JPH11351419A

JPH11351419A - 無摺動ゲート弁

Info

Publication number: JPH11351419A
Application number: JP15934398A
Authority: JP
Inventors: Hiromi Morita; 広美森田; Norikimi Irie; 則公入江
Original assignee: Irie Koken Co Ltd
Current assignee: Irie Koken Co Ltd
Priority date: 1998-06-08
Filing date: 1998-06-08
Publication date: 1999-12-24

Abstract

(57)【要約】【課題】従来の無摺動ゲート弁においては、直進機構
と回転機構を用いて弁板を開口に対して開閉弁させる構
成のみであったため、構造が複雑でコストダウンが困難
であった。【解決手段】本発明による無摺動ゲート弁は、弁板
(2)と弁棒(31)を保持するリンクフレーム(18)を複数の
リンク(21,22,25,26)とカムフォロア(21〜24,27〜30)並
びにガイド溝(7〜10)を用いて垂直動作と水平動作をさ
せ、弁板(2)の垂直動作と水平動作によって開口(3)に対
する開閉弁を行う構成である。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、無摺動ゲート弁に
関し、特に、複数のリンクとカムフォロアをガイド溝に
沿って垂直移動から水平移動に変えることにより、弁板
を無摺動で開閉弁させるための新規な改良に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、用いられていたこの種の無摺動ゲ
ート弁としては、特公平５−４９８６６号公報及び特開
平７−８３３３６号公報に開示された構成があり、何れ
も弁板を真空領域の外部から直進動作と回転動作の組合
わせで駆動させてシール（閉弁）動作を行うようにして
いた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】従来の無摺動ゲート弁
は、以上のように構成されていたため、次のような課題
が存在していた。すなわち、シール動作は直進動作後の
回転動作でシール面へ弁板を押圧するため、弁板に回転
自在な機構を設けたり、あらかじめ回転角度に対応した
傾斜を設けるとか、回転中心をシール面近傍におく等の
処置により、弁板上部と下部の回転半径の差により生じ
る押圧移動量の差を軽減することが必要であり、機構が
複雑となりコスト上昇の一因となっていた。又、特に真
空チャンバーに直接ゲート弁本体のみを取り付ける場合
（ビルトイン、インサートタイプ）、チャンバーの製作
精度やバルブの取り付け精度の誤差から、ゲート弁の弁
板のシール面に対する追随性を弁箱付きの場合より大き
くすることが求められ、その場合、従来の回転動作によ
るシールでは、弁棒のたわみを利用してたわみ範囲を規
定値内に設定したり、あるいはバルブ全体を可動にして
位置決めを行う等の工夫が必要であった。

【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、複数のリンクとカムフォロ
アをガイド溝に沿って垂直移動から水平移動に変えるこ
とにより、弁板を無摺動で開閉弁させるようにした無摺
動ゲート弁を提供することを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明による無摺動ゲー
ト弁は、弁箱の開口を、前記弁箱に接続されたエアシリ
ンダ及びシールベローズを介して移動する弁棒に設けら
れた弁板で開閉するようにした無摺動ゲート弁におい
て、前記弁箱とエアシリンダを接続する１対のガイドフ
レームと、前記各ガイドフレームの内面の上部と下部に
形成された上部カウンター側ガイド溝及び上部移動側ガ
イド溝と下部カウンター側ガイド溝及び下部移動側ガイ
ド溝と、前記各移動側ガイド溝の上部に形成された水平
移動溝と、前記弁棒の下部に接続され全体形状がほぼＵ
字形よりなると共に前記シールベローズが接続された移
動側リンクフレームと、前記移動側リンクフレームに設
けられた１対のカウンターリンクフレームと、前記移動
側リンクフレームとカウンターリンクフレームとを接続
する１対の第１、第２リンク及び１対の第３、第４リン
クと、前記各リンクの外側に各々設けられ前記各ガイド
溝に係合する８個のカムフォロアと、前記カウンターフ
レームに設けられた連結ブロックと、前記連結ブロック
に接続された前記エアシリンダの推進軸と、前記連結ブ
ロックと移動側リンクフレームとの間に設けられた圧縮
ばねと、を備え、前記開口に対して前記弁板が開いた開
弁状態下で、前記エアシリンダを駆動させて前記各カウ
ンターリンクフレームを上昇させ、前記移動側リンクフ
レームに設けられた前記カムフォロアが前記各移動側ガ
イド溝から水平移動溝に移動することにより前記弁棒が
ほぼ水平移動すると共に前記弁板が前記開口を塞いで閉
弁状態とする構成であり、さらに、前記各水平移動溝に
はシール押付量調整ねじが突出自在に設けられ、このシ
ール押付量調整ねじの突出量により前記弁体の押付量を
調整する構成である。

【０００６】

【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明による無
摺動ゲート弁の好適な実施の形態について説明する。図
１から図６において符号１で示されるものは弁板２が開
口３を開閉弁自在に構成された弁箱であり、この弁箱１
の下面には互いに間隔を置いて配設された１対のガイド
フレーム４，５が取付ねじ６により固定されている。

【０００７】前記各ガイドフレーム４，５の内面には、
図５に特に示すように、その上部に、上部カウンター側
ガイド溝７及び上部移動側ガイド溝８が設けられ、その
下部に下部カウンター側ガイド溝９及び下部移動側ガイ
ド溝１０が設けられている。前記各移動側ガイド溝８，
１０の上部には水平方向に延設された水平移動溝８Ａ，
１０Ａが形成されていると共に、この各水平移動溝８
Ａ，１０Ａ内にはシール押付量調整ねじ１１が突出没自
在に設けられ、この突出量により後述の弁板２の押付量
を調整することができるように構成されている。

【０００８】前記各ガイドフレーム４，５の下面を用い
てエアシリンダ１２が取付けられ、このエアシリンダ１
２の推進軸１３には連結ブロック１４が接続され、この
連結ブロック１４に設けられた軸１５の両端には１対の
カウンターリンクフレーム１６，１７が接続され、この
各カウンターリンクフレーム１６，１７に隣接して全体
形状がＵ字型をなす移動側リンクフレーム１８が設けら
れている。この移動側リンクフレーム１８及び各カウン
ターリンクフレーム１６，１７の外側には、その上部
に、第１、第２リンク１９，２０及び１対ずつのカムフ
ォロア２１，２２と２３，２４が設けられ、その下部
に、第３、第４リンク２５，２６及び１対ずつのカムフ
ォロア２７，２８と２９，３０が設けられている。

【０００９】図５では、ガイドフレーム５は、一方のみ
しか図示していないが、全く同一構成のガイドフレーム
４が設けられており、前記カムフォロア２１，２３は上
部移動側ガイド溝８に、前記カムフォロア２２，２４は
上部カウンター側ガイド溝７に、前記カムフォロア２
７，２９は下部移動側ガイド溝１０に、前記カムフォロ
ア２８，３０は下部カウンター側ガイド溝９に、各々作
動自在に係合している。

【００１０】前記移動側リンクフレーム１８の底部１８
ａには、前記弁板２に接続された弁棒３１が接続されて
いると共に、図１及び図６で示すように、移動側リンク
フレーム１８とカウンターリンクフレーム１６，１７の
連結ブロック１４との間には圧縮ばね４０が設けられて
おり、この圧縮ばね４０のばね力によって移動側リンク
フレーム１８ならびに弁棒３１、弁板２の自重を支え、
直進動作中の水平移動運動を抑制するように構成されて
いる。なお、この移動側リンクフレーム１８と弁箱１の
下面との間には、弁棒３１と二重構造としてシールベロ
ーズ５０が設けられている。

【００１１】次に、動作について説明する。まず、図６
で示す模式図に基づいて説明する。図６においてはカウ
ンターリンクフレーム１６，１７と連結ブロック１４、
軸１５は簡略化して一体形状として示している。図６の
（Ａ）は開弁状態を示すもので、エアシリンダ１２が非
駆動状態であるため、圧縮ばね４０は非圧縮状態であ
り、各カムフォロア２１，２２，２７，２８は各ガイド
溝７，８，９，１０の下部に位置している。

【００１２】次に、エアシリンダ１２を駆動させて推進
軸１３を上昇させると、各リンクフレーム１６，１７，
１８は上昇し、移動側ガイド溝１０の最上端に達し、弁
板２は開口３に対応した状態となる。さらに、エアシリ
ンダ１２を駆動させると、カウンターリンクフレーム１
６，１７のみがガイド溝７，９に沿って上昇するので、
第１〜第４リンク１９，２０，２５，２６が作用し、ほ
ぼ水平位置まで傾動し、各カムフォロア２１，２３，２
７，２９が移動側ガイド溝８，１０の水平移動溝８Ａ，
１０Ａに沿って水平移動するため、移動側リンクフレー
ム１８のみが水平移動すると同時に圧縮ばね４０が図６
の（Ｃ）のように傾動し、開口３に対して弁板２が完全
に閉じ、閉弁状態となる。また、開弁から閉弁へは、図
６の（Ｃ）から（Ａ）のように前述と逆の動作により行
われる。

【００１３】また、前述の開弁から閉弁動作について
は、図６の模式図に基づいて行った場合について述べた
が、前述の弁棒３１及び弁板２の動作状態については、
図２の（Ａ）〜（Ｃ）に示す通りである。また、各カム
フォロア２１，２２，２３，２４．２７，２８，２９，
３０の各ガイド溝７，８，９，１０に対する動作は、図
３及び図４に示す通りであり、特に、各水平移動溝８
Ａ，１０Ａに設けられたシール押付量調整ねじ１１にカ
ムフォロア２１，２３，２７，２９が当接して弁板２が
開口３を閉弁する状態となるが、その時のシール具合の
調整は、このシール押付量調整ねじ１１の突出量により
自在に調整することができる。

【００１４】

【発明の効果】本発明による無摺動ゲート弁は、以上の
ように構成されているため、次のような効果を得ること
ができる。すなわち、弁棒に接続された各リンクフレー
ムの各カムフォロアをガイドフレームの各ガイド溝に沿
って移動させることにより弁板の上下動を案内し、この
ガイド溝の上部に形成された水平移動溝にカムフォロア
を案内させることにより移動側リンクフレームを水平移
動させ、同時に弁板を水平移動させて閉弁状態を得るた
め、従来のように回転機構を必要とせず、構造が簡単で
かつ確実な無塵開閉弁動作を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による無摺動ゲート弁を示す正面図であ
る。

【図２】図１の開弁、閉弁状態を示す動作説明図であ
る。

【図３】図１の開弁及び閉弁時のカムフォロアの動作を
示す動作説明図である。

【図４】各カムフォロアの水平移動を示す説明図であ
る。

【図５】図１の要部を示す拡大斜視図である。

【図６】図１の開閉弁の状態を示す模式図である。

【符号の説明】

１弁箱２弁体３開口４，５ガイドフレーム７上部カウンター側ガイド溝８上部移動側ガイド溝９下部カウンター側ガイド溝１０下部移動側ガイド溝８Ａ，１０Ａ水平移動溝１１シール押付量調整ねじ１３推進軸１４連結ブロック１５軸１６，１７カウンターフレーム１８移動側リンクフレーム１９，２０，２５，２６リンク２１〜２４，２７〜３０カムフォロア３１弁棒４０圧縮ばね

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】弁箱(1)の開口(3)を、前記弁箱(1)に接
続されたエアシリンダ(12)及びシールベローズ(50)を介
して移動する弁棒(31)に設けられた弁板(2)で開閉する
ようにした無摺動ゲート弁において、前記弁箱(1)とエ
アシリンダ(12)を接続する１対のガイドフレーム(4,5)
と、前記各ガイドフレーム(4,5)の内面の上部と下部に
形成された上部カウンター側ガイド溝(7)及び上部移動
側ガイド溝(8)と下部カウンター側ガイド溝(9)及び下部
移動側ガイド溝(10)と、前記各移動側ガイド溝(8,10)の
上部に形成された水平移動溝(8A,10A)と、前記弁棒(31)
の下部に接続され全体形状がほぼＵ字形よりなると共に
前記シールベローズ(50)が接続された移動側リンクフレ
ーム(18)と、前記移動側リンクフレーム(18)に設けられ
た１対のカウンターリンクフレーム(16,17)と、前記移
動側リンクフレーム(18)とカウンターリンクフレーム(1
6,17)とを接続する１対の第１、第２リンク(19,20)及び
１対の第３、第４リンク(25,26)と、前記各リンク(19,2
0,25,26)の外側に各々設けられ前記各ガイド溝(7〜10)
に係合する８個のカムフォロア(21〜24,27〜30)と、前
記カウンターフレーム(16,17)に設けられた連結ブロッ
ク(14)と、前記連結ブロック(14)に接続された前記エア
シリンダ(12)の推進軸(13)と、前記連結ブロック(14)と
移動側リンクフレーム(18)との間に設けられた圧縮ばね
(40)と、を備え、前記開口(3)に対して前記弁板(2)が開
いた開弁状態下で、前記エアシリンダ(12)を駆動させて
前記各カウンターリンクフレームを上昇させ、前記移動
側リンクフレーム(18)に設けられた前記カムフォロア(2
1,23,27,29)が前記各移動側ガイド溝(8,10)から水平移
動溝(8A,10A)に移動することにより前記弁棒(31)がほぼ
水平移動すると共に前記弁板(2)が前記開口(3)を塞いで
閉弁状態とする構成としたことを特徴とする無摺動ゲー
ト弁。
【請求項２】前記各水平移動溝(8A,10A)にはシール押
付量調整ねじ(11)が突出自在に設けられ、このシール押
付量調整ねじ(11)の突出量により前記弁体(2)の押付量
を調整することを特徴とする請求項１記載の無摺動ゲー
ト弁。