WO2016142150A1

WO2016142150A1 - Vakuumventil

Info

Publication number: WO2016142150A1
Application number: PCT/EP2016/053526
Authority: WO
Inventors: Florian Ehrne
Original assignee: Vat Holding Ag
Priority date: 2015-03-09
Filing date: 2016-02-19
Publication date: 2016-09-15
Also published as: CN107407443B; JP6677738B2; MY189235A; CN107407443A; SG11201706945XA; TWI679365B; KR20170120122A; TW201641856A; US10302225B2; US20180274695A1; JP2018507992A; KR102504619B1

Abstract

Vakuumventil umfassend einen Ventilkörper (1 ) mit einer eine Achse (3) aufweisenden Ventilöffnung (2), die von einem Ventilsitz (5) umgeben ist, ein Verschlussglied (4), welches zwischen einer Offenstellung, in der es die Ventilöffnung (2) freigibt, und einer Zwischenstellung, in der es die Ventilöffnung (2) überdeckt aber vom Ventilsitz (5) abgehoben ist, parallel zu einer Längs-Verstellrichtung (16) verstellbar ist und welches zwischen der Zwischenstellung und einer Schließstellung, in der es am Ventilsitz (5) anliegt, parallel zu einer Quer-Verstellrichtung (30) verstellbar ist, eine das Verschlussglied (4) tragende Ventilstange (9), eine Längshub-Linearführung (13), welche einen mit der Ventilstange (9) verbundenen Längshub-Schlitten (14) und ein Längshub-Führungsteil (1 5) aufweist, von dem der Längshub-Schlitten (14) in die Längs-Verstellrichtung (16) linear verschiebbar geführt ist, und eine Querhub-Linearführung (17), welche einen mit dem Längshub-Führungsteil (15) verbundenen Querhub-Schlitten (18) und ein Querhub-Führungsteil (19) umfasst, von dem der Querhub-Schlitten (18) in eine schräg zur Längs-Verstellrichtung (16) stehende Schräg-Verstellrichtung (20) linear verschiebbar geführt ist.

Description

Vakuumventi l

Die Erfindung bezieht sich auf ein Vakuumventil umfassend einen Ventilkörper mit einer eine Achse aufweisenden Ventilöffnung, die von einem Ventilsitz umgeben ist, ein Verschlussglied, welches zwischen einer Offenstellung, in der es die

Ventilöffnung freigibt, und einer Zwischenstellung, in der es die Ventilöffnung überdeckt aber vom Ventilsitz abgehoben ist, parallel zu einer Längs-Verstellrichtung verstellbar ist und welches zwischen der Zwischenstellung und einer Schließstellung, in der es am Ventilsitz anliegt, parallel zu einer Quer-Verstellrichtung verstellbar ist, eine das Verschlussglied tragende Ventilstange, eine Längshub-Linearführung, welche einen mit der Ventilstange verbundenen Längshub-Schlitten und ein

Längshub-Führungsteil aufweist, von dem der Längshub-Schlitten in die Längs- Verstellrichtung linear verschiebbar geführt ist, einen Längshub-Antrieb, von dem zur Verstellung des Verschlussgliedes zwischen der Offenstellung und der

Zwischenstellung der Längshub-Schlitten gegenüber dem Längshub-Führungstei l verschiebbar ist, und einen Querhub-Antrieb zur Verstellung des Verschlussgliedes zwischen der Zwischenstellung und der Schließsteüung.

Vakuumventile, bei denen zum Schließen des Vakuumventils das Verschlussglied zunächst in eine parallel zur Ventilstange liegende Längs-Verstellrichtung von einer Offenstellung in eine Zwischenstellung verschoben wird, in welcher das

Verschlussglied die Ventilöffnung überdeckt, vom Ventilsitz aber noch abgehoben ist, und in der Folge in eine winkelig zur Längs-Verstellrichtung liegende Quer- Verstellrichtung an den Ventilsitz angelegt wird, werden auch als L-Ventile bezeichnet. Bei einer nicht gattungsgemäßen Bauweise von L-Ventilen ist die Ventilstange um eine rechtwinkelig zur Längs-Verstellrichtung stehende Achse verschwenkbar gelagert, um die Verstellung der Ventilplatte von ihrer Zwischenstellung in ihre Schließstellung und zurück zu ermöglichen. Zum Verschwenken der Ventilstange um die Achse können hierbei Kulissenführungen dienen, wie dies beispielsweise aus der US 6,237 ,892 B1 , US 7,066,443 B2 oder US 201 2/0258242 A1 bekannt ist. Bei L-Ventilen, bei denen zur Verstellung des Verschlussgliedes zwischen der

Zwischenstellung und der Schließstellung eine Parallelverschiebung des

Verschlussgliedes in eine winkelig, insbesondere rechtwinkelig, zur Längs- Verstellrichtung stehende Quer-Verstellrichtung erfolgt, sind gemäß einer

herkömmlichen Ausführungsform Antriebselemente zur Verstellung des

Verschlussgliedes zwischen der Zwischenstellung und der Schließstellung an einer das Verschlussglied tragenden Trageinheit angeordnet, wobei die Trageinheit sich innerhalb des Ventilgehäuses des Vakuumventils befindet und an einer aus dem Vakuumbereich des Vakuumventils herausgeführten Ventilstange angebracht ist. Derartige Ausführungen von L-Ventilen gehen beispielsweise aus der US 6,056,266 A, US 6,899,316 B2 und US 7,61 1 , 122 B2 hervor. Aus der US 6,056,266 A und US

7,61 1 , 122 B2 gehen hierbei auch Folgesteuerungen hervor, um den korrekten Ablauf der Betätigung der Kolben-Zylinder-Einheiten sicher zu stellen. Eine weitere solche Folgesteuerung für ein L-Ventil geht aus der US 8, 1 77, 190 B2 hervor. Ein L-Ventil, bei welchem eine lineare Verschiebung des Verschlussgliedes zwischen der Zwischenstellung und der Schließstellung erfolgt, wobei sowohl der Antrieb für die Verstellung des Verschlussgliedes zwischen der Offen- und der

Zwischenstellung, als auch der Antrieb für die Verstellung des Verschlussgliedes zwischen der Zwischen- und der Schließstellung außerhalb des Vakuums angeordnet sind, geht aus der WO 2010/034046 A1 hervor. Ein die Ventilstange in die Längs-

Verstellrichtung verschiebbar lagernder Block, an welchem auch der Antrieb für die Verstellung der Ventilstange in die Längs-Verstellrichtung angebracht ist, ist hierbei in eine rechtwinkelig zur Längs-Verstellrichtung liegende Quer-Verstellrichtung linear verschiebbar, wobei diese lineare Verschiebung mittels in diese Richtung wirkenden Kolben-Zylinder-Einheiten erfolgt. Auch die US 7 ,762,527 B2 zeigt eine Ausführungsform eines L-Ventils, bei welcher die Antriebe zur linearen Verstellung des Verschlussgliedes in die Längs- Verstellrichtung und in die Quer-Verstellrichtung außerhalb des Vakuums

angeordnet sind. Eine mögliche Ausbildung sieht hierbei vor, dass die Kolben- Zylinder-Einheit zur Verstellung des Verschlussgliedes in die Längs-Verstellrichtung gegenüber einem Ventilgehäuse mittels einer Linearführung in die rechtwinkelig zur Längs-Verstellrichtung liegende Quer-Verstellrichtung verschiebbar gelagert ist.

Ein Vakuumventil der eingangs genannten Art geht aus der WO 2014/075757 A1 hervor. Eine Längshub-Linearführung, von der die Ventilstange in die Längs- Verstellrichtung verschiebbar geführt ist, wird hier von einem mit der Ventilstange verbundenen Übertragungsstück entsprechend einem Längshub-Schlitten gebildet, welches entlang von stangenförmigen Führungsteilen verschiebbar geführt ist. Die stangenförmigen Führungsteile sind in eine rechtwinkelig zur Längs-Verstel lrichtung stehende Quer-Verstellrichtung verschiebbar und können von einem von

pneumatischen Kolben-Zylinder-Einheiten ausgebildeten Querhub-Antrieb in die Quer-Verstel lrichtung verschoben werden. Zur Verschiebung der Ventilstange in die Längs-Verstellrichtung dienen ebenfalls pneumatische Kolben-Zylinder-Einheiten, deren Ventilstangen mit dem Übertragungsstück verbunden sind, wobei diese Verbindung eine Beweglichkeit des Übertragungsstücks gegenüber den

Ventilstangen in die Quer-Verstellrichtung ermöglicht. Ein Nachteil der aus dieser Schrift hervorgehenden Einrichtung ist die relativ aufwendige Ausbildung der die Antriebs- und Führungselemente aufweisenden Einheit, was zu einer Verteuerung des Vakuumventils führt. Auch wäre es bei diesem Vakuumventil schwierig, wahlweise unterschiedliche Arten von Antrieben einzusetzen.

Aufgabe der Erfindung ist es ein verbessertes Vakuumventi l der eingangs genannten Art bereitzustellen. Erfindungsgemäß gelingt dies durch ein Vakuumventil mit den Merkmalen des Anspruchs 1 .

Ein Vakuumventil gemäß der Erfindung umfasst eine Längshub-Linearführung mit einem entlang einem Längshub-Führungsteil parallel zu einer Längs-Verstellrichtung linear verschiebbar geführten Längshub-Schlitten, der mit der Venti lstange verbunden ist, sowie eine Querhub-Linearführung mit einem entlang einem

Querhub-Führungsteil parallel zu einer Schräg-Verstellrichtung linear verschiebbar geführten Querhub-Schlitten, wobei der Querhub-Schlitten mit dem Längshub- Führungsteil der Längshub-Linearführung verbunden ist. Zur Verstellung des

Verschlussgliedes zwischen der Zwischenstellung und der Schließstellung wird der Querhub-Schlitten vom Querhub-Antrieb entlang dem Querhub-Führungsteil verschoben. Durch die Verbindung des Querhub-Schlittens mit dem Längshub- Führungsteil erfolgt hierbei auch eine Verschiebung des Längshub-Führungsteils parallel zur Schräg-Verstellrichtung, während der Längshub-Schlitten bezüglich der Längshub-Verstellrichtung seine Lage beibehält. Somit kommt es zu einer

Bewegung des Längshub-Schlittens parallel zur Quer-Verstellrichtung und somit zur Verstellung des Verschlussgliedes parallel zur Quer-Verstellrichtung. Durch die Verwendung von schräg zueinander stehenden Linearführungen, um die Bewegung des Versch lussgliedes in die Längs-Verstellrichtung und Quer- Verstellrichtung auszuführen, wird eine kostengünstige Ausbildung ermöglicht. Es können vorteilhafterweise für die Linearführungen Standardteile eingesetzt werden, wie sie im Maschinenbau in großer Zahl Verwendung finden und die kostengünstig kommerziell erhältlich sind. Die Teile zur Befestigung dieser Linearführungen können relativ einfach und kostengünstig ausgebildet sein.

Im Weiteren wird durch die erfindungsgemäße Ausbildung eine auf die Längs- Verstellrichtung bezogene räumliche Trennung zwischen einer Führungseinheit, welche die Führungsteile zur Führung der Bewegung des Verschlussgliedes in die Längs-Verstellrichtung und Quer-Verstellrichtung aufweist, und einer

Antriebseinheit, welche den Längshub-Antrieb und den Querhub-Antrieb umfasst, ermöglicht. Auf diese Weise wird ein modularer Aufbau ermöglicht, in der Form, dass die gleiche Führungseinheit oder eine zumindest im Wesentlichen gleich ausgebildete Führungseinheit im Zusammenhang mit unterschiedlichen Arten von Antriebseinheiten eingesetzt werden kann. Beispielsweise kann eine mögliche Art einer Antriebseinheit pneumatische Kolben-Zylinder-Einheiten als Antriebselemente aufweisen und eine andere Art einer Antriebseinheit elektrisch betriebene

Antriebselemente aufweisen .

Der Winkel zwischen der Längs-Verstellrichtung und der Schräg-Verstellrichtung beträgt günstigerweise weniger als 45°, wobei ein demgegenüber kleinerer Winkel vorteilhaft ist, um eine nicht zu große Baubreite (bezogen auf die Quer- Verstellrichtung) des Vakuumventils zu ermöglichen. Der Winkel zwischen der Längs- Verstellrichtung und der Schräg-Verstellrichtung beträgt günstigerweise mehr als 4°, wobei ein demgegenüber größerer Winkel vorteilhaft ist, um eine nicht zu große Baulänge (bezogen auf die Längs-Verstellrichtung) des Vakuumventils zu

ermöglichen. Vorteilhafterweise liegt der Winkel zwischen der Schräg- Verstellrichtung und der Längs-Verstellrichtung im Bereich von 5° bis 20°, wobei ein Bereich von 6° bis 12° besonders bevorzugt ist. Es wird hierbei eine Übersetzung für die vom Querhub-Antrieb auf das Verschlussglied in die Quer-Verstellrichtung ausgeübte Kraft erreicht. Die erforderliche Anpresskraft des Verschlussgliedes an den Ventilsitz im geschlossenen Zustand des Vakuumventils kann hierdurch durch eine relativ geringe Antriebskraft des Querhub-Antriebs erreicht werden. Auch eine Kraftregelung oder eventuell Wegregelung des Querhub-Antriebs für die

Anpresskraft des Verschlussgliedes an den Ventilsitz in der Schließstellung wird durch den aufgrund der Übersetzung relativ großen Weg des Querhub-Schlittens erleichtert.

In einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung weist die Verbindung des Längshub-Schlittens mit dem Längshub-Antrieb eine Beweglichkeit parallel zur Quer-Verstellrichtung auf. Der Längshub-Antrieb kann damit bezogen auf die Quer- Verstellrichtung unbeweglich montiert sein. Denkbar und möglich wäre aber auch eine Ausbildung, bei der sich der Längshub-Antrieb bei der Bewegung des

Verschlussgliedes und der Ventilstange parallel zur Quer-Verstellrichtung zusammen mit diesen mitbewegt.

Eine zweckmäßige Ausbildung sieht vor, dass beidseitig an einem Verbindungsteil, welches mit der Ventilstange verbunden ist, jeweils ein Längshub-Schlitten angebracht ist.„Beidseitig" bezieht sich hierbei auf eine rechtwinkelig zur Längs- Verstellrichtung und rechtwinkelig zur Quer-Verstellrichtung stehende Richtung. Ein jeweiliger Längshub-Schlitten ist hierbei von einem jeweiligen Längshub- Führungsteil parallel zur Längs-Verstellrichtung verschiebbar geführt und die beiden Längshub-Führungsteile sind jeweils mit einem Querhub-Schlitten verbunden, der von einem jeweiligen Querhub-Führungsteil parallel zur Schräg-Verstellrichtung verschiebbar geführt ist. Es sind somit zwei Längshub-Linearführungen und zwei Querhub-Linearführungen vorhanden. Es ist vorteilhaft, wenn die Schräg-Verstellrichtung in der von der Längs- Verstellrichtung und Quer-Verstellrichtung aufgespannten Ebene liegt. Im Weiteren ist es bevorzugt, dass die Quer-Verstellrichtung rechtwinkelig zur Längs- Verstellrichtung steht, wobei der Ventilsitz in einer Ebene liegt, zu welcher die Quer- Versteilrichtung rechtwinkelig ausgerichtet ist. Es wird dadurch ein rechtwinkeliges Aufsetzen des Verschlussgliedes auf den Ventilsitz ermöglicht. Abweichungen von einem solchen rechtwinkeligen Aufsetzen, welche vorzugweise weniger als 20° betragen, sind aber tolerierbar.

Im Sinne einer einfachen Ausbildung steht die Achse der Ventilöffnung vorzugsweise rechtwinkelig zur Ebene, in der der Ventilsitz liegt.

Die Ventilstange weist günstigerweise eine parallel zur Längs-Verstellrichtung liegende Längsachse auf. Eine zweckmäßige Weiterbildung der Erfindung sieht eine Feststellvorrichtung zur Festlegung eines Zustands des Vakuumventils im Falle des Ausfalls eines

Betriebsmittels des Längshub-Antriebs und Querhub-Antriebs vor. Hierbei ist in einem Normalbetrieb (d.h. das Betriebsmittel des Längshub-Antriebs und des Querhub-Antriebs steht zur Verfügung) ein erstes Feststellglied der

Feststellvorrichtung gegen die Kraft einer Feder von einem zweiten Feststellglied distanziert, und zwar mittels eines vom Betriebsmittel betriebenen Aktuators der Feststellvorrichtung. Bei Ausfall des Betriebsmittels wird das erste Feststellglied von der Feder gegen das zweite Feststellglied angedrückt und blockiert hierdurch eine Verstellung des Verschlussgliedes. Das Verschlussglied kann dadurch auch bei Ausfall des Betriebsmittels sicher in der Schließstellung und/oder Offenstellung gehalten werden.

Weitere Vorteile und Einzelheiten der Erfindung werden im Folgenden anhand der beiliegenden Zeichnung erläutert. In dieser zeigen:

Fig. 1 eine Schrägsicht eines Vakuumventils gemäß einem Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 2 eine Schrägsicht entsprechend Fig. 1 aber Abdeckbleche und ein Deckelteil des Ventilkörpers weggelassen, in der Offenstellung des Verschlussgliedes;

Fig. 3 eine Schrägsicht entsprechend Fig. 2 in der Zwischenstellung des

Verschlussgliedes;

Fig. 4 eine Schrägsicht entsprechend Fig. 2, in der Schließstellung des

Versch lussgliedes;

Fig. 5 eine Ansicht in der Offenstellung des Versch lussgliedes;

Fig. 6 einen Schnitt entlang der Linie AA von Fig. 5;

Fig. 7 einen Schnitt entlang der Linie B B von Fig. 5;

Fig. 8 einen Schnitt entlang der Linie CC von Fig. 5;

Fig. 9 einen Schnitt entlang der Linie DD von Fig. 5;

Fig. 10 einen Schnitt entlang der Linie EE von Fig. 5;

Fig. 1 1 , 12 und 13 Schnitte analog den Fig. 8, 9 und 10, aber in der Zwischenstellung des Verschlussgliedes;

Fig. 14, 1 5 und 16 Schnitte analog den Fig. 8, 9 und 10, aber in der Schließstellung des Verschlussgliedes;

Fig. 17 und 18 Schrägsichten der Ventilstange, der Linearführungen und von Teilen des Längshub- und Querhub-Antriebs in der Stellung, in welcher die Offenstellung des Verschlussgiiedes vorliegt;

Fig. 19 und 20 Schrägsichten analog Fig. 17 und 18, aber in der Stellung, in welcher die Zwischenstellung des Verschlussgliedes vorliegt; Fig. 21 und 22 Schrägsichten analog Fig. 17 und 18, aber in der Stellung, in welcher die Schließstellung des Verschlussgliedes vorliegt;

Fig. 23 eine Explosionsdarstellung. Ein Ausführungsbeispiel eines Vakuumventils gemäß der Erfindung ist in den

Figuren dargestellt.

Das Vakuumventil weist einen Ventilkörper 1 auf, der eine Wand besitzt, welche eine Ventilöffnung 2 mit einer Achse 3 aufweist. Im geschlossenen Zustand des

Vakuumventils ist die Ventilöffnung 2 durch ein, insbesondere plattenförmig ausgebildetes, Verschlussglied 4 verschlossen, welches dann seine Schließstellung einnimmt. In der Schließstellung des Verschlussglieds 4 ist dieses an einen Ventilsitz 5 angedrückt, der die Ventilöffnung 2 auf der dem Verschlussglied 4 zugewandten Seite umgibt. Im geöffneten Zustand des Vakuumventils gibt das Versch lussglied 4 die Ventilöffnung 2 frei und das Versch lussglied 4 nimmt dann seine Offenstellung ein. Die Verstellung des Versch lussgliedes 4 zwischen der Schließstellung und der Offenstellung erfolgt über eine Zwischenstellung, in welcher das Verschlussglied, in Richtung der Achse 3 der Ventilöffnung 2 gesehen, die Ventilöffnung 2 überdeckt aber vom Ventilsitz 5 abgehoben (=distanziert) ist.

Zur Abdichtung zwischen dem Verschlussglied 4 und der die Ventilöffnung 2 aufweisenden Wand des Ventilkörpers 1 in der Schließstellung des Verschlussglieds 4 dient ein am Verschlussglied 4 angeordneter elastischer Dichtring 6 (beispielsweise aus FKM oder FFK ) und der Ventilsitz 5 weist eine Dichtfläche auf, an der der Dichtring 6 angedrückt ist. Grundsätzlich könnte der Dichtring 6 auch am Dichtsitz angeordnet sein und an eine Dichtfläche des Verschlussgliedes 4 angedrückt sein.

Der Ventilkörper 1 ist im Ausführungsbeispiel gehäuseartig ausgebildet und kann somit auch als Ventilgehäuse bezeichnet werden, und das Verschlussglied 4 ist in einem Innenraum 7 des Ventilkörpers 1 angeordnet. Dieser Innenraum 7 des

Ventilkörpers 1 bildet einen Vakuumbereich des Vakuumventils (= ein Bereich, in welchem ein Vakuum vorliegen kann). Der Ventilkörper 1 besitzt in einer weiteren Wand eine weitere Öffnung 8, sodass ein Durchgangskanal durch den Ventilkörper 1 ausgebildet ist. Dieser Durchgangkanal verläuft im Ausführungsbeispiel geradlinig in Richtung der Achse 3. Der Ventilkörper 1 besitzt im Ausführungsbeispiel noch eine von einem Deckelteil 48 (welches nur in Fig. 1 dargestellt ist) verschlossene Öffnung, durch welche eine Wartung vereinfacht wird. Diese Öffnung und das Deckelteil 48 könnten aber auch entfallen. Der Ventilkörper 1 kann an andere Teile einer Vakuumanlage angeschlossen werden, beispielsweise Vakuumkammern und/oder Rohrleitungen. Über die Ventilöffnung 2 steht der Innenraum 7 des Ventilkörpers 1 dann in der Offenstellung des

Verschlussglieds 4 mit dem Innenraum eines ersten Teils der Vakuumanlage und über die Öffnung 8 steht der Innenraum 7 mit dem Innenraum eines weiteren Teils der Vakuumanlage in Verbindung.

Das Vakuumventil könnte grundsätzlich auch als sogenanntes Insert ausgebildet sein, wobei der Ventilkörper 1 im Betriebszustand des Vakuumventils im Innenraum einer Vakuumkammer an einer Wand der Vakuumkammer und abgedichtet zu dieser angeordnet wäre, sodass die Ventilöffnung 2 mit einer Öffnung in der Wand der

Vakuumkammer fluchtet. Die gegenüberliegende Wand des Vakuumventils mit der Öffnung 8 könnte dann entfallen. Das Verschlussglied 4 ist auch dann in einem Vakuumbereich des Vakuumventils angeordnet. Das Verschlussglied 4 wird von einer Ventilstange 9 getragen, im

Ausführungsbeispiel über ein einerseits an der Ventilstange, andererseits am

Verschlussglied befestigtes Verbindungsstück (nicht bezeichnet in den Figuren). Die Ventilstange ist durch eine Öffnung im Ventilkörper 1 aus dem Vakuumbereich des Vakuumventils herausgeführt, wobei sie in Richtung ihrer Längsachse 10 und auch in eine hierzu rechtwinkelig stehende Richtung beweglich ist. Zu diesem Zweck dient im Ausführungsbeispiel ein Faltenbalg 1 1 . Auch eine andere Art einer

Vakuumdurchführung kann hierzu grundsätzlich vorgesehen sein, beispielsweise eine andere Art eines Balges oder eine Lineardurchführung, die selbst in eine Richtung rechtwinkelig zur Richtung der Durchführung gegenüber dem Ventilkörper abgedichtet verschiebbar gelagert ist. An der Venti lstange 9 ist außerhalb des Vakuumbereichs ein Verbindungsteil 2 starr befestigt. An diesem sind auf gegenüberliegenden Seiten jeweils ein Längshub- Schlitten 14 einer jeweiligen Längshub-Linearführung 13 starr befestigt. Ein jeweiliger Längshub-Schlitten 14 ist von einem Längshub-Führungsteil 15 der jeweiligen Längshub-Linearführung 13 linear verschiebbar geführt und zwar parallel zu einer Längs-Verstellrichtung 16. Die Längs-Verstellrichtung 16 liegt parallel zur Längsachse 10 der Ventilstange 9.

Mit dem Längshub-Führungsteil 15 einer jeweiligen Längshub-Linearführung 13 ist ein Querhub-Schlitten 1 8 einer jeweiligen Querhub-Linearführung 17 starr verbunden. Die Verbindung erfolgt im Ausführungsbeispiel jeweils über ein

Haltestück 34, an dem einerseits das Längshub-Führungsteil 15, andererseits der Querhub-Schlitten 18 befestigt ist. Separate Haltestücke 34 könnten aber auch entfallen. Die Querhub-Schlitten 18 sind jeweils von einem Querhub-Führungstei l 19 linear verschiebbar geführt, und zwar parallel zu einer Schräg-Verstellrichtung 20. Die Schräg-Verstellrichtung 20 steht schräg zur Längs-Verstellrichtung 16.

Die Querhub-Führungsteile 19 stehen in starrer Verbindung mit dem Ventilkörper 1 . Im Ausführungsbeispiel sind die Querhub-Führungsteile 19 jeweils an einem Holm 21 festgelegt, wobei die Holme 21 an einem Trägerteil 22 festgelegt sind, welches seinerseits am Ventilkörper 1 befestigt ist, vorzugsweise wie aus Fig. 23 ersichtlich mittels Schraubverbindungen. Die starre Verbindung der Querhub-Führungsteile 19 mit dem Ventilkörper 1 könnte auch in anderer Weise erfolgen.

Die Längshub-Linearführungen 13 und Querhub-Linearführungen 17 zusammen mit ihren Verbindungs- und Halterungsteilen (welche im Ausführungsbeispiel die Haltestücke 34, die Holme 21 und das Trägerteil 22 umfassen) sind Teile einer mit dem Ventilkörper 1 starr verbundenen Führungseinheit 23.

Im gezeigten Ausführungsbeispiel sind die Längshub- und Querhub-Führungsteile 15, 19 als Führungsschienen ausgebildet. Die Längshub-Linearführungen und

Querhub-Linearführungen 13, 17 sind somit Schienenführungen. Auch eine

Ausbildung in Form von Wellenführungen, bei denen die Längshub- und Querhub- Führungsteile 15, 19 von im Querschnitt runden Stäben gebildet werden, ist denkbar und möglich. Beispielsweise könnte eine Längshub- und/oder Querhub- Linearführung auch mittels mindestens einer Führungsbahn ausgebildet werden, in welche mindestens ein Führungsfortsatz (Stift oder Rolle) eingreift, also nach Art einer Kulissenführung. Die Führungsbahn kann beispielsweise von einem Langloch, einer Nut oder einer Wulst gebildet werden. Die Längshub-Linearführungen 13 und Querhub-Linearführungen 1 7 sind

günstigerweise als Wälzführungen ausgebildet. Auch eine Ausbildung als

G leitführungen könnte vorgesehen sein.

Mittels der Längshub-Linearführungen 13 und der Querhub-Linearführungen 17 kann das Verschlussglied von der Offenstellung über die Zwischenstellung in die

Schließstellung und zurück verstellt werden, wie weiter unten genauer erläutert wird. Die Verstellung zwischen der Offenstellung und der Zwischenstellung erfolgt hierbei parallel zur Längs-Verstellrichtung 16. Die Verstel lung zwischen der Zwischenstellung und der Schließstellung erfolgt parallel zu einer Quer-Verstellrichtung 30, die winkelig, vorzugsweise rechtwinkelig, zur Längs-Verstellrichtung 16 steht.

Vorzugsweise liegt die Quer-Verstellrichtung 30 parallel zur Achse 3 der

Ventilöffnung 2. Zur Verschiebung der Längshub-Schlitten 14 entlang der Längshub-Führungsteile 1 5 dient ein Längshub-Antrieb 25. Im Ausführungsbeispiel wird dieser von einer pneumatischen Kolben-Zylinder-Einheit gebildet, dessen Kolbenstange 26 parallel zur Längs-Verstellrichtung 16 liegt und mit dem Verbindungsteil 12 verbunden ist. Die Verbindung erfolgt hierbei über ein Übertragungsstück 27. Die Kolbenstange 26 ist am Übertragungsstück 27 festgelegt. Das Übertragungsstück ist gegenüber dem Verbindungsteil 12 bezogen auf die Längs-Verstellrichtung 16 unverschiebbar verbunden, aber bezogen auf die Quer-Verstellrichtung 30 verschiebbar. Zu diesem Zweck sind Verbindungsbolzen 28 vorgesehen, welche im Bereich ihrer beiden Enden am Verbindungsteil 12 gehalten sind und eine Ausnehmung des

Verbindungsteils 12 überqueren. Die Verbindungsbolzen 28 durchsetzen

Durchgangsöffnungen 29 des Übertragungsstücks 27, sodass das Übertragungsstück 27 gegenüber den Verbindungsbolzen 28 verschiebbar geführt ist.

Der Zylinder der Kolben-Zylinder-Einheit des Längshub-Antriebs 25 ist in einen Antriebsblock 35 integriert, wobei der Zylinderraum von einer Ausnehmung des Antriebsblocks 35 gebildet wird. Es könnte aber auch mindestens eine separate Kolben-Zylinder-Einheit vorgesehen sein.

Im Ausführungsbeispiel durchsetzt die Ventilstange 9 das Übertragungsstück 27 mit Spiel (sodass die Verstellung des Verschlussglieds 4 zwischen der Zwischenstellung und der Schließstellung und die damit einhergehende Bewegung der Ventilstange 9 ermöglicht wird). Beispielsweise könnte der Längshub-Antrieb auch zwei Kolben- Zylinder-Einheiten umfassen, die beidseitig der Ventilstange 9 angeordnet sind.

Eine in die Längs-Verstellrichtung 16 unverschiebbare, aber in die Quer- Verstellrichtung 30 verschiebbare Verbindung zwischen dem Längshub-Antrieb 25 und dem Längshub-Schlitten 14 könnte auch in anderer Form realisiert sein.

Im Weiteren könnte auch eine sowohl in Richtung der Längs-Verstellrichtung 16 als auch in Richtung der Quer-Verstellrichtung 30 unverschiebbare Verbindung zwischen dem Längshub-Antrieb 25 und dem Längshub-Schlitten 14 vorgesehen sein. Der Längshub-Antrieb 25 (zusammen mit entsprechenden Halteteilen) würde sich dann bei der Verschiebung des Verschlussgliedes 4 und der Ventilstange 9 in die Quer- Verstellrichtung 30 mit diesen mitverschieben. Zur Verschiebung der Querhub-Schlitten 18 entlang der Querhub-Führungsteile 19 dient ein Querhub-Antrieb 31 . 1m Ausführungsbeispiel wird dieser von

pneumatischen Kolben-Zyiinder-Einheiten gebildet. Die Kolbenstangen 32 dieser Kolben-Zyiinder-Einheiten liegen parallel zur Schräg-Verstellrichtung 20 und sind mit dem Querhub-Schlitten 1 8 verbunden . Im Ausführungsbeispiel sind die

Kolbenstangen 32 hierzu jeweils an einem Anschlussplättchen 33 befestigt, welches am Haltestück 34 des jeweiligen Längshub-Führungsteils 1 5 befestigt ist. Auch andere Verbindungen der Kolbenstangen 32 mit den Querhub-Schlitten 18 sind denkbar und möglich. Die Verbindung ist zumindest bezogen auf die Richtung Schräg-Verstellrichtung 20 unbeweglich.

Die Zylinder der Kolben-Zylinder-Einheiten des Querhub-Antriebs 31 sind im

Ausführungsbeispiel in den Antriebsblock 35 integriert, wobei der jeweilige

Zylinderraum von einer Ausnehmung des Antriebsblocks 35 gebildet wird. Es könnten aber auch separate Kolben-Zylinder-Einheiten vorgesehen sein.

Der Längshub-Antrieb 25 könnte auch mehr als eine Kolben-Zylinder-Einheit aufweisen. Der Querhub-Antrieb könnte auch nur eine Kolben-Zylinder-Einheit oder auch mehr als zwei Kolben-Zyiinder-Einheiten aufweisen.

Der Längshub-Antrieb 25 und der Querhub-Antrieb 31 sind Teil einer

Antriebseinheit 36, die mit der Führungseinheit 23 verbunden ist. Im

Ausführungsbeispiel ist der Antriebsblock 35 an den Holmen 21 festgelegt. Andere Verbindungen zwischen der Antriebseinheit 36 und der Führungseinheit 23 sind denkbar und möglich.

Um das Vakuumventil ausgehend von seinem geöffneten Zustand zu schließen, wird zunächst der jeweilige Längshub-Schlitten 14 vom Längshub-Antrieb 25 entlang dem Längshub-Führungsteil 15 verschoben, wodurch eine lineare Verschiebung

(=Parailelverschiebung) des Verschlussgliedes 4 parallel zur Längs-Verstellrichtung 16 von seiner Offenstellung in seine Zwischenstellung erfolgt. In der Offenstellung P2016/053526

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(vgl. Fig. 2, 5-10, 1 7 und 18) des Verschlussgliedes 4 weist der jeweilige Längshub- Schlitten 14 eine erste Stellung relativ zum jeweiligen Längshub-Führungsteil 1 5 auf. In der Zwischenstellung (vgl. Fig. 3, 1 1 -13, 19 und 20) des Verschlussglieds 4 weist der jeweilige Längshub-Schlitten 14 eine zweite Stellung relativ zum jeweiligen Längshub-Führungsteil 1 5 auf. Die ersten und zweiten Stellungen des Längshub- Schlittens 14 können beispielsweise durch das Ende des Längshub-Antriebs 25 und/oder durch Anschläge und/oder durch eine Wegsteuerung festgelegt sein.

In der Folge werden die Querhub-Schlitten 18 vom Querhub-Antrieb 31 entlang den Querhub-Führungsteilen 19 von einer ersten Stellung, die der jeweilige Querhub- Schlitten 18 relativ zum jeweils zugeordneten Querhub-Führungsteil 19 einnimmt, in eine zweite Stellung verschoben, die der jeweilige Querhub-Schlitten 18 relativ zum jeweils zugeordneten Querhub-Führungsteil 19 einnimmt. Die ersten und zweiten Stellungen des Querhub-Schlittens 18 können beispielsweise durch das Ende des Hubs des Querhub-Antriebs 31 und/oder durch Anschläge und/oder durch eine Wegsteuerung oder eine Kraftsteuerung (eine solche Kraftsteuerung kann die gewünschte Anpresskraft des Verschlussgliedes 4 an den Ventilsitz einstellen) festgelegt werden. Bei der Verschiebung der Querhub-Schlitten 18 werden die Längshub-Führungsteile 15, an denen die Querhub-Schlitten 18 angebracht sind, mitverschoben. Die relative Lage der Längshub-Schlitten 14 zu den Längshub- Führungsteilen 15 ändert sich dadurch, und zwar erfolgt eine Verschiebung des jeweiligen Längshub-Schlittens relativ zum Längshub-Führungsteil in Richtung zur ersten Stellung des Längshub-Schlittens 14, welche der Längshub-Schlitten 14 in der Offenstellung des Verschlussglieds 4 relativ zum jeweils zugeordneten Längshub- Führungsteil 5 einnimmt. Die Position der Längshub-Schlitten 14 relativ zur Längs- Verstellrichtung 16 ändert sich hierbei nicht, aber es erfolgt eine

Parallelverschiebung der Längshub-Schlitten 14 parallel zur Quer-Verstellrichtung und eine damit einhergehende Parallelverschiebung der Ventilstange 9 und des Verschlussgliedes 4 parallel zur Quer-Verstellrichtung 30. Dadurch erfolgt die Verstellung des Verschlussgliedes 4 parallel zur Quer-Verstellrichtung von der

Zwischenstellung in die Schließstellung. Die Schließstellung des Verschlussglieds 4 ist in den Figuren 4, 14-16, 21 und 22 dargestellt. Die Verstellung des Verschlussgliedes 4 von der Schließstellung in die Offenstellung erfolgt in der umgekehrten Weise wie zuvor beschrieben. Die Ventilstange 9 erstreckt sich bezogen auf die Längs-Verstellrichtung 16 über den Bereich, in welchem sich die Längshub-Schlitten 14 befinden, hinaus in eine vom Verschlussglied 4 weg gerichtete Richtung. In diesem Abschnitt ihrer

Längserstreckung, vorzugsweise im Bereich ihres vom Verschlussglied 4

abgelegenen Endes, stützt sich die Ventilstange 9 in der Schließstellung des

Verschlussgliedes 4 an einem ventilkörperfest gehaltenen Anschlag 47 ab. Der

Anschlag 47 liegt, bezogen auf die Quer-Verstellrichtung 30 auf der gleichen Seite der Ventilstange 9 wie der Ventilsitz 5. Durch diese Abstützung der Ventilstange 9 werden die auf die Linearführungen 13, 17 in der Schließstellung des

Verschlussgliedes 4 einwirkenden Momente verringert, vorzugsweise zumindest im Wesentlichen aufgehoben (wenn sich das Verbindungsteil 1 2 in der M itte der

Ventilstange 9 befindet, wie dies bevorzugt ist). Der Anschlag 47 ist günstigerweise elastisch ausgebildet, vorzugsweise mit einer Elastizität ähnlich dem Dichtring 6.

Der Winkel 37, den die Schräg-Verstellrichtung 20 mit der Längs-Verstellrichtung 16 einsch ließt, ist günstigerweise kleiner als 45° und größer als 4°, wobei ein Winkel 37 im Bereich von 5° bis 20° bevorzugt ist. Beispielsweise kann der Winkel 37 etwa 7,5° betragen.

Die Quer-Verstellrichtung 30 liegt in der von der Längs-Verstellrichtung 16 und Quer-Verstellrichtung 30 aufgespannten Ebene. Mit anderen Worten ist die Schräg- Verstellrichtung um eine rechtwinkelig zur Längs-Verstellrichtung 16 und

rechtwinkelig zur Quer-Verstellrichtung 30 stehende Achse gegenüber der Längs- Verstellrichtung 16 um den Winkel 37 gedreht. Um das Verschlussglied auch bei einem Ausfall des Betriebsmittels des Längshub- und Querhub-Antriebs 25, 31 , also im Ausführungsbeispiel Pressluft, in der

Schließstellung festzulegen, dient eine Feststellvorrichtung. Diese umfasst ein erstes Feststellglied 38, welches im Normalbetrieb, also wenn das Betriebsmittel für den Längshub- und Querhub-Antrieb 25, 31 vorhanden ist, mittels eines Aktuators 39 gegen die Kraft von Federn 40 von einem zweiten Feststellglied 41 beabstandet ist. Das erste Feststellglied 38 ist an einem ventilkörperfesten Teil, im

Ausführungsbeispiel an einem der Holme 21 gegen die Kraft der mindestens einen Feder 40 verschiebbar gehalten und das zweite Feststellglied ist gegenüber dem Querhub-Schlitten 18 unverschiebbar gehalten, im Ausführungsbeispiel ist es am dem Holm 21 gegenüberliegenden Haltestück 34 angebracht. Der Aktuator 39 wird im Ausführungsbeispiel von einer Kolben-Zylinder-Einheit gebildet, dessen Zylinder in den Holm 21 integriert ist und dessen Kolben 42 über eine Kolbenstange m it dem ersten Feststellglied 38 verbunden ist.

Bei Ausfall des Betriebsmittels wird das erste Feststellglied 38 von den Federn 40 an das zweite Feststellglied 41 angedrückt, wobei die zusammenwirkenden Flächen Reibflächen sein können oder auch Verzahnungen aufweisen können. Wenn das erste Feststellglied 38 an das zweite Feststellglied 41 angedrückt ist, so werden hierdurch die Positionen der Querhub-Schlitten 18 relativ zu den Querhub- Führungsteilen 19 fixiert. Das Verschlussglied 4 bleibt dadurch auch bei Ausfall des Betriebsmittels an den Ventilsitz 5 angedrückt.

Auch modifizierte Ausbildungsformen von Feststellvorrichtungen sind denkbar und möglich. So könnte nur eine Feder 40 oder es könnten mehr als zwei Federn 40 vorhanden sein. Anstelle von Konstruktionen mit Druckfedern wären beispielsweise auch Konstruktionen mit Zugfedern vorstellbar.

Auch eine in analoger Weise ausgebildete Feststellvorrichtung zur Fixierung des Verschlussgliedes 4 in der Offenstellung bei Ausfall des Betriebsmittels für den Längshub-Antrieb 25 und Querhub-Antrieb 31 könnte zusätzlich oder alternativ vorgesehen sein. Feststellglieder dieser Feststellvorrichtung könnten einerseits an einem ventilkörperfesten Teil, andererseits an einem mit dem Längshub-Schlitten 14 mitbewegten Teil angeordnet sein. Um eine synchrone Bewegung der Querhub-Schlitten 18 entlang der Querhub- Führungsteile 19 sicherzustellen, sind diese vorteilhafterweise über ein

Verbindungsstück 43 miteinander verbunden. Dieses ist im Ausführungsbeispiel ein Blech, welches mit den beiden Haltestücken 34 verschraubt ist.

Um die korrekte Abfolge der Betätigungen durch den Längshub-Antrieb 25 und Querhub-Antrieb 31 zu erreichen, dient eine Folgesteuerung 44 (vgl. insbesondere Fig. 3 und 4; in Fig. 23 ist diese weggelassen). Solche Folgesteuerungen sind bekannt, beispielsweise aus dem eingangs genannten Stand der Technik entsprechend der US 8, 177, 190 B2, und müssen an dieser Stelle nicht weiter erläutert werden.

Zur Erfassung der jeweils vorliegenden Stellung des Verschlussgliedes 4 dienen in der Antriebseinheit 36 angeordnete Lagemelder (nicht sichtbar in den Figuren), mit denen Auslöseteile 45 (vgl. insbesondere Fig. 23) zusammenwirken.

Anstelle von pneumatischen Antrieben für den Längshub-Antrieb und/oder Querhub-Antrieb sind auch von anderen Betriebsmitteln betriebene Antriebe einsetzbar, beispielsweise elektrisch betriebene Antriebe, z.B. Elektromotoren,

Linearantriebe usw. Solche elektrisch betriebene Antriebe können beispielsweise in Form von Zahnstangenantrieben, Spindelantrieben usw. ausgebildet sein.

Es kann eine mit den jeweiligen Antrieben ausgestattete Antriebseinheit 36 bereitgestellt werden, die mit der Führungseinheit 23 verbunden wird. Die

Führungseinheit 23 kann hierbei für unterschiedliche Arten von Antrieben gleich ausgebildet sein. Es ist somit eine„Trennebene " zwischen der Antriebseinheit 36 und der Führungseinheit 23 vorhanden. Somit wird ein modularer Aufbau bereitgestellt. Je nach gewünschter Antriebsart kann ein geeignetes Modul einer Antriebseinheit 36 mit der Führungseinheit verbunden werden. Auch ein

nachträglicher Austausch der Antriebseinheit 36 ist möglich, wobei die Antriebseinheit 36 von der Führungseinheit 23 als Ganzes abgenommen wird und durch eine gewünschte andere Antriebseinheit 36 ersetzt wird.

Auch ein Service des Vakuumventils im Falle eines Defekts in der Antriebseinheit oder auch eines Defekts in der Führungseinheit wird dadurch wesentlich vereinfacht.

Unterschiedliche Modifikationen des gezeigten Ausführungsbeispiels sind denkbar und möglich, ohne den Bereich der Erfindung zu verlassen. So könnte das

Verschlussglied beispielsweise an zwei oder mehr parallelen Ventilstangen angebracht sein. Denkbar und möglich wäre auch der Einsatz nur einer Längshub- Linearführung und/oder nur einer Querhub-Linearführung oder des Einsatzes von mehr als zwei Längshub-Linearführungen und/oder Querhub-Linearführungen.

L e g e n d e

den Hinweisziffe

1 Ventilkörper 25 Längshub-Antrieb

2 Ventilöffnung 26 Kolbenstange

3 Achse 30 27 Übertragungsstück

4 Verschlussglied 28 Verbindungsbolzen

5 Ventilsitz 29 Durchgangsöffnung

6 Dichtring 30 Quer-Verstellrichtung

7 Innenraum 31 Querhub-Antrieb

8 Öffnung 35 32 Kolbenstange

9 Ventilstange 33 Anschlussplättchen

10 Längsachse 34 Haltestück

1 1 Faltenbalg 35 Antriebsblock

12 Verbindungsteil 36 Antriebseinheit

1 3 Längshub-Linearführung 40 37 Winkel

14 Längshub-Schlitten 38 erstes Feststellglied

1 5 Längshub-Führungsteil 39 Aktuator

16 Längs-Verstellrichtung 40 Feder

17 Querhub-Linearführung 41 zweites Feststellglied

1 8 Querhub-Schlitten 45 42 Kolben

19 Querhub-Führungsteil 43 Verbindungsstück

20 Schräg-Versteilrichtung 44 Folgesteuerung

21 Holm 45 Auslöseteil

22 Trägerteil 46 Auslöseteil

23 Führungseinheit 50 47 Anschlag

24 Abdeckblech 48 Deckelteil

Claims

Patentansprüche Vakuumventil umfassend

- einen Ventilkörper (1 ) mit einer eine Achse (3) aufweisenden Ventilöffnung (2), die von einem Ventilsitz (5) umgeben ist,

- ein Verschlussglied (4), welches zwischen einer Offenstellung, in der es die Ventilöffnung (2) freigibt, und einer Zwischenstellung, in der es die

Ventilöffnung (2) überdeckt aber vom Ventilsitz (5) abgehoben ist, parallel zu einer Längs-Verstellrichtung (16) verstellbar ist und welches zwischen der Zwischenstellung und einer Schließstellung, in der es am Ventilsitz (5) anliegt, parallel zu einer Quer-Verstellrichtung (30) verstellbar ist,

- eine das Verschlussglied (4) tragende Ventilstange (9) ,

- eine Längshub-Linearführung (13), welche einen mit der Ventilstange (9) verbundenen Längshub-Schlitten (14) und ein Längshub-Führungsteil (15) aufweist, von dem der Längshub-Schlitten (14) in die Längs-Verstellrichtung (16) linear verschiebbar geführt ist,

- einen Längshub-Antrieb (25), von dem zur Verstellung des Verschlussgliedes (4) zwischen der Offenstellung und der Zwischenstellung der Längshub- Schlitten (14) gegenüber dem Längshub-Führungsteil (1 5) verschiebbar ist, und

- einen Querhub-Antrieb (31 ) zur Verstellung des Verschlussgliedes (4) zwischen der Zwischenstellung und der Schließstellung,

dadurch gekennzeichnet, dass das Vakuumventil im Weiteren eine Querhub- Linearführung (17) umfasst, welche einen mit dem Längshub-Führungsteil (1 5) verbundenen Querhub-Schlitten (18) und ein Querhub-Führungsteil (19) umfasst, von dem der Querhub-Schlitten (18) in eine schräg zur Längs- Verstellrichtung (16) stehende Schräg-Verstellrichtung (20) linear verschiebbar geführt ist,

wobei zur Verstellung des Verschlussgliedes (4) zwischen der Zwischenstellung und der Schließstellung der Querhub-Schlitten (18) vom Querhub-Antrieb (31 ) gegenüber dem Querhub-Führungsteil (19) verschiebbar ist und hierbei auch eine Verschiebung des Längshub-Führungsteils (15) gegenüber dem

Längshub-Sch litten (14) erfolgt.

2. Vakuumventil nach Anspruch 1 , dadurch gekennzeichnet, dass die Schräg- Verstellrichtung (20) gegenüber der Längs-Verstellrichtung (16) um einen Winkel (37) von weniger als 45° geneigt ist.

3. Vakuumventil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Schräg- Verstellrichtung (20) gegenüber der Längs-Vertellrichtung (16) um einen Winkel (37) von mehr als 4° geneigt ist.

4. Vakuumventil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass die Schräg- Verstellrichtung (20) mit der Längs-Verstellrichtung (16) einen Winkel (37) einschließt, der im Bereich von 5° bis 20° liegt.

5. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Schräg-Verstellrichtung (20) in der von der Längs-Verstellrichtung (16) und Quer-Verstellrichtung (30) aufgespannten Ebene liegt.

6. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, dass die Quer-Verstellrichtung (30) rechtwinkelig zur Längs-Verstellrichtung (16) steht.

7. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass die Quer-Verstellrichtung (30) parallel zur Achse (3) der Ventilöffnung (2) liegt.

8. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 7, dadurch gekennzeichnet, dass die Ventilstange (9) eine parallel zur Längs-Verstellrichtung (16) liegende Längsachse (10) aufweist.

9. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Verbindung des Längshub-Schlittens (14) mit dem Längshub-Antrieb (25) eine Beweglichkeit parallel zur Quer-Verstellrichtung (30) aufweist.

10. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass der Längshub-Schlitten (14) mit der Ventilstange (9) starr verbunden ist.

1 1 . Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 10, dadurch gekennzeichnet, dass der Querhub-Schlitten (1 8) mit dem Längshub-Führungsteil (1 5) starr verbunden ist.

1 2. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 1 1 , dadurch gekennzeichnet, dass beidseitig eines Verbindungsteils (12), welches mit der Ventilstange (9) verbunden ist, jeweils ein Längshub-Schlitten (14) angebracht ist, der von einem jeweiligen Längshub-Führungsteil (1 5) parallel zur Längs-Verstellrichtung verschiebbar geführt ist, wobei die beiden Längshub-Führungsteile (15) jeweils mit einem Querhub-Schlitten (1 8) verbunden sind, der von einem jeweiligen Querhub-Führungsteil (19) parallel zur Schräg-Verstellrichtung (20) verschiebbar geführt ist.

13. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 1 2, dadurch gekennzeichnet, dass eine Antriebseinheit (36), welche den Längshub-Antrieb (25) und den Querhub-Antrieb (31 ) aufweist, mit einer Führungseinheit (23), welche die mindestens eine Längshub-Linearführung (13) und die mindestens eine

Querhub-Linearführung (17) umfasst, verbunden ist und von dieser als Ganzes abnehmbar ist.

14. Vakuumventil nach einem der Ansprüche 1 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass eine Feststellvorrichtung zur Festlegung einer Stellung des

Verschlussgliedes (4) im Falle des Ausfalls eines Betriebsmittels des Längshub- Antriebs (25) und Querhub-Antriebs (31 ) vorhanden ist, wobei in einem

Normalbetrieb mittels eines vom Betriebsmittel betriebenen Aktuators (39) ein erstes Feststellglied (38) gegen die Kraft einer Feder (40) von einem zweiten Feststellglied (41 ) distanziert ist und bei Ausfall des Betriebsmittels von der Feder (40) gegen das zweite Feststellglied (41 ) angedrückt ist und hierdurch eine Verstellung des Versch lussgliedes (4) blockiert. 5. Vakuumventil nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, dass im Falle des Ausfalls des Betriebsmittels das in seiner Sch ließstellung sich befindende Verschlussglied (4) von der Feststellvorrichtung in der Schließstellung gehalten ist, wobei das erste Feststellglied (38) an einem ventilkörperfesten Teil gegenüber der Kraft der Feder (40) verschiebbar gehalten ist und das zweite

Feststellglied (41 ) sich bei einer Verschiebung des Querhub-Schlittens (1 8) entlang des Querhub-Führungsteils (19) mit dem Querhub-Schlitten (18) mitbewegt.