JPH10339376A - ゲートバルブ - Google Patents
ゲートバルブInfo
- Publication number
- JPH10339376A JPH10339376A JP9148065A JP14806597A JPH10339376A JP H10339376 A JPH10339376 A JP H10339376A JP 9148065 A JP9148065 A JP 9148065A JP 14806597 A JP14806597 A JP 14806597A JP H10339376 A JPH10339376 A JP H10339376A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- slider
- intermediate plate
- valve body
- opening
- valve
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
- F16K31/44—Mechanical actuating means
- F16K31/52—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam
- F16K31/523—Mechanical actuating means with crank, eccentric, or cam comprising a sliding valve
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/0281—Guillotine or blade-type valves, e.g. no passage through the valve member
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
- F16K3/00—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing
- F16K3/02—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor
- F16K3/16—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together
- F16K3/18—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members
- F16K3/182—Gate valves or sliding valves, i.e. cut-off apparatus with closing members having a sliding movement along the seat for opening and closing with flat sealing faces; Packings therefor with special arrangements for separating the sealing faces or for pressing them together by movement of the closure members by means of toggle links
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sliding Valves (AREA)
- Mechanically-Actuated Valves (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、ゲートバルブにおいて弁体の閉鎖
時に、弁体のシール材を均一に弾性変形させるように構
成することを目的としたものである。 【解決手段】 排気通路と連通する開口部を対向位置に
設けた箱形のバルブボディ内に、スライダーが駆動アー
ムを介してスライド可能に設置され、前記スライダーに
リンク機構を介して、前記開口部を開閉するためのシー
ル材付きの弁体が設けてあるゲートバルブにおいて、前
記弁体とスライダーとの間に中間プレートを介装し、前
記スライダーと中間プレートとをリンク結合させると共
に、前記弁体と中間プレートとは調整手段を介して連結
したことを特徴とするゲートバルブ。
時に、弁体のシール材を均一に弾性変形させるように構
成することを目的としたものである。 【解決手段】 排気通路と連通する開口部を対向位置に
設けた箱形のバルブボディ内に、スライダーが駆動アー
ムを介してスライド可能に設置され、前記スライダーに
リンク機構を介して、前記開口部を開閉するためのシー
ル材付きの弁体が設けてあるゲートバルブにおいて、前
記弁体とスライダーとの間に中間プレートを介装し、前
記スライダーと中間プレートとをリンク結合させると共
に、前記弁体と中間プレートとは調整手段を介して連結
したことを特徴とするゲートバルブ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、真空を利用した産
業分野に使用されるもので、弁体に付設したシール材が
均一に弾性変形し、確実に真空封止することを目的とし
たゲートバルブに関する。
業分野に使用されるもので、弁体に付設したシール材が
均一に弾性変形し、確実に真空封止することを目的とし
たゲートバルブに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、真空容器と排気系の間で構成され
る排気通路に設置するゲートバルブは、前記排気通路と
連通する開口部を対向位置に設けた箱形のバルブボディ
内にスライダーが駆動アームを介してスライド可能な状
態で設置され、該スライダーに数個のリンク機構を介し
て、前記開口部を封止するためのシール材が付設された
弁体が設けてあることが公知である。
る排気通路に設置するゲートバルブは、前記排気通路と
連通する開口部を対向位置に設けた箱形のバルブボディ
内にスライダーが駆動アームを介してスライド可能な状
態で設置され、該スライダーに数個のリンク機構を介し
て、前記開口部を封止するためのシール材が付設された
弁体が設けてあることが公知である。
【０００３】前記駆動アームは、バルブボディの側壁に
設けた真空封止機構を通して導入される運動で駆動さ
れ、駆動アームと共にスライダーがバルブボディ内でス
ライドするようになっている。そこで排気通路の開口部
を封止するべく、スライダーを開口部側へスライドさせ
ると、弁体も一緒に移動するが、弁体のスライドがバル
ブボディの内壁で制限されると、リンク機構が働いて、
弁体を開口部へ近接させ、弁体に付設されたシール材を
弾性変形させて、開口部を封止するようにしている。
設けた真空封止機構を通して導入される運動で駆動さ
れ、駆動アームと共にスライダーがバルブボディ内でス
ライドするようになっている。そこで排気通路の開口部
を封止するべく、スライダーを開口部側へスライドさせ
ると、弁体も一緒に移動するが、弁体のスライドがバル
ブボディの内壁で制限されると、リンク機構が働いて、
弁体を開口部へ近接させ、弁体に付設されたシール材を
弾性変形させて、開口部を封止するようにしている。
【０００４】
【発明が解決すべき課題】前記のような従来のゲートバ
ルブにおいては、開口部を封止した状態、すなわち弁体
に付設されたシール材を弾性変形する状態にした場合
に、シール材の変形方向での弁体とスライダー間の部品
の各部の寸法のばらつきと、それに対応するバルブボデ
ィ内側の各部の寸法のばらつきにより、弁体に付設され
たシール材が均一に変形しない為に真空封止ができなく
なるという問題点があった。また、前記問題点を解決す
るために、問題点の原因を構成する部品を高精度に加工
及び組立したり、部品を作り直すという対応をしなけれ
ばならなかった。
ルブにおいては、開口部を封止した状態、すなわち弁体
に付設されたシール材を弾性変形する状態にした場合
に、シール材の変形方向での弁体とスライダー間の部品
の各部の寸法のばらつきと、それに対応するバルブボデ
ィ内側の各部の寸法のばらつきにより、弁体に付設され
たシール材が均一に変形しない為に真空封止ができなく
なるという問題点があった。また、前記問題点を解決す
るために、問題点の原因を構成する部品を高精度に加工
及び組立したり、部品を作り直すという対応をしなけれ
ばならなかった。
【０００５】
【課題を解決する為の手段】本発明は、ゲートバルブの
弁体と、スライダーとの間に中間プレートを介装し、該
中間プレートとスライダーとをリンク機構により結合さ
せると共に、前記弁体と中間プレートとを、調整手段を
介して連結することにより、前記従来の問題点を解決し
たのである。
弁体と、スライダーとの間に中間プレートを介装し、該
中間プレートとスライダーとをリンク機構により結合さ
せると共に、前記弁体と中間プレートとを、調整手段を
介して連結することにより、前記従来の問題点を解決し
たのである。
【０００６】即ち本発明は、排気通路と連通する開口部
を対向位置に設けた箱形のバルブボディ内に、スライダ
ーが駆動アームを介してスライド可能に設置され、前記
スライダーにリンク機構を介して、前記開口部を開閉す
るためのシール材付きの弁体が設けてあるゲートバルブ
において、前記弁体とスライダーとの間に中間プレート
を介装し、前記スライダーと中間プレートとをリンク結
合させると共に、前記弁体と中間プレートとは調整手段
を介して連結したことを特徴とするゲートバルブであ
る。また、調整手段は、弁体と中間プレートを連結ねじ
で連結すると共に、弁体の角度を調整する調整ねじを付
設したものであり、調整ねじと、連結ねじは、開口部側
から調整可能にしたものである。
を対向位置に設けた箱形のバルブボディ内に、スライダ
ーが駆動アームを介してスライド可能に設置され、前記
スライダーにリンク機構を介して、前記開口部を開閉す
るためのシール材付きの弁体が設けてあるゲートバルブ
において、前記弁体とスライダーとの間に中間プレート
を介装し、前記スライダーと中間プレートとをリンク結
合させると共に、前記弁体と中間プレートとは調整手段
を介して連結したことを特徴とするゲートバルブであ
る。また、調整手段は、弁体と中間プレートを連結ねじ
で連結すると共に、弁体の角度を調整する調整ねじを付
設したものであり、調整ねじと、連結ねじは、開口部側
から調整可能にしたものである。
【０００７】前記本発明において、調整ねじと連結ねじ
を開口部側から調整可能にするとは、開口部を通して、
ドライバーなどの器具により、調整ねじと連結ねじを操
作できることをいう。従って調整ねじと連結ねじとを開
口部に露出させ、又はカバーを被着した場合にも、カバ
ーが容易に外せるようにしておくことをいう。
を開口部側から調整可能にするとは、開口部を通して、
ドライバーなどの器具により、調整ねじと連結ねじを操
作できることをいう。従って調整ねじと連結ねじとを開
口部に露出させ、又はカバーを被着した場合にも、カバ
ーが容易に外せるようにしておくことをいう。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明は、箱形のバルブボディ内
に、スライダーにより駆動される弁体で、排気通路と連
通する開口部を開閉するゲートバルブであって、前記弁
体に付設したシール材を均等に弾性変形させる為に、前
記スライダーと弁体との間に、スライダーとリンク機構
で連結された中間プレートを介装し、前記開口部壁へ弁
体のシール材が均等に当接できるように、前記中間プレ
ートと弁体とを調整手段を介して調整可能に連結したゲ
ートバルブである。前記調整手段は、開口部側から容易
に調整できるように構成してある。
に、スライダーにより駆動される弁体で、排気通路と連
通する開口部を開閉するゲートバルブであって、前記弁
体に付設したシール材を均等に弾性変形させる為に、前
記スライダーと弁体との間に、スライダーとリンク機構
で連結された中間プレートを介装し、前記開口部壁へ弁
体のシール材が均等に当接できるように、前記中間プレ
ートと弁体とを調整手段を介して調整可能に連結したゲ
ートバルブである。前記調整手段は、開口部側から容易
に調整できるように構成してある。
【０００９】
【実施例】以下本発明の実施例を図１、２、３に基づい
て説明する。図１は実施例のゲートバルブである。箱形
のバルブボディ１の上板１ａ及び下板１ｂが互いに対向
させて開口部２ａ、２ｂが形成してあり、各開口部２
ａ、２ｂの外側には接続フランジ３ａ、３ｂが固着して
ある。前記バルブボディ１の内部には、側壁に設けた真
空封止機構４を通して導入される運動により、駆動アー
ム５ａ、５ｂと共にスライダー６がバルブボディ１内で
長手方向に移動可能になるように設置してある。また、
スライダー６の両側には、ローラ７ａ、７ｂと８ａ、８
ｂが軸を直交させて設けてあり、スライダー６の移動が
バルブボディ１の内壁の所定の位置で案内されるように
なっている。
て説明する。図１は実施例のゲートバルブである。箱形
のバルブボディ１の上板１ａ及び下板１ｂが互いに対向
させて開口部２ａ、２ｂが形成してあり、各開口部２
ａ、２ｂの外側には接続フランジ３ａ、３ｂが固着して
ある。前記バルブボディ１の内部には、側壁に設けた真
空封止機構４を通して導入される運動により、駆動アー
ム５ａ、５ｂと共にスライダー６がバルブボディ１内で
長手方向に移動可能になるように設置してある。また、
スライダー６の両側には、ローラ７ａ、７ｂと８ａ、８
ｂが軸を直交させて設けてあり、スライダー６の移動が
バルブボディ１の内壁の所定の位置で案内されるように
なっている。
【００１０】前記開口部２ａの下壁には、中間プレート
９に取付けられた弁体１２のシール材１１が当接可能に
対向してあり、前記中間プレート９は、スライダー６と
リンク１０とによって連結され、前記スライダー６の移
動方向により、中間プレート９とスライダー６とを離接
させる方向へ移動させることができるようにしてある。
９に取付けられた弁体１２のシール材１１が当接可能に
対向してあり、前記中間プレート９は、スライダー６と
リンク１０とによって連結され、前記スライダー６の移
動方向により、中間プレート９とスライダー６とを離接
させる方向へ移動させることができるようにしてある。
【００１１】前記シール材１１が装着されている弁体１
２は、中間プレート９に調整ねじ１３と連結ねじ１４に
より結合されている。また、弁体１２にはローラ金具１
５を介し、先端ローラ１６が装備されている。図中３１
はハンドル軸１９の支持筒である。
２は、中間プレート９に調整ねじ１３と連結ねじ１４に
より結合されている。また、弁体１２にはローラ金具１
５を介し、先端ローラ１６が装備されている。図中３１
はハンドル軸１９の支持筒である。
【００１２】前記実施例について、その動作を説明す
る。先づゲートバルブを開放状態から閉鎖状態に真空封
止するには、ハンドル１８を回転し、ハンドル軸１９の
回転により、これに螺合した筒軸２０を図１中矢示２１
の方向へ移動させる。筒軸２０が移動すると、連結片２
２を介し、駆動アーム５ａが取付軸２３を中心にして矢
示２４の方向へ回動するので、駆動アーム５ｂを矢示２
５の方向へ突きっ出し、スライダー６を同方向へ押し出
す。スライダー６を矢示２５の方向へ押し出すと、リン
ク１０が起立方向に動くので、中間プレート９を矢示２
６の方向へ押し上げる。従って中間プレート９に固定し
た弁体１２も同方向へ移動し、その上面に固定したシー
ル材１１は開口部２ａの下部周縁に押しつけられて変形
し、該開口部２ａを密封する（図２）。
る。先づゲートバルブを開放状態から閉鎖状態に真空封
止するには、ハンドル１８を回転し、ハンドル軸１９の
回転により、これに螺合した筒軸２０を図１中矢示２１
の方向へ移動させる。筒軸２０が移動すると、連結片２
２を介し、駆動アーム５ａが取付軸２３を中心にして矢
示２４の方向へ回動するので、駆動アーム５ｂを矢示２
５の方向へ突きっ出し、スライダー６を同方向へ押し出
す。スライダー６を矢示２５の方向へ押し出すと、リン
ク１０が起立方向に動くので、中間プレート９を矢示２
６の方向へ押し上げる。従って中間プレート９に固定し
た弁体１２も同方向へ移動し、その上面に固定したシー
ル材１１は開口部２ａの下部周縁に押しつけられて変形
し、該開口部２ａを密封する（図２）。
【００１３】前記において、各調整ねじ１３、１３の上
端は、弁体１２の下面に当接して、弁体１２の上面と、
前記開口部２ａの周縁部下面とは、正確に平行に保た
れ、この状態で連結ねじ１４を締付けてあるので、弁体
１２が移動しても、前記平行性が崩れるおそれはない。
前記調整ねじ１３と、連結ねじ１４とは、図３に示すよ
うに、スライダー６の切欠き孔１７を介し、開口部２ｂ
側に露出しているので、ゲートバルブを使用したま々弁
体１２を正しい姿勢に調節することができる。
端は、弁体１２の下面に当接して、弁体１２の上面と、
前記開口部２ａの周縁部下面とは、正確に平行に保た
れ、この状態で連結ねじ１４を締付けてあるので、弁体
１２が移動しても、前記平行性が崩れるおそれはない。
前記調整ねじ１３と、連結ねじ１４とは、図３に示すよ
うに、スライダー６の切欠き孔１７を介し、開口部２ｂ
側に露出しているので、ゲートバルブを使用したま々弁
体１２を正しい姿勢に調節することができる。
【００１４】前記実施例において、ゲートバルブを開放
するには、ハンドル１８を前記と逆に回転し、筒軸２０
を図１中矢示２７の方向へ移動させると、連結片２２に
より、駆動アーム５ａが矢示２８の方向へ回動すると共
に、駆動アーム５ｂが矢示２９の方向へ移動し、これに
伴ってスライダー６も同方向へ移動する。従ってスライ
ダー６は倒れる方向へ回動し、中間プレート９と弁体１
２を矢示３０の方向へ下降させるので、シール材１１は
開口部２ａの周縁部下面から離れ、開口部２ａを開口す
ることになる。
するには、ハンドル１８を前記と逆に回転し、筒軸２０
を図１中矢示２７の方向へ移動させると、連結片２２に
より、駆動アーム５ａが矢示２８の方向へ回動すると共
に、駆動アーム５ｂが矢示２９の方向へ移動し、これに
伴ってスライダー６も同方向へ移動する。従ってスライ
ダー６は倒れる方向へ回動し、中間プレート９と弁体１
２を矢示３０の方向へ下降させるので、シール材１１は
開口部２ａの周縁部下面から離れ、開口部２ａを開口す
ることになる。
【００１５】
【発明の効果】本発明によれば、弁体とスライダーとの
間に中間プレートを介装し、弁体と中間プレートとを調
整ねじ及び連結ねじなどの調整手段で連結したので、ゲ
ートバルブ組立後、真空封止時におけるシール材の加圧
変形量を均一に調整し、真空封止を正確に保持し得る効
果がある。従って真空封止に関係する各構成部品につい
て高精度にする必要がなくなる効果もある。
間に中間プレートを介装し、弁体と中間プレートとを調
整ねじ及び連結ねじなどの調整手段で連結したので、ゲ
ートバルブ組立後、真空封止時におけるシール材の加圧
変形量を均一に調整し、真空封止を正確に保持し得る効
果がある。従って真空封止に関係する各構成部品につい
て高精度にする必要がなくなる効果もある。
【図１】この発明の実施例の一部を省略し、一部を破切
した平面図。
した平面図。
【図２】（ａ）同じく一部縦断正面図。 （ｂ）同じく弁体と中間プレートとの連結状態を示す一
部拡大断面図。 （ｃ）同じく中間プレートとスライダーとの連結状態を
示す一部拡大断面図。
部拡大断面図。 （ｃ）同じく中間プレートとスライダーとの連結状態を
示す一部拡大断面図。
【図３】同じく底面図。
１ バルブボディ ２ａ、２ｂ 開口部 ３ａ、３ｂ 接続フランジ ４ 真空封止機構 ５ａ、５ｂ 駆動アーム ６ スライダー ７ａ、７ｂ、８ａ、８ｂ ローラ ９ 中間プレート １０ リンク １１ シール材 １２ 弁体 １３ 調整ねじ １４ 連結ねじ １５ ローラ金具 １６ 先端ローラ １７ スライダーの切欠き孔 １８ ハンドル １９ ハンドル軸 ２０ 筒軸 ２２ 連結片 ２３ 取付軸 ３１ 支持筒
Claims (3)
- 【請求項１】 排気通路と連通する開口部を対向位置に
設けた箱形のバルブボディ内に、スライダーが駆動アー
ムを介してスライド可能に設置され、前記スライダーに
リンク機構を介して、前記開口部を開閉するためのシー
ル材付きの弁体が設けてあるゲートバルブにおいて、前
記弁体とスライダーとの間に中間プレートを介装し、前
記スライダーと中間プレートとをリンク結合させると共
に、前記弁体と中間プレートとは調整手段を介して連結
したことを特徴とするゲートバルブ。 - 【請求項２】 調整手段は、弁体と中間プレートを連結
ねじで連結すると共に、弁体の角度を調整する調整ねじ
を付設したことを特徴とする請求項１記載のゲートバル
ブ。 - 【請求項３】 調整ねじと、連結ねじは、開口部側から
調整可能にしたことを特徴とする請求項２記載のゲート
バルブ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9148065A JPH10339376A (ja) | 1997-06-05 | 1997-06-05 | ゲートバルブ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9148065A JPH10339376A (ja) | 1997-06-05 | 1997-06-05 | ゲートバルブ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10339376A true JPH10339376A (ja) | 1998-12-22 |
Family
ID=15444422
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9148065A Pending JPH10339376A (ja) | 1997-06-05 | 1997-06-05 | ゲートバルブ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10339376A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005076845A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ |
| WO2008120837A1 (en) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Presys Co., Ltd | Rectangular gate valve |
| JP2011157989A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
| KR20160103339A (ko) * | 2015-02-24 | 2016-09-01 | 킹 라이 하이제닉 머티리얼즈 캄파니 리미티드 | 견고한 시일링 메카니즘을 갖는 게이트 밸브 |
| CN110985713A (zh) * | 2019-12-18 | 2020-04-10 | 楼奇杰 | 一种基于螺纹传动控制的组合式分流阀门 |
-
1997
- 1997-06-05 JP JP9148065A patent/JPH10339376A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005076845A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ |
| WO2008120837A1 (en) * | 2007-03-29 | 2008-10-09 | Presys Co., Ltd | Rectangular gate valve |
| JP2011157989A (ja) * | 2010-01-29 | 2011-08-18 | Tokyo Electron Ltd | ゲートバルブ及びそれを用いた基板処理装置 |
| KR20160103339A (ko) * | 2015-02-24 | 2016-09-01 | 킹 라이 하이제닉 머티리얼즈 캄파니 리미티드 | 견고한 시일링 메카니즘을 갖는 게이트 밸브 |
| CN110985713A (zh) * | 2019-12-18 | 2020-04-10 | 楼奇杰 | 一种基于螺纹传动控制的组合式分流阀门 |
| CN110985713B (zh) * | 2019-12-18 | 2021-12-24 | 维克托阀门集团有限公司 | 一种基于螺纹传动控制的组合式分流阀门 |
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