JPH074966U - ゲートバルブ装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 本考案は、装置全体の簡素化を図ることによ
り、その構造を簡単して部品点数を少なくすると共に、
長期にわたって確実な閉塞状態が得られるにもかかわら
ずコストの削減を図ることができるようにする。 【構成】 弁体12が流体流通用のゲート２の周縁に設け
られた弁座面３に沿う方向にアクチュエータ４により往
復移動自在に設けられてなるゲートバルブ装置におい
て、前記アクチュエータ４に弁体取付体５が連結され、
前記弁体12は、前記弁座面３に接離すべく、弁体取付体
５にベアリング体11を介して移動自在で且つテーパ係合
され、しかも、弁体取付体５と弁体12との間には、弁体
12を弁座面３から離間する方向に付勢する付勢手段17が
設けられてなることにある。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】

本考案は、例えば、真空配管経路の開閉を行ったり、半導体製造装置における ウエハー搬送ラインのチャンバー間の仕切りを行うためのゲートバルブ装置に関 する。

【０００２】

【従来の技術】

近年、例えば真空装置の配管経路の開閉等に使用されるゲートバルブ装置は、 図７に示すように、弁体50が流体流通用のゲート51を形成する弁座面52に対して 離間した非接触状態でアクチュエーターとしてのエアーシリンダー装置53により 昇降自在に設けられ、該弁体50が最下端に位置する場合に該弁体50の背面側をリ ンク機構により押圧してゲート51を完全に閉塞すると共に、弁体開放時には、該 リンク機構により押圧していた弁体50をスプリングにより戻して該弁体50を弁座 面52から離間させるようにしたものである。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】

しかしながら、前記従来のゲートバルブ装置において、リンク機構により弁体 50を作動させてゲート51を確実且つ効率良く閉塞するには、その構造が複雑とな り、高精度が要求されることから、非常に高価になると共に、部品点数が多くな る欠点がある。

【０００４】 また、スプリングにより弁体を戻す場合に、該スプリングの弾性力ではピンと リンクの回転をスムーズに行うことができず、弁体50を弁座面52から確実に離間 させることができないおそれがある。この結果、ゲート51を開放すべく、エアー シリンダー装置53により弁体50を上昇させる際に、該弁体50のシールリングと弁 座面52とが摺動し、シールリングを傷つけたり、弁座面52を摩耗させたりするた め、再度閉塞状態にした時、シールリングの傷等からリークが生じ、確実な閉塞 ができなくなる欠点があった。

【０００５】 本考案は、上記の如き従来の問題点に鑑みてなされたもので、装置全体の簡素 化を図ることにより、その構造を簡単して部品点数を少なくすると共に、長期に わたって確実な閉塞状態が得られるにもかかわらずコストの削減を図ることがで きるゲートバルブ装置を提供することを課題とする。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

本考案が、上記課題を解決するために講じた技術的手段は、弁体12が流体流通 用のゲート２の周縁に設けられた弁座面３に沿う方向にアクチュエータ４により 往復移動自在に設けられてなるゲートバルブ装置において、前記アクチュエータ ４に弁体取付体５が連結され、前記弁体12は、前記弁座面３に接離すべく、弁体 取付体５にベアリング体11を介して移動自在で且つテーパ係合され、しかも、弁 体取付体５と弁体12との間には、弁体12を弁座面３から離間する方向に付勢する 付勢手段17が設けられてなることにある。

【０００７】

【作用】

本考案のゲートバルブ装置において、ゲート２を閉塞する場合には、アクチュ エータ４を作動させることにより、弁体取付体５を移動させすると、先ず、弁体 12がゲート２に対応する位置で位置決めされる。更に、弁体取付体５が移動する と、該弁体取付体５と弁体12とはベアリング体11を介してテーパー係合している ので、弁体取付体５は、楔作用により弁体12を弁座面３に強固に押圧することと なり、該ゲート２を確実に閉塞することができる。

【０００８】 次に、ゲート２を開放する場合には、アクチュエータ４を作動させ前記とは反 対方向に弁体取付体５を弁座面３に沿う方向に移動させると、付勢手段17は、弁 体12を弁座面３から離間するように弁体取付体５に対して移動させ、ゲート２全 体を開放することができる。

【０００９】

【実施例】 以下、本考案の実施例について図面に従って説明する。 図１〜図３は本考案の第１実施例を示し、１は流体流通用のゲート２を有する 弁ケーシングを示し、該ゲート２の周縁には弁座面３が形成されている。

【００１０】 ５は弁体取付体で、その上面はアクチュエーターとしてのエアーシリンダー４ に連結され、上下移動する連結ロッド６にブラケット７を介して取付けられてい る。また、該弁体取付体５の背面側には、前記弁ケーシング１に上下方向に設け られたガイド溝９に沿って転動するガイドローラ８が取付けられている。

【００１１】 11はテーパー付直線運動用のベアリング体で、前記弁体取付体５の前面に固定 されている。該ベアリング体11は、前記ゲート２を開閉自在に閉塞する弁体12を 、弁体取付体５に対して相対的に移動させるもので、該弁体12の背面側に設けら れた取付け部14は、下方に向けて弁体取付体５に接近するように傾斜するベアリ ング転動面15が形成されている。ここに、該ベアリング体11と弁体12とはテーパ ー係合され、弁体12は弁体取付体５に対してベアリング体11を介して下方に移動 する程、弁座面３に接近することとなる。尚、13は弁体12の前面に取付けられた シールリングである。

【００１２】 該弁体12の形状は、ゲート２の形状に応じて適宜決定されるのであるが、弁体 12が円形を呈する場合には、図２（ロ）に示す如く、弁体12でゲート２を閉塞し た際に、ベアリング体11は略弁体12の中央に位置させるのが好ましい。

【００１３】 17は前記弁体取付体５のブラケット７と弁体12との間に介在された付勢手段と してのスプリングで、該スプリング17により弁体12は弁体取付体５に対して下方 に移動するように押圧付勢されている。尚、該スプリング17は、弁体12を弁体取 付体５側に接近させるように、下方に付勢するために設けるのが好ましいが、弁 体12が自重により下方に移動する場合には、該スプリング17は必ずしも設ける必 要はなく、この場合には、弁体12が付勢手段の機能を有することとなる。18は弁 体12の下降位置の位置決めをするための位置決用ローラで、弁ケーシング１内面 の下部に取付けられている。

【００１４】 次に、以上の構成における実施例の使用例及び作用について説明する。 先ず、ゲート２の閉塞を行う場合には、エアーシリンダー４の作動により、連 結ロッド６を下降させると、弁体取付体５はガイド溝９に沿って下方に移動する 。このとき、弁体12はスプリング17の弾性力により、弁体取付体５に対して下方 側に位置しており、弁体12は弁体取付体５に接近しているため、該弁体12の押圧 面12b と弁ケーシング１の内面とは離間している（図２参照）。

【００１５】 更に、弁体取付体５が下降すると、弁体12の下面は位置決用ローラ18に当接す るため、その下降位置で停止するが、弁体取付体５はスプリング17の弾性力に抗 して更に下降する。ベアリング体11のベアリングは、弁体12の取付け部14のベア リング転動面15を転動するため、弁体12は弁体取付体５の移動方向に対して直角 方向、即ち、弁座面３に接近する方向に移動することとなり、弁体12は楔作用に より強固に弁座面３に押圧付勢され、ゲート２の確実な真空封鎖を行うことがで きるのである（図１参照）。

【００１６】 次に、ゲート２を開放する場合には、前記とは反対に、エアーシリンダー４に より連結ロッド６を上昇させると、前記スプリング17は弁体12を下方に付勢する ので、先ず、弁体取付体５が上昇する。このとき、該弁体取付体５と弁体12とは ベアリング体11を介して相対的に移動し、弁体12はその押圧面12b と弁ケーシン グ１の内面とは離間した状態で、弁体取付体５と共に上昇し、ゲート２全面が開 放される。

【００１７】 尚、上記第１実施例では、弁体取付体５にベアリング体11を固定して、弁体12 側にテーパー状のベアリング転動面15を形成したが、これとは反対に、弁体12に ベアリング体11を固定し、弁体取付体５にベアリング転動面15を形成することも 可能である。

【００１８】 図３〜図５は本考案の第２実施例を示し、本実施例の弁体12及び弁体取付体５ の両者の対向面12a,5aは、互いにテーパ状に形成されており、弁体取付体５には 、例えばすべり軸受を有する直線運動用のベアリング体11が、弁体12の対向面12 a に沿って固定されており、該ベアリング体11を介して弁体12が移動自在に設け られている。

【００１９】 前記弁体取付体５及び弁体12は、図５（イ）に示す如く帯状のゲート２に対応 して帯状を呈しており、ベアリング体11は間隔を有して複数配置されていると共 に、前記位置決用ローラ18も左右一対設けられている。また、同図（ロ）に示す ように前記弁体取付体５には、収納用凹部20が形成され、該収納用凹部20内に前 記スプリング17が収納されている。

【００２０】 本第実施例においても、前記第１実施例と同様に、エアーシリンダー４により 連結ロッド６を上昇させることにより、図４に示す如くゲート２を開放させるこ とができ、また、連結ロッド６を下降させることにより、図３に示す如く、楔作 用を利用して弁体12でゲート２を確実に閉塞することができるのである。

【００２１】 本考案は上記実施例に限定されるものではなく、例えば、図６に示す如く弁体 12が大型である場合には、ベアリング体11を４箇所に設けても良く、その個数は 弁体12の形状に応じて任意に設定可能であり、また、ベアリング体11の構造も上 記のものに限定されるものではなく、要は、ベアリング体11は弁体取付体５と弁 体12との間に介在され、楔作用が得られるように弁体12を弁体取付体５に対して 容易に移動させるものであれば良い。

【００２２】 また、弁体取付体５を移動させるアクチュエータとしてエアーシリンダーを例 示したが、それ以外に油圧シリンダーであっても、あるいは電動機構によるもの であっても良い。

【００２３】 更に、上記第１及び第２実施例では、弁体取付体５を上下方向に移動させる場 合について例示したが、弁体取付体５は水平に移動させ、弁ケーシング１の上下 面に形成されたゲート２を閉塞したり、あるいは、弁体取付体５を傾斜状に移動 させることも可能であり、その他の構成部材も決して上記実施例に限定されない ことは無論である。

【００２４】

【考案の効果】

以上のように本考案は、アクチュエータに弁体取付体が連結され、前記弁体は 、前記弁座面に接離すべく、弁体取付体にベアリング体を介して移動自在で且つ テーパ係合され、しかも、弁体取付体と弁体との間には、弁体を弁座面から離間 する方向に付勢する付勢手段が設けられているので、従来のリンク機構により弁 体を弁座に接離するようにした構成のものに比し、装置全体の簡素化を図ること により、その構造を簡単にできると共に部品点数を減少させることが可能となる と共に、コストの削減を図ることができる。しかも、楔作用を利用しているので 、弁体取付体の移動力を効率良く弁体の弁座面に対する押圧力に変換することが 可能となり、ゲートを確実に閉塞することができる。

【００２５】 しかも、弁体取付体と弁体との間には、弁体を弁座面から離間する方向に付勢 する付勢手段が設けられているので、弁体取付体と共に弁体が移動する際に、該 弁体が弁座面に摺動することはなく、弁開閉をスムーズに行えると共に弁体のシ ールリング及び弁座面の磨耗を防止して、長期にわたって確実な閉塞ができ、高 精度で高い信頼性が得られる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の第１実施例を示し、弁体によりゲート
を閉塞した状態の断面側面図。

【図２】本考案の第１実施例を示し、（イ）はゲートを
開放した状態の断面側面図、（ロ）は弁体の平面図。

【図３】本考案の第２実施例を示す弁体によりゲートを
閉塞した状態の断面側面図。

【図４】本考案の第２実施例を示すゲートを開放した状
態の断面側面図。

【図５】本考案の第２実施例を示し、（イ）は一部破断
を含む正面図、（ロ）は要部断面図。

【図６】弁体の平面図。

【図７】従来例を示す断面図。

【符号の説明】

２…ゲート、３…弁座面、４…エアーシリンダー（アク
チュエータ）、５…弁体取付体、11…ベアリング体、12
…弁体、17…スプリング（付勢手段）

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 弁体(12)が流体流通用のゲート（２）の
   周縁に設けられた弁座面（３）に沿う方向にアクチュエ
   ータ（４）により往復移動自在に設けられてなるゲート
   バルブ装置において、前記アクチュエータ（４）に弁体
   取付体（５）が連結され、前記弁体（12）は、前記弁座
   面（３）に接離すべく、弁体取付体５にベアリング体
   （11）を介して移動自在で且つテーパ係合され、しか
   も、弁体取付体（５）と弁体（12）との間には、弁体
   （12）を弁座面（３）から離間する方向に付勢する付勢
   手段（17）が設けられてなることを特徴とするゲートバ
   ルブ装置。