475044 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 -------BL_______ 五、發明說明（i ) [發明領域] 本發明係有關一種閘形閥，其能夠打開與關閉一傳送 路徑用以將一工作件，例如積體電路（ic)或其所用組件， 從一真空處理室傳送到另一真空處理室；或用來打開和關 閉一流體流動路徑，或廢氣流動路徑，用於壓縮流體或氣 體者，或類似者。 [相關技藝說明] 傳統上，在用於例如半導體晶圓或液晶基板的處理裝 置中，將半導體晶圓或液晶基板移入和移出各類型處理室 之程序係透過溝通通道來進行的，其中於該等通道内，分 別地，配置著閘形閥用以打開和關閉該等溝通通道。 例如，在日本專利文件第2,613，171號（相當於美國專 利第5,415,376號和5,641，149號）之中，閘形閥係以如下 方式配置，即在藉由在一注缸的啟勒操件下位移的閑择之 直接前進移動使得閥片（valve disk)到達相對於閥座的對面 位置之後，再藉由閥桿的斜移動推壓閥片使之與閥座接 觸進而座落於閥座之上藉以將閥匣（valve box)内形成的溝 通通道關閉。 更詳細言之，如第27和28圖中所示者，根據習用技 術的閘形閥包括一閥匣3，其具有在其内形成的一溝通通 道2用以移入與移出一工作件，·一閥片5，以是否座落於 該閥£ 3内形成的閥座4之上的方式打開和關閉該構通通 道2 ;及一閥桿6，其係連接到該閥片5且能夠進行上不移 動及傾斜移動。 --------^——-----線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 1 311546 475044 謂 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 ___ 談0, mj — --——— Βτ_::嘱」 五、發明説明（） ： ............................... ^ — - ~ 2 於該閥桿6的上端部份連接著一闕％ 7，纟中於該闕 塊7的兩側表面上連接著樞軸11，其係沿著在一對汽缸 8a’8b所含汽缸管9的兩側表面上分別形成之導引溝槽w 位移的（參看第29圖），且其中該閥塊7係經配置成在與該 樞軸11銜接的導引溝槽1〇之導引作用下進行上下移動和 傾斜，汽缸管9，閥塊7和樞轴丨〗皆係用金屬材料分別形 成的。 以另外的方式說明，該閥塊7係經構造成透過接觸發 出推力的彈簧12，同時在與該樞軸Π銜接的導引溝槽10 之導引作用下沿垂直方向與一軛13 一致地進行直接前進 移動，且此外在由導引溝槽10(參看第28圖）的彎曲下端 參看第29圖）之支撐下以樞軸n作為樞點（槓桿支 點，fulcrum)沿箭號A的方向進行傾斜移動。其結果，閥 片5於以柩軸u作為槓桿支點之下，沿著箭號B作傾斜 移動而座落在閥座4之上，藉以將溝通通道2氣密地關閉。 再者，元件符號14所指為具有截面為鑽石形狀的凸輪 板，其中經由使凸輪板14位移，使其變成實質地水平，可 促使閥塊7沿著箭號a的方向進行傾斜移動，其中係使用 導引溝槽10的下面彎曲部份10a作為槓桿支點。 、、而，在使用根據上文所提習用技術的閘形閥時，因 為閥塊樞軸係經配置成用以在沿著汽缸兩側表面上形成的 導引溝槽進行滑動位移，所以在長期使用之餘，該樞轴會 受到摩擦損耗且因而變形，以致產生使得彼等的導引作用 能力減低之缺點。 -----------------奸衣----------------------#--------------------^ (請先閲讀背面之注意事項再塡寫本頁各攔) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇χ297公釐） 2(修正頁） 311546 475044
五、發明說明（ 此外，於根據習用技術的閘形閥中，因為樞轴必須配 置在閥塊的兩側上’使一得部級目心且另外還需要將 汽虹兩側面機械加工或切割出導引 產生增加生產成本之缺點。 ^___________________________——…- .......................... 再者’於根據習用技術的閘形閥令，因金屬材料所製闕 係與也是用金屬材料形成的汽缸管所且導引溝槽一 接觸而滑動地移位，所以污物或灰塵等易於形成:換言之； 導致另$缺點’亦即’由於在金屬部件之間摩擦產生污 爹使得該裝置不能用於需要純淨的環境，例如潔淨室等之 [發明概述] 本發明的一項一般目的為提出一種閘形闕，其中，經 由免除對導引裝置的需求，使得零件數目得以減少，由是 可減低生產成本。 本發明的另-主要目的為提出一種開形間，其能夠經 由屋抑粉塵、污物等的產生而1當地用於要求純淨的環境 中 〇 本發明的另一項目的為提出一種閉形閥，其中配置有 -定位支撐構造’用以使一第一移位構件與—第二移偉構 件在其移位方向上整體地保持在預定的定位狀態卜且其 t 能夠在即使經長期使用之後仍雄持住該第_和第二移位構 件的定位狀況。 本發明的上述和其他㈣，特徵與優點可從下面的說 丨明配合用闡明㈣形式顯示出本發明較佳實施 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 311546 3 A7 - —------------- B7 ___ 五、發明說明(4 ) ~ 一 變得明白。 [圖式之簡略說明] (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 第1圖為根據本發第一具體實施例的閉形閱之輪鄭透 視圖； 第2圖為第1圖之閘形閥的分解透視圖； 第3圖為沁著第1圖之閘形閥的軸向之垂直戴面圖； 第4圖為沿著第3圖之線IV-IV之橫向截面圖； 第5圖為沿著第3圖之線v_v之橫向截面圖； 第6圖為沿著第3圖之線ν;μνι之橫向截面圖； 第7圖為沿著第3圖之線VII-VII之垂直截面圖； 第8圖為一垂直裁面圖顯示出當閥桿從第7圖所示狀 態傾斜一 $角時，閥片在閥座上的座落狀況； 第9圖為顯示出密封閥桿所用墊圈之部份擴大垂直截 面圖； 第10圖為沿著垂直於軸向的方向所採取之底板的垂 直截面圖； 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第11圖為沿著根據本發明第二具體實施例的閘形閥 轴向所取之垂直截面圖； 第12圖為沿著第11圖之線χπ-χπ之垂直截面圖； 第13圖為沿著第11圖之線ΧΠΙ-ΧΙΙΙ之橫向截面圖； 第14圖為一垂直截面圖顯示出當閥桿從第12圖所示 狀態傾斜一 Θ角時，閥片在閥座上的座落狀況； 第15圖為根據本發明第三具體實施例的閘形闊之輪 廓透視圖； 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 4 311546 475044 Α7 Β7 五、發明說明（ 圖 圖， 第Ιό圖為第15圖夕 _之閘形閥的分解透視圖； 第17圖為沿著箆1 @ 15圖之閘形閥的軸向之垂直載面 第1 8圖為沿著第i 7 木17圖之線XVIII- XVIII之橫向截 面 第-1 9圖為沿著第1 7 禾17圖之線XIX-XIX之橫向載面圖； 第20圖為沿著第]7 $ 17圖之線XX-XX之垂直截面圖； 第21圖為一垂直戴 面圖顯示出當閥桿從第20圖所示 狀態傾斜一 0角時，閥H — 9日— 务 _片在閥座上的座落狀況； 第22圖為顯示出密射戸弓 &封閥桿所用墊圈之部份擴大垂直 截面圖； 第23圖為沁著根據本發第四具體實施例的閘形閥之 軸向所取之垂直截面圖； 圖， 第24圖為沿著第23圖之線XXIV_XXIV之橫向戴 第25圖為沿著第23圖之線XXν·ΧΧΥ之垂直截面 ---------------------^--------- (請先閲讀背面之注意事項再填寫本頁) 圖 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 第26圖為一垂直截面圖顯示出當閥桿從第25圖所示 狀態傾斜一 Θ角時，閥片在閥座上的座落狀況； 第27圖為沿著根據習用技術的閘形閥軸向所取之垂 直截面圖； 第28圖為沿著第27,圖之閘形閥的軸向之垂直載面 圖； 第29圖為構成第27圖所示閘形閥之部份構造的汽紅 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 5 311546 475044 6 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明説明（ 管之透視圖； [較佳實施例說明] 於第1圖中’兀件符號20指本發明第一實施例 閥。 ^ 閑形閥20包括一驅動裝置22; 一對閥桿施、⑽， 其可在該驅動裝置22的驅動作用下沿向上與向下方向移 動’且更可沿著與該上/下方向垂直的方向傾斜移動·及— 縱長形閥片26’其係經連接到閥桿24心2外的末端部件。 ㈣閥桿24a'24b的末端側及實f中央部份的外周圍表面 上分別形成環形階（annular step)27a、27b(參看第3圖）。 在其内部界定一溝通通道28用以移出和移入未示出 的工作件之闕£ 3G(參看第7和8圖）係配置在該驅動裝置 22的上側，其中經由使閥片％座落在由閥匣π内壁表面 所形成的閥座32之上’即可將溝通通道28氣密地關閉。 在閥片=中沿著環形溝槽配置一密封構件34，使得在閥 片26座落在閥座32之上時可由該㈣構件34保持氣密狀 況。 該驅動裝置22包括一透過螺絲構件％固定到閥匣3〇 底面的底板38;—固定至該底板38的有底的管狀外殼4〇; 及經配置在外殼40内部的汽缸機構（驅動源）4?。 如第2圖所示’在底板38上形成有一對截面實質呈圓 形的通孔44a、44b，用以插置該對閥桿2“、24b。此外， 在底板38的下表面上’形成有截面呈半圓形的凹槽48(參 看第1圖）用以接納且支撐後面要討論到的支撐滾筒（支撐 311546 ^----------------------，玎--------------------^ f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁各攔) 475044 五、發明說明（, 構件）。通孔44a、44b的直徑係經形成得比閥桿2物、2作 的直徑稱大些，且另外，將覆蓋闕桿24a、24b預定部份的 摺箱（bellGWS)5()的末端部料以@持住的環㈣經配置 到通孔44a、44b内部。 如第9圖所示，於摺箱5〇與閥匣3〇之間，呈夾層關 係地配置著-襯塾（packing)(密封構件）51，其係包圍著該 閥桿24a、24b的外周面。襯塾51係經由接觸闕桿w、 24b上側的環形階27a，以及其下側的環形階，而於活 塞到達其上死點（dead point)與下死點時，分別發揮其密封 作用，該等死點係對應於活塞移位終點之位置。再者，當 活塞係位於其上死點和下死點主間時，因备係經配 .......—-— ........ —----------------一，」’所以可止因 一摩擦所致灰塵與污物之產生。 〜〜 ......…......... 再者，如第10圖所示，在底板38的内部孔洞配置著 第一緩衝構件（cushi〇ning member)53 ,其係用樹脂材料形 成的，例如，胺基甲酸酯或聚胺基甲酸酯樹脂，其甲該第 一蓋—衝構件53係利用金屬配件55和止動環57固定在^ 中。緊抵著支撐滾筒46的該第一襯褥元件53係用；^在該 支撐滾筒46與凹槽48銜接時發揮吸收支撐滾筒46的震動 之作用。 - 如第3圖所示，該汽缸機構42包括一汽缸管％，其 係形成有分別在其兩側表面上沿轴向延伸且具有經由未示 出的螺絲固定到底板38的末端部件之階狀部分54(參看第 _ 2圖）’ - ^S6〇 ’其係經配置成沿著汽缸管％内部界定 本紙張尺度適用中國國豕標準（CNs)A4規格⑽X挪公楚） 經 濟 部 智 慧 財 產 局 員 工 消 費 合 作 社 印 製 8 475044 A7 B7 五、發明說明（8 ) 的汽缸室58移位；一活塞桿64，其係經連接到該活塞60 的一端且具有在其外周表面上沿軸向方向延伸形成的栓槽 (spline groove);及一栓槽軸接納構件（spUne axis receiving member)68 ’在其内部配置有眾多球66，彼等係與活塞桿 64的栓槽62相銜接著。 在該活塞60外周表面上配置著一活塞襯墊7〇，用以 保持由活塞60所分開的在個別上側58a與下側58b汽缸室 之間的氣密性。另外，在緊接活塞襯墊7〇的底面部份上安 置著一第二緩衝構件72，用以在活塞60到達其下死點時 吸收震動且該第二緩衝構件72係抵緊該栓槽接納構件68 的上端。該第二緩衝件72可用樹脂材料，例如，胺基甲酸 酯樹脂、聚胺基甲酸酯樹脂，或類似者予以適當地形成。 一加壓流體（例如，壓縮空氣）透過一未示出的連接到 壓縮流體供給源（也未示出）之管件（tube)供給到上側和下 側汽缸室58a、58b，藉此在一未示出的方向控制閥之轉換 作用下，將壓縮流體供給到上侧汽缸室58a或下側汽缸室 58b之任一者。 再者，如第2及第3圖所示，該驅動裝置22包括一槓 桿構件（lover member)(第一移位構件）78，其係透過一鎖緊 螺帽74與一間隔件76而固定到活塞桿64的另一端；且包 括另一移位構件（第二移位構件）8〇，用以與該槓桿構件％ 一體地移動。 在該實質平行延伸的槓桿構件78的兩側表面上形成 ―有…告側@突出一預定長度的一對突出部82a、82b，於其 本紐尺㈣财 、、 311546 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) · I-------訂--------- 475044 ,A7
9 311546 A7 A7 10 五、發明說明（1〇〕 ==固持在槓桿構件78内的定位上的銷_ =端相銜接。透過銷構件94與銜接溝槽外下 二:方二槓桿構件78和移位構件8。向上/下方向及 向刖/後方向（亦即，實質 垂直第3圖之紙面的方向）滑離其 位置^另外，横桿構件78和移位構件8〇可在上/下方向 以固定的間隔距離保持_ 種疋位狀態，且以此種保持J:定 位狀態的方式整體地向上盘 上興向下移動。此外，經由將銷構 件94從銜接溝槽％的下# 〜卜^ 96a撤出且沿其傾斜部分96b 將銷94提同（參看第2圖），間片&即變成可傾斜地移動。 再者於自移位構件8〇以分又方式分出的上部上以可 轴向旋轉方式承載著一對支撐滾子46，其中支撐滚子Μ， 如第4圖所不’係以相對於汽缸管％的階狀部份μ以一 既定餘隙呈不接觸方式配置者。此外，該等支樓滚子Μ 變成在移位構件80之移位端點處嵌入底板38之彎曲凹部 48内（參看第！圖），其令與凹部48銜接的該支撐滾子牝 係用為槓桿支點，藉此使閥片20，閥軸24a、24b與移位 構件80只傾斜一預定的角度0 (參看第8圖）。 更且’在移位構件80下端部份形成有截面呈實質橢圓 形的延伸孔106,於其中配置著活塞桿64使其可在移位構 件80傾斜時沿著該延伸孔1〇6移位（參看第5圖）。 根據本發明第一具體實例的閘形閥2.0基本上係依上 文所述而構成。接著要說明本發明的作用及操作效用。农 下面的說明中，要先解釋一起始位置，其中活塞6〇係在其 r在汽缸室5 8内的最低位置(下死點），且在閥匣30内形成 本紙張尺度適用中國國家標準(CNS)A4規格（21G X 297公髮「 311546 Μ--------It-----*----線 - % ί (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 475044 五、發明說明（u ) 的溝通通道28係呈開放狀態且未被閥片26所封閉。 於此情況中，於起始位置下，因為槓桿構件78係在彈 箐構件84的彈力下被壓向下側，所以經固定到積桿構件 78的銷構件94係經保持在使彼㈣持在移位構件80所且 銜接溝槽96的下# 96a處之狀態。此外，在此起始位置下了 滾子92係呈與在槓桿構件78兩側表面中形成的延伸孔 88a、88b上端部份相銜接之狀態。 於經配置在此起始位置時’壓縮流體即從壓縮流體供 給源（未不出）透過一未示出的管線供給到低側汽缸室58b 中。在供給到低側汽缸室58b的壓縮流體作用之下，活塞 6曰0即被提高，由是便連接到活塞6G的活塞桿64也為之提 昇。於此情況中，上側汽缸室58a係經由未示出的方向^ 制閥之操作而保持開放（通氣）到大氣之狀態。 二 曰經由提昇活塞桿64,該槓桿構件78，移位構件8〇 , 閥♦干24a、24b和閥片26即和活塞桿64聯合地整體提昇。 於此It況中’槓桿構件78的狀態為其會被彈簧構件的 彈力壓向下方侧，且由於該經較到槓桿構件78兩側表面 的該對銷構件94係經固持在移位構件8()所切接溝 的下端部份96a之事實，兮楢俨椹彼二 #槽 爭貫該槓扣構件78和移位構件8〇皆 處於使彼等的定位皆保持在固定位置之狀態，且其中可遏 止在上/下方向的位置滑移或偏離，以及前/後向（亦即，蜜 直於頁面的方向，如第3圖所示）的滑移或偏離。因此，該 槓桿構件78與移位構件⑽會聯合地整體上昇，同時呈保 持這些構^^固定定位之定位狀態。再者，當 «t 準（CNS)A4規格咖χ挪公爱） 311546 --------^--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 11 H-/JU44 A7 __B7 五、發明說明（12 件78和移位構件8〇經整體地提昇時，經移位構件8〇的上 部所轴向支撐的支撐滾子46不會與汽缸管56的階狀部份 54接觸’且槓桿構件78與移位構件8〇不會被支撐滾子 所導引（參看第4圖）。 當活塞桿64被提昇時，眾多球66會沿著在活塞桿64 上形成的栓槽62滾動與循環，伴隨著阻止活塞桿“沿著 經固定到汽缸管56的栓槽轴接納構件68之圓周方向轉 動’因而停止活塞桿64的任何旋轉。 經由提昇活塞桿64及使移位構件8〇的一端緊接底板 38，該移位構件8〇會到達其移位的終端位置，且閥片％ 會處於面對溝通通道28開口之狀態（參看第7圖）。此時， 配置在移位構件80上端部份之上的支撐滾子46會與底板 38的彎曲凹槽48銜接，其中可經由緊抵第一緩衝構件5} 而吸收掉任何震動。 線 在移位構件80到達其移位終點之後，活塞桿64繼續 再升南，藉此透過滾子92相對於槓桿構件78的延伸孔 8 8a 88b的銜接作用，在以銜接凹部48的支撐滚子作 為槓桿支點之下，移位構件80只傾斜一預定角度0，且經 由閥片26座落於閥座32之上使溝通通道28封閉（參看第$ 圖）。 更詳細言之，在移位構件8〇到達其移位終點之後，經 由使活塞桿64抵抗著彈簧構件84的彈力而進一步提昇， 只有槓桿構件78會繼續上升。此時該移位構件8〇，在滾 _子92相對於横桿構件78兩側表面中形成的延伸孔88a、 & 張卿iTiiiii (c細 311546 12 475044 ·Α7 五、發明說明（13 ) 88b之銜接作用下，只傾斜一預定角度0，其中係以支撐 ^ 作為槓梓支點（參看第8圖）。再者，當移位構件8〇 繞著支撐滾子46所界定的槓桿支點傾斜時，固定到槓桿構 件78兩侧表面的銷構件94即從移位構件8〇之銜接溝槽 96的下段96a脫離，並沿著其傾斜段96b提昇。 依此，由於移位構件8〇只傾斜一預定角度0，因此， 透過閥桿24a、24b固定到移位構件8〇的閥片％即從相對 於溝通通道28分離一預定間隔的狀態移位到使其實質平 行且面對於該溝通通道28之狀態。其結果，使配置在閥片 26上的密封構件34座落到閥座32之上，由是氣密地封閉 該溝通通道28。 接著，於閥片26要從閥座32分開以打開溝通通道28 的情況中，活塞桿60係經由未顯示出的方向控制閥的轉換 作用下將壓縮流體供給到上側汽缸室58a，且經由活塞桿 64 ,槓桿構件78和移位構件80的整體移位，使該等構件 回復到彼等的起始位置。再者，於此情況中，下側汽缸室 經濟部智慧財產苟員工消費合作社印製 56b係處於在未示出的方向控制閥之作用下使其排氣到大 氣之狀態中。 更詳細言之，在滾子92相對於延伸孔88a、88b的銜 接作用下使移位構件依與前文討論者相反的方向只傾斜一 預定角度（9之後，活塞桿64 ,即和槓桿構件78與移位構 件80 —體地降低，由是回復到彼等的起始位置。此時，當 活塞60到達其下死點時發生的任何震動即被配置在活塞 如底部表面上的第二緩衝構件72所吸收。再者，當活塞 13 311546 475044 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -A7 五、發明說明（14 ) 60降低時，因為槓桿構件78係被彈簧構件彈 壓’所以供給到上側汽缸t 5 無力向下 限制。 ㈣縮-體之流量可受到 於此第一具體實施例中，於由將固定在横桿構件Μ 兩側表面上的銷構件94與移位構件8〇的銜接 接’可使横桿構件78和移位構件8。保持在預定位置處： 定位狀態而不會使彼等之間沿上/下方向或在前/後方向上 滑移或偏離，且兩種構件係經配置成以聯合體整體地向上 與向下移動。於此情況t，配置在移位構件8〇上部之上的 支撐滚子46係保持不與汽紅f 56㈣狀冑54接觸，且移 位構件80不受支撐滾子46所導引（參看第4圖）。因此之 故，根據該第一具體實例，當槓桿構件78與移位構件⑼ 向上和向下移動時’不需要任何用來導引槓桿構件78和移 位構件80的導引裝置，因而相對於習用技術而言，可以減 少零件數目且降低生產成本。 / 再者，根據該第一具體實例，由於可以將根據習用技 術配置的汽缸侧表面令機械加工或切割出導引溝槽丨〇(參 看第29圖）所需的程序免除掉，因此製造步驟可以簡化且 伴隨著生產成本之減低。 再者，於該第一具體實例中，由於不需要/裝設如在習 用技術中所用的在沿導引溝槽10滑動移位時會促成灰塵 與污物的導引裝置，因此灰塵與類似物之產生即被壓抑， 使該閘形閥可以適當地用於需要純淨的環境中，例如潔淨 室環境或類似者。 ^ i--------t---------Μ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
311546 15 475044 B7 五、發明說明（15 ) 接著，在第11圖至14圖中顯示出根據本發明第二具 體實例的閉形閥11〇。於下面的說明中，與第^所示根 據本發明第一具體實例的閘形閥20所具者相同之構造特 徵皆標以相同的元件符號，且其詳細討論也因而省略掉。 於根據第二具體實例的閘形閥11〇中，取代經固定到 槓桿構件78的銷構件94與在移位構件8()兩側表面上形成 的銜接溝槽96等構成第一具體實例中的閘形閥2〇所具構 ^者’係裝設—對連接銷n2a、U2b用以整體地保持住横 桿構件78與移位構件80的定位狀態。 該對連接銷112a、112b各自的第_末端係分_接及 固定到移位構件80的底部表面，而其另一端則以一給予的 餘隙鬆散地配置到槓桿構件78的延伸孔114中。因此之 故，連接銷112a、112b的另一端係沿著延伸孔114可移位 地配置著。再者’連接銷112a、112b的頭部載面係呈錐形， 以便配置成藉由延伸孔114中形成的錐形段116而固持在 定位上。 於此情況中，槓桿構件78係處於被彈簧構件M的彈 力壓向下之狀態，因此附接到移位構件8〇底部表面上的連 接銷對112a、112b所具頭部係被槓桿構件78的延伸孔ιΐ4 所具錐形段116固持在定位，且槓桿構件78和移位構件 80 —起保持在一設定的定位狀態。因此之故，槓桿構件π 與移位構件80會在保持其間的設定定位之狀態下整體地 上升和降低。 __其一人’在移位構件80到達其移位終點之後，槓桿構件 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公爱） 311546
— II------ (請先閱讀背面之注咅？事項再填寫本頁) · · —線· 475044 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（16 ) 78會相對於彈簧元件84的彈力而 碴垃姑料110 只又开円，而在此時， ' 的頭部即被拉出而從槓桿構件78的 延申孔m脫離，由是在以支樓滾子46作為横桿支點之 下，使移位構件80只傾斜一預定角度得看第14圖）。 於第一具體實例之下’由於連接銷對112a、112b的經 簡化構造，槓桿構件78與移位構件8〇可保持在一確定的 沿著上/下方向之預定位置之定位狀態，其令製造裝置的成 本可越發地減低。 有關其它的構造特徵與操作效用，由於都與第一呈體 實例中者相同，因此在此略去其詳細解說。 再者，於第一和第二具體實例的形成中，其驅動源皆經 說明為採用汽缸機構42其可在壓縮流體的作用下促成活 塞60與活塞柃64的整體移位。然而，本發明不限於彼等 構造，且雖然沒有閣明，也可以容易地利用，例如，線性 致動器（linear actuator)、旋轉驅動源（r〇tati〇nal drive source)、電致動器（e〗ectrie actuat〇r)或類似者作為驅動 源。 其次’於第15圖中顯示出根據本發明第三具體實例之 閘形閥。 根據本發明第三具體實例之閘形閥220包括一驅動裝 置（驅動源）222; —閥桿224，其係在該驅動裝置222的驅 動作用下沿著上/下方向位移；一閥桿224，其可沿相對於 上/下方向實質呈橫向的方向傾斜地移動；及一長形的閥片 226，其係連接到該閥桿224的末端者。一直徑逐漸向下擴 :又--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
-·1 n I H / ί / ί n n n n n n I n I I I · 本紙張尺度適用_家標準（CNS)A4規格，297公髮） 16 311546 475044 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 _____________ B7 ____ 五、發明說明（Π ) 大的環狀階形構件227係繞著該閥桿224的大略中心部份 之外周表面形成。 閥匣MO ’其中界定有-供-未示出的工作件移出 與移入所用的溝通通道228,且其係經配置在該驅動工具 222的上側（參看第20及第21圖），其中該溝通通道228， 可經由將閥片226座落於在閥g 23〇内壁表面上形成的閥 座232之上而封閉。在閥片226上沿著環形溝槽配置著一 密封構件234,藉由該密封構件234所致結果，當閥片2% 座落在閥座232之上時可保持氣密性。 該驅動裝置222包括一第一底板236與一第二底板 238,彼等係透過末示出的螺絲而固定到閥匣23〇的底部表 面；一外殼240,其係呈有底的管狀且連接到該第二底板 238;及第一和第二汽缸機構242a、242b(驅動機構），係用 相同的構造元件所形成，且係大約平行地配置在外殼24〇 的内側。 如第16圖所示，在該第一和第二底板236、238的大 約中央區分別形成著通孔244a、244b，其具有大致呈圓形 的截面用來讓桿閥224從其中穿過插置。另外，在該第二 底板238的下表面部份之上以固定的間距配置著一對突出 件249a、249b’其上形成著一實質半圓形截面形狀的凹槽 248用來支撐住支撐滾子246(於後文討論之）。通孔244a、 244b的直徑係經形成為大於桿224的直徑，且另外，在通 孔244b内配置有一環252用來支撐一摺箱250的一端，該 摺箱250係包圍且覆蓋住該閥桿224的一指定部份。 ^--------^-------— (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 17 311546 475044 A7
請 先 閱 讀 背 面 之 注 項 再 填 寫 本 頁 475044 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（19 ) 該汽缸管施上且包圍住活塞桿純的外周圍表面。 、在活塞廳的外周表面上配置著一活塞襯塾⑽用 以保持在用活塞260a分隔pi从L & 刀隔開的上側汽缸室258a與下侧沐 缸室258b之間的氣密性。此 ^ ^在活塞260a底部表面部 份之上配置著一第二緩衝構件，用來在活塞乃“到達其下 死點時-吸收其震動，第二緩衝構件可精脂材料，例:， 胺基甲酸醋樹脂、聚胺基甲酸輯樹脂或類似者予以適當地 形成。 於此情況中，係透過連接到壓縮流體供給源（未示出） 的未不出的管子將壓縮流體供給到上側汽缸室258&和下 侧汽缸室25 8b，由是在未顯示出的方向控制閥之轉換作用 下將壓縮流體供給到上側汽缸室258a或下側汽缸室 258b。 再者，如第16及第17圖所示，該驅動裝置222包括 一輛278 ,其係經形成為縱長形板，分別透過鎖緊螺帽 固定到活塞桿264a，264b的另一端；及一移位塊 (displacement block)280,其可與軛278整體地移位且其係 經形成為在垂直截面中具有Η形狀者。 如第16及第17圖所示，在軛278的中央部份形成著 一實質呈圓形的凹部286，其係與螺紋構件的本端部份銜 接著（於後文討論之）。再者，在軛278上於預定間隔固定 有一對支撐塊290a、290b，彼等内部切割出實質呈橢圓形 的延伸孔，且於其中配置著透過銷構件291，而軸向連接 到移位塊280上的滾子292以使其與延伸孔288a、288b -----— — IIIIII ----I---^ ----1 I I I I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 19 311546 475044 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（2〇 ) 銜接。滚子292係在銷構件291中央處經可旋轉地軸向支 撐者。 另外，於支撐塊對290a、290b的上部分別透過螺紋構 件固定著支撐板293。有一對銷構件294透過孔洞配置在 該等支撐板293内的定位處，其中該等銷構件294的末端 係經配_置成用來與在移位塊280的兩側表面上形成之銜接 溝槽296相銜接。 如第16及第17圖所示，在移位塊28〇的大約中央部 份内形成有一孔洞300，其截面實質地呈圓形，且透過此 孔洞300，將閥桿224的另一端配合地嵌入，其中該閥桿 224係透過鎖緊螺帽302固定到移位塊28〇，該鎖緊螺帽 3 02係接合到將閥桿224的螺紋末端部。該閥桿224和彈 簧構件284係配置在移位塊280與轆278之間，其中該彈 簧構件284的一端係與該鎖緊螺帽3〇2銜接，而彈簧構件 284的另一端則與軛278的凹部286銜接。 有一摺箱250以覆蓋關係繞著閥桿224另一端側的外 周圍表面配置著，其中該摺箱的一端係經由一固定環252 固疋到第^一底板2 3 8 ’而其另^一端則固定到一配置在閥桿 224上的環體304。 另外，在移位塊280的兩側表面中分別开t成著銜接溝 槽296用來與經由支撐塊290a、290b及支撐板293而固持 在軛278中的銷構件294之末端相銜接。透過銷構件294 在銜接溝槽296下端部份296a的銜接，可遏止軛278與移 位塊280之間在上/下方向，以及前/後向（亦即，第17圖 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 311546 ------------ I--------訂---------产 V (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 475044 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（21 ) 所示頁面之垂直方向）上的位置滑移或偏離，且再者，彼等 構件皆沿上/下方向以固定的間隔定位住，且可依此方式以 設定的定位狀態整體地上和下移動。此外，經由將銷構件 294從銜接溝槽296的下端部份296a撤離且經由沿銜接溝 槽296提高，可使閥片226傾斜地移動。 再-者，於移位塊280的分岔上部上以可旋轉方式軸向 地支撐著一對支撐滾子246，其中當移位塊280係在其移 位終點時，彼等支撐滾子246係經插置於在第二底板238 的突出件249a、249b中所形成的彎曲凹槽248之中，由是 在使用該與凹槽248銜接的支撐滾子246作為槓桿支點之 下，該閥片226、閥桿224和移位塊280皆只以一預定 角度0傾斜地移動。 根據本發明第三實施例的閘形閥基本上係依上文所逃 構造成。接著要說明本發明的作用及操作效用。於下面的 說明中，要解釋一起始位置，其中活塞對260a ' 260b係分 別處於彼等在汽缸室258中的最低位置，且在閥匣230中 形成的溝通通道228係處於打開狀態而不被閥片226所封 閉。 於此情況中，在起始位置下，因為概278被彈簧284 的彈力壓向下側，透過支撐塊290 a、290b和支撐板293 而固定到軛278中的銷構件294係保持在使彼等固持在移 位塊280所含銜接溝槽296的下端296a上之狀態。此外， 在此起始位置下，滾子292係處於使彼等與支撐塊290a、 290b中形成的延伸孔288a、288b之上部相銜接之狀態。 -------------裝--------訂---------線 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公楚） 21 311546 475044
五、發明說明（22 ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 於處於起始位置時，壓縮流體係從一壓縮流體供給源 (未示出）透過未示出的管線分別供給到第一和第二汽缸機 構242a和242b的下側汽缸室258b。在供給到下側汽缸室 258b的壓縮流體之作用下使活塞26〇a、26〇b提高，由是 使連接到活塞260a、260b的活塞桿對264a、264b也分別 提高。於此情況中，上側汽缸室258a係經由未示出的方向 控制閥之操作處於保持開放（通氣）到大氣之狀態。 經由實質平行地提高活塞桿對264a和264b，可使活 塞桿264a、2 64b與軛278、移位塊2 80、閥桿224和閥片 226整體地升高。於此情況中，軛278係處於被彈簧構件 284的彈力朝下側向下壓之狀態，且由於透過支撐塊 290a、290b和支撐板293固定到軛278的銷構件對294係 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 經固持在移位塊280所具銜接溝槽296的下端部份，因此 輛278和移位塊280係經保持在使彼等的定位維持在固定 位置之狀態中，且其中可遏止在上/下方向，以及前/後方 向（亦即’垂直於第17圖所示頁面的方向）中的滑移和偏 離。因此之故，軛278與移位塊280係聯合整體地提高， 同時處於保持彼等構件之間固定位置的一設定的定位狀 態。 活塞桿264a、264b係大約同時地提昇’瓦經由移位塊 2 80的一端與第二底板23 8的銜接，移位塊280會到達其 移位終點，其中閥片226係處於面對溝通通道228開口之 狀態（參看第20圖）。此時，配置在移位塊280上部之上的 支撐滾子對246會分別銜接在第二底板238之突出部 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 22 311546 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 475044 A7 --- B7 五、發明說明（23 ) 249a、249b上所形成的彎曲凹部248之内，且此外，經由 抵緊第一緩衝構件253，可藉此吸收所產生的任何震動。 在移位塊280到達其移位終點之後，活塞桿對264a、 2 64b仍分別地繼續提高，由是在滾子292相對於軛278的 延伸孔288a、288b之銜接作用之下，移位塊28〇會在以與 凹部248銜接的支撐滚子對246作為槓桿支點之下傾斜地 移動，其中閥片226係經座落在閥座232之上，藉此封閉 溝通通道（參看第21圖）。 更詳細言之’在移位塊280到達其移位終點之後，經 由相對於彈簧構件284的反對彈力使活塞桿對264a、264b 繼續提昇’只有輛278會繼績提高。此時，在滾子292相 對於軛278兩側表面内形成的延伸孔288a、288b之銜接作 用之下，移位塊280會在用支撐滾子246作為槓桿支點之 下，只傾斜一預定角度參看第21圖）。再者，當移位塊 2 80繞著支撐滾子246所界定的槓桿支點傾斜時，經固定 到輛278兩側表面上的銷構件對294會從移位塊280所含 衡接溝槽296的下端段296a撤離，且沿著銜接溝槽296 提高。 因此，移位塊2 80透過預定的0角進行角位移之結 果，透過閥桿224固定到移位塊280上的閥片，226即從其 以一預定間距面對溝通通道228的狀態移位到實質平行於 溝通通道228 —側之狀態。其結果，配置在閥片226上的 密封構件234變成座落在閥座232之上且將溝通通道228 氣密地封閉。 ^--------^---------^ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 23 311546 475044
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（24) 其次，於促使閥片226分離開閥座232以打開溝通通 道228之情況中，在一未示出的方向控制閥的轉換作用 下，壓縮流體會實質同時地供給到第一和第二汽缸機構 242a和242b的上側汽缸室258a，由是使活塞對26〇a、26〇b 實質同時地降低，且使活塞桿264a、264b、軛278與移位 塊280整體地降低並回復到彼等的起始位置。再者，於此 情況中，經由一未示出的方向控制閥之轉換操作，下側汽 缸室258b係處於通氣到大氣之狀態。 更詳細言之’在滾子292相對於延伸孔288a、288b 的銜接作用下，移位塊280沿著和前文討論者相反的方向 只傾斜一預定角0，且閥片226確實地離開閥座232之後， 活塞桿對264a、264b會與軛278和移位塊280 —起整體地 降低’由是回復到彼等的起始位置。此時，當活塞26〇a、 260b到達彼等的下死點時發生的任何震動會被配置在活 塞260a、260b底部表面上的第二緩衝構件所吸收。 於第三具體實例中，經由促使透過支撐塊29〇a、29〇b 和支撐板293固定到軛的銷構件294對移位塊28〇所含銜 接溝槽的銜接’該軛278和移位塊280會保持在預定位置 上的一疋位狀態而不會使兩者之間在上/下以及前/後方向 上發生滑移或偏離，且兩種構件會配置成一致整體地向上 和向下移動。因此，於第三實施例中，當軛278和移位塊 2 80向上和向下移動時，不需要有用以導引軛278和移位 塊2 80的任何導引裝置，且與習用技術比較之下，可以減 少零件數目且降低生產成本。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) --------^---------^ 本紙張尺度適用巾國时標準（CNS)A4規格（210 297公釐） 24 311546 A7 A7 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（25 ) 再者，於該第三實施例t，由於可以免除在根據習用 技術配置的汽缸管9側表面t機械或切出導引溝槽啡 看第29圖）所用程序，因此可以簡化製造步驟伴隨著減低 生產成本。 另外，根據該第三具禮實财’由於不需要裝設如在 習用技-術中所用之沿著導引溝槽10滑動地移位時會產生 粉塵與污物之導引裝置’因此可將粉塵、污物和類似物的 產生予以壓抑，且使閘形閥可以適當地用於要求純淨的環 境中，例如潔淨室環境或類似者。 接著，在第23至第26圖中顯示出根據本發明第四具 體實例的閘形閥3 10。於下面的說明中，與第丨5圖中所示 根據第一具體實例的閘形閥22〇所具者相同之構造特徵皆 以類似的疋件符號予以標示，且其詳細討論皆予以省略。 於根據本發明第四具體實例的閘形閥31〇中，取代構 成第三具體實例的閘形閥220所具構造的經固定到軛278 的銷構件294及在移位塊280兩側表面形成的銜接溝槽 296者，係提供一對連接銷312a、312b用以分別保持住軛 278與移位塊280的整體定位狀態，其中不會發生在上/下 或前/後方向任一者之中的位置滑移或偏離。 連接銷對312a、312b各自的第一端係分別螺接到移位 塊280的底部表面，而其另一端則鬆散地以所給餘隙匹配 置到軛278的延伸孔314内。因此，連接銷312a、312b 的另一端係沿著延伸孔3 14可移位地配置著。再者，呈錐 形戴面的連接銷312a、312b之頭部係經配置成可經由延伸 ----_||1|11| #* — — 1 — — — — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 木紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（21〇 X 297公釐 25 311546 475044 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 五、發明說明（26 ) 孔中形成的錐形段316而固持在定位。 於此情況中，軛278係處於被彈簧構件284的彈力向 下壓之狀態，且由於連接到移位塊28〇底部表面的連接銷 對3 12a、3 12b之頭部係由軛278所具延伸孔3 14的錐形段 固持在定位，因此，軛278和移位塊280係一起保持在一 預定的:定位狀態。因此，軛278與移位塊28〇係在保持著 可維持住兩者之間設定的定位之狀態下整體地提高與降 低。 ' 其次’在移位塊280到達其移位終點之後，軛278會 繼續對抗著彈簧構件284的彈力進一步升高，且於此時， 連接銷312a、312b的頭部則從軛278的延伸孔314被拉出 而撤離，由是在以支撐滾子246作為槓桿支點之下移位塊 280只傾斜一預定的角度0。 以該第四具體實例而言，由是經簡化的連接銷對 312a、312b之構造，使扼278和移位塊280可維持在一預 定的位置狀態，保持沿著上/下方向的預定位置，而使製造 該裝置的成本越發地減低。 至於其它構造與操作效用，由於都與第三具體實例相 同，因此省略其詳細說明。 再者，於該第三和第四具體實例中，眾多驅/動機構係經 說明為利用第一和第二汽缸機構242a、242b，彼等可在一 壓縮流體的作用下促成活塞260a、260b和活塞桿264a、 264b的整體位移。不過，本發明不限於彼等構造，且雖則 未顯示出，但也可以容易地利用，例如，線性致動器、旋 ------------Μ 裝--------訂--------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 26 311546 475044 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 A7 B7 五、發明說明（27 ) 轉驅動源、電致動器和類似者作為眾多驅動機構 [指示數字說明] 20 > 110 > 220 > 310 閘形閥 22 ^ 222 驅動裝置 24a、24b、224 閥桿 26 > 226 閥片 28 ^ 228 溝通通道 30 > 230 r 閥匣 32 > 232 閥座 38 ^ 236 ^ 238 底板 40 ^ 240 外殼 42 > 242a > 242b 汽缸機構 44a ' 44b、244a、244b 通孔 46 ^ 246 支撐滾子 48 、 86 、 248 ' 286 凹部 50 > 250 摺箱 51 > 251 襯塾 53 ^ 72 > 253 緩衝構件 56、256a、256b 汽缸管 58、58a、58b、258a、258b 汽缸室 60 > 260a > 260b 活塞 62 槽 64 、 264a 、 264b 活塞桿 66 球 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 27 311546 475044 A7 B7 五、發明說明（28 ) 經濟部智慧財產局員工消費合作杜印製 70 、 270a 、 270b 活塞襯塾 78 槓桿構件 79 移位構件 82a 、 82b 突出部 84 ^ 284 彈簧構件 88a、88b、106、114、288a、288b、314 延伸孔 90 ^ 94 > 291 ^ 294 銷 92 > 292 滾子 96 ^ 296 銜接溝槽 98a > 98b 凸緣 12a 、 112b 、 312a 、 312b 連接銷 116 錐形段 278 轆 279 移位塊 290a、290b 支撐塊 293 支撐板 i HI i-i i ϋβ m 1 n n n IB1 ttn n n n n mmmmt ·1 訂---------^、\ (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） 28 311546