 어쩌면 거리 조절도, 상기 전동에 근거한 상기 가로방향 행정-슬라이더의 비교적 큰 거리를 통해 쉬워진다.

본 발명의 유리한 실시형태에서, 상기 세로방향 행정-드라이브와 상기 세로방향 행정-슬라이더의 연결은 상기 가로-이동방향에 대해 평행인 가동성을 구비한다. 상기 세로방향 행정-드라이브는 이로써 상기 가로-이동방향과 관련하여 움직일 수 없게 설치될 수 있다. 하지만, 상기 세로방향 행정-드라이브가 상기 가로-이동방향에 대해 평행하는 상기 폐쇄부재와 상기 밸브로드의 운동시 같이 그들과 함께 움직여지는 형성도 가능할 것이다.

목적에 맞는 형성은, 상기 밸브로드와 연결된 연결부품에 양쪽에 각각 하나의 세로방향 행정-슬라이더가 부착되는 것을 제공한다. 여기서,“양쪽에”는 상기 세로-이동방향에 대해 직각으로 그리고 상기 가로-이동방향에 대해 직각으로 있는 방향에 관한 것이다. 각각의 세로방향 행정-슬라이더는 이때 각각의 세로방향 행정-가이드 부품에 의해 상기 세로-이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되고, 상기 두 세로방향 행정-가이드 부품들은 각각 가로방향 행정-슬라이더와 연결되고, 상기 가로방향 행정-슬라이더는 각각의 가로방향 행정-가이드 부품에 의해 상기 비스듬한-이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내된다. 그러므로, 2개의 세로방향 행정-리니어 가이드들과 2개의 가로방향 행정-리니어 가이드들이 존재한다.

상기 비스듬한-이동방향이, 상기 세로-이동방향에 의해 그리고 상기 가로-이동방향에 의해 펼쳐진 평면에 있으면 유리하다. 그 밖에, 상기 가로-이동방향이 상기 세로-이동방향에 대해 직각으로 있고, 이때 상기 밸브시트가 평면에 있고, 상기 평면에 대해 상기 가로-이동방향이 직각으로 정렬되는 것이 선호된다. 이를 통해, 상기 밸브시트 위로의 상기 폐쇄부재의 직각 배치가 가능해진다. 하지만, 바람직하게는 20°보다 작은, 이러한 직각 배치로부터의 편차들이 허용 가능하다.

간단한 형성의 의미에서, 상기 밸브 개구부의 상기 축은 바람직하게는 상기 밸브시트가 놓여 있는 평면에 대해 직각으로 있다.

상기 밸브로드는 유리하게 상기 세로-이동방향에 대해 평행으로 있는 세로축을 구비한다.

본 발명의 목적에 맞는 개선은, 상기 세로방향 행정-드라이브와 상기 가로방향 행정-드라이브의 작동매체의 공급이 중단되는 경우 상기 진공밸브의 상태를 고정하기 위한 고정장치를 제공한다. 이때, 정상작동 중에는 (즉, 상기 세로방향 행정-드라이브와 상기 가로방향 행정-드라이브의 상기 작동매체가 이용 가능하다) 상기 고정장치의 제 1 고정부재는 스프링의 힘에 대항하여 제 2 고정부재로부터 간격을 두고 있고, 보다 정확히 말하면 상기 작동매체에 의해 작동된 상기 고정장치의 액추에이터 (actuator) 를 이용해 간격을 두고 있다. 상기 작동매체의 공급 중단시 상기 제 1 고정부재는 상기 스프링에 의해 상기 제 2 고정부재에 밀어붙여지고, 이를 통해 상기 폐쇄부재의 이동을 차단한다. 이를 통해, 상기 폐쇄부재는 상기 작동매체의 공급 중단시에도 확실히 상기 폐쇄위치에서 그리고/또는 상기 개방위치에서 유지될 수 있다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점들과 상세내용들은 첨부된 도면들을 근거로 설명된다.

도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 진공밸브의 사투상도,
도 2 는 상기 폐쇄부재의 상기 개방위치에서, 도 1 에 상응하는, 하지만 덮개 박판들과 밸브몸체의 뚜껑부품이 생략된 사투상도,
도 3 은 상기 폐쇄부재의 상기 중간위치에서 도 2 에 상응하는 사투상도,
도 4 는 상기 폐쇄부재의 상기 폐쇄위치에서 도 2 에 상응하는 사투상도,
도 5 는 상기 폐쇄부재의 상기 개방위치에서의 도면,
도 6 은 도 5 의 선 AA 를 따른 단면도,
도 7 은 도 5 의 선 BB 를 따른 단면도,
도 8 은 도 5 의 선 CC 를 따른 단면도,
도 9 는 도 5 의 선 DD 를 따른 단면도,
도 10 은 도 5 의 선 EE 를 따른 단면도,
도 11, 도 12 및 도 13 은 도 8, 도 9, 및 도 10 과 유사한, 하지만 상기 폐쇄부재의 상기 중간위치에서의 단면도들,
도 14, 도 15 및 도 16 은 도 8, 도 9 및 도 10 과 유사한, 하지만 상기 폐쇄부재의 상기 폐쇄위치에서의 단면도들,
도 17 과 도 18 은 상기 폐쇄부재의 상기 개방위치가 존재하는 위치에서, 밸브로드와, 리니어 가이드들과, 세로방향 행정-드라이브와 가로방향 행정-드라이브의 부품들의 사투상도들,
도 19 와 도 20 은, 도 17 및 도 18 과 유사한, 하지만 상기 폐쇄부재의 상기 중간위치가 존재하는 위치에서의 사투상도들,
도 21 과 도 22 는, 도 17 및 도 18 과 유사한, 하지만 상기 폐쇄부재의 상기 폐쇄위치가 존재하는 위치에서의 사투상도들,
도 23 은 분해도를 나타낸다.

본 발명에 따른 진공밸브의 실시예는 도면들에 도시된다.

상기 진공밸브는 축 (3) 을 갖는 밸브 개구부 (2) 를 구비하는 벽을 갖는 밸브몸체 (1) 를 구비한다. 상기 진공밸브의 닫힌 상태에서, 밸브 개구부 (2) 는, 특히 판 모양으로 형성된, 폐쇄부재 (4) 에 의해 폐쇄되고, 그러면 상기 폐쇄부재는 그의 폐쇄위치를 차지한다. 폐쇄부재 (4) 의 상기 폐쇄위치에서 상기 폐쇄부재는 밸브시트 (5) 에 밀어붙여져 있고, 상기 밸브시트는 밸브 개구부 (2) 를 폐쇄부재 (4) 를 향한 측에서 둘러싼다. 상기 진공밸브의 열린 상태에서 폐쇄부재 (4) 는 밸브 개구부 (2) 를 해제하고, 그러면 폐쇄부재 (4) 는 그의 개방위치를 차지한다. 상기 폐쇄위치와 상기 개방위치 사이에서의 폐쇄부재 (4) 의 이동은 중간위치를 거쳐 수행되고, 상기 중간위치에서 상기 폐쇄부재는, 밸브 개구부 (2) 의 축 (3) 의 방향으로 볼 때, 밸브 개구부 (2) 를 덮고, 하지만 밸브시트 (5) 에서 들어 올려져 있다 (=간격을 두고 있다).

폐쇄부재 (4) 의 상기 폐쇄위치에서 폐쇄부재 (4) 와, 밸브 개구부 (2) 를 구비하는 밸브몸체 (1) 의 상기 벽 사이를 밀봉하기 위해, 폐쇄부재 (4) 에 배치된 탄성적 밀봉링 (6) (예컨대 FKM 또는 FFKM 으로 만들어진) 이 쓰이고, 밸브시트 (5) 는 밀봉면을 구비하고, 상기 밀봉면에 밀봉링 (6) 이 밀어붙여져 있다. 원칙적으로, 밀봉링 (6) 은 밀봉시트에도 배치되고 폐쇄부재 (4) 의 밀봉면에 밀어붙여질 수 있다.

밸브몸체 (1) 는 실시예에서 하우징 모양으로 형성되고, 그러므로 밸브 하우징이라고도 불릴 수 있고, 폐쇄부재 (4) 는 밸브몸체 (1) 의 내부공간 (7) 안에 배치된다. 밸브몸체 (1) 의 이 내부공간 (7) 은 상기 진공밸브의 진공영역 (= 진공이 존재할 수 있는 영역) 을 형성한다. 밸브몸체 (1) 는 그 밖의 벽 안에 그 밖의 개구부 (8) 를 가지며, 따라서 밸브몸체 (1) 를 통한 관통채널이 형성된다. 이 관통채널은 실시예에서 직선으로 축 (3) 의 방향으로 연장된다.

밸브몸체 (1) 는 실시예에서 또한 뚜껑부품 (48) (도 1 에만 도시됨) 에 의해 폐쇄된 개구부를 가지며, 상기 개구부를 통해 정비가 간단해진다. 하지만, 이 개구부와 뚜껑부품 (48) 은 생략될 수도 있다.

밸브몸체 (1) 는 진공시설의 다른 부분들, 예컨대 진공챔버들 및/또는 관 라인들에 연결될 수 있다. 그러면, 밸브 개구부 (2) 를 통하여 밸브몸체 (1) 의 내부공간 (7) 은 폐쇄부재 (4) 의 상기 개방위치에서 상기 진공시설의 제 1 부분의 내부공간과 연결되어 있고, 개구부 (8) 를 통하여 내부공간 (7) 은 상기 진공시설의 그 밖의 부분의 내부공간과 연결되어 있다.

상기 진공밸브는 원칙적으로 이른바 인서트 (Insert) 로서도 형성될 수 있고, 이때 밸브몸체 (1) 는 상기 진공밸브의 작동상태에서 진공챔버의 내부공간 안에 상기 진공챔버의 벽에, 그리고 그에 대해 밀봉되어 배치될 것이고, 따라서 밸브 개구부 (2) 는 상기 진공챔버의 상기 벽 안의 개구부와 일직선으로 정렬된다. 그러면, 개구부 (8) 를 갖는 상기 진공밸브의 마주 보고 있는 벽은 생략될 수 있다. 그러면, 폐쇄부재 (4) 는 상기 진공밸브의 진공영역 안에 배치된다.

폐쇄부재 (4) 는, 실시예에서 한편으로는 밸브로드에, 다른 한편으로는 상기 폐쇄부재에 고정된 연결 피스 (connection piece) (도면들에 도시되지 않음) 를 통하여, 상기 밸브로드 (9) 에 의해 받쳐진다. 상기 밸브로드는 밸브몸체 (1) 안의 개구부를 통해 상기 진공밸브의 상기 진공영역 밖으로 안내되고, 이때 상기 밸브로드는 그의 세로축 (10) 의 방향으로 그리고 그에 대해 직각으로 있는 방향으로도 움직일 수 있다. 이를 위해 실시예에서 폴딩 벨로스 (11) 가 쓰인다. 진공 피드스루의 다른 유형도 이를 위해 원칙적으로 제공될 수 있고, 예컨대 벨로스의 다른 유형 또는 리니어 피드스루가 제공될 수 있고, 상기 리니어 피드스루 자체는 상기 피드스루의 방향에 대해 직각인 방향으로 상기 밸브몸체에 대해 밀봉되어 이동 가능하게 설치된다.

밸브로드 (9) 에, 상기 진공영역의 밖에서 연결부품 (12) 이 강성적으로 (rigidly) 고정된다. 상기 연결부품에, 마주 보고 있는 측들에 각각 각각의 세로방향 행정-리니어 가이드 (13) 의 세로방향 행정-슬라이더 (14) 가 강성적으로 고정된다. 각각의 세로방향 행정-슬라이더 (14) 는 각각의 세로방향 행정-리니어 가이드 (13) 의 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 에 의해 선형으로 이동 가능하게 안내되고, 보다 정확히 말하면 세로-이동방향 (16) 에 대해 평행으로 안내된다. 세로-이동방향 (16) 은 밸브로드 (9) 의 세로축 (10) 에 대해 평행으로 있다.

각각의 세로방향 행정-리니어 가이드 (13) 의 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 과 각각의 가로방향 행정-리니어 가이드 (17) 의 가로방향 행정-슬라이더 (18) 는 강성적으로 연결된다. 상기 연결은 실시예에서 각각 홀딩 피스 (holding piece, 34) 를 통하여 수행되고, 상기 홀딩 피스에 한편으로는 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 이 고정되고 다른 한편으로는 가로방향 행정-슬라이더 (18) 가 고정된다. 하지만, 별도의 홀딩 피스들 (34) 이 생략될 수도 있다.

가로방향 행정-슬라이더들 (18) 은 각각 가로방향 행정-가이드 부품 (19) 에 의해 선형으로 이동 가능하게 안내되고, 보다 정확히 말하면 비스듬한-이동방향 (20) 에 대해 평행으로 안내된다. 비스듬한-이동방향 (20) 은 세로-이동방향 (16) 에 대해 비스듬히 있다.

가로방향 행정-가이드 부품들 (19) 은 밸브몸체 (1) 와 강성적으로 연결된다. 실시예에서 가로방향 행정-가이드 부품들 (19) 은 각각 스트럿 (strut, 21) 에 고정되고, 이때 스트럿 (21) 은 지지체 부품 (22) 에 고정되고, 상기 지지체 부품은 그의 편에서 밸브몸체 (1) 에 고정되고, 바람직하게는 도 23 에서 알아볼 수 있는 바와 같이 나사연결들을 이용해 고정된다. 밸브몸체 (1) 와 가로방향 행정-가이드 부품들 (19) 의 강성적 연결은 다른 방식으로도 수행될 수 있다.

그들의 연결부품들 및 홀딩부품들과 함께 (그들은 실시예에서 홀딩 피스들 (34), 스트럿들 (21) 및 지지체 부품 (22) 을 포함한다) 세로방향 행정-리니어 가이드들 (13) 과 가로방향 행정-리니어 가이드들 (17) 은, 밸브몸체 (1) 와 강성적으로 연결된 가이드 유닛 (23) 의 부품들이다.

도시된 실시예에서 세로방향 행정-가이드 부품들 (15) 과 가로방향 행정-가이드 부품들 (19) 은 가이드 레일들 (guide rails) 로서 형성된다. 그러므로, 세로방향 행정-리니어 가이드들 (13) 과 가로방향 행정-리니어 가이드들 (17) 은 레일 가이드들이다. 세로방향 행정-가이드 부품들 (15) 과 가로방향 행정-가이드 부품들 (19) 이 횡단면에 있어서 둥근 막대들에 의해 형성되는 샤프트 가이드들 형태의 형성도 가능하다. 예컨대, 세로방향 행정-리니어 가이드 및/또는 가로방향 행정-리니어 가이드는 적어도 하나의 가이드 경로를 이용해서도 형성될 수 있고, 상기 가이드 경로와 적어도 하나의 가이드 돌기 (핀 또는 롤러) 가 맞물리고, 즉 연결 링크 가이드의 유형으로 맞물린다. 상기 가이드 경로는 예컨대 긴 구멍, 그루브 (groove) 또는 불룩부에 의해 형성될 수 있다.

세로방향 행정-리니어 가이드들 (13) 과 가로방향 행정-리니어 가이드들 (17) 은 유리하게 롤링 가이드들로서 형성된다. 슬라이딩 가이드들로서의 형성도 제공될 수 있다.

하기에서 보다 상세히 설명되는 바와 같이, 세로방향 행정-리니어 가이드들 (13) 과 가로방향 행정-리니어 가이드들 (17) 을 이용해 상기 폐쇄부재는 상기 개방위치로부터 상기 중간위치를 거쳐 상기 폐쇄위치로, 그리고 그 반대로 이동될 수 있다. 상기 개방위치와 상기 중간위치 사이에서의 이동은 이때 세로-이동방향 (16) 에 대해 평행으로 수행된다. 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 이동은 세로-이동방향 (16) 에 대해 각을 이루고 있는, 바람직하게는 직각으로 있는, 가로-이동방향 (30) 에 대해 평행으로 수행된다.

바람직하게는, 가로-이동방향 (30) 은 밸브 개구부 (2) 의 축 (3) 에 대해 평행으로 있다.

세로방향 행정-가이드 부품들 (15) 을 따라서 세로방향 행정-슬라이더들 (14) 을 이동시키기 위해 세로방향 행정-드라이브 (25) 가 쓰인다. 실시예에서 그는 공압식 피스톤-실린더-유닛에 의해 형성되고, 그의 피스톤 로드 (26) 는 세로-이동방향 (16) 에 대해 평행으로 있고, 연결부품 (12) 과 연결된다. 상기 연결은 이때 전달 피스 (27) 를 통하여 수행된다. 피스톤 로드 (26) 는 전달 피스 (27) 에 고정된다. 상기 전달 피스는 연결부품 (12) 에 대해 세로-이동방향 (16) 과 관련하여 이동 불가능하게 연결되고, 하지만 가로-이동방향 (30) 과 관련하여서는 이동 가능하다. 이를 위해 연결 볼트들 (28) 이 제공되고, 상기 연결 볼트들은 그들의 두 단부의 영역에서 연결부품 (12) 에서 유지되고, 연결부품 (12) 의 리세스 (recess) 를 가로지른다. 연결 볼트들 (28) 은 전달 피스 (27) 의 관통 개구부들 (29) 을 관통하고, 따라서 전달 피스 (27) 는 연결 볼트들 (28) 에 대해 이동 가능하게 안내된다.

세로방향 행정-드라이브 (25) 의 피스톤-실린더-유닛의 실린더는 드라이브 블록 (35) 안으로 통합되고, 이때 실린더 공간은 드라이브 블록 (35) 의 리세스에 의해 형성된다. 하지만, 적어도 하나의 별도의 피스톤-실린더-유닛이 제공될 수도 있다.

실시예에서 밸브로드 (9) 는 여유공간을 갖고 전달 피스 (27) 를 관통한다 (따라서 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 폐쇄부재 (4) 의 이동 그리고 그를 동반하여 나타나는, 밸브로드 (9) 의 운동이 가능해진다). 예컨대, 상기 세로방향 행정-드라이브는 밸브로드 (9) 의 양쪽에 배치된 2개의 피스톤-실린더-유닛들을 구비할 수도 있다.

세로-이동방향 (16) 으로 이동 불가능한, 하지만 가로-이동방향 (30) 으로 이동 가능한, 세로방향 행정-드라이브 (25) 와 세로방향 행정-슬라이더 (14) 사이의 연결은 다른 형태로도 실현될 수 있다.

그 밖에, 세로-이동방향 (16) 의 방향으로 뿐만 아니라 가로-이동방향 (30) 의 방향으로도 이동 불가능한, 세로방향 행정-드라이브 (25) 와 세로방향 행정-슬라이더 (14) 사이의 연결도 제공될 수 있다. 그러면, 세로방향 행정-드라이브 (25) 는 (상응하는 홀딩 부품들과 함께) 가로-이동방향 (30) 으로의 폐쇄부재 (4) 와 밸브로드 (9) 의 이동시 그들과 함께 이동될 것이다.

가로방향 행정-가이드 부품들 (19) 을 따라서 가로방향 행정-슬라이더들 (18) 을 이동시키기 위해 가로방향 행정-드라이브 (31) 가 쓰인다. 실시예에서 그는 공압식 피스톤-실린더-유닛들에 의해 형성된다. 이 피스톤-실린더-유닛들의 피스톤 로드들 (32) 은 비스듬한-이동방향 (20) 에 대해 평행으로 있고, 가로방향 행정-슬라이더 (18) 와 연결된다. 실시예에서 피스톤 로드들 (32) 은 이를 위해 각각 연결 플레이트 (33) 에 고정되고, 상기 연결 플레이트는 각각의 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 의 홀딩 피스 (34) 에 고정된다. 가로방향 행정-슬라이더 (18) 와 피스톤 로드들 (32) 의 다른 연결들도 가능하다. 상기 연결은 적어도 상기 비스듬한-이동방향 (20) 의 방향과 관련하여 움직일 수 없다.

가로방향 행정-드라이브 (31) 의 피스톤-실린더-유닛들의 실린더들은 실시예에서 드라이브 블록 (35) 안으로 통합되고, 이때 각각의 실린더 공간은 드라이브 블록 (35) 의 리세스에 의해 형성된다. 하지만, 별도의 피스톤-실린더-유닛들이 제공될 수도 있다.

세로방향 행정-드라이브 (25) 는 1개를 초과하는 피스톤-실린더-유닛을 구비할 수도 있다. 상기 가로방향 행정-드라이브는 단지 하나의 피스톤-실린더-유닛 또는 2개를 초과하는 피스톤-실린더-유닛들을 구비할 수도 있다.

세로방향 행정-드라이브 (25) 와 가로방향 행정-드라이브 (31) 는 가이드 유닛 (23) 과 연결된 드라이브 유닛 (36) 의 부품이다. 실시예에서 드라이브 블록 (35) 은 스트럿들 (21) 에 고정된다. 드라이브 유닛 (36) 과 가이드 유닛 (23) 사이의 다른 연결들도 가능하다.

상기 진공밸브를 그의 열린 상태로부터 시작하여 닫기 위해, 우선 각각의 세로방향 행정-슬라이더 (14) 는 세로방향 행정-드라이브 (25) 에 의해 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 을 따라서 이동되고, 이를 통해 세로-이동방향 (16) 에 대해 평행으로 그의 개방위치로부터 그의 중간위치로의 폐쇄부재 (4) 의 선형 이동 (=평행이동) 이 수행된다. 폐쇄부재 (4) 의 상기 개방위치에서 (도 2, 도 5 - 도 10, 도 17 및 도 18 참조) 각각의 세로방향 행정-슬라이더 (14) 는 각각의 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 에 대해 상대적인 제 1 위치를 구비한다. 폐쇄부재 (4) 의 상기 중간위치에서 (도 3, 도 11 - 도 13, 도 19 및 도 20 참조) 각각의 세로방향 행정-슬라이더 (14) 는 각각의 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 에 대해 상대적인 제 2 위치를 구비한다. 세로방향 행정-슬라이더 (14) 의 상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치는 예컨대 세로방향 행정-드라이브 (25) 의 끝을 통해 그리고/또는 스톱들 (stops) 을 통해 그리고/또는 거리 제어를 통해 확정될 수 있다.

그 후, 가로방향 행정-슬라이더 (18) 는 가로방향 행정-드라이브 (31) 에 의해 가로방향 행정-가이드 부품들 (19) 을 따라서, 각각의 가로방향 행정-슬라이더 (18) 가 상기 각각 할당된 가로방향 행정-가이드 부품 (19) 에 대해 상대적으로 차지하는 제 1 위치로부터, 각각의 가로방향 행정-슬라이더 (18) 가 상기 각각 할당된 가로방향 행정-가이드 부품 (19) 에 대해 상대적으로 차지하는 제 2 위치로 이동된다. 가로방향 행정-슬라이더 (18) 의 상기 제 1 위치와 상기 제 2 위치는 예컨대 가로방향 행정-드라이브 (31) 의 행정의 끝을 통해 그리고/또는 스톱들을 통해 그리고/또는 거리 제어 또는 힘 제어 (이러한 힘 제어는 상기 밸브시트에의 폐쇄부재 (4) 의 원하는 누름력을 조절할 수 있다) 를 통해 확정될 수 있다. 가로방향 행정-슬라이더 (18) 의 이동시, 가로방향 행정-슬라이더 (18) 가 부착되어 있는 세로방향 행정-가이드 부품들 (15) 이 함께 이동된다. 세로방향 행정-가이드 부품들 (15) 에 대한 세로방향 행정-슬라이더들 (14) 의 상대적 자세는 이를 통해 변하고, 보다 정확히 말하면, 세로방향 행정-슬라이더 (14) 가 폐쇄부재 (4) 의 상기 개방위치에서 상기 각각 할당된 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 에 대해 상대적으로 차지하는, 세로방향 행정-슬라이더 (14) 의 제 1 위치 쪽으로의 방향으로 상기 세로방향 행정-가이드 부품에 대해 상대적인 상기 각각의 세로방향 행정-슬라이더의 이동이 수행된다. 세로-이동방향 (16) 에 대해 상대적인 세로방향 행정-슬라이더들 (14) 의 위치는 이때 변하지 않고, 하지만 상기 가로-이동방향에 대해 평행하는 세로방향 행정-슬라이더 (14) 의 평행이동 그리고 그를 동반하여 나타나는, 가로-이동방향 (30) 에 대해 평행하는 밸브로드 (9) 와 폐쇄부재 (4) 의 평행이동이 수행된다. 이를 통해, 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로 상기 가로-이동방향에 대해 평행으로 폐쇄부재 (4) 의 이동이 수행된다. 폐쇄부재 (4) 의 상기 폐쇄위치는 도면 4, 도면 14 - 도면 16, 도면 21 및 도면 22 에 도시된다.

상기 폐쇄위치로부터 상기 개방위치로의 폐쇄부재 (4) 의 이동은 상기 기술된 바와 반대 방식으로 수행된다.

밸브로드 (9) 는 세로-이동방향 (16) 과 관련하여, 세로방향 행정-슬라이더 (14) 가 위치해 있는 영역을 넘어서 폐쇄부재 (4) 로부터 멀리 향한 방향으로 연장된다. 세로방향 연장부의 이러한 섹션에서, 바람직하게는 폐쇄부재 (4) 로부터 떨어져 있는 단부의 영역에서, 밸브로드 (9) 는 폐쇄부재 (4) 의 상기 폐쇄위치에서, 밸브몸체에 고정되어 유지된 스톱 (47) 에 지지된다. 스톱 (47) 은 가로-이동방향 (30) 과 관련하여, 밸브시트 (5) 와 밸브로드 (9) 의 동일한 측에 놓여 있다. 밸브로드 (9) 의 이 지지를 통해, 폐쇄부재 (4) 의 상기 폐쇄위치에서 리니어 가이드들 (13, 17) 에 작용하는 모멘트들이 감소되고, 바람직하게는 적어도 본질적으로 상쇄된다 (선호되는 바와 같이, 연결부품 (12) 이 밸브로드 (9) 의 가운데에 있으면). 스톱 (47) 은 유리하게 탄성적으로 형성되고, 바람직하게는 밀봉링 (6) 과 유사하게 탄성을 갖고 형성된다.

비스듬한-이동방향 (20) 이 세로-이동방향 (16) 과 함께 이루는 각도 (37) 는 유리하게 45°보다 작고 4°보다 크고, 이때 5°내지 20°의 범위에서의 각도 (37) 가 선호된다. 예컨대 각도 (37) 는 약 7.5°일 수 있다.

가로-이동방향 (30) 은, 세로-이동방향 (16) 에 의해 그리고 가로-이동방향 (30) 에 의해 펼쳐진 평면에 있다. 다른 말로 하자면, 상기 비스듬한-이동방향은 세로-이동방향 (16) 에 대해 직각으로 있는 그리고 가로-이동방향 (30) 에 대해 직각으로 있는 축 둘레로 세로-이동방향 (16) 에 대해 각도 (37) 만큼 회전되어 있다.

세로방향 행정-드라이브 (25) 와 가로방향 행정-드라이브 (31) 의 작동매체, 즉 실시예에서 압축공기의 공급 중단시에도 상기 폐쇄부재를 상기 폐쇄위치에서 고정하기 위해 고정장치가 쓰인다. 그는 제 1 고정부재 (38) 를 포함하고, 상기 제 1 고정부재는 정상작동 중에는, 즉 세로방향 행정-드라이브 (25) 와 가로방향 행정-드라이브 (31) 를 위한 상기 작동매체가 존재하면, 액추에이터 (39) 를 이용해 스프링들 (40) 의 힘에 대항하여 제 2 고정부재 (41) 로부터 간격을 두고 있다. 제 1 고정부재 (38) 는 밸브몸체에 고정된 부품에서, 실시예에서 스트럿들 (21) 중 하나에서, 상기 적어도 하나의 스프링 (40) 의 힘에 대항하여 이동 가능하게 유지되어 있고, 상기 제 2 고정부재는 가로방향 행정-슬라이더 (18) 에 대해 이동 불가능하게 유지되어 있고, 실시예에서 상기 제 2 고정부재는 스트럿 (21) 과 마주 보고 있는 홀딩 피스 (34) 에 부착되어 있다.

액추에이터 (39) 는 실시예에서 피스톤-실린더-유닛에 의해 형성되고, 그의 실린더는 스트럿 (21) 안으로 통합되고, 그의 피스톤 (42) 은 피스톤 로드를 통하여 제 1 고정부재 (38) 와 연결된다.

상기 작동매체의 공급 중단시 제 1 고정부재 (38) 는 스프링들 (40) 에 의해 제 2 고정부재 (41) 에 밀어붙여지고, 이때 함께 작용하는 면들은 마찰면들일 수 있고 또는 톱니부 (toothing) 를 구비할 수도 있다. 제 1 고정부재 (38) 가 제 2 고정부재 (41) 에 밀어붙여져 있으면, 이를 통해 가로방향 행정-가이드 부품들 (19) 에 대해 상대적인 가로방향 행정-슬라이더들 (18) 의 위치들이 고정된다. 이를 통해, 폐쇄부재 (4) 는 상기 작동매체의 공급 중단시에도 밸브시트 (5) 에 밀어붙여진 채로 있다.

고정장치들의 변화된 형성 형태들도 있을 수 있고 가능하다. 이렇게, 단지 하나의 스프링 (40) 이 존재할 수 있고 또는 2개를 초과하는 스프링 (40) 이 존재할 수 있다. 압축 스프링들을 갖는 구조들 대신에 예컨대 인장 스프링들을 갖는 구조들도 생각할 수 있다.

세로방향 행정-드라이브 (25) 와 가로방향 행정-드라이브 (31) 를 위한 상기 작동매체의 공급 중단시 상기 개방위치에서 폐쇄부재 (4) 를 고정하기 위한, 유사한 방식으로 형성된 고정장치도 추가적으로 또는 대안적으로 제공될 수 있다. 이 고정장치의 고정부재들은 한편으로는 밸브몸체에 고정된 부품에, 다른 한편으로는 세로방향 행정-슬라이더 (14) 와 함께 움직여진 부품에 배치될 수 있다.

가로방향 행정-가이드 부품들 (19) 을 따라서 가로방향 행정-슬라이더들 (18) 의 동기적 (synchronous) 운동을 안전하게 하기 위해, 그들은 유리하게 연결 피스 (43) 를 통하여 서로 연결된다. 상기 연결 피스는 실시예에서 두 홀딩 피스들 (34) 과 나사결합된 박판이다.

세로방향 행정-드라이브 (25) 와 가로방향 행정-드라이브 (31) 를 통한 작동들의 정확한 시퀀스를 달성하기 위해 시퀀스 제어기 (44) 가 쓰인다 (특히 도 3 과 도 4 를 참조할 것, 이는 도 23 에서 생략된다). 이러한 시퀀스 제어들은, 예컨대 US 8,177,190 B2 에 상응하는, 도입부에서 언급된 선행기술로부터, 알려져 있고, 여기에서는 더 이상 설명될 필요가 없다.

폐쇄부재 (4) 의 상기 각각 존재하는 위치를 파악하기 위해, 드라이브 유닛 (36) 안에 배치된 자세 센서들이 쓰이고 (도면들에서 보이지 않음), 상기 자세 센서들과 트리거링 부품들 (triggering parts, 45) (특히 도 23 참조) 이 함께 작용한다.

상기 세로방향 행정-드라이브 및/또는 상기 가로방향 행정-드라이브를 위한 공압식 드라이브들 대신에, 다른 작동매체들에 의해 작동되는 드라이브들도 이용 가능하고, 예컨대 전기적으로 작동되는 드라이브들, 예컨대 전기모터들, 리니어 드라이브들 등등이 이용 가능하다. 이러한 전기적으로 작동되는 드라이브들은 예컨대 랙과 피니언 드라이브들 (rack and pinion drives), 스핀들 드라이브 등등의 형태로 형성될 수 있다.

상기 각각의 드라이브들을 갖추고 있는 드라이브 유닛 (36) 이 제공될 수 있고, 상기 드라이브 유닛은 가이드 유닛 (23) 과 연결된다. 가이드 유닛 (23) 은 이때 여러 가지 유형의 드라이브들을 위해 동일하게 형성될 수 있다. 그러므로, 드라이브 유닛 (36) 과 가이드 유닛 (23) 사이의 “분리 평면”이 존재한다. 그러므로, 모듈식 구성이 제공된다. 원하는 드라이브 유형에 따라, 드라이브 유닛 (36) 의 적합한 모듈은 상기 가이드 유닛과 연결될 수 있다. 드라이브 유닛 (36) 의 추후 교체도 가능하고, 이때 드라이브 유닛 (36) 은 가이드 유닛 (23) 에서 전체적으로 떼어내지고, 원하는 다른 드라이브 유닛 (36) 으로 교체된다.

이를 통해, 상기 드라이브 유닛 안에 결함이 있는 경우 또는 상기 가이드 유닛 안에 결함이 있는 경우에도 상기 진공밸브의 정비도 간단해진다.

본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서, 상기 도시된 실시예의 여러 가지의 변화가 가능하다. 이렇게, 상기 폐쇄부재는 예컨대 2개 이상의 평행하는 밸브로드들에 부착될 수 있다. 단지 하나의 세로방향 행정-리니어 가이드 및/또는 단지 하나의 가로방향 행정-리니어 가이드의 이용, 또는 2개를 초과하는 세로방향 행정-리니어 가이드들 및/또는 2개를 초과하는 가로방향 행정-리니어 가이드들의 이용도 가능하다.

1 : 밸브몸체 2 : 밸브 개구부
3 : 축 4 : 폐쇄부재
5 : 밸브시트 6 : 밀봉링
7 : 내부공간 8 : 개구부
9 : 밸브로드 10 : 세로축
11 : 폴딩 벨로스 12 : 연결부품
13 : 세로방향 행정-리니어 가이드 14 : 세로방향 행정-슬라이더
15 : 세로방향 행정-가이드 부품 16 : 세로-이동방향
17 : 가로방향 행정-리니어 가이드 18 : 가로방향 행정-슬라이더
19 : 가로방향 행정-가이드 부품 20 ; 비스듬한-이동방향
21 : 스트럿 22 : 지지체 부품
23 : 가이드 유닛 24 : 덮개 박판
25 : 세로방향 행정-드라이브 26 : 피스톤 로드
27 : 전달 피스 28 : 연결 볼트
29 : 관통 개구부 30 : 가로-이동방향
31 : 가로방향 행정-드라이브 32 : 피스톤 로드
33 : 연결 플레이트 34 : 홀딩 피스
35 : 드라이브 블록 36 ; 드라이브 유닛
37 : 각도 38 : 제 1 고정부재
39 : 액추에이터 40 : 스프링
41 : 제 2 고정부재 42 : 피스톤
43 : 연결 피스 44 : 시퀀스 제어기
45 : 트리거링 부품 46 : 트리거링 부품
47 ; 스톱 48 : 뚜껑 부품

Claims

진공밸브로서,
- 축 (3) 을 구비하는, 밸브시트 (5) 에 의해 둘러싸인 밸브 개구부 (2) 를 갖는 밸브몸체 (1),
- 폐쇄부재 (4) 로서, 상기 폐쇄부재는 그가 상기 밸브 개구부 (2) 를 해제하는 개방위치와 그가 상기 밸브 개구부 (2) 를 덮는, 하지만 상기 밸브시트 (5) 에서 들어 올려져 있는 중간위치 사이에서, 세로-이동방향 (16) 에 대해 평행으로 이동 가능하고, 상기 폐쇄부재는 상기 중간위치와, 그가 상기 밸브시트 (5) 에 밀착하는 폐쇄위치 사이에서, 가로-이동방향 (30) 에 대해 평행으로 이동 가능한, 상기 폐쇄부재 (4),
- 상기 폐쇄부재 (4) 를 받치는 밸브로드 (9),
- 세로방향 행정-리니어 가이드 (13) 로서, 상기 세로방향 행정-리니어 가이드는 상기 밸브로드 (9) 와 연결된 세로방향 행정-슬라이더 (14) 와, 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 을 구비하고, 상기 세로방향 행정-가이드 부품에 의해 상기 세로방향 행정-슬라이더 (14) 는 상기 세로-이동방향 (16) 으로 선형으로 이동 가능하게 안내되는, 상기 세로방향 행정-리니어 가이드 (13),
- 세로방향 행정-드라이브 (25) 로서, 상기 세로방향 행정-드라이브에 의해 상기 폐쇄부재 (4) 를 상기 개방위치와 상기 중간위치 사이에서 이동시키기 위해 상기 세로방향 행정-슬라이더 (14) 는 상기 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 에 대해 이동 가능한, 상기 세로방향 행정-드라이브 (25),
- 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 상기 폐쇄부재 (4) 를 이동시키기 위한 가로방향 행정-드라이브 (31) 를 포함하고,
상기 진공밸브는 그 밖에 가로방향 행정-리니어 가이드 (17) 를 포함하고, 상기 가로방향 행정-리니어 가이드는 상기 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 과 연결된 가로방향 행정-슬라이더 (18) 와, 가로방향 행정-가이드 부품 (19) 을 포함하고, 상기 가로방향 행정-가이드 부품에 의해 상기 가로방향 행정-슬라이더 (18) 는 상기 세로-이동방향 (16) 에 대해 비스듬히 있는 비스듬한-이동방향 (20) 으로 선형으로 이동 가능하게 안내되고,
상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 상기 폐쇄부재 (4) 를 이동시키기 위해 상기 가로방향 행정-슬라이더 (18) 는 상기 가로방향 행정-드라이브 (31) 에 의해 상기 가로방향 행정-가이드 부품 (19) 에 대해 이동 가능하고, 이경우 상기 세로방향 행정-슬라이더 (14) 에 대한 상기 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 의 이동도 수행되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 비스듬한-이동방향 (20) 은 상기 세로-이동방향 (16) 에 대해 45°보다 작은 각도 (37) 만큼 기울어져 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 2 항에 있어서,
상기 비스듬한-이동방향 (20) 은 상기 세로-이동방향 (16) 에 대해 4°보다 큰 각도 (37) 만큼 기울어져 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 3 항에 있어서,
상기 비스듬한-이동방향 (20) 은 상기 세로-이동방향 (16) 과 함께, 5°내지 20°의 범위에 있는 각도 (37) 를 이루는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 비스듬한-이동방향 (20) 은, 상기 세로-이동방향 (16) 에 의해 그리고 상기 가로-이동방향 (30) 에 의해 펼쳐진 평면에 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항에 있어서,
상기 가로-이동방향 (30) 은 상기 세로-이동방향 (16) 에 대해 직각으로 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가로-이동방향 (30) 은 상기 밸브 개구부 (2) 의 상기 축 (3) 에 대해 평행으로 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밸브로드 (9) 는 상기 세로-이동방향 (16) 에 대해 평행으로 있는 세로축 (10) 을 구비하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 세로방향 행정-드라이브 (25) 와 상기 세로방향 행정-슬라이더 (14) 의 연결은 상기 가로-이동방향 (30) 에 대해 평행인 가동성 (mobility) 을 갖는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 세로방향 행정-슬라이더 (14) 는 상기 밸브로드 (9) 와 강성적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가로방향 행정-슬라이더 (18) 는 상기 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 과 강성적으로 연결되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 밸브로드 (9) 와 연결된 연결부품 (12) 의 양쪽에 각각 하나의 세로방향 행정-슬라이더 (14) 가 부착되고, 상기 세로방향 행정-슬라이더는 각각의 세로방향 행정-가이드 부품 (15) 에 의해 상기 세로-이동방향에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되고,
두 세로방향 행정-가이드 부품들 (15) 은 각각 가로방향 행정-슬라이더 (18) 와 연결되고, 상기 가로방향 행정-슬라이더는 각각의 가로방향 행정-가이드 부품 (19) 에 의해 상기 비스듬한-이동방향 (20) 에 대해 평행으로 이동 가능하게 안내되는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 세로방향 행정-드라이브 (25) 와 상기 가로방향 행정-드라이브 (31) 를 구비하는 드라이브 유닛 (36) 은 적어도 하나의 세로방향 행정-리니어 가이드 (13) 와 상기 적어도 하나의 가로방향 행정-리니어 가이드 (17) 를 포함하는 가이드 유닛 (23) 과 연결되고, 상기 가이드 유닛에서 전체적으로 떼어내질 수 있는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 세로방향 행정-드라이브 (25) 와 상기 가로방향 행정-드라이브 (31) 의 작동매체의 공급이 중단되는 경우 상기 폐쇄부재 (4) 의 위치를 고정하기 위한 고정장치가 존재하고,
정상작동 중에는 상기 작동매체에 의해 작동된 액추에이터 (39) 를 이용해 제 1 고정부재 (38) 는 스프링 (40) 의 힘에 대항하여 제 2 고정부재 (41) 로부터 간격을 두고 있고, 상기 작동매체의 공급 중단시에는 상기 스프링 (40) 에 의해 상기 제 2 고정부재 (41) 에 밀어붙여져 있고, 이를 통해 상기 폐쇄부재 (4) 의 이동을 차단하는 것을 특징으로 하는 진공밸브.
제 14 항에 있어서,
상기 작동매체의 공급이 중단되는 경우 상기 그 폐쇄위치에 있는 폐쇄부재 (4) 는 상기 고정장치에 의해 상기 폐쇄위치에서 유지되어 있고,
상기 제 1 고정부재 (38) 는 밸브몸체에 고정된 부품에서, 상기 스프링 (40) 의 힘에 대항하여 이동 가능하게 유지되어 있고, 상기 제 2 고정부재 (41) 는, 상기 가로방향 행정-가이드 부품 (19) 을 따라서 상기 가로방향 행정-슬라이더 (18) 를 이동시킬시 상기 가로방향 행정-슬라이더 (18) 와 함께 움직이는 것을 특징으로 하는 진공밸브.