KR101021457B1 - 벽내의 하나 이상의 개구부를 진공 폐쇄하기 위한 폐쇄 장치 - Google Patents
벽내의 하나 이상의 개구부를 진공 폐쇄하기 위한 폐쇄 장치 Download PDFInfo
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Abstract
Description
Claims (13)
- 벽(1)내의 하나 이상의 개구부(2)를 진공 폐쇄하기 위한 폐쇄 장치로서, 이 폐쇄 장치는, 개구부를 해제하는 개방 위치, 개구부를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치, 및 개구부를 덮고 벽과 접촉하는 폐쇄 위치 사이에서 변위가능하며 각각의 개구부와 결합되어 있는 밸브판(3),상기 개방 위치와 상기 개구부(2)를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치 사이에서 상기 밸브판(3)을 변위시키는 작용을 하는 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛(30)으로서, 실린더 하우징(35)내에 배치되고 보어 구멍을 통해 실린더 하우징(35)으로부터 안내되는 피스톤 로드(29)를 갖는 공압 작동 피스톤(36)을 구비하는 상기 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛(30), 및하나 이상의 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)에 연결되고 각각의 밸브판(3)에 결합되어 있는 하나 이상의 캐리어 유닛(6)을 포함하고,상기 하나 이상의 캐리어 유닛(6)은 공압 작동 피스톤(8)이 배치되어 있는 하나 이상의 실린더 보어 구멍(7)을 갖고, 이 공압 작동 피스톤(8)은 개구부(2)를 덮지만 벽으로부터 이격되어 있는 위치와 폐쇄 위치 사이에서 상기 밸브판(3)을 변위시키는 작용을 하고, 또한 이 공압 작동 피스톤(8)에는 보어 구멍을 통해 캐리어 유닛으로부터 안내되는 피스톤 로드(9)가 설치되어 있으며, 이 피스톤 로드(9)에는 상기 밸브판(3)이 고정되어 있고,상기 하나 이상의 캐리어 유닛의 하나 이상의 실린더 보어 구멍(7)은 제거가 능한 커버(11)에 의해 폐쇄되고, 이 커버(11)와 캐리어 유닛(6) 사이에는 2개 이상의 밀폐 링(15, 16)이 배치되어 있으며, 이들 2개의 밀폐 링(15, 16)에 의해 둘러싸인 공간에는 대기에 연결되거나 또는 비워질 수 있는 라인(17)이 도입되는 폐쇄 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 라인(17)은 캐리어 유닛(6) 및 그리고 나서 피스톤 유닛(30)의 피스톤 로드(29)를 통해 안내되는 채널로서 형성되고, 상기 피스톤 로드(9)는 캐리어 유닛에 연결되거나 또는 이들 피스톤 로드(29)중 하나의 피스톤 로드를 통해 안내되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 커버(11)내에는 피스톤 로드(9)가 통과하는 보어 구멍(12)이 배치되어 있고, 이 커버(11)와 피스톤 로드(9) 사이에는 2개 이상의 밀폐 링(26, 27)이 배치되어 있고, 이들 2개의 밀폐 링(26, 27)에 의해 둘러싸인 공간에는 대기에 연결되거나 또는 비워질 수 있는 라인(28)이 도입되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
- 제 3 항에 있어서, 상기 피스톤 로드(9)는, 피스톤(8)을 관통하며 커버(11)내의 보어 구멍을 통해 안내되는 슬리브(13), 및 이 슬리브(13)를 관통하며 밸브판(3)내의 나사 보어 구멍속으로 체결되는 볼트를 갖는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
- 제 1 항에 있어서, 하나 이상의 캐리어 유닛(6)내에 배치되며 캐리어 유닛(6)의 보어 구멍(10)을 통해 캐리어 유닛(6)으로부터 안내되는 하나 이상의 피스톤(8)의 피스톤 로드는, 캐리어 유닛(6)에 배치된 2개 이상의 밀폐 링(20, 21)에 의해 밀폐되거나, 또는 캐리어 유닛에 배치된 밀폐 링(20) 및 캐리어 유닛(6)과 피스톤 로드(9) 또는 밸브판(3) 사이에 있는 벨로우즈(54)에 의해 밀폐되고, 이들 2개의 밀폐 링(20, 21)에 의해 둘러싸인 공간 또는 밀폐 링(20) 및 벨로우즈(54)에 의해 둘러싸인 공간에는 대기에 연결되거나 또는 비워질 수 있는 라인이 도입되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
- 제 1 항에 있어서, 하나 이상의 캐리어 유닛에 도입되는 모든 라인은 캐리어 유닛 및 그리고 나서 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)를 통해 안내되는 채널로서 구성되고, 그 피스톤 로드(29)는 캐리어 유닛에 연결되거나 또는 이들 피스톤 로드중 하나의 피스톤 로드를 통해 연결되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
- 제 1 항에 있어서, 보어 구멍(40)을 통해 안내되며, 실린더 하우징(35)에 대해 하나 이상의 캐리어 유닛(6)을 변위시키기 위한 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)는, 실린더 하우징에 배치된 2개 이상의 밀폐 링(41, 42)에 의해 밀폐되거나, 또는 실린더 하우징에 배치된 밀폐 링(42) 및 실린더 하우징(35)과 피스톤 로드(29) 사이에 있는 벨로우즈(54)에 의해 밀폐되고, 이들 2 개의 밀폐 링(41, 42)에 의해 둘러싸인 공간 또는 밀폐 링(42) 및 벨로우즈에 의해 둘러싸인 공간에는 대기에 연결되거나 또는 비워질 수 있는 라인(43)이 도입되는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 폐쇄 장치는 다수의 슬롯형 개구부(2)를 폐쇄하기 위한 다수의 밸브판(3)을 갖고, 모든 밸브판에 대해 바아형 캐리어 유닛(6)이 제공되어 있으며, 이 캐리어 유닛(6)은 캐리어 유닛(6)을 함께 변위시키는 2개 이상의 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 하나 이상의 개구부(2)를 갖는 벽(1)에는 하나 이상의 밸브판(3) 및 하나 이상의 캐리어 유닛(6)을 둘러싸며 진공 영역을 형성하는 벽(52)이 진공 밀폐식으로 연결되어 있고, 이 벽(52)은, 피스톤 실린더 유닛(30)의 실린더 하우징(35)에 의해 진공 밀폐식으로 폐쇄되며 하나 이상의 피스톤 실린더 유닛(30)의 피스톤 로드(29)를 위한 하나 이상의 관통 개구부(53)를 갖는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 하나 이상의 캐리어 유닛(6)은 벽에 평행한 방향으로 변위될 수 있도록 안내 부재를 통해 안내되고, 이 안내 부재는 하나 이상의 캐리어 유닛(6)이 벽에 수직인 방향으로 변위되는 것을 억제하는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
- 제 10 항에 있어서, 상기 캐리어 유닛의 양측은, 안내 레일(34)의 길이방향으로 변위가능하지만 안내 레일로부터는 상승될 수 없는 미끄럼 블럭(33)에 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 벽(1)은 진공실의 일부이거나 또는 다수의 진공실의 일부인 것을 특징으로 하는 폐쇄 장치.
- 제 1 항 내지 제 11 항중 어느 한 항에 따른 폐쇄 장치를 갖는 진공 밸브로서, 하나 이상의 개구부를 갖는 벽은 밸브체의 일부를 형성하는 진공 밸브.
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