DE60012428T2

DE60012428T2 - Schieber

Info

Publication number: DE60012428T2
Application number: DE60012428T
Authority: DE
Inventors: Tsuneo Tsukuba-gun Ishigaki; Kenji Tsukuba-gun Waragai; Ikuo Tsukuba-gun Kanzaka
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 1999-06-14
Filing date: 2000-05-26
Publication date: 2005-07-28
Anticipated expiration: 2020-05-27
Also published as: CN1277333A; DE60012428D1; KR20010007378A; EP1061301A3; US6390449B1; CN1118650C; TW475044B; EP1061301B1; EP1061301A2; KR100390030B1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf einen Schieber (Schiebeventil) gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 oder 10. Der Schieber kann einen Transportweg zum Transportieren eines Werkstücks, bspw. eines integrierten Schaltkreises (IC) oder Komponenten für diesen, von einer Vakuumverarbeitungskammer zu einer anderen Vakuumverarbeitungskammer öffnen und schließen, oder er dient dem Öffnen und Schließen eines Fluiddurchgangs oder eines Auslassdurchgangs für ein unter Druck stehendes Fluid oder Gas oder dgl.
Beschreibung des Standes der Technik:
Herkömmlicherweise erfolgt in Bearbeitungsvorrichtungen für Halbleiterwafer oder Flüssigkristallsubstrate bspw. das Einsetzen und Entnehmen eines solchen Halbleiterwafers oder Flüssigkristallsubstrates aus verschiedenen Arten von Bearbeitungskammern über Verbindungsdurchgänge, wobei innerhalb dieser Verbindungsdurchgänge jeweils Schieber angeordnet sind, um die Verbindungsdurchgänge zu öffnen und zu schließen.
Bspw. ist, wie in dem japanischen Patentdokument Nr. 2,613,171 (entsprechend den U.S. Patenten Nr. 5,415,376 und 5,641,149) gezeigt, ein solcher Schieber derart angeordnet, dass nachdem eine Ventilscheibe an einer einem Ventilsitz gegenüberliegenden Position durch direkte Vorwärtsbewegung einer Ventilstange, die durch die Betätigung eines Zylinders verschoben wird, ankommt, die Ventilscheibe durch eine schrägstellende Bewegung der Ven tilstange in Kontakt mit dem Ventilsitz gepresst und auf diesem aufgesetzt wird, wodurch ein Verbindungsdurchgang, der innerhalb eines Ventilkastens ausgebildet ist, geschlossen wird .
Im Einzelnen umfasst der Schieber gemäß dem Stand der Technik, wie in den 27 und 28 dargestellt, einen Ventilkasten 3, in dem ein Verbindungsdurchgang 2 für das Einsetzen und Entnehmen eines Werkstücks ausgebildet ist, eine Ventilscheibe 5 zum Öffnen und Schließen des Verbindungsdurchgangs 2 durch Aufsetzen der Ventilscheibe 5 auf einem Ventilsitz 4, der in dem Ventilkasten 3 ausgebildet ist, und eine mit der Ventilscheibe 5 verbundene Ventilstange 6, die Auf- und Abwärtsbewegungen durchführen und schwenkbar bewegt werden kann.
Ein Ventilblock 7 ist mit einem oberen Bereich der Ventilstange 6 verbunden, wobei an beiden Seitenflächen des Ventilblocks 7 Schwenkachsen 11 angebracht sind, die entlang von Führungsnuten 10 (vgl. 29), die in beiden Seitenflächen von Zylinderrohren 9 eines Paares von Zylindern 8a, 8b ausgebildet sind, verschoben werden, und wobei der Block 7 so angeordnet ist, dass er unter Führung durch die Führungsnuten 10, die mit den Schwenkachsen 11 in Eingriff stehen, auf und ab bewegt und geschwenkt werden kann. Das Zylinderrohr 9, der Block 7 und die Schwenkachsen 11 sind jeweils aus einem metallischen Material geformt.
Anders ausgedrückt, ist der Block 7 so aufgebaut, dass er gemeinsam mit einem Joch 13 über eine Zugfeder 12, die eine Zugkraft ausübt, eine direkte Vorwärtsbewegung in Vertikalrichtung ausübt, wobei er durch die Führungsnuten 10, die mit dem Schwenkachsen 11 in Eingriff stehen, geführt wird, und zusätzlich eine Schwenkbewegung in Richtung eines Pfeils A durchführt, wobei die Achsen 11 als Schwenkpunkt (Hebeldrehpunkt) dienen, wenn sie durch gekrümmte untere Enden 10a (vgl. 29) der Führungsnuten 10 (vgl. 28) abgestützt werden. Hierdurch führt die Scheibe 5 eine Schwenkbewegung in Richtung des Pfeils B aus, wobei die Achsen 11 als Hebeldrehpunkt dienen und wird auf dem Ventilsitz 4 aufgesetzt, wodurch der Verbindungsdurchgang 2 luftdicht geschlossen wird.
Außerdem bezeichnet das Bezugszeichen 14 eine im Querschnitt diamantförmige Kurven- oder Nockenplatte, wobei durch Verschiebung der Nockenplatte 14, so dass diese im Wesentlichen horizontal zu liegen kommt, der Block 7 einer Neigungsbewegung in Richtung des Pfeils A unterworfen wird, wobei die unteren gekrümmten Teile 10a der Führungsnuten 10 als Hebeldrehpunkt dienen.
Bei dem Schieber gemäß dem oben beschriebenen Stand der Technik werden unabhängig davon bei langer Nutzungsdauer die Achsen einem Reibungsverschleiß unterworfen und daher deformiert, so dass der Nachteil auftritt, dass die Qualität ihrer Führungswirkung abnimmt, weil die Blockachsen zur gleitenden Bewegung entlang von Führungsnuten angeordnet sind, die in beiden Seitenflächen des Zylinders ausgebildet sind.
Weil die Achsen an beiden Seiten des Ventilblocks angeordnet sein müssen, nimmt bei dem Schieber gemäß dem Stand der Technik außerdem die Zahl der Teile zu und zusätzlich wird ein Bearbeitungsschritt zur Bearbeitung oder zum Ausschneiden der Führungsnuten an beiden Seiten des Zylinders erforderlich, so dass der Nachteil erhöhter Produktionskosten auftritt.
Als Folge der Tatsache, dass die Achsen des Ventilblocks, die aus einem metallischen Material bestehen, in Kontakt entlang der Führungsnuten der Zylinderrohre, die ebenfalls aus einem metallischen Material geformt sind, gleitend verschoben werden, neigt außerdem bei dem Schieber gemäß dem Stand der Technik Schmutz oder Staub und dgl. dazu, sich zu entwickeln. An ders ausgedrückt ergibt sich ein weiterer Nachteil, der darin liegt, dass aufgrund der Erzeugung von Staub, der durch die Reibung zwischen den metallischen Elementen bewirkt wird, die Vorrichtung nicht in einer Umgebung eingesetzt werden kann, die Reinheit erfordert, bspw. ein Reinraum oder dgl.
Ein Schieber mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Anspruchs 1 ist in dem Dokument JP-A 09303578 beschrieben. Bei diesem Schieber wird der Positionsstützmechanismus durch einen engen Nutenbereich und Drehwellen gebildet, die sich innerhalb und entlang der schmalen Nutenbereiche bewegen. Somit sind zusätzliche Elemente, insbesondere die schmalen Führungsnuten und Drehwellen, die entlang der Führungsnuten gleiten, notwendig, um eine geeignete Bewegung zwischen den ersten und zweiten Verschiebungselementen sicherzustellen. Ein solcher Aufbau führt nicht nur zu einer erhöhten Teilezahl, sondern die Wellen werden bei längerer Nutzungsdauer auch einem Reibungsverschleiß unterworfen und daher deformiert, weil die Drehwellen sich gleitend entlang der schmalen Nutenbereiche, die in Seitenoberflächen von Führungsschienen ausgebildet sind, verschieben.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Es ist die Aufgabe der vorliegenden Erfindung, einen Schieber vorzuschlagen, bei dem durch Vermeiden des Erfordernisses eines Führungsmittels die Zahl der Teile verringert werden kann und dadurch die Produktionskosten gesenkt werden können.
Gemäß der Erfindung ist ein Schieber mit den Merkmalen des Anspruchs 1 oder 10 vorgesehen.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Der Schieber gemäß der vorliegenden Erfindung ist in der Lage, passend in einer Umgebung eingesetzt zu werden, die Reinheit erfordert, indem die Erzeugung von Staub, Schmutz oder dgl. vermieden wird.
Außerdem umfasst der Schieber einen Positionshalteaufbau zum integralen Halten eines ersten Verschiebungselementes und eines zweiten Verschiebungselementes in einem festgelegten Positionszustand entlang einer Verschiebungsrichtung, der den festgelegten Positionszustand der ersten und zweiten Verschiebungselemente auch über längere Nutzungsdauern aufrecht erhalten kann.
Die obigen und weitere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung in Verbindung mit den beigefügten Zeichnungen, in denen bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung beispielhaft dargestellt sind.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
1 ist eine perspektivische Ansicht eines Schiebers gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
2 ist eine Explosionsdarstellung des Schiebers gemäß 1;
3 ist ein vertikaler Schnitt in axialer Richtung des Schiebers gemäß 1;
4 ist ein Schnitt entlang der Linie IV-IV in 3;
5 ist ein Schnitt entlang der Linie V-V in 3;
6 ist ein Schnitt entlang der Linie VI-VI in 3;
7 ist ein vertikaler Schnitt entlang der Linien VII-VII in 3;
8 ist ein vertikaler Schnitt, der einen aufgesetzten Zustand der Ventilscheibe auf dem Ventilsitz darstellt, wenn die Ventilstange um einen Winkel θ aus dem in 7 gezeigten Zustand verschwenkt ist;
9 ist ein expandierter vertikaler Teilschnitt, der eine Dichtung zum Abdichten einer Ventilstange darstellt;
10 ist ein vertikaler Schnitt einer Grundplatte in einer Richtung senkrecht zu der axialen Richtung;
11 ist ein vertikaler Schnitt entlang der axialen Richtung eines Schiebers gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
12 ist ein vertikaler Schnitt entlang der Linie XII-XII in 11;
13 ist ein Schnitt entlang der Linie XIII-XIII in 11;
14 ist ein vertikaler Schnitt, der einen aufgesetzten Zustand der Ventilscheibe auf dem Ventilsitz darstellt, wenn die Ventilscheibe um einen Winkel θ aus dem in 12 gezeigten Zustand verschwenkt ist;
15 ist eine perspektivische Ansicht eines Schiebers gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
16 ist eine perspektivische Explosionsdarstellung des Schiebers gemäß 15;
17 ist ein vertikaler Schnitt in axialer Richtung des Schiebers gemäß 15;
18 ist ein Schnitt entlang der Linie XVIII-XVIII in 17;
19 ist ein Schnitt entlang der Linie XIX-XIX in 17;
20 ist ein Schnitt entlang der Linie XX-XX in 17;
21 ist ein vertikaler Schnitt, der einen aufgesetzten Zustand der Ventilscheibe auf dem Ventilsitz darstellt, wenn die Ventilstange um einen Winkel θ aus dem in 20 gezeigten Zustand verschwenkt ist;
22 ist ein expandierter vertikaler Teilschnitt, der eine Dichtung zum Abdichten der Ventilstange darstellt;
23 ist ein vertikaler Schnitt in axialer Richtung eines Schiebers gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
24 ist ein Schnitt entlang der Linie XXIV-XXIV in 23;
25 ist ein vertikaler Schnitt entlang der Linie XXV-XXV in 23;
26 ist ein vertikaler Schnitt, der einen aufgesetzten Zustand der Ventilscheibe auf dem Ventilsitz darstellt, wenn die Ventilstange um einen Winkel θ aus dem in 25 gezeigten Zustand verschwenkt ist;
27 ist ein vertikaler Schnitt in axialer Richtung eines Schiebers gemäß dem Stand der Technik;
28 ist ein vertikaler Schnitt in axialer Richtung des Schiebers gemäß 25; und
29 ist eine perspektivische Ansicht eines Zylinderrohres, das einen Teil des Aufbaus des Schiebers gemäß 27 bildet.
BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
In 1 bezeichnet das Bezugszeichen 20 einen Schieber (Schiebeventil) gemäß einer ersten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
Der Schieber 20 umfasst ein Antriebsmittel 22, ein Paar von Ventilstangen 24a, 24b, die in Aufwärts- und Abwärtsrichtungen durch den Antrieb der Antriebsmittel 22 verschiebbar sind, und die außerdem in einer Richtung senkrecht zu den Aufwärts-/Abwärtsrichtungen schwenkbar bewegbar sind, und eine länglich geformte Ventilscheibe 26, die mit Endabschnitten der Ventilstangen 24a, 24b verbunden ist. Ringförmige Stufen 27a, 27b sind jeweils an den äußeren Umfangsflächen der Endseiten und an im Wesentlichen zentralen Positionen der Ventilstangen 24a, 24b ausgebildet (vgl. 3).
Ein Ventilkasten 30 (vgl. 7 und 8), in dem ein Verbindungsdurchgang 28 zum Entfernen und Einsetzen nicht dargestellter Werkstü cke ausgebildet ist, ist an einer oberen Seite der Antriebsmittel 22 angeordnet, wobei durch Aufsetzen der Ventilscheibe 26 auf einem durch eine innere Wandfläche des Ventilkörpers 30 gebildeten Ventilsitz 32 der Verbindungsdurchgang 28 luftdicht verschlossen wird. Ein Dichtelement 34 ist entlang einer Ringnut in der Ventilscheibe 26 angeordnet, so dass durch das Dichtelement 34 ein luftdichter Zustand gewährleistet wird, wenn die Ventilscheibe 26 auf dem Ventilsitz 32 aufsitzt.
Die Antriebsmittel 22 umfassen eine Grundplatte 38, die an einer Bodenfläche des Ventilkastens 30 über Gewindeelemente 36 (vgl. 3) befestigt ist, ein rohrförmiges Gehäuse 40 mit Boden, das an der Grundplatte 38 befestigt ist, und einen Zylindermechanismus (Antriebsquelle) 42, der innerhalb des Gehäuses 40 angeordnet ist.
Wie in 2 dargestellt ist, ist ein Paar von Durchgangsöffnungen 44a, 44b mit im Wesentlichen kreisförmigem Querschnitt an der Grundplatte 38 ausgebildet, um hierdurch das Paar von Ventilstangen 24a, 24b einzusetzen. Außerdem sind an einer unteren Fläche der Grundplatte 38 konkave Aussparungen 48, die einen halbkreisförmigen Querschnitt aufweisen (vgl. 1), ausgebildet, um Halterollen (Halteelemente), die später erörtert werden, aufzunehmen und zu halten. Die Durchmesser der Durchgangsöffnungen 44a, 44b sind etwas größer ausgebildet als die Durchmesser der Ventilstangen 24a, 24b, und außerdem sind Ringe 52, die Endabschnitte von Bälgen 50, welche bestimmte Bereiche der Ventilstangen 24a, 24b abdecken, halten, in die Durchgangsöffnungen 44a, 44b eingesetzt.
Wie in 9 dargestellt ist, ist zwischen den Bälgen 50 und dem Ventilkasten 30 in sandwichartiger Anordnung eine Dichtung (Dichtelement) 51 angeordnet, welche eine äußere Umfangsfläche der Ventilstangen 24a, 24b umgibt. Die Dichtung 51 übernimmt eine Dichtungsfunktion, indem sie in Kontakt mit der ringförmigen Stufe 27a an der oberen Seite und mit der ringförmigen Stufe 27b an der unteren Seite der Ventilstangen 24a, 24b tritt, wenn der Kolben seinen oberen bzw. unteren Totpunkt erreicht, die an Positionen liegen, die den Endpunkten der Verschiebung des Kolbens entsprechen. Wenn der Kolben zwischen seinen oberen und unteren Totpunkten liegt, wird außerdem die Erzeugung von Staub und Schmutz durch Reibung verhindert, weil die Dichtung 51 so angeordnet ist, dass sie nicht in Kontakt mit der Umfangsfläche der Ventilstangen 24a, 24b tritt.
Wie in 10 dargestellt ist, sind außerdem erste Dämpfungselemente 53, die aus einem Harzmaterial, bspw. einem Urethan- oder Polyurethanharz oder dgl. geformt sind, in Öffnungen in der Grundplatte 38 angeordnet, wobei die ersten Dämpfungselemente 53 in den Öffnungen mit Hilfe von Metallfittings 55 und Stoppringen 57 befestigt sind. Die ersten Dämpfungselemente 53 liegen an den Halterollen 46 an und übernehmen die Funktion der Absorption eines Stoßes der Halterollen 46, wenn die Halterollen 46 mit den konvexen Aussparungen 48 in Eingriff treten.
Wie in 3 dargestellt ist, umfasst der Zylindermechanismus 42 ein Zylinderrohr 56, an dem entsprechende Stufenbereiche 54 (vgl. 2) ausgebildet sind, die sich entlang einer axialen Richtung an dessen beiden Seitenflächen erstrecken und einen Endbereich aufweisen, der über nicht dargestellte Schrauben an der Grundplatte 38 befestigt ist, einen Kolben 60, der zur Verschiebung entlang einer in dem Zylinderrohr 56 ausgebildeten Zylinderkammer 58 angeordnet ist, eine Kolbenstange 64, die mit einem Ende des Kolbens 60 verbunden ist und Keilnuten 62 aufweist, die sich entlang der axialen Richtung an ihrer äußeren Umfangsfläche erstrecken, und ein Keilachsenaufnahmeelement 68, in dem eine Vielzahl von Kugeln 66 angeordnet ist, die mit den Keilnuten 62 der Kolbenstange 64 in Eingriff treten.
Eine Kolbendichtung 70 zur Gewährleistung der Luftdichtigkeit zwischen jeweiligen oberen 58a und unteren 58b Zylinderkammern, die durch den Kolben 60 abgeteilt werden, ist über eine äußere Umfangsfläche des Kolbens 60 eingesetzt. Außerdem ist ein zweites Dämpfungselement 72 an einem Bodenflächenbereich ganz in der Nähe der Kolbendichtung 70 angeordnet, um einen Stoß zu absorbieren, wenn der Kolben 60 seinen unteren Totpunkt erreicht und das zweite Dämpfungselement 72 an einem oberen Ende des Keilaufnahmeelementes 68 anschlägt. Das zweite Dämpfungselement 72 kann vorzugsweise aus einem Harzmaterial, bspw. einem Urethanharz, Polyurethanharz oder dgl. geformt werden.
Ein unter Druck stehendes Fluid (bspw. Druckluft) wird durch ein nicht dargestelltes Rohr, welches mit einer Druckfluidzufuhrquelle (ebenfalls nicht dargestellt), verbunden ist, den oberen und unteren Zylinderkammern 58a, 58b zugeführt, wobei durch die Schaltung eines nicht dargestellten Richtungssteuerventils Druckfluid entweder der oberen Zylinderkammer 58a oder der unteren Zylinderkammer 58b zugeführt wird.
Wie in den 2 und 3 dargestellt ist, umfasst das Antriebsmittel 22 außerdem ein Hebelelement (erstes Verschiebungselement) 78, das an einem anderen Ende der Kolbenstange 64 über eine Verriegelungsmutter 74 und einen Abstandshalter 76 befestigt ist, und ein weiteres Verschiebungselement (zweites Verschiebungselement) 80 zur integralen Verschiebung zusammen mit dem Hebelelement 78.
Ein Paar von Vorsprüngen 82a, 82b, die um eine festgelegte Länge lediglich in einer seitlichen Richtung vorstehen, sind an beiden Seitenflächen der sich im Wesentlichen parallel erstreckenden Hebelelemente 78 ausgebildet, wobei im Wesentlichen kreisförmige Aussparungen 86, in die Federelemente 84 (später erörtert) eingesetzt sind, an den Vorsprüngen 82a, 82b ausgebildet sind. Im Wesentlichen elliptisch geformte Langlöcher 88a, 88b sind in beide Seitenflächen des Hebelelementes 78 eingeschnitten, und Rollen 92, die an den Verschiebungselementen 80 durch Stifte 90 befestigt sind, sind für den Eingriff mit den Langlöchern 88a, 88b vorgesehen.
Außerdem ist ein Paar von Stiftelementen 94 durch Löcher in die oberen Seiten beider Seitenflächen des Hebelelementes 78 eingesetzt, wobei Enden der Stiftelemente 94 für den Eingriff in Eingriffsnuten 96, die in beiden Seitenflächen des Verschiebungselementes 80 ausgebildet sind, vorgesehen sind.
Wie in den 2 und 3 dargestellt ist, ist ein Paar von Flanschen 98a, 98b, die um eine festgelegte Länge lediglich in seitlicher Richtung vorstehen, in beiden im Wesentlichen parallel verlaufenden Seitenflächen des Verschiebungselementes 80 ausgebildet. Löcher 100, die im Querschnitt im Wesentlichen kreisförmig ausgebildet sind und in die andere Enden der Ventilstangen 24a, 24b eingesetzt sind, sind in den Flanschelementen 98a, 98b ausgebildet, wobei die Ventilstangen 24a, 24b über Verriegelungsmuttern 102, die auf Gewinde an den Ventilstangen 24a, 24b aufgeschraubt sind, an dem Verschiebungselement 80 befestigt sind.
Federelemente 84 sind jeweils zwischen dem Paar von Flanschen 98a, 98b des Verschiebungselementes 80 und dem Paar von Vorsprüngen 82a, 82b des Hebelelementes 78 angeordnet, wobei Enden der Federelemente 84 auf Enden der Ventilstange 24a, 24b, die an dem Flanschelement 98a, 98b befestigt sind, aufsetzen, während andere Enden der Federelemente 84 auf den kreisförmigen Aussparungen 86 der Vorsprünge 82a, 82b aufsetzen.
Bälge 50 sind an anderen Enden der Ventilstangen 24a, 24b angeordnet und decken deren äußere Umfangsflächen ab, wobei Enden der Bälge 50 drehbar mit Ringkörpern 52 verbunden sind, die in der Grundplatte 38 gehalten werden, wobei ihre anderen Enden fest an Ringkörpern 104 befestigt sind, die außen um die Ventilstangen 24a, 24b vorgesehen sind.
Außerdem sind Eingriffsnuten 96 für den Eingriff mit Enden von Stiftelementen 94, die an ihrem Platz in den Hebelelementen 78 gehalten werden, an beiden Seitenflächen des Verschiebungselementes 80 ausgebildet. Durch Eingriff der Stiftelemente 94 mit unteren Enden 96a der Eingriffsnuten 96 werden das Hebelelement 78 und das Verschiebungselement 80 daran gehindert, aus ihrer Position in Aufwärts-/Abwärtsrichtung und in Vorwärts/Rückwärtsrichtung (d.h. in Richtung im Wesentlichen senkrecht zu der Papierebene in 3) zu gleiten, und verbleiben außerdem in einem gewählten Positionszustand bei einer festen Abstandstrennung in Aufwärts-/Abwärtsrichtung, und werden auf diese Weise integral aufwärts und abwärts bewegt, wobei sie ihren gewählten Positionszustand beibehalten. Durch Entfernen der Stiftelemente 94 weg von den unteren Enden 96a der Eingriffsnuten 96 und Anheben der Stifte 94 entlang deren geneigter Bereiche 96b (vgl. 2) wird die Ventilscheibe 26 außerdem schwenkbar bewegbar.
Außerdem wird ein Paar von Halterollen 46 drehbar axial auf oberen Bereichen gehalten, die gabelförmig von dem Verschiebungselement 80 abzweigen, wobei solche Halterollen 46, wie in 4 gezeigt, mit einem gewissen Freiraum in nicht berührendem Zustand relativ zu den gestuften Bereichen 54 des Zylinderrohres 56 angeordnet sind. Zusätzlich werden die Halterollen 46 in gekrümmte konkave Aussparungen 48 der Grundplatte 38 an dem Endpunkt der Verschiebung des Verschiebungselementes 80 eingesetzt (vgl. 1), wobei die in Eingriff mit den Aussparungen 48 stehenden Halterollen 46 als Hebeldrehpunkt dienen, wodurch die Ventilscheibe 20, Ventilschäfte 24a, 24b und das Verschiebungselement 80 lediglich um einen festgelegten Winkel θ verschwenkt werden (vgl. 8).
Außerdem ist ein Langloch 106, das im Querschnitt im Wesentlichen elliptisch geformt ist, in einem unteren Bereich des Verschiebungselementes 80 ausgebildet, wobei die Kolbenstange 64 so angeordnet ist, dass sie entlang des Langloches 106 verschiebbar ist, während das Verschiebungselement 80 verschwenkt wird (vgl. 5).
Der Schieber 20 gemäß der ersten Ausführungsform der Erfindung ist im Wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Nachfolgend werden die Betriebs- und Wirkungsweise der Erfindung erläutert. In der nachfolgenden Beschreibung wird eine Ursprungsposition erläutert, bei welcher der Kolben 60 an seiner am weitesten unten liegenden Position (unterer Totpunkt) in der Zylinderkammer 58 angeordnet ist und der in dem Ventilkasten 80 ausgebildete Verbindungsdurchgang 28 in einem geöffneten Zustand und nicht durch die Ventilscheibe 26 verschlossen ist.
An der Ursprungsposition werden in diesem Fall die Stiftelemente 94, die an dem Hebelelement 78 befestigt sind, in einem Zustand gehalten, in dem sie an den unteren Enden 96a der Eingriffsnuten 96 des Verschiebungselementes 80 gehalten werden, weil das Hebelelement 78 durch die elastische Kraft der Federelemente 84 zu der abwärtigen Seite gepresst wird. Außerdem sind an dieser Ursprungsposition die Rollen 92 in einem Eingriffszustand mit den oberen Teilen der Langlöcher 88a, 88b, die an beiden Seitenflächen des Hebelelementes 78 ausgebildet sind.
Wenn an dieser Ursprungsposition angeordnet, wird das Druckfluid von einer Druckfluidzufuhrquelle (nicht dargestellt) durch eine nicht dargestellte Rohrleitung der unteren Zylinderkammer 58b zugeführt. Der Kolben 60 wird durch die Wirkung des Druckfluides, das der unteren Zylinderkammer 58b zugeführt wird, angehoben, wodurch auch die mit dem Kolben 60 verbundene Kol benstange 64 angehoben wird. In diesem Fall ist die obere Zylinderkammer 58a in einem Zustand, in dem sie durch die Betätigung eines nicht dargestellten Richtungssteuerventils zur Atmosphäre offen (belüftet) ist.
Durch Anheben der Kolbenstange 64 werden das Hebelelement 78, das Verschiebungselement 80, Ventilstangen 24a, 24b und die Ventilscheibe 26 integral gemeinsam mit der Kolbenstange 64 angehoben. In diesem Fall ist das Hebelelement 78 in einem Zustand, in dem es durch die elastische Kraft der Federelemente 84 zu der Unterseite hin gepresst wird, und als Folge der Tatsache, dass das Paar von Stiftelementen 64, die an beiden Seitenflächen des Hebelelementes 78 befestigt sind, an den unteren Endbereichen 96a der Eingriffsnuten 96 des Verschiebungselementes 80 gehalten wird, sind das Hebelelement 78 und das Verschiebungselement 80 in einem Zustand, in dem ihre Positionierung an festen Positionen gehalten wird und in dem eine Positionsverschiebung oder Versatz in Aufwärts-/Abwärtsrichtungen und in Vorwärts/Rückwärtsrichtungen (d.h. Richtungen senkrecht zu der Papierebene in 3) verhindert sind. Dementsprechend werden das Hebelelement 78 und das Verschiebungselement 80 integral gemeinsam angehoben, wobei sie in einem eingestellten Positionszustand sind, der die feste Positionierung zwischen diesen Elementen beibehält. Wenn das Hebelelement 78 und das Verschiebungselement 80 gemeinsam angehoben werden, kommen außerdem die Halterollen 46, die axial an dem oberen Teil des Verschiebungselementes 80 gehalten werden, nicht in Kontakt mit den abgestuften Bereichen 54 des Zylinderrohres 56, und das Hebelelement 78 und das Verschiebungselement 80 werden nicht durch die Halterollen 46 geführt (vgl. 4).
Wenn die Kolbenstange 64 angehoben wird, dreht sich eine Vielzahl von Kugeln 66 und zirkuliert entlang von Keilnuten 62, die an der Kolbenstange 64 ausgebildet sind, wobei eine Drehung der Kolbenstange 64 in einer Umfangsrichtung durch das Keilachsenaufnahmeelement 68, das an dem Zylin derrohr 56 befestigt ist, verhindert wird, so dass jegliches Drehen der Kolbenstange 64 gestoppt wird.
Durch Anheben der Kolbenstange 64 und in Anlage bringen eines Endes des Verschiebungselementes 80 an der Grundplatte 38 erreicht das Verschiebungselement 80 seine Verschiebungsendposition, und die Ventilscheibe 26 nimmt einen Zustand ein, in dem sie der Öffnung des Verbindungsdurchgangs 28 gegenüberliegt (vgl. 7). Zu dieser Zeit treten die Halterollen 46, die an dem oberen Bereich des Verschiebungselementes 80 angeordnet sind, mit gekrümmten Aussparungen 48 in der Grundplatte 38 in Eingriff, wobei jeglicher Stoß durch Anlage an den ersten Dämpfungselementen 53 absorbiert wird.
Nachdem das Verschiebungselement 80 seine Verschiebungsendposition erreicht hat, wird die Kolbenstange 64 weiter angehoben, wodurch das Verschiebungselement 80 um einen festgelegten Winkel 8 allein durch eine Eingriffswirkung von Rollen oder Walzen 92 mit den Langlöchern 88a, 88b des Hebelelementes 78 geneigt wird, wobei die Halterollen 46, die an den Aussparungen 48 angreifen, als Drehpunkt dienen, und der Verbindungsdurchgang 58 wird durch Aufsetzen der Ventilscheibe 26 auf dem Ventilsitz 32 verschlossen (vgl. 8).
Nachdem das Verschiebungselement 80 seinen Verschiebungsendpunkt erreicht hat, wird genauer gesagt durch weiteres Anheben der Kolbenstange 64 gegen die entgegenwirkende elastische Kraft der Federelemente 84 nur das Hebelelement 78 weiter angehoben. Zu dieser Zeit wird das Verschiebungselement 80 durch die Eingriffswirkung der Walzen 92 mit den Langlöchern 88a, 88b, die in beiden Seitenflächen des Hebelelementes 78 ausgebildet sind, lediglich um einen festgelegten Winkel θ geneigt, wobei die Halterollen 46 als Drehpunkt dienen (vgl. 8). Wenn das Verschiebungselement 80 um den durch die Halterollen 46 gebildeten Drehpunkt geneigt werden, werden die Stiftelemente 94, die an beiden Seitenflächen des Hebelelementes 78 befestigt sind, von den unteren Abschnitten 96a der Eingriffsnuten 96 des Verschiebungselementes 80 entfernt und entlang deren geneigter Abschnitte 96b angehoben.
Als Folge der Tatsache, dass das Verschiebungselement 80 nur um einen festgelegten Winkel θ verschwenkt wird, wird dementsprechend die Ventilscheibe 26, die an dem Verschiebungselement 80 durch Ventilstangen 24a, 24b befestigt ist, aus einem Zustand, in dem sie um einen festgelegten Abstand von dem Verbindungsdurchgang 28 entfernt ist, in einen Zustand, in dem sie im Wesentlichen parallel zu dem Verbindungsdurchgang 28 angeordnet und diesem zugewandt ist, verschoben. Als Folge hiervon wird das Dichtelement 34, das auf der Ventilscheibe 26 angeordnet ist, auf dem Ventilsitz 32 aufgesetzt, wodurch der Verbindungsdurchgang 28 luftdicht verschlossen wird.
Als nächstes wird in dem Fall, dass die Ventilscheibe 26 von dem Ventilsitz 32 abgehoben wird, um den Verbindungsdurchgang 28 zu öffnen, der Kolben 60 durch die Zufuhr von Druckfluid zu der oberen Zylinderkammer 58a durch Schalten eines nicht dargestellten Richtungssteuerventils abgesenkt, und durch integrale Verschiebung der Kolbenstange 64, des Hebelelementes 78 und des Verschiebungselementes 80 werden die Elemente zu ihren Ursprungspositionen zurückgeführt. In diesem Fall wird außerdem die untere Zylinderkammer 58b durch die Wirkung eines nicht dargestellten Richtungssteuerventils in einen Zustand gebracht, in dem sie zur Atmosphäre entlüftet ist.
Im Einzelnen werden, nachdem das Verschiebungselement durch die Eingriffswirkung von Walzen 92 in die Langlöcher 88a, 88b nur um einen festgelegten Winkel θ in einer der oben beschriebenen Richtung entgegengesetzten Richtung geneigt wurde, die Kolbenstange 64 integral zusammen mit dem Hebelelement 78 und dem Verschiebungselement 80 abgesenkt, wodurch sie zu ihren Ursprungspositionen zurückkehren. Zu dieser Zeit wird jeglicher Stoß, der auftritt, wenn der Kolben 60 seinen unteren Totpunkt erreicht, durch das zweite Dämpfungselement 72, das an der Bodenfläche des Kolbens 60 angeordnet ist, absorbiert. Wenn der Kolben 60 abgesenkt wird, kann außerdem die Durchflussmenge des der oberen Zylinderkammer 58a zugeführten Druckfluides beschränkt werden, weil das Hebelelement 78 durch die elastische Kraft der Federelemente 84 nach unten gepresst wird.
Bei der ersten Ausführungsform werden durch Erreichen des Eingriffs der Stiftelemente 94, die an beiden Seitenflächen des Hebelelementes 78 befestigt sind, mit Eingriffsnuten 96 des Verschiebungselementes 80 das Hebelelement 78 und das Verschiebungselement 80 in einem Positionszustand an festgelegten Positionen gehalten, ohne dass eine Verschiebung oder ein Versatz zwischen ihnen in Aufwärts-/Abwärts- oder Vorwärts-/Rückwärtsrichtung erfolgt, und beide Elemente werden so angeordnet, dass sie sich integral gemeinsam aufwärts und abwärts bewegen. In diesem Zustand werden Halterollen 46, die in dem oberen Bereich des Verschiebungselementes 80 angeordnet sind, außer Kontakt mit den abgestuften Abschnitten 54 des Zylinderrohres 56 gehalten, und das Führungselement 80 wird nicht durch die Halterollen 46 geführt (vgl. 4). Dementsprechend werden bei der ersten Ausführungsform, wenn das Hebelelement 78 und das Verschiebungselement 80 aufwärts und abwärts bewegt werden, irgendwelche Führungsmittel zur Führung des Hebelelementes 78 und des Verschiebungselementes 80 unnötig, und im Vergleich mit dem Stand der Technik kann die Zahl der Teile reduziert und die Produktionskosten können gesenkt werden.
Außerdem können bei der ersten Ausführungsform die Produktionsschritte vereinfacht werden, was die Produktionskosten reduziert, da auf ein Verfahren zur Bearbeitung oder zum Ausschneiden von Führungsnuten 10 (vgl.
29) in Seitenflächen des Zylinderrohres 9, wie sie beim Stand der Technik vorgesehen waren, verzichtet werden kann.
Da ein Führungsmittel, das Staub und Schmutz erzeugt, wenn es sich wie beim Stand der Technik entlang von Führungsnuten 10 gleitend verschiebt, nicht benötigt und die Erzeugung von Staub und dgl. unterdrückt wird, kann bei der ersten Ausführungsform der Schieber außerdem in geeigneter Weise in einer Umgebung eingesetzt werden, die Reinheit erfordert, bspw. in einer Reinraumumgebung oder dgl.
Als nächstes wird ein Schieber (Schiebeventil 110) gemäß einer zweiten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in den 11 bis 14 dargestellt. In den nachfolgenden Beschreibungen werden Aufbaumerkmale, die die gleichen sind wie bei dem in 1 gezeigten Schieber 20 gemäß der ersten Ausführungsform mit gleichen Bezugszeichen versehen und ihre detaillierte Erörterung wird weggelassen.
Bei dem Schieber 110 gemäß der zweiten Ausführungsform ist anstelle von Stiftelementen 94, die an dem Hebelelement 78 angebracht sind, und Eingriffsnuten 96, die in beiden Seitenflächen des Verschiebungselementes 80 ausgebildet sind, und die den Aufbau des Schiebers 20 bei der ersten Ausführungsform bilden, ein Paar von Verbindungsstiften 112a, 112b vorgesehen, um den Positionszustand des Hebelelementes 78 und des Verschiebungselementes 80 integral beizubehalten.
Erste Enden jedes des Paares von Verbindungsstiften 112a, 112b sind jeweils in Gewindeeingriff an einer Bodenfläche des Verschiebungselementes 80 angebracht und befestigt, während ihre anderen Enden lose mit einem bestimmten Spiel in Langlöcher 114 des Hebelelementes 78 eingesetzt sind. Dementsprechend sind die anderen Enden der Verbindungsstifte 112a, 112b verschiebbar entlang der Langlöcher 114 angeordnet. Außerdem sind Kopfbereiche der Verbindungsstifte 112a, 112b, die sich im Querschnitt verjüngen, so angeordnet, dass sie durch sich verjüngende Abschnitte 116, die in den Langlöchern 114 ausgebildet sind, an ihrem Platz gehalten werden.
In diesem Fall ist das Hebelelement 78 in einem Zustand, in dem es durch die elastische Kraft von Federelementen 84 nach unten gepresst wird, und als Folge der Tatsache, dass die Köpfe des Paares von Verbindungsstiften 112a, 112b, die an der Bodenfläche des Verschiebungselementes 80 angebracht sind, durch die sich verjüngenden Abschnitte 116 der Langlöcher 114 des Hebelelementes 78 an ihrem Platz gehalten werden, werden das Hebelelement 78 und das Verschiebungselement 80 in einem eingestellten Positionszustand zusammengehalten. Dementsprechend werden das Hebelelement 78 und das Verschiebungselement 80 integral angehoben und abgesenkt, wobei sie in einem Zustand gehalten sind, der die eingestellte Positionierung zwischen ihnen beibehält.
Nachdem das Verschiebungselement 80 seine Verschiebungsendposition erreicht hat, wird als nächstes das Hebelelement 78 weiter entgegen der elastischen Kraft von Federelementen 84 angehoben, und zu dieser Zeit werden die Köpfe der Verbindungsstifte 112a, 112b aus den Langlöchern 114 des Hebelelementes 78 herausgezogen, so dass sie von diesen wegdeuten, wodurch das Verschiebungselement 80 lediglich um einen festgelegten Winkel θ geneigt wird, wobei die Halterollen 46 als Drehpunkt dienen (vgl. 14).
Aufgrund des vereinfachten Aufbaus des Paares von Verbindungsstiften 112a, 112b können bei der zweiten Ausführungsform das Hebelelement 78 und das Verschiebungselement 80 in einem festgelegten Positionszustand an festgelegten Positionen in Aufwärts-/Abwärtsrichtung gehalten werden, wo durch die Herstellungskosten der Vorrichtung noch weiter reduziert werden können.
Die übrigen Aufbaumerkmale und Wirkungsweisen sind die gleichen wie bei der ersten Ausführungsform, so dass auf ihre detaillierte Erläuterung verzichtet wird.
Bei der Bildung der ersten und zweiten Ausführungsformen wurde außerdem die Antriebsquelle als ein Zylindermechanismus 42 beschrieben, der eine integrale Verschiebung eines Kolbens 60 und einer Kolbenstange 64 durch die Wirkung eines Druckfluides bewirkt. Die Erfindung ist jedoch nicht auf einen solchen Aufbau beschränkt, und, obwohl nicht dargestellt, können bspw. auch ein Linearstellglied, eine Drehantriebsquelle, ein elektrisches Stellglied oder dgl. in einfacher Weise als Antriebsquelle eingesetzt werden.
Als nächstes wird ein Schieber (Schiebeventil) gemäß einer dritten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in 15 dargestellt.
Der Schieber 220 gemäß der dritten Ausführungsform umfasst ein Antriebsmittel (Antriebsquelle) 222, eine Ventilstange 224, die durch die Antriebswirkung des Antriebsmittels 222 in Aufwärts-/Abwärtsrichtung verschoben wird, eine Ventilstange 224, die in Richtungen im Wesentlichen quer zu den Aufwärts-/Abwärtsrichtungen schwenkbar bewegbar ist, und eine länglich geformte Ventilscheibe 226, die mit einem Ende der Ventilstange 224 verbunden ist. Ein ringförmiges Stufenelement 227, dessen Durchmesser nach unten allmählich zunimmt, ist um die äußere Umfangsfläche eines im Wesentlichen zentralen Bereiches der Ventilstange 24 ausgebildet.
Ein Ventilkasten 230, in dem ein Verbindungsdurchgang 228 zum Entfernen und Einsetzen eines nicht dargestellten Werkstücks ausgebildet ist, ist an einer oberen Seite des Antriebsmittels 222 angeordnet (vgl. 20 und 21), wobei der Verbindungsdurchgang 228 durch Aufsetzen der Ventilscheibe 226 auf einem an einer inneren Wandfläche des Ventilkastens 230 ausgebildeten Ventilsitz 232 luftdicht verschlossen wird. Ein Dichtelement 234 ist an der Ventilscheibe 226 entlang einer ringförmigen Nut angeordnet, wodurch als Folge des Dichtelementes 234 Luftdichtigkeit gewährleistet wird, wenn die Ventilscheibe 226 auf dem Ventilsitz 236 aufgesetzt wird.
Das Antriebsmittel 222 umfasst eine erste Grundplatte 236 und eine zweite Grundplatte 238, die an der Bodenfläche des Ventilkastens 230 über nicht dargestellte Schrauben befestigt sind, ein Gehäuse 240 mit einer röhrenförmigen Gestalt mit Boden, das an der zweiten Grundplatte 238 befestigt ist, und erste und zweite Zylindermechanismen 242a, 242b (Antriebsmechanismen), die aus den gleichen Aufbauelementen gestaltet sind und im Wesentlichen parallel innerhalb des Gehäuses 240 angeordnet sind.
Wie in 16 dargestellt ist, sind Durchgangsöffnungen 244a, 244b mit im Wesentlichen kreisförmigem Querschnitt zum Einsetzen der Ventilstange 224 jeweils in im Wesentlichen zentralen Bereichen der ersten und zweiten Grundplatten 236, 238 ausgebildet. Außerdem ist ein Paar von Vorsprüngen 249a, 249b, die Aussparungen 248 mit im Wesentlichen halbkreisförmigem Querschnitt zum Halten der Halterollen 246 (werden später erörtert) aufweisen, mit einem festen Intervallabstand an einem unteren Oberflächenbereich der zweiten Grundplatte 238 angeordnet. Die Durchmesser der Durchgangsöffnungen 244a, 244b sind so ausgebildet, dass sie größer sind als die Durchmesser der Stange 224, und außerdem ist ein Ring 252 zum Tragen eines Endes eines Balges 250, der einen bestimmten Bereich der Ventilstange 224 umgibt und abdeckt, in die Durchgangsöffnung 244b eingesetzt.
Wie in 22 dargestellt ist, wird eine Dichtung (Dichtelement) 251, die eine äußere Umfangsfläche der Ventilstange 224 umgibt, zwischen den ersten und zweiten Grundplatten 236 und 238 ergriffen. Wenn das Paar von Kolben 260a, 260b angehoben wird, berührt die Dichtung eine ringförmige Stufe 227 der Ventilstange 224, was einer Dichtfunktion dient. Weil die Dichtung 251 so angeordnet ist, dass sie abgesehen von der ringförmigen Stufe 227 nicht in Kontakt mit anderen Umfangsflächen der Ventilstange 224 tritt, wird außerdem die Erzeugung von Staub oder Schmutz durch Reibung verhindert.
Wie in den 16 und 17 dargestellt ist, sind außerdem erste Dämpfungselemente 253, die bspw. aus einem Harzmaterial, wie Urethan- oder Polyurethanharz oder dgl. gebildet sind, innerhalb von Öffnungen in der zweiten Grundplatte 238 angeordnet, wobei die ersten Dämpfungselemente 253 durch und zwischen der ersten Grundplatte 236 und der zweiten Grundplatte 238 ergriffen werden. Wenn die Halterollen 256 mit den Aussparungen 238 in Eingriff treten, schlagen die ersten Dämpfungselemente 258 an den Halterollen 256 an, wodurch sie der Funktion dienen, den Stoß der Halterollen 256 zu absorbieren.
Weil der erste Zylindermechanismus 242a und der zweite Zylindermechanismus 242b jeweils aus den gleichen Aufbauelementen aufgebaut sind, wird eine detaillierte Beschreibung lediglich des ersten Zylindermechanismus 242a gegeben, wobei die gleichen Aufbauelemente, die sich auf den zweiten Zylindermechanismus 242b beziehen, mit dem Buchstabensymbol b bezeichnet werden und auf ihre weitere detaillierte Beschreibung verzichtet wird.
Wie in 17 dargestellt ist, umfasst der erste Zylindermechanismus 242a ein Zylinderrohr 256a, das über nicht dargestellte Befestigungsmittel an der zweiten Grundplatte 238 befestigt ist, einen Kolben 260a, der entlang einer Zylinderkammer 258 im Inneren des Zylinderrohres 256a verschieblich aufgenommen ist, eine Kolbenstange 264a, die mit einem Ende des Kolbens 260a verbunden ist, und ein Dichtelement 266a, das an dem Zylinderrohr 256a gehalten ist und eine äußere Umfangsfläche der Kolbenstange 264a umgibt.
Eine Kolbendichtung 270a zur Gewährleistung der Luftdichtigkeit zwischen jeweiligen oberen 258a und unteren 258b Zylinderkammern, die durch den Kolben 260a abgeteilt werden, ist über eine äußere Umfangsfläche des Kolbens 260a angeordnet. Außerdem ist ein zweites Dämpfungselement an einem Bodenflächenbereich des Kolbens 260a angeordnet, um einen Stoß zu absorbieren, wenn der Kolben 260a seinen unteren Totpunkt erreicht. Das zweite Dämpfungselement kann vorzugsweise aus einem Harzmaterial, bspw. Urethanharz, Polyurethanharz oder dgl. geformt werden.
In diesem Fall wird Druckfluid (bspw. Druckluft) durch ein nicht dargestelltes Rohr, das mit einer Druckfluidzufuhrquelle (ebenfalls nicht dargestellt) verbunden ist, den oberen und unteren Zylinderkammern 258a, 258b zugeführt, wobei durch die Schaltung eines nicht dargestellten Richtungssteuerventils Druckfluid entweder der oberen Zylinderkammer 258a oder der unteren Zylinderkammer 258b zugeführt wird.
Wie in den 16 und 17 dargestellt ist, umfasst das Antriebsmittel 222 außerdem ein Joch 278, das als eine in Längsrichtung dimensionierte Platte ausgebildet ist und jeweils mit anderen Enden des Paares von Kolbenstangen 264a, 264b über Verriegelungsmuttern 274 verbunden ist, und einen Verschiebungsblock 280, der integral mit dem Joch 278 verschoben wird und eine im vertikalen Schnitt H-förmige Gestalt hat.
Wie in den 16 und 17 dargestellt ist, ist eine im Wesentlichen kreisförmige Aussparung 286, die mit einem Endbereich eines Gewindeelementes (wird später erörtert) in Eingriff steht, in einem zentralen Bereich des Joches 278 ausgebildet. Außerdem ist ein Paar von Halteblöcken 290a, 290b, in die im Wesentlichen elliptisch geformte Langlöcher eingeschnitten sind, mit einem festgelegten Intervallabstand an dem Joch 278 befestigt, wobei Rollen oder Walzen 292, die über Stiftelemente 291 axial an dem Verschiebungsblock 280 befestigt sind, so angeordnet sind, dass sie mit den Langlöchern 288a, 288b in Eingriff treten. Die Walzen 292 werden zentral um die Stiftelemente 291 drehbar axial gehalten.
Außerdem sind Halteplatten 293 jeweils über Gewindeelemente an oberen Bereichen des Paares von Halteblöcken 290a, 290b befestigt. Ein Paar von Stiftelementen 294 ist über Löcher in die Halteplatten 293 eingesetzt, wobei Enden der Stiftelemente 294 für den Eingriff mit Eingriffsnuten 296, die in beiden Seitenflächen des Verschiebungsblockes 280 ausgebildet sind, vorgesehen sind.
Wie in den 16 und 17 dargestellt ist, ist in einem im Wesentlichen zentralen Bereich in dem Verschiebungsblock 280 eine Öffnung 300 ausgebildet, die im Querschnitt im Wesentlichen kreisförmig ist und durch welche ein anderes Ende der Ventilstange 224 passend eingesetzt ist, wobei die Ventilstange 224 über eine Verriegelungsmutter 302, die mit einem Gewindeendbereich der Ventilstange 224 verbunden ist, an dem Verschiebungsblock 280 befestigt ist. Die Ventilstange 224 und das Federelement 284 sind zwischen dem Verschiebungsblock 280 und dem Joch 278 angeordnet, wobei ein Ende des Federelementes 284 mit der Verriegelungsmutter 302 in Eingriff steht und das andere Ende des Federelementes 284 mit der Aussparung 286 des Joches 278 in Eingriff steht.
Ein Balg 250 ist in abdeckender Weise um eine äußere Umfangsfläche einer anderen Endseite der Ventilstange 224 vorgesehen, wobei ein Ende des Balges über einen Haltering 252 an der zweiten Grundplatte 238 befestigt ist, und wobei sein anderes Ende an einem Ringkörper 304 befestigt ist, der außen über die Ventilstange 224 gesetzt ist.
Außerdem sind Eingriffsnuten 296 für den Eingriff mit Enden von Stiftelementen 294, die mit Hilfe der Halteblöcke 290a, 290b und von Halteplatten 293 in dem Joch 278 gehalten werden, jeweils in beiden Seitenflächen des Verschiebungsblockes 280 ausgebildet. Durch den Eingriff der Stiftelemente 294 in untere Bereiche 296a der Eingriffsnuten 296 wird eine Positionsverschiebung oder ein Versatz zwischen dem Joch 278 und dem Verschiebungsblock 280 in Aufwärts-/Abwärtsrichtung sowie in Vorwärts-/Rückwärtsrichtung (d.h. Richtungen senkrecht zu der Papierebene in 17) verhindert, und außerdem sind diese Elemente mit einer festen Intervalltrennung entlang der Aufwärts/Abwärtsrichtung positioniert und in dieser Weise in einem eingestellten Positionszustand integral aufwärts und abwärts bewegbar. Zusätzlich ist die Ventilscheibe 226 durch Entfernen der Stiftelemente 294 aus dem unteren Endbereich 296a der Eingriffsnuten 296 und durch Anheben entlang der Eingriffsnuten 296 schwenkbar bewegbar.
Außerdem ist ein Paar von Halterollen 246 drehbar axial auf verzweigten oberen Bereichen des Verschiebungsblockes 280 gehalten, wobei diese Halterollen 246 in gekrümmte Aussparungen 248 eingesetzt sind, die in den Vorsprüngen 294a, 294b der zweiten Grundplatte 238 ausgebildet sind, wenn der Verschiebungsblock 280 an seiner Verschiebungsendposition ist, wodurch die Ventilscheibe 226, die Ventilstange 224 und der Verschiebungsblock 280 lediglich um einen festgelegten Winkel 8 schwenkbar bewegt werden, wobei die mit Aussparungen 248 in Eingriff stehenden Halterollen 246 als Drehpunkt verwendet werden.
Der Schieber 220 gemäß der dritten Ausführungsform der Erfindung ist im Wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Nachfolgend werden die Wirkungs- und Funktionsweisen der Erfindung erläutert. In der nachfolgenden Beschreibung wird eine Ursprungsposition erläutert, bei der das Paar von Kolben 260a, 260b an der am weitesten unten liegenden Position in den Zylinderkammern 258 angeordnet ist, der in dem Ventilkasten 230 ausgebildete Verbindungsdurchgang 228 in einem geöffneten Zustand und nicht durch die Ventilscheibe 226 verschlossen ist.
Weil das Joch 278 durch die elastische Kraft der Feder 284 zu der Abwärtsseite gepresst wird, werden in diesem Fall an der Ursprungsposition die Stiftelemente 294, die über die Halteblöcke 290a, 290b und Halteplatten 293 an dem Joch 278 befestigt sind, in einem Zustand gehalten, in dem sie an den unteren Enden 296a der Eingriffsnuten 296 des Verschiebungsblockes 280 gehalten werden. Zusätzlich sind in dieser Ursprungsposition die Walzen 292 in einem Zustand, in dem sie an den oberen Bereichen der Langlöcher 288a, 288b, die in den Halteblöcken 290a, 290b ausgebildet sind, angreifen.
Bei Anordnung an der Ursprungsposition wird Druckfluid von einer Druckfluidzufuhrquelle (nicht dargestellt) den unteren Zylinderkammern 258b der ersten und zweiten Zylindermechanismen 242a und 242b jeweils durch nicht dargestellte Rohre zugeführt. Die Kolben 260a, 260b werden durch die Wirkung des den unteren Zylinderkammern 258b zugeführten Druckfluides angehoben, wodurch auch das Paar von Kolbenstangen 264a, 264b, die mit den Kolben 260a, 260b verbunden sind, entsprechend angehoben wird. In diesem Fall sind die oberen Zylinderkammern 258a in einem Zustand, in dem sie durch die Wirkung eines nicht dargestellten Richtungssteuerventils zur Atmosphäre offen (belüftet) sind.
Durch im Wesentlichen paralleles Anheben des Paares von Kolbenstangen 264a und 264b werden die Kolbenstangen 264a, 264b zusammen mit dem Joch 278, dem Verschiebungsblock 280, der Ventilstange 224 und der Ventilscheibe 226 integral angehoben. In diesem Fall ist das Joch 278 in einem Zustand, in dem es durch die elastische Kraft des Federelementes 284 nach unten gepresst wird, und als Folge der Tatsache, dass das Paar von Stiftelementen 294, die über Halteblöcke 290a, 290b und Halteplatten 293 an dem Joch 278 befestigt sind, an den unteren Endbereichen 296a der Eingriffsnuten 296 des Verschiebungsblocks 280 gehalten wird, werden das Joch 278 und der Verschiebungsblock 280 in einem Zustand gehalten, in dem ihre Positionierung an festen Positionen gehalten wird und in dem eine Positionsverschiebung oder ein Versatz in Aufwärts-/Abwärtsrichtung sowie in Vorwärts-/Rückwärtsrichtung (d.h. Richtungen senkrecht zu der Papierebene in 17) verhindert wird. Dementsprechend werden das Joch 278 und der Verschiebungsblock 280 integral gemeinsam angehoben, wobei sie in einem eingestellten Positionszustand sind, der die feste Positionierung zwischen diesen Elementen beibehält.
Die Kobenstangen 264a, 264b werden im Wesentlichen gleichzeitig angehoben, und durch Eingriff eines Endes des Verschiebungsblocks 280 mit der zweiten Grundplatte 238 erreicht der Verschiebungsblock 280 seine Verschiebungsendposition, wobei die Ventilscheibe 226 in einem Zustand platziert wird, in dem sie dem Öffnungsanschluss des Verbindungsdurchgangs 228 gegenüberliegt (vgl. 20). Zu dieser Zeit greift das Paar von Halterollen 246, die in dem oberen Bereich des Verschiebungsblocks 280 angeordnet sind, jeweils in die gekrümmten Aussparungen 248 in den Vorsprüngen 249a, 249b der zweiten Grundplatte 238 ein, und zusätzlich wird durch Anlage an den ersten Dämpfungselementen 253 jeglicher hierdurch erzeugter Stoß absorbiert.
Nachdem der Verschiebungsblock 280 seine Verschiebungsendposition erreicht hat, wird das Paar von Kolbenstangen 264a, 264b weiter oder noch weiter angehoben, wodurch der Verschiebungsblock 280 durch den Eingriff der Walzen 292 in die Langlöcher 288a, 288b des Joches 278 schwenkbar bewegt wird, wobei die Halterollen 246 in Eingriff mit den Aussparungen 248 als ein Drehpunkt dienen, wobei die Ventilscheibe 226 auf dem Ventilsitz 232 aufsitzt, um dadurch den Verbindungsdurchgang zu schließen (vgl. 21).
Genauer gesagt wird, nachdem der Verschiebungsblock 280 seine Verschiebungsendposition erreicht hat, durch weiteres Anheben des Paares von Kolbenstangen 264a, 264b gegen die entgegenwirkende elastische Kraft des Federelementes 284 lediglich das Joch 278 weiter angehoben. Zu dieser Zeit wird der Verschiebungsblock 280 durch den Eingriff der Walzen 292 in die Langlöcher 288a, 288b, die an beiden Seitenflächen des Joches 278 ausgebildet sind, lediglich um einen festgelegten Winkel θ geneigt, wobei die Halterollen 246 als ein Drehpunkt dienen (vgl. 21). Wenn der Verschiebungsblock 280 um den durch die Halterollen 246 gebildeten Drehpunkte geneigt wird, werden außerdem die Stiftelemente 294, die an beiden Seitenflächen des Joches 248 befestigt sind, aus den unteren Endabschnitten 296a der Eingriffsnuten 296 des Verschiebungsblockes 280 herausgezogen und entlang der Eingriffsnuten 296 angehoben.
Als Folge der Winkelverschiebung des Verschiebungsblocks 280 nur um einen festgelegten Winkel θ wird dementsprechend die Ventilscheibe 226, die über die Ventilstange 224 an dem Verschiebungsblock befestigt ist, aus einem Zustand, in dem sie mit einem festgelegten Intervallabstand dem Verbindungsdurchgang 228 gegenüberliegt, verschoben, um nun im Wesentlichen parallel zu einer Seite des Verbindungsdurchgangs 228 zu liegen. Als Folge hiervon wird das Dichtelement 234, das auf der Ventilscheibe 226 angeordnet ist, auf dem Ventilsitz 232 aufgesetzt und der Verbindungsdurchgang 228 wird luftdicht verschlossen.
Als nächstes wird in dem Fall, dass die Ventilscheibe 226 von dem Ventilsitz 232 getrennt wird, um den Verbindungsdurchgang 228 zu öffnen, durch die Schaltung eines nicht dargestellten Richtungssteuerventils Druckfluid im Wesentlichen gleichzeitig zu dem oberen Zylinderkammern 258a der ersten und zweiten Zylindermechanismen 242a und 242b zugeführt, wodurch das Paar von Kolben 260a, 260b im Wesentlichen gleichzeitig abgesenkt wird und die Kolbenstangen 264a, 264b, das Joch 278 und der Verschiebungsblock 280 integral abgesenkt und zu ihren Ursprungspositionen zurückgeführt werden. Außerdem sind in diesem Fall die unteren Zylinderkammern 258b durch die Schaltung eines nicht dargestellten Richtungssteuerventils in einem zur Atmosphäre geöffneten Zustand.
Im Einzelnen werden, nachdem der Verschiebungsblock 280 durch den Eingriff von Walzen 292 in die Langlöcher 288a, 288b lediglich um einen festgelegten Winkel θ in einer Richtung entgegengesetzt zu der oben beschriebenen Richtung geneigt und die Ventilscheibe 226 sicher von dem Ventilsitz 232 getrennt wurde, das Paar von Kolbenstangen 264a, 264b integral zusammen mit dem Joch 278 und dem Verschiebungsblock 280 abgesenkt und sie kehren dadurch zu ihren Ursprungspositionen zurück. Zu dieser Zeit wird jeglicher Stoß. der auftritt, wenn die Kolben 260a, 260b ihre unteren Totpunkte erreichen, durch die an der Bodenfläche der Kolben 260a, 260b angeordneten zweiten Dämpfungselemente absorbiert.
Dadurch dass bei der dritten Ausführungsform die Stiftelemente 294, die über die Halteblöcke 290a, 290b und Halteplatten 293 an dem Joch 278 befestigt sind, mit Eingriffsnuten 296 des Verschiebungsblocks 280 in Eingriff gebracht werden, werden das Joch 278 und der Verschiebungsblock 280 in einem eingestellten Positionszustand mit festgelegten Positionen gehalten, ohne eine Verschiebung oder einen Versatz zwischen ihnen in Aufwärts/Abwärts- oder Vorwärts-/Rückwärtsrichtung, und beide Elemente werden so angeordnet, dass sie sich integral gemeinsam aufwärts und abwärts bewegen. Wenn das Joch 278 und der Verschiebungsblock 280 aufwärts und abwärts bewegt werden, werden dementsprechend bei der dritten Ausführungsform Führungsmittel zum Führen des Joches 278 und des Verschiebungsblocks 280 unnötig und im Vergleich mit dem Stand der Technik kann die Zahl der Teil reduziert und die Produktionskosten können gesenkt werden.
Da bei der dritten Ausführungsform ein Verfahren zur Bearbeitung oder zum Ausschneiden von Führungsnuten 10 (vgl. 29), in Seitenflächen des Zylinderrohres 9, die beim Stand der Technik vorgesehen sind, weggelassen werden kann, können die Produktionsschritte vereinfacht und dadurch die Produktionskosten reduziert werden.
Da gemäß der dritten Ausführungsform ein Führungsmittel, welches Staub und Schmutz erzeugt, wenn es wie beim Stand der Technik gleitend entlang von Führungsnuten 10 verschoben wird, nicht vorgesehen werden muss, wird außerdem die Erzeugung von Staub, Schmutz und dgl. vermieden und der Schieber kann in geeigneter Weise in einer Umgebung eingesetzt werden, die Reinheit erfordert, bspw. in einer Reinraumumgebung oder dgl.
Als nächstes wird ein Schieber (Schiebeventil) 310 gemäß einer vierten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung in den 23 bis 26 dargestellt. In den nachfolgenden Beschreibungen werden Aufbaumerkmale, die denen des in 15 gezeigten Schiebers 220 gemäß der dritten Ausführungsform entsprechen, mit gleichen Bezugszeichen versehen und auf ihre detaillierte Beschreibung wird verzichtet.
Bei dem Schieber 310 gemäß der vierten Ausführungsform ist anstelle der Stiftelemente 294, die an dem Joch 278 befestigt sind, und der Eingriffsnuten 296, die in beiden Seitenflächen des Verschiebungsblocks 280 ausgebildet sind, und die den Aufbau des Schiebers 220 der dritten Ausführungsform bestimmen, ein Paar von Verbindungsstiften 312a, 312b vorgesehen, um den Positionszustand des Joches 278 bzw. des Blocks 280 integral beizu behalten, wobei eine Positionsverschiebung oder ein Versatz in Aufwärts/Abwärtsrichtung oder Vorwärts-/Rückwärtsrichtung nicht auftritt.
Erste Enden jedes des Paares von Verbindungsstiften 312a, 312b sind jeweils in eine Bodenfläche des Verschiebungsblocks 280 eingeschraubt, während deren andere Enden mit einem gewissen Spiel lose in Langlöcher 314 des Joches 378 eingesetzt sind. Dementsprechend sind die anderen Enden der Verbindungsstifte 312a, 312b entlang der Langlöcher 314 verschiebbar vorgesehen. Außerdem sind Kopfbereiche der Verbindungsstifte 312a, 312b, die einen sich verjüngenden Querschnitt aufweisen, so angeordnet, dass sie durch sich verjüngende Abschnitte 316, die in den Langlöchern ausgebildet sind, an ihrem Platz gehalten werden.
In diesem Fall ist das Joch 278 in einem Zustand, in dem es durch die elastische Kraft von Federelementen 284 nach unten gepresst wird, und als Folge der Tatsache, dass die Köpfe des Paares von Verbindungsstiften 312a, 312b, die an der Bodenfläche des Verschiebungsblocks 280 befestigt sind, durch die sich verjüngenden Abschnitte der Langlöcher 314 des Joches 278 an ihrem Platz gehalten werden, werden das Joch 278 und der Verschiebungsblock 280 zusammen in einem festgelegten Positionszustand gehalten. Dementsprechend werden das Joch 278 und der Verschiebungsblock 280 integral angehoben und abgesenkt, wobei sie in einem Zustand gehalten werden, der die eingestellte Positionierung zwischen ihnen beibehält.
Als nächstes wird, nachdem der Verschiebungsblock 280 seinen Verschiebungsendpunkt erreicht hat, das Joch 278 entgegen der elastischen Kraft des Federelementes 284 weiter angehoben, und zu dieser Zeit werden die Köpfe der Verbindungsstifte 312a, 312b aus den Langlöchern 314 des Joches 278 herausgezogen, wodurch der Verschiebungsblock 280 sich lediglich um einen festgelegten Winkel θ neigt, wobei die Halterollen 246 als Hebeldrehpunkt dienen.
Bei der vierten Ausführungsform können dank des vereinfachten Aufbaus des Paares von Verbindungsstiften 312a, 312b das Joch 278 und der Verschiebungsblock 280 in einem festgelegten Positionszustand an festgelegten Positionen entlang der Aufwärts-/Abwärtsrichtung gehalten werden, während die Herstellungskosten der Vorrichtung noch weiter reduziert werden können.
Die übrigen Aufbau- und Wirkungseffekte werden nicht im Detail beschrieben, da sie die gleichen sind wie bei der dritten Ausführungsform.
Außerdem wurden bei der Darstellung der dritten und vierten Ausführungsformen die Vielzahl von Antriebsmechanismen durch erste und zweite Zylindermechanismen 242a, 242b beschrieben, die eine integrale Verschiebung der Kolben 260a, 260b und der Kolbenstangen 264a, 264b unter der Wirkung eines Druckfluides bewirken. Die Erfindung ist jedoch nicht auf einen solchen Aufbau beschränkt und, obwohl nicht dargestellt, können bspw. auch Linearstellglieder, Drehantriebsquellen, elektrische Stellglieder und dgl. in einfacher Weise für die Vielzahl von Antriebsmechanismen eingesetzt werden.

Claims

Schieber mit: einer Antriebsquelle (42); einem ersten Verschiebungselement (78), das mit einer Antriebswelle (64) der Antriebsquelle (42) verbunden und durch die Antriebswirkung der Antriebsquelle (42) entlang einer Axialrichtung verschiebbar ist; einem zweiten Verschiebungselement (80), das gemeinsam mit dem Verschiebungselement (78) entlang der Axialrichtung verschiebbar ist und außerdem um ein Halteelement (46), das an einem Verschiebungsendpunkt in Axialrichtung als Hebeldrehpunkt dient, schwenkbar beweglich angeordnet ist; einer Ventilscheibe (26) zum Öffnen und Schließen eines Durchgangs (28) durch eine Ventilstange (24a, 24b), die mit dem zweiten Verschiebungselement (80) verbunden ist; und einem Positionshaltemechanismus (94, 96) zum Halten des ersten Verschiebungselementes (78) und des zweiten Verschiebungselementes (80) in einem festgelegten Positionszustand entlang deren Verschiebungsrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass der Positionshaltemechanismus ein Federelement (84) aufweist, welches zwischen dem ersten Verschiebungselement (78) und dem zweiten Verschiebungselement (80) angeordnet ist, um das erste Verschiebungselement (78) von dem zweiten Verschiebungselement (80) weg zu drängen, wobei die ersten und zweiten Verschiebungselemente direkt aneinander angebracht sind.
Schieber nach Anspruch 1, wobei der Positionshaltemechanismus außerdem ein Stiftelement (94), das an einer Seitenfläche des ersten Verschiebungselementes (78) angebracht ist, und eine Eingriffsnut (96) aufweist, die in einer Seitenfläche des zweiten Verschiebungselementes (80) ausgebildet ist und mit dem Stiftelement (94) in Eingriff tritt.
Schieber nach Anspruch 1, wobei der Positionshaltemechanismus außerdem einen Verbindungsstift (112a, 112b) aufweist, dessen eines Ende gleitend in ein Langloch (114) eingesetzt ist, welches in dem ersten Verschiebungselement (78) ausgebildet ist, und dessen anderes Ende an dem zweiten Verschiebungselement (80) befestigt ist.
Schieber nach Anspruch 1, wobei die Antriebsquelle einen einzelnen Zylindermechanismus (42) zur Verschiebung eines Kolbens (60) und einer Kolbenstange (64) entlang der Axialrichtung durch die Wirkung eines Druckfluides aufweist, wobei der Zylindermechanismus (42) ein Rotationsstoppelement (62) zum Verhindern einer Drehbewegung der Kolbenstange (64) in einer Umfangsrichtung aufweist.
Schieber nach Anspruch 4, wobei das Rotationsstoppelement Keilnuten (62), die an der sich in Axialrichtung erstreckenden Kolbenstange (64) ausgebildet sind, und ein Keilachsenaufnahmeelement (68) aufweist, in welchem eine Vielzahl von Kugeln (66) zur Rollbewegung entlang der Keilnuten (62) angeordnet ist.
Schieber nach Anspruch 1, wobei das Halteelement ein Paar von Haltewalzen (46) aufweist, die drehbar axial an einem Ende des zweiten Verschiebungselementes (80) gehalten werden, wobei die Haltewalzen (46) so angeordnet sind, dass sie mit gekrümmten Aussparungen (48), welche in einer Grund platte (48) ausgebildet sind, in Eingriff treten, wenn das zweite Verschiebungselement (80) an einer Position seines Verschiebungsendpunktes ist.
Schieber nach Anspruch 6, außerdem mit ersten Dämpfungselementen (53), die in den Aussparungen (48) angeordnet sind, um einen Stoß zu absorbieren, wenn die Haltewalzen (46) an den Aussparungen anschlagen.
Schieber nach Anspruch 4, außerdem mit einem zweiten Dämpfungselement (72) zum Absorbieren eines Stoßes, der durch den Kolben (60) aufgebracht wird, wenn der Kolben (60) seinen Bodentotpunkt erreicht.
Schieber nach Anspruch 4, außerdem mit einem Dichtelement (51) zum Berühren von und Bilden einer Dichtung mit ringförmigen Elementen (27a, 27b), die an einer äußeren Umfangsfläche der Ventilstange (24a, 24b) ausgebildet sind, wenn der Kolben (60) seine jeweiligen Verschiebungsendpositionen erreicht.
Schieber mit: einer Antriebsquelle (222) mit einer Vielzahl von im Wesentlichen parallel angeordneten Antriebsmechanismen (242a, 242b); einem Joch (278, 290a, 290b, 293), das jeweils mit Antriebsachsen (264a, 264b) der Vielzahl von Antriebsmechanismen (242a, 242b) verbunden ist, um sich durch die Antriebswirkung der Vielzahl von Antriebsmechanismen (242a, 242b) entlang einer Axialrichtung zu verschieben; einem Verschiebungsblock (280), der integral mit dem Joch (278, 290a, 290b, 293) entlang der Axialrichtung verschiebbar ist und der außerdem um ein Halte element (242), das an einem Verschiebungsendpunkt in Axialrichtung als Hebeldrehpunkt dient, schwenkbar beweglich angeordnet ist; einer Ventilscheibe (226) zum Öffnen und Schließen eines Durchgangs (228) durch eine Ventilstange (224), die mit dem Verschiebungsblock (280) verbunden ist; und einem Positionshaltemechanismus (294, 296, 292, 288a, 288b) zum Halten des Joches (278, 290a, 290b, 293) und des Verschiebungsblockes (280) in einem festgelegten Positionszustand entlang ihrer Verschiebungsrichtung, dadurch gekennzeichnet, dass der Positionshaltemechanismus ein Federelement (284) aufweist, das zwischen dem Joch (278, 290a, 290b, 293) und dem Verschiebungsblock (280) angeordnet ist, um das Joch (278, 290a, 290b, 293) von dem Verschiebungsblock (280) weg zu drängen, wobei das Joch und der Verschiebungsblock direkt aneinander angebracht sind.
Schieber nach Anspruch 10, wobei der Positionshaltemechanismus außerdem ein Stiftelement (294), das über einen Halteblock (290a, 290b) in dem Joch (278) befestigt ist, und eine Halteplatte (293) aufweist sowie eine Eingriffsnut (296), die in einer Seitenfläche des Verschiebungsblocks (280) ausgebildet ist und mit dem Stiftelement (294) in Eingriff tritt.
Schieber nach Anspruch 10, wobei der Positionshaltemechanismus außerdem einen Verbindungsstift (312a, 312b) aufweist, dessen eines Ende gleitend in ein in dem Joch (278) ausgebildetes Langloch (314) eingesetzt ist und dessen anderes Ende an dem Verschiebungsblock (289) befestigt ist.
Schieber nach Anspruch 10, wobei die Vielzahl von Antriebsmechanismen erste und zweite Zylindermechanismen (242a, 242b) zur Verschiebung von Kolben (260a, 260b) und Kolbenstangen (264a, 264b) entlang der Axialrichtung durch die Wirkung eines Zylinderkammern (258) zugeführten Druckfluides aufweist.
Schieber nach Anspruch 10, wobei das Halteelement ein Paar von Haltewalzen (246) aufweist, die drehbar axial an einem Ende des Verschiebungsblocks (280) gehalten sind, wobei die Haltewalzen (246) so angeordnet sind, dass sie in Eingriff mit gekrümmten Aussparungen (278), die in einer Grundplatte (238) ausgebildet sind, treten können, wenn der Verschiebungsblock (280) an einer Position seines Verschiebungsendpunktes ist.
Schieber nach Anspruch 14, außerdem mit ersten Dämpfungselementen (253), die in den Aussparungen (248) angeordnet sind, um einen Stoß zu absorbieren, wenn die Haltewalzen (246) an den Aussparungen anschlagen.
Schieber nach Anspruch 10, außerdem mit einem Dichtelement (251) zum Berühren von und Bilden einer Dichtung mit einem ringförmigen Element (227), das an einer äußeren Umfangsfläche der Ventilstange (224) ausgebildet ist.