JPS6224131Y2 - - Google Patents

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JPS6224131Y2
JPS6224131Y2 JP8428181U JP8428181U JPS6224131Y2 JP S6224131 Y2 JPS6224131 Y2 JP S6224131Y2 JP 8428181 U JP8428181 U JP 8428181U JP 8428181 U JP8428181 U JP 8428181U JP S6224131 Y2 JPS6224131 Y2 JP S6224131Y2
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JP
Japan
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lid
container
moving block
support device
shaft
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JP8428181U
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JPS57196854U (ja
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  • Pressure Vessels And Lids Thereof (AREA)
  • Physical Deposition Of Substances That Are Components Of Semiconductor Devices (AREA)

Description

【考案の詳細な説明】 本考案は容器の蓋開閉支持装置に係り、特に、
真空容器の蓋の開閉支持に好適な容器の蓋開閉支
持装置の改良に関するものである。
従来の容器の蓋開閉支持装置例を第1図、第2
図により説明すると、第1図、第2図で、蓋1は
腕2、回転ブロツク3a、軸4aを介して真空室
5に固定された軸受6aによつて支持されてお
り、蓋1の開閉は掛け金具7、クランプ治具8に
よりなされ、蓋1と真空室5とのシールはガスケ
ツト9によりなされる。
上記のような容器の蓋開閉支持装置では、蓋1
の回転中心が固定であるために、特に、蓋1を閉
めるときに、ガスケツト9が障害物となり手動操
作で蓋1を閉めるに際して極めて大きな力を要
し、蓋1の閉操作が極めて困難なものになるとい
つた欠点がある。更に、蓋1が閉のとき、ガスケ
ツト9に加える予圧を均等にすることが困難で、
また、真空室5内の減圧時にガスケツト9のつぶ
し代の変形に合わせて、蓋1が平行に移動しにく
く蓋1の支持部に損傷を招くことがあり、シール
面からのリークが生じるといつた欠点があつた。
本考案は上記欠点の除去を目的としたもので、
蓋の回転によりその回転支点が容器のシール面に
対し両側方向に移動すると共に、ガスケツトの変
形に追従して蓋が平行移動する容器の蓋開閉支持
装置を提供するものである。
本考案の一実施例を第3図、第4図により説明
すると、第3図、第4図で、腕2、回転ブロツク
3bを介して蓋1を支持し、開閉時の回転中心と
なる軸4bの両端に移動ブロツク10を設け、移
動ブロツク10は、軸受6bで受けられている。
また、軸受6bには、蓋1の回転により容器3の
シール面(シール面にガスケツト9が設けられて
いる)に対する両側方向への移動ブロツク10の
移動を案内する溝11を設け、さらに、移動ブロ
ツク10と軸受6bとの間にはリングバネ12を
挿着して移動ブロツク10を容器3のシール面に
対し外側方向、この場合、上方へ押付けるように
し、蓋1を手動操作で閉めるときに、リングバネ
12の押付力の作用でガスケツト9が障害物とな
らないようにすると共に、真空室5を減圧するこ
とにより発生するガスケツト9の変位に合わせて
蓋1の平行移動を可能にしたものである。また、
ネジ13により、リングバネ12の押付け力が調
節される。
本考案によれば、蓋開閉を小さな力で行うこと
ができるので、蓋開閉操作を手動操作で容易にな
し得る共に、容器の減圧時にガスケツトの変形に
追従して蓋がシール面に平行移動できるので、シ
ール面でのリークを防止できるといつた効果があ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図、第2図は従来の容器の蓋開閉支持装置
例を説明するもので、第1図は、従来の容器の蓋
開閉支持装置を適用した真空容器の断面図、第2
図は、第1図のA−A断面図である。第3図、第
4図は、本考案の一実施例を説明するもので、第
3図は、本考案による容器の蓋開閉支持装置を適
用した真空容器の断面図、第4図は、第3図のB
−B断面図である。 1……蓋、2……腕、3b……回転ブロツク、
4b……軸、5……真空室、6b……軸受、7…
…掛け金具、8……クランプ治具、9……ガスケ
ツト、10……移動ブロツク、11……溝、12
……リングバネ、13……ネジ。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 容器の蓋と、該蓋を支持し、かつ、回転可能な
    軸と、該軸を支持する軸受とから成る容器の蓋開
    閉支持装置において、前記軸の両端に移動ブロツ
    クを設け、該移動ブロツクの前記容器のシール面
    に対する両側方向への移動を案内する案内溝を前
    記軸受に設けると共に前記案内溝に前記移動ブロ
    ツクを移動自在に設け、前記容器のシール面に対
    して外側向きの押付力を前記移動ブロツクに付与
    可能に前記案内溝にバネ体を挿着したことを特徴
    とする容器の蓋開閉支持装置。
JP8428181U 1981-06-10 1981-06-10 Expired JPS6224131Y2 (ja)

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JP8428181U JPS6224131Y2 (ja) 1981-06-10 1981-06-10

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JP8428181U JPS6224131Y2 (ja) 1981-06-10 1981-06-10

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JPS57196854U JPS57196854U (ja) 1982-12-14
JPS6224131Y2 true JPS6224131Y2 (ja) 1987-06-19

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JP8428181U Expired JPS6224131Y2 (ja) 1981-06-10 1981-06-10

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7450119B2 (ja) * 2022-03-03 2024-03-14 キヤノンアネルバ株式会社 真空処理装置

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JPS57196854U (ja) 1982-12-14

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