KR102396227B1

KR102396227B1 - 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어

Info

Publication number: KR102396227B1
Application number: KR1020177016313A
Authority: KR
Inventors: 토마스 블레하
Original assignee: 배트 홀딩 아게
Priority date: 2014-12-19
Filing date: 2015-12-04
Publication date: 2022-05-09
Also published as: JP2018501443A; JP6679594B2; CN107110402A; KR20170097038A; US20170328125A1; WO2016096471A1; TWI682120B; TW201634852A; MY190405A; CN107110402B; US10184291B2

Abstract

진공챔버가 위치해 있는 주변공간에 대해 상기 진공챔버 (3) 의 챔버벽 안의 챔버 개구부 (4) 를 폐쇄하기 위한 도어는 상기 주변공간 안에 배치된 도어 하우징과, 상기 주변공간 안에 배치된 폐쇄부재 (5) 와, 로드 (10) 를 포함하고, 상기 폐쇄부재 (5) 는 상기 로드와 연결되고, 이때 상기 로드 (10) 의 제 1 운동은 그 세로축의 방향으로의 상기 로드 (10) 의 이동의 형태로 수행되고, 상기 제 1 운동을 통해 상기 폐쇄부재 (5) 는 개방위치로부터 중간위치로 조절되고, 상기 제 1 운동에 후속하는, 상기 로드 (10) 의 제 2 운동은 그 세로축에 대해 각을 이룬 방향으로의 상기 로드 (10) 의 이동의 형태로 그리고/또는 그 세로축에 대해 직각으로 있는 선회축 둘레의 상기 로드 (10) 의 선회의 형태로 수행되고, 상기 제 2 운동을 통해 상기 폐쇄부재는 상기 중간위치로부터 폐쇄위치로 조절된다. 상기 로드 (10) 는 베어링 요소들을 통해 그 제 1 운동에 걸쳐 그리고 그 제 2 운동에 걸쳐 상기 도어 하우징에 대해 움직일 수 있게 지지되고, 이때 상기 베어링 요소들은 상기 도어 하우징의 내부공간 (30) 안에 배치되고, 상기 내부공간은 상기 주변공간에 대해 밀봉되거나, 또는 상기 도어 하우징의 하우징벽 (40) 을 관통하는 채널 (41) 을 통하여 상기 주변공간과 연결되고, 상기 채널 안에는 입자 필터가 배치된다. 상기 로드 (10) 는 밀봉되어 상기 도어 하우징의 상기 내부공간 (30) 밖으로 상기 주변공간 안으로 안내된다.

Description

진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어 {DOOR FOR CLOSING A CHAMBER OPENING IN A CHAMBER WALL OF A VACUUM CHAMBER}

본 발명은 진공챔버가 위치해 있는 주변공간에 대해 상기 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어에 관한 것이며, 상기 도어는 상기 주변공간 안에 배치된 도어 하우징 (door housing) 과, 상기 주변공간 안에 배치된 폐쇄부재 (closing member) 를 포함하고, 상기 폐쇄부재는 상기 챔버 개구부를 해제하기 위한 개방위치로부터 상기 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 폐쇄위치로의 조절 경로에 걸쳐 조절 가능하고, 상기 도어는 세로축을 구비하는 로드 (rod) 를 포함하고, 상기 폐쇄부재는 상기 로드와 연결되고, 이때 상기 조절 경로에 걸친 상기 폐쇄부재의 상기 조절은 상기 로드의 제 1 운동과 그 후속하는, 상기 로드의 제 2 운동을 통해 수행되고, 상기 로드의 상기 제 1 운동은 그 세로축의 방향으로의 상기 로드의 이동이고, 상기 제 1 운동을 통해 상기 개방위치로부터 중간위치로의 상기 폐쇄부재의 조절이 수행되고, 상기 그 후속하는, 상기 로드의 제 2 운동은 그 세로축에 대해 각을 이룬 방향으로의 상기 로드의 이동, 및/또는 그 세로축에 대해 직각으로 있는 선회축 둘레의 상기 로드의 선회이고, 상기 제 2 운동을 통해 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 폐쇄부재의 조절이 수행된다.

진공챔버들의 도어들은 상기 진공챔버 안의 진공을 유지시키기 위해, 상기 도어의 닫힌 상태에서 상기 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를, 둘러싸는 대기에 대해 밀봉하는 데에 쓰인다. 상기 도어의 열린 상태에서, 예컨대 가공되어야 하는 기판들은 상기 열림을 통해 상기 진공챔버 안으로 도입될 수 있다.

진공 조건들하에서 공정들이 실행되는 중요한 적용 영역들에서, 예컨대 반도체 기술에서 또는 예컨대 모니터 화면들을 제조하기 위한 코팅 기술에서, 진공챔버를 둘러싸는 공간 안에는 클린룸 (clean room) 조건들이 우세해야 한다. 이를 통해, 가공되어야 하는 기판들은 유해한 오염입자들의 퇴적으로부터 보호된다.

이때, 상기 도어들의 작동시 형성되는 그리고 주변으로 방출되는 입자들 (particles) 이 문제를 나타낼 수 있다. 입자들의 방출이 이때 바로 기판들이 상기 진공챔버 안으로 도입되는 영역에서 생긴다는 것이 특히 위험하다.

상기 도어를 닫을 때 폐쇄부재의 본질적으로 L 모양인 조절 경로를 갖는, 도입부에서 언급된 유형의 진공도어들은 DE 19 633 798 A1, WO 2011/091455 A1 및 US 7,611,122 B2 에 공지되어 있다. 그의 열림 위치로부터 시작하는 상기 도어의 닫힘은 이때, 상기 폐쇄부재가 부착되어 있는 로드가 우선 축방향으로 이동되고 (= 상기 로드의 제 1 운동), 그 후 그 세로축에 대해 직각으로 있는 선회축 둘레로 상기 로드의 선회 (=상기 로드의 제 2 운동) 가 수행됨으로써 수행된다. 상기 로드의 상기 제 1 운동을 위해, 그는 상기 도어의 기본몸체에 대해 이동 가능하게 지지된다. 상기 로드의 상기 제 2 운동을 위해, 상기 기본몸체는 선회축 둘레로 진공챔버의 챔버벽에 대해 선회 가능하다. 세로축 둘레로 상기 기본몸체를 선회시키기 위해, 상기 처음에 언급된 문헌에서는 피스톤-실린더-유닛들이 제공되고, 그들의 피스톤들은 선회축의 양쪽에서 상기 챔버벽에 지지된다. 상기 두 번째로 언급된 문헌에서는, 액추에이터들로서 호스 모양의, 부풀릴 수 있는 요소들이 선회축의 양쪽에 배치되어 있다. 이러한 방식으로 간단히 형성된 그리고 비용절감적인 도어들이 제공될 수 있고, 하지만 이때 작동시 입자발생이 크다.

US 6,056,266 에는, 도어 하우징이 강성적으로 (rigidly) 챔버벽에 부착되어 있는 도어가 공지되어 있다. 로드는 피스톤-실린더-유닛을 이용해 축방향으로 이동 가능하다. 가로방향-피스톤-실린더-유닛의 실린더 공간을 형성하는 지지체 유닛이 상기 로드에 부착되어 있다. 폐쇄부재는 이 가로방향-피스톤-실린더-유닛의 피스톤 로드에 부착되어 있다. 이로써, 다 함께 또다시 폐쇄부재의 L 모양 운동이 실행된다. 피스톤-실린더-유닛들 중 가로방향-피스톤-실린더-유닛들이 또한 이를 위해 바로 챔버 개구부 앞에 놓여 있는 상기 피스톤-실린더-유닛들의 작동을 통해, 이 도어에 있어서도 높은 입자부하 (particle load) 가 발생한다. 유사한 도어가 US 6,899,316 B2 에도 공지되어 있다.

락 챔버 (lock chamber) 의 챔버 개구부를 통해 도입된 기판들을 위한 감소된 입자부하가 달성되어야 하는 도어는 US 6,916,009 B2 에 나타나 있다. 폐쇄부재는 그의 개방위치로부터 시작하여 L 모양의 조절 경로에 걸쳐 그 폐쇄위치로 이동되고, 상기 폐쇄위치에서 그는 챔버벽 안의 개구부를 밀봉한다. 상기 폐쇄부재를 그의 개방위치로부터 중간위치로 조절하기 위해 제 1 및 제 2 세로방향-피스톤-실린더- 유닛들이 제공되고, 상기 세로방향-피스톤-실린더-유닛들은 각각 하우징 부품에 부착되고, 상기 폐쇄부재와 연결된 로드들을 이동시킨다. 상기 폐쇄부재를 그의 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로 조절하기 위해, 하우징 부품들은 가로방향-피스톤-실린더-유닛들을 이용해 상기 락 챔버의 챔버벽에 대해 조절된다. 상기 로드들과 상기 폐쇄부재와의 연결은 상기 로드들에 대해 직각으로 있는 연결 피스들을 통하여 수행되고, 상기 연결 피스들은 커버 플레이트의 긴 구멍들을 통해 돌출한다. 상기 커버 플레이트 앞에서, 여과된 공기흐름이 지나간다. 이 형성을 통해, 도어들의 사전 공지된 형성들에 대해 입자부하에 있어서의 개선이 달성되기는 하나, 민감한 적용들을 위해서는 입자부하가 여전히 너무 높을 수 있다.

2개의 진공챔버 또는 하나의 진공챔버와 관 라인 사이의 밀봉을 위해 쓰이는 밸브들에 있어서, 폐쇄부재들의 L 모양 운동들은 여러 가지의 방식으로 공지되어 있다. 상기 폐쇄부재들은 이때 각각 밸브 하우징의 내부에 배치되고, 그들의 폐쇄위치에 있어서 상기 밸브 하우징의 밸브 개구부를 밀봉한다. 상기 폐쇄부재가 배치되어 있는 상기 밸브 하우징의 내부공간은 이때 진공영역을 나타내고, 상기 진공밸브의 열린 상태에서, 상기 진공밸브를 통한 통로를 형성한다. 상기 진공밸브를 닫을 때 우선 밸브 로드의 축방향 이동 그리고 그 후 그에 대해 직각인 이동이 수행되는 L 밸브들을 위한 예들은 US 2014/0131603 A1 및 US 2011/0175011 A1 에 나타나 있다. 상기 밸브 로드의 축방향 이동에 후속하여, 상기 밸브 로드의 세로축에 대해 직각인 축 둘레로 상기 밸브 로드의 틸팅이 수행되는, 상기 폐쇄부재의 적어도 본질적으로 L 모양인 운동들을 갖는 진공밸브들은 예컨대 US 6,431,518 B1 및 US 6,237,892 B1 에 나타나 있다.

본 발명의 목적은 상기 도어의 열림 및 닫힘을 통해 방출되는 입자들의 매우 적은 발생에 의해 탁월함을 나타내는, 상기 도입부에서 언급된 유형의 유리한 도어를 제공하는 것이다.

이는 본 발명에 따르면 청구항 1 항의 특징들을 갖는 도어를 통해 달성된다.

본 발명에 따른 도어에 있어서, 상기 로드는 베어링 요소들 (bearing elements) 을 이용해 그 제 1 운동에 걸쳐 그리고 그 제 2 운동에 걸쳐 도어 하우징에 대해 움직일 수 있게 지지된다. 이 베어링 요소들은 상기 도어 하우징의 내부공간 안에 배치된다. 상기 도어 하우징의 상기 내부공간은 상기 도어 하우징이 위치해 있는 주변공간에 대해 밀봉되거나, 또는 상기 도어 하우징의 하우징벽을 관통하는 채널 (channel) 을 통하여 상기 주변공간과 연결되고, 상기 채널 안에는 입자 필터 (particle filter) 가 배치된다. 상기 로드는 밀봉되어 상기 도어 하우징의 상기 내부공간 밖으로, 폐쇄부재가 위치해 있는 상기 주변공간 안으로 안내된다.

상기 도어 하우징이 위치해 있는 상기 주변공간에 대해 상기 도어 하우징의 상기 내부공간이 밀봉되는 경우를 위해, 가능한 실시형태에 있어서, 상기 도어 하우징의 상기 내부공간이 완전히 닫혀 있고, 상기 도어 하우징의 상기 내부공간 안에, 내부 팽창공간을 갖는 팽창 용기가 배치되고, 상기 팽창공간의 부피가 변화 가능한 것이 제공될 수 있다. 이때, 상기 팽창공간의 부피의 변화를 통해, 개방위치와 폐쇄위치 사이에서의 폐쇄부재의 조절시 발생하는, 상기 도어 하우징의 상기 내부공간의 자유 영역의 부피의 변화들이 보상될 수 있고, 따라서 상기 도어 하우징의 상기 내부공간 안의 내부압력은 상기 개방위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 상기 폐쇄부재의 조절시 너무 많이 변하지 않고, 바람직하게는 20% 미만 만큼 변한다.

다른 가능한 실시형태에서, 상기 팽창 용기는 상기 도어 하우징이 위치해 있는 상기 주변공간 안에 배치될 수도 있고, 이때 부피가 변화 가능한, 상기 팽창 용기의 상기 팽창 공간은 상기 도어 하우징의 하우징벽을 관통하는 채널을 통하여 상기 도어 하우징의 상기 내부공간과 연통한다.

그 밖의 가능한 형성형태는, 상기 도어 하우징의 상기 내부공간이 상기 주변공간에 대해 밀봉되고, 이때 상기 도어 하우징의 하우징벽을 관통하는 채널을 통하여 펌프 아웃되는 (pumped out) 것을 제공한다. 펌프 아웃하기 위해, 진공 시설에 있어서 어쨌든 존재하는 부스터 펌프가 이용될 수 있다.

그 밖의 형성 가능성에 따르면, 상기 도어 하우징의 상기 내부공간은 상기 도어 하우징의 하우징벽을 관통하는 채널을 통하여 외부공간과 연결될 수도 있고, 상기 외부공간은 상기 도어 하우징이 위치해 있는 상기 주변공간으로부터 분리되어 있다. 즉, 상기 외부공간은 유리하게는, 상기 도어가 부착되어 있는 상기 진공챔버가 위치해 있는 클린룸의 외부에 있다. 이를 통해서도, 상기 도어 하우징을 둘러싸는 상기 주변공간 (상기 주변공간은 클린룸에 의해 형성된다) 에 대한 상기 도어 하우징의 상기 내부공간의 밀봉이 실현될 수 있다.

본 발명에 따른 도어의 유리한 형성형태는, 적어도 하나의 공압식 피스톤-실린더-유닛이 상기 실린더 밖으로 돌출하는, 상기 피스톤-실린더-유닛의 피스톤 로드와 함께 완전히 상기 도어 하우징의 상기 내부공간 안에 배치되는 것을 제공하고, 즉 상기 피스톤 로드는 그의 전체 길이에 걸쳐 상기 도어 하우징의 내부에 있고, 예컨대 상기 도어 하우징의 열림을 통해 그 밖으로 안내되는 것이 아니다. 이 적어도 하나의 공압식 피스톤-실린더-유닛은 이때 상기 폐쇄부재를 적어도 그의 조절 경로의 일 섹션에 걸쳐 움직이기 위해, 상기 폐쇄부재와 연결된 상기 로드를 움직이는 데에 쓰인다. 바람직하게는, 상기 조절 경로에 걸쳐 상기 폐쇄부재를 움직이는 데에 쓰이는 모든 공압식 피스톤-실린더-유닛들은 그들의 피스톤 로드들과 함께 완전히 상기 도어 하우징의 상기 내부공간 안에 배치된다.

상기 도어 하우징의 상기 내부공간 밖으로 상기 주변공간 안으로의 상기 로드의 밀봉된 안내를 위해, 바람직하게는 벨로스 (bellows), 바람직하게는 폴딩 벨로스 (folding bellows), 특히 멤브레인 벨로스 형태의, 또는 파형 벨로스가 제공된다.

본 발명을 통해, 매우 적은 입자발생을 갖는 도어가 제공될 수 있고, 상기 도어는 클린룸 조건들에의 매우 높은 요구들도 충족시킨다. 본 발명에 따른 도어는 이때 또한 비교적 간단한 방식으로 형성될 수 있다.

이하, 본 발명의 그 밖의 장점들과 상세내용들은 첨부된 도면에 근거하여 설명된다.

도 1 은 본 발명의 제 1 실시예에 따른 열린 상태에서의 진공챔버의 챔버벽에 부착된 도어의 사투상도를 나타내고,
도 2 는 도 1 에 대해 변경된 시선 각도로부터의, 상기 챔버벽에 부착된 상기 도어의 사투상도를 나타내고,
도 3 은 상기 챔버벽에 부착된 상기 도어의 도면을 나타내고,
도 4 및 도 5 는 도 3 으로부터의 선 AA 와 선 BB 를 따른 단면도들을 나타내고,
도 6 은 도 3 과 유사한, 하지만 폐쇄부재의 중간위치에서의 도면을 나타내고,
도 7 및 도 8 은 도 6 으로부터의 선 CC 와 선 DD 를 따른 단면도들을 나타내고,
도 9 는 도 3 과 유사한, 하지만 상기 도어의 닫힌 상태에서의 도면을 나타내고,
도 10, 도 11 및 도 12 는 선 EE, 선 FF 및 선 GG 를 따른 단면도들을 나타내고,
도 13 및 도 14 는 여러 가지 시선방향들로부터의 상기 도어의 분해도들을 나타내고,
도 15a 및 도 15b 는 여러 가지 시선방향들로부터의 상기 도어 하우징의 하우징 부품의 사투상도들을 나타내고,
도 16 은 본 발명의 제 2 실시예에 따른, 챔버벽에 부착된 도어의 도면,
도 17 내지 도 22 는 도 16 으로부터의 선 HH, 선 II, 선 JJ, 선 KK, 선 LL 및 선 MM 을 따른 단면도들,
도 23 내지 도 26 은 도 19 내지 도 22 와 유사한, 하지만 폐쇄부재의 중간위치에서의 도면,
도 27 내지 도 30 은 도 19 내지 도 22 와 유사한, 하지만 상기 도어의 닫힌 상태에서의 도면을 나타내고,
도 31 은 하우징 부품이 제거된, 상기 제 2 실시예에 따른 도어의 사투상도을 나타내고,
도 32 내지 도 35 는 그 밖의 실시변형들의 도식적인 도면들을 나타낸다.

본 발명에 따른 도어의 제 1 실시예는 도 1 내지 도 15 에 도시된다. 진공도어라고도 불릴 수 있는 도어 (1) 는 진공챔버 (3) 의 챔버벽 (2) 에 부착되고, 상기 챔버벽 중 일 섹션만 도시된다. 챔버벽 (2) 은 챔버 개구부 (4) 를 구비하고, 상기 챔버 개구부는 도어 (1) 의 닫힌 상태에서 상기 도어의 폐쇄부재 (5) 에 의해 진공 밀봉으로 폐쇄된다. 도어 (1) 의 열린 상태에서 챔버 개구부 (4) 는 해제되고, 즉 챔버 개구부 (4) 의 세로방향 중앙축 (6) 의 방향으로 볼 때 폐쇄부재 (5) 가 챔버 개구부 (4) 를 덮지 않는다.

도어 (1) 는 밖에서 진공챔버 (3) 에 부착되고, 즉 도어 (1) 는 진공챔버 (3) 를 둘러싸는 주변공간 (45) 안에 있다. 그 안에는 대기압력이 우세한다.

도어 (1) 의 열린 상태에서, 진공챔버 (3) 의 외부에 배치된 폐쇄부재 (5) 는 그의 개방위치를 차지한다, 도 1-도 8 참조할 것. 도어 (1) 의 닫힌 상태에서 폐쇄부재 (5) 는 그 폐쇄위치를 차지하고, 도 9-도 12 참조할 것, 상기 폐쇄위치에 있어서 상기 폐쇄부재는 밖에서 챔버벽 (2) 에 가압되어 있다. 폐쇄부재 (5) 의 상기 폐쇄위치에 있어서, 폐쇄부재 (5) 에 부착된, 둘레에 걸쳐 닫힌 탄성적 시일 (a circumferentially closed elastic seal, 7) 은 챔버벽 (2) 의 밀봉면 (8) 에 가압되어 있다. 밀봉면 (8) 은 챔버 개구부 (4) 를 둘러싼다. 이로써 시일 (7) 과 밀봉면 (8) 은 고리 모양이고, 하지만 실시예에서 원형 고리 모양으로 형성되지 않는다. 하지만, 원형 고리 모양의 형성들은 특히 챔버 개구부 (4) 의 원형 윤곽과 폐쇄부재 (5) 의 원형 윤곽에 있어서 가능하다. 밀봉면 (8) 은 주변공간 (45) 에 인접하는 챔버벽 (2) 의 외면에 있다. 시일 (7) 은 변경된 형성에 있어서 챔버벽 (2) 에 부착될 수도 있고, 챔버 개구부 (4) 를 둘러싸고, 도어 (1) 의 닫힌 상태에서 폐쇄부재 (5) 의 밀봉면에 밀착할 수 있다. 즉, 상기 시일은 이때 주변공간 (45) 에 인접하는 챔버벽 (2) 의 외면에 부착될 것이다.

챔버벽 (2) 에서의 도어 (1) 의 고정은 챔버벽 (2) 에서의 도어 하우징 (25) 의 고정을 통해 수행된다.

상기 개방위치로부터 상기 폐쇄위치로의 그리고 그 반대로의 폐쇄부재 (5) 의 조절은 각각 중간위치를 거쳐 수행되고, 상기 중간위치는 도 6-도 8 에 도시된다. 상기 중간위치에 있어서, 폐쇄부재 (5) 는 챔버 개구부 (4) 의 세로방향 중앙축 (6) 의 방향으로 볼 때 챔버 개구부 (4) 를 덮고, 하지만 시일 (7) 은 밀봉면 (8) 으로부터 아직 간격을 두고 있다.

폐쇄부재 (5) 는 연결 피스 (9) 를 통하여 로드 (10) 에 부착된다. 상기 개방위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 폐쇄부재 (5) 의 조절은 로드 (10) 의 운동을 통해 수행된다. 그의 개방위치와 그의 중간위치 사이에서 상기 폐쇄부재를 조절하기 위해, 이때 로드 (10) 는 축방향으로, 즉 그 세로축 (11) 의 방향으로 선형으로 이동된다 (= 직선으로 평행으로 이동된다). 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서 폐쇄부재 (5) 를 조절하기 위해, 로드 (10) 는 이 실시예에서, 폐쇄부재 (5) 를 챔버 개구부 (4) 의 세로방향 중앙축 (6) 의 방향으로, 시일 (7) 이 밀봉면 (8) 에 가압될 때까지, 챔버 개구부 (4) 를 구비하는 챔버벽 (2) 에 접근시키기 위해, 그 세로축 (11) 에 대해 직각으로 선형으로 이동된다 (=직선으로 평행으로 이동된다). 이로써 다 함께 폐쇄부재 (5) 의 L 운동이 실행된다.

폐쇄부재 (5) 를 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로 이동시키기 위해 로드 (10) 의 세로축 (11) 에 대해 직각인 이동이 유리할지라도, 각도≠90°도 가능하고, 이때 90°로부터의 편차는 바람직하게는 45°보다 작다. 이로써, 상기 이동은 상응하는 각도 만큼, 챔버 개구부 (4) 의 세로방향 중앙축 (6) 에 대해 평행하는 위치로부터 벗어난다. 이때, 평행이동의 방향은 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 폐쇄부재 (5) 의 이동 경로에 걸쳐 변경될 수도 있다. 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 조절이 90°에서 벗어나는 각도에서 수행되는, 폐쇄부재 (5) 의 이러한 유형의 운동들은 상기 폐쇄부재의 “J 운동”이라고도 불린다. 그 밖의 가능한 형성에 따르면, 하기에서 본 발명의 제 2 실시예와 관련하여 보다 상세히 설명되는 바와 같이, 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 상기 폐쇄부재의 조절은, 로드 (1) 의 세로축 (11) 에 대해 직각으로 있는 그리고 챔버 개구부 (4) 의 세로방향 중앙축 (6) 에 대해 직각으로 있는 선회축 둘레로의 로드 (10) 의 선회를 통해서도 수행될 수 있다. 그 세로축 (11) 에 대해 각을 이룬, 로드 (10) 의 평행이동과, 그 세로축 (11) 에 대해 직각으로 있는 선회축 둘레로의 로드 (10) 의 선회의 중첩도 가능하다. 이를 통해서도, 폐쇄부재 (5) 의 적어도 본질적으로 L 모양인 운동이 달성될 수 있다.

이로써, 상기 개방위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 폐쇄부재의 조절은 로드 (10) 가 축방향으로 이동되는 로드 (10) 의 제 1 운동과 그 후속하는, 로드 (10) 의 제 2 운동을 통해 수행되고, 상기 제 2 운동에 있어서 상기 로드는 그 세로축 (11) 에 대해 각을 이룬, 예컨대 직각인 방향으로 이동되고 그리고/또는 그 세로축에 대해 직각으로 있는 선회축 둘레로 선회된다. 상기 폐쇄위치로부터 상기 개방위치로의 상기 폐쇄부재의 조절에 있어서, 로드 (10) 의 상기 두 운동은 반대 순서로 그리고 반대 방향에서 수행된다.

로드 (10) 의 제 1 운동 (그리고 이로써 상기 개방위치와 상기 중간위치 사이에서의 상기 폐쇄부재의 이동) 을 실행하기 위해, 로드 (10) 의 축방향 이동을 위해 드라이브들로서는 공압식으로 작용하는 피스톤-실린더-유닛들이 쓰이고, 상기 피스톤-실린더-유닛들은 하기에서 세로방향-피스톤-실린더-유닛들 (12) 이라고 불린다. 세로방향-피스톤-실린더-유닛들 (12) 은 각각 실린더 공간을 갖는 실린더 (13) 와, 상기 실린더 공간 안에 배치된 피스톤을 구비한다.

세로방향-피스톤-실린더-유닛들 (12) 의 피스톤 로드들 (16) 은 로드 (10) 의 세로축 (11) 의 방향과 관련하여서는 이동 가능하지 않고 (즉, 이 방향과 관련하여 강성적이고), 로드 (10) 의 제 2 운동이 수행되는, 로드 (10) 의 세로축 (11) 에 대해 각을 이룬, 실시예에서 직각인 방향과 관련하여서는, 모든 방향들로 강성적으로 로드 (10) 와 연결된 전달 피스 (17) 와 움직일 수 있게 연결된다. 피스톤 로드들 (16) 은 이를 위해 연결부품들 (18) 에 부착되고, 상기 연결부품들은 활대의 유형으로 전달 피스 (17) 에 대해 로드 (10) 의 제 2 운동의 방향으로 이동 가능하다.

전달 피스 (17) 는 리세스들 (recesses, 19) 을 구비하고, 상기 리세스들 안에 가이드 로드들 (20) 이 배치된다. 리세스들 (19) 은 실시예에서 부분 원통형으로 형성되고, 전달 피스 (17) 의 가장자리 쪽으로 열려 있고, 그들 안에 배치된, 횡단면에 있어서 원형인 가이드 로드들 (20) 을 상기 가이드 로드들 (20) 의 둘레의 180°넘게 걸쳐 둘러싼다. 이를 통해, 전달 피스 (17) 는 가이드 로드들 (20) 에 대해 로드 (10) 의 세로축 (11) 의 방향으로 이동 가능하고, 하지만 로드 (10) 의 제 2 운동의 방향과 관련하여 가이드 로드들 (20) 에 대해 이동 가능하지 않게 유지된다. 도시된 리세스들 (19) 대신에, 예컨대 제비 꼬리 모양의 리세스들도 제공될 수 있고, 상기 제비 꼬리 모양의 리세스들 안에는 가이드 로드들의 언더컷되어 형성된 스트립들이 배치된다.

실린더들 (13) 은 하기에서 상세히 기술되는 도어 하우징 (25) 의 하우징 부품 (22) 과 강성적으로 연결된다.

피스톤 로드들 (16) 과 로드 (10) 사이의 상기 도시된 움직일 수 있는 연결과 다른 연결도 가능하다. 실린더들 (13) 은 피스톤 로드 (16) 와 연결되는 그리고 피스톤들은 도어 하우징 (25) 과 연결되는 반대의 배열도 가능하다. 2개의 세로방향-피스톤-실린더-유닛들 (12) 대신에, 원칙적으로 하나의 세로방향-피스톤-실린더-유닛 (12) 만 제공될 수 있고, 또는 2개보다 많은 세로방향-피스톤-실린더-유닛들 (12) 이 제공될 수 있다.

로드 (10) 의 제 2 운동 그리고 이로써 상기 중간위치와 상기 폐쇄위치 사이에서의 폐쇄부재 (5) 의 조절을 실행하기 위해, 그 세로축 (11) 에 대해 각을 이룬, 바람직하게는 직각인 방향으로의 로드 (10) 의 이동을 위해, 드라이브들로서는 공압식으로 작용하는 피스톤-실린더-유닛들 (21) 이 쓰이고, 상기 피스톤-실린더-유닛들은 하기에서 가로방향-피스톤-실린더-유닛들이라 불린다. 가로방향-피스톤-실린더-유닛들 (21) 의 실린더 공간들은 도어 하우징 (25) 안으로 통합된다. 도어 하우징 (25) 의 하우징 부품 (22) 은 이를 위해 상응하는 리세스들 (23) 을 구비하고, 상기 리세스들은 실린더 공간들을 형성하고, 커버 부품들 (24) 에 의해 폐쇄된다. 이 실린더 공간들 안에는 가로방향-피스톤-실린더-유닛들 (21) 의 피스톤들 (26) 이 수용된다. 그들의 피스톤 로드들 (27) 은 (탄성적 시일들을 이용해) 밀봉되어 하우징 부품 (22) 의 중간벽 안의 보어들 (28) 을 관통하고, 가이드 로드들 (20) 과 강성적으로 연결된다. 상기 피스톤들과 피스톤 로드들 (27) 은 이때 상기 실린더 공간들의 벽들에 의해 그리고 하우징 부품 (22) 의 상기 중간벽에 의해 로드 (20) 의 제 2 운동의 방향으로 이동 가능하게 지지된다.

상기 가로방향-피스톤-실린더-유닛들 (21) 의 다른 형성 및/또는 배열도 가능하고, 이때 가로방향-피스톤-실린더-유닛들 (21) 의 실린더들은 도어 하우징 (25) 으로부터 분리된 부품들일 수도 있다. 하나의 가로방향-피스톤-실린더-유닛 (21) 만 제공되거나 또는 2개보다 많은 가로방향-피스톤-실린더-유닛들 (21) 도 제공될 수 있다.

그의 열린 상태로부터 시작하여 상기 도어를 닫기 위해, 우선 로드 (10) 는 세로방향-피스톤-실린더-유닛들 (12) 을 이용해 축방향으로 이동되고, 이때 전달 피스 (17) 는 가이드 로드들 (20) 에 의해 로드 (10) 의 세로축 (11) 의 방향으로 선형으로 이동 가능하게 안내된다. 폐쇄부재 (5) 가 상기 중간위치에 도달했으면, 상기 로드의 제 2 운동을 실행하기 위해 전달 피스 (17) 그리고 이로써 로드 (10) 는 가로방향-피스톤-실린더-유닛들 (21) 의 작동을 통해 세로축 (11) 에 대해 각을 이루며, 바람직하게는 직각으로 이동되고, 이를 통해 폐쇄부재 (5) 는 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로 조절된다.

이로써, 전달 피스 (17) 와 가이드 로드들 (20) 은 베어링 요소들을 형성하고, 상기 베어링 요소들을 통해 로드 (10) 는 그 제 1 운동에 걸쳐 도어 하우징 (25) 에 대해 움직일 수 있게 지지된다. 실린더 공간들의 벽들과, 하우징 부품 (22) 의 중간벽 안의 보어들 (28) 과, 피스톤들 (26) 과, 가로방향-피스톤-실린더-유닛들 (21) 의 피스톤 로드들 (27) 은 베어링 요소들을 형성하고, 상기 베어링 요소들을 통해 로드 (10) 는 그 제 2 운동에 걸쳐 도어 하우징 (25) 에 대해 움직일 수 있게 지지된다.

하우징 부품 (22) 안의 리세스들 (23) 과 마주 보고 있는 측에서, 하우징 부품 (22) 은 접시 모양으로 형성되고, 판 모양의 하우징 부품 (29) 에 의해 폐쇄된다.

하우징 부품 (22) 은 로드 (10) 의 세로방향으로 연장되는 관통 개구부 (34) 를 구비하고, 상기 관통 개구부는 판 모양의 그 밖의 하우징 부품 (35) 에 의해 폐쇄된다. 이 관통 개구부 (34) 는 폐쇄부재 (5) 에서 떨어져 있는 로드 (10) 의 단부를 수용한다. 상기 도어의 닫힌 상태에서, 로드 (10) 의 옆 돌기들 (36) 은 챔버벽 (2) 쪽으로 향한 측에서 확장부들 (34a) 의 가장자리들에 지지되고, 상기 확장부들은 옆에 관통 개구부 (34) 를 구비한다.

로드 (10) 의 세로방향으로 연장되는, 하우징 부품 (22) 의 그 밖의 관통 개구부 (32) 를 통해, 상기 로드 (10) 가 폐쇄부재 (5) 와 연결되어 있는 상기 로드 (10) 의 단부에 이어지는 상기 로드 (10) 의 섹션이 연장된다.

하우징 부품들 (22, 24, 29, 35) 은 그 사이에 놓여 있는 시일들을 통해 서로 밀봉된다.

하우징 부품 (22) 의 외벽들과 하우징 부품들 (24, 29, 35) 을 통해 도어 하우징 (25) 이 형성되고, 상기 도어 하우징은 내부공간 (30) 을 둘러싼다. 이 내부공간 (30) 안에 베어링 요소들이 있고, 상기 베어링 요소들을 통해 상기 로드는 그 제 1 운동에 걸쳐 그리고 그 제 2 운동에 걸쳐 도어 하우징 (25) 에 대해 움직일 수 있게 지지된다.

로드 (10) 는 입자들의 배출에 맞서 밀봉되어 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 밖으로, 도어 하우징 (25) 을 둘러싸는 주변공간 (45) 안으로 안내된다. 이를 위해, (도면들에 그의 전체 길이에 걸쳐 상세히 도시되지 않은) 벨로스 (31) 가 쓰이고, 상기 벨로스는 예컨대 폴딩 벨로스, 특별히 멤브레인 벨로스의 형태로 형성된다. 다른 방식으로 형성된 벨로스들, 예컨대 파형 벨로스들의 이용이 가능하다. 벨로스 (31) 는 한 단부에서는 로드 (10) 와 연결되고, 다른 단부에서는 하우징 부품 (22) 과 연결되고, 보다 정확히 말하면 로드 (10) 를 위한 관통 개구부 (32) 의 영역에서 연결된다. 이로써, 도어 하우징 (25) 의 내부공간은 벨로스 (31) 와 로드 (10) 사이에 있는 중간공간을 통해 벨로스 (31) 와 로드 (10) 사이의 연결영역까지 계속된다.

그들의 전체 확장에 걸쳐 그들의 피스톤 로드들 (16) 을 포함한 세로방향-피스톤-실린더-유닛들 (12) 과, 그들의 전체 확장에 걸쳐 그들의 피스톤 로드들 (27) 을 포함한 가로방향-피스톤-실린더-유닛들 (21) 은 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 안에 있다.

피스톤-실린더-유닛들 (12, 21) 로의 압축공기의 공급은 연결부들 (37, 38) 을 통해 수행된다. 상응하는 실린더 공간들로 안내하는 채널들은 예컨대 하우징 부품 (22) 안의 보어들에 의해 그리고/또는 호스 라인에 의해 그리고/또는 관 라인들에 의해 형성될 수 있다. 제어밸브들, 및 피스톤-실린더-유닛들 (12, 21) 의 정확한 진행을 안전하게 하는 위치 검출기와 마찬가지로, 피스톤-실린더-유닛들 (12, 21) 로의 압축공기를 위한 이 공급들은 보다 잘 조망하기 위해 도면들에 도시되지 않는다. 상응하는 시퀀스 제어들은 알려져 있다.

또한 연결부 (39) 가 존재하고, 상기 연결부는 하우징벽 (40) 을 관통하는 채널 (41) 쪽으로 이어지고, 상기 채널은 이로써 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 과 연통한다. 이 연결부에, 상기 도어의 작동상태에서 라인 (42) 이 연결되고, 상기 라인은 진공펌프 (44) 에 연결된다. 라인 (42) 과 진공펌프 (44) 는 도 3 과 도 12 에만 도식적으로 도시된다. 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 은 이로써 채널 (41) 을 통해, 그리고 라인 (42) 을 통해 안내하는 채널 (43) 을 통해 펌프 아웃된다.

도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 은 도어 하우징 (25) 을 둘러싸는 주변공간 (45) 에 대해 밀봉된다. 상기 도어를 열 때의 그리고 닫을 때의 부품들의 위치변화들을 통해 발생하는, 특히 벨로스 (31) 의 확장과 압축을 통해 발생하는, 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 안의 자유 부피의 변화들은 대기압력에 대한 과중압력의 형성 없이 가능한데, 왜냐하면 내부공간 (30) 은 진공하에 있기 때문이다.

도어 하우징 (25) 은 밀착 영역을 구비하고, 상기 밀착 영역에서, 그는 챔버벽 (2) 에 고정된 상태에서 상기 챔버벽에 밀착한다. 이 밀착 영역은 고정나사들 (14) 근처에 있고, 하우징 부품 (22) 의 융기부들 (15) 을 통해 형성된다. 이 융기부들의 영역에서 하우징 부품 (29) 은 리세스들을 구비할 수 있다. 도어 하우징 (25) 은, 상기 밀착 영역에 대해 고정나사들 (14) 에서 더 멀리 떨어져 있는 영역에서는 틈 (64) 을 통해 챔버벽 (2) 으로부터 간격을 두고 있다. 이를 통해, 상기 도어 하우징의 변형들을 통해 초래된, 주로 고정나사들 (14) 에서 떨어져 있는 영역에서 발생하는, 챔버벽 (2) 에 대한 작은 위치변화들은 도어 하우징 (25) 이 끊임없이 챔버벽 (2) 에 밀착하는 형성에서보다 적은 입자발생을 초래한다.

본 발명의 제 2 실시예는 도 16 내지 도 31 에 도시된다. 하기에서 기술되는 차이들을 제외하곤, 제 2 실시예의 형성은 상기 제 1 실시예의 형성에 상응하고, 상기 제 1 실시예에 관한 그리고 가능한 변경들에 관한 상기 서술은 이 점에 있어서 제 2 실시예에도 해당된다.

상기 제 1 실시예에 대한 제 2 실시예의 본질적인 차이는, 로드 (10) 의 제 2 운동이 로드 (10) 에 대해 직각으로 있는 선회축 (46) 둘레로의 로드 (10) 의 선회라는 데에 있다. 세로방향-피스톤-실린더-유닛들 (12) 은 여기에서는 로드 (10) 의 양쪽에서 요크 (47) 에서 작용하고, 상기 요크는 로드 (10) 위에서, 로드 (10) 의 세로축 (11) 의 방향으로 이동 가능하게 지지된다. 요크 (47) 는 옆으로 돌출하는 핀 (48) 을 구비하고, 상기 핀들은 연결 링크 경로들 (49) 안으로 안내되고, 상기 연결 링크 경로들은 하우징벽들 (50, 51) 의 내면들에 배치된다.

로드 (10) 에는 가이드 피스 (52) 가 고정되고, 상기 가이드 피스는 양쪽에 돌출하는 핀 (53) 을 구비하고, 상기 핀들은 도어 하우징 (25) 의 내부 안의 중간벽들 (55, 56) 안의 가이드 경로들 (54) 과 맞물린다. 가이드 피스 (52) 와 요크 (47) 사이에는, 로드 (10) 를 둘러싸는 코일 스프링 (57) 이 있다.

상기 폐쇄부재를 개방위치 (도 16-도 22) 로부터 중간위치 (도 23-도 26) 를 거쳐 폐쇄위치 (도 27-도 30) 로 조절하기 위해, 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 안에 배치된 세로방향-피스톤-실린더-유닛들 (12) 이 쓰인다. 그들은 요크 (47) 를 이동시키고, 이때 요크 (47) 의 운동은 코일 스프링 (57) 을 통하여 가이드 피스 (52) 에 전달된다. 이때, 폐쇄부재 (5) 가 상기 중간위치에 도달할 때까지, 가이드 피스 (52) 의 핀들 (53) 은 직선으로 연장되는 가이드 경로들 (54) 을 따라서 움직이고, 요크 (47) 의 핀들 (48) 은 연결 링크 경로들 (49) 의 직선으로 연장되는 섹션들을 따라서 움직인다. 폐쇄부재 (5) 의 상기 중간위치에 도달할시 핀들 (53) 은 가이드 경로들 (54) 의 단부들에 도달하고, 따라서 가이드 피스 (52) 의 그 밖의 운동이 봉쇄된다. 요크 (47) 는 세로방향-피스톤-실린더-유닛들 (12) 을 통해 계속하여 동일한 방향으로 움직여지고, 이때 그는 코일 스프링 (57) 의 압축하에 로드 (10) 에 대해 이동된다. 요크 (47) 의 핀들 (48) 은 이때, 특히 도 21 과 도 25 에서 알아볼 수 있는, 연결 링크 경로들 (49) 의 구부러져 연장되는 섹션들을 따라서 움직이고, 이를 통해, 폐쇄부재 (5) 가 상기 폐쇄위치에 도달할 때까지 로드 (10) 는 선회축 (46) 둘레로 선회된다.

이 실시예에서, 핀들 (48) 과, 연결 링크 경로들 (49) 과, 핀들 (53) 과, 가이드 경로들 (54) 은 베어링 요소들을 형성하고, 상기 베어링 요소들을 통해 로드 (10) 는 그 제 1 운동에 걸쳐 그리고 그 제 2 운동에 걸쳐 도어 하우징 (25) 에 대해 움직일 수 있게 지지된다.

요크 (47) 는 강성적으로 로드 (10) 에 고정될 수도 있고, 이로써 코일 스프링 (57) 이 생략될 수 있다. 그러면 연결 링크 경로들 (49) 의 상기 구부러진 연장부는 핀들 (30) 이 가이드 경로들 (54) 의 단부들에 도달하기 전에 이미 나타날 것이다. 이를 통해, 상기 폐쇄부재의 J 모양 운동이 형성될 수 있다.

로드 (10) 의 선회가 없는 상기 폐쇄부재의 J 모양의 운동은, 연결 링크 경로 (49) 뿐만 아니라 가이드 경로 (54) 도 비스듬히 챔버벽 (2) 쪽으로의 방향으로 연장되는 마지막 단부들을 구비함으로써 달성될 수 있다. 그러면, 챔버 개구부 (4) 의 세로방향 중앙축 (6) 에 대해 평행하는 방향과 관련된 요크 (42) 와 세로방향-피스톤-실린더-유닛들 (12) 사이의 운동은 예컨대 상기 제 1 실시예에 기술된 바와 유사한 방식으로 가능해져야 할 것이다.

폐쇄부재 (5) 의 L 모양 운동 또는 J 모양 운동을 형성하기 위한 다른 메커니즘들도 가능하다. 이러한 메커니즘들은 밸브 하우징들 안에 배치된 폐쇄부재들의 L 모양 운동 또는 J 모양 운동을 갖는 진공밸브들로부터 알려져 있다.

도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 을 펌프 아웃하는 대신에, 하우징벽을 관통하는 채널 (41) 은 관 라인의 또는 호스 라인의 내부 채널 (43) 을 통하여 외부공간 (58) 과도 연결될 수 있고, 도 32 에 도식적으로 도시된 바와 같이, 상기 외부공간은 도어 하우징 (25) 을 둘러싸는 주변공간 (45) 으로부터 분리된다. 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 은 여기에서 또다시 주변공간 (45) 에 대해 밀봉된다.

도 33 에 도식적으로 도시된 그 밖의 가능한 실시변형에 따르면, 내부공간 (30) 이 주변공간 (45) 에 대해 밀봉되어 있지 않기는 하나, 도어 하우징 (25) 의 하우징벽 (40) 을 관통하는 채널 (41) 을 통해서만 주변공간 (45) 과 연결되고, 상기 채널 안으로 입자 필터 (59) 가 배치된다. 도어 (1) 가 그의 닫힌 상태로부터 시작하여 열리면, 내부공간 (30) 의 부피변화를 통해, 특히 벨로스 (31) 의 압축에 근거하여 공기는 내부공간 (30) 밖으로 채널 (41) 을 통해 밀어내진다. 상기 공기의 입자부하는 이때 입자 필터 (59) 를 통해 적어도 본질적으로 감소된다. 또한, 챔버 개구부 (4) 에서 더 멀리 떨어져 있는 영역 안의 남아 있는 입자들이 방출된다.

그 밖의 실시변형은 도 34 에 도식적으로 도시된다. 이 실시예에서 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 은 완전히 닫혀 있다 (캡슐화된다). 상기 도어를 열 때의 그리고 닫을 때의 부피변화들을 흡수할 수 있기 위해 (따라서 내부공간 (30) 안의 압력은 너무 많이 변하지 않는다), 이 실시예에서 팽창 용기 (60) 가 도어 하우징 (25) 의 내부공간 안에 배치된다. 그는 팽창 공간 (61) 을 구비하고, 상기 팽창 공간의 부피는 변할 수 있다. 이를 위해, 실시예에서 팽창 용기 (60) 는 팽창 가능한 풍선의 유형으로 형성된다. 팽창 공간 (61) 은 채널 (62) 을 통하여 주변공간 (45) 과 연결된다. 상기 팽창 용기는 예컨대 강성적인, 움직일 수 있는 벽도 구비할 수 있다.

팽창 용기 (60) 는 도어 하우징 (25) 의 외부에 배치될 수도 있고, 채널 (63) 을 통하여 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 과 연결될 수 있다, 도식적인 도면 35 를 참조할 것. 그렇지 않으면, 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 은 완전히 닫혀 있다.

1 : 도어 2 : 챔버벽
3 : 진공챔버 4 : 챔버 개구부
5 : 폐쇄부재 6 : 세로방향 중앙축
7 : 시일 8 : 밀봉면
9 : 연결 피스 10 : 로드
11 : 세로축 12 : 세로방향-피스톤-실린더-유닛
13 : 실린더 14 : 고정나사
15 : 융기부 16 : 피스톤 로드
17 : 전달 피스 18 : 연결 부품
19 : 리세스 20 : 가이드 로드
21 : 가로방향-피스톤-실린더-유닛 22 : 하우징 부품
23 : 리세스 24 : 하우징 부품
25 : 도어 하우징 26 : 피스톤
27 : 피스톤 로드 28 : 보어
29 : 하우징 부품 30 : 내부공간
31 : 벨로스 32 : 관통 개구부
33 : 블록 34 : 관통 개구부
34a : 확장부 35 : 하우징 부품
36 : 돌기 37 : 연결부
38 : 연결부 39 : 연결부
40 : 하우징벽 41 : 채널
42 : 라인 43 : 채널
44 : 진공펌프 45 : 주변공간
46 : 선회축 47 : 요크
48 : 핀 49 : 연결 링크 경로
50 : 하우징벽 51 : 하우징벽
52 : 가이드 피스 53 : 핀
54 : 가이드 경로 55 : 중간벽
56 : 중간벽 57 : 코일 스프링
58 : 외부공간 59 : 입자 필터
60 : 팽창 용기 61 : 팽창 공간
62 : 채널 63 : 채널
64 : 틈

Claims

진공챔버가 위치해 있는 주변공간 (45) 에 대해 상기 진공챔버 (3) 의 챔버벽 (2) 안의 챔버 개구부 (4) 를 폐쇄하기 위한 도어로서,
상기 도어는 상기 주변공간 (45) 안에 배치된 도어 하우징 (25) 과, 상기 주변공간 (45) 안에 배치된 폐쇄부재 (5) 를 포함하고, 상기 폐쇄부재는 상기 챔버 개구부 (4) 를 해제하기 위한 개방위치로부터 상기 챔버 개구부 (4) 를 폐쇄하기 위한 폐쇄위치로의 조절 경로에 걸쳐 조절 가능하고,
상기 도어는 세로축 (11) 을 구비하는 로드 (10) 를 포함하고, 상기 폐쇄부재 (5) 는 상기 로드와 연결되고, 상기 조절 경로에 걸친 상기 폐쇄부재 (5) 의 조절은 상기 로드 (10) 의 제 1 운동과 그 후속하는, 상기 로드 (10) 의 제 2 운동을 통해 수행되고, 상기 로드 (10) 의 상기 제 1 운동은 그 세로축 (11) 의 방향으로의 상기 로드 (10) 의 이동이고, 상기 제 1 운동을 통해 상기 개방위치로부터 중간위치로의 상기 폐쇄부재 (5) 의 조절이 수행되고, 그 후속하는, 상기 로드 (10) 의 제 2 운동은 그 세로축 (11) 에 대해 각을 이룬 방향으로의 상기 로드 (10) 의 이동, 및 그 세로축 (11) 에 대해 직각으로 있는 선회축 (46) 둘레의 상기 로드 (10) 의 선회 중 적어도 하나이고, 상기 제 2 운동을 통해 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 폐쇄부재의 조절이 수행되고,
상기 로드 (10) 는 베어링 요소들을 통해 그 제 1 운동에 걸쳐 그리고 그 제 2 운동에 걸쳐 상기 도어 하우징 (25) 에 대해 움직일 수 있게 지지되고, 상기 로드 (10) 를 그 제 1 운동에 걸쳐 그리고 그 제 2 운동에 걸쳐 상기 도어 하우징 (25) 에 대해 움직일 수 있게 지지하는 상기 베어링 요소들은 상기 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 안에 배치되고, 상기 로드 (10) 는 밀봉되어 상기 내부공간 (30) 밖으로 상기 주변공간 (45) 안으로 안내되고,
상기 내부공간 (30) 은 상기 주변공간 (45) 에 대해 밀봉되고, 상기 내부공간 (30) 은 상기 도어 하우징 (25) 의 하우징벽 (40) 을 관통하는 채널 (41) 을 통하여 진공처리되는, 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어.
진공챔버가 위치해 있는 주변공간 (45) 에 대해 상기 진공챔버 (3) 의 챔버벽 (2) 안의 챔버 개구부 (4) 를 폐쇄하기 위한 도어로서,
상기 도어는 상기 주변공간 (45) 안에 배치된 도어 하우징 (25) 과, 상기 주변공간 (45) 안에 배치된 폐쇄부재 (5) 를 포함하고, 상기 폐쇄부재는 상기 챔버 개구부 (4) 를 해제하기 위한 개방위치로부터 상기 챔버 개구부 (4) 를 폐쇄하기 위한 폐쇄위치로의 조절 경로에 걸쳐 조절 가능하고,
상기 도어는 세로축 (11) 을 구비하는 로드 (10) 를 포함하고, 상기 폐쇄부재 (5) 는 상기 로드와 연결되고, 상기 조절 경로에 걸친 상기 폐쇄부재 (5) 의 조절은 상기 로드 (10) 의 제 1 운동과 그 후속하는, 상기 로드 (10) 의 제 2 운동을 통해 수행되고, 상기 로드 (10) 의 상기 제 1 운동은 그 세로축 (11) 의 방향으로의 상기 로드 (10) 의 이동이고, 상기 제 1 운동을 통해 상기 개방위치로부터 중간위치로의 상기 폐쇄부재 (5) 의 조절이 수행되고, 그 후속하는, 상기 로드 (10) 의 제 2 운동은 그 세로축 (11) 에 대해 각을 이룬 방향으로의 상기 로드 (10) 의 이동, 및 그 세로축 (11) 에 대해 직각으로 있는 선회축 (46) 둘레의 상기 로드 (10) 의 선회 중 적어도 하나이고, 상기 제 2 운동을 통해 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 폐쇄부재의 조절이 수행되고,
상기 로드 (10) 는 베어링 요소들을 통해 그 제 1 운동에 걸쳐 그리고 그 제 2 운동에 걸쳐 상기 도어 하우징 (25) 에 대해 움직일 수 있게 지지되고, 상기 로드 (10) 를 그 제 1 운동에 걸쳐 그리고 그 제 2 운동에 걸쳐 상기 도어 하우징 (25) 에 대해 움직일 수 있게 지지하는 상기 베어링 요소들은 상기 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 안에 배치되고, 상기 로드 (10) 는 밀봉되어 상기 내부공간 (30) 밖으로 상기 주변공간 (45) 안으로 안내되고,
상기 내부공간 (30) 은 상기 도어 하우징 (25) 의 하우징벽 (40) 을 관통하는 채널 (41) 을 통해서만 상기 주변공간 (45) 과 연결되고, 상기 채널 안에는 입자 필터 (59) 가 배치되고, 상기 내부공간 (30) 은 상기 채널 (41) 을 통한 연결 외에는 상기 주변공간 (45) 에 대하여 밀봉되는, 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어.
제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,
피스톤에 부착된 피스톤 로드 (16, 27) 를 갖는 상기 피스톤 (26) 을 구비하는 적어도 하나의 공압식 피스톤-실린더-유닛 (12, 21) 은 완전히 상기 도어 하우징 (25) 의 상기 내부공간 (30) 안에 배치되는, 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어.
제 3 항에 있어서,
적어도 두 개의 공압식 피스톤-실린더-유닛들 (12, 21) 이 있고, 상기 로드 (10) 의 상기 제 1 운동 뿐만 아니라 상기 로드 (10) 의 상기 제 2 운동도, 피스톤들 (26) 과 상기 피스톤들 (26) 에 부착된 피스톤 로드들 (16, 27) 을 구비하는 상기 공압식 피스톤-실린더-유닛들 (12, 21) 에 의해 구동 가능하고, 상기 로드 (10) 를 움직이는 모든 피스톤-실린더-유닛들 (12, 21) 은 완전히 상기 도어 하우징 (25) 의 상기 내부공간 (30) 안에 배치되어 있는, 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어.
진공챔버가 위치해 있는 주변공간 (45) 에 대해 상기 진공챔버 (3) 의 챔버벽 (2) 안의 챔버 개구부 (4) 를 폐쇄하기 위한 도어로서,
상기 도어는 상기 주변공간 (45) 안에 배치된 도어 하우징 (25) 과, 상기 주변공간 (45) 안에 배치된 폐쇄부재 (5) 를 포함하고, 상기 폐쇄부재는 상기 챔버 개구부 (4) 를 해제하기 위한 개방위치로부터 상기 챔버 개구부 (4) 를 폐쇄하기 위한 폐쇄위치로의 조절 경로에 걸쳐 조절 가능하고,
상기 도어는 세로축 (11) 을 구비하는 로드 (10) 를 포함하고, 상기 폐쇄부재 (5) 는 상기 로드와 연결되고, 상기 조절 경로에 걸친 상기 폐쇄부재 (5) 의 조절은 상기 로드 (10) 의 제 1 운동과 그 후속하는, 상기 로드 (10) 의 제 2 운동을 통해 수행되고, 상기 로드 (10) 의 상기 제 1 운동은 그 세로축 (11) 의 방향으로의 상기 로드 (10) 의 이동이고, 상기 제 1 운동을 통해 상기 개방위치로부터 중간위치로의 상기 폐쇄부재 (5) 의 조절이 수행되고, 그 후속하는, 상기 로드 (10) 의 제 2 운동은 그 세로축 (11) 에 대해 각을 이룬 방향으로의 상기 로드 (10) 의 이동, 및 그 세로축 (11) 에 대해 직각으로 있는 선회축 (46) 둘레의 상기 로드 (10) 의 선회 중 적어도 하나이고, 상기 제 2 운동을 통해 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 폐쇄부재의 조절이 수행되고,
상기 로드 (10) 는 베어링 요소들을 통해 그 제 1 운동에 걸쳐 그리고 그 제 2 운동에 걸쳐 상기 도어 하우징 (25) 에 대해 움직일 수 있게 지지되고, 상기 로드 (10) 를 그 제 1 운동에 걸쳐 그리고 그 제 2 운동에 걸쳐 상기 도어 하우징 (25) 에 대해 움직일 수 있게 지지하는 상기 베어링 요소들은 상기 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 안에 배치되고, 상기 로드 (10) 는 밀봉되어 상기 내부공간 (30) 밖으로 상기 주변공간 (45) 안으로 안내되고,
상기 내부공간 (30) 은 상기 주변공간 (45) 에 대해 밀봉되고, 상기 도어를 개방하고 폐쇄하는 과정에서 상기 내부공간 (30) 의 부피의 변화들이 보상될 수 있도록, 내부 팽창공간 (61) 을 갖는 팽창 용기 (60) 가 제공되고, 상기 내부 팽창공간 (61) 의 부피는 변화 가능하고,
상기 팽창 용기 (60) 는 완전히 닫혀 있는, 상기 도어 하우징 (25) 의 상기 내부공간 (30) 안에 배치되거나, 상기 도어 하우징 (25) 이 위치해 있는 상기 주변공간 (45) 안에 배치되고 상기 도어 하우징 (25) 의 하우징벽 (40) 을 관통하는 채널을 통하여 상기 도어 하우징 (25) 의 상기 내부공간 (30) 과 연결되는, 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어.
진공챔버가 위치해 있는 주변공간 (45) 에 대해 상기 진공챔버 (3) 의 챔버벽 (2) 안의 챔버 개구부 (4) 를 폐쇄하기 위한 도어로서,
상기 도어는 상기 주변공간 (45) 안에 배치된 도어 하우징 (25) 과, 상기 주변공간 (45) 안에 배치된 폐쇄부재 (5) 를 포함하고, 상기 폐쇄부재는 상기 챔버 개구부 (4) 를 해제하기 위한 개방위치로부터 상기 챔버 개구부 (4) 를 폐쇄하기 위한 폐쇄위치로의 조절 경로에 걸쳐 조절 가능하고,
상기 도어는 세로축 (11) 을 구비하는 로드 (10) 를 포함하고, 상기 폐쇄부재 (5) 는 상기 로드와 연결되고, 상기 조절 경로에 걸친 상기 폐쇄부재 (5) 의 조절은 상기 로드 (10) 의 제 1 운동과 그 후속하는, 상기 로드 (10) 의 제 2 운동을 통해 수행되고, 상기 로드 (10) 의 상기 제 1 운동은 그 세로축 (11) 의 방향으로의 상기 로드 (10) 의 이동이고, 상기 제 1 운동을 통해 상기 개방위치로부터 중간위치로의 상기 폐쇄부재 (5) 의 조절이 수행되고, 그 후속하는, 상기 로드 (10) 의 제 2 운동은 그 세로축 (11) 에 대해 각을 이룬 방향으로의 상기 로드 (10) 의 이동, 및 그 세로축 (11) 에 대해 직각으로 있는 선회축 (46) 둘레의 상기 로드 (10) 의 선회 중 적어도 하나이고, 상기 제 2 운동을 통해 상기 중간위치로부터 상기 폐쇄위치로의 상기 폐쇄부재의 조절이 수행되고,
상기 로드 (10) 는 베어링 요소들을 통해 그 제 1 운동에 걸쳐 그리고 그 제 2 운동에 걸쳐 상기 도어 하우징 (25) 에 대해 움직일 수 있게 지지되고, 상기 로드 (10) 를 그 제 1 운동에 걸쳐 그리고 그 제 2 운동에 걸쳐 상기 도어 하우징 (25) 에 대해 움직일 수 있게 지지하는 상기 베어링 요소들은 상기 도어 하우징 (25) 의 내부공간 (30) 안에 배치되고, 상기 로드 (10) 는 밀봉되어 상기 내부공간 (30) 밖으로 상기 주변공간 (45) 안으로 안내되고,
상기 내부공간 (30) 은 상기 주변공간 (45) 에 대해 밀봉되고, 상기 내부공간 (30) 은 상기 도어 하우징 (25) 의 하우징벽 (40) 을 관통하는 채널 (41) 을 통하여, 상기 도어 하우징 (25) 이 배치되어 있는 상기 주변공간 (45) 으로부터 분리된 외부공간 (58) 과 연결되는, 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어.
제 1 항에 있어서,
둘레에 걸쳐 닫힌 시일 (a circumferentially closed seal, 7) 이 상기 폐쇄부재 (5) 에 배치되고, 상기 시일은 상기 폐쇄부재 (5) 의 상기 폐쇄위치에 있어서, 상기 챔버 개구부 (4) 를 둘러싸는 밀봉면 (8) 에 가압되어 있고, 또는 둘레에 걸쳐 닫힌 밀봉면이 상기 폐쇄부재 (5) 에 배치되고, 상기 밀봉면은 상기 폐쇄부재 (5) 의 상기 폐쇄위치에 있어서, 상기 챔버벽 (2) 에 배치된, 상기 챔버 개구부 (4) 를 둘러싸는 시일에 가압되어 있는, 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어.
제 1 항에 있어서,
상기 도어는 벨로스 (31) 를 추가로 포함하고, 상기 로드 (10) 는 상기 벨로스 (31) 를 이용해 밀봉되어 상기 도어 하우징 (25) 의 상기 내부공간 (30) 밖으로 안내되는, 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어.
제 1 항에 있어서,
상기 도어 하우징 (25) 은 도어 하우징이 고정나사들 (14) 을 통하여 상기 챔버벽 (2) 에 고정될 수 있는 영역에서는, 상기 챔버벽 (2) 에서의 밀착을 위한 융기부들 (15) 을 구비하고, 그에 대해 더 멀리 상기 고정나사들 (14) 에서 떨어져 있는 영역에서는, 상기 도어 하우징 (25) 과 상기 챔버벽 (2) 사이의 틈 (64) 을 형성하기 위해 상기 융기부들 (15) 에 대해 오목하게 형성되는, 진공챔버의 챔버벽 안의 챔버 개구부를 폐쇄하기 위한 도어.
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