JP3674768B2 - ゲートバルブ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、真空のチェンバーの開閉等に利用するためのゲートバルブに関するものであり、特に、長方形状の弁座に対してゲートが接離するようにしたゲートバルブに関するものである。
【0002】
【従来の技術】
チェンバー間の流路を開閉するゲートバルブとして、シリンダ装置の駆動により動作する軸の先端にゲートを取付け、このゲートを上記軸により弁開口に対向する位置まで移動させたのち、該軸の傾動により弁開口の周囲に設けた弁座に対して圧接するようにしたものは、例えば、特開平9−303577号公報や特開平10−227365号公報等により従来から知られている。
【0003】
これらのゲートバルブにおいては、通常、真空チャンバーとの間の流路断面等との関係で、図4及び図5に示すように、長方形状の弁開口30の周囲の弁座31に対して、長方形状のゲート32における周辺のシール材33が接離するようにしているため、このゲート32の長辺側の中央部を軸34に固定して上記弁座31への接離を行うようにしていると、ゲートが比較的小さい場合には問題はないが、ゲートバルブを大型化して該ゲート32における長辺側のシール部間の長さLがある程度の長さを持つようになると、図4に2点鎖線で示すように、ゲート32の両端に撓みδが生じるという問題がある。
【0004】
そして、上述したようにゲート32の両端部に撓みδが生じると、シール材33のシール性が損なわれるために、ゲート32を厚くして機械強度を増加させ、断面2次モーメントを大きくするなどの対策を講じ、あるいは軸34からフォーク状に複数の連結部を分岐させたり、複数の軸を設けたりして、それらにより支点部を分散して、上記長さLを実質的に小さくし、両端の撓みを減少させるなどの手段が講じられている。
しかしながら、上記ゲート32を厚くすると、ゲートバルブ自体の厚みが増加し、全体の重量も増加することになり、ゲートの開閉時に振動が増加するなどの問題がある。また、軸34から複数の連結部を分岐させるなどの手段により複数位置でゲート32を保持させると、ゲートバルブの寸法は比較的小さくできるにしても、そのための構造が複雑化してコストが増大すると共に、場合によっては真空特性が損なわれるなどの問題がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
本発明は、上述した問題点を解決しようとするもので、その技術的課題は、上記ゲートバルブにおいて、ゲートに作用する曲げモーメントによって両端部に撓みδが生じるのを簡易に抑制できるようにしたゲートバルブを提供することにある。
また、本発明の他の技術的課題は、ゲートと軸との取付け構造を改善し、ゲートの断面2次モーメントを大きくして、それによってもゲートの両端の撓みを小さくしたゲートバルブを提供することにある。
【0006】
本発明の他の技術的課題は、上記ゲートの機械的強度の向上によりその軽量化を達成し、また、シールした場合のゲートの変形を少なくして、小さな閉弁力で均等にシール力が作用し、それによりリーク量も少ないシールを行えるようにしたゲートバルブを提供することにある。
本発明の更に他の技術的課題は、ゲートを弁座に対して強く圧接する必要がなくなることから、小さな力でゲートを弁座に圧接する小型のシリンダ装置を使用でき、それによって、全体的に部材強度を増強する必要をなくしたゲートバルブを提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するための本発明のゲートバルブは、シリンダ装置の駆動により動作する軸の先端に一枚の板で構成した長方形状のゲートにおける長辺側の中央部を取付け、このゲートを上記シリンダ装置の駆動による軸の移動により弁開口に対向する位置まで移動させたのち、傾動手段による該軸の傾動により長方形状の真空チャンバ−の弁開口の周囲に設けた弁座に対して圧接するようにしたゲートバルブにおいて、上記ゲートを、弁座への当接面側を平面状とし、その反対面側を軸に連結した連結部近辺において厚く、両端部側において薄い断面等脚台形状の不均等肉厚を有するものとし、上記ゲートにおける連結部に、該ゲートを駆動する軸を連結するための半円形の連結孔を、該半円形の直径部が形成されている弁座への当接面側の肉厚をその反対面側の肉厚より厚くして開設し、上記軸の先端に、切り欠きにより形成した軸方向に延びる断面半円形の半円形部とその基端側の切り欠き段部とを設け、上記連結孔に該半円形部を切り欠き段部がゲート上面に当接するまで挿入し、上記ゲートに、上記軸の軸方向に沿って離間した位置に二本のネジを上記軸の軸方向と直交する方向に螺挿して上記ゲートと軸との平面どうしを押圧することにより、ゲートを軸にネジで固定して連結したことを特徴とするものである。
【0008】
このような構成を有するゲートバルブは、軸からの力により最大の曲げ応力を受けるゲート中央の連結部の厚みを増加し、ゲートに曲げモーメントによる両端部の撓みを抑制するための不均等な肉厚を持たせているので、ゲート自身の機械的強度が有効に向上し、両端部の撓みが少ないゲートを軽量なものとして形成することができる。また、ゲートと軸との連結に際し、ゲートに連結孔を設けて、引張り応力が生じているゲートの弁座への当接面側の厚みを大きく、圧縮応力が生じているその反対面側の厚みを薄くしているので、ゲートの両端部の撓みを一層小さくすることができる。
【0009】
更に、上記ゲートの機械的強度の向上により、シールした場合のゲートの変形が少なくなるので、小さな閉弁力で均等にシール力を作用させて、リーク量の少ないシールを行うことができ、また、ゲートを弁座に対して強く圧接する必要がなくなることから、小型のシリンダ装置を使用して、全体的に部材強度を増強する必要をなくすことができる。
【0010】
【発明の実施の形態】
図1ないし図3は、本発明のゲートバルブの一実施例を示している。
このゲートバルブは、本体枠の主要部を構成する基盤1上に一対のシリンダ装置(一方は省略)2を備え、これらのシリンダ装置2におけるピストンロッド3に連結した連結板4を、ゲート5を駆動するための軸6に連繋させて、該軸6をゲート5が図1の右半に示す弁開口7から上方に離間した開弁位置と、図1の左半及び図2に示す弁座8への対向位置との間で昇降させるようにしている。
【0011】
上記軸6は、基盤1を図示しないベローズを介して気密に貫通し、基盤1上において、紙面に平行する水平軸により傾動自在に支持されたもので、シリンダ装置2の駆動によりゲート5を図1の左半及び図2に示す弁開口7への対向位置に移動させた状態では、上記シリンダ装置1のさらなる駆動により軸6を上記水平軸の周りに傾動させ、弁開口7の周囲に設けた弁座8に対してゲート5を圧接するように構成している。上記軸6を傾動させるための傾動手段としては、詳細に図示していないが、従来から知られている任意手段を採用することができる。
従って、ゲート5を上記シリンダ装置2の駆動による軸6の移動により弁開口7に対向する位置まで移動させたのち、更にシリンダ装置2を駆動し、傾動手段による該軸6の傾動により、弁開口7の周囲に設けた弁座8に対してゲート5を圧接することができる。このような手段は、従来から一般的に知られているものであり、それらの手段を適宜利用することができる。
【0012】
上記弁開口7は、図示したように長方形状をなすものであり、また、該弁開口7の周囲の弁座8に接離するゲート5は、該弁座8の形状に応じた長方形状をなし、該ゲート5における長辺側の中央部を上記軸6の先端に取付けている。
また、上記ゲート5は、図3から明らかなように、軸6に連結することにより該軸6からの力による最大の曲げ応力を受けるゲート5中央の連結部の近辺において、その肉厚を厚く、両端部側において薄くし、それによってゲート5に曲げモーメントによる両端部の撓みを抑制するための不均等肉厚を持たせている。
【0013】
更に、上記ゲート5は、その連結部に軸6を連結するための半円形の連結孔9を開設し、該連結孔9に、軸6の先端に形成した半円形部を挿入して、ゲート5にネジ10を螺挿することにより固定している。該連結孔9は、弁座8への当接面側を平面とし、その反対側を円弧面としたものである。
また、上記連結孔9は、ゲート5における弁座8への当接面側の肉厚aを厚く、その反対面側の肉厚bを薄くして開設して、ゲート5の両端の撓みを抑制している。
【0014】
このような構成を有するゲートバルブは、軸6からの力により最大の曲げ応力を受けるゲート5の中央の連結部の厚みを増加し、ゲート5に曲げモーメントによる両端部の撓みを抑制しているので、両端部の撓みが少ないゲート5を軽量で小型なものとして形成することができる。
また、ゲート5と軸6との連結に際し、軸6をゲート5の背後に固定することなく、ゲート5に連結孔9を設けて、引張り応力を受ける弁座8への当接面側の厚みを大きく、圧縮を受けるその反対面側の厚みを薄くしているので、ゲート5の両端部の撓みを一層小さくすることができる。
【0015】
更に、上述したように、ゲート5の機械的強度の向上により、シールした場合のゲート5の変形が少なくなるので、小さな閉弁力で均等にシール力を作用させて、リーク量の少ないシールを行うことができ、しかも、ゲート5に対する小さい曲げ力によりその耐疲労性を向上させることができる。また、ゲート5を弁座8に対して強く圧接する必要がなくなることから、小型のシリンダ装置2を使用して、全体的に部材強度を増強する必要をなくすことができる。
また、ゲート5に設けた半円形の連結孔9に、軸6の先端に形成した半円形部を切り欠き段部がゲート上面に当接するまで挿入し、上記ゲートに、上記軸6の軸方向に沿って離間した位置の二本のネジ10,10を上記軸6の軸方向と直交する方向に螺挿して上記ゲート5と軸6との平面どうしを押圧することにより、ゲート5を軸6にネジで固定して連結したので、ゲート5の連結孔9に軸6の先端を挿入して固定するものでありながら、ゲート5の厚みを小さく抑え、かつ、ゲート5と軸6の連結を確実にすることができる。
【0016】
【発明の効果】
以上に詳述した本発明のゲートバルブによれば、ゲートに作用する曲げモーメントによってゲートの両端部に撓みが生じるのを簡易に抑制でき、また、ゲートと軸との取付け構造の改善により、ゲートの両端の撓みを一層小さくしたゲートバルブを提供することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明に係るゲートバルブの実施例を示す部分破断正面図で、左半はゲートが弁座対向位置にある状態を、右半は開弁位置にある状態を示している。
【図2】 同部分破断側面図である。
【図3】 上記実施例におけるゲートの平面図である。
【図4】 公知のゲートバルブにおけるゲートの断面図である。
【図5】 上記公知のゲートバルブにおけるゲートの正面図である。
【符号の説明】
2 シリンダ装置
5 ゲート
6 軸
7 弁開口
8 弁座
9 連結孔
10 ネジ
Claims (1)
- シリンダ装置の駆動により動作する軸の先端に一枚の板で構成した長方形状のゲートにおける長辺側の中央部を取付け、このゲートを上記シリンダ装置の駆動による軸の移動により弁開口に対向する位置まで移動させたのち、傾動手段による該軸の傾動により長方形状の真空チャンバ−の弁開口の周囲に設けた弁座に対して圧接するようにしたゲートバルブにおいて、
上記ゲートを、弁座への当接面側を平面状とし、その反対面側を軸に連結した連結部近辺において厚く、両端部側において薄い断面等脚台形状の不均等肉厚を有するものとし、
上記ゲートにおける連結部に、該ゲートを駆動する軸を連結するための半円形の連結孔を、該半円形の直径部が形成されている弁座への当接面側の肉厚をその反対面側の肉厚より厚くして開設し、
上記軸の先端に、切り欠きにより形成した軸方向に延びる断面半円形の半円形部とその基端側の切り欠き段部とを設け、上記連結孔に該半円形部を切り欠き段部がゲート上面に当接するまで挿入し、上記ゲートに、上記軸の軸方向に沿って離間した位置に二本のネジを上記軸の軸方向と直交する方向に螺挿して上記ゲートと軸との平面どうしを押圧することにより、ゲートを軸にネジで固定して連結した、
ことを特徴とするゲートバルブ。
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