KR102400944B1

KR102400944B1 - 폐쇄장치

Info

Publication number: KR102400944B1
Application number: KR1020197009373A
Authority: KR
Inventors: 마르틴 네처
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2016-10-24
Filing date: 2017-09-26
Publication date: 2022-05-20
Also published as: JP7069140B2; US20190285184A1; WO2018077553A1; US11131394B2; CN109863338A; JP2019532235A; KR20190073361A; CN109863338B

Abstract

본 발명은 챔버벽 (3) 안의 개구부 (2) 를 위한 폐쇄장치 (1) 에 관한 것이며, 상기 폐쇄장치 (1) 는 적어도 하나의 폐쇄요소 (4) 와 적어도 하나의 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 와 적어도 하나의 요크 (6) 를 구비하고, 상기 폐쇄요소 (4) 는 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 를 통하여 강성적으로 상기 요크 (6) 와 연결되고, 상기 요크 (6) 는 상기 폐쇄장치 (1) 의 적어도 하나의 실린더-피스톤-구동유닛 (7) 을 이용해, 특히 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 의 세로방향 연장 (8) 에 대해 평행으로, 슬라이딩 가능하게 상기 폐쇄장치 (1) 의 하우징 (9) 안에 설치되고, 상기 요크 (6) 는 상기 실린더-피스톤-구동유닛 (7) 의 적어도 하나의 실린더 공동 (10), 및/또는 상기 폐쇄장치 (1) 의 가이드 요소 (12) 를 안내하기 위한 적어도 하나의 가이드 요소 수용부 (11) 를 구비한다.

Description

폐쇄장치

본 발명은 챔버벽 (chamber wall) 안의 개구부 (opening) 를 위한 폐쇄장치에 관한 것이며, 상기 폐쇄장치는 적어도 하나의 폐쇄요소 (closure element) 와 적어도 하나의 폐쇄요소 캐리어 몸체 (closure element carrier body) 와 적어도 하나의 요크 (yoke) 를 구비하고, 상기 폐쇄요소는 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체를 통하여 강성적으로 상기 요크와 연결되고, 상기 요크는 상기 폐쇄장치의 적어도 하나의 실린더-피스톤-구동유닛을 이용해, 특히 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체의 세로방향 연장에 대해 평행으로, 슬라이딩 가능하게 상기 폐쇄장치의 하우징 (housing) 안에 설치된다.

이러한 종류의 폐쇄장치들은 예컨대 WO 2015/139818 A1 안에 공개되어 있다.

본 발명의 목적은, 폐쇄장치들이 한편으로는 가능한 한 비용절감적으로 제작될 수 있도록, 그리고 다른 한편으로는 폐쇄요소가 높은 정밀도를 갖고 안내되도록 동종 폐쇄장치들을 개선하는 것이다.

이 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 상기 언급된 종류의 폐쇄장치들에 있어서, 요크가 실린더-피스톤-구동유닛의 적어도 하나의 실린더 공동 (cylinder cavity), 및/또는 폐쇄장치의 가이드 요소 (guide element) 를 안내하기 위한 적어도 하나의 가이드 요소 수용부 (guide element receptacle) 를 구비하는 것을 제공한다.

그러므로, 다른 말로 하자면, 본 발명의 기본사상은, 상기 실린더-피스톤-구동유닛의 상기 실린더 공동을 그리고/또는 상기 가이드 요소 수용부도 똑같이 함께 상기 요크 안으로 통합시키는 것이다. 상기 가이드 요소 수용부 안에는, 상기 가이드 요소가 슬라이딩 가능하게 설치된다. 본 발명을 통해, 비용절감적인 설계의 의미에서 우선, 상기 폐쇄장치를 위해 필요해진 개별부품들의 감소가 달성된다. 게다가, 이를 통해, 매우 콤팩트한, 작은 제조공간을 요구하는 유닛 (unit) 도 만들어내질 수 있다. 무엇보다도, 상기 요크 안으로의 상기 통합을 통해, 상기 요크 안으로의 상기 실린더-피스톤-구동유닛의 상기 실린더 공동의 그리고/또는 상기 가이드 요소 수용부의 매우 직접적인 연결도 달성된다. 이 직접적인 연결을 통해, 단지 매우 작은 허용오차들만 고려되어야 하고, 이는 전체적으로 폐쇄요소의 매우 정밀한 안내를 초래한다.

본 발명의 양상에 있어서, 상기 요크 안에는, 상기 적어도 하나의 실린더 공동을 에워싸는, 상기 요크의 적어도 하나의 실린더 공동벽 (cylinder cavity wall) 과, 상기 요크에 폐쇄요소 캐리어 몸체를 고정시키기 위한 상기 요크의 캐리어 몸체 수용부가 서로 고정적인 공간적 위치에서 배열되는 것이 가능하다. 게다가, 상기 요크 안에는, 상기 적어도 하나의 가이드 요소 수용부와 상기 캐리어 몸체 수용부가 서로 고정적인 공간적 위치에서 배열되는 것도 달성될 수 있다.

대개는 본 발명에 따른 폐쇄장치들은 단지 하나의 폐쇄요소 캐리어 몸체를 구비한다. 하지만 본 발명에 따른 폐쇄장치들이 2개 또는 그보다 많은 폐쇄요소 캐리어 몸체들을 구비하는 것도 물론 가능하다.

특히 바람직하게는, 상기 요크가 일체형 몸체로서 형성되는 것이 제공된다. 이를 실현하기 위해, 예컨대, 상기 요크가 주조 몸체로서 또는 사출 성형된 몸체로서 또는 블록 (block) 으로부터 단조된 (forged) 또는 다른 방식으로, 예컨대 절삭가공을 통해 만들어내진 몸체로서 형성되는 것이 제공될 수 있다. 상기 요크 안에 배열된 상기 실린더-피스톤-구동유닛의 실린더 공동은 적어도 일부 섹션에서 원형 원통 모양으로 형성된다. 상기 실린더 공동은 상기 요크 안의, 양쪽이 열려 있는 하나의 관통 개구부일 수 있다. 하지만, 상기 실린더 공동은, 예컨대 상기 실린더 공동이 블라인드홀 (blind hole) 의 종류로 형성되면, 한쪽이 상기 요크 자체에 의해 폐쇄될 수 있다. 상기 실린더 공동의 열려 있는 단부들을 폐쇄하기 위해, 별도의 실린더 폐쇄 몸체들이, 경우에 따라서는 리테이닝 링 (retaining ring) 또는 그와 같은 것에 의해 홀딩되어, 이용될 수 있다.

상기 가이드 요소 수용부는 유리하게는, 상기 요크 안의, 양쪽이 열려 있는 하나의 관통 개구부이다. 이를 통해, 상기 가이드 요소 수용부에 의해 안내된 또는 상기 가이드 요소 수용부 안에 슬라이딩 가능하게 설치된 가이드 요소를 상기 가이드 요소의 두 단부에서 예컨대 상기 폐쇄장치의 하우징에 고정시키는 것이 가능하다. 하지만 원칙적으로, 단지 한쪽에서만 고정된 가이드 요소들에 있어서, 상기 가이드 요소 수용부가 한쪽이 폐쇄된 일종의 블라인드홀로서 상기 요크 안에 설계되는 것도 가능하다. 상기 가이드 요소 수용부는 그것의 횡단면에 있어서 유리하게는 상기 가이드 요소의 외부윤곽에 맞춰져 있다. 여기에서도 상기 가이드 요소 수용부의 원형 원통 모양의 설계가 적당하다. 상기 가이드 요소는 어쨌든 유리하게는 고정적으로 하우징에 고정되어 있다. 상기 가이드 요소는 유리하게는, 그 자체가 강성적인, 바람직하게는 세로방향으로 연장된 부품이고, 상기 부품은 예컨대 적어도 일부 영역에서 막대 또는 레일 (rail) 로서 형성된다.

상기 폐쇄요소 캐리어 몸체, 즉 폐쇄요소와 요크 사이의 연결부는 유리하게는 마찬가지로 세로방향으로 연장되어 형성된다. 바람직한 구현형태들에서, 상기 폐쇄요소가 그것이 챔버벽 안의 개구부를 적어도 부분적으로, 바람직하게는 완전히, 해제하는 개방위치로부터, 그리고 상기 폐쇄요소가 상기 챔버벽 안의 상기 개구부를 폐쇄하는 폐쇄위치로부터 왕복으로 움직여지면, 상기 요크 그리고 바람직하게는 상기 요크와 함께 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체와 상기 폐쇄요소는 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체의 세로방향 연장에 대해 평행으로 이동된다. 이때, 상기 세로방향 연장은 상기 세로방향 연장의 방향, 다른 말로 하자면 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체의 세로방향 연장 방향을 의미한다는 것이 분명하다. 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체도 유리하게는 적어도 일부 영역에서 막대 또는 레일로서 형성된다. 유리하게는, 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체 및/또는 상기 가이드 요소는 똑바르게, 즉 만곡되지 않고, 형성된다.

상기 요크는 바람직하게는 양쪽에서 측면에서 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체를 넘어 돌출한다. 다른 말로 하자면, 유리하게는, 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체의 세로방향 연장을 가로지른 상기 요크의 확장이 이 가로방향에서의 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체의 폭보다 큰 것이 제공된다.

원칙적으로, 상기 요크가 단지 하나의 유일한 실린더 공동만을 그리고/또는 단지 하나의 유일한 가이드 요소 수용부만을 구비하는 것이 가능하다. 하지만, 바람직한 구현형태들에서, 상기 요크가 실린더-피스톤-구동유닛들의 다수의 실린더 공동들 및/또는 다수의 가이드 요소 수용부들을 구비하는 것이 제공된다. 특히 바람직한 변형들은, 상기 요크가 2개의 실린더-피스톤-구동유닛들의, 바람직하게는 정확히, 2개의 실린더 공동들, 및/또는 상기 폐쇄장치의 각각 하나의 가이드 요소를 안내하기 위한, 바람직하게는 정확히, 2개의 가이드 요소 수용부들을 구비하는 것을 제공한다. 이때 또다시, 상기 실린더 공동들이 서로 축대칭적으로 그리고/또는 상기 가이드 요소 수용부들이 서로 축대칭적으로 배열되면 유리하다. 이 대칭들을 통해, 상기 폐쇄요소의 특히 정밀한 안내가 달성될 수 있다. 상기 실린더 공동들의 그리고 상기 가이드 요소 수용부들의 대칭축들은 하나의 공통의 평면에 놓여 있을 수 있고 또는 하나의 공통의 평면에 있을 수 있고, 바람직하게는 서로 평행으로 배열될 수 있다. 상기 실린더 공동은 어쨌든 상기 실린더-피스톤-구동유닛의 공동이고, 상기 공동 안에서 상기 실린더-피스톤-구동유닛의 피스톤은 슬라이딩 가능하게 설치되고 압력으로 가압된다. 상기 피스톤은 각각 하나의 상응하는 피스톤 로드 (piston rod) 를 통하여 고정적으로 상기 폐쇄장치의 하우징에 배열될 수 있다. 상기 실린더 공동은 상기 요크와 슬라이딩 가능하게 설치된다.

특히 바람직하게는, 상기 실린더 공동이 또는 상기 실린더 공동들 각각이 공동 세로축을 구비하고, 이 공동 세로축이 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체의 상기 세로방향 연장에 대해 평행으로 배열되는 것이 제공된다. 또한, 상기 가이드 요소 수용부가 또는 상기 가이드 요소 수용부들 각각이 가이드 요소 수용부 세로축을 구비하고, 이 가이드 요소 수용부 세로축이 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체의 상기 세로방향 연장에 대해 평행으로 배열되면 유리하다. 그것의 조합에 있어서, 그러면 상기 가이드 요소 수용부 세로축과 상기 공동 세로축도 서로 평행으로 배열되는 것이 발생한다.

여기에서 여러번 사용된, 세로축의 개념에 대해, 세로방향 연장의 축이라는 것에 주의하도록 하고, 이때 상기 세로방향 연장은 가장 긴 연장, 즉 각각의 몸체의 가장 큰 확장의 방향을 의미한다.

원칙적으로, 상기 폐쇄장치가 본 발명에 따라 이른바 L밸브로서 형성되는 것이 제공될 수 있다. 이는 상기 폐쇄요소가 서로 각이 진, 바람직하게는 직교하는, 2개의 방향에서 그것의 완전한 개방위치와 그것의 폐쇄위치 사이에서 움직여지는 것을 의미한다. 하지만, 특히 바람직하게는, 본 발명은, 상기 폐쇄요소가 개구부에 대해 상대적으로 오로지 선형으로 (lineary) 그리고 오로지 2개의 서로 반대인 방향들에서 슬라이딩 가능하게 상기 폐쇄장치의 하우징 안에 설치되는 폐쇄장치들에서 이용된다. 다른 말로 하자면, 이 바람직한 변형들에서, 상기 폐쇄요소가 오로지 선형으로 왕복으로 움직여지는 것이 제공되고, 이때 운동방향들은 하나의 유일한 직선에 대해 항상 평행하다.

본 발명에 따른 폐쇄장치의 폐쇄요소는 원칙적으로 매우 서로 달리 형성될 수 있다. 상기 상응하는 챔버벽 안의 비교적 작은 개구부들을 열기 위한 그리고 폐쇄하기 위한 이른바 니들 클로저 (needle closures) 또는 그와 같은 것일 수 있다. 하지만, 상기 폐쇄장치의 바람직한 변형들은, 상기 폐쇄장치가 챔버벽들 안의 납작하게 형성된 개구부들을 폐쇄하기 위해 적합한 것을 제공한다. 상응하여, 상기 폐쇄요소는 유리하게는 납작하게도 형성된다. 예컨대 평탄한 또는 활처럼 둥근 플레이트 또는 상응하여 모양이 만들어진 폐쇄 디스크일 수 있다. 상기 폐쇄요소는 폐쇄위치에서 밸브시트 (valve seat) 에 대해 밀봉되어 있을 수 있다. 하지만 상기 폐쇄요소는 상기 개구부를 상기 폐쇄위치에서 시일 (seal) 없이 단지 덮기만 할 수도 있다. 이러한, 밀봉되지 않은 구현형태에서, 납작하게 형성된 폐쇄요소는 폐쇄판이라고도 불릴 수 있다.

본 발명에 따른 폐쇄장치는 밸브라고도 불릴 수 있다. 특히, 본 발명에 따른 폐쇄장치들은, 공정챔버의 개구부가 상기 폐쇄장치에 의해 폐쇄되는 그리고 해제되는 상기 공정챔버 안에서, 주위압력보다 낮은 압력레벨에서 이동되는 작동상태들이 조절 가능하면 이용될 수 있다. 즉, 특히 바람직하게는, 본 발명에 따른 폐쇄장치들은 다른 말로 하자면 저압 또는 진공 공정들에서 이용된다. 0.001 mbar 또는 0.1 Pascal 보다 작은 또는 같은 압력들을 갖는 작동상태들에 도달하면 진공이라 부른다. 본 발명에 따른 폐쇄장치들이 이러한 조건들하에서의 이용을 위해 설계되면, 그것들은 진공밸브들이라고도 불릴 수 있다.

이하, 그 밖의 바람직한 특징들, 및 본 발명이 어떻게 실시될 수 있는가에 관한 상세내용들은 예시적으로 도면들에 도시된 실시예를 근거로 설명된다.

도 1 및 도 2 는 챔버벽에 고정된 상태에서 본 발명의 실시예를 나타내는 도면들을 나타내고;
도 3 은 도 2 로부터의 절단선 A-A 를 따른 단면을 나타내고;
도 4 는 도 2 로부터의 절단선 X-X 를 따른 단면을 나타내고;
도 5 는 여기에 도시된 폐쇄장치의 부품들의 분해도를 나타내고;
도 6 은 폐쇄요소의 개방위치에서 이 실시예의 폐쇄장치의 도면을 나타내고;
도 7 은 도 6 에 도시된 절단선 B-B 를 따른 단면을 나타내고;
도 8 은 도 6 에 도시된 절단선 C-C 를 따른 단면을 나타내고;
도 9 는 도 6 에 도시된 절단선 D-D 를 따른 단면을 나타내고;
도 10 은 폐쇄요소가 폐쇄위치에 있는, 폐쇄요소의 도면을 나타내고;
도 11 은 도 10 으로부터의 절단선 E-E 를 따른 단면을 나타내고;
도 12 는 도 10 으로부터의 절단선 F-F 를 따른 단면을 나타낸다.

도 1 은, 여기에 모든 도면들에 도시된 본 발명에 따른 폐쇄장치 (1) 의 실시예가 어떻게 챔버벽 (3) 에 고정되고, 그것의 폐쇄요소 (4) 로 개구부 (2) 를 폐쇄하는지를 투시도로 나타낸다. 도 2 는 평면도를 나타내고, 도 3 은 도 2 로부터의 절단선 AA 를 따른 단면을 나타내고, 도 4 는 도 2 로부터의 절단선 XX 를 따른 단면을 나타낸다.

폐쇄요소 (4) 는 도 1 내지 도 4 에 도시된 폐쇄위치들에서 챔버벽 (3) 안의 개구부 (2) 를 완전히 덮는다. 도시된 실시예에서 폐쇄요소 (4) 는 폐쇄판이며, 상기 폐쇄판은 상기 폐쇄위치에서 개구부 (2) 를 완전히 덮기는 하나, 하지만 상기 개구부를 에워싸는 상기 챔버벽에 대해 밀봉되어 있지 않다. 물론 본 발명은, 폐쇄요소가 상기 폐쇄위치에서 상기 개구부를 에워싸는 밸브시트에 대해 상응하는 시일을 이용해 밀봉되어 있는, 폐쇄요소 (4) 를 가지고도 실현될 수 있다.

폐쇄요소 (4) 를 도 1 내지 도 4 에 도시된 폐쇄위치로부터, 상기 폐쇄요소가 개구부 (2) 를 완전히 또는 부분적으로 해제하는 최대 개방위치로 데려가기 위해, 폐쇄요소 (4) 는 여기에 도시된 실시예에서 선형으로 방향 (18) 으로 움직여진다. 이 운동에 있어서, 여기에서 적어도 일부 영역에서 막대로서 형성된 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 는 하우징 (9) 안으로 진입되고, 이때 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체는 폐쇄요소 (4) 를 상응하여 방향 (18) 으로 데리고 간다. 그 후 개구부 (2) 를 다시 폐쇄하기 위해서는, 도 1 내지 도 3 에 따른 폐쇄위치에 도달할 때까지 폐쇄요소 (4) 는 방향 (17) 으로, 즉 방향 (18) 과 반대 방향으로 움직여진다. 여기에 실시예들에 도시된 폐쇄장치 (1) 는, 폐쇄요소 (4) 가 개구부 (2) 에 대해 상대적으로 오로지 선형으로 그리고 오로지 2개의 서로 반대인 방향들 (17, 18) 에서 슬라이딩 가능하게 폐쇄장치 (1) 의 하우징 (9) 안에 설치되는 폐쇄장치이다.

폐쇄장치 (1) 의 하우징 (9) 은 나사 구멍들 (threaded holes, 28) 을 구비한다. 도 4 에 도시된 바와 같이, 하우징 (9) 그리고 이로써 전체 폐쇄장치 (1) 는 스크루들 (screws, 21) 을 이용해 챔버벽 (3) 에 나사결합된다. 이를 통해, 밀봉채널 (sealing channel, 22) 안에 배열된, 여기에 도시되지 않은 시일은, 하우징 (9) 이 챔버벽 (3) 에 대해 밀봉되도록 챔버벽 (3) 에 대해 눌려진다. 도 3, 도 8, 도 9, 도 11 및 도 12 에서 잘 볼 수 있는 하우징 (9) 의 센터링 핀들 (29) 은 이때 챔버벽 (3) 의 상응하는 센터링 구멍들 (30) 과 맞물리고, 이로써 하우징 (9) 은 챔버벽 (3) 에서의 조립시 자동적으로 정확히 포지셔닝된다.

도 3 에서는, 여기에서 적어도 일부 영역에서 막대 모양으로 형성된 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 가 어떻게 폐쇄요소 (4) 를 요크 (6) 와 연결하는지를 잘 알아볼 수 있다. 도시된 실시예에서 폐쇄요소 (4) 는 이를 위해 고정적으로 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 에 나사결합되어 있다. 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 를 요크 (6) 와 연결하기 위해, 요크 (6) 는 캐리어 몸체 수용부 (14) 를 구비하고, 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 의 하부 단부는 조립시 상기 캐리어 몸체 수용부 안으로 밀어넣어진다. 요크 (6) 안에서의 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 의 고정은 여기에 도시된 실시예에서 캐리어 몸체 고정장치 (20) 를 이용해 수행되고, 상기 캐리어 몸체 고정장치는 스크루들 (21) 을 이용해 상기 요크에 나사결합되고, 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 의 오목부 (23) 와 맞물린다. 캐리어 몸체 고정장치 (20) 가, 예컨대 도 3 에 도시된 바와 같이, 요크 (6) 에 나사결합되면, 이를 통해 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 는 캐리어 몸체 수용부 (14) 안에 그리고 이로써 요크 (6) 에 고정된다.

도 5 에 따른 분해도에서는, 여기에 도시된 본 발명에 따른 폐쇄장치 (1) 의 실시예의 본 발명에 따라 형성된 요크 (6) 를 그것의 구조에 있어서 특히 잘 알아볼 수 있다. 여기에 선택된 변형에서, 요크 (6) 는 2개의 실린더 공동들 (10) 과 2개의 가이드 요소 수용부들 (11) 을 구비한다. 실린더 공동들 (10) 각각은, 하기에서 도 7 및 도 11 을 근거로 더 상세히 설명되는 바와 같이, 실린더-피스톤-구동유닛 (7) 의 부분이다. 실린더 공동들 (10) 에 대해 추가적으로 요크 (6) 안에 배열된 가이드 요소 수용부들 (11) 은 관통구멍으로서 설계되고, 따라서 상기 관통구멍들을 관통하여, 여기에서 막대 모양으로 형성된, 가이드 요소들 (12) 이 안내될 수 있다. 도 8 및 도 11 에 따른 단면도들에서 잘 알아볼 수 있는 바와 같이, 막대 모양의 가이드 요소들 (12) 은 이 실시예에서 스크루들 (21) 을 이용해 하우징 (9) 에 고정된다. 요크 (6) 는 가이드 요소 수용부들 (10) 을 통하여 이 가이드 요소들 (12) 위에서 선형으로 슬라이딩 가능하게 안내된다. 가이드 요소들 (12) 에서의 요크 (6) 의 가능한 한 유격 없는 정확한 안내의 의미에서, 바람직한 구현형태들에서는, 도 8 및 도 11 에서 특히 잘 알아볼 수 있는 바와 같이, 여기에 도시된, 가이드 요소 수용부들 (11) 안으로 삽입된 가이드 부시들 (31) 이 제공될 수 있다.

도 5 로 돌아가 다시 설명하자면, 여기에 도시된, 다른 바람직한 구현형태들에서와 같이, 요크 (6) 가 일체형 몸체로서 형성되는 것에 주의하도록 한다. 도입부에서 이미 언급한 바와 같이 그것은 예컨대 주조 몸체, 사출 성형된 몸체일 수 있거나 또는 블록으로부터 단조된 또는 다른 방식으로 만들어내진 몸체일 수 있다.

요크 (6) 안으로의 실린더 공동들 (10) 의 그리고 가이드 요소 수용부들 (11) 의 통합을 통해, 이 부품들은 서로 고정적인 기하학적 위치에 놓여 있고, 이는 한편으로는 본 발명에 따른 폐쇄장치 (1) 의 비용절감적인, 적은 부품들을 구비하는, 실현을 초래한다. 다른 한편으로는 이는, 방향들 (17, 18) 에서의 운동들에 있어서 자동적으로 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 의 그리고 이로써 폐쇄요소 (4) 의 매우 정밀한 안내가 달성된다는 장점을 갖는다. 이 효과는 여기에 도시된 실시예에서 캐리어 몸체 수용부 (14) 도 바로 요크 (6) 안에서 함께 실현되도록 더 개선된다. 이것 또한 도 5 에서 잘 알아볼 수 있다.

도시된 실시예에서 벨로스 시일 (bellows seal, 19) 이 존재하고, 상기 벨로스 시일은, 세로방향 연장 (8) 의 방향으로 세로방향으로 연장된 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 를 하우징 (9) 에 대해 밀봉한다. 이 벨로스 시일 (19) 은 도 3, 도 5, 도 6, 도 8, 도 9, 도 10, 도 11 및 도 12 에서 잘 알아볼 수 있다.

도 6, 도 8, 도 9 및 도 10 내지 도 12 에서 이 실시예의 폐쇄장치 (1) 는 각각 챔버벽 (3) 에서 풀려 도시된다. 도 6, 도 8 및 도 9 는, 폐쇄요소가 개구부 (2) 를 이 실시예에서 완전히 해제하는 그리고 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 가 방향 (18) 으로, 즉 여기에서 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체의 세로방향 연장 (8) 에 대해 평행인 방향에서도 하우징 (9) 안으로 진입된 개방위치에서의 폐쇄요소 (4) 를 나타낸다. 도 10, 도 11 및 도 12 는 개구부 (2) 를 완전히 덮기 위해 폐쇄요소 (4) 가 방향 (17) 으로, 즉 마찬가지로 세로방향 연장 (8) 에 대해 평행인 방향에서 위로 진출한 폐쇄위치를 나타낸다.

도 7 은 도 6 에 따른 절단선 BB 를 따른 단면을 나타내고, 이로써, 각각 실린더 공동벽 (13) 으로 에워싸인 두 실린더 공동들 (10) 을 갖는 그리고 두 가이드 요소 수용부들 (11) 을 갖는, 여기에서 일체로 형성된 요크 (6) 를 통한 수평단면을 나타내며, 상기 가이드 요소 수용부들을 관통하여 각각 하나의 가이드 요소 (12) 가 안내된다. 도 7 에서, 요크 (6) 의 캐리어 몸체 수용부 (14) 안에서의, 캐리어 몸체 고정장치 (20) 를 이용한 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 의 고정도 잘 볼 수 있다. 실린더 공동들 (10) 안에서 각각, 각각의 실린더-피스톤-구동유닛 (7) 의, 각각 실린더 공동 (10) 안에 배열된 피스톤 (26) 을 통한 단면을 볼 수 있다. 도 7 에서, 여기에서 각각 이중으로 존재하는 실린더 공동들 (10) 과 가이드 요소 수용부들 (11) 의 축대칭적 배열들을 또한 잘 알아볼 수 있다.

각각 공압식으로 또는 유압식으로 실시될 수 있는, 그리고 방향들 (17, 18) 에서의 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 및 폐쇄요소 (4) 와 함께 요크 (6) 의 운동을 담당하는 실린더-피스톤-구동유닛들 (7) 은 도 8 및 도 11 에 따른 단면도들에서 특히 잘 알아볼 수 있다. 이 단면도들에서 우선, 요크 (6) 안으로 통합된 실린더 공동들 (10) 이 이 실시예에서 관통구멍 또는 관통 개구부로서 형성되는 것을 잘 볼 수 있다. 그것들은 각각 원형 원통 모양으로 형성된다. 각각의 실린더 공동 (10) 의 상부 및 하부 단부를 폐쇄하기 위해, 도시된 실시예에서 각각 하나의 실린더 폐쇄 몸체 (27) 가 제공되고, 상기 실린더 폐쇄 몸체는 각각의 리테이닝 링 (24) 에 의해 그것의 위치에서 고정된다. 하부 실린더 폐쇄 몸체 (27) 를 관통하여 각각 피스톤 로드 (25) 가 안내된다. 상기 피스톤 로드는 일 단부에서, 여기에서 스크루 (21) 를 이용해, 하우징 (9) 에 고정된다. 다른 단부에서 피스톤 로드 (25) 는 실린더 공동 (10) 안에 배열된 피스톤 (26) 을 떠받친다. 하우징 (9) 에서의 피스톤 로드 (25) 의 고정을 통해, 이 실시예에서 피스톤 (26) 은 하우징에 고정되어 조립되어 있다. 피스톤 (26) 과 실린더 폐쇄 몸체들 (27) 사이에 남아 있는, 실린더 공동 (10) 의 작업공간들을 압력으로 가압함은 그 자체가 알려져 있는 방식으로, 예컨대 오일 또는 공기와 같은, 액상의 또는 기체 상태의 압력매체들을 이용해 수행될 수 있다. 이를 위해 필요한 공급 라인들과 배출 라인들 및 압력매체를 위한 밸브들은 여기에 도시되지 않고, 하지만, 선행기술에 그 자체가 알려진 바와 같이, 실시될 수 있다. 상응하는 가압을 통해, 어쨌든 상기 강성적으로 하우징에 고정된 피스톤을 근거로 요크 (6) 그리고 이로써 폐쇄요소 (4) 는 방향들 (17, 18) 에서 그리고 이로써 세로방향 연장 (8) 에 대해 평행으로 움직여진다.

도시된 실시예에서 실린더 공동들 (10) 의 공동 세로축들 (15) 은 폐쇄요소 캐리어 (5) 의 세로방향 연장 (8) 에 대해 평행으로 정렬된다. 가이드 요소 수용부들 (11) 의 가이드 요소 수용부 세로축들 (16) 에도 마찬가지로 적용된다. 그러므로, 이 실시예에서 방향들 (17, 18) 과, 세로방향 연장 (8) 과, 공동 세로축들 (15) 과, 가이드 요소 수용부 세로축들 (16) 도 모두 서로 평행하다.

1 : 폐쇄장치 2 : 개구부
3 : 챔버벽 4 : 폐쇄요소
5 : 폐쇄요소 캐리어 몸체 6 : 요크
7 : 실린더-피스톤-구동유닛 8 : 세로방향 연장
9 : 하우징 10 : 실린더 공동
11 : 가이드 요소 수용부 12 : 가이드 요소
13 : 실린더 공동벽 14 : 캐리어 몸체 수용부
15 : 공동 세로축 16 : 가이드 요소 수용부 세로축
17 : 방향 18 : 방향
19 : 벨로스 시일 20 : 캐리어 몸체 고정장치
21 : 스크루 22 : 밀봉채널
23 : 오목부 24 : 리테이닝 링
25 : 피스톤 로드 26 : 피스톤
27 : 실린더 폐쇄 몸체 28 : 나사구멍들
29 : 센터링 핀 30 : 센터링 구멍
31 : 가이드 부시

Claims

챔버벽 (3) 안의 개구부 (2) 를 위한 폐쇄장치 (1) 로서,
상기 폐쇄장치 (1) 는 적어도 하나의 폐쇄요소 (4) 와 적어도 하나의 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 와 적어도 하나의 요크 (6) 를 구비하고, 상기 폐쇄요소 (4) 는 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 를 통하여 강성적으로 상기 요크 (6) 와 연결되고, 상기 요크 (6) 는 상기 폐쇄장치 (1) 의 적어도 하나의 실린더-피스톤-구동유닛 (7) 을 이용해, 슬라이딩 가능하게 상기 폐쇄장치 (1) 의 하우징 (9) 안에 설치되고,
상기 요크 (6) 는 상기 실린더-피스톤-구동유닛 (7) 의 적어도 하나의 실린더 공동 (10) 을 구비하는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 1 항에 있어서,
상기 요크 (6) 는 상기 폐쇄장치 (1) 의 상기 실린더-피스톤-구동유닛 (7) 을 이용해, 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 의 세로방향 연장 (8) 에 대해 평행으로, 슬라이딩 가능하게 상기 폐쇄장치 (1) 의 하우징 (9) 안에 설치되는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 1 항에 있어서,
상기 요크 (6) 는 상기 폐쇄장치 (1) 의 2개의 실린더-피스톤-구동유닛들 (7) 의, 적어도 2개의 실린더 공동들 (10) 을 구비하는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 1 항에 있어서,
상기 요크 (6) 는 상기 폐쇄장치 (1) 의 2개의 실린더-피스톤-구동유닛들 (7) 의, 정확히 2개의 실린더 공동들 (10) 을 구비하는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 3 항에 있어서,
상기 실린더 공동들 (10) 은 서로 축대칭적으로 배열되는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 1 항에 있어서,
상기 요크 (6) 는 일체형 몸체로서 형성되는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 6 항에 있어서,
상기 요크 (6) 는 주조 몸체로서 또는 사출 성형된 몸체로서 또는 블록으로부터 단조된 또는 다른 방식으로 만들어내진 몸체로서 형성되는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 요크 (6) 안에는, 상기 적어도 하나의 실린더 공동 (10) 을 에워싸는, 상기 요크 (6) 의 적어도 하나의 실린더 공동벽 (13) 과, 상기 요크 (6) 에 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 를 고정시키기 위한 상기 요크 (6) 의 캐리어 몸체 수용부 (14) 가 서로 고정적인 공간적 위치에서 배열되는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 실린더 공동 (10) 은 또는 상기 실린더 공동들 (10) 각각은 공동 세로축 (15) 을 구비하고, 이 공동 세로축 (15) 은 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 의 세로방향 연장 (8) 에 대해 평행으로 배열되는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 폐쇄요소 (4) 는 상기 개구부 (2) 에 대해 상대적으로 오로지 선형으로 그리고 오로지 2개의 서로 반대인 방향들 (17, 18) 에서 슬라이딩 가능하게 상기 폐쇄장치 (1) 의 상기 하우징 (9) 안에 설치되는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 1 항에 있어서,
상기 요크 (6) 는 상기 폐쇄장치 (1) 의 가이드 요소 (12) 를 안내하기 위한 적어도 하나의 가이드 요소 수용부 (11) 를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 3 항에 있어서,
상기 요크 (6) 는 상기 폐쇄장치 (1) 의 각각 하나의 가이드 요소 (12) 를 안내하기 위한, 적어도 2개의 가이드 요소 수용부들 (11) 을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 4 항에 있어서,
상기 요크 (6) 는 상기 폐쇄장치 (1) 의 각각 하나의 가이드 요소 (12) 를 안내하기 위한, 정확히 2개의 가이드 요소 수용부들 (11) 을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 12 항에 있어서,
상기 가이드 요소 수용부들 (11) 은 서로 축대칭적으로 배열되는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 11 항에 있어서,
상기 요크 (6) 안에는, 상기 적어도 하나의 가이드 요소 수용부 (11) 와 상기 요크 (6) 에 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 를 고정시키기 위한 상기 요크 (6) 의 캐리어 몸체 수용부 (14) 가 서로 고정적인 공간적 위치에서 배열되는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 11 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 가이드 요소 수용부 (11) 는 또는 상기 가이드 요소 수용부들 (11) 각각은 가이드 요소 수용부 세로축 (16) 을 구비하고, 이 가이드 요소 수용부 세로축 (16) 은 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 의 세로방향 연장 (8) 에 대해 평행으로 배열되는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).
제 11 항 내지 제 15 항 중 어느 한 항에 있어서,
적어도 하나의 상기 가이드 요소 (12) 는 적어도 일부 영역에서 레일 (rail) 로서 또는 막대로서 형성되거나,
적어도 하나의 상기 가이드 요소 (12) 는 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 의 세로방향 연장 (8) 에 대해 평행으로 세로방향으로 연장되거나,
적어도 하나의 상기 가이드 요소 (12) 는 적어도 일부 영역에서 레일 (rail) 로서 또는 막대로서 형성되면서 상기 폐쇄요소 캐리어 몸체 (5) 의 세로방향 연장 (8) 에 대해 평행으로 세로방향으로 연장되는 것을 특징으로 하는 폐쇄장치 (1).